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App l ica t ion Sys tems
アプリケーションシステム
光学素子
ホルダー
ベース
手動ステージ
アクチュエータ
自動ステージ
光源
索引
Viewing
干渉計
検査/観察
バイオフォトニクス
レーザ加工
光通信
◦高分解能ステージの採用により、再現性に優れた調芯が可能です。◦ホルダーは、マグネット固定方式と突き当て機構の採用により、位置再現性を確保。
◦互換性のあるホルダーを交換することで、デバイスの変更に伴うアプリケーションの拡張が可能です。(ファイバーホルダー、ファイバー回転ホルダー、ファイバーアレイホルダー等)
仕様品番 軸 X Y Z θx θy θz
DAU-080M-L移動量 粗動:±6.5mm微動:±0.25mm
粗動:±6.5mm微動:±0.25mm
粗動:±6.5mm微動:±0.25mm ±2.5° ±2.5° ±5°
分解能 粗動:0.01mm微動:0.0005mm粗動:0.01mm微動:0.0005mm
粗動:0.01mm微動:0.0005mm 27.8″ 27.8″ 26.8″
DAU-080M-R移動量 粗動:±6.5mm微動:±0.25mm
粗動:±6.5mm微動:±0.25mm
粗動:±6.5mm微動:±0.25mm ±2.5° ±2.5° ±5°
分解能 粗動:0.01mm微動:0.0005mm粗動:0.01mm微動:0.0005mm
粗動:0.01mm微動:0.0005mm 27.8″ 27.8″ 26.8″
仕様品番 軸 X Y Z θx θy θz
DAU-080A-L
移動量 30mm 30mm 30mm ±9° ±7° ±5°
分解能(Full) 2μm 2μm 2μm ≒0.00229° ≒0.00198° ≒0.0217°
(Half) 1μm 1μm 1μm ≒0.00115° ≒0.00095° ≒0.0108°
位置決め精度 6μm以内 6μm以内 6μm以内 − − −
繰返し位置決め 1μm以内 1μm以内 1μm以内 ±0.004°以内 ±0.004°以内 ±0.004°以内
DAU-080A-R
移動量 30mm 30mm 30mm ±9° ±7° ±5°
分解能(Full) 2μm 2μm 2μm ≒0.00229° ≒0.00198° ≒0.0217°
(Half) 1μm 1μm 1μm ≒0.00115° ≒0.00095° ≒0.0108°
位置決め精度 6μm以内 6μm以内 6μm以内 − − −
繰返し位置決め 1μm以内 1μm以内 1μm以内 ±0.004°以内 ±0.004°以内 ±0.004°以内
12軸(6軸)手動調芯ユニット/12軸(6軸)自動調芯ユニット DAU-080M / DAU-080A3軸自動XYθユニット DAU-120A
W2032
W2033
カタログコード
カタログコード
DAU-080M
DAU-080A
品番 価格〔¥〕 軸数
DAU-080M-0 730,000 12軸
DAU-080M-L 365,000 6軸
DAU-080M-R 365,000 6軸
品番 価格〔¥〕 軸数
DAU-080A-0 2,132,000 12軸
DAU-080A-L 1,066,000 6軸
DAU-080A-R 1,066,000 6軸
◦高剛性、高性能ステージの採用により、再現性に優れた調芯が可能です。◦ホルダーは、マグネット固定方式と突き当て機構の採用により、位置再現性を確保しました。
◦互換性のあるホルダーを交換することで、デバイスの変更に伴うアプリケーションの拡張が可能です。(ファイバーホルダー、ファイバー回転ホルダー、ファイバーアレイホルダー等)
Y軸
θzθx
θy
Z軸X軸
手動による12軸(6軸)ファイバー調芯ユニットです。ファイバーアレイ−光導波路−ファイバーアレイ等のパッシブデバイスの調芯に最適です。
6軸対称型の自動調芯用12軸(6軸)自動ステージユニットです。ファイバーアレイ−光導波路−ファイバーアレイ等のパッシブデバイスの調芯に最適です。
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A029TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
アプリケーションシステム
光学素子
ホルダー
ベース
手動ステージ
アクチュエータ
自動ステージ
光源
索引
Viewing
干渉計
検査/観察
バイオフォトニクス
レーザ加工
光通信
外形図
5032
50 32
131
∅80
4-M4 深5
4-M3 深5
4-M4 深5
204.5
212.5
90 90100 100
16
4-φ4.2(M5)φ8ザグリ 深4.5
外形図
仕様品番 軸 X Y θ
DAU-120A
移動量 50mm 50mm反時計周りCCW方向は∞、時計周りCW方向は0度付近(−2.5°)で停止
分解能(Full) 2μm 2μm 0.005°/パルス
(Half) 1μm 1μm 0.0025°/パルス
位置決め精度 6μm以内 6μm以内 0.15°
繰返し位置決め 1μm以内 1μm以内 0.02°
W2034カタログコードDAU-120A
品番 価格〔¥〕 軸数
DAU-120A 518,000 3軸
◦YAG溶接用面合わせ機構(ジンバル)ユニットも取付可能です。◦Z軸との組合せで、使用すると有効です。◦高剛性、高性能ステージの採用により、再現性に優れた調芯が可能です。◦ホルダーは、マグネット固定方式と突き当て機構の採用により、位置再現性を確保する構造です。
◦互換性のあるホルダーを交換する事で、デバイスの変更に伴うアプリケーションの容易な拡張が可能です。(ファイバーホルダー、ファイバー回転ホルダー、ファイバーアレイホルダー等)
DAU-080M
DAU-080A
6.511
100
120
55 (197.4)
(4)3636
6.511
100
55120
(197.4)
(240)35
1224
235
102130
35
12 24
235
102 130
3.5
3.5
(20) 110110 1010
(208.5)
(208.5)
9090
回転中心
6.5
11
100
120197
6.5 11
100
120 197
3636(8)462
90110 156 110(43) (43)
103.5
200
23223
10 3.5
200
23223
34 34
TOSA(UV接着固定タイプ)/ROSA等の調芯に必要なXYθの3軸自動ステージユニットです。
(単位:mm)
(単位:mm)