Metrología Óptica
Ferran Laguarta / Santiago Royo
CD6
Líneas I+DLíneas I+D
• Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica (15 años)
• Monitorización y control del proceso de fabricación de dispositivos hemodinámicos (1 año)
• Medidas de concentración y flujo de gases on-line con TDLAS (3 años)
• Laser Ultrasonics. Aplicaciones NDT en materiales metálicos y compuestos (2 años)
Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica
Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica
TTéécnicas cnicas metrolmetrolóógicasgicas::
BrightBright--fieldfield ImagingImagingConfocalConfocal 3D 3D ProfilingProfilingThickThick Film Film thicknessthickness measurementmeasurement(> 2 (> 2 µµmm))InterferometryInterferometry(PSI & VSI (PSI & VSI profilingprofiling))ThinThin Film Film thicknessthickness measurementmeasurement
Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica
•• Fast switching deviceFast switching device•• FLCoSFLCoS•• Non moving partsNon moving parts•• Unlimited lifetimeUnlimited lifetime
PatentedPatentedTechnologyTechnology
MicrodisplayMicrodisplay--basedbasedconfocalconfocal scanningscanning
Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica
Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica Metrología óptica de superficies a escalas micro y nanométrica
Datos Sensofar:
• 7 productos• > 250 equipos vendidos en 20 paises• Partnership (Mikropack) y OEM (Leica, Raytex)
2000 2001 2002 2003 2004 2005 2006 2007 2008 2009 2010
Control proceso fabricación de dispositivos hemodinámicos
Stents i “stenting”
Control proceso fabricación de dispositivos hemodinámicos
Corte LáserElectropulidoTratamiento Térmico Recubrimiento Implantación
Verificación geometría
Control calidadImagen 2DProceso NO automatizado(30 min/stent)Cuello botella
Medida concentración y flujo de gases on-line con TDLAS
Medida y control HMedida y control H22 O Mass Flow en equipos liofilizaciO Mass Flow en equipos liofilizacióónn
Laser Ultrasonics. Aplicaciones a NDT en materiales metálicos y compuestos
NDT con Laser Ultrasonics NDT con Laser Ultrasonics
SS
SP
Laser Ultrasonics. Aplicaciones a NDT en materiales metálicos y compuestos
Líneas I+DLíneas I+D
• 3D body scanning
• Cámaras TOF-HD
• Interferometría SMI
• Óptica activa para telescopios robóticos
• Optical testing
3D body scanning3D body scanning
3D body scanning3D body scanningCirugía estética
Cosmética
Probador virtual
Prototipaje
+ non-human
Téxtil técnico
Personalización
Prótesis
Protección
Imagen TOF -HDImagen TOF -HD
Time of flightDirect 3D Imaging
20Kpx
x102
EU patent EP11002231(2011)
2Mpx
x102 x102
Imagen TOF -HDImagen TOF -HD
Audiovisual 3D
Vehículos autoguiados
Visión artificial
Automoción
Interfaz hombre-máquina
Interferometría SMIInterferometría SMI
DIODOLASER
CAMINODE MEDIDA
FOTODIODOMONITOR
Objeto = 9 mm
Compacto
Robusto
Autoalineado
Interferómetro
Sin contacto
Desplazamiento y posicionado
Microfluídica
Flujo sanguíneo no invasivo
Velocidad
Interferometría SMIInterferometría SMI
Pulsos cardiovasculares
Motor monitoring Pulsos nm
UPC- CD6 EU patent EP10380130.4 (2010)
Vibrometría
Caracterización de MEMS
Óptica activa para telescopiosÓptica activa para telescopios
UPC- CD6 patent P20100907 (2010)
Optical testing Optical testing Óptica free-formIngeniería de f.o
UPC- CD6 PCT patent ESP200801034 (2008)
UNIVERSITAT POLITÈCNICA DE CATALUNYACentre de Desenvolupament de Sensors, Instrumentació i Sistemes (CD6)
http://www.cd6.upc.edu