サーマルフローメータ - tokyo keiso co ltd...tg-es395-14 th サーマルフローメータ...

ほとんどのガス流量測定に使用できる

THシリーズ サーマルフローメータ

概要THシリーズサーマルフローメータは熱伝達理論にもとづいた東京計装オリジナルの気体用熱式流量計です。従来の気体用の流量計にない数多くの特長で、幅広いご支持をいただいております。センサ、コンバータとも各種用途に合わせてラインアップされており、最適な組み合わせを選択できます。

特長（1） 高精度 独自の計測理論で各種ガスの流量を±1.0%F.S.*1 の高 精度で計測します。（2） ワイドレンジアビリティ 0.5m/s の低流速域でも十分な実用計測精度があります。 従来のオリフィス式や渦式流量計での気体流量計測の 問題点をクリアしました。（3） 低圧力損失 流路には金属細管センサがあるだけです。圧力損失はほ とんどありません。（4） 高耐久 可動部のないセンサ構造で長期的安定性に優れます。（5） 圧力変化の影響が非常に小さい 計測理論上、ガスの圧力変化は流量精度に影響しずら い。（6） 温度変化の影響が非常に小さい ガスの温度変化にもほとんど影響されません。温度が 大きく変化するプロセスでは温度信号による自動補正 も可能です。（7） 質量流量計測 温度補正機能（オプション）を付加することにより、 温度の影響を受けない質量流量計測を行うことができ ます。（8） ガス種類を選ばない 理論的分析の確立した計測理論で各種ガスの計測がで きます。（9） コストパフォーマンス 挿入型センサも準備されています。大口径でも手軽に 流量計測できます。（10）豊富なコンバータユニット 目的、用途に合わせて選択できる3種類のコンバータ が用意されています。（11）高、低温タイプ 最低－196℃、最高＋550℃までカバーできる高・低 温タイプもあります。従来の流量計では困難であった アプリケーションもOK。

*1　一部コンバータでは±2.0%F.S. となります。

主な用途・半導体製造設備ガスライン・医療用酸素供給ライン、システム・空調設備・一般工業プロセス、ユーティリティライン・高温乾燥空気ライン・燃焼ガスライン・低圧気体ライン・ごみ焼却設備ライン・ 電力プラントライン・ 自動車関連計測ライン・その他各種気体流量計測ライン

TG-ES395-142019 061999 10

15版３版

K

TG-ES395-14

THサーマルフローメータ

2 TOKYO KEISO CO., LTD.

製品ラインアップ各種用途に合わせて選択できるセンサ、コンバータをラインアップしました。

■一般用途センサ

空調、一般ユーティリティライン、医療用酸素ライン…各種用途にあった各種センサがあります。

■高品位センサ（HQシリーズ）

半導体製造プロセスのガスラインでは、ノンパーティクル、超低リークが流量計に求められる条件です。HQシリーズ高品位センサはこの厳しい要求に応えます。接ガス金属部には複合電解研磨処理を施し、シールは金属シールを採用。配管挿入形TH-1100-HQと配管溶接形TH-1500-HQがあります。

■一般用途、高品位センサ用コンバータ

目的、用途に合わせて3タイプのコンバータから選択できます。

■パージ機能付センサ

ゴミ焼却プラントの各ラインやその他ダスト環境下の流量計測に最適です。

■高、低温タイプセンサ

低温用はマイナス196℃まで、高温用は550℃まで計測できます。いままでの流量計ではカバーできなかったアプリケーションもお任せ下さい。

TH-1100挿入形

TH-1700小口径形

TH-1800整流器組込み形

TH-1200フランジ形 TH-1400

挿入長可変形

TH-1100-HQ挿入形

TH-1500-HQ配管溶接形

TRX-600一般、防水フィールドマウント

TRX-700インテリジェント、パネル取付け

TRX-900インテリジェント、防水フィールドマウント

TH-3200, TH-3300挿入形

TH-1100-SP挿入形

（最高温度： 240℃）

TH-3200-SP挿入形

（最高温度： 550℃）

THサーマルフローメータ

TG-ES395-14 TOKYO KEISO CO., LTD. 3

組み合わせ使用例

TH-3200-SP

TH-1100 TH-1500-HQTH-1100-HQTH-1800TH-1700TH-1400TH-1200

TH-1100-SPTH-3200TH-3300

TRX-900

TRX-700

TRX-600

コンバータ形　　　式

機　　　能

流量表示 積算表示 アナログ出　力

スケールドパルス出力

デジタル出　力

温度補正機　能流量警報

精　度％F.S.

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

△

○

○

△

○

○

±2.0％

±1.0％

±1.0％

（RS-485）

（RS-485）

（RS-485）

○： 標準装備　　△： オプション　　×： 不可

測定原理加熱した金属細管を気流中におくとき、単位時間に金属細管が失う熱量Hは質量流速ρUと加熱された金属細管と気体の温度差△ Tの関数となります。 H＝ f（ρU･△ T）　　ρ：密度

一方、金属細管がジュール熱により発生する熱量Wは金属細管電圧V、電流Ｉの積の関数で表されます。 W＝ f（V･I）

金属細管が熱的に平衡状態にあるとき、発熱量と流体により奪われる熱量は等しいので△ Tを電子回路により一定となるように制御すれば質量流速ρUは電圧V、電流Ｉより求められます。 ρU＝ f（V･I）

流量Qは配管またはダクトの断面積をAとし、平均質量流速をρUとすれば、 Q＝ρU･Aとなります。

非加熱細管熱電対加熱細管

流　速

温度差△T 加熱電流Ｉ

クロメル アルメル

TG-ES395-14

THサーマルフローメータ

4 TOKYO KEISO CO., LTD.

一般用途センサ

TH-1100

アウトラインTH-1100は、軽量、コンパクトな配管挿入形のセンサです。大口径プロセスでも比較的低コストで流量計測ができます。一般配管のほか、角ダクトの流量計測も可能です。

形式コード

プロセス配管口径 標準L寸法（mm）

50A～150A

200A～250A

300A～350A

400A以上

182

200

250

ご相談下さい

（注）・弊社標準寸法以外の場合は、LまたはC寸法をお知らせ下さい。・φd、φD寸法をお知らせ下さい。

外形寸法

φ84

φdφD

配線接続口

FLOW

C

L

G1/2

TH－11 ① ② － ③ ④ ⑤

5

6

7

8

9

A

B

C

D

E

F

1

2

3

F

② 検出器材質

1

2

F

1

F

W

E

B

C

③ 接続規格

④ Ｌ寸法

⑤ 特殊仕様

選択項目 形式コード

50A（2B）

65A（2-1/2B）

80A（3B）

100A（4B）

125A（5B）

150A（6B）

200A（8B）

250A（10B）

300A（12B）

350A（14B）

その他

SUS304

SUS316

SUS316L

特殊

32A JIS10K フランジ

1-1/4"ANSI 150 # フランジ

その他

標準

特殊

標準（端子箱タイプ）

EPグレード： 電解研磨処理（センサー部除く）

BAグレード： BA相当の電解研磨処理（センサー部除く）

コネクタタイプ

① プロセス配管口径

内　　　　容

タイプ

製作口径

計測範囲

最高使用圧力

最高使用温度区分

材　質

防水構造

上流側直管長（推奨）

配管挿入形

（標準32A JIS10Kフランジ）

50A（2B）～1500A（60B）

※1500A以上の口径につきましては

　お問い合わせ願います。

空気： 0～0.5 m/s（nor）

空気： 0～130 m/s（nor）

1.0MPa

80℃/180℃/240℃

SUS316

SUS304, SUS316, SUS316L

フッ素ゴム, その他

IP65相当

約20D（Ｄ： 配管内径）

最小

最大

センサ

検出器

シール

（注） ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。

標準仕様

THサーマルフローメータ

TG-ES395-14 TOKYO KEISO CO., LTD. 5

TH-1200

アウトラインTH-1200はセンサ部分をT管に取付け、フランジでプロセスラインに取付けるタイプです。プロセス配管口径50A～ 150Aまで製作いたします。温度計取付座付で電解研磨の場合、保護管付になります。

形式コード

TH－12 ① ② － ③ ④

5

6

7

8

9

A

1

2

3

F

③ 接続規格

② 検出器材質

3

4

F

W

S

E

B

T

C

④ 特殊仕様※

選択項目 形式コード

50A（2B）

65A（2-1/2B）

80A（3B）

100A（4B）

125A（5B）

150A（6B）

SUS304

SUS316

SUS316L

特殊

JIS10K フランジ

ANSI 150 # フランジ

その他

標準品（端子箱タイプ）

整流器付属

EPグレード：電解研磨処理（センサー部除く）

BAグレード：BA相当の電解研磨処理（センサー部除く）

温度計取付座付（Rc1/8タップ）

コネクタタイプ

① プロセス配管口径

内　　　　容

※ 例） 整流付EPグレード、温度計取付座付の場合 形式コード　TH-12□□-□WSET　となります。

標準仕様

タイプ

製作口径

計測範囲

最高使用圧力

最高使用温度区分

材　質

防水構造

上流側直管長（推奨）

配管フランジ接続形

50A（2B）～150A（6B）

空気： 0～0.5 m/s（nor）

空気： 0～130 m/s（nor）［整流器なしの場合］

空気： 0～40 m/s（nor）［整流器付属の場合］

1.0MPa

80℃/180℃

SUS316

SUS304, SUS316, SUS316L

フッ素ゴム, その他

IP65相当

約20D［整流器なしの場合］（Ｄ： 配管内径）

約3D～5D［整流器ありの場合］

最　小

最　大

センサ

検出器

シール

（注） ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。

外形寸法

L

50A 65A 80A 100A 125A 150A100 130 150 190

温度計取付座付き標　準

整流器

80 90プロセス配管口径

L

FLOW FLOW

Rc1/8

300

182

16180

(378)

400

G1/2

配線接続口φ84 φ84

TG-ES395-14

THサーマルフローメータ

6 TOKYO KEISO CO., LTD.

TH-1400

アウトラインTH-1400は挿入長可変形の挿入タイプセンサです。ゲートバルブ（お客先所掌）を設置することにより、運転、加圧中でもセンサを取り外すことができ、メンテナンスが容易です。

形式コード

TH－14 ① ② － ③ ④ ⑤

5

6

7

8

9

A

B

C

D

E

F

1

2

3

F

② 検出器材質

1

2

F

1

F

W

E

B

C

③ 接続規格

④ Ｌ寸法

⑤ 特殊仕様

選択項目 形式コード

50A（2B）

65A（2-1/2B）

80A（3B）

100A（4B）

125A（5B）

150A（6B）

200A（8B）

250A（10B）

300A（12B）

350A（14B）

その他

SUS304

SUS316

SUS316L

特殊

40A JIS10K フランジ

1-1/2"ANSI 150 # フランジ

その他

標準

特殊

標準（端子箱タイプ）

EPグレード： 電解研磨処理（センサー部除く）

BAグレード： BA相当の電解研磨処理（センサー部除く）

コネクタタイプ

① プロセス配管口径

内　　　　容

標準仕様

タイプ

製作口径

計測範囲

最高使用圧力

最高使用温度区分

材　質

防水構造

上流側直管長（推奨）

配管挿入形

（標準40A JIS 10Kフランジ）

50A（2B）～1500A（60B）

※1500A以上の口径につきましては

　お問い合わせ願います。

空気： 0～0.5 m/s（nor）

空気： 0～130 m/s（nor）

1.0MPa

80℃/180℃

SUS316

SUS304, SUS316, SUS316L

フッ素ゴム/PTFE, その他

IP65相当

約20D（Ｄ： 配管内径）

最　小

最　大

センサ

検出器

シール

（注） ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。

外形寸法

（注）・弊社標準寸法以外の場合は、LまたはC寸法をお知らせ下さい。・φd、φD寸法をお知らせ下さい。・バルブご使用の際はバルブ面間寸法（V）をお知らせ下さい。

プロセス配管口径 標準L寸法（mm）

50A～150A

200A～250A

300A～350A

400A以上

182

200

250

ご相談下さい

ハンドル

プロセス配管

FLOW

G1/2

CV

L

105

φdφD

THサーマルフローメータ

TG-ES395-14 TOKYO KEISO CO., LTD. 7

TH-1700

アウトラインTH-1700シリーズは一般小口径形検出器で呼び口径15A～ 50Aまで製作します。プロセス接続はフランジ接続のみとなります。

形式コード

TH－17 ① ② － ③ ④ ⑤

１２

① プロセス　 配管口径 ３４５１

② 仕様温度区分 ２７

４５6１

④ 接続規格Ｆ注E

⑤ 特殊仕様 BTC

③ 検出器材質

選択項目 形式コード

15A（1/2B） 20A（3/4B） 25A（1B） 40A（11/2B） 50A（2B） 標準／温度区分（0～80℃） 高温／温度区分（0～180℃） 低温／結露対策品（－20～80℃） SUS304/SCS14 SUS316/SCS14SUS316L/SCS16JIS 10K フランジその他注）標準品は未記入 EPグレード：電解研磨処理 BAグレード：BA相当の電解研磨処理温度計取付座付（Rc1/8タップ付）コネクタータイプ（機器組込用）

内　　　　容

標準仕様

外形寸法

(140

)(1

82)J

G1/2

L2L1

φ82

L2L1

φ82

Rc1/8

L1 L2 J

15A20A25A

180 90

40A50A 300 150

L1 L2 J

15A20A25A

270 90

40A50A 330 150

15A JIS10Kフランジ20A JIS10Kフランジ25A JIS10Kフランジ40A JIS10Kフランジ50A JIS10Kフランジ

15A JIS10Kフランジ20A JIS10Kフランジ25A JIS10Kフランジ40A JIS10Kフランジ50A JIS10Kフランジ

寸法 寸法口径 口径

標準タイプの場合 温度計取付座付きタイプの場合

標　準

L1

φ82

L2

(182

)

(140

)

J

G1/2φ82

L1L2

Rc1/8

温度計取付座付き

温度計取付座付き

標　準

タイプ

製作口径

計測範囲

最大使用圧力

最高使用温度区分

材　質

防水構造

上流側直管長（推奨）

配管フランジ接続形

15A（1/2B）～50A（2B）

空気： 0～0.5 m/s（nor）

空気： 0～130 m/s（nor）

1.0MPa

80℃/180℃

SUS316

SCS14, SCS16, SUS304, SUS316, SUS316L

フッ素ゴム, その他

IP65相当

約20D（Ｄ： 配管内径）

最　小

最　大

センサ

検出器

シール

（注） ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。

TG-ES395-14

THサーマルフローメータ

8 TOKYO KEISO CO., LTD.

TH-1800

アウトラインTH-1800シリーズ検出器は整流機構を内蔵しているため上流側配管影響を受けず、上流直管部をほとんど必要としません。尚、整流器内蔵のため若干圧力損失が発生致します。（ライン圧力が低い場合、お問い合わせ願います）

形式コード

TH－18 ① ② － ③ ④ ⑤内　　　　容

１

２① プロセス　 配管口径 ３

４

５

１

② 仕様温度区分 ２

７

４

５

6

１

２

３

４

５

Ｆ

⑤ 特殊仕様

③ 検出器材質

④ 接続規格

注

E

B

T

C

選択項目 形式コード

15A（1/2B）

20A（3/4B）

25A（1B）

40A（11/2B）

50A（2B）

標準/温度区分（0～80℃）

高温/温度区分（0～180℃）

低温/結露対策品（－20～80℃）

SUS304/SCS14

SUS316/SCS14

SUS316L/SCS16

JIS 10Kフランジ

JIS Rcネジ（3/8B）

JIS Rcネジ（1/2B）

JIS Rcネジ（3/4B）

JIS Rcネジ（1B）

その他

注）標準品は未記入

EPグレード：電解研磨処理

BAグレード：BA相当の電解研磨処理

温度計取付座付（Rc1/8タップ付）

コネクタータイプ（機器組込用）

※口径別製作可能接続規格

呼び径接続フランジ ○ ○ ○ ○ ○Rc3/8 ○ × × × ×Rc1/2 ○ ○ × × ×Rc3/4 × ○ ○ × ×Rc1 × × ○ × ×

注）○：製作可能　×：製作不可

20A15A 25A 40A 50A

標準仕様

タイプ

製作口径

計測範囲

最大使用圧力

最高使用温度区分

材　質

防水構造

上流側直管長（推奨）

配管接続形

15A（1/2B）～50A（2B）

空気： 0～0.5 m/s（nor）

空気： 0～45 m/s（nor）

1.0MPa

80℃/180℃

SUS316

SCS14, SCS16, SUS304, SUS316, SUS316L

フッ素ゴム, その他

IP65相当

約3D～5D（Ｄ： 配管内径）

最　小

最　大

センサ

検出器

シール

（注） ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。

THサーマルフローメータ

TG-ES395-14 TOKYO KEISO CO., LTD. 9

外形寸法

32－32－41－－－

W

32－32－41－－－

W

φ36－φ36－φ46－－－

φD

210180250220280240280320

L1

10590145130170150170210

L2

15A

20A

25A

40A

50A

J

Rc3/8・Rc1/215A JIS10Kフランジ

Rc1/2・Rc3/420A JIS10Kフランジ

Rc3/4・Rc125A JIS10Kフランジ40A JIS10Kフランジ50A JIS10Kフランジ

寸法口径

φ36－φ36－φ46－－－

φD

300270340310370330350390

L1

10590145130170150170210

L2

15A

20A

25A

40A

50A

J

Rc3/8・Rc1/215A JIS10Kフランジ

Rc1/2・Rc3/420A JIS10Kフランジ

Rc3/4・Rc125A JIS10Kフランジ40A JIS10Kフランジ50A JIS10Kフランジ

寸法口径

L1

φ82 φ82

L2

L1

φ82

L2

L1

φ82

L2(1

82)

(140

)

J

J

J

J

G1/2

(182

)

(140

)

G1/2

(182

)

(140

)

G1/2

L1L2

Rc1/8

温度計取付座付き

温度計取付座付き

温度計取付座付き

標　準

標　準

標　準

呼び口径15A～25A

呼び口径15A～25A

呼び口径40A～50A

φD φD

φ82

L1L2

Rc1/8

φ82

L1L2

Rc1/8

標準タイプの場合 温度計取付座付きタイプの場合

W

TG-ES395-14

THサーマルフローメータ

10 TOKYO KEISO CO., LTD.

パージ機能付センサ

TH-1100-SP ／ TH-3200-SP

アウトラインTH-1100-SP/TH-3200-SPは、パージ機能付センサです。パージガスにより、センサ部へのダスト付着防止、付着したダストの除去を行います。これにより、安定した流量計測が行えます。（注）粘着性のダストに対しては十分な効果が得られない場合がありますのでご注意願います。

形式コード

外形寸法

TH-1100-SP TH-3200-SP

G1/2

L(3

8)

Rc1/4

(180

)

G1/2

L(4

1)

Rc1/4(250

)

150A 182200A～250A 200300A～350A

400A以上250

ご相談下さい

プロセス配管口径 標準L寸法(mm)

φD

Cφ

d

φD

Cφ

d

（注）・弊社標準寸法以外の場合は、LまたはC寸法をお知らせ下さい。・φd、φD寸法をお知らせ下さい。

形　式

タイプ

製作口径

計測範囲

最高使用圧力

最高使用温度区分

材　質

防水構造

上流側直管長（推奨）

TH-1100-SP

空気： 0～0.5m/s(nor)

1.0MPa

80℃/240℃

TH-3200-SP

空気： 0～5m/s(nor)

0.1MPa

550℃

配管挿入形

　　 （標準65A JIS10K フランジ）

空気： 0～75m/s(nor)

SUS316

SUS304, SUS316, SUS316L

フッ素ゴム, その他

IP65相当

約20D（D： 配管内径）

最　小

最　大

センサ

検出器

シール

150A（6B）～1500A（60B）※1500A以上の口径につきましてはお問い合わせ願います。

150A（6B）～1500A（60B）

（注） ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。

TH－11TH－32 ① ② － ③ ④ ⑤ －SP

A

B

C

D

E

F

2

3

F

③ 接続規格

② 検出器材質

1

F

1

F注

C

④ Ｌ寸法

⑤ 特殊仕様

選択項目 形式コード

150A（6B）

200A（8B）

250A（10B）

300A（12B）

350A（14B）

その他

SUS316

SUS316L

特殊

65A JIS10K フランジ

その他

標準

特殊

注）標準品は未記入のこと。

コネクタータイプ（端子箱タイプの場合は未記入）

① プロセス 配管口径

内　　　　容

標準仕様

THサーマルフローメータ

TG-ES395-14 TOKYO KEISO CO., LTD. 11

高、低温タイプ

TH-3200/TH-3300

アウトラインTHサーマルフローメータには従来の流量計では計測が困難な高、低温域をカバーする高、低温タイプが用意されています。低温用はマイナス196℃まで、高温用はプラス550℃までの気体流量を計測することができます。TRX-600専用コンバータと組み合わせて使用します。

形式コード

外形寸法

●センサ

●TH-3200, TH-3300

プロセス配管口径 標準L寸法（mm）

65～150

200～250

300～350

400A以上

182

200

250

ご相談下さい

TH-3200, TH-3300

（注）・弊社標準寸法以外の場合は、LまたはC寸法をお知らせ下さい。・φd、φD寸法をお知らせ下さい。

FLOW

G1/2

L

(280)

C

115

φ34

φDφd

TH－3 ① ② ③ － ０ ④ ⑤

2

3

6

7

8

9

A

B

C

D

E

F

1

2

3

F

1

F

1

F

③ 検出器材質

④ 接続規格

⑤ Ｌ寸法

選択項目 形式コード

高温用0.1MPaまで

低温用0.1MPaまで

65A（2-1/2B）

80A（3B）

100A（4B）

125A（5B）

150A（6B）

200A（8B）

250A（10B）

300A（12B）

350A（14B）

その他

SUS304

SUS316

SUS316L

特殊

標準

特殊

標準

特殊

② プロセス配管口径

内　　　　容

① タイプ

配管挿入形

空気： 0～ 5m/s（nor）

空気： 0～75m/s（nor）

SUS316

SUS304, SUS316, SUS316L

IP65相当

約20D（D： 配管内径）

標準32A JIS10K フランジ

65A（2-1/2B）～1500A（60B）

0.1MPa

0～550℃（高温用）

TH-3300

－196～0℃（低温用）

形　式

タイプ

製作口径

計測範囲

最高使用圧力

使用温度範囲

材　質

防水構造

上流側直管長（推奨）

最　小

最　大

センサ

検出器

TH-3200

（注） ケーブルグランドは付属いたしません。 ケーブル外径（φ12mm）に適合したケーブルグランドをご使用願います。

標準仕様

TG-ES395-14

THサーマルフローメータ

12 TOKYO KEISO CO., LTD.

高品位タイプセンサ

TH-1100-HQ

アウトラインTH-1100-HQは配管挿入形の高品位タイプセンサです。接ガス金属部に複合電解研磨処理を施し、またシールにメタルシールを採用し、半導体製造設備のガスラインに要求される、ノンパーティクル、低リークを達成しました。

形式コード

外形寸法

検出器

特殊専用フランジ

プロセス配管

メータサイズ 寸法（mm）L

50A65A80A100A

9494120120

形式コード

① プロセス配管口径

② 検出器材質

内　容

50A

65A

80A

100A

標準

特殊

TH-11 ① ② －HQ

5

6

7

8

1

F

標準仕様

タイプ

製作口径

計測範囲

最大使用圧力

最高使用温度

材　質

Heリーク性能

構　造

所掌範囲

高品位センサ（配管挿入形） （特殊専用フランジノズル）

50A（2B）～100A（4B）

空気： 0～0.5 m/s（nor）

空気： 0～75 m/s（nor）

1.0MPa

120℃（特注で180℃まで承ります。ご相談下さい。）

SUS316L, 複合電解研磨（EP）

表面粗度Rmax.≦0.7μm

SUS316, KOVAR（Ni, Co合金）, アルミナセラミック,

金ロー, Niメッキの組合せ, 金属表面光輝処理（BA）

本体部 PTFE被覆メタルOリング

センサ部 SUS316

1×10-10Pa･m3/s（He）以下

防水構造（IP65相当）

標準品では　1）センサ

　2）特殊フランジピース（配管溶接用）

　3）メタルOリング

のセットで納入いたします。ご指定により配管へ直接

溶接で設置する短管取付けを行い納入も致します。

最　小

最　大

本　体

センサ

シール

THサーマルフローメータ

TG-ES395-14 TOKYO KEISO CO., LTD. 13

TH-1500-HQ

アウトラインTH-1500-HQは配管溶接形の高品位タイプセンサです。接ガス金属部に複合電解研磨処理を施し、またシールにメタルシールを採用し、半導体製造設備のガスラインに要求される、ノンパーティクル、低リークを達成しました。

形式コード

形式コード

① プロセス配管口径

② 検出器材質

③ 接続規格

内　容

15A

20A

25A

標準

特殊

溶接タイプ（ I 開先）

その他

TH-15 ① ② － ③ HQ

1

2

3

1

F

1

F

標準仕様

外形寸法

Jφ21.7×1.65tφ27.2×1.65tφ34.0×1.65t

L

350

H1

20

H2

95

H3

115

PB1

30

PB2

40

BH

4-M4（深6）

メータサイズ寸法（mm）

15A20A25A

タイプ

製作口径

計測範囲

最大使用圧力

最高使用温度

材　質

Heリーク性能

構　造

高品位センサ（プロセス配管溶接形）

15A（1/2B）～25A（1B）

空気： 0～0.5 m/s（nor）

空気： 0～75 m/s（nor）

1.0MPa

120℃（特注で180℃まで承ります。ご相談下さい。）

SUS316L, 複合電解研磨（EP）

表面粗度Rmax.≦0.7μm

SUS316, KOVAR（Ni, Co合金）, アルミナセラミック,

金ロー, Niメッキの組合せ, 金属表面光輝処理（BA）

本体部 メタルOリング（PTFE被覆）

センサ部 SUS316

1×10-10Pa･m3/s（He）以下

防水構造（IP65相当）

最　小

最　大

本　体

センサ

シール

TG-ES395-14

THサーマルフローメータ

14 TOKYO KEISO CO., LTD.

TRX-600

アウトラインTRX-600は防水構造のフィールド設置形のサーマルフローメータ用コンバータです。搭載CPUの性能向上により高精度・高機能を達成しました。ほとんどのオペレーションファクターはフロントパネル上のキー操作によりユーザーフレンドリーに設定、変更が可能です。また、最大7種類までのデータをあらかじめプログラミングすることができます。さらにオプション基板により種々の機能拡張することが可能です。

標準仕様

外形寸法

280

300

110

3630

160

56 配線接続口 G1/2

9

234222

φ9

110

1224

110

形式コード

－0123123456

ケーブル長

12345678F

配線接続口

12

2Ｂパイプ取付金具 01

パージ制御入力 0 1 2

パージ出力 0 1 2 1234

接点出力

TRXー6

温度補正（入力信号）

オプション基板（注）

オプション機能が無い場合は空欄

補正なしPt100Ω測温抵抗体DC4～20mA温度信号DC1～5V温度信号AC100V±10%AC110V±10%AC115V±10%AC200V±10%AC220V±10%AC240V±10% 5m10m15m20m25m30m40m50mその他G1/2その他なしありパージ制御なしオープンコレクタ（標準）接点入力パージ制御なし接点出力AC電源出力フロースイッチ（H-L）フロースイッチ（H）フロースイッチ（L）異常警報出力

－

TH-3200, 3300, 3200-SPと組合せて使用の場合-H高電流タイプ仕様

形　式　コ　ー　ド 内 容

電　源

組合せ検出器

取付け 保護構造 表　示精　度 出　力 積　算

上　段

表　示 下　段

アナログ出力

パルス出力

温度補正機能

応答速度 電気接続

電　源

消費電力ハウジング寸　法 質　量 周囲温度 周囲湿度

パージ制御機能（オプション）

警報出力（オプション）

デジタル出力RS-485

TH-1100（-HQ）/1200/1400/1500-HQ/1700/1800/3000/1100-SP/3200-SP壁取付けまたは2Bパイプ取付け（オプション）防噴流形（IP65相当）±2.0%F.S.±1digit±2.0%F.S.±2.0%F.S.瞬時流量・温度より選択表示流量： 6桁LED（0.000～99999.9）温度： 4桁LED（-25.0～550.0）（※1）

積算流量・温度より選択表示積算： 8桁LED（0.000～99999999）温度： 4桁LED（-25.0～550.0）（※1）

DC4～20mA/許容負荷抵抗500Ω以下オープンコレクタ出力　PhotoMOS relay, DC30V/100mA (max)

2400/4800/9600bps（選択可能）IDアドレス： 0～99プロトコル： 8N1出力： 瞬時流量・積算流量・温度エラーコード

Pt100Ω測温抵抗体（3導線式）アナログ出力付き温度計（別途必要）（DC4-20mAまたはDC1-5V温度信号）

【H】&【L】, 【H】上限, 【L】下限【E】異常のうち1点（任意に設定可能）SPDTリレー接点出力AC240V/0.4A (DC30V/2A)

AC240V/0.4A (DC30V/2A)パージ動作用バルブ制御出力機能パージ周期・時間等の設定が可能。出力： AC（入力電源同一）または接点3～5秒（63%ステップ応答）棒状差込端子AC100, 110, 115, 200, 220, 240V±10%50/60Hz約30VAアルミダイキャスト/コバルトブルーorシルバー234W×300H×110D(mm)5.4kg（壁取付）　7.4kg（2Bパイプ取付）-10～60℃10～90%RH（結露しないこと）

右　下 パネル【Alarm】に表示【H】上限【L】下限【E】異常

※1：温度表示は別途温度計が必要です。

THサーマルフローメータ

TG-ES395-14 TOKYO KEISO CO., LTD. 15

TRX-700 ／ TRX-900

アウトラインTRX-700/TRX-900はインテリジェントタイプのサーマルフローメータ用コンバータです。ダブルCPU搭載の信号処理回路で高精度、高機能を達成しました。すべてのオペレーションファクタはフロントパネル上のキー操作によりユーザーフレンドリーに設定、変更が可能です。瞬時流量、積算流量、警報などのプロセス監視、制御に必要な機能を標準搭載。さらにシリアル通信RS-485により上位でのデータ処理も可能になります。

自己診断機能でメンテナンスも簡単。

DIN96×96、パネルマウントタイプのTRX-700形、防水ハウジング、フィールド設置形のTRX-900があります。

形式コード

標準仕様

TH-1100/1100-HQ/1200/1400/1500-HQ/1700/1800

TRX-700：パネル取付（DIN96×96） TRX-900：壁または2Bパイプ

TRX-700：IP20相当（屋内仕様） TRX-900：IP54相当（屋外仕様）

±1%F.S.±1digit

±1.05%F.S.±1digit

DC4～20mA / 許容負荷抵抗500Ω以下

オープンコレクタ出力

DC35V/50mA（max.）

SPDTリレー接点（上限・下限）

AC250V/5A（DC24V/5A）

1200/2400/4800/9600bps（選択可能）

IDアドレス： 00～99

プロトコル： 8N1

出力： 瞬時流量, 積算流量, バーグラフ,

温度, 圧力, 加熱電流, ファーム

ウェアバージョン, シリアルNo.

エラーメッセージなど

ドットマトリクスLCD　16文字×2段

バックライト付

瞬時流量、積算流量、温度、圧力、

加熱電圧、内部温度、SPSリップル

より1つ選択またはエラーメッセージ

バーグラフ、瞬時流量、積算流量、温度、圧力、加熱電流より1つ選択 またはエラーメッセージ

5桁（0.000～99999）

7桁（0.00～9999999）

Pt100Ω測温抵抗体（3導線式）

※別途必要

アナログ出力（DC4-20mA）付圧力計

※別途必要（主に状況下流量表示用）

3秒（63%ステップ応答）

96H×96W×243D［mm］

約1.95kg

最大100m

AC90～264V　50/60Hz

最大60W

棒状差込端子

0～50℃

10～90%RH（結露しないこと）

組合せ検出器

取付け

保護構造

精　度

アナログ出力

パルス出力

警報接点出力

デジタル出力

（RS-485）

ディスプレイ

表　示

桁　数

温度補正機能

圧力補正機能

応答速度

寸　法

質　量

ケーブル長さ

電　源

消費電力

電気接続

周囲温度

周囲湿度

瞬時流量

積算流量

上　段

下　段

瞬時流量

積算流量

TRX－ ① ② ③

7

9

0

1

4

1

2

3

4

5

6

7

8

9

A

F

③ ケーブル長

② 温度・　圧力補正

内　容

DIN96×96 パネルマウント

防水ハウジング、フィールド設置形

補正なし

温度補正

温度補正＋圧力補正

5m

10m

15m

20m

25m

30m

35m

40m

45m

50m

50m～100m ※ケーブル長ご指示下さい。

① タイプ

形式コード

TG-ES395-14

THサーマルフローメータ

16 TOKYO KEISO CO., LTD.

外形寸法●TRX-700（パネル取付用） ● TRX-900（壁取付用）

96

96

92

92

21510 18

正　面 背　面

側　面

THERMAL FLOW CONVERTOR

TOKYO KEISO CO.,LTD

340

390

φ14

300

300 200

200

200

400

400

TRX-700 TRX-900

パネルカット

●TRX-900（2Bパイプ取付用）

THサーマルフローメータ

TG-ES395-14 TOKYO KEISO CO., LTD. 17

流量範囲（フルスケール）

ガス

50A65A80A100A125A150A200A250A300A350A400A450A500A550A600A650A700A750A800A850A900A1000A1100A1200A1300A1400A1500A

45～ 840 60～ 1395 70～ 1965 90～ 3385 115～ 5155 135～ 7360 175～ 12650 220～ 19685 260～ 28145 295～ 35190 335～ 46460 380～ 59310 425～ 73440 470～ 89420 510～106260 555～124170 595～144735 645～166885 735～190610 830～215920 935～2428151155～2995201405～3651181675～4350201965～5110502280～5932002620～681490

45～ 840 60～ 1395 70～ 1965 90～ 3380 115～ 5145 135～ 7345 175～ 12625 220～ 19650 260～ 28090 295～ 35125 335～ 46375 380～ 59200 425～ 73305 470～ 89255 510～ 106060 555～ 123940 595～ 144465 645～ 166575 735～ 190260 830～ 215520 935～ 242365 1155～ 2989651405～ 3644401675～ 4342151965～ 5101052280～ 5921052620～ 680225

25～ 1135 30～ 1885 35～ 2655 50～ 4570 60～ 6955 70～ 9940 90～ 17080 115～ 26580 150～ 37995 185～ 47510 245～ 62725 310～ 80070 385～ 99150 465～ 120725 555～ 143460 645～ 167635 755～ 195405 870～ 225305 990～ 2573401125～ 2915101265～ 3278151555～ 4043701900～ 4929302260～ 5873102655～ 6899553080～ 8008703540～ 920060

45～ 820 60～ 1360 70～ 1915 90～ 3295 115～ 5020 135～ 7170 175～ 12325 220～ 19180 260～ 27415 295～ 34280 335～ 45260 380～ 57775 425～ 71540 470～ 87110 510～ 103510 555～ 120960 595～ 140995 645～ 162570 715～ 185685 810～ 210340 910～ 236535 1125～ 2917751370～ 3556751630～ 4237751915～ 4978402225～ 5778702555～ 663870

40～ 1675 50～ 2775 60～ 3915 80～ 6735 100～ 10250 120～ 14640 155～ 25160 190～ 39160 230～ 55980 270～ 69995 355～ 92405 455～ 117960 565～ 146065 685～ 177850 815～ 211345 950～ 2469651110～ 2878701280～ 3319201460～ 3791151655～ 4294551860～ 4829402295～ 5957252795～ 7261903330～ 8652253910～ 10164454540～ 11798505215～ 1355435

40～ 545 50～ 905 60～ 1275 80～ 2195 100～ 3340 120～ 4775 155～ 8205 190～ 12770 230～ 18255 255～ 22825 295～ 30130 335～ 38465 370～ 47630 410～ 57995 445～ 68920 485～ 80535 525～ 93875 560～ 108240 600～ 123630 640～ 140045 680～ 157485 755～ 194265 915～ 2368101085～ 2821501275～ 3314651480～ 3847501700～ 442010

50～ 550 65～ 915 75～ 1290 100～ 2220 120～ 3380 145～ 4830 190～ 8300 235～ 12920 280～ 18465 315～ 23090 360～ 30485 410～ 38915 455～ 48190 505～ 58675 550～ 69725 595～ 81475 640～ 94970 690～ 109505 735～ 125075 785～ 141685 830～ 159330 925～ 1965401020～ 2395801115～ 2854501290～ 3353401500～ 3892501720～ 447175

15～ 540 20～ 895 20～ 1260 25～ 2170 35～ 3305 40～ 4720 50～ 8115 60～ 12630 75～ 18060 90～ 22580 115～ 29810 150～ 38055 185～ 47125 225～ 57380 265～ 68185 310～ 79675 360～ 92875 415～ 107090 470～ 122315 535～ 138555 600～ 155810 740～ 192200 905～ 2342951075～ 2791501265～ 3279401460～ 3806601685～ 437310

10～ 440 10～ 735 15～ 1035 20～ 1785 20～ 2715 25～ 3880 35～ 6670 40～ 10380 60～ 14835 75～ 18550 95～ 24490 120～ 31265 150～ 38715 185～ 47140 215～ 56020 255～ 65460 295～ 76300 340～ 87980 390～ 100490 440～ 113830 495～ 128005 610～ 157900 740～ 192485 885～ 229335 1040～ 2694201205～ 3127301385～ 359270

40～ 800 55～ 1330 65～ 1875 85～ 3225 105～ 4910 125～ 7010 160～ 12050 200～ 18750 240～ 26810 265～ 33520 305～ 44255 345～ 56490 385～ 69950 425～ 85175 465～ 101215 500～ 118275 540～ 137865 615～ 158960 700～ 181560 795～ 205670 890～ 2312851100～ 2853001340～ 3477801600～ 4143651875～ 4867852175～ 5650452500～ 649135

5～ 34 7～ 45 10～ 53 17～ 69 26～ 85 37～ 98 1200～ 1584 1460～ 24571780～ 34982170～ 4058

5～ 30 7～ 39 10～ 47 17～ 62 26～ 78 37～ 89 65～ 1091330～ 15371620～ 21891930～ 2539

■TH-1100/TH-1400

■TH-1200　［整流器を付加しない場合］

口径AIR空気

N2窒素

CO2二酸化炭素

O2酸素

Arアルゴン

13A都市ガス

CH4メタン

C3H8プロパン

C4H10ブタン

NH3アンモニア

Heヘリウム

H2水素

ガス

50A65A80A100A125A150A

45～ 840 60～ 1395 70～ 1965 90～ 3385 115～ 5155 135～ 7360

45～ 840 60～ 1395 70～ 1965 90～ 3380 115～ 5145 135～ 7345

25～ 1135 30～ 1885 35～ 2655 50～ 4570 60～ 6955 70～ 9940

45～ 820 60～ 1360 70～ 1915 90～ 3295 115～ 5020 135～ 7170

40～ 1675 50～ 2775 60～ 3915 80～ 6735 100～ 10250 120～ 14640

40～ 545 50～ 905 60～ 1275 80～ 2195 100～ 3340 120～ 4775

50～ 550 65～ 915 75～ 1290 100～ 2220 120～ 3380 145～ 4830

15～ 540 20～ 895 20～ 1260 25～ 2170 35～ 3305 40～ 4720

10～ 440 10～ 735 15～ 1035 20～ 1785 20～ 2715 25～ 3880

40～ 800 55～ 1330 65～ 1875 85～ 3225 105～ 4910 125～ 701

5～ 34 7～ 45 10～ 53 17～ 69 26～ 85 37～ 98

5～ 30 7～ 39 10～ 47 17～ 62 26～ 78 37～ 89

口径AIR空気

N2窒素

CO2二酸化炭素

O2酸素

Arアルゴン

13A都市ガス

CH4メタン

C3H8プロパン

C4H10ブタン

NH3アンモニア

Heヘリウム

H2水素

■TH-1200　［整流器を付加した場合］ガス

50A65A80A100A125A150A

5～ 285 10～ 450 10～ 690 15～ 1200 25～ 1810 35～ 2605

5～ 285 10～ 450 10～ 690 15～ 1200 25～ 1810 35～ 2605

5～ 385 10～ 610 15～ 930 20～ 1625 35～ 2445 45～ 3520

5～ 275 10～ 440 10～ 670 15～ 1170 25～ 1760 35～ 2540

0～ 565 15～ 895 20～ 1375 30～ 2390 45～ 3600 65～ 5185

5～ 185 5～ 290 10～ 445 10～ 780 15～ 1175 25～ 1690

5～ 185 5～ 295 10～ 450 10～ 790 15～ 1185 25～ 1710

5～ 180 5～ 290 10～ 440 10～ 770 15～ 1160 25～ 1670

5～ 150 5～ 235 5～ 365 10～ 635 15～ 955 20～ 1375

5～ 270 5～ 430 10～ 655 15～ 1145 25～ 1725 35～ 2480

5～ 99 7～ 180 10～ 254 17～ 428 26～ 645 37～ 916

5～ 61 7～ 108 10～ 159 17～ 267 26～ 403 37～ 573

口径AIR空気

N2窒素

CO2二酸化炭素

O2酸素

Arアルゴン

13A都市ガス

CH4メタン

C3H8プロパン

C4H10ブタン

NH3アンモニア

Heヘリウム

H2水素

単位：m3/h(nor)

単位：m3/h(nor)

単位：m3/h(nor)

［注意事項］（1） 上記流量は20℃、1atmで使用した場合の値を0℃、1atmに換算した値です。

各口径の流量範囲において使用条件が0.1MPa以上かつ最大流量が表の最大流量の40％以下の場合弊社までお問い合せ下さい。（2） 使用流体が混合ガスの場合の物性値はVol％でご指示下さい。

TG-ES395-14

THサーマルフローメータ

18 TOKYO KEISO CO., LTD.

ガス

65A80A100A125A150A200A250A300A350A400A450A500A550A600A650A700A750A800A850A900A1000A1100A1200A1300A1400A1500A

60～ 820 80～ 1140 135～ 1960 200～ 2980 285～ 4250 485～ 7245 745～ 11140 1060～ 15855 1320～ 19800 1745～ 26135 2230～ 33385 2760～ 41375 3365～ 50430 4000～ 59985 4680～ 70160 5460～ 81860 6300～ 94470 7200～ 107995 8165～ 122430 9185～ 137780 11345～ 170175 13850～ 207680 16515～ 247685 19415～ 291220 22555～ 338295 25930～ 388900

60～ 820 80～ 1140 135～ 1955 200～ 2975 285～ 4245 485～ 7230 745～ 11120 1060～ 15825 1320～ 19765 1740～ 26090 2225～ 33320 2755～ 41295 3360～ 50335 3995～ 59870 4670～ 70030 5450～ 81710 6290～ 94295 7190～ 107795 8150～ 122205 9170～ 137525 11325～ 169860 13820～ 207295 16480～ 247225 19380～ 290685 22515～ 337665 25880～ 388180

75～ 1105 105～ 1540 180～ 2645 270～ 4020 385～ 5740 655～ 9780 1005～ 15040 1430～ 21400 1785～ 26735 2355～ 35285 3005～ 45070 3725～ 55860 4540～ 68080 5400～ 80985 6315～ 94720 7370～ 110515 8505～ 127545 9720～ 145805 11020～ 165290 12405～ 186015 15320～ 229745 18695～ 280385 22295～ 334390 26215～ 393170 30450～ 456720 35005～ 525040

60～ 800 75～ 1110 130～ 1910 195～ 2900 280～ 4140 470～ 7055 725～ 10850 1030～ 15445 1290～ 19290 1700～ 25460 2170～ 32520 2690～ 40305 3275～ 49125 3900～ 58435 4560～ 68345 5320～ 79745 6135～ 92030 7015～ 105205 7955～ 119265 8950～ 134220 11055～ 165775 13490～ 202315 16090～ 241280 18915～ 283695 21970～ 329550 25260～ 378845

110～ 1630 155～ 2270 260～ 3900 395～ 5925 565～ 8460 965～ 14405 1480～ 22155 2105～ 31535 2630～ 39385 3470～ 51985 4430～ 66400 5490～ 82290 6690～ 100300 7955～ 119305 9305～ 139545 10855～ 162815 12530～ 187900 14320～ 214800 16235～ 243510 18270～ 274035 22565～ 338465 27540～ 413065 32845～ 492630 38615～ 579225 44860～ 672845 51570～ 773495

55～ 530 60～ 740 85～ 1270 130～ 1930 185～ 2755 315～ 4695 485～ 7225 690～ 10280 860～ 12845 1130～ 16950 1445～ 21650 1790～ 26835 2185～ 32705 2595～ 38905 3035～ 45505 3540～ 53095 4085～ 61275 4670～ 70045 5295～ 79410 5960～ 89365 7360～ 110375 8980～ 134700 10710～ 160645 12595～ 188885 14630～ 219415 16820～ 252240

65～ 535 75～ 750 100～ 1285 130～ 1955 190～ 2790 320～ 4750 490～ 7310 695～ 10400 870～ 12995 1145～ 17150 1460～ 21905 1810～ 27150 2210～ 33090 2625～ 39360 3070～ 46035 3585～ 53715 4135～ 61990 4725～ 70865 5360～ 80335 6030～ 90410 7445～ 111665 9085～ 136275 10835～ 162525 12740～ 191095 14800～ 221980 17015～ 255185

35～ 525 50～ 730 85～ 1255 130～ 1910 185～ 2730 310～ 4645 480～ 7145 680～ 10175 850～ 12705 1120～ 16770 1430～ 21420 1770～ 26550 2160～ 32360 2570～ 38490 3005～ 45020 3505～ 52530 4045～ 60620 4620～ 69300 5240～ 78565 5895～ 88410 7280～ 109200 8885～ 133270 10600～ 158940 12460～ 186875 14475～ 217080 16640～ 249555

30～ 430 40～ 600 70～ 1030 105～ 1570 150～ 2240 255～ 3815 395～ 5870 560～ 8355 700～ 10440 920～ 13780 1175～ 17600 1455～ 21810 1775～ 26585 2110～ 31620 2470～ 36985 2880～ 43155 3320～ 49805 3800～ 56935 4305～ 64545 4845～ 72635 5985～ 89715 7300～ 109485 8705～ 130575 10235～ 153530 11890～ 178345 13670～ 205025

55～ 780 75～ 1085 125～ 1865 190～ 2835 270～ 4050 460～ 6900 710～ 10610 1010～ 15100 1260～ 18860 1660～ 24895 2120～ 31800 2630～ 39410 3205～ 48035 3810～ 57135 4455～ 66830 5200～ 77975 6000～ 89985 6860～ 102870 7775～ 116620 8750～ 131240 10810～ 162095 13190～ 197820 15730～ 235925 18495～ 277395 21485～ 322235 24700～ 370435

7～ 45 10～ 53 17～ 69 26～ 85 37～ 98 1200～ 1584 1460～ 2457 1780～ 3498 2170～ 4058

7 ～ 39 10～ 47 17～ 62 26～ 78 37～ 89 65～ 109 1330～ 1537 1620～ 2189 1930～ 2539

■TH-3200/TH-3300

口径AIR空気

N2窒素

CO2二酸化炭素

O2酸素

Arアルゴン

13A都市ガス

CH4メタン

C3H8プロパン

C4H10ブタン

NH3アンモニア

Heヘリウム

H2水素

■TH-1500-HQガス

15A20A25A

260～ 1655 340～ 2825 440～ 4705

260～ 1655 340～ 2820 440～ 4695

135～ 2235 175～ 3820 230～ 6350

260～ 1615 340～ 2755 440～ 4580

230～ 3295 300～ 5625 385～ 9355

225～ 1075 300～ 1835 385～ 3050

280～ 1085 365～ 1855 470～ 3085

75～ 1060 95～ 1815 125～ 3015

50～ 875 65～ 1490 85～ 2480

235～ 1575 310～ 2695 400～ 4480

40～ 190 60～ 250 100～ 310

24～ 120 40～ 200 80～ 300

口径AIR空気

N2窒素

CO2二酸化炭素

O2酸素

Arアルゴン

13A都市ガス

CH4メタン

C3H8プロパン

C4H10ブタン

NH3アンモニア

Heヘリウム

H2水素

■TH-1100-HQガス

50A65A80A100A

50～ 935 60～ 1455 70～ 1995 90～ 3355

50～ 930 60～ 1450 70～ 1990 90～ 3350

25～ 1260 30～ 1965 35～ 2695 45～ 4530

50～ 910 60～ 1415 70～ 1945 90～ 3265

45～ 1860 55～ 2895 60～ 3970 80～ 6670

45～ 605 55～ 945 60～ 1295 80～ 2175

50～ 610 65～ 955 75～ 1310 95～ 2200

15～ 600 20～ 935 20～ 1280 25～ 2150

10～ 490 15～ 765 15～ 1050 20～ 1765

45～ 890 55～ 1385 65～ 1900 80～ 3195

5～ 34 7～ 45 10～ 53 17～ 69

5～ 30 7～ 39 10～ 47 17～ 62

口径AIR空気

N2窒素

CO2二酸化炭素

O2酸素

Arアルゴン

13A都市ガス

CH4メタン

C3H8プロパン

C4H10ブタン

NH3アンモニア

Heヘリウム

H2水素

単位：m3/h(nor)

単位：L/min(nor)

単位：m3/h(nor)

■TH-1700ガス

15A20A25A40A50A

235～ 1355 315～ 2430 400～ 3900 620～ 9295 775～ 14815

235～ 1355 315～ 2430 400～ 3895 620～ 9280 775～ 14790

120～ 1830 165～ 3285 210～ 5270 320～ 12550 400～ 20005

235～ 1320 315～ 2370 400～ 3800 620～ 9055 775～ 14435

205～ 2700 275～ 4840 350～ 7760 545～ 18490 680～ 29470

205～ 880 275～ 1575 350～ 2530 545～ 6030 675～ 9610

250～ 890 340～ 1595 430～ 2560 665～ 6100 830～ 9720

65～ 870 90～ 1560 115～ 2505 175～ 5965 215～ 9505

45～ 715 60～ 1280 75～ 2055 115～ 4900 145～ 7810

215～ 1290 285～ 2315 365～ 3715 565～ 8855 705～ 14115

8～ 160 15～ 280 20～ 350 50～ 530 70～ 670

8～ 100 15～ 170 20～ 260 50～ 480 70～ 600

口径AIR空気

N2窒素

CO2二酸化炭素

O2酸素

Arアルゴン

13A都市ガス

CH4メタン

C3H8プロパン

C4H10ブタン

NH3アンモニア

Heヘリウム

H2水素

■TH-1800ガス

15A20A25A40A50A

10～ 560 15～ 1010 20～ 1620 40～ 3540 65～ 5855

10～ 560 15～ 1010 20～ 1620 40～ 3535 65～ 5845

10～ 760 15～ 1365 25～ 2185 55～ 4780 90～ 7905

10～ 550 15～ 985 20～ 1580 40～ 3450 65～ 5705

15～ 1120 25～ 2010 40～ 3225 80～ 7045 130～ 11645

5～ 365 10～ 655 15～ 1050 30～ 2295 45～ 3795

5～ 370 10～ 660 15～ 1060 30～ 2325 45～ 3840

5～ 360 10～ 645 15～ 1040 25～ 2270 45～ 3755

5～ 295 10～ 530 10～ 855 25～ 1865 35～ 3085

10～ 535 15～ 960 20～ 1545 40～ 3370 65～ 5575

2～ 130 3～ 240 5～ 400 10～ 940 16～ 1520

1～ 80 2～ 150 3～ 240 6～ 570 10～ 920

口径AIR空気

N2窒素

CO2二酸化炭素

O2酸素

Arアルゴン

13A都市ガス

CH4メタン

C3H8プロパン

C4H10ブタン

NH3アンモニア

Heヘリウム

H2水素

単位：L/min(nor)

単位：L/min(nor)

［注意事項］（1）上記流量は20℃、1atmで使用した場合の値を0℃、1atmに換算した値です。 各口径の流量範囲において使用条件が0.1MPa以上かつ最大流量が表の最大流量の40％以下の場合弊社までお問い合せ下さい。（2）使用流体が混合ガスの場合の物性値はVol％でご指示下さい。

THサーマルフローメータ

TG-ES395-14 TOKYO KEISO CO., LTD. 19

ガス

150A200A250A300A350A400A450A500A550A600A650A700A750A800A850A900A1000A1100A1200A1300A1400A1500A

255～ 3815 455～ 6805 725～ 10830 1045～ 15675 1315～ 19715 1750～ 26185 2240～ 33560 2780～ 41680 3395～ 50865 4040～ 60550 4725～ 70850 5515～ 82680 6365～ 95425 7275～ 109080 8245～ 123645 9275～ 139125 11455～ 171775 13970～ 209550 16655～ 249810 19575～ 293605 22730～ 340940 26120～ 391800

255～ 3805 455～ 6790 725～ 10810 1045～ 15645 1315～ 19680 1745～ 26135 2235～ 33500 2775～ 41605 3385～ 50770 4030～ 60435 4715～ 70715 5505～ 82525 6350～ 95245 7260～ 108875 8230～ 123415 9260～ 138870 11435～ 171455 13945～ 209160 16625～ 249350 19540～ 293065 22690～ 340305 26075～ 391075

345～ 5150 615～ 9185 975～ 14625 1415～ 21165 1775～ 26620 2360～ 35350 3025～ 45310 3755～ 56275 4580～ 68675 5450～ 81745 6480～ 95650 7445～ 111625 8590～ 128830 9820～ 147265 11130～ 166930 12525～ 187830 15465～ 231910 18865～ 282905 22485～ 337265 26430～ 396390 30690～ 460290 35265～ 528960

250～ 3715 445～ 6625 705～ 10550 1020～ 15270 1285～ 19205 1705～ 25505 2180～ 32695 2710～ 40605 3305～ 49550 3935～ 58985 4605～ 69015 5370～ 80540 6200～ 92955 7085～ 106260 8030～ 120450 9035～ 135530 11160～ 167335 13610～ 204130 16225～ 243355 19070～ 286015 22145～ 332125 25445～ 381675

510～ 7585 905～ 13530 1440～ 21545 2080～ 31180 2615～ 39215 3475～ 52080 4450～ 66755 5530～ 82905 6745～ 101170 8030～ 120430 9395～ 140915 10965～ 164445 12655～ 189790 14465～ 216950 16395～ 245925 18450～ 276715 22780～ 341650 27785～ 416780 33125～ 496860 38935～ 583965 45210～ 678100 51955～ 779270

165～ 2475 295～ 4410 470～ 7025 680～ 10165 855～ 12785 1135～ 16980 1455～ 21770 1805～ 27035 2200～ 32990 2620～ 39270 3065～ 45950 3575～ 53625 4130～ 61890 4720～ 70745 5350～ 80195 6020～ 90235 7430～ 111410 9065～ 135910 10805～ 162025 12700～ 190430 14745～ 221130 16945～ 254120

170～ 2500 300～ 4465 475～ 7105 690～ 10285 865～ 12935 1145～ 17180 1470～ 22020 1825～ 27350 2225～ 33375 2650～ 39730 3100～ 46490 3620～ 54250 4175～ 62615 4775～ 71575 5410～ 81135 6090～ 91290 7515～ 112715 9170～ 137500 10930～ 163920 12845～ 192655 14915～ 223715 17140～ 257090

165～ 2445 295～ 4365 465～ 6950 675～ 10060 845～ 12650 1120～ 16800 1440～ 21535 1785～ 26745 2180～ 32640 2590～ 38855 3035～ 45460 3540～ 53055 4085～ 61230 4670～ 69995 5290～ 79345 5955～ 89275 7350～ 110225 8965～ 134465 10690～ 160300 12565～ 188405 14585～ 218780 16765～ 251415

135～ 2010 240～ 3585 385～ 5710 555～ 8265 695～ 10395 920～ 13805 1180～ 17695 1465～ 21975 1790～ 26815 2130～ 31920 2490～ 37350 2910～ 43585 3355～ 50305 3835～ 57505 4350～ 65185 4890～ 73345 6040～ 90555 7365～ 110470 8780～ 131695 10320～ 154785 11985～ 179735 13770～ 206555

245～ 3635 435～ 6480 690～ 10315 1000～ 14930 1255～ 18780 1665～ 24940 2135～ 31970 2650～ 39700 3230～ 48450 3845～ 57675 4500～ 67485 5250～ 78755 6060～ 90890 6930～ 103900 7855～ 117775 8835～ 132520 10910～ 163620 13310～ 199600 15865～ 237950 18645～ 279665 21650～ 324750 24880～ 373200

■TH-3200-SP

口径AIR空気

N2窒素

CO2二酸化炭素

O2酸素

Arアルゴン

13A都市ガス

CH4メタン

C3H8プロパン

C4H10ブタン

NH3アンモニア

※ 測定レンジは0～フルスケール流量となります。 例） TH-1100 50A AIRの場合 最小測定レンジ：0～ 45 m3/h(nor) 最大測定レンジ：0～840 m3/h(nor)

単位：m3/h(nor)

ガス

150A200A250A300A350A400A450A500A550A600A650A700A750A800A850A900A1000A1100A1200A1300A1400A1500A

120～ 3800 165～ 6840 210～ 10870 255～ 15715 285～ 19755 330～ 26220 375～ 33600 420～ 41720 460～ 50905 505～ 60585 545～ 70885 590～ 82720 640～ 95460 730～ 109115 825～ 123685 930～ 139165 1145～ 171815 1400～ 209585 1670～ 249850 1960～ 293645 2275～ 340975 2615～ 391840

120～ 3790 165～ 6830 210～ 10850 255～ 15685 285～ 19720 330～ 26175 375～ 33540 420～ 41640 460～ 50810 505～ 60475 545～ 70755 590～ 82565 640～ 95285 730～ 108915 825～ 123455 930～ 138905 1145～ 171495 1400～ 209200 1670～ 249385 1960～ 293100 2275～ 340345 2615～ 391115

65～ 5130 85～ 9235 110～ 14675 145～ 21215 180～ 26670 240～ 35400 305～ 45365 380～ 56325 460～ 68725 545～ 81795 640～ 95700 745～ 111675 860～ 128880 985～ 147315 1115～ 166985 1255～ 187880 1550～ 231960 1890～ 282960 2250～ 337315 2645～ 396440 3070～ 460340 3530～ 529010

120～ 3700 165～ 6665 210～ 10590 255～ 15310 285～ 19245 330～ 25545 375～ 32730 420～ 40640 460～ 49590 505～ 59020 545～ 69055 590～ 80580 635～ 92995 710～ 106295 805～ 120485 905～ 135565 1120～ 167370 1365～ 204170 1625～ 243390 1910～ 286055 2215～ 332160 2545～ 381710

105～ 7560 145～ 13610 185～ 21620 220～ 31255 265～ 39295 350～ 52155 450～ 66830 555～ 82980 675～ 101245 805～ 120505 940～ 140990 1100～ 164520 1270～ 189870 1450～ 217030 1640～ 246000 1845～ 276790 2280～ 341725 2780～ 416855 3315～ 496935 3895～ 584040 4525～ 678180 5200～ 779345

105～ 2465 145～ 4435 185～ 7050 220～ 10190 250～ 12810 290～ 17005 330～ 21790 365～ 27060 405～ 33015 440～ 39295 480～ 45975 520～ 53650 555～ 61915 595～ 70770 635～ 80220 675～ 90260 750～ 111435 910～ 135935 1080～ 162050 1270～ 190455 1475～ 221155 1695～ 254145

130～ 2490 175～ 4490 225～ 7130 270～ 10310 305～ 12960 355～ 17205 400～ 22045 450～ 27375 495～ 33400 540～ 39755 585～ 46515 635～ 54275 685～ 62640 730～ 71600 780～ 81160 825～ 91315 920～ 112740 1015～ 137525 1110～ 163945 1285～ 192685 1495～ 223740 1715～ 257115

35～ 2435 45～ 4390 60～ 6975 70～ 10085 85～ 12675 115～ 16825 145～ 21560 180～ 26770 220～ 32665 260～ 38875 305～ 45485 355～ 53080 410～ 61255 470～ 70020 530～ 79365 595～ 89300 735～ 110250 900～ 134490 1070～ 160325 1260～ 188430 1460～ 218800 1680～ 251440

25～ 2000 30～ 3605 40～ 5730 55～ 8285 70～ 10415 95～ 13825 120～ 17715 150～ 21995 180～ 26835 215～ 31940 250～ 37370 295～ 43605 340～ 50325 385～ 57525 435～ 65205 490～ 73365 605～ 90575 740～ 110490 880～ 131715 1035～ 154805 1200～ 179760 1380～ 206575

110～ 3620 150～ 6515 190～ 10355 230～ 14970 260～ 18815 300～ 24975 340～ 32005 380～ 39740 420～ 48485 460～ 57710 495～ 67520 535～ 78790 610～ 90930 695～ 103935 785～ 117810 885～ 132555 1095～ 163655 1335～ 199635 1590～ 237985 1865～ 279705 2165～ 324785 2490～ 373235

■TH-1100-SP

口径AIR空気

N2窒素

CO2二酸化炭素

O2酸素

Arアルゴン

13A都市ガス

CH4メタン

C3H8プロパン

C4H10ブタン

NH3アンモニア

単位：m3/h(nor)

［注意事項］（1） 上記流量は20℃、1atmで使用した場合の値を0℃、1atmに換算した値です。 各口径の流量範囲において使用条件が0.1MPa以上かつ最大流量が表の最大流量の40％以下の場合弊社までお問い合せ下さい。（2） 使用流体が混合ガスの場合の物性値はVol％でご指示下さい。

TG-ES395-14

THサーマルフローメータ

20

電気接続と専用信号ケーブルサーマルフローメータはセンサ（検出器）～コンバータ（変換器）間を専用信号ケーブルで接続致します。詳細は下記表を参照願います。

●電気接続と専用信号テーブル

専用ケーブル

検出器（センサ）形　　式 端末処理

形　　式 端末処理 最長ケーブル長TH-1100, 1200, 1400, 1700, 1800, 1100-SP, 3200-SP

TH-1100-HQ, 1500-HQ

TH-3200, 3300

専用コネクタまたは

M3.5ネジ端子

専用コネクタ

M3.5ネジ端子

棒状差込端子

棒状差込端子

M3ネジ端子

変換器（コンバータ）

TRX-600

TRX-700

TRX-900

50m

100m

100m

ご使用に際して・ 一般のサーマルフローメータは、測定原理上、ダスト・ミストを含むガスや結露の可能性のあるガス計測には適しませんが、オプション仕様としてエアーパージシステムもございますので、お問い合わせください。

・ サーマルフローメータは流速検出形の流量計です。正確な計測のためには所定の上下流直管長が必要です。 詳細は納入仕様書あるいは取扱説明書をご参照下さい。