คู่มือการใช้เครื่อง evaporation operation ·...
TRANSCRIPT
![Page 1: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/1.jpg)
คู่มือการใช้เคร่ือง Evaporation Operation
![Page 2: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/2.jpg)
เครื่อง Evaporation Operation เป็นเครื่องมือที่ใช้ส ำหรับกำรปลูกฟิล์มบำงหรือเคลือบผิวชิ้นงำน โดยอำศัยหลักกำรระเหยในกำรเคลือบฟิล์มบำงหรือเคลือบผิวชิ้นงำน
1.อุปกรณ์ที่ต้องเตรียมก่อนใช้งานเครื่อง Evaporation Operation
1.1.วัสดุหรือชิ้นงำนที่ต้องกำรเคลือบผิวหรือปลูกฟิล์มบำง
1.2.ลวดโลหะที่ต้องกำรใช้เคลือบ เช่น Ti, Ag, Cr, Cu เป็นต้น สำมำรถเบิกได้กับเจ้ำหน้ำที่สโตร์
1.3.แผ่นรองชิ้นงำน แผ่นรองชิ้นงำนควรเลือกแบบของแผ่นรองชิ้นงำนให้เหมำะสมกับชิ้นงำนโดยแผ่นรองชิ้นงำนมีทั้งหมด 3 ลักษณะดังภำพ (แผ่นรองชิ้นงำนจะวำงอยู่ที่ชั้นเก็บของชั้นที่ 3 ในห้อง Class 10,000) บริเวณรูตรงกลำงของแผ่นรองชิ้นงำนแต่ละชนิดนั้นจะใช้ส ำหรับเพื่อวำงตัววัดควำมหนำ
- ลักษณะที่ 1 ใช้กับขนำดของกระจกสไลด์
![Page 3: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/3.jpg)
- ลักษณะที่ 2 ใช้กับลักษณะงำนที่เป็นทรงกลม
- ลักษณะที่ 3 ใช้ได้กับงำนทุกขนำด
1.4. PI เทป เพ่ือใช้ส ำหรับติดชิ้นงำน
1.5.Boat ส ำหรับใส่ลวดโลหะที่ต้องกำรใช้เคลือบ สำมำรถเบิกได้กับเจ้ำหน้ำที่ที่ดูแลสโตร์หรือหยิบได้จำกกล่องใส่ Boat ที่อยู่ตรงชั้นวำงของชั้นที่ ในห้อง Class 10,000 Boat แต่ละชนิดจะมีถุงซิบใส่อยู่และมีชื่อติดที่หน้ำถุง
1.6.แผ่นใสเพ่ือใช้เปลี่ยนเอำแผ่นเดิมที่อยู่ในเครื่องออกแล้วติดแผ่นใหม่เพ่ือท ำให้เรำสำมำรถมองเห็นลวดโลหะได้ในขณะเกิดกำรหลอมเหลว
1.7.แว่นตำ เพ่ือส่วมใส่ป้องกันแสงที่เกิดระหว่ำงที่โลหะเกิดกำรหลอมเหลวแสงที่เกิดขึ้นถ้ำมองด้วยตำเปล่ำอำจจะเกิดอันตรำยได้
![Page 4: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/4.jpg)
2.ขั้นตอนการท าความสะอาดวัสดุหรือชิ้นงานที่ต้องการเคลือบผิวหรือปลูกฟิล์มบาง ในกรณีนี้จะยกตัวอย่างวัสดุที่เป็นกระจก โดยมีมีขั้นตอนดังต่อไปนี้
2.1อุปกรณ์ที่ต้องเตรียม
2.1.บีกเกอร์จ ำนวน 4 ใบ เลือกขนำดที่เหมำะสมกับชิ้นงำน
2.2.แอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ 25 % (NH4OH)
2.3.ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 30 % (H2O2)
2.4.น้ ำ DI
2.5.เทปลอน ใช้ส ำหรับวำงกระจก
2.6.เทอร์โมมิเตอร์ ใช้ส ำหรับวัดระดับอุณหภูมิในขณะมีกำรต้มสำรเคมี
2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพ่ือป้องกันกำรระเหย
วิธีการท า
1.ผสม(น้ ำ DI + แอมโมเนียมไฮดรอกไซด์ 25 % (NH4OH) + ไฮโดรเจนเปอร์ออกไซด์ 30 % (H2O2)) ในอัตรำส่วน (5 : 1 : 1) แล้วน ำไปต้มที่อุณหภูมิ 70-80 องศำเซลเซียส
2.แล้วใส่เทปลอนที่ใช้วำงกระจกและแผ่นกระจกท่ีต้องกำรท ำควำมสะอำดลงไปนำน 10 นำที
![Page 5: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/5.jpg)
3.จำกนั้นน ำขึ้นมำล้ำงในน้ ำ DI ที่ใส่บีกเกอร์เตรียมไว้ 3 บีกเกอร์ จุ่มในน้ ำ DI ทั้ง 3 น้ ำ จุ่มประมำณ 20 ถึง 30 ครั้ง โดยประมำณ
4.จำกนั้นน ำไปเป่ำด้วยแก๊สไนโตรเจนแล้วน ำไปอบที่อุณหภูมิ 90 องศำเซลเซียส นำน 30 นำที
3.อุปกรณ์ที่ต้องเตรียมเพื่อท าความสะอาดลวดโลหะท่ีต้องการใช้
3.1.บีกเกอร์แก้วหรือพลำสติกขนำดเล็กประมำณ 25 ml หรือ 50 ml
3.2.สำรเคมี Ethanol 95%
3.3.ฟรอยด์
3.4.น้ ำ RO
![Page 6: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/6.jpg)
3.1ขั้นตอนการท าความสะอาดลวดโลหะที่ต้องการใช้เคลือบ
3.1. เลือกลวดโลหะทีต่้องกำรใช้เคลือบ เช่น Ti, Ag, Cr, Cu เป็นต้น
3.2.ตัดลวดโลหะที่ต้องกำรใช้ให้เพียงพอกับขนำดควำมหนำของลวดโลหะที่ต้องกำรใช้เคลือบ แล้วน ำมำตัดเป็นท่อนเล็กๆให้มีขนำด 1-2 มิลลิเมตร
3.3.น ำลวดโลหะที่ตัดเสร็จเรียบร้อยแล้วใส่ในบีกเกอร์ที่เตรียมไว้โดยใช้บีกเกร์ที่มีขนำด 25 ml หรือ 50 ml น ำสำรเคมี Ethanol เทลงในบีกเกอร์ในปริมำณที่พอท่วมชิ้นของลวดโลหะ แล้วน ำใส่ลงไปตรงกลำงของเครื่อง อัลตรำโซนิก และใช้ตัวหนีบหนีบบีกเกอร์ไว้เพื่อไม่ให้บีกเกอร์ล้ม (เครื่องอัลตรำโซนิกจะอยู่ในห้อง wet lab )
![Page 7: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/7.jpg)
3.4. เปิดเครื่องอัลตรำโซนิกจำกสวิตซ์ด้ำนหน้ำเครื่อง
3.5. ตั้งค่ำเวลำที่ต้องกำรใช้ท ำควำมสะอำดโดยกดลูกศรขึ้นลงเลือกเวลำตำมที่ต้องกำร เวลำที่ใช้ในกำรท ำควำมสะอำดลวดโลหะด้วย Ethanol จะใช้เวลำ 15 นำที
3.6. ตั้งค่ำระดับพลังงำนที่ต้องกำรท ำควำมสะอำดโดยกดปุ่มข้ึนลงเลือกระดับพลังงำนตำมที่ต้องกำร ระดับพลังงำนที่ต้องกำรใช้คือระดับพลังงำนที่ 9
ปุ่มเปิดเครื่องอัลตราโซนิก
![Page 8: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/8.jpg)
3.7.กดปุ่ม SONICS เครื่องจะท ำกำรอัลตรำโซนิกแล้วรอจนครบเวลำที่ตั้งไว้
3.8.เมื่อท ำควำมสะอำดลวดโลหะครบตำมจ ำนวนเวลำที่ตั้งไว้แล้วให้เท Ethanol ออกโดยเทใส่ขวดทิ้งสำร Ethanol จะอยู่ด้ำนหน้ำห้อง wet lab หลังจำกท่ีเท Ethanol ทิ้งแล้วให้ใส่น้ ำ Ro ลงไปในบีกเกอร์ แล้วน ำใส่ลงไปในเครื่องอัลตรำโซนิก ตั้งเวลำ 15 นำที ท ำเช่นเดิมเป็นจ ำนวน 2 ครั้ง หลังจำกนั้นเมื่อครบแล้วให้เทน้ ำ Ro ทิ้ง โดยทิ้งที่อ่ำงล้ำงภำชนะได้เลยระวังอย่ำให้ลวดโลหะร่วงลงไปในอ้ำงล้ำงภำชนะ
3.9.น ำฟรอยด์มำพับเป็นรูปถ้วยแล้วใส่ลวดโลหะท่ีท ำควำมสะอำดเสร็จแล้วลงไปในถ้วยฟรอยด์ที่พับไว้
3.10.น ำฟรอยด์ที่มีลวดโลหะอยู่ด้ำนในไปอบในเตำอบ (เตำอบจะอยู่ในห้อง wet lab) ตั้งอุณหภูมิของเตำอบที่ 95 องศำเซลเซียส เวลำที่ใช้อบ 30 นำที
![Page 9: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/9.jpg)
ปุ่มหมุนปรับเพื่อเพิ่มอุณหภูมิในเตาอบ
ปุ่มหมุนปรับเพื่อเพิ่มตั้งเวลาในการอบ
ปุ่มหมุนปรับเพื่อเพิ่มอุณหภูมิในเตาอบ
4.วิธีการใช้เครื่อง Evaporation Operation
1. เลือกแผ่นรองชิ้นงำนให้เหมำะสมกับชิ้นงำน โดยแผ่นลองชิ้นงำนมีทั้งหมด 3 ชนิดดังภำพ (แผ่นรองชิ้นงำนจะวำงอยู่ที่ชั้นเก็บของชั้นที่ 3 ในห้อง Class 10,000) บริเวณรูตรงกลำงของแผ่นรองชิ้นงำนแต่ละชนิดนั้นจะใช้ส ำหรับเพื่อวำงตัววัดควำมหนำ
- ชนิดที่ 1 ใช้กับขนำดของกระจกสไลด์
![Page 10: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/10.jpg)
- ชนิดที่ 2 ใช้กับลักษณะงำนที่เป็นทรงกลม
- ชนิดที่ 3 ใช้ได้กับงำนทุกขนำด
2. น ำชิ้นงำนมำติดด้วย PI เทป เพื่อยึดชิ้นงำนให้ติดกับฐำนของแผ่นรองชิ้นงำน (ในภำพจะยกตัวอย่ำงลักษณะของแผ่นลองชิ้นงำนชนิดที่ 3)
![Page 11: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/11.jpg)
3.เปิดวำล์ว vent อำกำศปล่อยเพ่ืออำกำศออก (ก่อนเปิดวำล์ว vent อำกำศ ควรเช็คดูก่อนว่ำวำล์ว Dry scroll pump เปิดอยู่หรือไม่โดยลักษณะของวำล์ว Dry scroll pump จะคว้ ำลงอยู่ข้ำงวำล์ว vent ) เมื่อเปิดวำล์วรอจนอำกำศออกจนหมดโดยจะมีเสียงลมดังขึ้นรอฟังจนเสียงลมเงียบ วำล์วจะอยู่ด้ำนหลังของเครื่อง ลักษณะของวำล์วจะหงำยขึ้น
4.หลังจำกปล่อยอำกำศออกจำกเครื่องจนหมดแล้วให้เปิดฝำเครื่องออก โดยโยกคันโยกท่ีอยู่ด้ำนซ้ำยมือหรือไปทำงด้ำนUp ที่ตัวคันโยกจะมีป้ำยติดบอกทิศทำงคันโยก
![Page 12: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/12.jpg)
5.เมื่อเปิดฝำเครื่องขึ้นมำแล้วก่อนจะใช้งำนเครื่องควรท ำควำมสะอำดบริเวณด้ำนในเครื่องเสียก่อน เพ่ือก ำจัดฝุ่นละอองที่อยู่ด้ำนในเครื่องหรือครำบสกปรกต่ำงๆ โดยใช้ลมไนโตรเจนเป่ำที่ด้ำนในเครื่อง (สำยลมไนโตรเจนจะอยู่ข้ำงหลังตู้เย็นสีด ำในห้อง Class 10,000) และใช้ผ้ำบลูเซอร์ชุบกับ IPA เช็คท ำควำมสะอำดด้ำนในซ้ ำอีกรอบ
6.สั่งเกตุที่ช่องของเครื่องทั้งด้ำนล่ำงและด้ำนบนว่ำแผ่นใสที่ติดไว้มีกำรเปลี่ยนหรือยังถ้ำยังไม่ถูกเปลี่ยนให้เรำน ำแผ่นใสที่อยู่บนชั้นของกล่องใส่อุปกรณ์กรรไกร , PI เทป , อุปกรณ์ซ่อม (กล่องดังกล่ำวจะอยู่ที่ชั้นวำงของชั้นที่ 2 ในห้อง Class 10,000) จุดประสงค์ที่เรำต้องเปลี่ยนแผ่นใสที่ช่องของเครื่องนั้นเพ่ือท ำให้เรำสำมำรถมองเห็นลักษณะกำรหลอมละลำยของโลหะได้
7.จำกนั้นน ำแผ่นรองติดชิ้นงำนที่ถูกติดชิ้นงำนเรียบร้อยแล้วมำใส่ลงในเครื่องโดยใส่ให้ตรงรูของเสำที่ตั้งข้ึนภำยในเครื่องระยะห่ำงของแผ่นรองชิ้นงำนกับด้ำนล่ำงของเครื่อง ควรจะห่ำงอย่ำงน้อย 1 ไม้บรรทัด โดยวัดจำกฐำนของเสำที่อยู่ภำยในเครื่อง ลักษณะของแผ่นรองชิ้นงำนควรเสมอกันไม่เอียงด้ำนใดด้ำนหนึ่ง และใส่ตัววัดควำมหนำลงไปยังช่องตรงกลำงของแผ่นรองชิ้นงำน
![Page 13: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/13.jpg)
8.ตรวจสอบสำยไฟที่อยู่ด้ำนล่ำงว่ำเชื่อกับหมำยเลขใดอยู่แล้วใส Boat ที่จะใช้งำนให้ตรงกับหมำยเลขของสำยไฟ(Boat ด้ำนหน้ำสุดใช้สำยไฟหมำยเลข1,Boat กลำง.ใช้สำยไฟหมำยเลข2และ Boat หลังสุดใช้สำยไฟหมำยเลข 3) จำกนั้นให้ใส่ Boat ให้ตรงกับหมำยเลขสำยไฟ กำรใส่ Boat จะต้องใส่ให้มีลักษณะดังภำพ โดยเริ่มหมุนน็อตของตัวยึด Boat ทั้ง 2 ด้ำนออกน็อตจะข้ำงละ 4 ตัว จำกนั้นใส่ Boat เข้ำไปยังตัวยึดโดยจะสอดลงด้ำนล่ำงดังภำพ เมื่อใส่ Boat เรียบร้อยแล้วให้หมุนน็อตเพ่ือทับ Boat ให้แน่น หำกหมุนไม่แน่นเมื่อมีกำรหลอมละลำยอำจจะเกิดควำมร้อนสูงท ำให้ชิ้นงำนอำจจะเกิดกำรเสียหำยได้ เมื่อใส่ Boat เรียบร้อยแล้วก็ใส่ลวดโลหะที่ถูกตัดและท ำควำมสะอำดเรียบร้อยแล้วมำใส่ลงบริเวณตรงกลำงของ Boat
ใส่ลวดโลหะที่ต้องการใช้งานลงช่องตรงกลางของ Boat
ลักษณะตัววัดความหนาและบริเวณช่องตรงกลางของแผ่นรองช้ินงานที่ต้องใส่ตัววัดความหนา
![Page 14: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/14.jpg)
9. หลังจำกนั้นท ำกำรปิดฝำเครื่องโดยโยกคันโยกไปทำงด้ำนขวำมือหรือทำงด้ำน Down โดยดูจำกที่คันโยกจะมีป้ำยบอก
10. ปิดวำล์ว Vent อำกำศที่อยู่ด้ำนหลังเครื่อง ปิดเพ่ือไม่ให้อำกำศออกในขณะที่เรำมีกำรปั้มระบบ
11. เปิดสวิทช์ที่อยู่ด้ำนล่ำงเครื่อง (สวิตซ์สีด ำปุ่มเปิดจะอยู่ด้ำนข้ำง)
![Page 15: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/15.jpg)
12.เปิดวำล์ว Dry scroll pump เพ่ือท ำกำรปั้มระบบ
13.เปิดเครื่อง Pressure Gauge ของ Dry scroll pump กดปุ่มเปิดจะอยู่ด้ำนหลังเครื่อง หลังจำกนั้นรอสักครู่แล้วที่หน้ำจอของเครื่อง Pressure Gauge ของ Dry scroll pump จะแสดงตัวเลขเพื่อบอกควำมดันภำยในระบบที่มีกำรปั้มระบบเป็นสุญญำกำศ มีหน่วยเป็น ทอร์ (Torr) รอจนควำมดันอยู่ที่ 5 x 10-2 Torr โดยประมำณ
14.เปิดเครื่อง Pressure Gauge ของเทอร์โบปั้ม โดยปุ่มเปิดเครื่องจะอยู่ด้ำนหลังเครื่อง และหน้ำจอของ Pressure Gauge จะแสดงตัวเลขให้เรำกดที่ลูกศรด้ำนซ้ำยไปจนถึงช่องหมำยเลข 309 เพ่ือดูควำมเร็วรอบของเทอร์โบปั้ม (ควำมเร็วรอบของเทอร์โบปั้มจะอยู่ที่ 1000 HZ แต่จะค่อยๆเพ่ิมข้ึน เมื่อเรำเปิดเทอร์โบปั้ม)
15. .เมื่อควำมดันในระบบปั้มสุญญำกำศได้ตำมที่ต้องกำรแล้วคือ 5 x 10-2 Torr (ดูจำกหน้ำจอ Pressure Gauge ของ Dry scroll pump) กดเปิดเทอร์โบปั้มที่หน้ำเครื่อง และด้ำนบนปุ่มเปิดจะมีไฟสีเขียวกระพริบยุเมื่อเรำกดเปิดแล้วไฟสีเขียวจะหยุดกระพริบแล้วขึ้นเป็นสีเขียวโชว์ที่เครื่อง เรำจะสังเกตเห็นว่ำควำมเร็วรอบของเทอร์โบปั้มจะค่อยๆเพิ่มข้ึนจนถึง 1000 Hz
ปุ่มเปิดเครื่อง Pressure Gauge ของเทอร์โบปั้ม
![Page 16: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/16.jpg)
16.เมื่อเปิดเทอร์โบปั้มแล้วรอให้ควำมดันของระบบสุญญำกำศอยู่ที่ 10-6 - 10-7 (ดูจำกหน้ำจอ Pressure Gauge ของ Dry scroll pump) โดยจะใช้เวลำประมำณ 2 – 3 ชั่วโมง ในกำรรอ
17. เมื่อได้ควำมดันในระบบปั้มสุญญำกำศตำมที่ต้องกำรแล้ว เปิดเครื่องวัดควำมหนำของชั้นฟิล์มเพ่ือก ำหนดตำมหมำยเลขชนิดของลวดโลหะที่เรำใช้ โดยมีวิธีกำรดังต่อไปนี้
- เปิดสวิทซ์ด้ำนหลังเครื่องวัดควำมหนำ
- กดท่ีปุ่ม Program
- ดูหมำยเลข Film ชนิดของลวดโลหะจำกป้ำยที่ติดอยู่ด้ำนหน้ำเครื่องวัดควำมหนำ จำกนั้นหมุนไปทำงด้ำนขวำให้ฟิล์มตรงกับหมำยเลขชนิดลวดโลหะที่เรำต้องกำรใช้ แต่ในกรณีที่หมำยเลขฟิล์มตรงแล้วก้ไม่ต้องหมุนเปลี่ยน
- จำกนั้นกดปุ่มตรงกลำงของตัวปรับหมำยเลข Film เพ่ือดูค่ำ Densi และกดตรงกลำงอีกครั้งเพ่ือดูค่ำ Z-Ratio ตรงกับตัวเลขในตำรำงหรือไม่โดยดูเทียบกับตำรำงด้ำนหน้ำเครื่อง แล้วกดตรงกลำงอีกครั้งจนหน้ำจอแสดงดังภำพ
![Page 17: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/17.jpg)
ด้ำนขวำ (หน้ำจอด้ำนขวำจะแสดงตัวเลขที่อ่ำนค่ำควำมหนำที่วัดได้) แต่ถ้ำหน้ำจอด้ำนขวำไม่แสดงค่ำเป็นศูนย์ให้กดท่ีปุ่ม Zero เพ่ือปรับค่ำให้เป็นศูนย์
18.หลังจำกนั้นให้เรำสังเกตดูอีกครั้งว่ำควำมดันของระบบปั้มสุญญำญำกำศไดต้ำมที่เรำต้องกำรหรือไม่โดยควำมดันจะอยู่ที่ 10-6 หรือ 10-7 ถ้ำได้ควำมดันตำมที่ต้องกำรให้เปิดเบรกเกอร์ที่ผนังห้องด้ำนหลังเครื่อง Evaporation Operation ด้ำนขวำมือจะอยู่ห่ำงจำกเครื่องโดยประมำณ แล้วเปิดเบรกเกอร์เครื่องพำวเวอร์ซัพพลำยของเครื่อง variac เพ่ือเพ่ิมแรงดันไฟฟ้ำ ที่อยู่ด้ำนข้ำงเครื่อง Evaporation Operation (เครื่องสีขำว) จำกนั้นไฟสีแดงจะขึ้นโชว์ที่ด้ำนบนปุ่มไฟสีแดง ถ้ำหำกไฟสีแดงไม่ข้ึนให้เรำตรวจสอบที่แผงควบคุมวงจร LP ด้ำนหลังห้อง Clean room ดูที่หมำยเลข 9 ว่ำสวิตซ์ ON หรือ OFF สวิตซ์จะต้อง ON เสมอ
![Page 18: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/18.jpg)
15.สวมแว่นตำเพื่อป้องกันแสงในขณะที่โลหะเกิดกำรหลอมละลำย
16.ค่อยๆหมุนเพ่ิมแรงดันไฟฟ้ำที่เครื่อง Variac โดยค่อยๆหมุนเริ่มจำก 0 แล้วเพ่ิมไปเรื่อยๆจนโลหะเกิดกำรหลอมละลำย ในขณะที่ก ำลังเพ่ิมแรงดันไฟฟ้ำไปเรื่อยๆเมื่อเพ่ิมไปจนถึง 90-100 โวลต์ ให้เรำเปิดชัตเตอร์ ทีตั่วเปิดชัตเตอร์ ซ่ึงจะอยู่ด้ำนล่ำงเครื่อง Evaporation Operation ดังภำพด้ำนขวำ โดยทิศทำงกำรหมุนจะมีรำยละเอียดติดอยู่
18.จำกนั้นส่องดูที่ช่องของเครื่อง Evaporation Operation ว่ำโลหะเกิดกำรหลอมละลำยแล้วหรือยัง โดยสวมแว่น
19.ถ้ำโลหะเกิดกำรหลอมละลำยแล้วให้เรำดูที่เครื่อง Variac ว่ำแรงดันไฟฟ้ำอยู่ที่เท่ำไหรแล้วรอจนกว่ำควำมหนำจะได้ตำมทีต่้องกำรโดยดูจำกเครื่องอ่ำนค่ำควำมหนำ (ค่ำของควำมหนำมีหน่วยเป็น kA) และไม่ต้องหมุนเพ่ิมแรงดันไฟฟ้ำ
20.เมื่อได้ควำมหนำตำมท่ีต้องกำรแล้วให้หมุนวำล์วของเครื่อง Variac กลับลงมำที่ 0 แล้วปิดชัตเตอร์
21.กดปิดเทอร์โบปั้มที่ปุ่มหน้ำจอดังภำพแล้วจำกไฟสีเขียวที่ติดอยู่จะกระพริบนั่นแสดงว่ำเทอร์โบปั้มถูกปิดเรียบร้อยแล้ว จำกนั้นรอให้ควำมเร็วรอบของเทอร์โบปั้มลดลงจนถึง 0 Hz ใช้เวลำในกำรรอ 30-40 นำที โดยประมำณ
ลักษณะตัวเปิดชัตเตอร์และป้ายบอกทิศทางการเปิด-ปิดของชัตเตอร์
![Page 19: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/19.jpg)
21.เมื่อควำมเร็วรอบของเทอร์โบปั้มลดลงจนเหลือ 0 Hz แล้วให้ปิดวำวล์ Dry scroll pump ด้ำนหลังเครื่องปิดจนสนิทและเปิดวำล์ว Vent อำกำศเพ่ือปล่อยอำกำศออก รอจนเสียงลมที่ออกจำกตัวเครื่องเงียบสนิท แล้วท ำกำรเปิดฝำเครื่องเพ่ือน ำงำนออก
22.กำรน ำชิ้นงำนออกนั้น ควรเอำตัววัดควำมหนำที่อยู่ตรงกลำงของแผ่นรองชิ้นงำนออกมำก่อนที่จะยกแผ่นรองชิ้นงำนออกเพ่ือป้องกันตัววัดควำมหนำตกลงมำอำจจ ำให้เกิดควำมเสียหำยได้
23.หลังจำกนั้นเรำก็น ำแผ่นรองชิ้นงำนออกมำจำกตัวเครื่อง ในภำพจะเป็นกำรยกตัวอย่ำงลักษณะงำนที่ได้จำกกำรเคลือบ Ti ลงบนกระจก โดยมีควำมหนำประมำณ 400 kA
![Page 20: คู่มือการใช้เครื่อง Evaporation Operation · 2.7.ฟรอยด์ ใช้ส ำหรับปิดบีกเกอร์ในขณะที่มีกำรต้มสำรเคมีเพื่อป้องกันกำรระเหย](https://reader034.vdocuments.net/reader034/viewer/2022042305/5ed10e5888fb5b013b527387/html5/thumbnails/20.jpg)
24.ท ำกำรหมุนน็อตตรงที่ใส่ Boat ออกท้ัง 2 ด้ำนและน ำ Boat ใส่ลงในถุงให้ตรงกับชื่อที่เขียนไว้หน้ำถุงและเก็บเข้ำท่ีเดิม (Boat ที่ใช้ใส่ลวดโลหะในกำรหลอมละลำยนั้นไม่สำมำรถใช้ร่วมกัน ยกตัวอย่ำงเช่น Boat ที่ใช้กับลวดโลหะ Ti ก็ต้องใช้กับ Ti เพียงอย่ำงเดียวเท่ำนั้น)
25.ท ำควำมสะอำดเครื่องอีกครั้งโดยกำรเป่ำฝุ่นบริเวณด้ำนในเครื่อง
26.ปิดฝำเครื่องลงและปิดวำล์ว Vent จำกนั้นเปิดวำล์ว
22.เปิดวำวล์ vent อำกำศเพ่ือปล่อยให้อำกำศออก จำกนั้นเปิดฝำเครื่องเพ่ือเอำชิ้นงำนออก
23.เมื่อน ำชิ้นงำนออกแล้วก็ให้ท ำควำมสะอำดเครื่องด้วยผ้ำบลูเซอร์ชุบ IPA แล้วปิดฝำเครื่องลง ปิดวำล์ว vent อำกำศ เปิด Dry scroll pump ปั้มระบบให้เป็นสุญญำกำศจนถึง 10-1 จำกนั้นปิด Dry scroll pump และปิดสวิทซ์ท่ีด้ำนล่ำงเครื่อง Evaporation Operation