clean room - topwell-pes.comfiles.topwell-pes.com/topwell/download/ffu_jp.pdfboth ac and dc ffu can...

Clean RoomFan Filter Unit

1

RCR FFU CR Fan Filter Unit CR Fan Filter Unit

TOPWELLは30年のクリーンルーム工事経験を活かし、台湾の電子産業における高度な技術と優れたソフトウェア技術者を採用し、台湾企業ならではの高品質加工技術、国際分野において新たな高効率ファンフィルターユニットを開発することができました。

TOPWELL , accumulated 30 years of service in cleanroom construction, developed the new generation of high

省エネ・高効率FFU Total Efficiencyは56％！ Total Eff 56%

各種のファンの特長を組合せて高効率・低騒音の使用目標を達成しました。

Aerofo i l or centr i fugal fan is selected to meet the application requirement.

気流を3Dで可視化／シミュレーションするソフトウェアによって、最高の気流を再現するケーシング構造を開発しました。FFUの効率を上げるだけでなく、風量の分布も均一にしました。

FFU casing is designed, via air flow simulation software, to ensure the efficiency and flow distribution.

専門の研究センターに於いて測定と検証を通し、開発データの正確性を確認し、製品の効率と品質を向上しました。

FFU performance is tested and verified by third party lab or research institute.

efficiency Fan Filter Unit, in synergy of Taiwan hi-tech electronic technology and HMI software development, manufactured under the reliable quality in Taiwan.

ファンの特徴 Fan Features

研究と試験験 Research and Development

65% of static pressure efficiency65％高静圧効率

3D翼型ファン

Aerofoil fan

多翼型ファン

Centrifugal fan

2


AC/DC motor controller

現在のハーモニックデータの殆どは、IEEEに準拠するように要求されています。電圧が380V以上の場合は15%以下、380V以下の場合は18％以下としています。このように、TOPWELLは全機種のハーモニック値を11％以下にしています。

Refer to IEEE specifications, the harmonic is to be less t han 15% and 18% fo r voltage > 380V and voltage < 380V, respectively. However, TOPWELL FFU controller is able to achieve the higher standard of harmonic less than 11%.

制御パネルは国際大手会社が台湾で投資・設立した製造会社によって開発・生産。その製品はEMC・SEMI関連の規格と規制に適合しています。制御パネルには高調波フィルターを搭載しており、高調波抑制を実現しました。

FFU controller is designed by Taiwan professional company, which is invested by international well known company, and is manufactured in Taiwan. The controller is tested to meet the EMC and SEMI standards and the harmonic filter is built-in to minimize the interference of power source.

MIT台湾設計製造の高品質・高効率制御パネルHigh efficiency design of FFU controller

Power Factor Correction VS Output Power Curve

AC 208V AC 220V AC 277V 出力(W)

Total Harmonic Distortion VS Output Power Curve

出力(W)AC 208V AC 220V AC 277V

AC/DC制御パネル

DC制御パネル

AC制御パネル

Total Harmonic Distortion VS Output Power Curve

500.00%

2.00%

4.00%

6.00%TH

D(%

)

8.00%

10.00%

12.00%

14.00%

16.00%

100 150 200 250 300 350 400

THD% / Power Factor Correction CurvePowr Factor Correction VS Output Power Curve

0 50

0.82

0.84

0.86

0.88

0.92

0.94

0.96

0.98

1.02

1.00

0.90

PF

100 150 200 250 300 350 400 450

BLDC motor controller

AC motor controller

3


高効率直流ブラシレスモータの効率は90％以上に達しています。その軸心と軸受の耐食性（Current Burn）が良く、軸受の寿命は100,000時間に達します。

The external rotor DC brushless motor is designed to achieve over 90% of efficiency, and the shaft/bearing is prevented from electrical pitting to assure the bearing life of 100,000 hours.

TOPWELL

モータ性能試験比較表Motor performance comparison

備考：一般直流モーターの効率は約72～82％

Note: General DC motor efficiency is about 72 ~ 82%

高速プレスシェル

騒音 Noise

震動 Vibration

低效率 Lower efficiency

磁気損失 Magnetic loss

干渉験験 Interference

低効率 Lower efficiency

ハーモニック干渉 Poor requirements of THD & PFC

軸電圧抑制 Higher haft voltage

モータ温度上昇 Motor temperature rise

電圧電流保護設計 Inadequate electrical surge protection

高効率・高品質モーターHigh efficiency motor

鍛造シェル

正弦波駆動BLDC

クリーンルーム専用FFU

OTHER

1

2

3

1

2

3

モーターの特徴Motor Features

300

200

100

TopWellImported motor進口品

Domestic motor一般國產品

0

060

65

70

75

80

0.5 1Torque(Nm)

1200 rpm

Effi

cien

cy(%

)

Pow

er C

onsu

mpt

ion(

W)

1.5 2

Precision forged rotor shell

Sine-wave BLDC

High performance for cleanroom application

Stamping rotor shell

Square-wave BLDC

Applicable for air conditioning FCU

矩形波駆動

空調ファンコイルユニットと共用

輸入品一般国製品

4


軸電圧はモーターの軸受けを壊す恐れありElectrical corrosion of motor bearing resulted from abnormal of shaft voltage

普通モーター使用の回転機械には軸と軸受けの間、又は軸受本体内に油膜はなければならない存在です。油膜には軸の回転を潤滑にする効果と、小さい軸電圧には絶縁効果があります。しかし、このモータで発生する軸電圧は油膜の絶縁破壊電圧に達すると、電流が回転子から軸受を通してシェルに電流が流れ、油膜破壊が発生します。そして、軸受と軸の金属接触面に電流が流れアーク放電（arc）が発生します。アーク放電により軸受けの温度上昇によって金属の電食現象が発生する訳です。

While motor rotating, the shaft is rotated against the bearing, and the lubricant is presented in form of oil film in between to facilitate the rotation. In addition to the lubrication, this film shall also have the function of insulation against small shaft voltage. If the shaft voltage is too high (or the insulation is too small), high shaft current is generated across the shaft, via bearing, to motor shell and induced to grounding. The generation of high current will create the electrical arc. The high-temperature of arc may cause the melting of metal contact between shaft and bearing.

異常製品の軸電圧測試結果表示図

The high shaft voltage occurs in case of abnormal motor

Topwellの軸電圧の設計制限は＜3.5VTopwell motor is designed to limit the shaft voltage to be <3.5V

This melting phenomenon will be presented in form of pitting in the housing of bearing or scratches on the shaft. Due to the electrical corrosion, the lubricant will be blacken and deteriorated from carbon contamination. In combination with the metal injury, it will eventually lead to the generation of noise and bearing damage. Most of the service life of motor bearings is designed of 100,000 hours, but the service life could be drastically reduced to be less than a year due to the electrical corrosion.

電食現象はころがり軸受の構造に、軌道面や転動面の表面で小さな穴（pitting）があき、軸表面にスクラッチ傷が発生します。また同時に、アーク放電が発生すると炭素が生じることにより、潤滑油が劣化して真っ黒になっていきます。金属の損傷とその屑の発生は軸受けの異常磨耗を激化させ、軸受の損害と高騒音の原因にもなります。殆どのモータ軸受の使用寿命は100,000時間と設計されていますが、こういう異常現象が発生した場合、軸受は1年以内に完全に壊れる恐れがあります。

5


CAD図を制御画面に使える。

中国語(日本語・英語表記)のINTOUCH制御ソフトによって工場設備管理システムと通信しやすい。

INTOUCH software applicable for the monitoring and control system, enable the integration to FMS.

主な制御功能Monitoring and control function

個別制御 Indiv idual control

グループ管理制御 Group control

中央制御サーバー Control Centre by Server

現地直接監視 Local Control by Local Cl ients

リモードコントロール制御(Internet) Remote Control by Internet

アドバンスト・コピー機能(OPC/EC機能) OPC service

制御システム間と情報交換をするユーザインターフェース（HMI） ex: Intouch, IFIX

複数機の運転状態表示機能あり。画面をタッチしたユニットの運転データが表示される。

個別運転のデータ表示

制御システムのソフト編集と試験調整はTOPWELLによって100％完成できます。２４時間以内にお客様のニーズにお答えできる仕組みが導入されています。

Individual control mode

Group control mode

Display is easily converted from CAD drawing

Test ing, commissioning and maintenance service fu l ly local supported.

6


FFUの監視システムFFU System

上層監視制御

ETHERNETを通して制御ソフトを利用できます。たとえば、INTOUCH ・IFIX・CIMPLICITYなど市場でよく使われるソフト或いはお客様がご自分で開発したソフトも設備管理システムに使用可能です。

RS-232Cを通してTopwellのゲートウェイに対する読み込みが可能です。

FFU制御器と直接通信が可能です。

1

2

3

データ収集器によって自動的に下層のFFU制御データがまとめられます

Type 1

特別規格、他の監視制御I/Oの整合に適用。

標準規格、FFUの監視制御システム専用

DC FFU制御器・Internet型 AC FFU制御器・Internet型 AC FFU制御器・非Internet型DC FFU制御器・Internet型

中層資料収集

Type 2

下層FFU制御器

LD01 WD01 LA01 LA02

註：上記FFU制御システムは一般的監視通信タイプのモデルです。また、手動の速度調整とアラーム乾接点付きの非監視通信タイプも選べます。

各種の設備管理システム（破線は選択仕様）

ゲートウェイ験験験験験験(GATEWAY)

AC,DC並行処理制御システム

Note:For AC FFU, the non-communication type, which is equipped only with manual control and alarm dry contact, is also available.

上層 (Top level)

中層 (Middle level)

下層 (Bottom level)

PLC for other facility system

Both AC and DC FFU can be integrated.

Top level: HMI

Via ETHERNET, the HMI (INTOUCH, IFIX,CIMPLICITY or self-developed software) Monitors and controls FFUs through gateway.

Direct communication with Topwell gateway by RS-232 is feasible.

Direct communication with Topwell FFU by RS-485 is feasible.

Gathering data from FFU controller actively.

Special request, applicable for other I/O integration.

Standard application for FFU system.

Middle level: Active gateway

Bottom level: FFU controller

DC FFU control ler (M/C) DC FFU control ler (M/C) w/ on-board display AC FFU control ler (M/C) AC FFU control ler (non-M/C)

Max. connection 94,500 FFUs !

7


クリーンルーム運用におけるFFU静圧の考え方FFU static pressure selection in consideration CR system requirement.

間違った考え方をしてませんか？FFUの静圧選定はフィルター圧損のみの約100～150Paで選定するのではなく、下図の例170～220 Paのように、風道システム全体の圧損（床圧損値、ドライコイル圧損、風道、管線等の圧損）を見込んで選定してください。上記のように選定しますと、消費電力は設定値より下がりますが、風量は目標値を満たさない場合があります。

Misleading informat ion:

The FFU s ta t i c p ressure se lec t ion sha l l cons ider the CR sys tem s ta t i c p ressure loss inc lud ing ra ised f loor, coo l ing co i l , g r i l le , shaf t space, p ip ing /duct ing space and add i t iona l p ressure fo r fu ture f i l te r dus t accumula t ion , wh ich is ranged f rom 170Pa to 220Pa (see drawing be low) . However, most o f FFU des ign f rom o ther manufacturers only considers the f i l ter pressure loss(100-150Pa), which is far less than actual CR requirement and resul ts in insuff ic ient a i r f low.

RAP=-40Pa

RAP=-45Pa

RAP=9Pa

CR=25Pa

Pre Filter

Waffle floor

DCC

HEPA

汚損

dp=40pa

dp=5pa

dp=100pa dp=150pa

Dust accumulation

dp=12pa

dp=9pa

dp=4pa

Ceiling

Floor

PROCESS EXHAUST

SMOKE EXHAUST

SMOKE EXHAUST FAN

MUA

HEPA清浄運転初期FFU:170Pa

Initial static pressure:180Pa

Final static pressure:230Pa

HEPA汚損運転末期FFU:220Pa

8


＜

ex. AC FFU 1000台

年間節約した電力／台：1,019 Kw-hr／台

ex. DC FFU 1000台(56/47％η)

年間節約した電力328,320 Kw-hr、年間節約した電力／台：328 Kw-hr／台

＜

56％η

47％η

OTHER TOPWELL箱型の気流設計

高効率モーター

高効率ファン

ex. AC FFU 1000台(41/30％η)

年間節約した電力432,000 Kw-hr、年間節約した電力／台：432 Kw-hr／台

＜

41％η

30％η

すべてのAC FFUが同じではない

OTHER TOPWELL箱型の気流設計

高効率モータ験

高効率ファン

OTHER AC 30％η TOPWELL DC 56％

η

超お得！

そうです！FFUの購入ポイントはユニットの効率です！

初期費用を安くしても、年間電気代が安くなるとは限らない！

すべてのDC FFUが同じではない

Annual energy saving: 1,019 Kw-hr per unit

Annual energy saving: 432 Kw-hr per unit

Annual energy saving: 328 Kw-hr per unit

Smart Buy!

Sufficient static pressure and efficiency is all that matters!

Less initial cost saving might be not worthy of annual running cost saving!

Same AC FFU ?

Same DC FFU ?

Aerodynamic

High efficiency motor

High efficiency impeller

Aerodynamic

High efficiency motor

High efficiency impeller

9


AC FFU 1200x600 Performance Curves

Speed (H,M,L) H M L

Air Velocity (m/s) 0.35 0.35 0.35

Air Volume (CMM) 15 15 15

Fan static pressure (mmAq)(unit without filter, with inlet guard) 24 22 20

Voltage (V) 220 220 220

Current (A) 0.67 0.64 0.61

Input power (W) 148 141 135

Efficiency(%) 40 38 36

Sound pressure level(dB/LpA1.5) @ H speed 51(with filter, A-weighted)

Noise criterion curve (NC) @ H speed NC-45

Octave frequency(Hz) @ H speed 63 125 250 500 1K 2K 4K 8K

Sound pressure leve(dB) @ H speed 33 44 51 40 37 42 33 29

運転ポイント (Duty Point)

0

2

4

6

8

10

12

14

16

18

20

22

24

26

28

30

32

34

36

38

40

0

10

20

30

40

50

60

70

80

90

100

110

120

130

140

150

160

170

180

190

200

Ps(

mm

Aq)風車靜壓

200

5

10

15

20

25

30

35

40

45

4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30

效率(%)

20 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30

Pin

(W)

Q(CMM)流量

Q(CMM)流量

H(Pin)M(Pin)L(Pin)

H(Eff.)M(Eff.)L(Eff.)

H(P vs. Q)M(P vs. Q)L(P vs. Q)

Design point:15CMM/20mmAq @ L speed

Ps(

mm

Aq)

ファ

ン静

圧効

率(%

)

Q(CMM)流量

Pin

(W)

Q(CMM)流量

10



Speed (HH,H,M,L) HH H M L

Air Velocity (m/s) 0.35 0.35 0.35 0.35

Air Volume (CMM) 22.7 22.7 22.7 22.7

Fan static pressure (mmAq)(unit without filter, with inlet guard) 28.4 25.5 22 17

Voltage (V) 220 220 220 220

Current (A) 1.19 1.04 0.95 0.85

Input power (W) 263 228 208 188

Efficiency(%) 40 41 39 34






0

2

4

6

8

10

12

14

16

18

20

22

24

26

28

30

32

34

36

38

40

0

15

30

45

60

75

90

105

120

135

150

165

180

195

210

225

240

255

270

285

300

Ps(

mm

Aq)風車靜壓

0

5

10

15

20

25

30

35

40

45

效率(%)

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

Pin

,(W)

Q(CMM)流量

Q(CMM)流量

Design point:22.7CMM/17mmAq @ L speed

H(Pin)

HH(Pin)

M(Pin)

L(Pin)

HH(Eff.)H(Eff.)M(Eff.)L(Eff.)

H(P vs. Q)

HH(P vs. Q)M(P vs. Q)L(P vs. Q)

Ps(

mm

Aq)

ファ

ン静

圧効

率(%

)

Q(CMM)流量

Pin

(W)

Q(CMM)流量

11



0

2

4

6

8

10

12

14

16

18

20

22

24

26

28

30

32

34

36

38

40

42

0

15

30

45

60

75

90

105

120

135

150

165

180

195

210

225

240

255

270

285

300

315

Ps(

mm

Aq)風車靜壓

0

5

10

15

20

25

30

35

40

45

效率(%)

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

Pin

,(W)

Q(CMM)流量

Q(CMM)流量

Design point:23.6CMM/17mmAq @ L speed

H(Pin)

HH(Pin)

M(Pin)

L(Pin)

HH(Eff.)H(Eff.)M(Eff.)L(Eff.)

H(P vs. Q)

HH(P vs. Q)

M(P vs. Q)

L(P vs. Q)


Air Velocity (m/s) 0.35 0.35 0.35 0.35

Air Volume (CMM) 23.6 23.6 23.6 23.6

Fan static pressure (mmAq)(unit without filter, with inlet guard) 28 25.5 22 17

Voltage (V) 220 220 220 220

Current (A) 1.22 1.07 0.97 0.87

Input power (W) 268 235 214 191







Ps(

mm

Aq)

ファ

ン静

圧効

率(%

)

Q(CMM)流量

Pin

(W)

Q(CMM)流量

12




Air Velocity (m/s) 0.35 0.35 0.35 0.35

Air Volume (CMM) 30 30 30 30

Fan static pressure (mmAq)(unit without filter, with inlet guard) 23.4 20 16 11.3

Voltage (V) 220 220 220 220

Current (A) 1.23 1.08 0.99 0.85

Input power (W) 270 238 218 188







0

2

4

6

8

10

12

14

16

18

20

22

24

26

28

30

32

34

36

38

40

0

15

30

45

60

75

90

105

120

135

150

165

180

195

210

225

240

255

270

285

300

Ps(

mm

Aq)風車靜壓

0

5

10

15

20

25

30

35

40

45

效率(%)

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

Pin

,(W)

Q(CMM)流量

Q(CMM)流量

Design point:30CMM/16mmAq @ M speed

H(Pin)

HH(Pin)

M(Pin)

L(Pin)

HH(Eff.)H(Eff.)M(Eff.)

L(Eff.)

H(P vs. Q)

HH(P vs. Q)

M(P vs. Q)L(P vs. Q)

Ps(

mm

Aq)

ファ

ン静

圧効

率(%

)

Q(CMM)流量

Pin

(W)

Q(CMM)流量

13


Speed (RPM) 1000 1100 1200

Air Velocity (m/s) 0.4 0.4 0.4


Fan static pressure (mmAq)(unit without filter, with inlet guard) 13.2 17.8 22.7

Voltage (V) 220 220 220

Current (A) 0.39 0.51 0.61



Sound pressure level(dB/LpA1.5) @ 1100rpm 47(with filter, A-weighted)

Noise criterion curve (NC) @ 1100rpm NC-40

Octave frequency(Hz) @ 1100rpm 63 125 250 500 1K 2K 4K 8K

Sound pressure leve(dB) @ 1100rpm 37 43 48 40 36 31 25 15


0

3

6

9

12

15

18

21

24

27

30

33

36

39

42

45

48

51

54

57

60

0

15

30

45

60

75

90

105

120

135

150

165

180

195

210

225

240

255

270

285

300

Ps(

mm

Aq)風車靜壓

0

10

15

5

20

25

35

45

55

30

40

50

60

效率(%)

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

Pin

,(W)

Q(CMM)流量

Q(CMM)流量

Design point:20CMM/17.8mmAq @ 1100 rpm

1000(Pin)

1100(Pin)

1200(Pin)

900(Pin)800(Pin)

1200(Eff.)

1100(Eff.)

1000(Eff.)

900(Eff.)

800(Eff.)

1000(P vs. Q)

1100(P vs. Q)

1200(P vs. Q)

900(P vs. Q)

800(P vs. Q)

DC FFU 1200x600 Performance CurvesP

s(m

mA

q)フ

ァン

静圧

効率

(%)

Q(CMM)流量

Pin

(W)

Q(CMM)流量

14


DC FFU 900x1200 Performance Curves

0

3

6

9

12

15

18

21

24

27

30

33

36

39

42

45

48

51

54

57

60

0

15

30

45

60

75

90

105

120

135

150

165

180

195

210

225

240

255

270

285

300

Ps(

mm

Aq)風車靜壓

0

10

15

5

20

25

35

45

55

30

40

50

60

效率(%)

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

Pin

,(W)

Q(CMM)流量

Q(CMM)流量

Design point:22.7CMM/17mmAq @ 900 rpm

1000(Pin)

1100(Pin)

1200(Pin)

900(Pin)

800(Pin)

1200(Eff.)

1100(Eff.)

1000(Eff.)

900(Eff.)

800(Eff.)

1000(P vs. Q)1100(P vs. Q)1200(P vs. Q)

900(P vs. Q)

800(P vs. Q)

Speed (RPM) 800 900 1000

Air Velocity (m/s) 0.35 0.35 0.35

Air Volume (CMM) 22.7 22.7 22.7


Voltage (V) 220 220 220

Current (A) 0.39 0.53 0.67








Ps(

mm

Aq)

ファ

ン静

圧効

率(%

)

Q(CMM)流量

Pin

(W)

Q(CMM)流量

15


0

3

6

9

12

15

18

21

24

27

30

33

36

39

42

45

48

51

54

57

60

0

15

30

45

60

75

90

105

120

135

150

165

180

195

210

225

240

255

270

285

300

Ps(

mm

Aq)風車靜壓

0

10

15

5

20

25

35

45

55

30

40

50

60

效率(%)

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

Pin

,(W)

Q(CMM)流量

Q(CMM)流量

Design point:23.6CMM/17mmAq @ 1000 rpm

1000(Pin)

1100(Pin)

1200(Pin)

900(Pin)

800(Pin)

1200(Eff.)

1100(Eff.)

1000(Eff.)

900(Eff.)

800(Eff.)

1000(P vs. Q)

1100(P vs. Q)1200(P vs. Q)

900(P vs. Q)800(P vs. Q)

Speed (RPM) 900 1000 1100

Air Velocity (m/s) 0.35 0.35 0.35

Air Volume (CMM) 23.6 23.6 23.6

Fan static pressure (mmAq)(unit without filter, with inlet guard) 11.4 17 21

Voltage (V) 220 220 220

Current (A) 0.40 0.54 0.66








DC FFU 1500x750 Performance CurvesP

s(m

mA

q)フ

ァン

静圧

効率

(%)

Q(CMM)流量

Pin

(W)

Q(CMM)流量

16


DC FFU 1200x1200 Performance Curves

0

3

6

9

12

15

18

21

24

27

30

33

36

39

42

45

48

51

54

57

60

0

15

30

45

60

75

90

105

120

135

150

165

180

195

210

225

240

255

270

285

300

Ps(

mm

Aq)風車靜壓

0

10

15

5

20

25

35

45

55

30

40

50

60

效率(%)

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

40 8 12 16 20 24 28 32 36 40 44 48 52 56 60

Pin

,(W)

Q(CMM)流量

Q(CMM)流量

Design point:30CMM/18mmAq @ 1000 rpm

1000(Pin)

1100(Pin)

1200(Pin)

900(Pin)800(Pin)

1200(Eff.)

1100(Eff.)

1000(Eff.)

900(Eff.)

800(Eff.)

1000(P vs. Q)

1100(P vs. Q)1200(P vs. Q)

900(P vs. Q)

800(P vs. Q)

Speed (RPM) 900 1000 1100

Air Velocity (m/s) 0.35 0.35 0.35



Voltage (V) 220 220 220

Current (A) 0.53 0.74 0.97








Ps(

mm

Aq)

ファ

ン静

圧効

率(%

)

Q(CMM)流量

Pin

(W)

Q(CMM)流量

17


監視システム中央監視コンピューター・操作パネル及びソフト・Act ive Gateway・FFU制御パネルが含まれており、現場のニーズにあわせて操作パネルと手動制御器のマッチングも可能。故障許容システムとリング型トポロジーが実現可能で、システムの安定性を高めます。

監視制御PCCPU：INTEL 2.5G以上

RAM：8G以上

インターネット：10M/100M/100M標準ETHERNET TCP/IP

OS：Windows7 Pro

付属品：22インチLCDモニター、キーボード、マウス

インタッチ制御ソフトグラフィカルユーザインタフェース（GUI）：はwindowで内容表示する制御ソフトです。現場の位置によってグラフィック（色別）でFFUの運転状態が表示されます。ユーザーが現場の状況を簡単に把握し、迅速且つ明確な制御指令を出せるように仕組まれています。詳しい内容は本紙を参考してください。

設備管理システムとの整合性が高く、他にIfix・intouch・WinCC、などのシステムも使用可能です。

個別に一台のFFUを起動停止、回転速度調整などの指令を出す、故障信号を個別に監視する機能があります。

FFUのグループごとに起動停止、回転速度調整などの指令を出す、故障信号を監視する機能があります。グループの設定はシステムをインストールする時に行い、また客先仕様によっていつでも変更可能です。

直感的簡単な操作方法。画面のグラフィックにワンタッチでFFUの単機制御或いは回路制御画面に入ります。直接制御するように仕組まれており、複数のブラウザを開く必要はありません。

画面にユニットと回路がグラフィックで表示され、回転速度と故障信号別で状態が個別に示され、監視と管理の便利さに優れています。

FFUの運転状態画面で回転速度、停止、無負荷と過負荷などの状態の監視・制御が容易。

フィードバックスピード：指令を出してフィードバックするまで、３７８台の場合８秒以内にフィードバックします。

誤動作防止：確認ボタンを２回で確認する保護功能があります。停止スイッチを間違えて押してしまう恐れを回避します。

履歴機能：履歴を調べる時、日にちと時間帯の指定が可能です。使用履歴、異常記録とアラーム記録などの内容が項目別で記録されます。使用者が気楽に調べたいものを観察できます。

ユーザー権限：システムの設定変更で正常運転ができなくなる状況を避ける為に、ユーザーに対して適切な権限が割り当てられます。一般のユーザーに操作設定の権限が付与され、特定のユーザーには設定制御の権限が付与されます。

管理記録：登録者、事件、アラームの情報が記録されます。責任を区別するために、ユーザーが使用している間に起こった動作、事件、アラームなどの情報が時間、事項内容、ユーザー名、状況などで分けて記録されます。

FFUが故障・遮断時にアラームが発生し、制御コンピューターにアラーム画面がポップアップ表示し、運転操作人員に注意喚起します。

ゲートウェイ(Gateway)Act ive Gatewayを採用。通信方法はTCP/IP。一つのIPから250台のGatewayに繋ぐことが可能です。合わせて、最大94500台のFFUに繋ぐことができます。FFUに対してRS-485のインターネットを採用。

Active GatewayからFFUに対し、監視システムを通さないで主動的に通信・制御する方法は通信速度が速いです。

Active GatewayにはFFUのオンライン監視機能が搭載されています。ブラウザーから直接状態を監視できるので、監視システムがなくても管理するのに大変便利です。

手動制御器と現場のタッチパネルにも使えます。現場のFFU試験と保守時の操作が便利。また、即座にパソコンから現在の回転速度と運転状況が分かります。

FFU制御器故障、通信、運転状態の指示灯を搭載。

各ユニットの番号を1～255まで設定可能。

AC FFU通信中断時に単機で回転速度が設定できます。監視器無しでも監視と保守が容易です。

電源汚染防止対策：DC制御器に力率改善（PFC＞96％）と全高調波歪率（THD＜15％）の抑制機能が設計されています。

線材Ethhernet：CAT5E UDP，RJ45。

RS-485：CAT5E UDP，RJ45或RJ11。

保守のため、クイックコネクターと抜け落ち防止用装置を使用する必要あり。

18


AC / DC FFU

FFU SPECIFICATION CLARIFICATION

項目規格

ケーシング構造a. 験験験験験験ケーシングは人間の重さに耐えられ、厚みが1.0mm。内部は渦巻き型でファン効率が良く、騒音低減効果もあります。b. 作業員の安全と気流循環のために、上部メンテナンス及び保護ネットが設計されています。c. 験験験験験験験フィルターとの取り合いに、箱の下側コーナー（四箇所）に固定金具が取り付けられています。

ケーシング材 □アルミリウム □SUS430 □その他_____________

モーター高効率モーター：□交流型(ACモーター効率＞60％)、 □直流ブラシレス型 ( BLDCモーター効率□>85%□>90% )絶縁レベル：Class B insulation(130℃)/IP40 軸受寿命：L10>100,000hrs、軸心と軸受けの部分はアーク放電防止設計、軸電圧＜3.5V（直流モーター）

ファン Type：翼形ファン材質：アルミリウム效率：□>60% □>65%

震動防止動的つり合い試験 G2.5DIN-ISO1940規範に適合

電源 □単相220V □単相277V □その他_____________ ( □50Hz □60Hz )

F F U (Ce i l ing寸法)

□1200*600 (H327) □1200*900 (H327) □1500*750 (H327) □1200*1200 (H327)

設計風量( C M M )

15/cmm 22.7/cmm 23.6/cmm 30/cmm

設計風速( m / s )

0.35m/s 0.35m/s 0.35m/s 0.35m/s

設計静圧 ( P a ) フィルター・拡散板・架台・クリーンルーム室内・ドライコイルとリターンシャフトの圧損を考慮し、最初静圧＞175Paと最終静圧が220Paの時に風速＞0.35m/sの条件下で以下の運転効率を実現。

トータル効率 ( A C F F U )

>40% >40% >40% >40%

トータル効率 ( D C F F U )

>53% >54% >55% >55%

振動（振幅） <10μm <10μm <10μm <10μm

騒音（ d B A ） <50 <55 <55 <55

重量（ k g ） <23KG <39KG <37KG <48KG

モータ絶縁レベルB class insulation(130°C),IP40

制御ボックス

ファンセット

AC/DC

ケーシング材質（ガルバリウム）

取っ手 Steel handlesH：327

( )( )

clean room - topwell-pes.comfiles.topwell-pes.com/topwell/download/ffu_jp.pdfboth ac and dc ffu can...

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