טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי
DESCRIPTION
טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי. S. Moshe, S. Toledano, K. Finkelstein, R. Sarfaty, S. Richter, S. Stolyarova, and Y. Nemirovsky. מוטיבציה מבנה תהליכי עבוד מדידות מסקנות. תשתיות יקרות!. לגעת בגבולות הטכנולוגיות בנקודת המפגש עם הכימיה והביולוגיה. - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
![Page 1: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/1.jpg)
טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים(sensors) - מחקר טכנולוגי
S. Moshe, S. Toledano, K. Finkelstein, R. Sarfaty, S. Richter, S. Stolyarova, and Y. Nemirovsky
מוטיבציה
מבנה
תהליכי עבוד
מדידות
מסקנות
![Page 2: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/2.jpg)
![Page 3: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/3.jpg)
תשתיות יקרות!
תשתיות יקרות!
![Page 4: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/4.jpg)
לגעת בגבולות הטכנולוגיות בנקודת המפגש עם הכימיה והביולוגיה.
![Page 5: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/5.jpg)
Development of nano-transistor based on
Self Assembly deposition of Biological Molecules
Department of Electronics and Electrical engineering ,
Ort Braude College, Karmiel
&
Nano-science and nano-technology institute,
Tel Aviv Universityby Shai-li Moshe advisors: Dr. Shachar
Richter
Dr. Rona Sarfaty
![Page 6: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/6.jpg)
האתגר – שילוב טכנולוגי, כימי וביולוגי.אלקטרוניקה מולקולרית
טרנזיסטור ייחודי )אקלקטי( :
Siשפך ומקור טכנולוגית 1.
תעלה ביו-מולקולרית 2.
החלפת הליטוגרפיה 3.הטכנולוגית בתהליך כימי
Self Assemblyשל
שער פוטוני.4.
Why M
olecules ?
![Page 7: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/7.jpg)
The device
Si
SiO2
Si3N4
Ti
Au
Indium-Tin-Oxide (ITO)
Photo-System-I
1. Si/SiO2 (575um/200nm) substrate2. Photo lithography3. Ti/Au (10nm/140nm)4. Lift off5. 50nm Silicon Nitride PECVD
6. 7. Photo lithography to define:
I. cavities for SAM
II. vias to bottom electrodes
8. Nitride RIE
AFM – 3D of a cavity
Optical Microscope
1um
![Page 8: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/8.jpg)
PS-I molecule פוטוסינתזה חמצניתבתהליךקומפלקס חלבוני המעורב
![Page 9: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/9.jpg)
ITO
Au
SAM (PS-I)inside a cavity
Si3N4
SiO2
Si
3D illustration
light
Bottomelectrode
Top electrode
SAMTop View
![Page 10: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/10.jpg)
Electrical measurements
-1.5 -1.0 -0.5 0.0 0.5 1.0 1.5-6
-4
-2
0
2
4
6
Cur
rent
)nA
(
Voltage )V(
Dark Light 50W Light 100W
2. Photo-current effect A KEITHLEY236
Olympus lamp Hal-L12V 100W
![Page 11: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/11.jpg)
conclusions
• Conductance is through the molecules
• Gating by light – 8nm channel
• Full encapsulation - no performance reduction
• Total VLSI compatibility
![Page 12: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/12.jpg)
Image of the 100 nL volume electrochemical chip. )a( Silicon chip contains an array of eight miniaturized electrochemical cells with external pads.
Novel Integrated Electrochemical Nano-Biochip for Toxicity Detection in Water
Prof. Yosi Shacham
![Page 13: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/13.jpg)
Uncooled IR sensors: the Honeywell VOx bolometer
Array: 320 * 240
Pixel: (30-50 )* 50 micron
NETD ~ 30 mK (Optics)
Cost < $ 2 K
2%
![Page 14: טרנזיסטורים מולקולאריים וגלאים ( sensors ) - מחקר טכנולוגי](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022081506/568148f3550346895db611e9/html5/thumbnails/14.jpg)