سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های zno
DESCRIPTION
سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO. فهرست. 1.نانو ساختارهای تک بعدی 2.نانو میله ZnO 3.نحوه عملکرد سنسور گازی ZnO 4.روش های ساخت 5.نتایج. نانو ساختارهای تک بعدی. نانو ساختار های تک بعدی : نانو میله ها نانو سیمها نانو تیوب ها و ... - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
![Page 1: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/1.jpg)
1
بر مبتنی گازی سنسورهای ZnOنانومیله
بر مبتنی گازی سنسورهای ZnOنانومیله
![Page 2: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/2.jpg)
2
فهرستفهرست
1 .بعدی تک ساختارهای نانو2 .میله ZnOنانو3 .گازی سنسور عملکرد ZnOنحوه4 .ساخت های روش5.نتایج
1 .بعدی تک ساختارهای نانو2 .میله ZnOنانو3 .گازی سنسور عملکرد ZnOنحوه4 .ساخت های روش5.نتایج
![Page 3: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/3.jpg)
3
بعدی تک ساختارهای بعدی نانو تک ساختارهای نانو
: بعدی تک های ساختار نانو ها میله نانو سیمها نانو... و ها تیوب نانو
خصوصیات برای را بسیاری توجه امروزهدر روزافزون کاربردهای و فرد به منحصرجلب خود به نوری الکترونیک و الکترونیک
. اند کرده
: بعدی تک های ساختار نانو ها میله نانو سیمها نانو... و ها تیوب نانو
خصوصیات برای را بسیاری توجه امروزهدر روزافزون کاربردهای و فرد به منحصرجلب خود به نوری الکترونیک و الکترونیک
. اند کرده
![Page 4: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/4.jpg)
4
های نانومیله های ZnOمشخصات نانومیله ZnOمشخصات
در مختلف و افزون روز کاربردهایساخت روز تکنولوژی
,Field effect transistor Ultraviolet photo detector , Schottky diode , and Ultra-bright light-emittingdiode (LED)
در مختلف و افزون روز کاربردهایساخت روز تکنولوژی
Field effect transistor, Ultraviolet photo detector , Schottky diode , and Ultra-bright light-emitting diode (LED)
![Page 5: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/5.jpg)
5
سطحی ( Adsorption)جذب سطحی ( Adsorption)جذب
جذب م مولکول های یا اتم ها جذب فرآیند سطحی
با تماس در گاز یا مایع یک در وجود . بوسیله جذب این است جامد سطح یک
روی همدوسی و چسبندگی نیروهایمی دهد.
بلندبرد سست نیروهای با سطحی جذب نیروهای با و آغاز واندروالسی نیروی مانند پایان فلزی و یونی مانند برد کوتاه نیرومند
می یابد.
جذب م مولکول های یا اتم ها جذب فرآیند سطحی
با تماس در گاز یا مایع یک در وجود . بوسیله جذب این است جامد سطح یک
روی همدوسی و چسبندگی نیروهایمی دهد.
بلندبرد سست نیروهای با سطحی جذب نیروهای با و آغاز واندروالسی نیروی مانند پایان فلزی و یونی مانند برد کوتاه نیرومند
می یابد.
![Page 6: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/6.jpg)
6
سطحی سطحی جذب جذب
مواد و جامد سطح بین دمای اختالف هرچهمی دهد روی زودتر جذب باشد، بیشتر جذبی
محرکه نیروی مواد، گرمایی انرژی زیرا. است سطح روی جذب
مواد و جامد سطح بین دمای اختالف هرچهمی دهد روی زودتر جذب باشد، بیشتر جذبی
محرکه نیروی مواد، گرمایی انرژی زیرا. است سطح روی جذب
![Page 7: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/7.jpg)
7
جذب ریاضی جذب روابط ریاضی روابط
موجود جذب برای ریاضی رابطه چند: هنری. رابطه است
X=Kh*PX. پوشش مورد .Pسطح گاز Khفشار
ثابت ضریب: النگمویر جذب ایزوترم
آن در کل θکه به پوشیده شده سطح نسبت. جذب برای دسترس در یا pسطح فشار
و نظر مورد گاز تعادل Kغلظت ثابت. است جذب واکنش
موجود جذب برای ریاضی رابطه چند: هنری. رابطه است
X=Kh*PX. پوشش مورد .Pسطح گاز Khفشار
ثابت ضریب: النگمویر جذب ایزوترم
آن در کل θکه به پوشیده شده سطح نسبت. جذب برای دسترس در یا pسطح فشار
و نظر مورد گاز تعادل Kغلظت ثابت. است جذب واکنش
![Page 8: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/8.jpg)
8
تمکین تمکین ایزوترم ایزوترم
: تمکین جذب ایزوترم
آن در نسبت ) θکه سطح پوششی کسردسترس در سطح کل به پوشیده شده سطح
) ، جذب مورد pبرای گاز غلظت یا فشارو بوده .Bو Aنظر هستند ثابت مقادیر
: تمکین جذب ایزوترم
آن در نسبت ) θکه سطح پوششی کسردسترس در سطح کل به پوشیده شده سطح
) ، جذب مورد pبرای گاز غلظت یا فشارو بوده .Bو Aنظر هستند ثابت مقادیر
![Page 9: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/9.jpg)
9
های های ZnOنانومیله ZnOنانومیله
نانو روی بر گاز های مولکول سطحی جذبکه شود می باعث اکسید روی ها میلههدایت قبیل از ها نانومیله خصوصیات
.. نانومیله و تشدید،جرم الکتریکی،فرکانس. کند تغییر ها
را محیط در گاز وجود میتوان وسیله بدین. داد تشخیص
از استفاده با جریان یک ایجاد راه بهترینبررسی و نانومیله سر دو ولتاژ اعمال
. است گاز معرض در آن جریان تغییرات
نانو روی بر گاز های مولکول سطحی جذبکه شود می باعث اکسید روی ها میلههدایت قبیل از ها نانومیله خصوصیات
.. نانومیله و تشدید،جرم الکتریکی،فرکانس. کند تغییر ها
را محیط در گاز وجود میتوان وسیله بدین. داد تشخیص
از استفاده با جریان یک ایجاد راه بهترینبررسی و نانومیله سر دو ولتاژ اعمال
. است گاز معرض در آن جریان تغییرات
![Page 10: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/10.jpg)
10
های های ZnOنانومیله ZnOنانومیله
![Page 11: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/11.jpg)
11
های میله های ZnOنانو میله ZnOنانو
در است مشخص نمودار در که همانطوراتفاق نانومیله جریان در پیک یک گاز معرض
میوفتد. وجود به باالیی بسیار حساسیت سنسور این
. دارد گاز
در است مشخص نمودار در که همانطوراتفاق نانومیله جریان در پیک یک گاز معرض
میوفتد. وجود به باالیی بسیار حساسیت سنسور این
. دارد گاز
![Page 12: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/12.jpg)
12
های میله های ZnOنانو میله ZnOنانو
گازهای ازای به سنسور حساسیت میزان. است متفاوت مختلف
گازهای ازای به سنسور حساسیت میزان. است متفاوت مختلف
![Page 13: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/13.jpg)
13
ساخت های روش ساخت انواع های روش انواع
بر میله نانو رشد ساخت روش ترین متداولبخار substrateروی پاشیدن ZnOتوسط
. باشد می وخط روند دارای روش متداول روش
. است منظور مشخص عملی و آزمایشی بخارZnO به .3را کرد تهیه توان می روش
)Thermal evaporation گرمایی ) تبخیر)Chemical reduction شیمیایی )کاهش)Vapor-Liquid-Solidمایع،جامد،گاز(
بر میله نانو رشد ساخت روش ترین متداولبخار substrateروی پاشیدن ZnOتوسط
. باشد می وخط روند دارای روش متداول روش
. است منظور مشخص عملی و آزمایشی بخارZnO به .3را کرد تهیه توان می روش
Thermal evaporation( گرمایی (تبخیرChemical reduction( شیمیایی (کاهشVapor-Liquid-Solid(مایع،جامد،گاز)
![Page 14: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/14.jpg)
14
ساخت ساخت روش روش
Thermal evaporation روش این با ZnOدر مخلوط SnO2را
باال دمای در حرارت با را ترکیب این و کرده. کنند می تبخیر
Chemical reduction از ابتدا روش این از ZnOدر استفاده با
بخار شیمیایی کاهش استخراج Znروش را . بخار سپسس کنند روی Znمی بر را
substrate با شدن ترکیب با که پاشند میبه دوباره .ZnOاکسیژن شود می تبدیل
Thermal evaporation روش این با ZnOدر مخلوط SnO2را
باال دمای در حرارت با را ترکیب این و کرده. کنند می تبخیر
Chemical reduction از ابتدا روش این از ZnOدر استفاده با
بخار شیمیایی کاهش استخراج Znروش را . بخار سپسس کنند روی Znمی بر را
substrate با شدن ترکیب با که پاشند میبه دوباره .ZnOاکسیژن شود می تبدیل
![Page 15: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/15.jpg)
15
ساخت ساخت VLSروش VLSروش
بر را کاتالیزور از قطراتی ابتدا روش این درمی substrate روی خاصی الگوی طبق
ریزند.: از عبارتند کاتالیزورها
قلع و طال،مس،نیکل بخار از Znسپس ترکیبی در CO/CO2و را
باعث substrateمعرض که میدهند قرار. شود می ها میله نانو رشد
بر را کاتالیزور از قطراتی ابتدا روش این درمی substrate روی خاصی الگوی طبق
ریزند.: از عبارتند کاتالیزورها
قلع و طال،مس،نیکل بخار از Znسپس ترکیبی در CO/CO2و را
باعث substrateمعرض که میدهند قرار. شود می ها میله نانو رشد
![Page 16: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/16.jpg)
16
VLSروش VLSروش
![Page 17: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/17.jpg)
17
VLSروش VLSروش
![Page 18: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/18.jpg)
18
VLSروش VLSروش
![Page 19: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/19.jpg)
19
ها میله ها نانو میله نانو
![Page 20: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/20.jpg)
20
MOCVDروش MOCVDروش
- آلی فلز بخار های برآرایی روش از یکیبرآرایی بهتر تعبیر به و نشانی الیه
رشد برای فرایند این از است؛ بخار فاز از چند ساختارهای مانند کریستالی های الیه
. شود می استفاده هادی نیمه الیه الیه یک پیشرفته های رآکتور در روش این در
برروی را گاز از نازک می substrateبسیارنشانند.
دقیق بسیار الیه این کیفیت و ضخامتروی. بر شده نشانده مواد سپس است
substrate . دهند می رشد را
- آلی فلز بخار های برآرایی روش از یکیبرآرایی بهتر تعبیر به و نشانی الیه
رشد برای فرایند این از است؛ بخار فاز از چند ساختارهای مانند کریستالی های الیه
. شود می استفاده هادی نیمه الیه الیه یک پیشرفته های رآکتور در روش این در
برروی را گاز از نازک می substrateبسیارنشانند.
دقیق بسیار الیه این کیفیت و ضخامتروی. بر شده نشانده مواد سپس است
substrate . دهند می رشد را
![Page 21: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/21.jpg)
21
MOCVDروش MOCVDروش
ماده های پیش از استفاده با روش این در ) ( رشد- دمای ، فلز حامل گازهای فلزی آلی
با نازک های الیه توان می و یافته کاهش . خالف بر کرد تهیه بهتری کیفیت
با روش این مولکولی باریکه برآرایی روش و است همراه شیمیایی واکنش یک
( فشار در نمی دهد رخ خالء کیلو 100تا 2درپاسکال(.
ماده های پیش از استفاده با روش این در ) ( رشد- دمای ، فلز حامل گازهای فلزی آلی
با نازک های الیه توان می و یافته کاهش . خالف بر کرد تهیه بهتری کیفیت
با روش این مولکولی باریکه برآرایی روش و است همراه شیمیایی واکنش یک
( فشار در نمی دهد رخ خالء کیلو 100تا 2درپاسکال(.
![Page 22: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/22.jpg)
22
شیمیایی ساخت شیمیایی روش ساخت روش
یک برروی روی سیلیکون substrateاکسیدهیدروترمال سنتز از استفاده با میتواند
. شود ساخته واکنش نوع هر به � عمدتا هیدروترمال کلمه
دماهایی در آبی حالل حضور در ناهمگن در نتیجه در و بحرانی دمای از باالتر
. عبارت به می شود اطالق باال فشارهایآبی حالل واکنش های به هیدروترمال دیگر
° از باالتر دماهایی در فشارهایی C۱۰۰ که واز . ۱باالتر به می شود اطالق اتمسفر
دو از ترمال هیدرو واژه عمومی صورتکه شده است تشکیل ترمال و هیدرو بخش. می دهد نشان را محلول نوع هیدرو پیشوند
یک برروی روی سیلیکون substrateاکسیدهیدروترمال سنتز از استفاده با میتواند
. شود ساخته واکنش نوع هر به � عمدتا هیدروترمال کلمه
دماهایی در آبی حالل حضور در ناهمگن در نتیجه در و بحرانی دمای از باالتر
. عبارت به می شود اطالق باال فشارهایآبی حالل واکنش های به هیدروترمال دیگر
° از باالتر دماهایی در فشارهایی C ۱۰۰که واز . ۱باالتر به می شود اطالق اتمسفر
دو از ترمال هیدرو واژه عمومی صورتکه شده است تشکیل ترمال و هیدرو بخش. می دهد نشان را محلول نوع هیدرو پیشوند
![Page 23: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/23.jpg)
23
نانومیله ساخت نانومیله znoروش ساخت znoروش
: ابتدایی موادZn(SO4).7H2ONH4OH
ابتدا کامل substrateدر طور به باید . که شود می باعث شستشو این شود شسته
. شود پخش بتواند درستی به محلول آنکه از قرار substrateبعد آبی محلول در
دمای در اجاق در را آن شد 95-75دادهمدت به .10درجه دهند می گرما دقیقه
: ابتدایی موادZn(SO4).7H2ONH4OH
ابتدا کامل substrateدر طور به باید . که شود می باعث شستشو این شود شسته
. شود پخش بتواند درستی به محلول آنکه از قرار substrateبعد آبی محلول در
دمای در اجاق در را آن شد 95-75دادهمدت به .10درجه دهند می گرما دقیقه
![Page 24: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/24.jpg)
24
ساخت ساخت روش روش
گرما از یونیزه substrateبعد دی آب با. شود می شسته
دمای در مدت 150سپس به هوا در درجه10. شود می خشک دقیقه
گرما از یونیزه substrateبعد دی آب با. شود می شسته
دمای در مدت 150سپس به هوا در درجه10. شود می خشک دقیقه
![Page 25: سنسور گازی مبتنی بر نانومیله های ZnO](https://reader038.vdocuments.net/reader038/viewer/2022102601/56814347550346895dafbf58/html5/thumbnails/25.jpg)
25
ساخت ساخت روش روش