Download - Mikrosystemy krzemowe
Mikrosystemykrzemowe
Rozmiary geometryczne mikrosystemów
Schemat blokowy mikrosystemu
Realizacja skomplikowanego kształtu metodą wielokrotnego nakładania warstw poświęconych
MIKROSILNIK ELEKTROSTATYCZNY
STOJAN
ROTORo średnicy
100 m
prędkość obrotowa25000 obr/min
Projekt w CAD Wykonanie
Cewka
Chip z wieloma układami RF
Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB
Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB
Waraktor obrotowy
Linia opóźniająca
Scaner
Projekt w CAD Wykonanie
Elementy mikromechaniczne wykonane technologią EFAB
Zespół dysz wraz z przełącznikiem
1 mm
Miniaturowa łódź podwodna płynie w naczyniu
krwionośnym
Dzięki uprzejmości firmy Micro TECH, Bismarckstrasse 1426, 47057 Duisburg, Niemcy
Techniką stereolitografi wytworzono subminiaturową łódź podwodną, przeznaczoną do diagnostyki układów krążenia, o wymiarach 4 x 0.8 mm . Urządzenie to jest napędzane śrubą wielołopatkową. Może być wyposażone w kamerę TV i różne czujniki wielkości nieelektrycznych.
Rynek MEMS-ów w miliardach dolarów
1996 2002 spodziewany wzrost
Nazwa produktu szt.mln
USDmln
szt.mln
USDmln
ilościowy wartościowy
dozowniki lekarstw 1 10 100 1000 10x 10x
przełączniki optyczne 1 50 40 1000 50x 25x
lab-on-chip (DNA,HPLC, etc)
0 0 100 1000 - -
magnetoopycznetwarde dyski
0.01 1 100 500 10000x 500x
rzutniki obrazu DMD 0.1 10 1 300 10x 30x
cewki na chipie 20 10 600 100 30x 10xmikroprzekaźniki - 0.1 50 100 - 1000x
mikromotory 0.1 5 2 80 20x 16x
mierniki pochylenia(poziomice)
1 10 20 70 20x 7x
dysze wtryskowe 10 10 30 30 3x 3xczujniki
antykolizyjne0.01 0.5 2 20 200x 100x
nosy elektroniczne 0.001 0.1 0.05 5 50x 50xRazem 106.7 4205 >40x
1996 2002Nazwa produktu szt.
mlnUSDmln
szt.mln
USDmln
głowica twardych dysków 530 4500 1500 12000głowica drukarek
atramentowych ink-jet100 4400 500 10000
urządzenia wspomagającepracę serca
0.2 1000 0.8 3700
urządzenia do diagnozowaniain vitro
700 450 4000 2800
pomocnicze urządzenia dlaniesłyszących
4 1150 7 2000
czujniki ciśnienia 115 600 309 1300czujniki przyspieszenia 24 240 90 430
czujniki chemiczne 100 300 400 800kamery podczerwone 0.01 220 0.4 800
żyroskopy 6 150 30 360czujniki magneto-rezystywne 15 20 60 60
mikrospektrometry 0.0006 3 0.150 40Razem 13033 34290
Światowy rynek mikrosystemów Struktura i zakres 1996-2002, produkty dobrze usytuowane (przewidywania 1999)
Noworozwijane mikrosystemy 1996-2002 (przewidywania 1999)
W Europie powołano jeden ogólnoeuropejski i kilka narodowych programów rozwoju mikrosystemów pod nazwą EUROPRACTICE, który podzielono na pięć głównych działów:
pomiary fizyczne i motoryzacja (CC1)mikrourządzenia biomedyczne i zastosowania w medycynie (CC2a)mikrosystemy bioanalityczne dla nauki o życiu i ochrony środowiska (CC2b)MEOMS, urządzenia peryferyjne i telekomunikacyjne (CC3)mikromaszyny i mikroaktuatory, kontrola procesów i zastosowania w narzędziach (CC4)mikrofluidyka i mikrosystemy cieczowe (CC5)czujniki promieniowania, areonautyka i zastosowania instrumentalne w aparaturze naukowej (CC6a)systemy obrazowe CMOS (CC6b).
EUROPRACTICE
Rozwój techniki mikrosystemów na świecie
Struktura nakładów inwestycyjnych na badania i instytucji badawczych w dziedzinie
mikrosystemów
Struktura nakładów inwestycyjnych na badania w dziedzinie mikrosystemów
krzemowych
Struktura instytucji badawczych i dydaktycznych
Rozwój mikrosystemów
Pole zastosowań i rozwój mikrosystemów
Technika mikrosystemów a rozwój