ОИЯИ

«Нанотехнологии» в особой экономической зоне «Дубна»

И.Ленский, генеральный директор ОАО «Дубна-Система»

Центр коллективного пользования

Конференция «Особая экономическая зона «Дубна» - первые шаги»20 ноября 2008

ОИЯИ

Содержание

1. Статус проекта

2. Обоснование инвестиций

3.

4. Области компетенции

5. Инфраструктурные блоки

Варианты построения концепции ЦКП

6. Финансирование проекта

7. Строительство здания ЦКП

ОИЯИ

НИИПА

ЦНИИХМ АФК «Система»

ОИЯИ

Проекты Проекты РОСНАНОРОСНАНО

(Нанокаскад)(Нанокаскад)

Цель - стратегические «цепочки»

ОИЯИ

1. Статус проекта ЦКП ННТ

Создание Центра предусмотрено

соглашением Роснанотех – РосОЭЗ

Финансирование строительства здания

Центра предусмотрено перечнем объектов

ТВОЭЗ «Дубна»

ОИЯИ по заказу РосОЭЗ разрабатывает

технологические разделы обоснования

инвестиций в проект

ОИЯИ

Краткое описание проекта

ЦКП ННТ - инфраструктурный проект стратегического инвестора – ГК «Роснанотех». Основной соинвестор – ОАО «ОЭЗ» (здание 9 000 кв.м.). Ориентировочная стоимость основного оборудования – 500 млн.руб.

Задачи ЦКП ННТ: Инфраструктурное обеспечение инвестиционных проектов РОСНАНО; выполнение заказных R&D; выполнение функций нанотехнологического метрологического и сертификационного центра

Состав ЦКП ННТ : Поисковые лаборатории под задачи РОСНАНО и участников проекта; Материаловедческий, метрологический и сертификационный центр; MtM-технологии и гетерогенная интеграция (сенсоры, датчики, светодиоды, МЭМС, НЭМС и т.д.)

Заинтересованные организации/ведомства: проекты РОСНАНО, ФСТЭК (ФГУП ЦНИИХМ, НИИПА), ФСБ, ФТС, ОИЯИ, институты и организации стран-участниц ОИЯИ и другие

ОИЯИ

2. Обоснование инвестиций для ОАО «ОЭЗ Эксперт»

Определение целевых рыночных областей

Определение номенклатуры услуг и соответствующих структуры и состава оборудования центра

Оценка объема инвестиций

Проработка вариантов организационной схемы реализации проекта

Оценки финансовых параметров деятельности центра

Предложения по управлению рисками

ОИЯИ

3. Варианты построения концепции

ЦКП как инфраструктура

развития и коммерциализации

сложившихся направлений

ЦКПЦКП

ЦКП как коммерческая лаборатория

ОИЯИ

Вариант 1

ЦКП как инфраструктура развития сложившихся направлений: Формулирование областей R&D с существенными заделами и планов их развития.Подготовка соответствующего портфеля инвестиционных заявок, поиск инвесторов…

Проблемы подхода:Ключевой формат стратегического партнерства с бизнесом – инвестирование проектовСтавка на «технологические» коммерческие проекты (и обязательно «нано») – значительные риски

ОИЯИ

Вариант 2

ЦКП как коммерческая лаборатория: В центре внимания - формулирование актуальных и перспективных

ключевых областей компетенции (превосходства) в поисковых исследованиях; в метрологии и материаловедении; в сфере технологических процессов и опытного производства, которые мы в состоянии создать

ОИЯИ

Вариант 2

ЦКП как коммерческая лаборатория:

Ключевой бизнес-партнер - стратегический заказчик. Высокотехнологичные партнеры должны на старте обеспечить часть портфеля заказов ЦКП в рамках своих производственных и R&D задач (здесь «нано» - не необходимое условие «допуска»). Одновременно именно такое партнерство – один из каналов вывода нанопродуктов на рынок, встраивания их в живые бизнес-цепочки

Центр должен «угадать» завтрашний рынок и провоцировать его формирование

ОИЯИ

4. Области компетенции

«Синтез»: Технологии синтеза, создания и формирования нанообъектов, наноструктур и композитных материалов на их основе I.1 Ионно-трековые нанотехнологии полимерных

материалов I.2 Радиационно-ионные полупроводниковые технологии.

Ионно-имплантационное упрочнение материалов I.3 Коллоидный синтез наночастиц: квантовые точки,

композиты, функциональные материалы и элементы

MtM-технологии. Гетерогенная интеграция. Прототипирование

Материаловедение. Диагностика. Метрология

ОИЯИ

MtM-технологии

а) микрополосковый детектор

Фрагменты детекторных чипов, наблюдаемые в окуляре микроскопа,при 50-и кратном увеличении.(Развитие этих разработок ТГУ на базе компенсированного арсенида галлия планируется в совместном проекте ТГУ и ОИЯИ «Наноскан», ориентированном на область высокоэнергетичных гамма-квантов)

в) сканирующий детектор

б) пиксельный детектор

ОИЯИ

5. Инфраструктурные блоки

ИМЕЮЩИЕСЯ В ДУБНЕ ИМЕЮЩИЕСЯ В ДУБНЕ ЭЛЕМЕНТЫ ЭЛЕМЕНТЫ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКОЙ ИНФРАСТРУКТУРЫ ИНФРАСТРУКТУРЫ современного мирового уровня. Это - базовые установки ОИЯИ, прежде всего, ИБР2 и комплекс ускорителей тяжелых ионов ЛЯР им. Г.Н. Флерова (данный инфраструктурный блок предопределяет уникальность инфраструктуры ЦКП ННТ), а также современные лаборатории Центра высоких технологий ФГУП «НИИ прикладной акустики»

СОБСТВЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ СОБСТВЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ ЦЕНТРА,ЦЕНТРА,

при формировании состава которого основное внимание будет уделено:•Комплексированию оборудования

Центра с оборудованием инвестиционных проектов в ОЭЗ.•Повышению функциональности

комплекса в целом за счет приобретения недостающих современных компонентов,

обеспечению возможностей выхода в смежные области;

•Созданию условий для изготовления опытных образцов, прототипирования;

Включению в оснащение Центра технологического оборудования для

развития прикладных работ, по которым имеется существенный задел

ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ГРИД-ГРИД-

ИНФРАСТРУКТУРА ИНФРАСТРУКТУРА ОИЯИ ОИЯИ

Наличие подобного инфраструктурного

компонента характерно для ведущих мировых нанотехнологических

центров и необходимо для развития таких

направлений, как вычислительная

биосенсорная нанотехнология,

вычислительная химия и др.

ОИЯИ

Собственное оборудование Центра

I.СИНТЕЗ

II.ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ

ПРОЦЕССЫ. ПРОТОТИПИРОВАНИЕ. ВЫХОДНОЙ КОНТРОЛЬ

III.ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ

I.1.Участок ионно-трековых нанотехнологий полимерных материалов

I.2.Участок коллоидного синтеза наночастиц и формирования нанокомпозитных материалов 

I.3. Лаборатория радиационно-ионных полупроводниковых нанотехнологий. Ионно-имплантационное упрочнение материалов

I.4. Лаборатория биомедицинских нанотехнологий

III.1 Лаборатория электронной микроскопии

III.2 Лаборатория спектроскопии

III.3 Лаборатория ЯМР спектроскопии

III.4 Лаборатория рентгеновских методов анализа

III.5 Лаборатория элементного анализа

II.1 Участок технологических процессов (Нанофабрика)

II.2 Участок прототипирования, гетерогенной интеграции и метрологии готовой продукции

II.3 Участок рулонных нанотехнологий

ОИЯИ

Блок «Технологические процессы»II. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ. ПРОТОТИПИРОВАНИЕ. ВЫХОДНОЙ КОНТРОЛЬ.

II.1 Участок технологических процессов. Химическая отмывка кремниевых пластин Термическая обработка пластин в диффузионных печах Имплантация ионов бора и фосфора. Прецизионная контактная фотолитография. Напыление контактных слоев. Нанесение пассивирующего покрытия. Плазмохимическое и реактивно-ионное травление Визуальный контроль дефектности после основных технологических операций. Измерение электрофизических параметров приборов. Резка кремниевых пластин. Травление различных материалов. Формирование рельефа с высоким аспектным отношением. Наноимпринтлитография Наносборка с помощью атомно-силового микроскопа II.2 Участок прототипирования, гетерогенной интеграции и метрологии готовой продукции. Ультразвуковая установка для микросварки ТРТ НВ12. Установка дисковая для резки пластин KNS 7100. Зондовая установка ЭМ-6190А Сканирующий эллипсометр DELVOTEC 6400 (или Kulicke&Soffa 8060) – автомат УЗ-сварки алюминиевой проволочкой (18-75 мкм) CAMMAX DB600 – для точной расстановки и фиксации чипов на гибридных сборках Dage 2400A – тестер для проверки качества сварки Karl Suess PA200HR – зондовое устройство для контроля параметров на пластинах 8” OGP CNC250 – оптический 3D измерительный микроскоп Keithley 4200-SCS/F – анализатор для измерения характеристик ППД Прочее оборудование для сборки и измерений Оборудование для bump-bonding пиксельных гетерогенных систем Лазерная система для изготовления PCB Фрезеровально-сверлильный станок для изготовления PCB Система гальванической металлизации отверстий в PCB на основе 119987 LPKF MiniContac RS Система гальванической металлизации отверстий в PCB на основе 111253 LPKF Contac III II.3 Опытный участок рулонных радиационно-ионных технологий.

ОИЯИ

Участие бизнес-партнера

По

ртф

ель

зак

азо

в

R&

D н

а б

азе

ЦК

П

Уп

рав

лен

ие

оп

ерац

ио

нн

ой

д

еяте

ль

но

сть

ю Ц

КП

ОА

О «

ЦК

П Н

НТ

»

Уст

авн

ый

кап

ита

л

Проекты РОСНАНО

ОИЯИ

ЦНИИХМ

……..

Компоненты участия стратегического бизнес-партнера

Обязательства по

формированию портфеля заказов

Собственные проектные группы арендуют участки

ЦКП

Передача в аутсорсинг

Участие в учреждении

компании

Конфигурирование ЦКП под

собственные задачи

Раз

раб

отк

а ко

нц

епц

ии

. С

ост

ав о

бо

руд

ов

ани

я,

баз

ов

ые

ком

пет

енц

ии РОСНАНО

ОАО «ОЭЗ»

ОИЯИ

………

ОИЯИ

Соглашение ЦНИИХМ-ОИЯИ

Формирование и организация работы аналитического участка ЦКП, в том числе с учетом возможности проведения анализа методами электронной микроскопии с атомарным разрешением

Формирование в ЦКП участка наноимпринт литографии для прототипирования и мелкосерийного производства МЭМС и НЭМС, с использованием технологических возможностей участка электронно-лучевой литографии ЦНИИХМ, в том числе на базе разработок ЦВТ института

Формирование и организация работы центра компетенции и прототипирования в области детекторных систем, в том числе сцинтилляционных экранов на базе нанокристаллических порошков, полупроводниковых детекторных сенсоров и т.д.

Разработка технологии создания функциональных структур и устройств на основе полупроводниковых коллоидных квантовых точек и темплатных структур на базе трековых мембран и структур, формируемых методами наноимпринт литографии.

Формирование и развитие номенклатуры трековых мембран, систем и устройств на их основе

ОИЯИ

6. Финансирование проекта

ОБЩАЯ СТОИМОСТЬ ОБОРУДОВАНИЯ

1 этап 2 этап

I. СИНТЕЗ 45 704 900

II. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ. ПРОТОТИПИРОВАНИЕ. ВЫХОДНОЙ КОНТРОЛЬ

164 305 131 500

III. ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ 333 060 404 450

ИТОГО 543 069 536 850

ОИЯИ

7. Строительство здания ЦКП

ОИЯИ

Блок Лаборатория Кол-во

помещений Площадь помещений, кв.м.

1-й этаж 2-й этаж 3-й этаж ИТОГО

Синтез

Коллоидный синтез наночастиц 3 162 0 0 162 Синтез полимерных материалов 4 0 180 0 180 Биотехнологии 3 0 144 0 144 Ионная имплантация 2 0 84 0 84

162 408 0 570

Характеризация

Микроскопия 5 204 0 0 204 Спектроскопия 2 0 96 0 96 ЯМР-спектроскопия 1 100 0 0 100 Рентгеновских методов 2 60 0 0 60 Элементного анализа 3 84 0 0 84

448 96 0 544

Технологические процессы

Технологические процессы 7 342 0 342 Гетерогенная интеграция 8 306 0 84 390 Прототипирование PCB 3 0 0 90 90

648 0 174 822 Всего лабораторных помещений кв.м. 1258 504 174 1936 Всего офисных помещений кв.м. 156 228 576 960 Всего площадей общего пользования кв.м. 2784 558 492 3834

Общая площадь представленных

этажей кв.м. 4198 1290 1242 6730

Планировка помещений

ОИЯИ

Центр коллективного пользования оборудованием «Нанотехнологии»

Административное здание(Центр трансфера технологий/ бизнес-инкубатор)