PT37

概　要概　要 仕様・寸法図 形　番チルト・回転タイプ

ベーシックタ

イプ

開口付きタイプ

対物レンズタ

イプ

チルト・回転

精密加工タイプ

コントローラ

ドライバ

PT1MPT2M

PT1CPT1G

PT3V

チルト・回転

タイプ

PT1T

特　長

高速スキャニング動作圧電素子は非常に大きい発生力（数千N）を持ち、高い応答性（数十kHz）と分解能（サブnm）を有しています。この特長を最大限生かすことで、高速、高位置決め精度の動作が可能となります。

ゴニオステージ弾性ヒンジ構造は、圧電素子の運動方向に対し可動部の運動方向変更が行なえます。この構造により単純な1軸チルトステージから、回転タイプ、θxθyタイプといった多軸一体ステージや、仮想回転中心を有するゴニオステージも可能にしています。

多自由度をコンパクトに実現圧電素子を並列に配置しパラレル構造とすることで、角度変位と直動動作が同一機構でコンパクトに実現できます。θxθyZステージの場合、角度位置制御後、圧電素子全軸に対し同量移動制御を行なうことで、直動方向の位置決めも行えます。

弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行なうタイプです。回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。

レーザ光

仮想回転中心

θy

Z

θx

圧電素子

PT アライメントや面合わせに最適

チルト・回転タイプチルト 傾斜＋昇降

光学ミラー用

回転

ゴニオ

アプリケーション例■レーザ光走査■ミラー微小角調整■光軸アライメント■計測、検査装置■微細加工装置■形状測定装置

P37-42.indd 37P37-42.indd 37 10.10.7 2:26:40 PM10.10.7 2:26:40 PM

PT 38

概　要概　要 仕様・寸法図 形　番チルト・回転タイプ

ベーシックタ

イプ

開口付きタイプ

対物レンズタ

イプ

チルト・回転

精密加工タイプ

コントローラ

ドライバ

PT1MPT2M

PT1CPT1G

PT3V

チルト・回転

タイプ

PT1T

センサ出力についてチルト・回転型ステージに内蔵しているセンサは直線変位を測定するリニアセンサです。そのため、センサから出力される電圧信号を角度［″］として読み取るための換算表を各ステージ毎に用意し対応します。絶対的な回転角を把握する必要が無く、細かな微調整を目的とする場合、換算は不要です。

直線変位［μm］または

角度変位［″］″

応用例面合わせ（ナノインプリント） レーザキャビティ長制御

転写パターン

SiO2 金型

インプリント：金属ガラス Pt60Ni15P25

42.4nm 27.5nm

ラインナップ

チルトステージ ・テーブル面が傾斜するタイプのステージです。・傾斜の向きが異なる2種類があります。

形番 ストローク[″] 分解能[″] 参照ページPT1T 500, 1 000 0.01～0.02 ▶P.39

光学ミラー用ステージ ・特に光学ミラーの“アオリ調整”に適した形状です。・1軸アオリ（θx）と、2軸アオリの（θxθy）があります。

形番 ストローク[″] 分解能[″] 参照ページPT1M, PT2M 500, 400/400 0.01 ▶P.40

回転ステージ・鉛直方向を軸とした回転タイプ（θz）のステージです。

形番 ストローク[″] 分解能[″] 参照ページPT1C 1 000 0.02 ▶P.41

ゴニオステージ ・テーブル表面から離れた1点に仮想の回転中心をもつステージです。

形番 ストローク[″] 分解能[″] 参照ページPT1G 500 0.01 ▶P.41

傾斜＋昇降ステージ ・3点支持機構により、2軸の傾斜（θxθy）と直動昇降（Z）の可動軸をもつステージです。

形番 ストローク 分解能 参照ページPT3V ±250″/±250″/100 μm 0.01″/0.01″/2 nm ▶P.42

注）移動方向の矢印はイメージです。実際の移動方向は各製品の寸法図にてご確認ください。

P37-42.indd 38P37-42.indd 38 10.10.15 0:53:58 PM10.10.15 0:53:58 PM

PT39

概　要 仕様・寸法図仕様・寸法図 形　番チルト・回転タイプ

ベーシックタ

イプ

開口付きタイプ

対物レンズタ

イプ

チルト・回転

精密加工タイプ

コントローラ

ドライバ

PT1TPT1M

PT2MPT1C

PT1GPT3V

チルト・回転

タイプ

16.612

センサケーブル

ピエゾケーブル

ケーブル長さ：2 m

4-M3深サ34-4.5キリ通シ∅8ザグリ深サ16

8-M2深サ33029

60

5038322520

605040322520

θx

148.4

18 センサケーブル

ピエゾケーブルケーブル長さ：２ｍ

４－Ｍ３深サ３

３－４．５キリ通シ∅８ザグリ深サ２６

38

36

85

255

705

9

1283224 16

5032

θｚ

形番 ストローク[″]

分解能[″]

繰り返し位置決め精度[″]

耐荷重[N]

PT1T60‒500S 500（560） 0.01 ±0.01 10

PT1T38‒1000S 1 000（1 300） 0.02 ±0.02 0.2

PT1M36‒500S 500（640） 0.01 ±0.01 0.3

PT2M40‒400S 400/400（480/480） 0.01/0.01 ±0.01/±0.01 1

仕様

PT1T チルトタイプストローク ： 500″, 1000″

※　仕様の詳細はＰ.４をご参照ください。

寸法図・電圧を印加することにより移動テーブル部（色付き）が図中の矢印方向に動きます。 ・センサ無し（形番末尾 ‒N）を選択した場合は、ピエゾケーブルのみとなります。

■PT1T60‒500S ■PT1T38‒1000S

P37-42.indd 39P37-42.indd 39 10.10.8 2:22:11 PM10.10.8 2:22:11 PM

PT 40

概　要 仕様・寸法図仕様・寸法図 形　番形　番チルト・回転タイプ

ベーシックタ

イプ

開口付きタイプ

対物レンズタ

イプ

チルト・回転

精密加工タイプ

コントローラ

ドライバ

PT1CPT1G

PT3V

チルト・回転

タイプ

PT2MPT1M

PT1T

ピエゾケーブル

センサケーブルケーブル長さ：２ｍ

24.6

19

363257

295

4-R8

618

４－３．５キリ通シ

303642

22 θy

θｙ θｘ

４－Ｍ３深サ３

θx軸用θｙ軸用

４－Ｍ３深サ５

20

20

24

40

159.4

センサケーブル

ピエゾケーブル

ケーブル長さ：２ｍ

28

22

1640

16

45

∅40

共振周波数　0 g/100 g[Hz]

リニアリティ[%]

静電容量[μF]

本体質量[g]

本体材質（表面処理）

1 700/600 0.1 2.8 300 アルミ（黒アルマイト）

1 090/380 0.1 6.8 300 アルミ（黒アルマイト）

6 900/3 900（7 g） 0.1 1.4 100 アルミ（黒アルマイト）

500/230（50 g） 0.1 1.4/軸 500 アルミ（黒アルマイト）

PT1M, 2M 光学ミラー用タイプストローク ： 500″, 400″/400″

■PT1M36‒500S

■PT2M40‒400S

PT 1 T 60 − 500S −＊① ② ③ ④ ⑤ ⑥

形番構成

①呼び形番 PT

②軸数 1：1軸2：2軸（光学ミラー用タイプのみ）

③タイプ T：チルトタイプM：光学ミラー用タイプ

④外形寸法 60：60×60 mm

⑤ストローク 500S：500″

⑥変位センサ 無記号：静電容量センサ内蔵　N　：センサ無し

P37-42.indd 40P37-42.indd 40 10.10.8 2:22:13 PM10.10.8 2:22:13 PM

PT41

概　要 仕様・寸法図仕様・寸法図 形　番チルト・回転タイプ

ベーシックタ

イプ

開口付きタイプ

対物レンズタ

イプ

チルト・回転

精密加工タイプ

コントローラ

ドライバ

PT1MPT2M

PT3V

チルト・回転

タイプ

PT1GPT1C

PT1T

∅40∅16

2-4.5キリ通シ∅8ザグリ深サ15

4-M2深サ3

4-M3深サ4

(透過穴)

60

60 50

50

2532

32 25

20 19.5

13.8

10.5

2520

ピエゾケーブル

センサケーブル

ケーブル長さ： 2 m

θz

6.46

30 50

回転中心

4-4.5キリ通シ∅8ザグリ深サ24

4-M3深サ68-M4深サ6

14

100907050

10090705032

32

ケーブル長さ：2 m

センサケーブル

ピエゾケーブル

θx

仕様

PT1C PT1G回転タイプストローク ： 1000″

ゴニオタイプストローク ： 500″

寸法図・電圧を印加することにより移動テーブル部（色付き）が図中の矢印方向に動きます。 ・センサ無し（形番末尾 ‒N）を選択した場合は、ピエゾケーブルのみとなります。

■PT1C60‒1000S ■PT1G100‒500S

形番 ストローク[″]

分解能[″]

繰り返し位置決め精度[″]

耐荷重[N]

PT1C60‒1000S 1 000（1 200） 0.02 ±0.02 10

PT1G100‒500S 500（630） 0.01 ±0.01 20

PT3V100‒250S ±250/±250/100 μm※2（±370/±370/120 μm） 0.01/0.01/2 nm ±0.01/±0.01/±2 nm 10

※1　仕様の詳細はＰ.４をご参照ください。※2　Zとθxθyの最大ストロークは同時には出せません。

P37-42.indd 41P37-42.indd 41 10.10.8 3:11:20 PM10.10.8 3:11:20 PM

PT 42

概　要 仕様・寸法図仕様・寸法図 形　番形　番チルト・回転タイプ

ベーシックタ

イプ

開口付きタイプ

対物レンズタ

イプ

チルト・回転

精密加工タイプ

コントローラ

ドライバ

PT1MPT2M

PT1CPT1G

チルト・回転

タイプ

PT3VPT1T

100

4-4.5キリ通シφ8ザグリ深サ358-M4深サ5 4-M3深サ6

ケーブル長さ：2 m

センサケーブル

ピエゾケーブル

15.6

11

4039

66

51

10092906032

92906032

θy θxz

PT3V 傾斜+昇降タイプストローク ： ±250″/±250″/100 μm

■PT3V100‒250S

共振周波数　0 g/100 g[Hz]

リニアリティ[%]

静電容量[μF]

本体質量[g]

本体材質（表面処理）

470/230 0.1 2.8 200 アルミ（黒アルマイト）

270/240 0.1 4.8 700 アルミ（黒アルマイト）+鋼（無電解ニッケル）

370/330 0.1 5.4/軸 900 アルミ（黒アルマイト）+鋼（無電解ニッケル）

PT 1 C 60 − 1000S −＊① ② ③ ④ ⑤ ⑥

形番構成

①呼び形番 PT

②軸数 1：1軸（回転タイプ、ゴニオタイプ）3：3軸（傾斜+昇降タイプ）

③タイプC：回転タイプ G：ゴニオタイプV：傾斜+昇降タイプ

④外形寸法 60：60×60 mm

⑤ストローク 1000S：1000″

⑥変位センサ 無記号：静電容量センサ内蔵　N　：センサ無し

P37-42.indd 42P37-42.indd 42 10.10.13 3:08:01 PM10.10.13 3:08:01 PM

　　　　

　　　　3

ピエゾステージ

■　　保証　　■・弊社ピエゾステージには「品質・検査保証書」を添付しています。・保証期間は弊社出荷後12ヶ月間です。　期間内において正常な使用方法で故障や不具合が生じた場合は無償修理で対応します。

・次の内容に該当する場合は期間内であっても保証対象外となります。　①不適当な使用および不適当な環境での取扱いによる場合。　②火災、天災ならびに公害、異常電圧や指定外の電源・信号の使用など外部要因による場合。　③弊社以外の者による改造、修理による故障、損傷の場合。　④取扱説明書に記載されている使用方法ならびに注意書きに反する取扱いによる場合。・有償、無償を問わず修理を行う際は製品形番とともに製品に記載されたシリアル番号をご提示ください。

・弊社製品に関連して発生した下記の障害および損傷につきましては、弊社は一切の責任を負いません。　－弊社製品の使用により、または製品が使用できなかったことにより生じた間接的障害　－不可抗力による損害または損失　－第三者の所有する特許権・工業所有権およびその他権利侵害に関わる障害、損害および損失　－輸出規制の取扱いに起因する障害、損害および損失

■　　使用環境、保存環境　　■設置条件製品は、下記の温度湿度条件を満たす場所に設置してください。使用環境：10～40℃、 20～80%RH （結露なきこと）保存環境：0～50℃、 10～90%RH （凍結および結露なきこと）

下記のような場所に設置してください。・腐食性ガスや可燃性ガスがない場所・振動や衝撃が本体に伝わらない場所・鉄粉等の誘電性のある粉体、塵埃、オイルミスト、切削液、水分、塩分、有機溶剤が飛散しない場所・直射日光、輻射熱が当たらない場所・強電界、強磁界の発生しない場所・パルス性雑音源のない場所・点検や清掃のしやすい場所・常に振動する箇所、真空中、低温・高温での使用など、特殊環境下でご使用される場合は、弊社までお問い合わせください。

■　　輸出について　　■弊社の製品には輸出の法的規制に該当するものが含まれています。輸出規制対象に該当する貨物または技術の輸出には法令に従って輸出許可を申請し、許可を受けて輸出する必要があります。輸出規制に該当する製品を輸出する場合は、必ず輸出許可を得てください。

輸出の予定または可能性があり製品の該非判定書の作成を依頼される場合は弊社にお問い合わせください。

ご使用上の注意点

P01-04.indd 3P01-04.indd 3 10.10.7 7:50:08 PM10.10.7 7:50:08 PM

　　　　 4

形番 ストローク[μm]

分解能[nm]

繰り返し位置決め精度[nm]

ピッチング/ヨーイング/ローリング[″]

耐荷重[N]

共振周波数0 g/100 g[Hz]

剛性[μm/N]

リニアリティ[%]

静電容量[μF]

本体質量[g]

本体材質（表面処理）

　　（　） / / /

① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪

①ストローク ：クローズドループ制御時の最大移動量です。 　（　）内はオープンループ制御時の最大移動量を代表値として記載しています。②分解能 ：クローズドループ制御時の分解能です。③繰り返し位置決め精度 ： クローズドループ制御時の繰り返し位置決め精度です。④ピッチング/ヨーイング/ローリング ：オープンループ制御で可動出来る移動量全域での最大角度差です。 　（2軸または3軸の場合は、寸法図に記された軸方向を基準にθxθyθzの順に記載します）⑤耐荷重 ：正常動作できる搭載荷重を代表値として記載しています。⑥共振周波数 ：所定の搭載重量を載せた場合の機械的共振周波数を、代表値として記載しています。⑦剛性 ：移動テーブル進行方向の剛性を代表値として記載しています。⑧リニアリティ ：クローズドループ制御時のリニアリティです。⑨静電容量 ：圧電素子の静電容量を代表値として記載しています。⑩本体質量 ：ピエゾステージ本体の重さです。ケーブルやコネクタは含んでいません。⑪本体材質（表面処理） ：ピエゾステージ本体に使用している材質と表面処理方法です。

ピエゾステージの精度検査測定時に搭載する質量は社内基準で定めており、測定項目により多少異なりますが、目安として約50～100 g前後です。貴社の実負荷量をご指示くだされば、同負荷で測定を行います。

仕様内容の説明

P01-04.indd 4P01-04.indd 4 10.10.6 3:03:31 PM10.10.6 3:03:31 PM