SiC-aren sinterizazio egoera solidoan, fase likido baten presentzian eta HIP bitartez
Jakintza-arloa: Ingeniaritza
Egilea: ENKARNI GOMEZ GENUA Urtea: 1995 Zuzendariak: FRANCISCO CASTRO FERNANDO Unibertsitatea: UN-NU ISBN: 978-84-8428-249-2
Hitzaurrea 14 urte pasa dira doktore tesia defendatu nuenetik. Geroztik gauza asko pasa da eta nire bizitzak eta ikerketa lanak oso bide ezberdina darama gaur egun. Ingeniaritza ikasketak bukatu berriak nituen ikerketarekin hasi nintzenean, ez ziren ez nire gustuko ikasketak izan eta argi nuen ingeniari bezala ez nuela lanik egingo, doktore tesia unibertsitatean lan egiteko aukera emango zidalakoan ekin nion lanari. Ikasketa guztian zehar gustukoen izan nuen gaia aukeratu nuen eta oraingoan bai bete betean asmatu nuen. Garai hartan lan egiten nuen sailak enpresekin proiektuak egiten zituen eta niri SiC hautsen inguruko ikerketa bat egokitu zitzaidan. Hau, europar mailako proiektu bat zen eta bertan Alemaniako, Ingalaterrako eta Frantziako 3 enpresa parte hartzen zuten. Tesia bukatzean unibertsitatez aldatu nuen, Nafarroako Unibertsitatetik Euskal Herriko Unibertsitatera pasa nintzen eta ikerketa lerroa hor bukatu zen. Ez zuen jarraipenik izan. Ama izan nintzen ondoren eta amatasun baja eta eszedentzia baten ondotik beste ikerketa lerro bati ekin nion. Gaur egun, eta duela 10 urtetik hona Zientzia, Artea eta Feminismoa ardatz bezala duen ikerketa bat daramat, laborategietatik eta material zeramikoetatik urrun…
Enkarni Gomez
NAFARROAKO UNIBERTSITATEA
INDUSTRI INJINERUEN GOI-MAILAKO ESKOLA
DONOSTIA
SiC-aren SINTERIZAZIOA EGOERA SOLIDOAN, FASE
LIKIDO BATEN PRESENTZIAN ETA HIP BITARTEZ
ENKARNI GOMEZ GENUA
Andereinoak Industri Injinerutzan Doktore-maila
lortzeko asmoz aurkezten duen
MEMORIA
Donostia, 1995ko Azaroa
ESKERTZAK
Tesian ezetik askoz ge~iagoton lagunáu nautenei :
Paco Castro, tesiaren zuzendaria
Eta
Jon Ccheberría eta /sigo /urriz'
Seas Jauregi eta ¡eatriz L opez
~eatriz leman, Ann Opsommer eta Teresa (;u-paya
ainena :
CEITeho zuzendaritza, batez ere materiale saia
~entzia eta e / untza mI
r/1 bere cliŕu-laguntzagati~
~-z ditut CUIT eta bere esparrutik, kanpo, nere~,,
)i -zit-zaren une ezberdinetan alboon izandakoak,
;to naizen bezala maite izan nautena ahaztu nàk .
a,
i lei-ri zapcilJu guztiei :
Presoa zēlJa bazterrean,
'bakarrik mintzatzen bezala .
gaina ez, armiarma bati
gc Jeizen Jio 'noiz arde? ' .
Armiarma, berehala,-zintzilikatu
eta haria
uzatzen jeisten Ja .
[to boJiruJi mari luze hori Jela
armiarmaren erantzuna .
J .SARRIONAINDIA
LABURPENA
0. LABURPENA
Lan hau nagusiki hiru ataletan bereiz daiteke : Solido egoeran SiC-aren sinterizazioaren
inguruko ikerketa, fase likido baten baitan SiC-aren sinterizazioaren inguruko ikerketa
eta azkenik SiC-aren egonkortasuna nitrogeno eta oxigeno atmosferatan .
Hiru zati hauen aurretik aldiz, hasierako hautsen ikerketa mikroegiturala egitea
derrigorrezkoa da . Ikerketa honen ondorioz, Cerex-en hautsak, nahiz bere tamaina
nanometroaren tartean egon, aglomerazio handia eta ezpurotasun maila handia erakusten
dutela aurkitu zen .
Bestalde, hautsak beraien egitura kristalinoaren arabera lau talde ezberdinetan bil
daitezke: a osoa, R osoa, (3 + %5 a eta (3 + % 10 a) .
Solido egoeran SiC-a sinterizatzean lortutako emaitzek erakusten dutenez, karbono
%2tik (pisu portzentaian) gora erabili behar da, hauts ezberdinen ezaugarrien arabera .
Ezaugarri hauetan nagusiena hautsen oxigeno edukina da . Bestalde, (3 - a eraldaketa
sinterizazioan zehar oso garrantzizkoa dela azaldu da, batez ere ale ardatzkide eta
tamaina txikiko mikroegiturak lortzeko .
Bigarren atala beste bi azpiataletan bereiz daiteke : alde batetik presio gabe eginiko
sinterizazioa eta bestalde berotako trinkotze isostatikoa . SiC-aren dentsifikazioan indar
i
handia azaltzen dute Y20_ + A1203 konposaketak, batez ere bigarren osagai honetan
aberatsenak . Baina bestalde, karbonoaren gehiketaekin edo enkapsulatutako laginengan
presioa ezarriz, A1203ko edukina oso txikia edo hutsa izan arren lortutako dentsitateak
ere altuak izan dira .
Azkenik SiC-ak oxigenoan eta nitrogenoan duen egonkortasunari buruz zenbait gauza
azal daitezke. Alde batetik, solido egoeran sinterizatutako SiC-ak oxidazioarekiko
erresistentzia handiagoa du likido fase baten presentzian sinterizatutakoa baino . Honetaz
gain, oxidazioarekiko erresistentzia eranskinen menpekoa da eta beraz laginetan agertzen
diren ale arteko fasearen menpekoa . era berean, airean SiC-aren oxidazio produktu
bezala kristobalita a aurki daiteke, beste fase kristalino (Y2Si2O7 eta A12Y4O9) ezberdin
eta amorfoekin batera. Fase hauek oxidatzen den laginaren konposaketaren menpekoak
dira .
Azkenik, SiC/Si3N4 konpositeak ere lor daitezke, nanometroaren tarteko ale
tamainarekin eta neurrien aldaketa txikiekin nitrogenoan SiC-aren sinterizazioaren
bitartez .
SiC-aren nitrurazio emaitza Si3N4-a da, Si 3N4-j3-ra eraldatu daitekelarik . Lan honetan
Si3N4-a fase metaegonkor modura azaldu da, egonkortasun tenperaturetatik gora .
Bestalde A1203 ren gehiketak, lagin hauen dentsifikazioa erakar dezake eta gainera Si 3N4
ren a- (3 eraldaketa ere indartzen du, modu honetan SiC/Si3N4-i3 konpositeak lor
daitezkelarik . Si02 gehitzen bada, dentsifikazioa ez hobetzeaz gain, tarteko nitrurazio
produktu bezala Si2N2O sortarazten du gehitutako Si02ren edukinaren arabera .
11
AURKIBIDEA
Aurkibidea
0. LABURPENA
L- SARRERA
2 . BILDUMA BIBLIOGRAFIKOA
2 .1 . SIC-REN PROPIETATE ETA APLIKAZIOAK2.1
2.1 .1 . Propietateak 2.1
2.1 .1 .1 . Kristal-egitura 2.1
2.1 .1 .2 . Propietate mekanikoak 2.4
2.1 .1 .3 . Propietate termiko eta elektrikoak 2.5
2.1 .2 . Aplikazioak 2.6
2.2 . SIC HAUTS-EKOIZPENA 2.8
2.2.1 . Acheson prozesua edo silizearen erredukzio karbotermikoa2.8
2.2.1 .1 . Goi tenperaturak 2.8
2.2.1 .2 . Behe tenperaturak 2.9
2.2.2 . Erreakzioa bapore egoeran 2.9
2.2.3 . Egoera solidozko erreakzioa 2.12
2.3 . SINTERIZAZIOA 2.12
2.3.1 . Sarrera 2.12
2.3.2 . Egoera solidozko sinterizazioa 2.13
2 .3 .2 .1 . SiC-aren sinterizazioa egoera solidoan2.23
2.3.3. Fase likidozko sinterizazioa 2.31
2 .3 .3 .1 . SiC-ren sinterizazioa fase likidoan 2.36
2 .4 . MIKROEGITURA ETA ERALDAKETA 2.40
2.4.1 . Eraldaketa mekanismoak 2.40
2.4.2. Eraldaketa motak 2.41
2.4.3 . Gehigarrien eragina 2.42
2.5 . SIC-REN OXIDAZIOA 2.43
2.5.1 . Oxidazio aktiboa 2.43
2.5.2 . Oxidazio pasiboa 2.47
111
Aurkibidea
3 . PROZEDURA EXPERIMENTALA
iv
3 .1 . ERABILITAKO MATERIALAK 3 .1
3 .2 . HAUTSEN PROZESAMENDUA 3 .3
3.2.1 . Nahasketa-ehoketa 3.3
3.2.2 . Trinkoketa 3.5
3.2.2 .1 . Zuzenbide bakarreko trinkoketa 3.5
3 .2.2.2 . Trinkoketa isostatikoa hotzean 3 .6
3 .3 . TRINKOEN DENTSIFIKAZIOA GOI TENPERATURATAN3 .6
3.3.1 . Presiorik gabeko sinterizazioa 3.6
3.3.2 . Trinkoketa isostatikoa beroan (hip) 3.7
3.3.3 . Erreakzio bidez sinterizazioa 3.9
3 .4 . DENTSITATEEN NEURKETA 3.9
3 .5 . MIKROEGITURAREN AZTERKETA 3.10
3.5.1 . Transmisiozko mikroskopia elektronikoa (TEM)3.10
3.5.2 . Arakatzeko mikroskopia elektronikoa (SEM)3.10
3.5.3 . Mikroskopia optikoa 3.11
3.5.4 . Quantimet 3.11
3 .6 . FASE AZTERKETA 3.13
3 .7 . OXIDAZIOARI ERRESISTENTZIA 3.13
4. EMAITZAK
4 .1 . HAUTS ANALISIA 4.1
4 .2 . EGOERA SOLIDOZKO SINTERIZAZIO 4.4
4.2 .1 . Nahasketa 4.4
4.2.2 . Aglutinatzailearen ezabaketa 4.6
4.2.3 . Dentsifizazioa 4.8
4.2.4 . Mikroegitura 4.12
4.2 .4 .1 . X izpiak 4.12
4.2.4.2 . Mikroskopia optikoa 4.16
4.3 . EGOERA LIKIDOZKO SINTERIZAZIOA 4.27
Aurkibidea
4.3.1 . Gehigarrien Hautaketa 4.27
4.3.2 . Sinterizazioa presiorik gabe 4.33
4.3 .2 .1 . Dentsifikazio prozesua 4.34
4.3 .2 .2 . Mikroegitura 4.42
4.3 .2.2 .1 . X izpiak 4.42
4.3 .2.2.2 . Mikroskopia 4.45
4.3.3 . Trinkotze isostatikoa beroan (HIP) 4.51
4.3 .3 .1 . Dentsifkazioa 4.51
4.3 .3 .2 . Mikroegitura 4.52
4 .3 .3 .3 . Propietate mekanikoak 4.55
4.4 . OXIDAZIOA 4.56
4.4.1 . SiC Hutsa 4.56
4.4.1 .1 . Oxidazioaren zinetika 4.56
4.4.1 .2 . Oxidatu ondorengo egitura 4.60
4.4.1 .3 . Mikroegituraren azterketa 4.60
4.4.2 . SiC ren oxidazioa gehigarriekin 4.63
4.4.2 .1 . Oxidazioaren zinetika 4.63
4.4.2 .2 . Laginen egitura oxidatu ondoren 4.64
4.4 .2 .3 . Oxidatutako laginen mikroegitura 4.65
4 .5 . SIC-REN EGONKORTASUNA NITROGENO ATMOSFERAN4.68
4.5.1 . Dentsif-ikazioa 4.68
4.5.2 . Mikroegitura eta bilakaera 4.72
4 .5 .2 .1 . Si02-rik gabeko laginak 4.72
4 .5 .2.2 . Si02-dun laginak 4.77
5 . EZTABAIDA
5 .1 . EGOERA SOLIDOZKO SINTERIZAZIOA 5.1
5.1.1 . Partikula tamaina eta banaketa. hautsaren purutasuna5.2
5.1.2 . Gehigarrien eragina 5.4
5 .2 . SINTERIZAZIOA FASE LIKIDOAN 5 .9
v
Aurkibidea
5.2.1 . Y203+A1203 5.9
5 .2 .1 .1 . A1203-ren eragina 5.10
5 .2 .1 .2. Y203 -ren eragina 5.12
5 .2.1 .3 . Karbonoaren eragina 5 .13
5 .2.1 .4 . Hasierako hautsaren eragina 5.14
5.2.2 . Y203 + Si02 eta Y203+Si02+A1203 5.15
5 .3 . SIC-AREN EGONKORTASUNA GOI TENPERATURATAN5.17
5.3.1 . atmosfea oxidatzailea 5.17
5 .3 .1 .1 . Fase likidoan sinteriztutako SiC-ren oxidazioa5.18
5.3 .1 .2 . Egoera solidoan sinterizatu den SiC-ren oxidazioa5.20
5.3.2 . Nitrogenoan 5.22
5 .3 .2 .1 . SiC Hutsa 5.22
5 .3 .2.2 . SiC gehigarriekin 5.27
5 .3.2 .2 .1 . Si02 5.27
5 .3 .2.2.2. A1203 5.27
6. ONDORIOAK
7 .- IRADOKIZUNAK
8 .- BIBLIOGRAFIA
9.- ARGITARAPENAK
vi
SARRERA
1. SARRERA
SiC-a materiale zeramikoa da eta orain dela urte batzuk bere propietate egokiak zirela
eta zientzia gizonen arreta jaso zuen . Materiale hau egitura materialerako erabil zitekeela
pentsatu zen, eta baita material abrasivo bezala, korrosioarekiko erresistentzia handikoa
eta talka termikoarekiko erresistentzia ere handia duelako . Baina bere hauskortasunaren
eraginez, eta nahiz zailtasuna azken urteotan sinterizazioan fase likidoaren
erabilpenarekin hobetua izan den, gaur egun SiC-aren erabilpena mikroelektronikan
geruza finetara bideratua edo SiC-aren zuntzak materiale ezberdinen matrizeak
imdartzeko erabiltzera bideratua aurkitzen da .
1975. urte ezkeroztik Prochazkak B eta C kantitate txikiak erantsiz SiC-a sinterizatzeko
modua asmatu zuenetik lan ugari egin da SiC-ren sinterizazioaren inguruan .
Lan hau, Europa mailan egiten ari den proiektu handiago baten zati bat da. Proiektu
honen helburu nagusia SiC-J3 hautsak Europan eratzea da, merkatuan aurki daitezkeen
Estatu Batuetako edo Japoniako hautsekin bai kalitatean eta baita prezioan ere
konpetentzia izateko asmoz .
SiC-a ko osagaiak eratzeko Carborundum-ek (USA) ezarritako patentea dela eta,
hasiera batean SiC-f3 hautsa sinterizatuz osagai ezberdinak eratzen saiatu izan zen . Hau
1 .1
da SiC-aren sinterizazioa eraldaketarik gabe lortu nahi zen, honek bai SiC hautsen
eraketan eta baita sinterizazio prozedurako parametroen kontrola zehatzagoa izan dadin
eskatzen duela.
1992an aldiz, Carborundum patentearen egoera Alemanian aldatu egin zen, eta epe labur
baten ondoren Europa osoan ere aldatuko zelaren asmoa agertu zen . Modu honetan
SiC-a ale kopuru ezberdinekin SiC-13 ko hautsak ekoizteko posibilitatea azaldu zen . eta
ondorioz SiC-a edo SiC-13 ko osagaiak ere .
Proiektu osoaren barnean, lan honen helburu zehatza, Lonza (Alemania) eta Cerex
(Frantzia) enpresek ekoiztutako SiC hautsen sinterizazioarako jokaera aztertzea izan da,
era berean hauts komerzial batzuekin ere konparatu izan direlarik (Superior Graphite,
Central Glass eta Mitsui Toatsu) .
1 . 2
BILDUMA
BIBLIOGRAFIKOA
2 . BILDUMA BIBLIOGRAFIKOA
2.1 . SIC-REN PROPIETATE ETA APLIKAZIOAK
2.1 .1 . PROPIETATEAK
2.1 .1 .1 . Kristal-egitura
Politipo izeneko kristal-aldakuntza ugari izateagatik ezaguna den materiala da SiC .
Politipoak zuzenbide bakarreko metatze-akatsez osatutako egitura heterogenoak dira,
eta honek polimorfoetatik bereizten ditu . SiC politipo guztietan atomo bakoitza
tetraedrikoki bere bizilagunekin loturik dago, atomoen arteko distantzia 1 .89 A-ekoa
izanik ~'
Metodo honi jarraiki osaturiko egituren bi muturretan SiC-13 kubikoa (Zinc-blende
mota) eta SIC-a 2H hexagonala (Wurtzite mota) daude, 2 .1 irudian beraien egiturak
erakusten dira . Bi egitura hauen arteko ezberdintasuna, esfera isometriko batean
paketatze kubiko eta hexagonalaren arteko ezberdintasunean datza .
Bilduma Bibliografikoa
2 . 1
2 . Atala
2.2
2.1 irudia.- SiC a) kubiko eta b) 2H hexagonalaren kristal-egiturak
Plano trinkoenaren paketatze sekuentzia, ABC idazkera erabiliz irudikatzen bada SiC-
(3 ri [111] zuzenbidean ABCABC sekuentzia dagokion bitartean 2H egiturari c-
ardatzaren zuzenbidean ABAB dagokio .
Ramsdell-n idazkerak politipo bakoitza izendatzeko modu erraz bat osatzen du, non
lehendabiziko zenbakiak plano trinkoeneko geruza unitario kopurua, eta hizkiak
politipo bakoitzari dagokion egitura kristalinoa adierazten duen . Honela kubikoari C
dagokion bitartean, hexagonalari H, ronboedrikoari R e .a. dagokie . 2.1 Taulan politipo
ezagunenei dagokien ABC eta Ramsdell idazkerak adierazten dira .
Ramsdell-enidazkera ABCmetodoa
2H
AB
3C
ABC
4H
ABCB
15R
ABCBACABACBCACB
6H
ABCACB
SiC politipo asko ezagutu arren, termodinamikoki egonkorrak bakar batzuk besterik ez
dira, hauen artean hain zuzen, periodikotasun motzeko politipoak aurkitzen direlarik
(3C, 2H, 4H, 15R eta 6H) . Hauek dira SiC-ren oinarrizko egituratzat hartzen direnak
eta gainera maiztasun handiagoz agertzen direnak .
2.2 irudian, Knippenberg 1Z 1 eta Inomata et al . 1 31 -en arabera SiC-ren politipoen
egonkortasun eremuak adierazten dira. Mikroegituraren sortze eta eraldaketari
dagokion atalean, politipo batetik bestera ematen diren eraldaketak sakonago ikusiko
dira .
E
ñ
cd
z
c ._•
E'-
E 2ou •-
•
o-c WQ
1000
1300
16001} It 2000
24 50 2600 2750
T in 'C
3C
(a)
2.1.Taula. - Poitipoen izendatzea
Moo 1500
2.2 Irudia.- SiC politipoen egonkortasun eremuak
2000
2500
(b)
Bilduma Bibliografikoa
2.3
2 . Atala
2.1.1.2 . Propietate mekanikoak
SiC hautsez egindako piezen propietatek alde batetik ekoizpen prozesuaren
menpekoak dira eta bestetik SiC-ren atomoen arteko loturaren menpeko . Lotura hau
gogorki kobalentea da, Pauling-ek % 12-ko ionizitatea neurtu diolarik . Lotura
kobalente honen naturak autodifusio koefiziente baxuak eragiten ditu eta beraz
sinterizatzeko erakusten duen zailtasunaren eragilea da . 2 .2 taulan SiC-ren propietate
fisikoak ikus daitezke .
2.2 . Taula.- SiC-ren propietateak
Dentsitatea
3,21 g/cm3
Deskonposaketa tenperatura
2300-2500°C
Gogortasuna
2500-3000 Kg/mm2
Young moduloa
390-450 GPa
Makurdurarekiko erresistentzia
350-550 MPa
Zailtasuna
3-5 MPa,
Expantsio termikorako koefizientea
4.4-4 .9 * 10-6K- '
Eroankortasun termikoa
80-130 W/m .K
Erresistibitate elektrikoa
10 11 û-cm
Kte dielektrikoa
15-20
Ikusten den bezala, SiC egonkortasun termiko handiko material arina da, bere
deskonposaketa tenperatura 2300-2500 °C artean aurkitzen delarik . Bere zailtasuna
eta gogortasuna azken-porositatearekin aldatzen dira eta beraz fabrikazio-prozesuaren
menpe daude. Honela trinkotze ardazbakarra beroan bidez lortzen den SiC-ren
zailtasuna 3-5 MPa/ artean aurkitzen den bitartean, erreakzio bitartez (RBSC)
lortutakoarena altuagoa da eta gutxi gora-behera tenperaturarekin konstante
mantentzen da. Hau da hain zuzen ere SiC-ren propietateen bereiztasun garrantzitsu
2 .4
bat, izan ere tenperatura altuekin ez gainbeheratzea . Honen eredu 2.3 irudian
tenperaturarekiko erresistentzia mekanikoaren menpekotasuna erakusten da .' 4 '
600
ái(nNW
Ñ 400WR
FU4aa
200
1
1
1
1
1
1
I
1
------- -------- --
TESTED IN AIR
TESTED IN ARGON
SINTERED ALPHA SILICON CARBIDE
Bilduma Bibliografikoa
I1III1t
0200
400
600
800
1000
1200
1400
1600
1800TEST TEMPERATURE, 'C
(a)
100
80 áó
60 t,zW
ŕñ40 á
xw
20 ~`
2.3 Irudia.- SiC makurdurarekiko erresistentzia tenperaturaren arabera
2.1.1.3 . Propietate termiko eta elektrikoak
Materiale zeramikoetan erradiazioa eta fononak dira energia termikoaren eroale
primarioak . Honengatik eroankortasun termiko altuenak elementu bakarreko edo
antzeko pisu atomikoa duten elementuz osatutako egiturak dituzten materialetan, edo
beraien egituratan, soluzio solido osatuz atomo arrotzak ez dituzten materialetan
lortzen dira. Adibidez, SiC, BeO, B4C eroankortasun termiko altuko materiale
zeramikoak dira 151 2.4 . irudian materiale zeramiko kopuru handi baten eroankortasun
termikoak adierazten dira, hauen barne SiC-rena aurkitzen delarik . Ikusten den bezala,
azken honena erlatiboki altua dela soma daiteke . 2.5 . irudian ordea SiC-ak jasaten
duen espantsio termiko baxuak adierazten dira . Bi propietate hauek, hau da,
eroankortasun termiko altuak eta duen espantsio-koefiziente baxuak ematen diote SiC-
ri talka termikoarekiko erresistentzia altua .
2 .5
2 . Atala
Azkenik, aipatu beharrekoa da, SiC aluminioarekin kutsatuz gero tenperatura altuetan
eroankortasun handiko materiala lor daitekela, bere erresistibitatea eta zehar-sekzioa
era egoki batean kontrolatuz gero, elementu bero-emaile bailitzan hainbat aplikaziotan
erabil daitekena .
0.1
EUUO
Eu
0.013rH
I-UDCo
0.00U
Q
wWxF
0.0001
0.000020
TEMPERATURE ( O F)
752
1472 2192
2912 3632
DENSE STABILIZED ZrO Z
POLYETHYLENE
INSULATING_~
2000 °ŕINSULATINGFIREBRICK
11111111400
800
1200
1600
2000
TEMPERATURE (O C)
1 .0 TYMGLNI-lASE
611ERALLOV
1.6
1A POLVETMY1ENEK
NYLONsñ 13zxé 1.0á
s 0.65
0.6
0.4
02
o
-0.2
TEMIERA'IJRE CFI600
121l11
1610
2001
0100
Lm
3200
AI ALLOYS
LS061ZIRCON)
011+6
L~AIS;2o 6f6-0 0011MERE1
M60STAS:LaED
7,0,
61202
AIps20 12IMULLITCI
FUSED502
000
m0
1000
1200
1600
1600TE-ERATVRE) CI
2.4 Irudia.- Eroankortasun termikoa
2.5 Irudia.- Zabalkuntza termiko koefizientea
2.1 .2 . APLIKAZIOAK
Historikoki materiale zeramiko estruktural bezala SiC-ren aplikazioak bi multzo
nagusitan sailka daitezke .
1 .- Korrosio eta abrasiogaitz diren osagaiak
2 .- Beroa pairatzen duten osagaiak
2.6
2.3. Taula.- SiC ren aplikazioak
Bilduma Bibliografikoa
APLIKAZIOAK
LAN BALDINTZAK
Zigilu mekanikoak
Ponpa errodamendu eta
KORROSIO
ETA ardatzak
Azido, alkalino,
ABRASIOGAITZ
DIREN Haizabide
Abrasioa, karga altuak,
OSAGAIAK
Balbula
talka termikoa
Errodamendu
Ehoketarako media
Bero-trukagailu
BEROA PAIRATZEN DUTEN ventiladores
goi tenperaturak,
OSAGAIAK
Elementu bero emaile
atmosfera oxidatzaileak
2.3 taulan laburbiltzen dira osagai hauen aplikazio arruntenak eta orokorrean erabiltzen
diren lan baldintzak' 6
Material honek jaso duen arreta eta ikerkuntza agusiki motore termikoetan aplikatzeko
zuzenduta egon den arren, bere erabilpen komertzial zabalduenak bere gogordura,
egonkortasun kimikoa eta abrasioa ongi pairatzeari zor dizkio .'4 '
Hala ere tenperatura altuetan, erradiazio altupean edo-ta potentzial elektriko altuko
baldintzetan erakutsi duen iharduera ona dela eta, gaur egun ikerketa SiC ohizko
erdieroaleak erantzun ona ematen ez duten baldintzetan erabiltzeko zuzentzen ari da,
hau da, tresna elektronikoetan eta zirkuitoetan materiale eroale modura, batez ere Si-
zko osagaiak arazoak dituzten tenperaturatan Aplikazio hauek MOS transistoreak,
korronte ezjarraiaren aldaketarako tresnak eta hegazkuntza eta berebil motorretan
kontsumoa aurrezteko sentsore eta kontrolak izan daitezke l "I
Material hau ez da ere aplikazio militarretaz libratzen, honela adibidez, Rolls-Royce
konpainiak eraikitako hegazkuntza motoreak adieraz daitezkelarik . Hauetan ikerketa,
zuntzez indartutako materiale zeramikoen erabilpenera zuzentzen da, hau da matrize
zeramikodun konpositeak, hauen artean SiC-zuntzez indartutako SiC-a aurkitzen
2.7
2 . Atala
delarik. Material hauek, ohizkoak baino arinagoak dira eta tenperatura altuagotan
ihardun daitezke. Zeramiko monolitikoen berezko hauskortasunari zuntzek, zama
transferentzi eta pitzaduren desbideraketa dela medio, sasiharikortasun bat ematen
diote 1 ` 91
SiC osagaiak, hauts egoeratik abiatuz siterizazio prozesu batez lortzen dira . SiC hauts
puruari, hauts eran edo erretxina likidoak erabiliz beste gehigarri batzuk eranstea
beharrezkoa da . Hau da, hasierako materiala SiC hautsa da eta bere ekoizpen metodo
arruntenak silizearen erredukzio karbotermikoa, bapore egoeran eta egoera solidoan
erreakzioak dira .
2.2.1 . ACHESON PROZESUA EDO SILIZEAREN ERREDUKZIO
Si02 + 3C = SiC + 2C0
(2.1)
Nahasketa, tenperatura altuetara (2300 °C) erresistentzia elektriko zuzen baten bitartez
berotuz eragiten da erreakzio hau . Prozesu honi jarraituz lortzen den SiC-a lingote edo
zati handien itxura du . Honengatik mikraren tamaineko hauts xeheak lortzeko
beharrezkoak dira ehoketa- eta garbiketa tratamenduak. Material honen gogortasun
handia dela eta prozesu hau oso garestia suertatzen da .
2 .8
2.2 . SIC HAUTS-EKOIZPENA
KARBOTERMIKOA
2.2.1.1 . Goi tenperaturak
Prozesu hau XIX. mendearen bukaeran E .G. Acheson-ek garatua izan zen uste gabe,
diamante sintesi saiakuntza bat egiten ari zela SiC aurkitu baitzuen . C eta A1203
(Corundum) -ren konposatu bat zelakoan Carborundum izendatu zuen . Industrialki
silizea eta karbonoa erabiliz sintetizatzen da, orokorrean kuartzo eta petrolio coke
eran, ondorengo erreakzioa jarraituz :
2.2.1.2 . Behe tenperaturak
Oztopo hauek mikrapeko partikula tamaineko SiC hautsa ekoizteko metodo berrien
garapena eragin zuten .
Metodo hauetako bat eraberritutako Acheson prozesua da eta silizea eta karbonoaren
arteko erreakzioa tenperatura baxuetan (1200-1800 °C) eragitean datza. SiC-ren
sintesi karbotermiko honen erreakzio mekanismo onartuenak ondorengo erreakzioetan
adierazten dira :
SiO2 + C = SiO + CO
(2.2)
SiO + 2C = SiC + CO
(2.3)
Prozesu honen bitartez eta purutasun altuko oinarrizko materialak erabiliz, purutasun
altuko eta partikula tamaina txikiko SiC hautsa lor daiteke ehoketa eta garbiketa
tratamenduen beharrik gabe. Honela lortzen den hautsaren kristal egitura kubikoa da,
hau da, SiC-P .
2.2.2. ERREAKZIOA BAPORE EGOERAN
Metodo honek bi posibilitate eskeintzen ditu : alde batetik SiH4 edo SiC14, silizio iturri
diren gasak, CH4 eta C3H8 motako hidrokarburoekin erreakziona araztea, eta bestetik
CH3SiCI3, (CH3)4SiH2 , e.a-en deskonposaketa termikoa eragitea, 2 .4 taulan ikusten
den bezala .
Honela lortzen den hautsa SiC-j3 da eta bere ezaugarri garrantzitsuenak bere forma
esferikoa eta mikrapeko partikula tamaina dira .
Bilduma Bibliografikoa
2 .9
2. Atala
Bapore fasean erreakioa :
2.10
2.4. Taula.- SiC-ren ekoizpena bapore fasean
SiC14 + CH4 = SiC + 4HCI
7 SiC14 + C7H8 + 10 H2 = 7 SiC + 28 HCI
SiC14 + CC14 + 4 H2 = SiC + 8 HCI
3 SiH4 + C3H8 = 3 SiC + 10 H2
SiH4 + CH4 = SiC + 4 H2
Bapore fasean deskonposaketa :
CH3S1CI3 = SIC + 3 HCI
(CH3)4Si2H2 -2 SiC + 2 CH4 T+ 3H2T
Metodo honen abantaila eta eragozpen nagusienak honako hauek dira :
Abantailak
I .-Erreakzio guztiak bapore fasean gertatzen direla eta, nahiko tenperatura
baxuak erabil daitezke .
2 .- Purutasun handiko hautsak lortzen dira
3 .- Lortzen diren SiC hauts partikulak esferikoak dira bapore fasetik
prezipitatuz lortzen baitira .
4.- Egitura mikroskopiko eta makroskopikoak erraz kontrola daitezke .
5 .- SiC-ren sinterizaziorako beharrezkoak diren gehigarriez kutsa daitezke
6 .- Hasierako gasen hautapena egin daiteke .
Eragozpenak
1 .- Askotan gas toxiko, korrosibo eta hegazkorren erabilpena beharrezkoa da .
2.- Erreakzio arrago eta erabiltzen diren beste tresnerien materialak ongi
aukeratu behar dira, gas halogenoek tenperatura altuetan erraz erreakzionatzen dute
eta .
3 .- Handiro ekoizteko ingenieria kimikoko teknologia berrien garapena
beharrezkoa da
Aipatutako metodoen eskema 2.6 irudian ikus daiteke :
Oinarri materialea
Oinarri materialea
Oinarri materialea
u
u
u
Nahasketa
Nahasketa
Bapore fasean erreakzio
u
u
edo deskonposaketau
Labe elektrikoan
Erredukzio
Produktua(SiC-(3, oso fina)erreakzioa(2300°C)
karbotermikoa(1500°C)
u
u
Lingotea
Ehoketa
u
u
Ehoketa
C-aren ezabaketa
u
u
Baño azidoa
Garbiketa I-IF erabiliz
u
u
Garbiketa
Produktua (SiC-P)
u
Lehorketa
u
Metodo magnetikoakerabiliz ezpurutasunen
ezabaketau
Baheketa
u
Produktua (SiC-a)
2.6 Irudia.- SiC hautsaren ekoizpen prozesu ezberdinak
Bilduma Bibliografikoa
2.11
2 . Atala
Si +C-> sic
(2.4)
Metodo honek, nahasketa 1000-1400 °C-tara berotzea suposatzen du . Lortzen den
hautsa zarpaila da eta neurri haundi batean Si metalikoz kutsatuta egongo da.
SGS¡st =8 , f Ysv .dAs„ +ô- f yss .dAss
(2.5)
2 .12
2.2.3 . EGOERA SOLIDOZKO ERREAKZIOA
Hain erabilia ez den Sic hautsaren ekoizpenerako beste metodo bat, egoera solidoan
silizio eta karbonoa erreakziona araztea da :
2.3 . SINTERIZAZIOA
2.3.1 . SARRERA
Osagai zeramikoen ekoizpen prozesuan, dentsitate teorikoaren %95-etik gorako
dentsitatek lortu behar dira, azken formaren hurbileko piezatan .
Termodinamikoki, sinterizazio prozesuak sistemaren energia askearen murriztapena
suposatzen du, solido-solido gainazalak sortuz solido-bapore gainazalak murriztuz
doazen eran. Solido-bapore gainazal guztiak desagertu direnean, hau da dentsitatea
lortu denean, ale mugak higitzen jarrai dezakete bere gainazala txikituz, hau da energia
minimoko egitura bat lortu arte . Hau ale-mugak lauak direnean lortzen da . Baina ez da
ordea sistemaren energia minimozko egitura, idealki ale-muga guztiak desagertzen
direnean eta solidoa monokristal batean bihurtzen denean lortzen da sistemaren energia
minimozko egoera . [ ' o ]
Sistemaren energia askearen aldaketa, gainazalen aldakuntzak daudenean honela
adieraz daiteke :
non Agi,, eta A,, solido-bapore eta solido-solido gainazalak eta y, eta y,, gainazal hauen
gainazal tentsioak diren .
2.5 ekuazioaren arabera energia askearen aldaketan bi terminok eragiten dute, alde
batetik solido-bapore gainazalen aldaketa, hau da, negatiboa, eta bestetik solido-solido
kontaktuen aldaketa positiboa . Prozesua aurrera jarrai ahal izateko bien baturak
negatiboa izan behar du .
Sinterizazioa posible izan dadin bi baldintza bete behar dira :
1 .- Materiaren garraio mekanismo bat egon behar du : garranzitsuenak difusioa edo
fluxu biskosoa izanik .
2 .- Materiaren garraio mekanismo hau aktibatzeko energia iturri bat behar da . Energia
iturri hau beroaren aplikazio eta partikulen arteko kontaktu edo gainazal tentsioaren
gradienteei zor zaiolarik .
2.3.2 . EGOERA SOLIDOZKO SINTERIZAZIOA
Garraio mekanismoak
Egoera solidozko sinterizazioan eman daitezken garraio mekanismoak 2 .5 taulan
laburbiltzen dira . Mekanismo hauek, partikula taldeen mugimenduak, fluxu plastiko eta
biskosoa ezik, 2.7 irudian ikus daitezke . 1 " 1
Bilduma Bibliografikoa
2 .13
2 . Atala
2 .14
Materia garraioarekin
1 .- Gainazalan barrena
2 .- Garraioa bapore fasean : ebaporizazio-
kondentsazio
3 .- Bolumenan barrena
4.- Ale-mugen barrena
2.7 Irudia.- Materiaren garraio mekanismoak sinterizazioan zehar
2.5. Taula.- Sinterizazioan zehar gerta daitezken oinarrizko prozesuak
Materiaren garraiorik gabe Atxekidura
Difusioa gainazalan barrena
Difusioa bolumenan barrena,hutsuneak erabiliz
Difusioa bolumenan barrena, Atomo
edo
ioien
zirrikituak erabiliz
higidura
Difusioa ale-mugen barrena
Ebaporazio-kondentsazio
Fluxu plastikoa
Fluxu biskosoa
Ale mugen labainketa
Partikulen errotazioa
Atomo
taldeen
higidura
Ondoren mekanismo hauen arteko batzuk laburki aipatuko dira . Atxekidurazko
prozesuak kontaktuan dauden edozein partikulako sistematan gerta daitezke, hala ere
inpaktuzko sinterizazio prozesuetan bakarrik izan daitezke sinter-mekanismo nagusien .
Orokorrean ohizko sinter-prozesuetan aldiberean materiaren garraio-mekanismo batek
edo gehiagok parte hartzen du . Difusioa gainazalan barrena sinter-prozesu guztietan
gertatzen da, bereziki tenperatura baxu, hauts fin eta oraindik gainazal espezifiko
handiko sinterizazioaren lehen ataletan. Difusio prozesu guztien artean, hau da
aktibazio-energia baxuena behar duena . Hala ere poroen murriztapenik, eta beraz
dentsifikaziorik, eragiten ez duela onartua dago. Lepoen hazkuntzak, poroen
borobiltzea eta gainazaleko zimurtasunen leunketa eragiten du ordea. Jakina da,
atomoen mugikortasuna gainazal ganbiletan ahurretan baino handiagoa dela.
Sinterizazioaren erdiko eta azkeneko ataletan, gainazalan barrena difusioak poroen
borobilketa kontrolatzen du .
T [K]
orn
1/T [K]
2.8 Irudia.- Aktibazio energia prozesu ezberdinetan
Bilduma Bibliografikoa
2.15
2 . Atala
Mugan barrena difusioa, aurrekoaren antzera, tenperatura baxutako sinter-mekanismoa
da. Bere aktibazio energia, ondoko-aleen arteko angeluaren menpeko da eta gainazal
barrena difusioarena baino altuago eta bolumenan barrena difusioarena baino
baxuagoa. Ale-mugak alda batetik difusiorako bideak izan daitezke eta bestetik,
poroetatik ale-mugara bolumenan barrena, hutsune difusiorako isurbide .
Sinterizazioaren erdiko eta bukaerako ataletan, poroen murriztapenerako bolumenan
barrena egiten den difusioa da, hain zuzen garrantzi handiena duena .
Kasu praktiko askotan sinter mekanismo nagusiena bolumenan barrena hutsuneak
erabiliz egiten den difusioa da . Bere aktibazio-energia altuak ale mugan barrena eta
gainazalan barrena garraio mekanismoak baztertzen ditu barne gainazalek murrizten
direnean, hau da, goi tenperatura eta sinter-dentsitate altuetan .
Sinterizazioaren indar eragilea
Edozein sinter-prozesuren indar-eragilea sistemaren energia askearen murriztapena da .
Energia askearen murriztapena honako arrazoien ondorio da :
•
Partikulen arteko kontaktu gainazal hazkuntza dela eta gainazal espezifikoaren
murriztapena
•
Poroen bolumenaren txikiagotzea edo eta hauen borobilketa
•
Hautsaren ekoizpen prozesuaren ondorio diren eta sarean desoreka eragiten duten
defektu (dislokazioak e.a .) kontzentrazioaren ezabaketa
•
Osagai askoren sistemetan : osagaien egoera solidozko solubilitate edo erreaktibitate
kimikoaren ondorio diren desoreka egoeren ezabaketa
Hauts aktibo eta dentsifikatutako materialaren arteko energia ezberdintasuna 20-30
kJ/mol ingurukoa da.
Termodinamikaren arabera, fusio tenperatura azpitik edozein materiale solidoren
egoera egonkorra, oreka-defektuak barne dituen monokristal egoera da . Honek hala
ere ez du garrantzi handirik, izan ere, orokorrean sinter-prozesuen ondorioz, ez baita
2 .16
egoera horretara inoiz iristen . Gainera ale tamaina txikiko materiale polikristalinoek
propietate mekaniko hobeak izaten dituzte .
Indar eragilea, sinterizazio prozesuan zehar, gainazal lerromakurren kontaktuen egoera
termodinamikoa kontutan hartuz ere defini daiteke . Kontaktu hauetan, gainazal
ganbilak Laplacen ekuazioari jarraiki tentsio egoera bat jasaten du :
6=7*(á-P)
baldin x « 1 eta p« xa
ar_, y
(2.7)
p
non y = gainazal tentsioa
r = lepoaren kurbadura erradioa
6 tentsioak balio kritikoa gainditzen badu, lepoa fluxu biskosoz edo plastikoz haziko
da
(a) (b)
2.9 Irudia.- Laplace-n tentsioak a) gainazal ganbilietan eta b) poroetan
Bilduma Bibliografikoa
(2.6)
2 .17
2 . Atala
Sinter-prozesuan, trinko porotsu edo porositate borobil eta hertsiaren egoera erdiesten
denean, poroek 6 (2 .7) konpresio-tentsioa jasaten dute :
2y6=
rporo
Gainera Thomson-Kelvinen ekuazioari jarraiki (2.8), gainazal ahurretan oreka
kontzentrazio (Co) baino huts kontzentrazio handiagoa dago(iC) :
OC y •VoC 0 R •T •p
bai eta bapore-presio baxuagoa :
-LP y •VoPo
R•T•p
Vo = bolumen molarra
R = gasen konstantea
T = Tenperatura absolutua
Po = bapore presioa
Honek, hutsuneak kontzentrazio baxuagoko alderdietara edo hutsune isurbidetara
(gainazal ganbil edo lauetara) bultzatzen ditu difusio bidez .
Sinterizazioaren helburua atomo garraioaren ondorioz, tentsio guztien ezabaketa,
hutsune gehiegizko alderdien desagerpena eta bapore-presioen berdinketa da . Hala ere
burutapen termodinamiko hauek, ez dituzte materia garraioaren lehentasun zinetikoak
kontutan hartzen .
Eredu teorikoak
Sinter-preozesua 2. 10 irudian azaltzen diren hiru ataletan zati daiteke :
2 .18
(2.8)
(2.9)
(2.10)
2.10 Irudia.- Sinter-prozesuen hiru atal nagusiak
Hasierako atala : partikulen arteko kontaktuak lepo edo sinter-zubietan eraldatzen dira .
Sinterizazioa hasi aurretik, kontaktu puntuen ordez mikroplano itxurako kontaktuak
daude . Saiakuntza modelizatuei jarraiki, lepoen hazkuntza denborarekiko
exponentziala da . Hasierako atal honetan zehar partikulak diskretu darraite . Partikulen
zentruen hurbiltzea txikia da eta beraz murriztapen txikiak eragiten dira .
Erdiko atala : Lepoak gehiago hazi eta x/a erlazioak balio jakin bat gainditzean,
partikulak beraien nortasuna galduz doaz . Poro sare koherente bat sortzen da eta alea
hazten doa mikroegitura berri bat osatuz . Porositatea oraindik irekia da, hau da,
gainazalarekin loturik dago . Murriztapenaren zatirik handiena atal honetan jazaten da .
Azken atala : Dentsitate teorikoaren %90 etik %95-era . Porositate ertsiaren
proportzioa handitzen da . Isolatutako poroak borobiltzen dira . Gasek kanpora
hedatzerik ez badute porositatearen barnean harrapatuta gelditzen dira eta gasaren
presioa eta gainazal tentsioak eragiten duen presioa orekatzen direnean, sinterizazio
prezesua gelditzen da. Poroak hutsak badaude (sinterizazioa hutsunean) edo eta gasak
materia solidoan heda badaitezke, sinterizazioak aurrera egingo du, batez ere
mikroegitura fina bada .
Bilduma Bibliografikoa
2.19
2 . Atala
Sinterizazioa atal hauetako batean ikasten duen eredu ugari dago . Ondoren batzuk
aztertuko dira eta besteak aipaturik geldituko dira besterik gabe .
1949 . urtean Kuczynskik 1121 zilarrezko zilindro eta plaka baten arteko sinterizazioaren
hasierako atalaren eredua egin zuen . Erabilitako geometria 2.1la irudian azaltzen da .
Ondorengo lan baldintzez baliatu zen :
1 .- Lepo-hazkuntza bere barnean ematen den hutsune difusio mekanismoak
eragiten du .
2.- Zilindroaren erradioa ez da aldatzen, plaka eta zilindroaren arteko distantzia
konstante mantenduz
3 .- Lepoaren gainazala zilindrikoa da
Mekanismo dominatzailea m eta n konstanteek mugatzen dute :
xrll
(2.11)=F(T) •t
R°
non x lepoaren eta R esferaren erradioak diren
eta baldin n=2; m=1 fluxu biskosoa
n=3 ; m=1 ebaporazio kondentsazio
n=5; m=2 difusioa bolumenan barrena
n=7 ; m=3 difusioa gainazalan barrena
Kingery-k eta Berg-ek 113 ' eta Coble-k 1 1 ° 1 kontaktuan dauden bi esferen eredua
erabili zuten (2.11b irudia) .
2.11a Irudia.-Kuczynskiren eredua : plaka etazilindroa
2.20
2.11b Irudia.-bi esferen eredua
Kingery eta Berg-en ustez gainazalartea hutsune isurbide izanik . Atomoak,
gainazalartetik lepora erradialki hedatzen dira, lepoa haziz . Partikulen zentroak
hurbiltzen dira eta trinkoa murrizten da. Kontutan hartu diren garraio mekanismoak
fluxu plastikoa eta bolumenan barrenan difusioa dira. Materialaren garraioa
gainazalartetik lepora doa, lepoaren alderantzizko kurbadurak sortzen duen potentzial
kimiko gradienteak eragiten duelarik .
Coble-k (141 bolumenan barrena difusioaz gain ale mugan barrena ere izan zitekela
kontutan hartu zuen .
Bilduma Bibliografikoa
( AL )n+1 = K . D . y . rI . t
(2.12)LO
k • T. rm
K= konstante geometrikoa
D= difusio koefizientea
y= gainazal tentsioa
f2 = hutsuneen bolumena
T = tenperatura absolutua
r = partikularen erradioa
m,n = prozesuaren konstanteak, eta m=3 bada difusioa bolumenan barrena izango da ;
eta m=4 bada difusioa ale-mugan barrena .
Erabilitako geometrien arabera autore bakoitzak ekuazio ezberdinak lortzen ditu .
Honela Johson eta Cutler 115 ' , Cabrera 116 " Bannister 11'' eta beste askok. Eredu
guztiek, prozesuaren erantzulea garraio mekanismo bat besterik ez dela suposatzen
dute. Guztien ondorioz tenperatura konstante (T) batean murriztapen linealaren
logaritmoa (logAL/Lo) denborarikiko (t) adieraztean 1/+n malda duen zuzen bat
lortuko litzateke, honek mekanismo dominatzailea zein den eta difusio koefizientea
mugatzen lagunduko duelarik .
Hala ere, mekanismo dominatzailea zehazteko denborarekiko dimentsio linealen
ezagupena ez da nahikoa. Trinkoaren partikulen forma eta tamaina distribuzio
2.21
2. Atala
irregularrek denborarekiko menpekotasunean eragina izango dute . Gainera nahiz eta
trinkoa partikula berdin eta geometria ezagun batez osaturik egon, AL/Lo
denborarekiko irudikatuz zuzen bat emango zukeen mekanismo bat baina gehiagoko
prozesuak posible dira baita ere . Honela adibidez prozesuaren erantzule bolumenan
barrena eta ale-mugen barrena difusioen arteko konbinaketa izan daiteke .
Solido kobalenteen sinterizazioa
Sinterizatzen diren material gehienak lotura metalikoa edo ionikoa duten hauts
metalikoa edo zeramikoak dira . Fe, Ni, Cu eta antzeko hauts metaliko komertzialak
bere urtze tenperaturaren (Kelvin gradutan) 2/3 eta 3/4 tenperaturatan sinteriza
daitezke. Hauts finagoak beharrezkoak diren arren, aurrean aipatzen dena, lotura
ionikoko materiale oxidoetan ere betetzen da .
Si 3N4 , Si, SiC, B edo diamantea bezalako, lotura kobalentedun materilek ordea,
sinteriza ahal izateko urtze tenperatura inguruko sinter-tenperaturak, erreaktiboagoak
diren hauts ultrafin eta gehigarrien erabilpena behar dute . Lotura kobalentea
izateagatik, material hauen autodifusio koefizientea baxua da eta hau da hain zuzen
sinterizazioa zailtzen duena . Adibidez, nitrogenoaren difusioa Si3N4-an barrena A13+
edo 0 2--ren difusioa A1203-n barrena baino lau magnitude ordena txikiagoa da
Si puruaren egoera solidozko sinterizazioa aurrera eraman ahal izateko gainazal
azalera handiko 44 m2/g hauts finen (60nm) eta urtze tenperatura inguruko sinter-
tenperaturen (0 .96-0.98Ts (K)) 1350-1380°C erabilpena beharrezkoa dela frogaturik
dago 1 18 I . Partikulen artean sortzen diren kontaktu ugariek eta akats kontzentrazio
handiek atomoen mugikortasuna handitzen dute . 1350 °C-tan, orekako bolumenan
barrena difusioaren koefizientea 10 .12 zm2s lda. .
SiC-k hauts finak (15-20 m2/g) sinterizatzeko gehigarrien erabilpena beharrezkoa da,
erabilienak boroa eta karbonoa izan direlarik .
2 .22
Sinter-mekanismoak
2.3.2.1 . SiC-aren sinterizazioa egoera solidoan
%12 ionizitatea duen SiC-ren lotura kobalenteak, autodifusio koefiziente baxuak
eragiten dizkio SiC-ri eta honengatik oso tenperatura altuak behar dira sinteriza ahal
izateko . SiC hutsa sinterizagaitz kontsideratzen delarik .
2.12 Irudia.- Si eta C-aren difusio koefizienteak [23]
1972 . urtean Prochazka-k 1191 boro eta karbono kantitate txikiak erantsiz, presiorik
erabili gabe sinterizatzeko bidea aurkitu zuenetik, gehigarri hauen zeregina eta
sinterizazioa kontrolatzen duten mekanismoak mugatzeko ikerketa ugari egin da .
Bilduma Bibliografikoa
Lehen esan bezala Prochazkak aurkitu zuen boro edo boroaren konposatu eta karbono
kantitate txikiak erantsiz SiC sinterizatzeko posibilitatea . Bere ustez, termodinamikoki
ezinezkoa da SiCa sinterizatzea bere y gb/y, erlazioa altua delako . Poro guztiak ixteko
ygb/ys„ < V-3 izan behar du hau da 60 ° baino goragoko angelu diedroak sortu .
2.23
2. Atala
ygb = 2 * y s„ COS ~/2
(2.13)
ygb/ys„ erlazio honek V-3 balio kritikoa gainditzen badu, termodinamikoki, SiC-ren
sinterizazioa ezinezkoa da . Beraz, bere ustez, boroa ale-mugetan prezipitatuz Ygb balioa
txikituko luke eta karbonoak, SiC hautsa inguratuz dagoen Si02 erreduzituko luke, y,,
balioa handituz . Honela ygb/ys„ erlazioa balore kritikoa baino txikiagoa izango da eta
beraz sinterizazioa posible .
2.24
v
--e
y5v
R.
yss
~~
S
S
ii
ev
44e
2.13 Irudia.- Orekako angelu diedroak (lo]
Ondoren, Greskovich-ek eta Rosolowski-k 118 I gehigarririk gabe sinterizatutako SiC-an
mikroskopikoki dentsoak ziren zonaldeak aurkitu zituzten, 90 eta 100° tako angelu
diedroak neurtuz. Prochazka-ren6 hipotesiak honela baliorik gabe gelditzen ziren eta
material honen sinterizazioa eragozten zuen arrazoi termodinamikorik ez zegoela
frogatu zuten . Beste autore6 batzuk, adibidez Suzuki-k eta Hase-k 120 I, Bind-ek eta
Biggers-ek 1 21 j 60° baina gehiagoko angeluen existentzia egiaztatu zuten, aipatu
gehigarriak prozesuaren zinetikan eta ez termodinamikan eragiten zutela konkludituz .
Greskovich eta Rosolowski 1181 , Suzuki eta Hase "20) trinkoen murriztapen
makroskopikoa eragozten duen eskeleto zurrun batez ohartzen dira . Eskeleto zurren
hau, ale luzez osatua dago eta materia garraio abiadura bapore egoeran edo gainazalan
barrena, bolumenan barrena baino azkarragoa delako sortzen da . Bere ustez,
Bildura Bibliografikoa
erantsitako karbonoak eta boroak difusio abiaduratan eragiten dute . Honela,
bultzatutako garraio mekanismoa bolumenan barrena izango da, murriztapen
makroskopiko eta beraz dentsifikazioa erraztuz.
Suzuki eta Hase 1201 boro eta karbonoa SiC-an disolbatzen ez den ale arteko fase bat
sortzen dute ale-mugetan . Bestalde, fase honek sinterizazioaren hasierako ataletan,
SiC-a fase honetan disolbatuz, materiaren garraiorako bide egoki bat eratzen du
dentsifikazioa eta ale hazkuntza eraginez. Tenperatura igotzen den heinean,
sinterizazioaren geroagoko ataletan fase honen disolbagarritasuna SiC-an handituko
litzateke eta desagertu . Kasu honetan bitarteko fase likido baten bitartez gauzatzen da
sinterizazioa. Ikertzaile hauen ustez B4C-SiC eta B 4C-C sistemetan sortzen diran
eutektikoak ale arteko fase solido bat osatuz difusiorako bideak izan daitezke . Gainera
beraiek kalkulatutako erreakzio zinetika eta ale-mugan barrena difusio zinetika
berdinak diren arren, hau da denborareki duten erlazioa t"3 , aktibazio energia hiru aldiz
altuagoa da eta beraz ale-mugan barrena difusioz kontrolatutako mekanismoa izan ez
daitekea ziurtatzen dute .
Gehigarrien eragina
SiC-ren sinterizazioari buruz gaurdaino burututako lanak, B,C, Al eta Be-a material
honen egoera solidozko sinterizazioan gehigarri eraginkorrenak direla bat datoz .
Gehigarri hauen eraginari buruz autore ezberdinek argitaratutakoa azalduko da
ondoren .
Karbonoaren eragina
Karbonoaren eraginen artean onartuena SiC hautsa inguratuz dagoen silizea
erreduzitzea da eta beraz bere autodifusioa handitu .
Grekovich-ek eta Rosolowski-k 18 ' bi arrazoi aipatzen dituzte :
2.25
2. Atala
1 .- Berotze prozesuan Si02 geruzak ale mugak betetzen ditu hutsuneen zurgapena
eragotziz .
2.- Difusio koefizientea defektu puntualen menpe dago, karbono ezean difusioa oso
baxua izan daiteke soilik .
Bigarren argudio honi eutsiz, Koichi Yamada-k I22' azaleko Si02 erreduzituz,
karbonoak difusioa erraztuko luken defektu sorketa bultzatuko lukela dio . 2.12 irudian
ikusten den bezala, karbono ezean Si difusioa karbonoaren difusioa baino baxuagoa
izanik sinterizazio abiaduraren mekanismo dominatzailea da . Baina karbonoa edo
karbonoan aberatsa den atmosfera baten presentzian Si-ren difusio koefizientea
magnitude ordena batzutan igotzen da, karbonoaren difusioa prozesuaren
kontrolatzaile bilakatuz .
W. Van Rijswijk eta D .J. Shanefield 123' -en ustez Si0 2-ren ezabaketaren garrantzia
honek C eta SiC-rekin izan ditzaken ondorengo erreakzioetan datza :
Si02 + 3C => SiC + 2CO
(2.14)
2 Si02 + SiC => 3 SiO + CO
(2.15)
non bakoitzaren OG 1520 eta 1870°C -tan zero den . 2 .15 erreakzioa oso kaltegarria da
silizio monoxidoaren hegazkortasunak materia garraioa bapore fasean bultza
dezakelako . Karbonoaren presentziak aldiz, 2.14 erreakzioa eragin dezake tenperatura
baxuetan, bapore faseko materia garraioa eragotziz .
Si-aren ezarketa izan daiteke beste garraio mekanismo bat :
SiC + SiO = 2 Si + CO
(2.16)
non AG 1950 °C-tan zero den
2.26
I Density
Theoretical density
I.I
I
Level dependent on-nature of SIC powder
lFree carbon addition
2.14 Irudia.- Karbonoaren eragina SiC-ren sinterizazioan
Zenbait autorek diotenez 124,25 1 karbonoa soberan gehitzea, hau da silizea erreduzitzeko
esteikiometrikoki beharrezkoa dena baino gehiago gehitzea ez da SiC-ren
sinterizaziorako kaltegarria (2 .14 irudia), baina mikroegituran ordea eragina izan
dezake ale hazkuntza kontrolatuz .
Karbonoa ahalik eta era homogeno eta uniformean erantsi behar zaio SiC hautsari,
honengatik nahasketan zehar banaketa hobetuko duten erretxina likidoen erabilpena
mesedegarria da 126-281
Boroaren eragina
Lehen esan bezala Prochazka-ren ustez, boroa ale-mugetan prezipitatzen da, ale-
mugen energia Ygb txikiagotuz .
Karbono kantitate jakin batentzat boroaren eragina 2.15 irudian ikus daiteke .
Bilduma Bibliografikoa
Honek Si-aren garraioa gainazalari barrena bideratuko luke . Karbonoaren presentziak
berriz gainazalaean silizio kondentsatua egotea ekidin dezake .
2 .27
2. Atala
2.28
DensityA
Theoretical density----------------
l
Solubility limit ofI-boron source
1
Boron or boron compound addition
2.15 Irudia.- Boroaren eragina SiC-ren sinterizazioan
Boroa SiC-an duen disolbagarritasun limitea gainditu arte eraginkorra dela diote
hainbat autorek 119,2sa61 Limite hau pisuan 0.3-0.4% artekoa da. Boroa SiC-aren sarean
soluzio solidoa osatuz sartuko litzateke, difusiorako beharrezkoa den aktibazio energia
txikiagotuz eta materiaren garraio abiadura zenbait magnitude ordenetan handitzeko
gai litzateken distortsioa sortuz . Soberako boroak ale hazkuntza eragingo luke 125,27,291 .
Disolbagarritasun limitea baino kantitate txikiagoak erantsiz gero, tenperatura
baxuetan trinkoaren dentsifikazio osoa lortu aurretik alea haztea eragozten dat 18 301
bapore fasean edo gainazalan barreneko difusioa atzeratuz edo deuseztatuz .
Karbonorik ez dagoen nahasketetan boroak mikroegitura finak lor ditzake baino
dentsifikaziorik ez .
Beste gehigarri batzuren eragina
SiC-ren sinterizaziorako gehienik ikertu den gehigarri sistema B eta C-arena izan bada
ere, aluminioa ere eraginkor suertatzen da egoera solidozko sinterizazioan 119,27 . 31-341
Boroaren antzera aluminioak Si atomoen lekuak betez, soluzio solidoak osatzen ditu
SiC-ren sarean. Honengatik aluminioaren eraginkortasuna boroak eragiten dituen
antzeko mekanismoak eragiten datza, hau da, difusio konstantea sarean handitu 1271 . Al
eta B-a batera erantsiz gero sinter-tenperatura jaitsi eta eraldaketa azkartu daiteken 331 .
Al-ak gainera 4H politipo hexagonalaren egonkortasuna eragiten du 132,33i
Atmosfera eta partikula tamainaren eragina
SiC-ren sinterizazio prozesuan garrantzi handiko beste bi parametro erabiltzen den
atmosfera eta hasierako hautsaren partikula tamaina eta banaketak dira .
Atmosfera
Beroketan, ondorengo erreakzioak gerta ez daitezen, atmosfera geldo edo
erreduktoreen erabilpena beharrezkoa da 127.31 i
Bilduma Bibliografikoa
2B+3CO=B203+3C (2.17)
B+CO => BO+C (2.18)
Si02 + C => SiO + CO
(2.19)
aipatu erreakzioek hegazkorrak diren gaiak sor ditzakete alde batetik (2.16, 2.17) eta
bestetik Boroak CO-rekin erreakzionatzen badu, bere eraginkortasuna gal dezake .
Praktikan 1500 °C arte hutsunean sinterizatzen da, CO-aren presentzia eragotziz eta
beraz 2 .15 eta 2 .16 erreakzioak . Era honetara 2.18 erreakzioa eragin daiteke .
Si02 + 3C => SIC + 2CO
(2.20)
1500 °C gora SiC-aren disoziazioa galeraziz, Ar [ 31 1, Hei 26 1 eta N2 [ 26 I sartuko dira
labean . Mizrah eta bere laguntzaileen 1 26] ustez, N2 erabiltzeak sinter-tenperaturak
igotzea eskatzen du (150 °C inguru Ar edo He-an baino)
2 .29
2 . Atala
Partikula tamainaren eragina
Oso aktiboak diren hautsen erabilpenak sinterizazioa errazten du beti . Greskovich eta
Rosolowski 1181 bezalako autore batzuk diotenez purutasun handiko Si trinkoen
murriztapen lineala gainazal azalera espezifikoarekin aldatzen da, azken hau handitzen
den eran handituz .
Varuzan et al. -en 351 (IL) ustez hautsaren batazbesteko partikula tamaina mikra azpian
dagoela zihurtatzen bada SiC-(3-ren sinterizazioan eragin handiagoa du tamaina
banaketak batazbesteko tamainak baino, partikula tamaina banaketa estua duten
hautsak erabiltzea mesedegarri izanik . Era berean P . Elder et al-ek t 30 1 mikra azpiko
tamaina duten hautsen erabilpenaren beharra egiaztatzen dute .
Ultrafinak diren hautsek duten oztoporik nagusienak manipulatzeko duten zailtasuna
eta bere sinterabilitateari kalte eginaz oxigeno gehiago hartzeko gai izatea dira .
Bestalde hain tamaina txikia izanik difusioaz ibili beharreko distantziak txikiagoak
izango dira eta beraz erabili beharreko sinter-tenperaturak baxuagoak ere bail 36~
2.30
2.3.3 . FASE LIKIDOZKO SINTERIZAZIOA .
Bilduma Bibliografikoa
Fase likidozko sinterizazioa oso zabaldurik dago materiale zeramiko eta metaliko
askotan erabiltzen bait da. Honengatik beste autore batzuk 137, 38I eta CEIT-en
burututako tesietan I 39 I sakonki ikertua izan da. Lan honetan beraz laburki aipagarrien
diren aspektuak aipatuko dira .
Esan bezala materiale zeramiko zein metaliko askoren kontsolidazioan erabiltzen den
prozesua da . Ekoizpen metodo honen abantailak honakoak dira . 1401
1 .- Egoera solidozko sinterizazioak baino sinter tenperatura baxuagoak behar ditu
2.- Dentsitatea edo homogenotasuna azkarrago lortzen dira
3 .- Azken dentsitate altuagoak lortzen dira
4 .- Lortzen diren mikroegiturek, egoera solidozko mikroegiturek baino propietate
mekaniko edo fisiko hobeak eragiten dituzte, batez ere giro tenperaturan
5 .- Azken produktoen formak ez dira aldatu behar
Hala ere alearteko fasearen urtze tenperatura baxuagoa dela eta eragozpen batzuk ere
baditu. Goi tenperaturatan ale-arteko fasea biguntzen bada tenperatura hauetan
propietate mekanikoak okerrera jotzen dute. Oxidazioarekiko erresistentzia ere
okerragoa da .
Fase likidoa sortuko duten gehigarriak aukeratzeko orduan, honek bete behar dituen
baldintzak kontutan hartu behar dira . Alde batetik likidoa solidoa bustitzeko gai izan
behar du, eta bestetik solidoa disolbatzeko gai eta solidoaren difusio eta
birprezipitazioa errazteko gai izan behar du .
Fase likidozko sinterizazioa osagai solidoaren birantolaketa eta forma aldaketan
oinarritzen da . Teoria klasikoaren arabera 2.16 irudian eskematikoki azaltzen diren hiru
2.31
2. Atala
atal independienteen segida da 1381 . Prozesu honen indar eragilea bapore-likido, likido-
solido eta solido-bapore mugen energien murriztapena da . 1411
Birantolaketa .
2 .32
MixedPowders
base% /
additive
pore
/ ~
I.Rearrangement
"%V•j/
liquid formationjigai i%
%j~l0"
and spreading
/~
II . Solution-Reprecipitation
i/
j%
diffusion, grain growthi~/~ % i Oil00 ~/
and shape accommodation
w %/% ter, III.Solid State
~~
Phpore
o
elimination,
j
j
gra in growth
j%
/
~~ / and contact
growth
2.16 Irudia .- Fase likido baten presentzian egiten den sinterizazioaren atalak
Konpaktua berotzean likido bat sortzen da, likido honek solidoa ongi bustitzen badu
(kontaktu angeluak <90°), kapilaritate indarren ondorioz poroetan eta partikula
solidoen lepotartetan sartuko da . Barne marruskadura handiegia ez bada partikula
solido hauek birantolatuko dira espazio gutxiago betez, kordinakuntza gradu altuago
eta poro azalera txikiago lortuz . 138]
Birantolaketa honetan parte hartzen duten faktore batzuk hauek dira :
Bilduma Bibliografikoa
1 .- Sortzen den likido bolumena: likido kantitate nahikoa sortzen bada birantolaketa
bidez dentsitate teorikoaren %100 a lor daiteke. Adibidez trinko-dentsitatea dentsitate
teorikoaren %60-a bada birantolaketaz DT-aren %100 lortzeko %35 likido beharko
litzateke . Likido bolumen baxuak erabiltzen badira murriztapena fase likidoaren
bolumen frakzioarekin handitzen da 138]
Kontutan hartu beharreko beste faktore bat trinko-dentsitatea da . Trinko-dentsitatea
handitzen denean solido-solido kontaktu gehiago dago eta solido-bapore gainazal
gutxiago, kapilaritate indarrak txikitzen direlarik . Orokorrean dentsifikazio abiadura
moteltzen dela egiazta daiteke, baina birantolaketa ez diren beste arrazoi
ezberdinengatik azken dentsitatea handiagoa izan ohi da trinko-dentsitate
handiagoentzat . 138]
Hauts partikula tamaina txikiak mesedegarriak izaten dira kapilaritate indarrak
tamainarekin alderantziz aldatzen baitira . Hauen formak ere birantolaketan eragina du,
partikula erregularrak marruskadura indarrak handiagotzen dituztealko mugimendua
eragotziz. Sistema erreaktiboetan ordea irregulartasunak errezago borobiltzen dira
punten disoluzio handiagoagatik .
Angelu diedro baxuek likidoa partikula solidoen artean sartzea errezten dute eta honela
dentsifikazio handiagoak eta azkarragoak lortzen dira . Paketatze dentsitateak altuak
badira ordea, kaltegarriak izan daitezke, partikulak elkaren artetik banatuz trinkoa
sabeldu daitekelako . 1381
Birantolaketa bidez dentsitate altuak lortzeko nahasketak ahalik eta homogenoena izan
behar du . Honetarako metodorik onena, gehigarriez inguratuta dagoen hautsa
erabiltzea litzateke, likidoak partikula solido gehienak bustitzea lortuko zelarik,
hautsen betetzea uniformeagoa eta dentsifikazioa handiagoa bilakatuz .
2.33
2. Atala
Hasierako prozesu hontan sortzen diren poroak, gehigarriak urtzean uzten dituzten
hutsuneek eta partikulen birantolaketak eragiten dituzte 1421 eta erabateko porositatea
txikiagotzen den arren, prozesu honetan zehar poroen batazbesteko tamaina handitzen
da. Poroen banaketa eta tamainak likidoaren distribuzioarekiko menpekotasun handia
du
Soluzio-prezipitazioa .
Fase likidozko sinterizazioan parte hartzen duten oinarrizko mekanismoek hauts
partikulen tamaina, forma eta kontiguitatea aldatzen dituzte . Solidoaren disoluzioa
likidoan, likidoan barrena honen garraioa eta beste eremu batean birprezipitazioa dira
honen arrazoiak. Materiala potentzial kimiko altuko solido-likido mugan disolbatzen
da eta potentzial baxuagoetan aldiz birprezipitatu . Tentsio egoera ezberdinek Dµ = Ac
Q (non Q bolumen atomikoa den) edo osagaien aktibitate ezberdinek "a" Dµ = kT In
(a/ao) atomoen potentzial kimikoaren "µ" arteko ezberdintasunak eragiten dituzte .
Tentsio hauek solido-likido mugen kurbadurengatik edo mugatik gertu egon daitezken
kontzentrazio gradiente handiengatik edo likidoan barrena zabaltzen diren kanpo
tentsioengatik sortzen dira . 140
Mikroegituraren hazkuntza
Fase likidozko sinterizazioaren teoria klasikoen arabera azken atal hau egoera
solidozko sinterizazio kasu bat besterik ez da . Azken atal honetan aktibatzen diren
prozesuak aurreko atalean ere aktibaturik zeuden baina beraien moteltasuna zela eta ez
ziren eraginkorrak Birantolaketa ezabatzen duen eskeleto solido baten presentziagatik
dentsifikazioa motela da atal honetan. Mikroegituraren hazkuntza difusioz gertatzen
da, izan ere disoluzio-prezipitazioak ale hazkuntza, aleen formen birantolaketa eta
porositatearen ezabaketa eragiten jarraitzen du .
2.34
Dentsifikazioa atal honetan poro kopuru eta tamainaren txikiagotze abiaduran lortuko
da. Porositatearen ezabatzea eragozten duten faktore batzuek honakoak dira : gasa
harrapatuta gelditzea, osagaien deskonposaketa produktuak, paketatzearen akatsak eta
sinter-atmosferarekin erreakzionatzearen ondoriozko produktuak . 1 ' 1
Sinterizazioa materialean disolbatzeko gai ez den atmosfera batean egiten bada, gasa
porositatearen barruan harrapaturik geldituko da poroaren barne presioa eta gainazal
tentsioa berdintzen direnean .
Gasa matrizean guztiz disolbaezina bada dentsitate teorikoaren %99-tik gorako
dentsitateak ez daitezke lor .'381 . Disolbagarritasuna dagoen kasuetan, dentsifkazioa
gasaren porotik kanporuntzko hedaketa abiadurak edo eta gasaren disolbagarritasun
limiteak kontrolatuko lukete .
Fase likido baten presentzian sinterizatzen duten sistema gehienetan dentsifikazioa eta
mikroegituraren hazkuntza paraleloki gertatzen dira . Fase likidoan sinterizazioaren
azken atalean prozesu nagusia ale hazkuntza da . Ale txikiak desagertzen doaz
handietan prezipitatuz . Ale kopurua eta solido-likido gainazal energia murriztuz doaz .
Ale hazkuntzaren zinetika aleen arteko separazioaren menpe dago, eta hau ale tamaina
eta likido frakzio bolumetrikoaren funtzio da .
Ale hazkuntza abiadura handiak, hasierako ale tamaina txiki, sinter-tenperatura altu,
angelu diedro baxu, solido frakzio bolumetriko altu eta likidoaren disolbagarritasuna
solidoan altuak direnean gertatzen dira . Ale hazkuntzaren erantzunkizuna duen
mekanismoa likidoan barr ena difusioa da .
Ale hazkuntzan zehar, hauen tamaina banaketa aldatu egiten da . Tamaina banaketaren
aldaketa ale hazkuntzan parte hartzen duen prozesuaren araberakoa izango da . Prozesu
posible guztien artean, koaleszentzia,da banaketa zabalenak eragiten dituenak eta
erreakzio eta soluzio-prezipitazioa berriz, banaketa estuenak .
Bilduma Bibliografikoa
2 .35
2. Atala
Negita-k 1 44 1 bideratutako gogoeta termodinamikoen arabera SiC deskonposatzen ez
duten metalen oxidoak, honen sinterizazioa eragiteko gehigarri aproposak izan
daitezke. Honetarako bete behar duten baldintza bere sortze energia askea, sinter
tenperatura horretan nagusi den SiC-ren oxidazio erreakzio energia baino txikiagoa
izatea da . (2 .21 ek)
2SiC+02 => 2Si+2CO
(2.21)
honela, (2.24)=(2.21)-(2.22) eta (2 .25)=(2.21)-(2.23)-en ondorio diren 2.24 eta 2.25
erreakzioak ekidinaz .
bM+02 => cM„OW (2.22)
dM,C,,+02~cM„OW +fCO (2.23)
2SiC+cM„OW =2Si+bM+2CO (2.24)
2SiC+cM„O,y =2Si+dM,C,,+eCO
(2.25)
2.36
2.3.3.1 . SiC-ren sinterizazioa fase likidoan
Honela 2.17 irudiko zati marratuan aurkitzen diren gehigarriak goian aipatutako
baldintzak betetzen dituztela konkluditu zuen eta beraz SiC-ren sinterizazioan
eraginkor izan daitezke. Baldintza hauek betetzen dituzten oxido metalikoen artean
Y203, A1203 , eta Ce 20 aurkitzen dira .
800
400
._eGo
V;O,
FrO200
~lt
Co0oFeA
NiO
200
Cri0j•
.Li20
Cao0 0 cZrot /•Ai20I
-eG o
•
M90
L400
600
800
-eG15 / kJ moi - '
Bilduma Bibliografikoa
2.17.Irudia .- SiC-ren sinterizazioan lagungarri izan daitezken metalen oxidoak
Zenbait autorek i 45-5o] beraien saiakuntzetan gehigarri hauen eraginkortasuna frogatu
dute eta Y20 3 eta A1203 gehikuntza nahasiak erabiliz dentsitate teorikoaren %95 a lor
daitekela egiaztatu dute .
Gehigarri hauek soilik edo SiC hautsak inguratuz dagoen Si02-arekin batera ohizko
sinter-tenperaturatan likidoak sortzen dituzte (ik . 2 .18, 2 .19 eta 2.20 irudiak)
sinterizazioa bultzatuko luken mekanismoa fase likidozko sinterizazioa izanik .
Gehigarri nahasketa hauek A1 203 .-n arinki aberatsak izatea komeni da . Autore batzuk1 49,501 Y203 -n aberatsak edo soilik Y203 duten likidoekin dentsitate altuak ez direla
lortzen diote, Likido hauen formazio zinetika motelak edo soldoa ondo bustitzeko dute
ezintasunak, dentsifikazioa zailtzen dute . .
2.37
2. Atala
2.38
2500
2300
2100
Liquid
Liquid
+
+
1980°
2Y20 3 . 3Sí0 2
Y20 3 •S i0 2 `
1950°Liquid + Y203
ham-'
Two Liquids
1900
1900°
5i02
Liquid
2.18 Irudia.- Y30 3 eta A1203-ren oreka diagrama
A! 203-Y203
2200 ° -
a O
Liquid1800 °
O tñ
+iñ+M
775
Y2 0 3 . 2Si0 2M0 0 2 :3
1700
i } +
1700°N 1 :2
Y2 0 3 + Y203 • Si0 2
1650°Y 0 5i0
q •
2
1660°2 3
2 Li +Si0
_
Y203 . 2Si0
Si02 +Y20 3 . 2Si0 21500II 11i
Y203
20
40
_
60 N
80
Si0 2M -
Mol . % N
Liquid2020-1
2400
L • 3 :5
7 .° liquids /
Liquid
~,
2200,'- 2 :1- 3 :52 :1
1~1
3:5i ,
"-<"
-
L:q. .2 , 1~~-'°
Lia,e2020 i
~`2000 Y2 03Y20j2Si02
-
(
LI ,1 :1\~Liq'•3 .52Y2 03 . 3510t
\3A:2 03-25iOZ
1540• 11t :873•
1=1 .3:5v20j5i02 ,,'
t 2:1 .11s18
Liq.•a A1203
'°
1800- -18C0
'
1
i760•`
2:1 . 3:5Y20 3
'1203
/ 20
401
60
80
A12032YA 4 :2o7
~I
~3Y203,°.AI2O3
2 :1
pY0 "A .0233Fxo . 2586.-Sr~ :
1600
ó
N
3 5
á
a A] 2 0 3
TyN N I II111
Y203
20
40
60
80
A1203
FIO . 2344 .-Systcm AI,0,-Y,0,.
2.19. Irudia.- Y203-A1203-Si02 oreka
2.20 Irudia.- Y 203-SiO2 oreka diagramadiagrama
SiC(s) + A1203 (S) =:> SiO(g) + CO(g) + A1 20(g)
Bilduma Bibliografikoa
Sinterizazioa eragiten duten mekanismoak definituak izan ez diren arren sinter-
tenperaturan sortzen den likidoak hasieran birantolaketa eta ondoren, potentzial
baxuagoko zonaldetan prezipitatuko den SiC-aren disoluzioa eragiten du .
Negitaren ikerketa termodinamikoen arabera gehigarri hauek SiC-a deskonposatzen ez
duten arren, kasu gehienetan 2 .24 erreakzioak eragindako masa galera handiak
somatzen dira :
(2.26)
Erreakzio honek batetik masa galera eragin eta bestetik materiaren bapore faseko
garraioa erraztu dezake . Cutler et al-en [50] (C) ustez argoneko atmosferak erabiltzen
badira SiO, CO eta A120-ren presio partzialak oso baxuak izango dira eta beraz 2 .24
erreakzioak aurrera egingo du . Masa galerak galerazteko hermetikoki ertsitako edo gai
hegazkor hauen bapore presioa orekatuko duen laginen konposaketa berdina duen
hauts-oheen erabilpena beharrezkoa da . Erreakzio honi ekiditeko beste bide bat
sinterizatu aurretik YAG sortuz Y203 eta A1203 erreakziona araztea litzateke .
Fase likidoan sinterizatutako materialen mikroegitura fina (-j Ipm inguru) da eta aleak
globularrak dira . Mikroegitura fin hauek erabiltzen diren sinter-tenperatura baxu eta
mantenamendu denbora motzen ondorio dira . Kasu askotan (3->a eraldaketa geldi
arazten da eta baita aspektu erlazio handiko aleen agerpena ere . Mikroegitura hauen
ondorio garrantzitsuena materialean lortzen diren gogortasun eta zailtasun altuagoak
dira, egoera solidoan sinterizatutako materialarenakin parekatzen badira . Material
hauetan eragiten den haustura ale-artekoa izango da eta ez, egoera solidozko
sinterizazioa erabiltzen zenean bezala, ale-zeharkakoa .
2.39
Z . Atala
2.4. MIKROEGITURA ETA ERALDAKETA
Lehen ikusi den bezala SiC-ak politipo izaneko kristal-egitura ezberdinak izan ditzake .
Orokorki, politipo hexagonalak eta erronboedrikoak (SiC- (x) kubikoa (SiC-J3) baino
egonkorragoak dira goi tenperatura eta presio baxuetan (1 atm). Baldintza hauek dira
hain zuzen sinterizazio baldintzak eta beraz sinterizazio prozesuan zehar 3-aa
eraldaketa posible da. Heuer eta laguntzaileek 151-54 i egindako lanetan, J3-a
eraldaketa, a fasearen kristale poligonalen nukleazio eta hazkuntzaren ondorio dela
diote. Beste autore batzuk 155 I berriz, B eta C gehigarriekin sinterizatutako laginetan
politipo berdineko bi alez osaturiko lumak arkitzen dituzte . Luma hauek penetrazio
maklak dira eta ale kubikoen bizkar hazten dira .
Atal honetan, SiC politipo ezberdinen arteko eraldaketen mekanismoak eta batez ere
lan honetan behatutako eraldaketen ezaugarriak aipatuko dira .
2.4.1 . ERALDAKETA MEKANISMOAK
SiC-aren eraldaketari buruz Jepps-ek eta Page-k 1561 egindako ikerketa sakon batetan bi
mekanismo ezberdin bereizten dira material monokristal edo polikristalarentzat .
Materiala monokristala bada eraldaketa difusioz edo tentsioz eragindako egoera
solidozko materia garraioak eragiten du . Material polikristalinoetan ordea garrantzi
handiagoa dute bapore edo likido fasean eta gainazalan barrena difusioa garraio
mekanismoak . Azken bi mekanismo hauek gainera ale hazkuntza eragiten dute . Hala
ere mekanismo hauek eraldaketaren ondorioz sortu berria den politipoaren hazkuntza
kontrolatzen dute eta ez bere nukleazioa . Nukleoa egoera solidozko materia garraio
mekanismoak eraginda sortu edo hasierako materialan egon behar litzateke .
2.40
2.4.2 . ERALDAKETA MOTAK
Jepps-ek eta Page- k""' , eraldaketa posible asko aipatzen badituzte ere, arruntenak eta
lan honetan zehar agertutakoak bakarrik aipatuko dira .
3C-->6H eraldaketa
Eraldaketa hau sarritan ematen da SiC-(3-ren sinterizazioan eta bera da hain zuzen
osagaien ekoizpen prozesuaren azken mikroegituren erantzule . Eraldaketa honek
askotan ale hazkuntza anomaloa dakar eta azken mikroegitura material kubikoko ale
txikiak inguratzen dituen ale poligonal exagonal luzez osatutako sare batez osaturik
egongo litzateke . 3C- 6H eraldaketa bi zatitan jazaten da : lehenik ale txikien
eraldaketa partziala eta bigarrenik aspektu erlazio altuko a aleek ale txikiak zurgatuko
dituzte [33,56-58 Erabilitako sinter-tenperatura behar adina altua bada kristal poligonalen
ordez SiC-a lumak agertuko dira 133j
Nitrogeno presio altuetako baldintza berezietan 6H- 3C alderantzizko eraldaketa
gerta daiteke . 15' ",58 i
3C-4H eraldaketa
Jepps-ek eta Page-k 159 I SiC-~3 lagin polikristalinoen 1800°C-tik gorako beroketa
prozesuan somatu dute .
6H->4H eraldaketa
B eta Al 1601 erabiliz sinterizatzen diren hautsetan agertzen da batez ere .
Bilduma Bibliografikoa
2 .41
2 . Atala
2.4.3 . GEHIGARRIEN ERAGINA
SiC-ren mikroegituran eragin handiena duten kutsadurak berearen antzeko
konposatuak sortuz honen sarean sar daitezkenak dira .
Boroaren eragina
[i-*a eraldaketaren ondorioz 6H politipoa sortuko luke boro gehikuntzak 1611
Gehigarri honek 6H politipoaren sortze abiadura handitzen du . SiC-[3 [61, 62I zein SiC-a
I",' I laginetan kristal hazkuntza [0001] zuzenbidean bultzatuz ale hazkuntza eten eta
egitura poligonaleko kristal luzeak eragiten ditu .
Aluminioa eta bere konpotuen eragina
Al eta bere konposatuek (A1 2OC, A120,) egitura exagonalak, eta batez ere 4H politipoa
finkatzen dituzte [61, 641 . Gainera [0001] zuzenbideko ale-hazkuntza abiadura motelduz
eta [0001] zuzenbidearekiko elkartzuta den zuzenbideko ale-hazkuntza abiadura
azkartuz ale fin eta ardazkideko mikroegiturak eragiten ditu [61,621 . SiC-a [631 -n Al-ak
6H kristalen hazkuntza etena ere moteltzen du .
Nitrogeno eragina
N,P bezalako n-mota elektronikoko materialak egitura kubikoak finkatzen dituzte edo
beste era batera esateko [3->a eraldaketa atzeratu [61] . Kasu batzuetan eta baldintza
egokiak egonez gero, a egitura egonkorrago den tenperaturatan a-[3 eraldaketa ere
eragin dezake .
2.42
W= KL.t
2.5 . SIC-REN OXIDAZIOA
2.5.1 . OXIDAZIO AKTIBOA
Oxigeno potentzial baxuko atmosfera batean SiC (2.27) erreakzioaren arabera
oxidatzen da :
SiC(s) + 02 (g) = SiO (g) + CO(g )
Bilduma Bibliografikoa
erreakzio honen produktuak oxido hegazkorrak dira eta ondorioz denborarekin erlazio
lineala duen masa galera eragiten da 1651 :
non W azalera unitateko masa galera, K L erreakzio konstantea eta t denbora diren
SiC muga baldintzetan erabiltzeko materiala denez, baldintza pasiboen menpe lan
egingo duela zihurtatzeko oxidazio aktibo-pasibo iragapena ikertzea beharrezkoa da .
Autore batzuk 166-681 Wagner-en 169I, ereduan oinarrituz egiten dute iragapenaren
ikerketa. Modelo honetan P t -ren balioak (2.29) ekuazioan kalkulatzen dira2
(2.27)
(2.28)
Pt __ 1 DSiO
02
eqP02
2 \,D02 / ` bSi01
PSiO(2.29)
2.43
2. Atala
eta beraz
edo
2 .44
PSiO
1l
N -
SSiO
DSiO 2
8 02 ~ ~D02 J
Ii
(t
SSIO
502
/
~-t _ 1 DSiO 2 eqP02 2 \
D02
PSi0
1
Pt
I . DCo2
peq02 2 ~D02
CO
I
I POO 2
1I
1)82 : Presión parcial de oxigeno
I
ambiente
PSiO•
: Presión parcial de SiO en
1
PSio
la superficie1
PSiO•
~ PO2 =_ o
2.21 Irudia.- SiO eta 02 geruzen lodiera eraginkorrak
non Pt transiziorako oxigeno presio partziala, Dsio eta D02 ,SiO y 02 -ren difusio2
koefizienteak eta fisio y Sot geruza gaseosoaren lodiera eraginkorrak (ik 2 .21 irudia)
diren .
Gasaren fluxua laminarra bada :
1
(2.30)
(2.31)
(2.32)
non F Y Pcó SiC-ren azaleran SiO eta CO orekako presio partzialak diren .Sio
eta/edois
o,
ce
10 3
10 1
TEMPERATURE, T (K1925
1900
1875 1850
a : 1 .42 x 10 sm 3 . 5 -1
• : 4.58x10 6m3 .s -1
o : 8 .33 x 10 6m3 . s 1
A :12.5x10 6m3 .5-1
1!
5.2
5.3
5.4
T -1 (10-4 K-1 )
2.22 . Irudia.- Transiziozko oxigeno presio partzialaren menpekotasunatenperaturarekin
2.22 irudian1671 ikusten den bezala Pó, handitzen da T tenperatura igotzen denean eta
gas fluxua gutxitzen bada . (CO, SiO, 02) gai gaseosoen difusio koefizientea, Di gas
fluxuarekiko aske izan arren, 8i fluxuarekin alda daiteke, V112 txikiagotzen denean Si. S
txikiagotuz. Autore batzuk 166, 671 Pó -ren aldaketa gas bolumenarekiko beraz
02'-sco
-ren aldaketagatik izan daitekela somatu dute . Bestalde fluxu handiagoSsio i
batek desoreka egoera eragin dezake SiC-ren ginazalean eta honela
Bildtuna Bibliografikoa
1
(2.33)(D 12
sioP~02
_~ L Do, J Psio
2.45
2 . Atala
non P,0 desoreka egoeraren presio partziala den eta Pso -a baino txikiago . Bi presio
hauen arteko ezberdintasuna gas fluxua handitzen den eran handitzen da .
Balat eta laguntzaileen 1681 ikuspuntu tenmodinamikoetan oinarrituz, erabilitako
ereduaren arabera, iragapen presio partziala PP Z 02 oxigeno molekularra edo ionikoa
02- kontutan hartzen badira ez da aldatzen . Hala ere 02 -rentzat experimentalki
lortutako emaitzak eredu teorikoarekin bat etorri arren, oxigeno ionikoarentzat
esperimentalki lortzen den iragapen presio partziala P o , Pot baino bi magnitude ordena
txikiagoa da. Beraz faktore termodinamikoak ez ezik erreakzioaren kontrol zinetikoa
ere badago
2.46
Guibronsen et al .(Single Crystottine, ref 7)
102-
/
10
a°Hinze and Graham (HR ref .10)
od
TEMPERATURE , T (K)
1900
1800
1700
1600
10 1-
Present Work (CV0)
10o-Rosner and Allendort (CYO, ref .5)
5 .5
6.0T -1
( 10-4 K - ')
2.23 Irudia.- Autore ezberdinek bildu ditzten iragapen oxigeno presio partzialak
2.23 irudian 1661 autore ezberdinak lortutako P` ezberdinak irudikatzen dira . Aurkituo,
diren P,, . ezberdinak erabilitako oxidazio baldintza (gas fluxua, gasaren
konposaketa . . .) zein hasierako materialaren ezberdintasunen (kristal egitura, kutsadura
neurria . . .) ondorio dira . Zentzu honetan zenbat eta kutsadura handiago Po' hainbat etazaltuago izan daitekela esan behar da .
H. Kim-ek eta A .J. Moorhead-ek 1701 oxidazio aktiboak makurdurarekiko erresistentzia
bezalako materialaren propietateetan duen eragina aztertzen dute. Makurdurarekiko
erresistentzia oxidazio aktiboaren ondorioz galdutako masa handitzen . den eran
txikiagotzen da. Izan ere masa galerak laginaren gainazalean akatsak sor ditzake .
Oxigeno presio partzial ezberdinetan neurtutako makurdurarekiko erresistentziek
Pot .balioa muga dezakete. 1400°C-tan 10 orduz oxidatu ondoren masa galera PO2 eta
makurdurarekiko erresistentziarekiko proportzionala da. Oxigeno presio partziala
handiagotzen jarraitzen bada Si02 geruza fin bat sortzen hasiko da SiC-ren
gainazalean, oxidazio pasiboa hasi dela adieraziz . Geruza honek gainazeleko akatsak
estaltzen dituenez berriz ere makurdurarekiko erresistentzia handiagotuko da .
Oxidazioa aurrera jarraitzen badu gas (CO, . . .) burbuilek sortutako gainazal akats
berriek makurdurarekiko erresistentzia berriz jetxi araziko lukete .
2.5.2 . OXIDAZIO PASIBOA
Oxigeno presio partzial jakin batetatik gora, tenperatura bakoitzean silizio karburoa
2.32 erreakzioa jarraituz oxidatuko da. Oxigenoaren difusioa silizean barrena motela
izatean, silize geruza honek SiC materiala babestuko du . Oxigenoaren difusio
koefizientea silizean zehar honen naturaren arabera aldatzen da 2.24 irudian ikus
daiteken bezala . [T j .
Bilduma Bibliografikoa
SiC (s) + 3/2 02 (g)-> Si02 (s)+ CO (g)
(2.34)
2.47
2. Atala
2.48
-25 -
0 /°C15Q0,10~09, 790, 5Q0 , r 390
D o 1Crystaffine siOJ
0. 6
1 .0
1 .4
1 .8kK/T
2.24 . Irudia.- Oxigeno difusio koefizienteak silizean barrena
Oxidazio zinetika
Oxidazioaren zinetika orokorrean parabolikoa da 172 -" 1 (2.25 irudian ikus daiteken
bezala). Hala ere autore batzuk linear- parabolikoa kontsideratzen dute 1 76 79 1 (2.26
irudia), hau da, hasieran materialak W=K L.t ekuazio linealaren arabera irabazten du
masa, ondoren berriz W2= Kp .t ekuzaio parabolikoari erantzuten dion masa irabazio
jasaten du ; non W azalera unitateko masa irabazia, KL eta Kp erreakzio linear eta
parabolikoen konstanteak eta t denbora diren .
Oxidazioa aurrera doan eran, oxidatutako geruzan pitzadurak sor daitezke eta beraz
02-a errezago sar daiteke laginaren barnekaldera, honela hasieran parabolikoa zen
zinetika arinki desbideratzen da, azeleratuz . 1 S01 .
.35
.30
.25
20NE
L3.10
.05
0
2
1310°C '
1315°C o
1260°C
IIII4
6
8
10
12
14
16Time, h
10 :1948K
i :1B48K4 t_ S :1923K j C : 1838KÎ c : 1873K i'
∎ : 1023 K
E3 ŕ
'
1
2
4
6
8TIME (10ká)
Bilduma Bibliografikoa
2.25. Irudia.- Oxidazioaren zinetika
2.26. Irudia.- Oxidazioaren zinetika lineal-parabolikoa
parabolikoa
Oxidazio zinetika parabolikoa izan arren, T . Narushima et al .-ek 1811 eta M. Maeda et
al .-ek' 82 ' , oxidazio abiadura denborarekin aldatzen dela soinatzen dute, hau da, W2 -k
malda ezberdineko zuzenak sortzen ditu denboran zehar 2 .27 irudian ikusten den
bezala 182' . Oxidazioaren abiaduran eragina duten faktoreen artean hauek aipa daitezke
1 .- Geruza oxidatuaren kristaltze prozesua
2.- Fase kristalinoen eraldaketa
3 .-Oxidazioaren produktu diren gasen hedapena dela eta geruza oxidatuan sor
daitezken burbuila, zulo eta pitzadurak
4.- Laginaren barnetik kanporuntz hedatutako kutsadura zein elementu
metalikoek eragindako geruza oxidatuaren biskositate aldaketa .
2.49
2 . Atala
2 .50
0.4
ÉU
É 0.3
0.5
0 .0
•
STATIC OXIDATION
s
,
0
10
20
30
40
50
60
OXIDATION TIME( h" )
2.27 Irudia.- Masa irabaziak oxidazio prozesuan
Azken puntu hau SiC presiorik gabe B eta C-a erabiliz edo A1 203-rekin trinkotze
ardazbakarra beroan bidez sinterizatzean bereziki kontutan hartu behar da . Elementu
metalikoek, kutsadura moduan hautsan daudenak edo apropos gehigarri bezala erantsi
direnak geruza oxidatuaren biskositatea txikiagotu dezakete 176 . 821 oxidazio abiadura
handituz. Izan ere oxigenoaren iragazkortasuna handiagoa da geruzaren biskositatea
txikiagoa denean171) . Besalde S.C . Singhal-ek 1741 kristobalitaren presentzia somatu
zuen tenperatura baxuetako oxidazioaren ondorioz (1093 °C), Al zein beste elementu
metalikoek cristobalitaren kristaltze tenperatura jetzi arazten zutela konkludituz
Kontrol mekanismoak
Silizio karburoaren oxidazioa prozesu konplexua da, horregatik prozesuan parte
hartzen duten mekanismoen artean motelena eta beraz erreakzio abiadura kontrolatzen
duena mugatzea zaila da . Hori dela eta literaturan argudio ezberdinak aurkitzen dira,
eta honela taldeka daitezke :
1 .- SiC/Si02 gainazal-artetik CO-ren desabsorzioa '72, ", 83 '
2 .- 02, 02- espezie oxidatzaileen difusioa gainazal artera, oxidatutako geruzan
barrena . 176, 79, 81, 84 , 85 i
3 .- SiC/Si02 gainazal artean erreakzioa' 78'
4 .- Si-C loturen haustura'"].
Hala ere prozesuaren zailtasunak direla eta erreakzioa kontrolatzen duten mekanismo
ezberdinak egon daitezke oxidazio atalaren eta tenperaturaren arabera ' 86 ' . Honela
Costello-k eta Tressler-ek ""I eta J. Rodriguez-Viejo et al .-ek 179, 851 oxidatzailearen
garraioan laginaren barneruntz bi mekanismo paralelo daudela proposatzen dute . Alde
batetik oxigeno molekularraren garraioa eta bestetik oxigeno ionikoarena.
Mekanismmo hauetako batek izango du erreakzioaren kontrola oxigeno partzial eta
oxidazio tenperaturaren arabera .
Rodriguez Viejo-k eta laguntzaileek . 1791 erreakzioaren abiaduraren konstante
parabolikoa, tenperatura eta oxigeno presio patzialarekin erlazionatzen dituen ekuazioa
finkatzen dute, geruza oxidatuan (kristalinoa zein amorfoan) barrena oxigeno
molekular zein ionikoaren difusibitatea kontuan hartuz :
mKp =Def02 •Po2 +[x .Dó(am)+(1-x2
i- D0(er)] - (Po2 ) 2
Bilduma Bibliografikoa
(2.35)
Ekuazio honen lehenengo batugaia oxigeno molekularraren (02) fluxuai dagokio eta
bigarrena oxigeno ionikoarenari (02-)
x geruza oxidatuaren silize amorfoaren ehuneko bestea
m oxidazio produktua CO dela suposatuz, Si0 2 mol bat sortzeko beharrezkoak diren
oxigeno mol kopurua
D o (am) oxigeno ionikoaren difusio koefizientea silize amorfoan barrena
D o (cr) oxigeno ionikoaren difusio koefizientea silize kristalinoan barrena
2.51
2. Atala
Pot oxigeno presio partziala
Dá 02-ren difusio koefizientea (silize amorfo zein kristalinoan barrena berdina2
kontsideratzen da)
Ekuazio honen arabera Kp oc Pot bada mekanismo dominatzailea oxigeno
imolekularraren difusioa izango da eta Kp oc
(P02 )2 , berriz oxigeno ionikoaren
difusioa .
2.52
2.28 . Irudia.- Kp eta oxigeno presio partzialaren arteko erlazioa
2.28 irudian ikusten den bezala oxigeno molekularraren difusioak behe tenperatura eta
oxigeno presio partzial altuetan garrantzi gehiago duen bitartean tenperatura igotzen
bada edo/eta oxigeno presio partzialak jetxi, oxigeno ionikoaren difusioak eragin
handiagoa izango du oxidazio prozesuan .
Aktibazio Energia
2 .6 taulan autore ezberdinek neurtutako aktibazio energiak biltzen dira . Aktibazio
energia erabiltzen den materialaren (CVD, Sinter, Hot-pressed, kutsadura eta gehigarri
kantitateak . . .) naturaren, oxidazio baldintzen (tenperatura, denbora, atmosfera . . .) zein
geruza oxidatuaren mikroegituraren menpekoa da . Beraz, autore bakoitzak
proposatzen duen kontrol mekanismoa, neurtu duen E, -ren menpekoa izango da .
2.6. Taula- Bibliografian aurkitutako aktibazio-energia balore ezberdinak
Bilduma Bibliografikoa
Ref
Materiala
Ta (°C)
denbora
E,( kJ/mol) kontrola
1761
CNTD SiC
1200-1500
2h
142-293
Dif. 02 y O1771
CVD
1200-1500
100h
1561811
CVD
1550-1675
24h
345-387
Dif. 0184
Sinter
1200-1500
100 min
134-389
Dif. 02 y 01841
Hot-Pressed 1200-1500
100 min
155-498
idem1741
Hot-Pressed 1200-1400
14h
481
Dif. CO1781
CVD
1550-1650
24h
428
SiC/Si02
397
Dif. O1851
CVD
1200-1550
24h
250-308
Si-C
91-300
Dif. 02 y 0
Nabarmena da hala ere gehienek kontrol mekanismoa oxigenoaren difusioa ( ionikoa
edo molekularra) dela onartzen duten arren, batzuk, batez ere oxidazio prozesuaren
hasieran zinetika linealak eta SiC/Si02 gainazal azalerako erreakzio 1781 edo Si-C
loturen hausturaren "5 I kontrola somatzen dutela .
2.53
2. Atala
Geruza oxidatuaren mikroegitura
Orokorrean SiC-ren oxidazioaren produktua silizea (Si0 2) da, era amorfoan j73, 8`] ,
kristalinoan (kristobalita-a) in. 73, 81, 821 edo bietara batera azal daitekelarik . Hasieran
silize amorfo geruza bat sortzen da, denbora eta tenperaturarekin silize amorfoa
kristobalita-13-n kristaltzen da eta azken hau, hoztean, kristobalita-a-n eraldatu . Silize
amorfoaren kristaltzea oxidazio tenperatura eta denboraren menpekoa da . 1200 °C arte
silizea amorfoa mantentzen da I73, 841, tenperatura altuagotara hasieran amorfoa
mantendu ondoren kristobalita (3-n kristaltzen da. Kristaltze prozesua SiC/Si02
gainazal artean gertatzen dela dirudi I 841 eta kasu askotan morfologia esferulitikoa du I'_
851 (ik . 2.29 irudia)
2.29.Irudia.- Kristobalita era esferulitikoan
Ur bapore 1731 edo kutsadura edo gehigarri eran erantsitako espezie metalikoen 1741
presentziak kristaltze pozesuan eragina izan dezakete . Lehenengo kasuan, ur baporeak,
kristaltzea azkartzen duen bitartean, espezie metalikoek kristaltze tenperatura
beheragotzen dute . Honela Singhal-ek '741 trinkotze ardazbakarra beroan bidez A1 203-
rekin sinterizatutako SiC-ren 1093 'C-tako oxidazioaren ondoren kristobalita aurkitzen
du .
2.54
Bilduma Bibliografikoa
Goi tenperaturatan egonkorra den kristobalita- P, kristobalita-a-n eraldatzen da. Bi
polimorfoen bolumen molarra ezberdina izatean, eraldaketa honek bolumen aldaketa
dakar eta beraz geruza oxidatuan pitzadurak eragin ditzake 1821
Hot-press bitartez sinterizatutako SiC oxidazio geruzan kristobalitaz gain mullita
kristalak aurkitzen dira 1'° 76, e°1 Mullita kristal hauek A120 3 eta kristobalitaren arteko
erreakzioz sortzen dira eta beraz silizearen natura babeslea murrizten dute 1761.
Kasu batzutan geruza oxidatuan SiC/Si02 gainazal azalatik kanporuntz hedatzen diren
gasen ondorioz burbuilak ~n8s • 861 eta poroak 1741 azaltzen dira. Burbuilak karbono
inklusio edo prezipitatuaren oxidazioagatik sortzen dira . Honen ondorioz CO gai
hagazkorra sortzen da, gainazalean sortzen den CO presioak kanpoko gasak sortzen
duen presioa gainditzen badu, orduan burbuilak sortzeko baldintza egokiak daude 1861 .
Burbuila hauen tamaina oxidazio tenperatura eta denbora igotzen diren eran handitzen
dira 1n!
2 .55
TEKNIKA
EXPERIMENTALAK
3 . PROZEDURA EXPERIMENTALA
3.1 . ERABILITAKO MATERIALAK
Lan honetan erabili diren SiC hautsak bi iturri ezberdinetatik lortu dira . Alde batetik
hauts komertzialak Superior Graphite, Herman C. Stark, Central Glass eta Mitsui-
Toatsu, eta bestetik gehienbat esperimentalak diren LONZA eta CEREX-ek
ekoiztutako hautsak: Hauts hauek eta beraien ezaugarri aipagarrienak 3 .1 taulan
agertzen Cerex-en hautsak ezik beste hauts guztiak silizearen erredukzio karbotermiko
prozesua edo Acheson prozesua erabiliz ekoizten dira . Cerex hautsak ordea gatzak
erabiliz eta erreakzioa bapore fasean eraginez .
Karbono replikak erabiliz hauts hauetako batzuren mikroegitura (C45, 64H, 1L eta
HCS059).TEM bitartez aztertu da .
Prozedura experimentala
3 .1
3 . Atala
Ekoizlea
Izena
Gainazal
Partikula
Fase
Ezpuru asunaazalera
tamaina
kristalinoakSuperior
HCS059
1
15 .5
~ d9o=1 .3µm i (3 100% 1 0 .94%0Gaphite
i
i
i d5o=0 .6µm i
i
1,62%CI
i
i d 1o=0.25 m i
i 190ppm Alrrrrr, HCS059 (s)* ,
16.5
, d9o=1 .3gm 1 R 100% 1
0.89%Od5o=0.6µm i
i
1.17%Cd1o=0.251-tm i
i 300ppm Al
CENTRAL
FOB-G*
13 .3
13100%GLASS
0.3%C228ppm Al
MITSUI- MSC-20c* 21 .2 (3 100% 0.19% Si02TOATSU
50ppm AlCEREX i
C37
i 3.97%O6.4% Ca0
r r r r r
1
C43
1
rrrrrI
C45
I
I
1
1
rC41 rC50
LONZA
i
1L
i
15
i
i trazas a i
1.5%0i 100ppm Al _
~ --- 12---rr-5-10% a i 1 .5%0
i 100ppm Al ri---12r
a r 1 .5%O
'
'
'
100 m Al - ' : '
? ---,
QD1
,
,
,
10% a
i rrrr
,
QD2**
,
,
1
10% a rrrrr
I
QD3
1
1
1
10° a
i
_ rir---.8 ---r
_
_/o100% a i- 1 .5%0 --
i Carbogran**
1 .0'l% C_
' _
_ 0.02%Al-------- ------- ------- ------- --------
-¡- UFB 10
1
10
1-
1 .7
1 100%c1 ,
1%0i Carbogran** i
0.2% Al**
I
I
I
5---}----15
a1
I
I
I
I
Premix***
3 .2
Tabla 3.1 .- Erabili diren SiC hautsen ezaugarriak
* ornitzaileak gehitutako 0.5% B4C duten hautsak** ornitzaileak gahitutako %0,65 B4C duten hautsak*** ornitzaileak gehitutako %0,65 B4C eta %3 C duten hautsak
**** ornitzaileak gehitutako %0.65 B 4C eta %2,5 C duten hautsak
Prozedura experimentala
Egoera solidozko sinterizazioa burutu ahal izateko, inolako gehigarririk gabeko hautsei
%0,5 B4C eta Novolaca erretxina eran %4 karbono erantsi zaie . Bestalde beste hauts
guztiei, UF15 premix ezik, beraien trinkogarritasuna hobetzeko %8 PEG400 erantsi
zaie .
Fase likidoan sinterizatzeko berriz Y203, A1203, Si02 , MgO eta C kantitate ezberdinak
erabili dira. Nahasketa hauek eta beraien dentsitate teorikoak 3 .2 taulan biltzen dira .
3.2 . HAUTSEN PROZESAMENDUA
3.2.1 . NAHASKETA-EHOKETA
Hauts nahasteak medio likidoan egin ziren 8 orduz polietilen hontziak eta SiC edo
A1203 (kasuaren arabera) bolak erabiliz . Era honetara hauts nahasteak nahastu eta
ehotzen dira. Likido zein bola kopuruarekiko hauts kantitateak beste lan zein lekuetan
zehaztu dira (IÑIGO & TNT) (200m1 isopropl alkola, 50 gr hautsa, 250 gr. medio
molienda) .
Hautsak nahastu-ehotu ondoren nahasketa leortu behar da 80-100 °C-ko tenperaturan
eta ondoren 250 µm-ko sarea duen bahe batetik pasa arazi, era honetara nahastea
homogenizatuz eta aglomeratuak txikituz .
Egoera solidozko sinterizazioan erabili diren nahasteen dentsitateak 3 .16 eta 3 .18
gr/cm 3 artean daude . Fase likidoan sinterizatzeko erabili direnak eta beraien dentsitate
teorikoak ordea 3 .2 . taulan ikus daitezke .
3 .3
3 . Atala
3 .4
3.2 . Taula.- Fase likidoan sinterizatu diren laginen konposaketa kimikoak eta dentsitateak-
Hautsa
Izena
Y203
A1203
Si02
DT
Q46
4
6
3.294
QC46
4
6
4
3.209
Q23
2
3
3.251
QC23
2
3
4
3.17
QD 1
Q64
6
4
3.305
QC64
6
4
4
3.219
Q32 3 2 3.257
QC32 3 2 4 3 .175
Q605 6 4 3.204
Q625 .
6
2
5
3.216
S46
4
6
3.294
SC46
4
6
4
3.209
HSC059 S64 6 4 3 .305
SC64 6 4 4 3 .219
S625
6
2
5
3.216
SGBC605
6
5
4
3.13
HSC059(s) SGB605 6 5 3.204
SB64 6 4 3.305
SBC64
6
4
4
3 .219
UFB-10
U46
4
6
3.294
UC46
4
6
4
3.209
UFC15
UC605
6
5
3
3 .13
Bestalde N2-an erreakzioz sinterizatzeko SiC (SG) eta Si02 eta A1203 kantitate
ezberdinak nahastu ziren . 3 .3 . taulan nahaste hauen konposaketa kimikoa eta bere
dentsitate teorikoak agertzen dira .
3.3. Taula.- N2 atmosferan sinterizatu diren nahasketen konposaketa kimikoak
eta dentsitate teorikoak
3.2.2. TRINKOKETA
3.2.2.1 . Zuzenbide bakarreko trinkoketa
30 Ton-eko kapazitatea duen Tinius-Olsen makina unibertsalean burutu ziren trinkotze
lanak. Sinterizazio saiakuntzetan erabili ziren lagin zilindrikoak, 2,5 gr hauts,
altzairuzko 16 mm-ko diametroa duen matriz batean trinkotuz lortu ziren. Matrizaren
eta puntxoien arteko marruskadurari ekiditeko Zink-estearatoa erabili zen labangarri
modura .
Erabilitako trinkotze presioak, nahastearen arabera 100 eta 200 MPa artekoak izan
dira, lortutako laginen trinko-dentsitateak dentsitate teorikoaren %55 eta %62-aren
artekoak izanik .
Si02
A1203
DT
0 3 .21
5 3 .14
10 3 .07
20 2 .94
30 2 .82
0 5 3.24
10
5
3.09
Prozedura experimentala
3 .5
3 . Avala
3.2.2.2 . Trinkoketa isostatikoa hotzean
Metodo hau, N2 atmosferan sinterizatzeko erabili diren laginak trinkotzeko bakarrik
erabili da . 400 MPa-eko kapazitatea duen ASEA IP4-22-60-230 prentsa batean burutu
dira saiakuntzak . Presioa 64 zati ur eta hydrolubric zati bateko nahaste hidraulikoan
zehar garraiatu delarik . Hautsa uretanozko boltsa zilindriko flexibletan sartu eta 100
MPa-eko presioa aplikatu da .
3.3 . TRINKOEN DENTSIFIKAZIOA GOI TENPERATURATAN
Trinkoen dentsifikazioa hiru bide ezberdin erabiliz burutu da
3.3.1 . PRESIORIK GABEKO SINTERIZAZIOA
Trinkoen sinterizazioa argoneko presio atmosferikopean, 2500 °C-tara iritsen den eta
grafitozko berotzaileak dituen goi tenperaturako JONES Brothers labean burutu
zen.(3 .1 irudia)
3 .6
3.1 Irudia.-. Presiorik gabeko sintcrizazioan erabili den Jones labea
Egoera solidozko sinterizaziorako erabilitako trinkoak grafitozko gainazal baten
gainean zuzenean sartzen dira labean .
Fase likido baten presentzian, hau da, Y203, Si02 eta A1203 gehigarri bezala erabiliz,
sinterizatu beharrekoak berriz, ermetikoki ertsitko arrago batean edo gehigarri hauek
dituen hauts-ohe baten barruan
3 .2 irudian egoera solidozko eta fase likidozko sinterizazio zikloen eskemak ikus
daitezke .
2000
0
-150
45
90
135
180
225DENBORA (min)
5
2000
0 1600Û
Á
1200 2
95 Ó
js
800
já w
HUTSA ~_10
.~: /400
3.2 Irudia.- a) Egoera solidozko eta b) fase likidoan egindako sinterizazio zikloen eskema
Eskema honi jarraituz erabili diren sinter tenperaturak 50 °C-ka 1700 eta 2050 °C
tenperatura tartean daude . Egoera solidozko sinter-zikloetan 60 minututako mantenua
egin den bitartean fase likidoan egindako sinterizazio zikloetan 15, 30 eta 60
minututako mantenuak egin dira .
3.3.2. TRINKOKETA ISOSTATIKOA BEROAN (HIP)
Trinkoketa isostatikoa beroan egiteko, 3 .3 irudian ikusten den ABB QIH-6 prentsa
isostatikoa erabili da. Prentsa honek 2200°C eta 207 MPa tenperatura eta presio
mugak ditu. Presioaren garraio medioa argona izan da . Presurizazioa bi zatitan
Prozedura experimentala
Ar
5
0
-10- TENP (L)-
PRESIOA (R)0 50
45
80
135
186,DDENBORA (mm)
-5 Ówá
3 .7
3 . Atala
burutzen da, konpresore elektrohidrauliko batekin. Gas bat erabiliz trinkoen trinkoketa
egin ahal izateko trinkoak enkapsulatzea beharrezkoa da . Enkapsulazioa, osoki CEIT-
en garatutako teknika da (47) . Teknika honen arabera trinkoak BN geruza batetaz estali
behar dira eta ondoren hautsezko beiraz inguratuta BN-zko arragoetan JONES labean
sartu . Helburua, beira trinkoak inguratuz hutsunean berotuz sinterizatzea da . Kapsulak
lortzen direnean, hautsaz inguratuta, grafitozko krisoletan sartzen dira, eta 3 .4 irudiko
eskema erabiliz trinkotzen dira .
3 .8
400
3.3 India.- Trinkoketa isostatikoa heroan burutzeko ASEA prentsa
2000,
-
150
1600
U< 1200'¡
C-
4 50 QO
á 800
ww
HUTSA
2. . . . . . . . . . . . . .
90
180DENBORA (min)
1100
- TENPERAT (L)PRESIOA (R)
01i~-50
3.4 Irudia.- HIP bitartez lortu diren laginek jasandako sinter-zikloak
Prozedura experimentala
Teknika hau erabiliz Y 20;+SiO2 eta Y20_+A120, konposaketak sinterizatu dira .
Erabili diren tenperaturak 1750-1950°C artekoak izan dira, 100 MPa argon presio eta
60 minututako mantenuak .
3.3.3 . ERREAKZIO BIDEZ SINTERIZAZIOA
Nitrogenozko atmosferan erreakzio bidez sinterizazioa lehen 3 .3 .2 atalean aipatutako
ABB QIH-6 prentsa isostátikoan burutu da . 1400-1850 °C arteko tenperaturak, 0,5 eta
200 MPa arteko pesioak, 0-90 minutu arteko mantenu denborak eta purutasun handiko
nitrogeno atmosfera erabili dira .
3.4 . DENTSITATEEN NEURKETA
Laginen dentsitateak neurtzeko bi metodo erabili dira. Bi metodo hauen arteko
ezberdintasun bakarra laginaren bolumena neurtzeko eran datza .
Lehenengo metodoan laginaren bolumena geometrikoki neurtzen da, hau da, laginaren
diametroaren eta alturaren batazbesteko neurriak hartzen dira. Metodo hau geometria
erregularra duten laginetan aplika daiteke . Hau da, beraien formaren distortsiorik
jasaten ez duten laginetan . Orokorrean egoera solidoan sinterizatutako laginek ez dute
distortsio handirik jasaten sinterizazioaren ondorio bezala .
Bigarren metodoan Arkimedes-en teorema aplikatuz laginen bolumena neurtzen da .
Metodo hau forma erraz zein irregularrak eta konplikatuak dituzten laginetan aplika
daiteke. Laginak airean pisatu behar dira eta ondoren Hg barruan murgilduta .
3 . 9
3 . Atala
Bi metodo hauekin neurtutako dentsitateak %1-2 ezberdintasuna dute. Bigarren
metodoaz lortutako dentsitateak baxuagoak izanik .
3.5 . MIKROEGITURAREN AZTERKETA
Mikroegituraren azterketa transmisiozko mikroskopio elektronikoa (TEM), arakatzeko
mikroskopio elektronikoa (SEM) eta mikroskopio optikoa erabiliz egin da. Bi
lehenengoek gainera X izpien energien dispertsioaren analisia egiteko tresneria
(EDAX) dutelarik .
3.5 .1 . TRANSMISIOZKO MIKROSKOPIA ELEKTRONIKOA (TEM)
Philips CH-12 transmisio-arakatze mikroskopio elektronikoa erabiliz egin da. Gainera
lehen esan bezala X izpien energiearen dispertsioaren bitartez analisi kimikoak egin
ahal izan dira. Erabili den filamentoa LaB6-zkoa izan da eta azelerazio potentziala 100
kV-ekoa .
Transmisiozko mikroskopia elektronikoa egin eta mikroegituraren irudiak eskuratzeko,
elektroientzat gardenak diren zonaldeak lortu behar dira. Honetarako 3 mm-ko
diametroa eta 20 µm-ko lodiera duten laginei, GATAN makina batetan, bonbardaketa
ionikoz, gardentasun elektronikoa eragin behar zaie . GATAN makinak 5kV-etan
azeleratutako argon ioiekin lan egiten du .
3.5.2 . ARAKATZEKO MIKROSKOPIA ELEKTRONIKOA (SEM)
EDAX aztertzailea duen PHILIPS XL30 arakatzeko mikroskopioan burutu da lana .
LaB6 filamento batean elektroiak sortzen dira, 10 eta 30 kV arteko azelerazio
potentzial baten ondorioz . Laginen mikroegitura aztertzeko, hauen gainazalak leundu
3 . 1 0
eta Murakami soluzioaz (15 gr KOH, 15 gr K3Fe(CN)6, 60 ml H2O) 2-10 minutuz
atakatu behar dira .
3.5.3 . MIKROSKOPIA OPTIKOA
Leitz banku metalografikoan burutu da,- lehen argitutako atakea jasan duten laginak
erabiliz. Ale-tamainaren arabera 16X edo oliozko 160X objetiboak erabili direlarik .
3.5.4 . QUANTIMET
Egoera solidoan zein fase likido baten presentzian lortu diren laginen ale tamainak eta
forma-erlazioak neurtu ahal izateko, mikroskopio optikoan lortutako argazkien
kalkoak egin dira 3 .6 irudietan ikusten den bezala . Ondoren kalko hauek Quantimet
570 (ik . 3 .5 irudiko argazkia) irudi aztertzailean aztertu dira .
3.5 Irudia .- Quantimet570 irudi aztertzailea
Metodo honekin aleen diametro baliokedea eta forma-erlazioa neurtu dira .
Prozedura experimentala
3 . 1 1
3. .4 tala
3 . 1 2
3.6 Irudia.- Ale tamainak neurtzeko erabili diren argazkien kalkoak
3.6 . FASE AZTERKETA
Prozedura experŕmentala
Laginetan sortzen diren fase-kristalinoen identifikazio lana, mikroVax 3100
mikroordenagailuz kontrolatutako Philips difraktometroa erabiliz egin da. Fase
kristalino hauek SiC-ren politipoak zein alearteko faseak izan daitezke .
Mikroordenagailuak biltzen dituen datuak APD programak prozesatzen ditu . Erabili
den erradizazioa kuprearen Ka (?,=1 .542 A)-ri dagokiona izan da eta elektroiak
azeleratzeko erabili den potentziala 40 kV-ekoa. Elektroiak wolframiozko filamentu
batean sortzen dira bertatik 40 mA-eko korronte bat pasa araziz .
Maeder-en"BI metodoa erabiliz, nitrogenoarekin erreakzioz sinterizatutako laginetan
azaltzen diren kristal faseen (SiC, Si3N 4 , eta Si 2N2O) analisi kuantitatiboa egin da .
Honetarako kuprearen Ka, erradiazioarekin 20 eta 45° artean lortu diren difrakzio
lerroak hartu dira kontuan. Difrakzio lerro hauek ondorengo kristal planoei dagokie :
SiC-(3 : (111) (200)
Si3N4-a : (101) (110) (200) (201) (002) (102) (210) (211) (112)
Si 3N4-J3 : (110) (200) (101) (210) (111)
Si 2N2O : (110)(200)(11.1)(020)(3 10)(002)(021)(3 11)
Metodo hau fase konkretu batek difraktatutako erradizaioaren intentsitatea eta
nahasketan dagoen fase horren kontzentrazioaren arteko erlazioan oinarritzen da .
3.7 . OXIDAZIOARI ERRESISTENTZIA
Bi lagin moten oxidazioarekiko erresistentzia aztertu da . Alde batetik egoera solidoan
sinterizatutako laginak eta bestetik fase likido baten presentzian sinterizatutakoak .
Lehenengoak, sinterizazio atalean argitu den bezala, 1950°C-tan presiorik gabe
sinterizatu dira eta bi hauts erabili dira : SG eta UFB-10. Fase likido baten presentzian
3 . 13
3 . Atala
sinterizatutakoak %4Y203 + %6A1203 konposaketako laginak presiorik gabe 1850°C-
tan sinterizatu dira eta %6Y203+%5SiO2 konposaketako laginak tenperatura berdinean
baina trinkotze isostatikoa beroan metodoa erabiliz .
Oxidazio saiakuntzak aire-geldo atmosferan burutu dira 80 orduz . Oxidazio
tenperatura 1300-1600°C artekoa izan da eta laginak denbora zehatzean atera eta
sartzen dira labetik. Tarte bakoitzean, zehaztasun handiko (10-4 gr) balantza bat
erabiliz, laginen masa irabaztea neurtu da .
Oxidazio produktuak lehen aipatu den arakatzeko mikroskopia elektronikoa (SEM) eta
X izpien difrakzioa (XRD) erabiliz identifikatu eta aztertu dira .
3 . 1 4
EMAITZAK
4. EMAITZAK
3) atalean deskribatzen den bezala, hasierako hautsen analisia bi teknika ezberdin
erabiliz burutu da : X izpien difrakzioa (XRD) eta transmisiozko mikroskopio
elektronikoa (TEM) . Erabilitako hautsak bi taldetan sailka daitezke bere morfologiari
dagokienez eta lau taldetan kristal-egiturari dagokionez .
a)
4.1 . HAUTS ANALISIA
0,1 µm
b)
Emait_ak
4.1 Irudia.-TEM bitartez lortutako Cerex hautsaren mikrografiak
Hautsen morfologia ezberdinak ekoizpen prozesu ezberdinen ondorio dira . Honela,
Cerex-ek ekoiztutako hautsak kimikoki loturik dauden nano-kristal ezberdinez
0,15 p.m
4.1
4. Atala
osaturiko partikulak dituzte . Hauts hauek aglomerazio handia dute . Bai Cerex-ek, zein
EDAX-bidez CEIT-en burututako analisien arabera, hauts hauek Ca kantitate
nabarmenak dituzte (4 .2 irudia) . Kaltzioa, CaF2 eran (4.3 irudia), partikula handien
itxura (C37 hautsa) edo-ta SiC aglomeratuetan homogenoki sakabanaturiko partikula
finen itxura (C45 hautsa) har dezake .
4 .2
1 .62 •
1 .20 •
0 .90 •
0 .72
0 .50
0 .32
0 .18 -
0 .00
0 .02
>ŕ
aK;
r 11;
¡ -fi
a
- fi
i .JEJ
C.tJJ
15 .o;~;
4. 0,0 ,J,YJYJ53CNT
3 . Z1KEV . i0e4.'ch A E D A X
4.2 Irudia.-C37 hautsaren EDAX analisia
x10 3Sample : POLVO CER37 File : SYSSCERAMICO :(EEARNIIPOLC37_RD
2.003C
3C
CaF2
20 0
25 0
30 O
35 0
40.0
45.0
50.0
55.0
60 .0
4.3 Irudia .- C37 hautsaren X izpien difraktograma
Bestalde, bai Lonzak ekoiztutako hautsak, zein komertzialak direnek, partikula
tamaina handiagoa dute, baino ez daude aglomeratuak . Partikula hauek orokorrrean
a)
0,15 µm
0,1 µm
b)
4.4 Irudia.- TEM mikrografiak a)Hauts komertziala (SG), b) Lonza hautsa (2L)
4.5 Irudia.- 2L hauts partikula baten a) kanpo argia eta b) kanpo iluna
Emaitzak
monokristalak izan arren, badira ere ale-mugez berezitako kristalez osaturik daudenak .
(4.5 irudia). Gainera hauts hauek oso huts eta aktiboak dira .
0,35 µm
0,08 tm
4 .3
a. Atala
Kristal-egiturari dagokionez, lau talde ezberdinetan sailka daitezke .
•
A Taldea: (3 hutsak diren hautsak, hau da kristal-egitura kubikoa (3C) bakarrik
duten hautsak (SG y CG)
• B taldea: Kristal-egitura hexagonala duten hautsak, hau da SiC-(x hutsa . Kasu
honetan 6H politipoa da gehiengoa, 4H politipoaren haziak dituelarik . (UF15,
UFB10)
•
C Taldea : Talde hau osatzen duten hautsak oinarri kubikoa dute SiC-13, baina %5-
aren inguru 6H politipoaren haziak (SiC-oc) dituzte (R1L, 2L y R3L)
•
D Taldea: C taldeko hautsen kristal-egitura berdina dute baina 6H (SiC-oc) hazi
kantitate gehiago (%10) (QD1, QD2, QD3)
4.2. EGOERA SOLIDOZKO SINTERIZAZIO
Sinterizazioa da SiC-z egindako osagaiak ekoizteko azken urratsa . Hautsez egindako
trinkoak sinterizatu aurretik, ekoizpen prozesua optimizatuko duten hainbat faktore
finkatu behar da . Hauen artean, nahasketa, gehigarriak, baheketa, trinkoketa eta
aglutinatzaile organikoaren ezabaketa aurkitzen dira . Atal honetan ekoizpen bide
egokiena nola finkatu den azalduko da .
4.2.1 . NAHASKETA
Egoera solidoan SiC-a sinteriza ahal izateko B eta C kantitate txikiak erantsi behar
zaizkio, bilduma bibliografikoan ikusi den bezala. Gehigarri hauek SiC- hautsari, hauts
edo erretxina likido (erretxina fenolikoak karbonoaren kasuan) eran erantsi behar
zaizkio . Nahasketa, lehorrean edo likidoan, nahastearen homogenizazio eta
4 .4
aglomeratuak hausteko bide egokia da . Prozedura experimentalaren atalean ikusi den
bezala nahasketa bolazko errota batean burutu da .
Lan honetan zehar, nahasketaren garrantzia ikusi ahal izan da . 4.6 irudian, 4 bide
ezberdin erabiliz prestatu diren, lau hauts komertzialekin egin diren trinkoak sinterizatu
ondoren lortu diren azken-dentsitateak azaltzen dira . Hauts hauek SiC-f3 dira denak eta
antzeko ezaugarriak dituzte . Gainera ekoizleek erantsitako % 0,5 B4C dute. Hauts
guztiak 2000°C-tan sinterizatuak izan dira (4 . bidean ezik, non 2025°C-tan
sinterizatuak izan diren)
• Igo bidea: Erretxina fenolikoak erabili dira eta beraz nahasketa medio likido
batean burutu da. Karbono edukina %2 ingurukoa da . Trinkoketa isostatikoa izan
da .
•
2. bidea : Nahasketa Igo bidean bezala . Trinkoketa ardazbakarrekoa, 100MPa .
•
3 . bidea: Nahasketa lehorrean eta %2 karbonoa ke beltzaren eran erantsita .
Trinkoketa ardazbakarrekoa, 100 MPa.
•
4. bidea: 2. bidea bezalakoa, trinkoketa 300MPa-etan burutua
loo
98
w 96
94E-z
Q 92
∎
∎
∎i
•
MT•
∎ CG•
HSA SG
900
1
2
3
4
5
BIDEA
4.6 Irudia.-Bide ezberdinak erabiliz lortutako dentsitateak, MT= MitsuiToatsu, CG= Central Glass, HS= Hermann Starck eta SG- Superior
Graphite hautsak
Emaitzak
4.5
4. Atala
Nahasketa eta trinkoketaren garrantzia ikus daiteke bertan . Alde batetik karbonoaren
banaketa ahalik eta homogenoena izan behar du eta hau erretxina likido eran erantsiz
lortzen da. Erantsitako karbono kantitatean %2-4 artean daude, azken-dentsitatean
lortzen diren ezberdintasunak txikiak izanik . Erretxina fenolikoak (kasu honetan IQU-
ren Novolaca) eta trinkoketarako lagungarria de PEG-a erantsi al izateko alkool
isopropilikoan disolbatu behar dira, eta esan den bezala nahasketa medio likidoan
burutu. Bestalde trinkoketa isostatikoki edo-ta ahal den presiorik altuena erabiltzea,
mesedegarri izan daiteke azken-dentsitate altuak lortzeko orduan .
4.2.2 . AGLUTINATZAILEAREN EZABAKETA
Laginak sinterizatu aurretik, karbonoa eransteko eta trinkoketan lagungarri izan den
aglutinatzaile organikoa ezabatu behar da . Aglutinatzailearen ezabaketan lortzen den
masa galera, tenperaturaren, baheketaren eta erabiltzen den atmosferaren menpeko da .
4.6
10
~. 8
¢ 2
DD
<ao
o
O SGAD SGB
400
500
600
700
800TENPERATURA (°C)
4.7 Irudia .- Masa galera, aglutinatzile ezabaketa prozesuan
4 .7 irudian, aglutinatzaile organikoaren ezabaketarako erabiltzen den tenperatura
igotzen den heinean masa galera ere handiagotzen dela ikus daiteke . Bestalde zenbat
eta bahe sare handiagoa errezagoa da aglutinatzaile organikoa ezabatzea . B hauts
motak (250µm-tako sarea) A hauts motak (100µm-tako sarea) baino tenperatura
baxuagoa behar du aglutinatzailea guztiz ezabatzeko .
4. 1 . Taula -Masa galera aglutinatzaileorbanikoaren ezabaketa .150°C-tan
SG
A
B
Aire
9.03
10.75
N2/Ar
7.49 8.91
4.2 Taula.- Azken-dentsitateak,2000°C-tan sinterizatu ondoren
SG
Af
B
Aire
77.6 , 81 .2
N2/Ar 98 .4 i 98.4
Bestalde, aipatu den bezala, prozesuan zehar masa galera ere ezberdina da erabiltzen
den atmosferaren arabera. Honela 4.1 taulan airean burututako N2 edo Ar atmosfera
geldoetan burututako prozesuetan baino prozesuetan %2 masa gehiago galtzen dela
ikus daiteke . Era berean, lagin hauek lortutako azken-dentsitateak dentsitate
teorikoaren %80-ra iristen dira soilik .
4.8 irudiko mikrografian, aglutinatzaile organikoa airean ezabatu zaion lagin batek,
2000°C-tan sinterizatu ondoren, duen ale-handiz eta oso porotsua den mikroegitura
ikus daiteke .
4.8 Irudia.-Airean aglutinatzaile organikoa ezabatu ondoren SG laginaren
mikroegitura 2000°C tan sinterizatua
Emaitzak
4.7
4 . Atala
Presiorik gabeko sinterizazio bidez lortutako emaitzak hiru parametro ezberdinen
funtziopean aztertuko dira. Alde batetik masa galera (-%Awt), bestalde altura eta
diametroaren murriztapen lineala eta azkenik eta bi hauen ondorio bezala laginen azken
dentsitatea Dentsitate Teorikoaren (DT) % bestean adierazia .
Lehendabizi Cerex-en hautsekin lortu diren emaitzak ikusiko dira . 4.3 taulan agertzen
den bezala Cerex-ek ekoiztutako hautsek ez dute inolako dentsifikaziorik jasaten, izan
ere deskonposaketa edo desinterizazioa sufritzen dute .
4.3. Taula - Cerex hautsekin !ortukako dentsitate maximoak
Bestalde Lonza eta hauts komertzialak, lehen ikusi den bezala, 4 taldetan sailkatu dira,
kristal-egituraren arabera : A, B, C eta D
4 .9-4.12 irudietan hautsa hauen dentsitateek tenperaturarekiko jasaten dituzten
aldaketak ikus daitezke .
4.8
4.2.3 . DENTSIFIZAZIOA
Hautsa Konposaketa Dentsitate maximoa (DT%)
C37
%1 B4C
45.93
C 16 49 .49
C13
49.89
C50 %2 C 50
C41 50
C43 50
C45
50
100
94
D
D
D •
G 0
w 88HQH 82Hz
Q 76•
SGD CG
71600
1700
1800
1900
2000
2100TENPERATURA (°C)
4.9 Irudia.- A taldeko hautsen dentsitate/tenperatura kurba
4 .9 irudian, R hautsen tenperaturarekiko dentsitate-aldaketa kurban, bi tarte bereiz
daitezke. Alde batetik 1650-1850°C tartea eta bestetik 1850-2050°C tartea .
Lehenengo tenperatura tartean dentsitatea, sinterizazio tenperaturarekin linealki
handitzen dela esan daiteke . 1850-2050°C tartean ordea, dentsitatea konstante
mantentzen da sinterizazio tenperatura igotzen den arren . Lehenengo maldan hala ere
ezberdintasunak dituzte bi hautsa hauek. CG hautsaren malda txikiagoa da SG
hautsarena baino .
4.10 irudian, a hautsekin (UFB-10, UF15) egindako laginen dentsitateak sinterizazio
tenperaturarekiko duen portaera adierazten da. Kasu honetan, UFB-10 hautsak
dentsitatea sinter-tenperatura baxuagotan lortzen duela esan daiteke . Tenperatura
altuetan (1850-2050°C) bi hauts hauen dentsitatea konstante mantentzen da . Hala ere
UF 15 hautsaren dentsitatea zerbait baxuagoa izan daiteke .
E,naüzak
4 .9
4 . Atala
4.10
100
90 o¢W•
80 eH
H
•
70•
O UF15•
∎ UFB10
61600
1700
1800
1900
2000
2100TENPERATURA (°C)
4.10 Irudia .- B taldeko hautsen dentsitate/tenperatura kurba
4.11 irudian C taldeko hautsekin egindako laginen dentsitateen tenperaturarekiko
portaera ikus daiteke. Talde hau R1L, R3L eta 2L hautsek osatzen dute. R1L eta R3L
hautsek antzeko dentsitate aldaketa pairatzen dute sinter-tenperatura igotzen denean .
1650-1850° tenperatura tartean, bi zuzen ezberdinek osatzen dute . 1650-1750°C
tenperatura tarteko zuzenaren malda handiagoa da 1750-1850°C tarteko zuzenarena
baino . 1850-2050°C tartean, hauts hauekin egindako laginen dentsitatea konstante
mantentzen da . 2L Hautsekin lortutako laginek ordea, UF15 laginek (ik .4.10 irudia)
erakusten duten portaera berdina agertzen dute, hau da, tenperatura altuagotan lortzen
du dentsitatea (1950 °C) .
100C o
o fi0
0
o
0
∎•
o e e ao
0Q 0 8
o0
O R1LO R3L
O
O R2L
61600
1700
1800
1900
2000
2100TENPERATURA (°C)
4.11 Irudia .- C taldeko hautsen dentsitate/tenperatura kurba
Azkenik D taldean, QD1, QD2 eta QD3 hautsak bildu dira . Hauts hauekin lortutako
laginen dentsitatearen portaera 4.12 irudian ikus daiteke . Orokorrean hiru hautsa hauek
orain arte ikusitako beste hauts guztiek baino tenperatura altuagoa behar dute
dentsifikatzeko . QD1 hautsak adibidez 2000°C inguru behar du erabateko dentsitatea
lor ahal izateko . QD2 eta QD3 hautsekin lortutako laginek 1900°C-tan lortzen dute
erabateko dentsitatea eta konstantea mantentzen da sinterizazio tenperatura
altuagoetan ere. QD2 hautsen dentsifikazio kurbak 1650-1750° tartean eta 1750-
1900°C tartean malda ezberdinetako zuzenak ditu. QD3 hautsak ordea 1650-1850°C
eta 1850-1900°C artean .
90
loo
Hw 70Q
S
D
8
e
oo
O QD1D QD2O QD3O
5 600
1700
1800
1900
2000
2100TENPERATURA ('C)
4.12 Irudia.- D taldeko hautsen dentsitate/tenperatura kurba
Masa galerari dagokionez ezberdintasun txikiak daude hauts batzuren eta besteen
artean. Laburbilduz gutxi gora-behera %2ko masa galera jasaten dute sinterizazio
prozesuan, sinterizazio tenperatura ezberdinetan aldaketa txikiak egonik .
Diametro eta altueraren murriztapen linealari buruz, aipatu beharreko garrantzitsuena,
orokorrean Lonzak egindako hautsekin lortutako laginek, hauts komertzialekin
lortutakoak baino murriztapen lineal handiagoa pairatzen dutela da, bai diametroan eta
bai altueran, ezberdintasuna %2 koa izanik tenperatura guztietan . 4 .13 a eta b
irudietan, adibide modura, SG eta 2L hautsekin lortutako laginek pairatzen duten
Emaitzak
4 .11
4. Atala
diametro eta altuera aldaketak ikus daitezke . Bietan argi gelditzen da
dentsitate/tenperatura kurben forma berdina dutela AD/Do eta AH/Ho / tenperatura
kurbek. Bi kasuetan ere altueran pairatzen duten murriztapen lineala handiagoa da
diametroan pairatzen dutena baino, hau da bolumen aldaketa ez da homogeneoa
zuzenbide guztietan .
ô 20
4 .12
u
° °
1SN
°
•
L 10
zo
12(~
• R2
•
• R2° 2L ° 2L5
8Q 1700
1800
1900
2000
2100
1700
1800
1900
2000
2100TENPERATURA (°C)
TENPERATURA ( °C)
a)
b)
z 20z16
°u
4.13 Irudia.- a) Diametro eta b) altuera murriztapen kurbak RSGeta 2L hau4tsetan
4.2.4. MIKROEGITURA
Egoera solidoan sinterizatutako laginen mikroegiturak bi teknika erabiliz aztertu dira .
Alde batetik X izpiak eta bestetik mikroskopio optikoa. Ale tamaina eta bere banaketa
neurtzeko, Quantimet irudi-aztertzaileaerabili da . Argazkien kalkoen bitartez aleen
diametro baliokidea eta forma-erlazioak neurtu dira, prozedura experimantalaren atalan
azaltzen den bezala .
4.2.4.1 .X izpiak
X izpien bidez lortutako emaitza aipagarrienak 4 .4 taulan ikus daitezke .
11 °°°
kristal°C
Erabilitako hautsakegitura
SG
UFB-10
UF15
R1L
2L
QD2
3C
100/100
/
/
87/100
87/100
67/100
1650
6H
1 .09/35
10.96/14
9.93/14
4.70/35
4.95/35
11.31/35
4H
/
10.85/100 5 .58/100
2.8/100
3.07/100
3.01/100
3C
100/100
/
/
55/100
66/100
12.5/100
1750
6H
0.9/35
12.10/14
10.82/14
15.88/35
12.09/35
29.96/35
4H
/
13.85/100 5.04/100
5.96/100
5.22/100
3.02/100
3C
85/100
/
/
/
/
/
1850
6H
12.05/100 12 .15/14
12.51/14
12.64/14
13.15/14
12.89/14
4H 3 .93/100 20.72/100 4.72/100 8.83/100 7.71/100 /4.64/100
3C
/
/
/
/
/
/
1950
6H
3.78/14
12.29/14 22 .52/14
7.39/14?
14.42/14
12.69/14
4H
133/100 23 .55/100 9 .78/100
100/100?
33/100
5.48/100
3C
?
/
/
/
/
/
2050
6H
?
11.37/14
7.48/14
GUTXI
4.91/14
1 .4/14
4H
?
48.32/100 48.71/100 100/100
100/100
133/100
A Taldea
A taldeko SIC-0 hautsek, kristal egitura kubikoa mantentzen dute 1950°C-tan
sinterizatu arte . Tenperatura honetan 13->a eraldaketa oso nabarmena da eta
zailtasunaz esan daiteke (3 egitura kubikoko alerik gelditzen denik . Hauts hauek
tenperatura altuetan 3C->4H eraldaketa pairatzen dute . Zaila da kasu honetan
azterketa kuantitatibo bat egitea 4H eta 6H politipoak texturizatuak agertzen direlako .
2050°C-tan ere gauza berdina gertatzen dela esan daiteke . 4.14 a eta b
difraktogrametan, SG laginek, 1750°C-tan sinterizatu ondoren eta 2050°C-tan
sinterizatu ondoren, duen kristal egitura ikus daiteke
4.4. Taula- X izpi bitartez identifikatutako politipo ezberdinak, tenperaturaezberdinetan sinterizatutako laginetan
Emaitzak
4.13
4. Atala
4 .14
xlO 32.00
1 .62
1 .28
0.98
0.72
0 .50
0 .32
0 .18
0 .08
0 .02
ISample : YR212 1750c lh sup File : SYS6CERMIICO :[EHKARNI]VR212 .RD
6H
~`~fv^!~^~1Wr~~Y7~
20 .0
25 .0
30 .0
35.0
40 .0
45 .0
50.0
a)
x10 3Semple : R2 2050C SSC PULIDA File : SYS6CERAHICO :[FIi(ARHI]R24PU .SN
5 .00
4 .05
3 .20
2 .45
1 .80
1 .25
C
3C
4H6
4H6H4H
6H
3C
20 .0
25.0
30.0
35 0
40 0
45.0
50 .0b)
4.14 Irudia.- SG hautsaren X-izpi difraktogramak a) 17500 eta b) 2050°C-tan
sinterizatu ondoren
B Taldea
B Taldeko SiC-a hautsek portaera ezberdina agertzen dute . Alde batetik UFB-10
hautsak bere hasierako kristal egitura mantentzen du 1850°C-tan sinterizatua izan arte .
Hau da, 6H egitura gehienbat 4H haziekin batera . 1850°C tan aldiz 6H->4H eraldaketa
hasten da. Eraldaketa hau 2050°C-tara iritsi arte es da guztiz gauzatzen eta tenperatura
honetan (2050°C) bi politipo hauek, 6H eta 4H, texturizatuak agertzen direla esan
daiteke .
Emaitzak
UF15 hautsak ordea eraldaketa txikia pairatzen du 1650°C tan dagoeneko eta 1950°C
arte ez da egoera hau berriz aldatzen . Hau da, 1950°C-tan sinterizatu arte, UF15
hautsekin lortutako laginek bere hasierako kristal egitura gutxi aldatzen dute . 1950°C-
tan, 6H politipoa texturizatua agertzen da eta 2050°C-tan sinterizatu ondoren 6H- 4H
eraldaketa handia da eta texturak ere nabarmenak dira .
•
C Taldea
C taldeko hautsekin lortutako laginen portaera aztertzerakoan, lehen, sinterizazioaren
emaitzetan ikusi den bezala, bi azpimultzo egin behar dira . Alde batetik R1L eta R3L
hautsak eta bestetik 2L. Hiru hauts hauen egitura SiC-Í3, kristal egitura kubikoa da
gehienbat baina hirurek SiC-a (6H politipoa) kristal egitureko haziak dituzte %5
inguru. Tenperatura baxuetan sinterizatzen bada (1650- 1750°C), hiru hautsa hauekin
lortutako laginek portaera antzekoa dute . Hiru kasuetan 3C- ->6H eraldaketa hasten da,
4H politipoa gutxi agertuz . . 1750°C-tan R1L eta R3L hautsetan eraldaketa altuagoa da
2L hautsetan baino . 1850°C-tan, hiru kasuetan, 3C->6H eraldaketa oso nabarmena da
eta 3C->4H eraldaketa hasi da . Tenperatura altuetan ordea, 1950°C-tik gora,
ezberdintasunak nabarmenak dira . R1L eta R3L kasuetan 1950 eta 2050°C-tan
3C->4H eraldaketa eta texturizazioa handia den bitartean 2L hautsaren kasuan 2050°C
tara iritsi arte ez da eraldaketa hau guztiz gauzatzen eta nabarmentzen . 1950°C-tan 6H
politipoa laginen gehiengoa osatzen jarraitzen du, 3C-*4H eraldaketa kasu honetan
motelago azaltzen dela dirudi .
D Taldea
D Taldean bildu diren hautsei dagekionez QD2 hautsaren azterketa mikroegiturala
burutu da soilik. Hauts honen eta C taldeko hautsen arteko ezberdintasun
nabarmenena, dituzten SiC-a (6H politipoko) hazi kohutsan datza . Aurreko hautsek
%5 a-hazi inguru duten bitartean, D Taldeko hautsek %10 edo gehiago dute. Honela,
kasu honetan 3 C->6H eraldaketa tenperatura baxuagotan hasten da eta kualitatiboki
estimaturik 1650°C-tan honezkero %30 a baino gehiago 6H politipoan eraldatua dago .
4.15
4. Atala
1750°C-tan 3C politipoko alerik ez da gelditzen (%12) . 6H egitura mantentzen da,
3C-->4H eraldaketa txikia izanik, 2050°C tan sinterizatu arte . 2050°C-tan sinterizatu
ondoren, laginek, 4H egitura dute gehienbat eta hau texturizatua dagoela esan daiteke
4.2.4.2 . Mikroskopia optikoa
Mikroskopio optikoa erabiliz, eta Murakami soluzioaz atakatu ondoren, laginen
mikroegitura ikusi ahal izan da . 4.15-4 .21 irudietan erakusten diren argazkiek, hauts
ezberdinez egindako eta tenperatura ezberdinetan sinterizatutako, laginen
mikroegiturak azaltzen dituzte .
Cerex hautsa
a)
4.16
50 4m b)
4.15 Irudia.- C37 Cerex hautsaren laginak, 2000°C tan sinterizatuak
12 tm
Cerex hautsekin lortu diren laginen mikroegiturak 4 .45 irudian ikusten den bezala oso
ale handiak dituzte . Ale tamaina 50µm ingurukoa da eta ikusi den bezala dentsitateak
baxuak dira
• A Taldea
4 .16a eta b irudietan, Superior Graphite hautsarekin egindako laginek 1950 eta
2050°C-tan sinterizatu ondoren agertzen duten mikroegitura ikus daiteke. Bi kasuetan
lumen antzeko ale itzelak osatzen dituzte. Neurtu den ale tamaina (diametro
baliokidean) 66 µm eta 73 µm ingurukoa izanik . Central Glass (CG) hautsarekin
lortutako laginek antzeko mikroegiturak garatzen dituzte .
•
B Taldea
4.17 eta 4 .18 irudietan UFB-10 eta UF15 hautsekin lortutako laginen mikroegiturak
ikus daitezke. Bi hauts hauen mikroegitura ez da berdina tenperatura berdinentan
konparatzen baditugu . UFB-10 hautsekin lortutako laginek 1850°C eta 1950°C tan
sinterizatu ondoren, (ik . 4.17 a eta b irudiak), - 1-2 µm inguru4 duten ale ardazkideak
garatzen dituzte . Ale hazkuntza txikia nabari da bi tenperatura hauen artean . 2050 °C
tan sinterizatu ondoren ale-hazkuntza nabarmenagoa da - 3 µm (diametro baliokidean)
eta aleen forma-erlazioa handituz doa, hau da, aleak zuzebide batean bakarrik hazten
dira, ale luzeak garatuz .
4 .18a irudian antzeman daitekenez, UFB-10 hautsekin lortutako laginek 2050 °C-tan
sinterizatu ondoren duten mikroegitura eta UF15 hautsekin egindako laginek 1950°C-
tan sinterizatu ondoren dutena antzekoa da . 4.18b eta c irudietan azken hauts honekin
egindako laginek, 2050°C tan sinterizatu ondoren, duten mikroegitura ikus daiteke .
Argi azaltzen da ale tamainak banaketa bimodal bat duela, hau da, alde batetik tamaina
eta forma-erlazio handiko aleak (%52), eta bestalde ale txikiak eta ardazkideak ale
handien tartetan (%48) .
•
C Taldea
Talde honetako hautsek, lehen ikusi den bezala, (bai sinterizazio kurbak eta bai X
izpietan lortutako emaitzak aztertzerakoan) bi azpimultzotan banatzen dira
Emaitzak
4 .17
4 . Arala
mikroegitura aztertzerakoan ere . R1L eta R3L hautsak, 4 .19a eta b irudietan ikusten
den bezala, 1750 eta 1850°C-tan sinterizatu ondoren banaketa monomodaleko ale
txikiz osatutako mikroegitura garatzen dute . Ale tamaina 1750°C-tako kasuan 1 µm
baino txikiagoa eta 1850°C-tan 1 µm-ren ingurukoa izanik . Forma-erlazioari
dagokionez, argi ikusten da argazki hauetan sinterizazio tenperatura handituz doan
eran, aleak ere luzatzen doazela, bere forma-erlazioa handituz . Mikroegitura hauek ez
dira batere zuzenduak, hau da, aleen hazkuntza ez da zuzenbide batean gertatzen era
desordenatu eta aleatorio batean baizik . 2L hautsak tenperatura baxu hauetan ere
antzeko mikroegiturak garatzen ditu 4.20a irudian ikusten den bezala .
Sinterizazio tenperatura igotzen denean, hau da 1950°C-tara (ik . 4 .19d,e irudiak), R1L
eta R3L hautsen ale tamainak banaketa bimodal bat du. Hau da, alde batetik laginen
%43 osatuz, ale handiak (35 ~tm diametro baliokidean) forma-erlazio handiekin (7)
dutelarik eta bestetik, laginaren %57a osatuz, ale handi hauen artean, forma-erlazio
txikiagoko (4) ale txikiak (2µm) . Ale handi hauen hazkuntza zuzenbide aleatorioan
gertatzen da eta ale handi hauek itxura hauskorra dute, hau da, pitzaduraz eta defektuz
beterik agertzen dira .
2L hautsak ordea ez du 1950°C tan oraindik ale hazkuntzarik jasaten (4.20b irudia),
hau 2050°C tan gertatzen delarik . 2050°C tan R1L eta R3L hautsen mikroegitura 4 .19f
irudian ikus daiteke eta forma-erlazio handiko (7) ale handiz (60p.m) osatua dago .
Kasu honetan, nahiz eta oraindik ale txiki batzuk gelditu, hauek oso gutxi dira eta ale
tamainaren banaketa monomodaltzak har daiteke .
D Taldea
Talde honetan aztertu diren laginen mikroegiturak, aurreko taldeetan azaltzen diren
laginen mikroegituren antzekoak dira . Sinter-tenperatura altuetan /2050°C)
mikroegitura bimodalak dituzte C taldeko 2L hautsaren antzekoak . 1850 etal950°C-
tan sinterizatutako laginak ordea mikroegitura finak (1µm) eta ardazkideak agertzen
dituzte . (4 .21 irudia)
4 .18
150 4m b)
Emaitzak
a)
4.16 Irudia.- SG hautsarekin lortutako laginen mikroegitura a) 1950 °C eta b) 2050 °C
100 µm
4.19
4 . Atala
a)
c)
4.20
10 .tm b)
10 µ.m
4.17 Irudia.- UFB-10 hautsarekin lortutako laginak a) 1850°, b) 1950°C eta c) 2050°C
10 µm
a)
c)
10 µm
b)
4.18 Irudia.-UFB15 hautsarekin lortutako laginak a) 1950 °, b eta c) 2050 °C
Emaitzak
100 .tm
4 .21
4. Aula
C)
4.22
7,5 µm b)
75-Lm
4.19 Irudia RIL hautsarekin lortutako laginen mikroegitura : a) 1750 'C, b) 1850'C, c) eta d) 1950 1C eta e) 2050°C
7,5 gm
7,5 µm b)
10 pm b)
4.20 Irudia.- 2L hautsarekin lortutako laginak: a) 1950°C eta b) 2050°C
150 µm
4.21 Irudia .- QD2 laginak .-a) 1850°C; b) 1950°C eta c) 2050°C
Emaitzak
100 µm
10 µm
4.23
4 . Atala
4.5 eta 4 .6 tauletan eta 4 .22 eta 4 .23 irudietan laburbiltzen dira neurtu diren laginen ale
tamainak eta forma-erlazioak . Orokorrean, bai diametro baliokidea zein forma-erlazioa
handitu egiten da sinter-tenperatura handitzen bada . 4 .22 irudia aztertzen bada sinter-
tenperaturarekiko diametro baliokidearen aldaketaren kurbak hauts guztientzat forma
berdina hartzen duela ikusten da, hau da f baten forma. Ezberdintasun nabarmenena
hauts bakoitzarentzat ale hazkuntza tenperatura ezberdin batean gertatzen dela da .
4.S.taula.-Ale-tamaina, diametro baliokiean neurtua (pm)
1750°C
1800°C
1850°C
1950°C
2050°C
R1L
0.63
1 .13
16.46
59.16
R3L
0.88
19.4
2L
0.67
1 .63
45.28
ÚF15
2.59
15 .3
SG
66.11
73.73
CG
61 .78
1750°C
1800°C
1850°C
1950°C
2050°C
R1L
4.29
4.84
5 .48
6.81
R3L
3.59
5.94
2L
3.78
3.78
6.088
UF15
3.22
6.571
SG
4.72
7.723
CG
5.74
4.24
4.6 Taula.- Forma-erlazioa
awOF-W
Q
O R1LO
D R3LO
O 2LA UF15•
SG∎ CG
0.11700
1800
1900
2000
2100
TENPERATURA(T)
4.22 Irudia. Egoera solidoan sinterizatutako laginen Ale tamaina
V)
10
8O
O R1LD R3LO R2LA UF15•
SG∎ CG
o
o g
e
o
oA
gO
21700
1800
1900
2000
2100
TENPERATURA ('C)
4.23 Irudia.- Egoera solidoan sinterizatutako laginen forma-erlazioa
Neurketa hauek Quantimet irudi aztertzailean egin dira eta honengatik ale tamaina eta
bere banaketa neurtu ahal izan da . 4.24 eta 4 .25 irudietan RIL 1750 °C tan duen ale
tamaina eta forma-erlazio banaketak ikusten dira .
Emaitzak
4.25
4 . Atala
4 .26
Field NuwL~n 1
X MEAN0 .6333
Y TOTAL363 .0
0.88 1 .31 •2 .75 2 .19 2 .63 3.06 3 .50 3 .94Equt . C .-] . Diaw . ( MICRONS
)
RILLONZAQuatrz 1750C1h
4.24 Irudia. 1750°C-tan sinterizatutako ML laginaren ale tamainaren banaketa
1
Count
Fold H-1.— 369
1 . _
X MEAN4.290
V TOTAL321.0
a
'Ir.*'
0.0
3 .R
6 .1
9.1
12 .2 15 .2 18 .2 21.3 24 .3 27 .4ASpoot p...tl0
R1L LONZA Quartz 1750 C 1h
4.25 Irudia 1750°C-tan sinterizatutako ML laginaren forma erlazioaren banaketa
4.3 . EGOERA LIKIDOZKO SINTERIZAZIOA
4.3.1 . GEHIGARRIEN HAUTAKETA
Egoera likidozko sinterizazioa bi metodo erabiliz egin da . Alde batetik presiorik erabili
gabe eta bestetik presio isostatikoa erabiliz . Bi kasuetan, hala ere, erabili den
tenperatura 1700-1950°C tartean izan da .
Metodo hau finkatu ahal izateko, lehendabizi SiC-ren sinterizazioan hauts-ohe eta
nahasketa ezberdinen eragina aztertu da. Nahasketa ezberdinak egiteko orduan, Si02,
Y 20 3 , A1203 eta MgO erabili dira gehigarri bezala . Nahasketa batzueri ere karbonoa
erantsi zaie Novolaca erretxina eran . 4 .7 taulan erabili diren nahasketak biltzen dira .
4.7.Taula.- erabilitako hauts-nahasketen konposaketa kimikoakSG= Superior Graphite eta QDI, I L= Lonza hautsak
Za
Izena
c
B4C
Si02
Y203
A1203
MgO
1
SGBC605
4
0.5
5
6
2
1LBC605
4
0.5
5
6
3
SGB605
0 .5
5
6
4
SG625
5
6
2
5
QD1625
5
6
2
6
SG64
6
4
7
SGB64
0.5
6
4
8
QD164
6
4
9
SG46
4
6
10
SGB46
0.5
4
6
11
QD146
4
6
12
SGC46
4
4
6
13
SGBC46
4
0 .5
4
6
14
QD1 C46
4
4
6
15
SG604
6
4
16
SGB604
0.5
6
4
17
QD1604
6
4
Emaitzak
4.27
4. Atala
bestalde 4.8 taulan nahasketa hauekin lortu diren laginak sinterizatzeko erabili diren
hauts-oheen konposaketak eta azkenik 4 .9 taulan hauts-ohe/hauts nahasketa
konbinaketak adierazten dira
4.8 Taula.- Erabili diren hauts-oheen konposaketa kimikoak
4 .28
za
Izena
c
Si02
Y203 M90
1
sic2
605
5
6
3
10C
10
4
20C
20
5
5M
5
6
1000
100
7
ohe hautsik ez
4.9. Taula.- hauts-ohe hauts-nahasketa konbinaketak
Hauts nahasketak
1
2
3
6
7
8
9
10 11 12 13 14 15 16 17
H 1 X X X X
X X X
au 2 X X X X X X X X X X X
ts 3
X X X X X X
4
X X X X X X
o 5
X X X
h 6 X
X X X X X X
e 7
X X X X X X X X X
4.10. Taula..- Laginen masa galerak, hauts-ohean eta hauts oherik gabe
Om
hauts-oherik gabe 605 hauts-ohean
SGBC605
6.86
4.3
1 LBC605 8.77 5.22
SGB605 8 .8 5 .21
SGB625 13 .25 9.8
QD 1625
11.65
8 .41
Emaitzak
4.26a,b,c irudietan nahasketa ezberdinek 605 hauts ohean sinterizatzean pairatzen
duten masa galera adierazten da . Ikusten den bezala, masa galera tenperaturarekiko
proportzionalki handitzen da . Hau da tenperatura igotzen den heinean masa galera
handituz doa . a,b,c kasuak aztertuz, 625 konposaketaz egindako laginek pairatzen dute
masa galerarik garrantzitsuena . 4.10 taulan hauts-oherik gabe eta 605 hauts-ohean
sinterizatutako laginen masa galera (%) jasotzen da . Taula honetan ikusten den bezala
masa galera %2,5-3,5 inguru txikiagoa da hauts-ohea erabiltzen denean .
4.11 taulan eta 4 .27d irudian C+SiC hauts-oheek Y203+A1203 laginengan duen eragina
ikus daiteke . Orokorrean hauts-ohean karbono kantitatea igotzen denean masa galera
txikiagotu egiten da. Masa galera txikienak %100 C hauts-ohean gertatzen direlarik .
4.11 . Taula- Masa galerak karbonodun hauts-ohe eta arrago ertsietan
Nahasketa
SiC
SiC+10%C SiC+20%C
100%C
Arrago ertsia
SG46
8
6.82
7.16
SGC46
8.6
6
7.6
7.5
6.72
SGB46
8.4
8.07
SGBC46
8.13
9.6
7.2
7.36
6.32
QD146
10.9
8.96
10.07
QD1C46
11
10.3
10
8.55
10.08
4.29
4. Atala
4 .30
v
15
13
3
o
o
11
o
O
O QD1625
1
O SG625700
1800
1900
2000
TENPERATURA (°C)
15
12
15
12
O SG64O SGB64•
QD164 ∎•
SG46•
SGB46∎ QD146
Oe
Oo
6
10700
1800
1900
2000
TENPERATURA (°C)
b)
O
eo8
•
SGBC60511 LBC605•
SGB605
10700
1800
1900
2000
TENPERATURA (°C)
4.26 Irudia.- a) 625; b) 46,64 eta c) 605 laginen masa galerak
a)
C)
)
70
Zw
65F
FQ 60
w0
75
85
∎o
e
0
eo
8Ó
ó
∎p
ep
W 75
O
po
Ñ 70
8
0 SG64
Ñ
p SGB640
w 65
p
o QD164
0 QD1625
60
0
e SG46O SG625
• SGB46
1700
1800
1900
2000
1700
1800
1900
2000 • QD146
TENPERATURA (°C)
a)
TENPERATURA ('C)
b
65
o
o
oo
1111 o
90
100
•
SG46° SGC46
•
SG846
•
SGBC46
•
°D146
•
°D1C46
Emaitzak
• SGSC605p LBC605
•
SGB605
50 751700
1800
1900
2000
0
20
40
60
80
100
120TENPERATURA ('C)
C)
%C
d
4.27 Irudia.- a) 625; b)64 eta 46 ; c) 605 laginak 605 hauts-ohean lortutako dentsitateak eta d) 64
eta 46 laginen dentsitateak karbonodun hauts-ohetan lortutako dentsitateak 1850 °C-tan
sinterizatuak
Y203+Si02 eta Y 203+SiO2+A1 203 hauts konposaketak erabiltzen direnean (4.27a eta
2b irudiak) tenperatura igotzen denean dentsitatea jetxi egiten da . Y203+SiO2
konposaketaren kasuan, sinterizatu ondoren, dentsitate maximoa %55-60 artean dago
eta %65-70era igotzen da aurreko bi gehigarriei A1203 eransten bazaie . Y203+A1203
konposaketa ezberdinetan ordea, dentsitateak maximo bat erakusten du 1850°C-tako
tenperaturan . 4.27c irudian ikusten den bezala 46 konposaketak 64 konposaketak
baino dentsitate altuagoa lortzen du sinter-tenperatura eta hauts guztientzat. Kasu
honetan lortzen den dentsitate maximoa dentsitate teorikoaren %85a izanik . 4.27d
irudian 46 konposaketa ezberdinek, C+SiC hauts-ohe ezberdin eta grafitozko krisol
4 .31
4. Atala
ertsiak erabiliz lortzen duten dentsitatea irudikatzen da . Emaitza hauek 4.12 taulan
biltzen dira eta hauts-ohearen C kantitatea handitzen den heinean dentsitatea ere
handitu egiten da . QD1 hautsaren kasuan ermetikoki krisolak erabiltzen badira D.T-
aren %95 baino dentsitate altuagoak lortzen dira . Superior Graphite hautsa erabiliz
ordea, dentsitatea ez da aldatzen krsol ertsiak edo %100 hauts-ohea erabilizgero .
4.12.Taula- 1850°C-tan sinterizatu ondoren lortzen diren dentsitateak°
p
605
Sic SiC+%1OC SiC+%20C %1000 Crisol ertsia
SG64
79.4
SGB64
73.9
QD164
78.2
SG46 83 .7 90.5 92.54 90.84
SGB46 82.61 85 87.96
QD 146 85 .4 90 .8 93 .5 94.61
SGC46 83 .4 86.75 88.16 91 .36 92.12
SGBC46
80.1
83 .07
85.7
90.33
89.14
QD 1 C46
87
91.7
94.4
94.05
96.10
4 .32
20
15
5
605
625
64
o o
46
00
2
4
6
8
10
12KONPOSAKETA
4.28 Irudia.- Lab n ezberdinen diametro murriztapena .
4.28 irudian hauts konposaketa ezberdinekin lortutako laginek 1850°C tan sinterizatu
ondoren pairaten duten dimentsio aldaketa lineala irudikatzen da . Irudi honetan
nabarmena da konposaketa ezberdinen arteko murriztapenen ezberdintasunak .
605 hautsekin lortutako laginak %seko murriztapena pairatzen duten bitartean, beste
muturrean 46 nahasketekin lortutako laginen murriztapena aurkitzen da, %15-20
artean dagoelarik . 625 konposaketarekin lortutako laginek %10 inguru murrizten dira.
Aipatu beharreko beste puntu bat nahasketa berdin batentzat QD 1 hautsa erabiltzen
denean Superior Graphite hautsa erabiltzen denean baino %2 murriztapen handiagoa
lortzen dela da. Azkenik hautsak B4C badu, kantitate txikitan izanda ere, laginen
murriztapena txikiagoa da hauts eta konposaketa berdina erabili arren .
4.3.2 . SINTERIZAZIOA PRESIORIK GABE
Aurrean aipatutako puntu guztiak kontuan izanik, ondorengo taulan agertzen diren
konposaketak prestatu ziren, Y 203, A1203 eta karbono kantitate ezberdinak erabiliz
4.13 . Taula.- Presiorik gabe sinterizatzeko erabili dirennahasketankonposaketa kimikoak
Taldea
Izena
SiC-hautsa C
Y 203 A1203
S46
4
6A
SC46
Superior
4
4
6S64 Graphite 6 4SC64
R
4
6
4Q46 4 6QC46 4 4 6Q23
Lonza
2
3B
QC23
(3+%10a
4
2
3Q64 6 4QC64 4 6 4Q32 3 2QC32
4
3
2C
U46
Lonza
4
6UC46
a
4
4
6
Emaitzak
4 .33
4. Atala
Sinterizazio frogak, prozedura experimentalaren atalean zehazten den bezala egin
ziren. Lortutako emaitzak bi zatitan aztertuko dira . Alde batetik dentsifikazio prozesua
dentsitate, masa galera eta diametro murriztapenaren parametroak erabiliz eta beste
alde batetik lortutako mikroegiturak X izpi, trasmisiozko mikroskopioa, arakatzeko
mikroskopioa eta mikroskopio optikoa erabiliz .
4.3.2.1.Dentsifikazio prozesua
Egoera solidoan sinterizatutako laginak aztertu diren bezala, fase likidozko
sinterizazioan ere hiru hauts mota bereziko ditugu . 4.13 taulan ikusten den bezala .
Alde batetik A taldea SiC-P hauts hutsa den Superior Graphite HSC059 hautsa erabiliz
egin diren nahasketak, bestalde B taldea QD1Lonza SiC-13 +%10a hazidun
hautsarekin egindako nahasketak eta azkenik C taldea osatuz UFB-10 SiC-a haus
hutsarekin egindako nahasketak .
o A Taldea
4 .34
100
90ô
w 80HH55 70E-z
Q 60
oo ó ® ó 8
o
eo S46O SC46O S64,à SC64
1650
1750
1850
1950
2050TENPERATURA ( °C)
4.29 Irudia .- Superior Graphite laginen dentsifikazio kurba
Emaitzak
4.29 irudian Superior Graphite HSC059 SiC-Í3 hautsarekin egindako nahasketen
bitartez lortutako laginen dentsifikazio kurbak ikus daitezke . Bi gauza azpimarra
beharrekoak dira, alde batetik %6Y203+%4A1203 gehigarriak dituzten konposaketek
ez dutela dentsitate teorikoaren %90 baino gehiagoko dentsitaterik lortzen . %4
Karbono gehikuntzak ere ez du4.14. Taula- SG laginen masa galerak eta dentsitateak, dentsifikazio prozesuan inongo
1750°C-tan sinterizatu ondoreneraginik . Bestetik, %4 Y2O3+%6
%C
Lagina
Am
p
A1203
gehigarritzat
duten
OS46
4.75 90 .07
laginek
portaera
ezberdina0
S46
4.16 91 .83
erakusten dute C gehikuntzaren
1
S1 C46
3 .9
89.2
arabera . karbonorik gabeko
2
S2C46
4.14 86.23
laginek, dentsifikazio kurban
4
SC46
4.55 87 .47
dentsitate-tontor bat agertzen
dute 1750°Ceko tenperaturan
sinterizatu ondoren . Sinter-tenperatura 1800°Cetik gora igotzean berriz dentsitatea,
dentsitate teorikoaren %90etik behera jeisten da . Lagin hauei %4 karbono eransten
bazaie, ez dute (64 konposaketaren kasuan bezala) inongo sinter-tenperaturan,
dentsitate teorikoaren %90a gainditzen. Dentsitate kurbak hala ere maximo bat
agertzen du 1800-1850°C tartean . Portaera hau, gero ikusiko den bezala, B eta C
taldetako hautsek agertzen duten portaeraren aurkakoa da . 4 .14 taulan hauts honi(SG)
C kantitate ezberdinak gehitzean eta 1750°C-tan sinterizatu ondoren lortu diren
emaitzak ikus daitezke . Erantsitako C kantitatea handitzen den eran dentsitatea jetxi
egiten da .
4.30 irudian hauts honekin lortutako laginek sinter-tenperatura ezberdinetan galtzen
duten masa irudikatzen da. Konposaketa ezberdin guztiekin lortutako laginen masa
galera sinterizazio tenperaturarekin handituz doa. 1700°Ctan sinterizatu ondoren masa
galera %2-4 artean aurkitzen den bitartean, 2000°Ctan sinterizatu ondoren %8-10 era
igotzen da. Hala ere masa galera joera ezberdina erakusten du konposaketaren arabera .
64 konposaketak Karbono gehikuntzarekiko independienteak direla dirudi . Ez dute,
4.35
4. Atala
zentzu honetan joera zehatzik erakusten . Ezin esan daiteke karbonoa eransten zaienean
masa gehiago galtzen duenik edo eta alderantziz .
46 konposaketaren kasuan ordea, 1825°C inguru baino beheragoko sinter-
tenperaturatan sinterizatzean, C-dun laginek, masa gehiago galtzen dute C-rik
gabekoak baino . Hau 1825°C-tan hain zuzen aldatu egiten da eta tenperatura
honengainetik sinterizatzen bada C gabeko laginek masa gehiago galtzen dute C-dun
laginek baino. Tenperatura guztientzat 46, hau da Y20 3 baino A1203 gehiago duten
konposaketek, 64 alderantzizko konposaketek baino masa gehiago galtzen dute
sinterizazio prozesuan . A1 203 kantitatea handitzen denean masa galera handiagoa
izanik .
4.36
12
10
20
0
0Az 15
o
O
D
ñ
AÉ
6
A
A
A
O S46D SC46O S64A SC64
01650
1750
1850
1950
2050TENPERATURA (*C)
4.30 Irudia.- Masa galera S46 eta S64 laginetan
DoA
Do
D g Ao
OA
oD
oDoA
oD4
O S46D SC46O S64A SC64
O 5H
01650
1750
1850
1950
2050TENPERATURA (°C)
4.31 Irudia.- Diametro murriztapena S46 eta S64 laginetan
Diametro murriztapenaren kurbari dagokionez, dentsitatearen kurbaren forma berdina
duela esan daiteke, 4.31 irudian ikusten den bezala .
Tenperatura konstante batean, kasu honetan 1800°C, denboraren eragina oso txikia da
sinterizazio prozesuan . Oso prozesu azkarra dela dirudi, 15 minututako mantenu baten
ondoren dentsitatea, masa galera eta diametro murriztapena oso gutxi aldatzen dira .
(4 .32 irudia)
100
95
w 90H
85HzQ 80
B eta C Taldeak
oon0
n
0
• S46
• SC46
• S64A SC64
750
15
30
45
60
75DENBORA (min)
4.32 Irudia S46 eta S64 laginetan mantenu denboraren eragina
Emaitzak
B Taldea Lonza QD 1 hautsarekin egindako nahasketek osatzen dute C taldea ordea
UFB-10 SiC-a hauts hutsarekin egindako nahasketek . 4.13 taulan ikus daitezke hauts
hauekin egindako nahasketak eta erabili diren izenak . 4.33-4.38 irudietan nahasketa
hauekin egindako laginak tenperatura ezberdinetan sinterizatu ondoren duten
dentsitatea, pairatzen duten masa galera eta diametro murriztapena adierazten da .
4.37
4. Atala
4 .38
100
90
o A
oi?
o o • • o
o
a Q46
w 80
QC46
É
•
o Q23;, 70
QC23z
•
• Q64Q 60
∎ QC64_
• Q32
51650
1750
1850
1950
2050 A QC32
TENPERATURA ('C)
4.33 Irudia.- B taldeko hauts nahasketekin lortzen diren Dentsitate/tenperatura kurbak
100
90
w 80Q
70H2Q 60
8a 8 8 D
o Do
o U46
51650
1750
1850
1950
2050 D UC46
TENPERATURA ('C)
4.34 Irudia .- C taldeko hautsen dentsifikazio kurba
4.33 eta 4 .34 irudietan tenperatura ezberdinetan sinterizatu ondoren lagin hauek
dituzten dentsitateak irudikatzen dira . Nahasketa guztien kurbek maximo bat agertzen
dute 1800-1850°C tarteko tenperaturan . Hala ere azken dentsitateen arteko
ezberdintasunak oso nabarmenak dira .
Aipagarria da nahasketa guztiek sinterizatzen dutela gehigarri bezala Karbonoa
dutenean. Honela ez bada 46 konposaketak bakarrik lortzen du 1800-1850°C tan
sinterizatu ondoren dentsitate teorikoaren %95a baino dentsitate altuagoa . Beste
nahasketak ondorengo ordenean agertzen dute bere dentsitate maximoa (gehiagotik-
gutxiagora) 23, 64, 32 . Hau da Y203 baino A1203 gehiago duten nahasketek (46,23)
aldierantzizkoak(64,32) baina dentsitate altuagoa lortzen dute eta bi multzoen artean
gehigarri gehiago duten laginek (46,64) gutxiago dutenek (23,32) baino dentsitate
altuagoa baita ere . Hau da, 46 laginek 23 laginek baino dentsitate altuagoa lortzen dute
eta 64 laginek 32 laginek baino dentsitate altuagoa . Kasu guztietan bakoitzaren
dentsitate teorikoaren % bestean adierazia, Q23 konposaketaren dentsitate maximoa
teorikoaren %88 da, Q64 konposaketarena %85 eta Q32rena %72.
Tenperaturarekiko masa-galeraren kurbari dagokionez (4 .35 eta 4 .36 irudial), lehenik
esan beharra dago, konposaketa guztientzat sinter-tenperatura igotzen denean masa
galera ere handituz doala . Bestalde bi tarte bereiz daitezke, 1800°Ceko tenperaturaz
bereiziak . 1800°C baino beheragoko tenperaturan sinterizatzen denean, konposaketa
bakoitzean C-a duten laginek C-a ez dutenek baino masa gehiago galtzen dute kasu
guztietan. Ezberdintasuna %1-1,5 tartekoa da 1700°C-tako tenperaturan sinterizatu
ondoren eta ezberdintasuna bera ere murriztuz doa, 1800°C-tako tenperaturan
sinterizatzean %0,5 ingurukoa izanik . Gainera A1203n aberatsagoak diren
konposaketek (46, 23) A1203 gutxiago duten konposaketek baino masa gehiago
galtzen dute. Hala ere A1203-ren efektu hau nabarmenagoa da 1800°C-eko
tenperaturaren gainetik . Kurbaren bigarren zati honetan, masa galera karbono
gehikuntzaren aske da, baina konposaketaren menpeko aldiz . Zenbat eta A1203
kantitate handiagoa eduki, hainbat eta masa galera handiago jasaten dute laginek .
14
12
10
o
8w
o Q46
ws
~S
p
o QC46ñ
o Q23~ 6
Q
#
o QC23c¢n 4
• Q64!
∎ QC64•
Q32
1650
1750
1850
1950
2050 A QC32
TENPERATURA ('C)
4.35 Irudia.- Masa galera QDI hautsez egindako konposaketetan
Emaitzak
4 .39
4. Atala
4.40
14
12
10
8w6
d 4
2
24
z 20w
Ñ16
N
04 12
0 e9
9e
8
oo U46
650
1750
1850
1950
2050 11 UC46
TENPERATURA (°C)
4.36 Irudia.- UFB-10 hautsez egindako laginen masa galera tenperaturarekiko
4.37 eta 4 .38 irudietan, QD1 eta UFB-10 hautsekin egindako nahasketen diametro-
murriztapen eta dentsitate kurbek forma berdin dutela ikus daiteke . Diametro
murriztapenaren kurbak ere maximo bat agertzen du 1800-1850°C eko sinter-
tenperaturan. Diametro murriztapen handiena 46 konposaketak pairatzen du 1800°C
sinter-tenperaturan ;:~- %20koa izanik, eta txikiena 32 konposaketak t;%12koa .
o0
A
•
81•
• Q64
w 41 $
∎ QC64
•
Q32
•
1650 1750 1850 1950 2050 A QC32
TENPERATURA (°C)
4.37 Irudia.- QD1 laginen diametro murriztapena
o Q46•
QC46
•
o Q23•
QC23
24
dZ 22w
Ñ 2004
18
OÑ 16w
o U46
A 11650
1750
1850
1950
2050 11 UC46
TENPERATURA ( °C)
100
90
o 0
D
o ° oo o
0
OD
D
4.38 Irudia.- UFB-10 laginen diametro murriztapena
Sinter prozesuan denboraren eragina 4.39 irudietan ikus daiteke . A taldean aipatutakoa
esan daiteke hemen ere, hau da, mantenuaren hasierako 15 minutuetan lortzen da
dentsifikazioaren gehiengoa .
m8
ooô
O Q4680
•
D QC46
•
• • 0 Q23Ñ 70
•
QC23•
• Q64p 60
∎ QC64•
Q3250 0
15
30
45
60
75 • QC32
DENBORA (min)
4.39 Irudia.- Denboraren eragina QD1 laginen sinterizazioa
Emaitzak
4.41
4. Atala
4.42
4.3.2.2.Mikroegitura
4.3.2.2.1 . X izpiak
4.15 eta 4.16 tauletan QDI eta SG hautsekin egindako nahasketa ezberdinekin
lortutako laginetan sinter-tenperaturaren arabera agertzen diren fase kristalinoen
tontor-maximoen joerak ikus daitezke .
•
A Taldea
A taldea SG hautsarekin egindako nahasketa ezberdinek osatzen dute, lehen esan
bezala. Nahasketa hauekin lortutako laginek agertzen dituzten fase kristalinoak 4.15
taulan ikus daitezke .
Orokorrean 1700-1800°C tartean sinterizatzen badira ale-arteko fase modura YAG
(Yttrium Aluminum Garnet) konposatu kristalinoa sortzen da . Bere kantitatea
murriztuz doa sinter-tenperatura igotzen den arabera eta honela 1900°Ctan sinterizatu
orduko guztiz desagertu da .
Tenperatura baxuetan (1700°C) 46 eta C46 laginetan, 64 eta C64 laginetan baino,
YAG gehiago sortzen da . Bestalde eta batez ere 64 nahasketan, eta A1 203-Y203 oreka
diagramari dagokion bezala A1 2Y409 konposatua sortzen da baita ere .
Talde honetan, 1800°C-tatik hasita, A1Y3Co,5 karburoa sortzen da eta sinter-
tenperatura igotzen den eran kantitate handiagoan agertzen da .
Hautsa hau (3 kristal-egiturekoa da sinterizazio prozesua hasi aurretik eta 1700°Ctan
sinterizatu ondoren egitura berdina mantentzen du. Nola nahi ere, egoera hau 1750°C-
tatik aurrera aldatu egiten da eta (3-a eraldaketa hasten da . Eraldaketa honen
ondorioz, batez ere 4H eta neurri txikiago batetan 6H egitura hexagonalak sortzen
dira . 2000°C tan sinterizatu ondoren, C46 laginetan ez ezik, hasierako egitura
kristalinoa (3C) guztiz egitura hexagonalean eraldatu da .
4.15. Taula- SG hautsaren laginen X-izpi tontor maximoen joera
Lagina I Tenperaturaf3C I 6H I 4H
iYAG I A12Y409
lAlY3Co,5
S46
1700
100
0
0
37.8
0
0
1800 60 13 .9 40.2 5 .44 0 0.5
1900
10
25.8
100
0
1 .41
3.65
2000
0
38.1
100
0
2.98
0.81
SC46
1700
100
0
0
38.8
0
0
1800 57 15 .3 42.6 4.01 2 .33 3 .31
1900 23 15 .6 94 .2 0 0 4.3
2000
20
13 .1
100
0
0
11 .1
S64
1700
92
5 .1
3.63
12.63
0
0.23
1800
74
15.9
15.6
7.6
2.77
2.33
1900
0
37
100
0
4.4
10.03
2000
7
30.1 97 .6
0
2.23
6.8
SC64
1700
100
0
0
14.62
0
0
1800
77
17 .1
8.6
2.52
0
0
1900
16
23.4 93 .6
0
1 .95
8.72
2000
3 .4
36.6 92.4
0
0
2.3?
•
B Taldea
B taldeko nahasketei dagokienez 4 .16 taulan azaltzen dira tenperatura ezberdinetan
sinterizatu ondoren agertzen dituzten fase kristalinoak, X izpien bitartez identifikatuak
izan direlarik .
Emaitzak
4.43
a . Arala
Konposaketa eutektikoetan (C46, 46, C23, 23) sortzen den ale-arteko fasea YAG da .
Lehengo kasuan bezala, sinter-tenperatura igotzen bada YAG kantitatea gutxituz doa,
tenperatura altuetan sinterizatzean desagertu arte . Lagin hauetan, 46an ezik, 1800°C
eko sinter-tenperaturatik hasita A1Y3C o,5 karburoa ere agertzen da . Karburo honen
kantitatea handitzen da sinter-tenperatura igotzen den eran .
4.16. Taula- .- QD1 hautsaren laginen kristal-egitureko fase ezberdinak,sinterizazio tenperatura ezberdinetan
Lagina I tenperaturaI3C I 6H
14H
1YAG AL2Y409 I ALY3Co,5
1700
30
65.7
4.6
11.11
00
0
Q46
1800
0
94.3 22.6
11
0
1 .26
1900
0
100 45 .4
0.93
0
0
2000
0
100 68 .6
1 .02
1.02
0
1700
6 2
85.7
8.1
12.3
0
0
QC46
1800
0
100
19
7.9
0
4.19
1900
0
100
77
2.08
1 .01
4.54
2000
0
42.8
100
2.23
0
1 .5
Q64
1700
14.2 82.9
4.5
20
0
0
1800
0
100
14.5
3.14
2
1 .44
1900
0
100
14
0
2.09
4.02
2000
0
88.6
83
0
0
6.4
QC64
1700
11.4 85 .7
4.5
17
0
0
1800
0
100
14
2.06
0
3.02
1900
0
100
32
0
2.12
6.8
2000
0
73.7
88
0
0
9.04
4 .44
Eraldaketari dagokionez, hauts honek 3C+6H hazien egitura du sinterizatu aurretik .
Tenperatura baxuetan sinterizatu ondoren (1700°C) 3 C->6H eraldaketa ia guztiz
eragin da eta 6H- 4H eraldaketa (edo 3C-->4H) hasia da baita ere . Sinter-tenperatura
igotzen den heinean 4H politipoa gero eta kantitate handiagotan agertzen da. C
gehikuntzak bestalde, politipo honen agerpena errazten da .
64, C64, 32, C32 konposaketen kasuan, hauen joera eta aurrean azaldutako
konposaketen joera nahiko antzekoak direla esan daiteke eraldaketa eta agertzen diren
fase kristalinoei dagokienez . Ezberdintasun nabarmenena YAG fasearekin batera
A12Y409 fasearen kantitate txikiak agertzen direla da. Bestalde nahasketa hauetan
agertzen den A1Y3C0 , 5 karburo kantitateak handiagoak dira .
w 4Qxo
6
4.3.2.2.2.Mikroskopia
4.3.2.2.2.1 .Ale tamaina
o0o
o
0
o
Q
1800
1900
2000
TENPERATURA ('C)
o QC46
O 046
o U46
4.40 irudia.- Fase likido baten presentzian sinterizatutako laginen ale tamaina
4.40 irudian ale tamainak sinter-tenperaturarekiko duen menpekotasuna ikus daiteke .
Egoera solidoan sinterizatu diren laginekin erabili den metodoa erabiliz Q46,QC46 eta
U46 laginen ale tamainak neurtu dira, eta beste laginen joerak ere hauen antzekoak
direla esan daiteke, SEM eta mikroskopio optikoaren bitartez lortu diren mikrografiak
behatzen badira. Argi ikusten da sinter-tenperatura igotzen bada, ale tamaina ere
Emaitzak
4.45
4 . Atala
handiagoa dela . QDI hautsarekin lortutako laginek, UFB-10 hautsarekin lortutakoak
baino ale hazkuntza handiagoa jasaten dute eta lehendabizikoen artean C-a duten
laginek, ez dutenek baino handiagoa . Egoera solidoan sinterizatutako laginen ale
tamainarekin konparatzen bada (ik .4.21 irudia) fase likidoan sinterizatutako laginen ale
hazkuntza askoz ere baxuagoa da . Hauetan sinter-tenperatura altuenetan (2000°C)
lortzen den ale tamaina 5µm inguru dago (QC46) eta hauts berdinarekin egoera
solidoan sinterizatutako laginek ordea 2050°C tenperaturan mikroegitura bimodala eta
forma-erlazio altuko luma handiak garatzen dituzte .(4.21 irudia)
4 .46
w
~.4 2wa.UI)¢
6
8o
o
0o
o
o
O QC46O 046O U46
1800
1900
2000TENPERATURA ('C)
4.41 Irudia.-Fase likido baten presentzian sinterizatutako laginen forma erlazioak
Forma-erlazioari dagokionez, aldaketa txikia dago tenperatura batetik bestera (4.41
irudia). Gainera 2-4 eko forma-erlazioak lortzen dira tenperatura guztietan eta lagin
guztientzat . SEM eta optikoan lortutako mikrografietan ikus daiteken bezala, lagin
hauek nahiko ale ardazkideak garatzen dituzte . 4.42-4 .45 irudietan lagin ezberdinei
dagozkien mikroegiturak ikus daitezke .
A Taldea
Lehen, sinterizazioaren atalean esan bezala, talde honetako nahasketen artean 46
nahasketak besterik ez du sinterizatzen eta honek 1750°C-tako tenperaturan egiten du .
4 .42a irudian baldintza hauetan garatzen duen ale xehe eta aspektu erlazio altuko
Emaitzak
mikroegitura ikus daiteke . Ale hazkuntza ez da homogeneoa eta oraindik zenbait
zonaldetan ale txiki eta ardazkideak gelditzen dira . Ale-arteko fasea gehienbat hauen
inguruan biltzen da (argazkian ikusten diren zuloak, leunketaren eta atakearen
ondorioz gertatzen dira eta ez dute benetazko dentsitatearen neurririk ematen) .
Konposaketa hau, hala ere tenperaturarekiko oso sentibera da eta sinter-tenperatura
50°C bakarrik igotzen denean 4.42b irudian azaltzen duen mikroegitura garatzen du .
Ikusten den bezala, alea nabarmenki hazi da . Ale hazkuntza gainera aspektu erlazioaren
handiagotze nabarmen bat dakar . Ale-arteko fasea ere oraindik ale finak gelditzen diren
zonaldeak betez agertzen da .
B Taldea
Talde honetako nahasketek garatzen duten mikroegitura aztertzeko orduan bi taldetan
sailkatu behar dira. Alde batetik sinterizazio prozesuaren ondoren dentsitate altuak
lortzen dituzten nahasketak eta bestetik dentsitatea lortzen ez dutenak (p<DT%95) . Bi
talde hauen eredu 4.43 eta 4.44 irudietan ikusten diren mikroegiturak dira .
4 .43 irudian, tenperatura ezberdinetan sinterizatu ondoren QC46 nahasketak garatzen
duen mikroegitura azaltzen da . 1800°C-tan sinterizatu ondoren, aleak oraindik nahiko
ardazkideak eta tamainaz uniformeak dira . Sinter-tenperatura igo hala, aleen forma-
erlazioa ere handitzen da eta morfologia hori mantentzen dute 1850-2000°C tartean .
4.43 . irudian ikusten den bezala eta ale txiki eta handien nahasketa uniformea ikus
daiteke .
4.44 Irudian berriz Q23 nahasketak 1800°C-tan sinterizatu ondoren garatzen duen
mikroegitura ikus daiteke . Tenperatura honetan lortzen da hain zuzen konposaketa
honekin dentsitaterik altuena, dentsitate teorikoaren %88 inguru izanik . 4.43a
irudiarekin konparatzen bada, nahasketa honekin lortutako mikroegitura ez da hain
homogeneo eta aleak ez dira hain ardazkideak. Ale batzuen tamaina eta forma-
4.47
4. Atala
erlazioak handitu dira honezgero . Zulo handiak ageri dira batez ere ale handien
zonaldetan eta ale-arteko fasea berriz ale txikiak inguratuz gelditu da
•
C Taldea
4.45 Irudian UFB-10 hautsarekin lortutako laginen mikroegiturak tenperaturaren
arabera jasaten duten aldaketak ikus daitezke . Aurreko bi taldetako nahasketei
dagozkien mikroegiturekin konparatuz azken talde honen mikroegitura ardazkideagoa
eta finagoa da tenperatura guztietan . Hauts honek jasaten duen ale hazkuntza txikiagoa
da tenperatura altuetan sinterizatuta ere .
4.48
3,5 tm b)
4.42 Irudia.- LPS bidez sinterizatutako S46 laginen mikroegitura a) 1750°C ; b) 1800°C
3,5µm
a)
c)
3,5 pm b)
2 µm d)
4.43 Irudia.- QC46 Iginen mikroegitura a) 1800°C; b) eta c) 1900°C eta d) 2000°C
3, 5 µm
4.44 Irudia Q23 laginaren mikroegitura 1800°C-tan sinterizatu ondoren
Emaitzak
15 µm
15 µm
4.49
4. atara
a)
4 .50
7,5 µm b)
10 µm
4.45 Irudia .- U46 laginen mikroegitura a) 1800°C; b) 1900°C eta c) 2000°C
10 µm
4.3.3 . TRINKOTZE ISOSTATIKOA BEROAN (HIP)
Hiru konposaketa ezberdin erabili da trinkotze isostatikoa beroan teknikaz
sinterizatzeko. Teknika hau erabili ahal izateko, prozedura experimental atalean argitu
den bezala, lehendabizi, laginak beiran enkapsulatu behar dira . Metodo honen bitartez
lortu diren emaitzak ondorengo zatietan zehazten direnak dira .
4.3.3.1 . Dentsifikazioa
4.17. Taula.- HIP bidez sinterizatutako laginen konposaketa kimiko eta dentsitateak
Lagina
konposaketa kimikoa
1700 1750 1850 1950
SGBC605
6%Y203+5%Si02+4%C
96
99
99,5 99,4
SGB605
6%Y203+5%SiO2
100
99.5
99.8
SG625
6%Y203+2%A1203+5%Si02
97.17 98 .94
99
QD1605
6%Y203+5%SiO2
99
99
99
98.06
QD1625
6%Y20;+2%A1203+5%Si02
79.03 97.9 98.5
UFC605
6%Y203+5%SiO2+3%C
92.9
99
98.3
SG64
6%Y203+4%AI203
95
95.52
SGB64
6%Y203+4%A1203+0.5%B4C
95.7
SG46
4%Y203+6%A1203
95.9
SGB46
4%Y203+6%A1203+0.5%B4C
95.4
Emaitzak
4.17 taulan tenperatura ezberdinetan sinterizatu ondoren lortu diren azken dentsitateak
(Dentsitate teorikoaren %bestean adieraziak) ikus daitezke. Nahasketa guztiek,
QD1625 laginak ezik, 1750°C lortzen dute bere dentsitate teorikoaren %95 baina
gehiagoko dentsitatea . Tenperatura altuagotan sinterizatuz gero, dentsitatea % 100era
igotzen da
4 .51
4. Atala
4.3.3.2 . Mikroegitura
Erantsi zaizkien gehigarriei begiratuz, hiru talde ezberdinetan bereiziko ditugu
sinterizatutako laginetan lortzen den mikroegitura aztertzeko orduan .
Y203 +SiO2 gehigarriak
Gehigarri hauek erabiliz, karbonodun eta karbono gabekorik laginek, egitura
kristalinoko ale-arteko faseak sortzen dituzte, sinterizatuak izan diren tenperatura
guztietan . Ale arteko fase hauen konposaketa hala ere ez da berdina kasu batean eta
bestean .
EDS-z lortutako analisietan (4.46 irudia), karbonudun laginen ale-arteko fasea %85at .
Y eta %15at. Si-z osatua dago . X izpi eta elektroien difrakzioaren teknikak erabiliz,
garatzen den ale-arteko fase honen natura kritalinoa dela zihurtatzen da 4.47 irudietan
ikus daiteken bezala . Hala ere ezin lortu ahal izan da, konkretuki fase hauen
identifikazioa . Oreka diagramari jarraituz Y203 eta Y2SiO5 tartean dagoen konposatu
bat izan daitekela esan daiteke, gehiago da, bi hauen arteko nahasketa dela hain zuzen .
TEM bitartez lortu diren argazkietan ale arteko fase honen itxura ikus daiteke . (4 .48
irudia)
. ._ .3 15.~01e : s2 Jnc t0aT1 GVOtn F11e: 1YStCfiF(rX1W:[BI1N0111522oM .R11
s.oo
4 .52
20 .0
25.0
30 .0
35 0
00 0
45 0
5o 0
4.46 Irudia.- C605 laginen ale arteko fasearen
4.47 Irudia.- 1750°C-tan sinterizatutakoC605EDS analisia. %85Y/%15Si
laginen X-izpi difraktograma
a)
•
Y?03+Ah03+Si02 gehigarriak
0,2 µm b)
4.48 Irudia.- C605 laginen ale arteko fasearen mikroegitura .
Karbonorik gabeko laginetan sortzen den ale arteko faseak ordea, %65at . Y eta
%35at.Si du, hau da karbonodun laginetan sortzen den ale-arteko fasea baino Si atomo
portzentaia altuagoa, .4.49 irudian ikusten den bezala . Kasu honetan, eta X izpien
bitartez lortu diren difraktogrametan (4.50 irudia) oinarrituz lortzen den ale arteko
kristal egitureko fasea Y 4_67(SiO4),O da .
> ~lc: :(A4h IIGw7 I•T.D•n ( .IU,I :fGYhbM..iH
77
i .14
LG••
SIC
Emaitzak-
0, 1 µm
4.49 Irudia.- 605 laginen ale-arteko fasearen
4.50 Irudia.- 1850°C-tan sinterizatutako 605EDS analisia%65Y %35 Si
laginen X-izpi difraktograma
Aurreko nahasketari pisuan %2 A1203 eransten bazaio, lortzen den ale-arteko fasea
amorfoa da. Lortzen den beiraren konposaketa EDS-z lortutako analisietan oinarrituz
4 .53
4 . Atala
(4.51 irudia) eta atomoen % bestean %37,3Y, %42,5Si eta %20,2 Al da Bestalde X
izpi bitartez lortu diren difraktogrametan, 4.52 irudia, argi ikusten da SiC ezik ez dela
kristal egitureko beste faserik agertzen . Eraldaketari dagokionez HIP bitartez lortutako
laginek ez dute eraldaketarik jasaten hasierako hautsetan beste politipo baten hazirik ez
dutenean. Honela SG hautsekin lortutako laginek ez dute eraldaketarik jasaten eta
QD1 hautsarekin lortutakoak 3C-36H eraldaketa jasaten dute . Hau da kasu honetan
nahiz eta A1203 erantsi, ez da 3C--AH eraldaketa eragiten .
1
4.54
i3 7 Sa4,1o: Qi~ 1"0 10M ;n rue ; rnstGM]rn :11 WYNnit%rrs.CU
e14 . . . . . .. -
..-._s .0o ;
4 .05
. .z^
2 .45
0 .00
las ---'---'-----
0 . W
1
i
.-
0.45
~ I
4N
4111
.4 C Ñ'f
1 . 0©KCt'
lf;.~a S
20 . 11
-'...0.----.- ._...__-0- .
40 .0
45 . . . . ._ _
25 .0
70
(0 .
01' 1 ;000''45C1 '-
' . '!'lU0t<, . 2.14f
4N
4.51 Irudia.- 625 laginen ale-arteko fase
4.52 Irudia.- 1850°C-tan sinterizatutako 625amorfoaren EDS analisia
laginen X-izpi difraktograma
•
Y 0 3+Ah03 gehigarriak
Konposaketa honen kasuan zailtasunak izan dira kapsula egokiak lortzeko orduañ eta
horregaik lagin gutxi lortu ahal izan da. Hala ere, mikroegiturari dagokionez lortutako
lagin guztiek, konposaketa ezberdina izanda ere, YAG konposatu kristalinoa sortzen
dute ale-arteko fasetzat . Konposatu hau, X izpi zein elektroien difrakzio teknikaz,
identifikatu ahal izan da . Bestalde kasu honetan ere SiC-ak ez du inongo eraldaketarik
jasaten erabili diren tenperatura guztietan . (4.53 Irudia)
x10 3`Sasple : sgb64 1750C 100HPa File : SYSSCERAHICO .(Et(t II)SP6420 .RD
5 .00
4 .05
3 .20
2 .45
1 .80
1 .25
0 .80
0 .45
0 .20
0 .05
3C
YAGYAC
YAG
6H f
6H
3C
YAC
20 .0
25.0
30.0
35.0
40.0
45.0
50 .01 1[199,4191
Printer : Ready
4.53 Irudia.- AIP bidez sinterizatutako SGB64 laginaren kristal-egiturako faseak
4.3.3.3.Propietate mekanikoak
Propietate mekanikoen artean gogordurak eta hausturarekiko zailtasuna neurtu da .
Neurketa hauen helburu bakarra fase likido baten presentzian eta egoera solidoan
sinterizatutako materialen propietateak konparatzea izan da soilik . Lortutako neurrien
arabera fase likido baten presentzian sinterizatutako laginen zailtasuna, egoera solidoan
sinterizatutako laginen zailtasuna bikoizten duen bitartean gogordura jetzi egiten da .
l.18.Taula- Propietate mekanikoak
Lagina
Sinter-tenperatura
KIc
HV
1750
3 .76
1545
SGBC605 1850 3 .23 1724
1950 3.82 1966
1750
2.97
1667
SG625
1850
3 .52
1860
1950
3 .83
2018
QD 1605
1950
3 .34
1547
QD1625
1850
4.91
1678
1950
3.73
1572
Emaitzak
4 .55
4 . Atala
4.4 . OXIDAZIOA
Oxidazio tratamendutan lortutako emaitzak bi taldetan banatuko dira. Alde batetik
egoera solidoan sinterizatutako laginak aztertuko dira eta bestetik fase likidoan, hau
da, Y203-A1203 edo eta Y203-SiO2 gehigarri bezala erabiliz, sinterizatutakoak .
4.4.1. SIC HUTSA
Bi hauts ezberdin erabili da . UFB-10 (Lonza) hautsa, (SiC-a) eta SG (Superior
Graphite HSC059(s)) (SiC-J3) hautsa. Sinterizatzeko lagungarri bezala B eta C
kantitate txikiak erabili dira eta presiorik gabe 1950°C tan sinterizatuak izan dira,
sinterizazio atalean ikusi den bezala .
4.4.1.1.Oxidazioaren zinetika
Denborarekiko laginen masak jasaten duen aldaketa positiboa parabolikoa da
literaturan bildutako hainbat egilek dioten bezala . Lortutako aktibazio energiak
antzekoak dira bi kasutan, UFB-10 hautsaren kasuan E.= 300 kJ/mol eta SG hautsaren
kasuan E,= 200 kJ/mol . 4.19 taulan ikus daitezke neurtu diren masa handikuntzak :
Ikus daiteken bezala, irabazitako masa oso txikia da bai tenperatura altuetan ere .
~Ams )`
Emaitza hauek 4.54 Irudian ikus daitezke,
handitzen da eta gero motelago, hau da, honek denborarekin oxidazio prozesua
pasibatu egiten dela suposatzen du . Masa irabazi hauei hobekien doitzen zaien kurba
parabola bat da, hau da,
Am '\2
S=K P .t+C
i
vs t grafikoan. Hasieran, masa azkar
(4 .1) ekuazioari dagokiona, non Kp erreakzioaren konstantea den (4 .55 irudia) .
4.56
(4.1)
4.19 Taula.- US laginekin lortu diren masa irabaziak
Emaitzak
T (°C)
t (h)
Amis (mg/cm2)
(Am/s)2 (mg/cm) 2
1400
7
0.049
0.002
20 0.073 0.005
40 0.073 0.005
72
0.097
0.009
o
o
o
1
0
0
3
0.023
5.32 10-4
1450
7
0.035
0.0012
12 0.047 0.0022
20 0.058 0.0034
40 0.082 0.0066
80
0.105
0.011
1500
0
0
0
2
0.037
0.0013
6 0.037 0.0013
12 0.061 0.037
20 0.073 0.0054
40 0.098 0.0096
80
0.142
0.02
1550
0
0
0
2
0 .017
2.9 10-4
6 0.046 2.12 10-3
12 0.070 4.93 10-3
20 0.106 0.0113
40 0.152 0.023
80
0.219
0.048
1600
0
0.009
7.8 10 -5
2
0.046
2.13 10-3
6
0.079
6 .27 10 -3
12 0.106 0 .011
20 0.140 0.019
40 0.197 0.039
80
0.295
0.087
4 .57
0 .1
a. Arala
0 .3•
1600 C1550 C
O 1500 CQ 1450 C
0 .2 -
á
• #
C)
0
10
20
30
40
50
60
70
80
1 (hrs)
• 1600C• 1550 C• 1500 CA 1450C
•
* O
•
* 8 0
o Jf' i~1IiII1
0
10
20
30
40
50
60
70
80
t (hrs)
T (°C)
1400
1450
1500
1550
1600
4 .58
US
RS
oQ
o
Q
0.3• 1600 C• 1550 CO 1500 c•
1450C
0 .2 -
FÈ
0 .1 -
• *
A-0
Pk
o0
10
20
30
40
50
4.54 Irudia.- Masa irabaziak denbora eta tenperaturarekiko a) UFB10 ; b) SG
US
RS
Kp
log Kp
2.74 .10-12 -11 .56
3 .9.10-12 -11 .41
6 .79.10.12
-11 .17
1 .7.10" 11 -10.77
2.45 .10-11
-10.61
0 .1
Es
• 1600 C• 1550 C• 1500 CA 1450 C
*
e
*0 eue11 111
1
0
10
20
30
40
50
60
70
80
t (hrs)
4.55 Irudia.- Masa irabazia eta denboraren arteko erlazio parabolikoa
4.20 taulan tenperatura ezberdinetan lortu diren erreakzio konstanteak biltzen dira
4.20. Taula- Egoera solidoan sinterizatutako laginen oxidazioaren Kp konstanteak
US
RS
Kp
3 .5 .10-12
4.4.10.12
6.05 .10.12
1 .03 .10 -11
1 .55.10""
Q
1 (hrs)
log Kp
-11 .46
-11 .36
-11 .22
-10.99
-10.81
OQ•
o
60
70
80
Taula honen baloreak, 4.56 grafikoan irudikaturik agertzen dira . US eta RS-ri
dagozkien zuzenak oso gertu daudela ikusten da . Tenperatura guztietan oxidazio
zinetika parabolikoa da .
(-1Erreakzio konstantea K P tenperatura absolutuaren alderantzizkoarekiko
T,
adieraziz zuzen bat lortzen da, zuzen honen maldaren proportzionala da oxidazio
prozasuaren aktibazio-energia
K p = expi_Q1\
(4.2
\RT)
non :
Q aktibazio energia
T tenperatura absolutua
R gasen konstantea, diren
Honela lortu diren baloreak US hautsarentzat Qus= 304 kJ/mol eta RS hautsarentzat
QRS= 200 kJ/mol izan dira .
.E
ó
-8
-10
o us0 RS•
ULRH
5
5.5
6
6.51/T •1 0 4 (° K'')
4.56 Irudia.- Neurtutako Kp balioen adierazpen grafikoa
Emaitzak
4.59
4 . Atala
4 .60
4.4.1 .2. Oxidatu ondorengo egitura
Ikusi den bezala, egoera solidoan sinterizatutako materiale hauek oso gutxi oxidatzen
dira. Makroskopikoki aldaketa gutxi sufritzen dute, oxidazioaren hasieran berde
koloreko reflejoa hartzen dute gero mate bihurtuz .
Aipatu beharrekoa da, hala ere, RS laginan 1600 °C-ko tenperaturan oxidatu ondoren
burbuilak sortzen direla, 4 .57 argazkian ikus daiteken bezala .
4.57 Irudia.- 1600°C-tan oxidatutako laginetan sortutako burbuilak
Honetaz aparte, aipagarria da sortzen den Si0 2 gainazalaren atxekidura oso ona dela .
Ez du inolaz ere, laginetik eroriko den itxurarik eta hau, duen sakonera txikiagatik izan
daiteke . Izan ere eta neurtu diren masa irabaziak kontutan hartuz, 1600°C-tan, 80
orduz oxidatu ondoren 3pim besterik ez luke izango .
4.4.1.3 . Mikroegituraren azterketa
Aipatu beharra dago gainazalaren azterketa egin dela soilik . Izan ere oxidatutako
sakonera ez da oso handia eta beraz ez da aldaketa gehiegi espero sakontasunaren
arabera .
X izpien bitartez, gainazalean, kristal-egitureko konposatu bakarra identifikatu da, hau
kristobalita a delarik tenperatura guztietan eta erabilitako bi lagin motetan .
x10 3 S.' ,1e : P2(1) 1550 21-91S F.tle : L .1O'IjRS.tS51 .St1
20-SEP-35 10 :56
2 .00
1 .62•
3C1 .28
61-10 .98
0 .72
0 .50
0 .32
0 .18
08
20 .025.030.035.040.0
∎
Sa,nplecx10 3
P2(1 .) 1550 8144" File : L_1OH)RS1556 .F:0
20-SEP-35 10 :50
2 .00
1 .62
1 .29
0 .98
0 .50 -
y
0.72
0.32
O . 18
I I∎
~
10.08
0.02
'i( ~.~
20 .025.030.035 .0
y
40 .0
∎ a-S102
•
3C
v 611
Emaitzak
4.58 Irudia RS laginaren difraktogramak 1550°C oxidatu ondoren a) 2 orduz; b) 80 orduz
Kristobalita a ren kantitatea tenperatura eta denborarekin handiagotuz doa . 4.58
irudian ikus ditzakegu 1550°C 2 eta 80 orduz oxidatu ondoren RS laginaren
difraktogramak .
4.59 eta 4.60 irudietan berriz, RS eta US laginen gainazalek, tenperatura ezberdinetan
oxidatu ondoren, duten mikroegiturak ikus daitezke
4.61
4. Atala
a)
a)
4.62
3 µm b)
6 µm b)
4.59 Irudia .- RS laginaren gainazala 1600°C eta 80 orduz oxidatu ondoren
4.60 Irudia.-US laginaren gainazala 1600°C eta 80 orduz oxidatu ondoren
1,3 µm
1,5 µm
Lagin eta tenperatura guztietan pitzadurak agertzen dira gainazalean, hozterakoan
sortuak seguru aski . Ikusten den bezala oxido gainazalaren morfologia oso ezberdina
da. Bi materialetan Sioz gainazal jarrai bat sortzen da .Si02 gainazal honen hazkuntza
laterala da eta tontorrak osatzen ditu . Mikrografetan ikusten den bezala "ledge" edo
tontor makroskopiko hauek, irregularki sakabanatuak aurkitzen dira eta forma
ezberdinak dituzte . Orokorrean, hala ere, gehienak zentrukideak dira . Bi material
hauetan sortzen diren tontor hauen kohuts eta tamainak oso ezberdinak dira.
4.4.2. SIC REN OXIDAZIOA GEHIGARRIEKIN
Bi sistema ezberdin aztertuko da hemen, alde batetik presiorik gabe sinterizatutako SiC
+ %4 Y203 + %6 A1203 konposaketa, UL izenez izendatua izango dena, eta bestalde
HIP bitartez sinterizatutako SiC + %6 Y203 + %5 Si02 konposaketa, RH. Nahasketa
hauen dentsitate, mikroegitura eta ale-arteko faseak, lehen aztertu dira "Fase likidozko
sinterizazioa" aztertu den atalean .
4.4.2.l.Oxidazioaren zinetika
Tenperatura ezberdinetan, denborarekiko, laginen masak jasaten duen aldaketa
positiboa, kasu honetan ere parabolikoa da . 4.61 Irudian ikus daitezke denborarekiko
neurtu diren azalera-unitateko masa-aldaketak bi konposaketa ezberdinentzat .
Hobekien doitzen zaien kurba parabola bat da, hau da, lehengo kasuan bezala, azalera
unitateko masa irabaziaren karratua denborarekin proportzionala da .
•
1500°C0 1450'C
10 - CI 1400AC* molee 13o0 C
RH
•
* 6
oA 0
•
~n A~40
10
20
30
40
50
60
70
50
t (hrz)
M
L
10 -
200 1600°C∎ 1400°C
11* i560pC
1s - e 130&C
UL
•
a
o5 -
s
o
∎∎
0~á1á1é Ir0
10 20 30
40
50 -60 70
60
t (hra)
∎
4.61 Irudia.- a)RH eta b)UL lab nak oxidazio prozesuan jasandako masa irabaziak
4 .21 taulan, tenperatura ezberdinei dagokien Kp erreakzio konstanteak bildu eta 4.56
grafikoan irudikatu dira . Honela 4.2 ekuazioaren bidez lortutako aktibazio energiak
Emaitzak
4.63
4. Atala
ezberdinak dira konposaketa kimiko ezberdinentzat, UL ren kasuan 670kJ/mol eta RH
kasuan 294 kJ/mol izanik .
4.21 . Taula- UL eta RH laginen oxidazioaren Kp konstanteak
4 .64
T (°C)
1300
1350
1400
1450
1500
a) 1300 °C
UL
RH
Kp Log K1, K,, Log Kp
2,60.10_11 -10.59 1,55 .10" '0 -9.81
4,5.10.10 -9.34 1,59.10"9 -8 .8
1,87.10 -9
-8.72
1,68.109
-8.77
1,82.10"9
-8.74
1 .09 .10 .8
-7.96
3,39 .10"9
-8.48
4 .4.2.2.Laginen egitura oxidatu ondoren
Oxidazioaren ondoren, laginek aldaketa makroskopiko nabarmenak jasaten dituzte
kasu honetan (4 .62 irudia)
b) 1-3350'C
SG
UFB-10
c) 1450 °C d) 1500 °C
4.62 Irudia.- RH eta UL lagin oxidatuen itxura makroskopikoa
• RHLaginak-
Gainazal zuri zimur bat sortzen zaio, gainazal honen rugositatea eta kantitatea
handiagotuz doa tenperatura handiagotzen den eran, ez da uniformea azalera guztian
zehar eta bere atxekidura ere ez da egoera solidoan sinterizatutako laginen geruza
oxidatuarena bezain ona .
•
UL laginak
Tenperatura baxuetan aldaketa txikiak nabari dira, batez ere 1300 °C tan . 1350 eta
1400 °C tan aldaketa gehiago dago laginen ertzetan erdian baino . Gero SEM biartez
ikusi -den bezala Y2Si2O7 kristalizazio altuago dago ertzetan . Tenperatura altuetan
gainazal oxidatua txuria da eta likido bat hoztean duen itxura du . Kasu guztietan
gainazal oxidatuaren atxekidura ona dela esan daiteke
4.4.2.3.Oxidatutako laginen mikroegitura
Mikroegitura, konposaketa-kimikoa eta tenperaturarekin aldatu egiten da. Si 3N4 ren
oxidazioan gertatzen den bezalat" 1, sakonerarekin ere aldatzea Nahiz eta posible den
arren, hemen bakarrik gainazalean gertatzen dena aztertuko da .
•
RH Laginak
4.63 irudian SEM bitartez lortu diren mikrografiak ikus daitezke . Tenperatura
guztietan lagin hauetan sortzen diren gainazalak egitura kristalinoa dute . X izpien
bitartez a-kristobalita eta Q-Si2Y2O7, itrio disilikatoa identifikatu dira. Lehenengoa
kontraste ilunean ageri da, bigarrena berriz kontraste argian . Ikusten den bezala 1300
°C tan itrio disilikato prezipitatu hauek egitura eta tamaina ezberdinak dituzte . Alde
Emaitzak
4 .65
4 . Atala
batetik txikiak eta globularrak eta bestetik handiak eta plaka egitura garatzen dutelarik .
Gainazalean ere pitzadurak ikus daitezke tenperatura honetan .
Tenperatura igotzean (1400-1450°C) itrio disilikatoak (kontraste txurian) laginaren
gainazal osoa estaltzen du eta bere morfologia ere aldatu egiten da (4 .63 irudia) .
Pitzadurak aldiz nekez ikusten dira . X-izpien bitartez, hala ere a kristobalitaren
presentzia egiaztatzen da, hau da Y2Si207 geruzaren azpian gelditzen dela suposatuz .
•
UL Laginak
Konposaketa honetan garrantzizkoena oxido gainazalaren naturaren aldaketa da . Hau
da, tenperatura baxuetan (1300°C) oxido gainazala gehienbat kristalinoa da, X-izpien
bitartez a-kristobalita, R-itrio disilikatoa eta A1 2Y409 identifikatu direlarik. 4.64a
irudian kontraste ilunean a-kristobalita ale ardazkideak ikus daitezke, kontraste argian
aldiz plaka morfologia duten 13-Y2Si207 prezipitatuak eta fletxaz markaturik eta
kontraste argian hauek ere A1 2Y409 orratzak. Guzti hau inguratuz kontraste grisan, Al
eta Y-an aberatsa den beira bat ageri da. Gainazala pitzaduraz betea dagoela ikus
daiteke baita ere .
Tenperatura igotzen bada (1350-1450°), lehen gehienbat kristalinoa zen oxido
gainazala orain amorfo bihurtzen da . 1350°C tan kristalizazio handia dago lagin
ertzean, baina ez da hain handia laginaren erdian .
1450 °C tan oxido geruza guztia likido bihurtu da, hoztean beira batetan bihurtuz .
Beira hau Y eta Al-an aberatsa da. Hainbat zonaldetan, hala ere, eta 4 .65 irudian ikus
daiteken bezala (3-Y2Si2O7 prezipitatuak ageri dira, eta hauen inguruan konposaketa
berdineko dendritak hazten dira .
4 .66
30 gm b)
4.63 Irudia.-RH laginen mikroegitura a) 1300°C b) 1450°C, 80 ordu
7,5 ~Lm b)
4.64 Irudia.- UL laginen mikroegitura a) 1300°C eta b) 1450°C ; 80 ordu
4.65 Irudia .- Dendrita detailea
15 Ftm
Emaitzak
7,5 gm
60 ptm
4 .67
3 SiC + 2 N2 <-> Si3N4 + 3 C
(4.3)
4.5. SIC-REN EGONKORTASUNA NITROGENO ATMOSFERAN
Sinterizazioa nitrogeno atmosferan egiten denean, SiC-ren egonkortasuna, tenperatura
eta presioaren menpekoa da . Baldintza zehatz batzuetan, SiC-ak nitrogenoarekin
erreakzionatzen du Si3N4 sortuz (4.3) erreakzioaren arabera :
Lan honetan, erreakzio honek 1450 °C eta 5MPa-etik gorako tenperatura eta preiotan
eskubira jotzen duela frogatu da .
4.5.1 . DENTSIFIKAZIOA
4.66, 4.67 eta 4.68 irudietan tenperatura, presio eta denbora ezberdinetan
sinterizatutako SiC, SiC+5%A1 203, SiC+10%Si02, SiC+30%SiO2 laginek jasaten
dituzten dentsitate (gr/cm 3), masa (%) eta diametro (%) aldaketak ikus daitezke .
Dentsitate absolutuak sinter-presioa eta tenperatura igotzen badira handitzen dira, ez
dira ordea aldatzen mantentze denbora handitzen denean .
SiC huts eta SiC+5%A1 203 laginetan (4 .3) erreakzioaren ondorioz sortzen den C
guztia laginan bertan gelditzen dela suposatzen bada, sortu berri den konposatuaren
dentsitate teorikoak estimatu daitezke ., 1750°C, 50 MPa, eta 30 minututako sinter
baldintzetan SiC hutsz egindako laginen dentsitate teorikoa 2 .885 gr/cm3 eta SiC+5%
A1203-rena 2,92 gr/cm3 izango zirelarik. Kasu honetan beraz, A1203 gehigarri bezala
erabilzeak dentsitate teorikoaren %100 lortzea eragiten du
M
à 2.5
/ o
O
•
•2
QÑ
SIC10%Si02
•
1 .5 y 30%Si025%A1203
M
•
2 _A Q
•
ó0
V)
z 1 .5 .oWA
3
1350
1450
1550
1650
1750
1850
TENPERATURA ('Q
3
1
3
M
A2 .5 > $
8
a
o
1
10
100
PRESIOA (IviPa)
O
•
SIC• 10%Si02
O 30%Si02A 5%A1203
O
•
sIc• 10%Si02• 30%Si02
A 5%AI203
A
A
o o
110
10
30
50
70
90
110
DENBORA (min)
4.66 Irudia.- Dentsitatearen a) tenperatura, b)presioa c) denborarekiko menpekotasuna
a)
b)
c)
Emaitzak
4.69
4. Atala
Zaila da bestalde Si02-dun laginen dentsitate teorikoa eta beraz erlatiboa kuantitatiboki
neurtzea, izan ere silizeak karbonoarekin erreakziona dezake (4.2) erreakzioaren
arabera eta honela laginetan geldituko diren SiO2 eta C kantitateak ez dira ezagutzen .
Si02 +C- > SiO+CO
(4.4)
Masa aldakuntza (ik . 4 .67 irudia) tenperatura eta hasierako konposaketaren menpeko
da.
4.70
40
Ñ 30dm
20
50
4 -
`n_ sIc•
10%Si02•
30%Si025%A1203
01350
1450
1550
1650
1750TENPERATURA (°C)
25 !
AO
O
QU O¢_ -5
D
O•
-• 15 o
-25
O aA
o
•
sICO 10%Si02•
30%Si02A 5%A1203
1
10
100PRESION (MPa) b)
4.67 Irudia .-Masa aldaketa, sinterizazio a) tenperatura eta b) presioarekin
Alde batetik masa irabaziak N2 presioarekin handitzen dira (4.67b irudia). Behe
presiotan (0,5 MPa) Si02 duten laginek masa galtzen duten bitartean, (zenbat eta silize
gehiago hainbat eta masa galera handiago), SiC eta SiC+ %5A120 3 laginek jasaten
duten masa aldaketa oso txikia da . Goi presiotan, 50 eta 200 MPa, masa aldaketa
positiboa da kasu guztietan . Hau da, konposaketa guztiek masa irabazten dute
sinterizazio prozesuan zehar . Gehigarririk gabeko laginek masa irabazi altuenak jasaten
dituzte, siliza kantitatea handitzen den eran masa irabaziak txikiagoak izanik . A120 3
duten laginek ere SiC hutsko laginak baino masa gutxiago irabazten dute . 50 MPa-eko
presio finkoarentzat, masa irabazia tenperaturarekin igotzen da (4.67a) . Kasu honetan,
laginen gehigarri kantitatearen arabera ere masa irabaziak ezberdina dira eta beraz
zenbat eta Si02 kantitate gehiago irabazi gutxiago .
QH
Q
OxH
1
-7
-4
-6
-8 O
o o o
o DD
AD
O
D
O
A
0
0 sicD 10%Si02O 30%SiO2A 5%AI203
-91350
1450
1550
1650
1750
1850
o
TENPERATURA (°C)
2-
03
o
DD
à
D-2
O
1
10
100PRESIOA (MPa)
A
o
8
o sIcD SIC 10%SO SIC 30%SA SIC 5%A
a)
4.68 Irudia .-Diametro aldaketa a) tenperatura eta b) presioarekin
b)
Emaitzak
4.71
4 . Atala
Prozesu honen aspektu garrantzitsu bat trinkoen dimentsio aldaketa eza da (ik . 4 .68 .
irudia), prozesu honek dimentsio aldaketarik gabeko SiC-Si3N4 konposite ekoizpena
suposatzen duelarik
4.5.2 . MIKROEGITURA ETA BILAKAERA
Atal honetan laginak bi taldetan banatuko dira . Alde batetik Si02 duten laginak eta
Si02-rik gabekoak . Laginen kristal faseak X izpiak eta Maeder eta al .-ent SS] metodoa
erabiliz aztertu dira, honela bakoitzaren kantitate erlatiboak neurtu dira .
4.5.2.1 .SiO2-rik gabeko laginak
Lehen esan den bezela 4.3 erreakzioa eskubirantz jotzen du 5 MPa eta 1450 °C-tik
gora . 4.69 irudian egoera ezberdinetan sinterizatutako SiC hutsak agertzen dituen fase
kristalinoak ikus daitezke .
Difraktogramek argi agertzen dute SiC-ren nitrurazioaren ondorioz Si 3N4-a zein
Si3N4-3 sortzen direla .
Nitrurazio prozesua lagin osoan ematen den arren, SiC-ren bilakaera laginen
gainazalean barrualdean baino handiagoa da, batez ere sinterizazio baldintzak
bilakaeraren mugetik gertu daudenean (1450 °C y 5 MPa).
4 .72
W10 3Sample : 0 1400 N2 SOWA 30MI File : SVSBCERAMICO :IENKARNIION9 .RO
5 .00
4 .05
3 .20
2 .45
1 .80
1 .25
0 .00
0 .45
0 .20
0 .05-NrYh~+
Mx~h+t~,yy,~.MA~Wvtiwyr~µr•ri~
10.0
15 .0
20.0
25 .0
30 .0
35 .0
40.0
45.0
SO 0
SiC
sic
4.69 Irudia.-SiC- hutsean lortzen diren kristal-faseak a) 1400 °C eta 50MPa, edo 1750°C eta 0,5 MPa eta b)1750 °C eta 50 MPa
4 .22 taulan sinterizazio ziklo ezberdinetan lortutako emaitzak laburbiltzen dira, non
Si3N4-ren kantitateak Si3N4-a eta Si 3N4-f3 kantitateen baturak diren . 4 .70 irudian 4.20 ( 7
taulako datuak irudikatzen dira, hau da, SiC-ren bilakaera Si 3N4-n tenperatura eta
presioarekiko .
a)
Emaitzak
4.73
4. Atala
4.22. Taula- X izpien bitartez lortu diren, tenperatura eta presio ezberdinetan sinterizatuak izan
diren SiC hutsaren laginen emaitzak
Tenperatura °C
Presioa (MPa)
0,5
5
50
75
200
1400 EA EA EA
1450 EA EA EA
1500
EA
G-65-35
I-81-19
1750
EA
G-27-73
G-17-83
G-20-80
1-85-15
I-13-87
I-11-89
1800
G-20-80
G-20-80
I-0-100
I-0-100
1850
EA
EA= Ez dago aldaketarik; G=Gainazala; I=Barnea. Lehendabiziko zenbakia, SiC
kantitateari dagokio eta bigarren zenbakia Si3N4 kantitateari
4.74
100
80
óQ 60E-w
40
O 0,5 MPaD 5 MPaO 50 MPa
o
o
D
o ^ -1350
1450
1550
1650
1750
1850TENPERATURA ( °C)
4.70 Irudia .-SiC-tik Si3N4-ra aldaketa portzentaia
Si3N4-a eta Si3N4-13 ren kantitate erlatiboak 4 .71 . irudian ikus daitezke. Si3N4-a
kantitate erlatiboak bereziki altuak dira eta presioa eta tenperatura igotzen badira
kantitate hauek handituz doaz .
1
0.8
0.6
Z0.4
0 .2
0
10
100
1000
1350
1450
1550
1650
1750
1850
PRESIOA (Atm)
a)
TENPERATURA ('C)
b
4.71 Irudia.- (x/a+R Si 3N4 erlazioa N2 atmosferan sinterizatutako SiC huts
lagnetan . a) 50 MPa eta b) 1750°C
A1203-ren gehikuntzak Si 3N4-ren a-43 eraldaketa errazten du eta beraz SiC-Si3N4-f3
konpositeak lortuz (ik . 4.72 irudia)
X10 3Sample: O5N2 1750 N2 SOMA File: SYSSCERAMICO :LENKARNI]05N2 .RD
2 .00
1 .62
1 .20
0 .98
0 .72
0 .50
0 .32
0 .18
0 .00
0 .02 hY
)
1
0 .8
p 0 .6
0 .4
0.2
À1
13-Si3N4
. Slc
10 0 . . . _„
20.025.030.035.040.045.050 .0
4.72 Irudia.- SiC+ 5% A1203 laginetan 1750°C, 50 MPa N2 eta 30 min sinterizatuansortu diren fase kristalinoak
TEM bitartez lortutako irudiak (4.73 irudia) SiC eta SiC+%5A1203 laginen
mikroegitura agertzen dute . SiC eta Si3N4 ale kristalinoen ondoan laginaren
bolumenaren %25-a osatuz, elektroien difrakzio bitartez (4.74 irudia) partzialki
grafitizatuta dagoen C amorfoaren presentzia identifikatzen da . SiC eta Si 3N4 aleen
Emaitzak
4.75
4. Atala
morfologia ardazkidea da eta beraien tamaina 50 eta 100 nm ingurukoa. SiC eta Si3N4
aleen banaketa nahiko uniformea da, Si3N4-ren nukleazioa SiC aleen ingurutan
gertatzen den seinale. C banaketa era berean homogenoa da baina ez du alearteko fasea
osatzen .
a)
4 .76
0,15 µm b)
4.73 Irudia N2 atmosferan sintrizatutako a) SiC hutsa eta b) SiC + %5 A1203 laginen
mikroegitura 1750°C eta 50 MPa
4.74 Irudia.- C-aren difrakzio irudia
ti
t
om
0,06 µm
Sample : 10N2 1750 N2 SOMPA File : SYS$CERAMICO :IENKARNI110N711 .RDx10 25 .00
a•∎
I.
∎ A•
1
∎I,k4 .05
3 .20
2 .45
1 .60
1 .25 -
M~
0.80 •
1 .62 •
1 .28
0 .98
0 .72
0 .50
0 .32
0 .18
0.08
0 .02 1
A
4.5.2.2 . Si02-dun laginak
Silizea gehigarri bezala duten laginetan, N2 atmosferan sinterizatu ondoren Si 3N4 eta
Si 2N2O sortzen dira (4.75 . irudia) .
A
10 .015 .020.025.030.0
T
t
10 .015.020 .025.030.035 .040.045 .050:3
L03 I Sample: 30N2 1750 N2 50MPA File : SYSSCERAMICO :IENKARNI73ON2M .RDx12 .00
14
0
35 .0
40.0
45 .0
∎ a-Si3N4
A R-Si3N4
•
Si2N2O
1
∎ a-Si3N4
•
(3-Si3N4
•
Si 2N2O
a)
50 .0 b)
4.75 Irudia.- SiC+Si02 laginetan sortzen diren faseak a) %10 Si02 eta b) %30 Si02
Sortutako Si2N2O kantitateak laginan dagoen Si02 kantitateen eta sinterizazio
baldintzen menpeko dira . 4.76 eta 4.77 irudietan, tenperatura eta presioarekiko,
laginetan gelditzen diren SiC kantitaeak irudikatzen dira .
Emaitzak
4 .77
4. Atala
060
4Yáb 40Qr. 20
4 .78
100
80
•
o•
D•
o
oo
°'1350
1450
1550
1650
1750
1850TENPERATURA ('C)
4.76 Irudia .- SiC ren aldaketa tenperaturarekin (50 MPa N2)
50 MPa-eko presiopean 1450 eta 1500°C-ko tenperaturatan laginetan erreakzionatu
gabe gelditzen den SiC kantitateak nabarmenki txikiagotzen dira, 1750°C tan guztiz
desagertuz (ik . 4.77 irudia) Sortzen diren produktuak Si02 kantitateen menpe daude .
100
80
60
oY4
40
020o o
0o~- -1350
1450
1550
1650
1750
1850TENPERATURA (°C)
100
80
20
•
S13N4•
S12N20
0
•
o
o
Do
0
0
o sicD %lO Sio2O %30 Si02
a)
1350 1450 1550 1650 1750 1850 o SI2N2OTENPERATURA ( °C)
b)
4.77 Irudia.- SIOZ-dun laginetan sortzen diren konposatuen
kantitateak a) %10 Si02 eta b) %30 SiO2
•
S13N4
Itxura denez tenperatura baxuetan Si0 2 edukin txikiko laginetan edo tenperatura
altuetan SiO2 edukin altuko laginetan Si2N2O sortzen da Si 3N4-ren ordez .
Sinter-tenperatura jakin batetan (1750°C), SiC-ren bilakaera (Si3N4 edo/eta Si2N2O-n)
txikiagoa da erabilitako presioa baxua bada . Presioa 200 MPa-etara igotzen denean
%10 eta %30 Si02 duten laginetan SiC-ren bilakaera %100-ekoa den bitartean, SiC
hutsan %20 inguru SiC erreakzionatu gabe gelditzen da . (ik .4 .78. irudia)
100
80
e 60
x-ó 40a
20 00
0^
o
0
o
o
o siC0 %10 siozo %30 sioz
10
100
1000
PRESIOA (Log atm)
4.78 Irudia SiC laginen aldaketa presioaren menpe, 1750 °C, 30 min
o
Emaitzak
4.79
EZTABAIDA
5. EZTABAIDA
5.1 . EGOERA SOLIDOZKO SINTERIZAZIOA
SiC-aren egoera solidozko sinterizazioan hasierako hautsaren naturak, hau da, hauts
partikula tamainaren distribuzio eta kristal-egitura, kutsadura, gainazal-azalera,
prozesuan parte hartzen duten baldintzak eta erantsitako gehigarri kantitateak eragin
handia dute . Ezaugarri hauen aldaketa txikiek dentsifikazio prozesuan eta lortzen den
mikroegituran ezberdintasun handiak eragin ditzakete .
Bilduma bibliografikoan í" ] ikusi den bezala, sinterizazioan materiaren garraio
mekanismo ezberdinak aktibatzen dira . Hauetako batzuk, difusioa bolumenan barrena,
hau da, dentsifikazioa eragiten dute eta beste batzuk aldiz, hauen artean difusioa
gainazalan barrena eta ebaporazio-kondentsazioa, ale hazkuntza edo/eta eraldaketa
politipo batetik bestera . Prozesu hauek konkurrenteak dira beraien artean eta honela
aktibatzen den mekanismoa bat bada, besteen kalterako izango da .
SiC-aren sinterizazioan garrantzi handikoa da ale-hazkuntza hasi aurretik poro guztiak
ezabatzea . Hau da, dentsifikazioa lorte, ale-hazkuntza eragiten duten mekanismoak
aktibatu aurretik .
5 . 1
5. Atala
5 . 2
5.1.1 . PARTIKULA TAMAINA ETA BANAKETA. HAUTSAREN
PURUTASUNA
Prozedura experimentalaren 3.1 atalean adierazten den bezala hautsaren partikula
tamainari dagokionez, bi motako hautsak erabili dira. Alde batetik hauts komertzialak
(SG,CG) eta Lonzak ekoiztutako hauts experimentalak (L lotea, Q lotea, UFB-10,
UF 15) eta bestetik Cerex-ek ekoiztutako hauts experimentalak . Hauts hauen ezaugarriak
3 .1 taulan ikus daitezke .
Cerex-ek ekoiztutako hautsek aparteko partikula tamaina txikia izan arren aglomeratu
handiak dituzte eta beraz partikula tamainaren banaketa zabala, 5 .1 irudian azaltzen den
eran .
P Sapts : Cuc Sic C58
Aim: LSN1.91
F Saw~l~ : LJN1fi Çfo .l
L.io : 1
:.
1 .71X
~ .9fí~• ".
,= II.72s
9 .93s6997d
997.86
i
i
h
I
!It
II1I.
~
;~ ; ~
f
.
ú
L Ii
1
II I
!
II,1j .i1
I~
•
!I il>I,
I i
1i
I
I:
1
Iill Il!
!
j
p
Ume in r
y
il
ce
a
w
N
4
N4
9
9Ç70 ÇM
N
44
5.1 Irudia.- Cerex hautsaren partikula
5.2 Irudia.- Lonza hautsaren partikulatamaina banaketa
tamaina banaketa
Gainera, Cerex-ek garatu duen hauts ekoizpen prozesua, garrantzizkoa izan arren, hauts
oso xehe, gainazal-azalera handikoak eta beraz oso aktiboak lortzeko posibilitatea
duelarik, purutasun handiko hautsak lortzeko eragozpen handiak ditu . Ekoizpen prozesu
honek hautsaren garbiketan arazo ugari ditu eta beraz lortzen diren hautsek, alde batetik
CaF2 partikula handiak (4.3 eta 5 .3 irudiak) eta hautsan zehar banaturik CaF 2 partikula
txikiak ditu. Era berean erreakzionatu ez duen C arrastoak ageri dira ere (4.3 irudia) .
W
0,3 µm
5.3 Irudia.-Cerex hautsetako CaF2 partikula handiak
Hauts guztiekin prozedura experimentala berdina erabili den arren (nahasketa, baheketa,
trinkoketa eta aglutinatzailearen ezabaketa, Cerex hautsek ez dute inolako
dentsifikaziorik jasan (4.3 taula) alde batetik duten aglomerazio handia eta bestetik duten
ez-purutasun kantitate handiak direla eta . Ca-n aberatsak diren produktu hauek,
sinterizazio tenperaturatan ez dira egonkorrak eta hegaskorrak diren sustantziak sortuz
deskonposatzen dira. Honela materiaren garraioa gainazalan barrena eragiten da eta
beraz ale-hazkuntza eta destsifikazio eza . Gainera Cerex-ek, hautsen garbiketarako
erabiltzen duen HF-ak hautsetan Fe metalikoa uzten du eta honengatik lagin dentsoak
lortuko balira ere, batez ere goi tenperaturatan propietate mekaniko eskasak izango
lituzkete . Bestalde, Fe ezpurutasun gisa duten material hauek chip elektronikoen oinarri
materialtzat erabiltzea ezinezkoa izango litzateke . Honetaz gain, partikula-tamaina
banaketa zabalek ale erraldoien hazkuntza errazten dute, porotasun eta ale-handiko
laginak lortuz . (4 .15 irudia) .
Lonzak ekoiztutako hautsek eta hauts komertzialek ordea partikula tamainaren banaketa
estua dute (5.2 irudia) eta gainera, erabili den tresneriaren detekzio-limitetatik beherako
ezpurutasunak .
Eztabaida
5 .3
5 . Atala
Hauts hauek dentsitate teorikoaren %95-a baina altuagoak diren dentsitateak lortzen
dituzte 1850°C-tatik gora sinterizatzen badira .
5.1.2. GEHIGARRIEN ERAGINA
Karbono gehikuntza da inolako dudarik gabe SiC-aren sinterizazioan eragin handiena
duen aspektua. Honengatik karbono gehikuntza nola egiten den (hauts edo erretxina
eran) zein kantitatea eta sinterizazioaren aurretik laginek jasaten dituzten prozesuetan
karbonoa galtzen ez dela kontrolatu behar da .
Orokorrean SiC hautsetan, gehigarrien banaketa ez homogeneo batek dentsifikazio ez
homogeneo bat eragin dezake. Karbonoaren kasuan era solidoan eransten denean bere
difusio koefizientea oso baxua bait da, arazo hau larriagoa izan daiteke 127, 29, z9] • 4 .6
irudiak karbonoa erretxina likido eran eransteko beharra azaltzen du. Honek, eragin
handia izan bait dezake trinkoen azken-dentsitatean . Aipatu irudian argi ikusten da 3 .
bidea erabiliz lortzen diren azken-dentsitateak baxuagoak direla beste bideak erabiliz
lortzen direnak baino . 3 . bidean karbonoa ikatz beltz modura erantsi eta nahasketa
lehorrean egiten den bitartean, besteetan erretxina likidoak eta beraz nahasketa ere
medio-likidoan egin da . Ardazbakarreko edo trinkoketa isostatikoa erabiltzeak ordea ez
du garrantzi handirik azken-dentsitateari dagokionez . Honela nahasketa, zein gehigarrien
eransketarako, medio likidoa erabiltzeak, hauen banaketa hobea eta beraz dentsitate
hobeak eraginten ditu .
Bestalde, nahasketari erantsi zaion karbonoa, trinkoketa erraztu eta gainera karbono
iturri den, aglutinatzaile organikoaren ezabatze prozesuan gal ez dadin, hau, atmosfera
geldoan egitea beharrezkoa da (4 .2 taula). Airea bezalako atmosfera oxidatzaile bat
erabiltzen bada, karbonoa, oxidazioz, CO edo CO2 modura hegaskortu daiteke .
Laginetan karbono ezak azken-dentsitate baxuak eragiten ditu, ale-hazkuntza eragiten
duten materia garraio mekanismoak errazten bait ditu (27.28] Bestalde, SiC hautsa bera ere
5 . 4
Eztabaida
oxida daiteke, bere oxigeno edukina nabarmenki igoaz . Boroak bere aldetik B203
bezalako oxido ez egonkorrak sor ditzake, eta sinterizazio prozesuan hegaskortu
daitezke laginen B-a galduz. Jakina da boroak gainazalan barrena egiten diren materia
garraio mekanismoak ekiditen dituela [301 eta beraz, bororik gabeko laginek, ale handiak
izango dituzte eta gainera dentsitate baxuak. Faktore guzti hauek 4.8 . irudian ikusten
den mikroegitura eragin dezakete beraz .
Bilduma bibliografikoan ikusi den bezala, SiC-a sinterizatzeko boroa eta karbonoa
eranstea beharrezkoa da . 2 .15 irudian ikus daiteke, C kantitate jakin batentzat eta sinter-
tenperatura batentzat B eransketak dentsitatea igo arazten duela SiC-n duen solubilitate
limitera iritsi arte . Hortik aurrera B kantitate gehiagok dentsitate baxuagoak eragiten
ditu . Bestalde, karbonoa beharrezkoa den kantitatea gaindituz gero ez du, lortzen den
dentsitatean eragin kaltegarririk . Hau da, beharrezkoa den karbono kantitatea gainditzen
bada dentsitatea ez da baxuagoa izango (ik . 2 .14 irudia) .
5 .1 Taula behatuz, hauts bakoitzak duen C eta B kantitateek soillik ez dute
dentsifikazioarekiko hautsen portaera justifikatzen. Izan ere, gehigarri kantitateak soilik
ez dira erabakiorrak dentsifikazio prozesuan .
Hauts bakoitzaren taldea zein den kontutan hartu gabe, 4.9-4.12 irudietan ikus daitezken
dentsifikazio jokaerak bi mailatan sailka daitezke, DT-aren %95-etik gorako dentsitateak
zein sinter-tenperaturatan lortzen den arabera . Honela 2L, UF15 eta QD1 hautsek bere
taldea osotzen duten beste hauts guztiek baino 50 edo 100°C gehiago behar dituzte
dentsitate altuak lor ahal izateko . Hauts bakoitzaren Csoberakina erlazioa kalkulatuz,
Csoberakin B erlazio baxuagoa duten hautsek dentsitate altua (>DT%95) lor ahal izateko
bere taldea osatzen duten hautsek baino sinter-tenperatura altuagoa (50-100°) behar
dutela somatzen da . Csoberakina kalkulatzeko hauts bakoitzak duen C askea, B4C eta
erantsitako C-a kontuan hartu behar dira alde batetik eta bestetik hautsa Si02 modura
duen oxigenoa . Csoberakina, C totalari Si0 2 erreduzitzeko beharrezkoa den C-a kenduz
kalkulatu da .
5.5
5. Atala
maila
Izena (taldea)
C
B
O azalera C/Si02 CSoberakinsiB
5 .6
5.1 Taula.- C/SiO_, CB erlazioak erabili diren hautsetan
SG (A)
5.27 0 .4 0.9
16.5
15.62
9.88
CG (A)
4.3
0.5
13.3
UFB-10 (B)
2.65 0 .5
1
10
7.12
2.8
1 R1L (C) 4.10 0.4 1 .5 15 7.42 5 .53
R3L (C) 4.10 0.4 1 .2 12 9 .11 6 .32
QD2 (D)
4.15 0.5
QD3 (D)
2.65 0.5
UF15 (B)
3 .15 0.5
1 .5
15
5 .7
2.65
2
2L (C)
3 .15 0 .5 1 .2
12
7
3.27
QD1 (D)
4.10 0 .4
Beraz orain gehigarri bakoitzak duen eragina azter daiteke .
SiC kubikoaren kasuan, nabarmena da, eraldaketarik gabeko sinter tenperatura tartean
(1650-1850°C) lortzen diren mikroegitura fina (lp.m) eta ardazkidea dela . Gainera, nahiz
eta tenperatura igoera handia izan, alea ez da ia hazten . Ikusi denez, beharrezkoa dena
baino B gehiago erantsiz, dentsitatea baxuagoa izango litzateke, karbonoak ordea ez du
dentsitatean kalterik eragiten. Tenperatura baxuetan, 1750°C-tan laginaren porositate
berak, ale-hazkuntzari mugak jartzen dizkiola esan daiteke, 1850°C-tan dentsitatea
honezgero altua da eta porositatea beraz, guztiz ezabatu da . C soberakin kantitatea soilik
izan daiteke orduan ale-hazkuntza kontrolatzen ari dena . Beraz, tenperatura igoerak
eragin dezaken ale-hazkuntza karbonoa erantsiz kontrola daiteke, hau da karbono
soberakinak ale-hazkuntza ekidin dezake .
Tenperatura altuen tartean (1850-2050°C), non lortutako azken-dentsitateak kasu
guztietan DT-aren %95 etik gorakoak diren, lortzen diren azken-mikroegiturak lumen
sorrera eta ale-hazkuntza anomaloa dakar. Gainera mikroegitura ez da sinter-
tenperturaren menpeko (4 .16 irudiak) honek, 1900°C-tatik aurrera, lortzen den
politipoaren nuklezaioak (4H kasu honetan), faboragarriak diren puntu guztiak asetzen
Eztabaida
dituela aditzera ematen duelarik . Hau da, politipo hexagonalaren nukleazio eta
hazkuntzaz gertatzen den 3C- 4H eraldaketak, ale-hazkuntza anomaloa eta lumen
sorrera eragiten du . Tenperatura tarte honetan beraz, ez da karbono azken mikroegitura
kontrolatzen duena 3C-.4H eraldaketak baizik . Hau da, laginei 4H politipoaren
nukleaziorako beharrezkoa den energia termikoa ematen zaienean, ale-hazkuntza handia
eragiten da . 4.22 irudiko grafikan ikusten da hain zuzen, kubikoak diren hautsen kasuan
tenperatura jakin batetatik aurrera ale-hazkuntza handia eragiten dela eta beraz ale-
tamaina/tenperatura kurbak J forma hartzen du .
Bestalde, bai hasieran kristal egitura hexagonala hutsa zein a haziak dituzten eta
sinterizazioan zehar eraldatu diren hauts hexagonalen kasuan, Csoberakin/B erlaio
baxuagoak dituztenak (UF15, 2L) sinterizatzeko tenperatura altuagoa behar dutela
ikusten da. Gainera, C soberakin kantitate baxuagoak izatearen ondorioz, tenperatura
altuetan, alearen kontrola ez izaki, dentsitate baxuagoak lor ditzakete .
2L hautsak bere aldetik, bere taldekideek baino boro gehiago du . Boro kantitatea
tenperatura jakin batetan kritikoa izan daitekela ikusi da honezkero . Baino sinter-
tenperatura igotzen denean 2 .15 irudiko kurba eskubirantz desplaza daiteke eta beraz,
SiC-ak B gehiago onar dezake soluzio solidoan eta 2L motako hautsek tenperatura
gehiago behar dute sinteriza ahal izateko .
UFB-10 eta UF 15 hautsek berriz Csoberakin/B erlazioa oso antzekoa dute eta gainera B
kantitate berdinak dituzte . Hala ere UFB-10 hautsak tenperatura baxuagoan sinterizatzen
du UF15 hautsak baino . 3 .1 Taulan ikusten den bezala, UFB-10 hautsak ezpurutasun
gisa, 10 aldiz aluminio gehiago du UF15 hautsak baino . Aluminio, Si atomoak
ordezkatuz, SiC-an soluzio solidoak osatzen ditu eta honek SiC sare kristalinoaren
distortsioa eraginaz Si eta C-aren difusioa bultzatuz dentsifikazioa erraztu dezake .
Gainera SiC hautsetan aluminio eransketak, lortutako piezatan propietate elektrikoen
aldaketak eragiten ditu eta beraz, aplikazio elektronikoetarako kaltegarria izan daiteke .
Bestalde, ardazkideak diren mikroegiturak lortzen laguntzen du, [0001] norabidearekin
5 . 7
S. Atala
elkarzuta den norabidean ale-hazkuntzaren abiadura azkartuz eta [0001] norabidean
ordea motelduz .""- 62] Beraz 4H politipoaren agerpenak UF15 hautsan eta tenperatura
altuetan ale-hazkuntza anomaloa eta luma-egitura eragiten duen bitartean UFB-10
hautsan jokaera ezberdina erakusten du . Hauts honek izan ere oraindik ale tamaina txikia
mantentzen du, bai tenperatura altuetan ere. Alde batetik ale mugak lotzen dituen
karbono presentzia dela eta, eta bestetik mikroegitura honen sortzaile den aluminioaren
presentziagatik (4.17 irudia)
C taldeko hautsei dagokienez (R1L, R3L y 2L) bi hauts mota ageri da, alde batetik R1L
eta R3L hautsak eta bestetik 2L hautsa, non 2L hautsak duen C S°her3kjn/B erlazioa beste
biena (R1L, R3L) baino baxuagoa den eta sinterizazio tenperatura altuagoa behar duen .
Hauts hauetan 1750°C sinter-tenperatura inguruan, ale-hazkuntza anomaloa eta luma-
egitura duten mikroegiturak eragiten duen 3C->4H eraldaketa hasia izan arren, trinkoek
duten porositateak tenperatura altuagoetan gertatuko den ale-hazkuntza eragozten du .
Hau da tenperatura altuetan dentsitatea DT- %95 baino altuagoa denean, (1950°C gora
R1L eta R3L hautsen kasuan eta 2050°C 2L hautsaren kasuan) 3C->4H eraldaketak ale-
hazkuntza anomaloa eragiten du . 2L hautsaren kasuan duen B/C erlazioa altuagoa izanda
tenperatura baxuetan 3C->6H eraldaketa errazten da, eraldaketa honek hazkuntza
anomalorik eragiten ez duelarik 163] (M4) . Hala ere eraldaketa honek 6H politipoko kristal
poligonalak eragiten ditu (5 .4 irudia)
5.8
7,5 µm
5.4 Irudia . 2L lagina, 1950 °C-tan sinterizatua
5.2 . SINTERIZAZIOA FASE LIKIDOAN
5.2.1 . Y203+A1203
Eztabaida
SiC-a sinterizatzeko eransten diren gehigarriak eraginkorrak izan daitezen bi baldintza
bete behar dituzte. Alde batetik, berarekin erreakzionatuz SiC-a ez deskonposatzea [451
eta bestetik, SiC-a disolbatzeko gai den, eta kontaktu-angelu baxua duen behar adina
likido sortzea .
Y203 eta A1203 -ren aldibereko gehikuntza (C edo C-rik gabe) eraginkorra suertatzen da
hondar-porositaterik gabeko (4.33 eta 4.34 irudiak) eta ale-tamaina fineko laginak(4 .40
irudia) lortzeko .
Ytria eta aluminak urtze tenperatura altuko (1760°C) eutektiko bat sortzen dute, bai eta
1900°C arte egonkorrak diren Y3A15012 eta Y4A1209 kristal-egitureko faseak . Beraz,
SiC-aren tenperatura altuetako propietate mekanikoak, ez lirateke ale-arteko fase hauen
erabilpena dela eta bereziki minduko .
Beste ikertzaile batzuk egindako lanetan [46, 47, 501 eta hemen azaltzen denan (4.15 eta 4.16
taulak), Y203+A1203-z osaturik dagoen fase likido bat erabiliz sinterizatzen
direntrinkoetan agertzen den ale-arteko fasea YAG da.
Hala ere, 4.29 eta 4.33 irudietan azaltzen denaren arabera, non 64 eta 32 konposaketek
(YAG-aren konposaketa berekoak izanik) DT-aren %85-90-a baino dentsitate altuagoak
lortzen ez duten, konposatu hau soilik, SiC-aren erabateko dentsifikazioa lortzeko gai ez
dela adieraziko luke .
Lagin hauetan agertzen den ale-arteko fasea (4 .15 Taula) YAG-da eta lortzen den
dentsitate maximoa DT %83-90 artean dago hautsaren arabera . Dentistate hau
birantolakuntzaz lor daiteke eta nahiz eta birantolakuntzaz ere dentsitate altuagoak
5 .9
5 . Atala
espero zitezken, YAG-a oso biskosoa izan daiteke eta SiC-ren disoluzio edo/eta difusioa
ekidin dezake bigarren birantolaketa baten ondorioz dentsifikazio gehiago eragotziz .
Y203+A1203 sistema erabiliz hala ere, 4.29, 4.33 eta 4 .34 irudietan azaltzen direnemaitzek, 46, 23 konposaketen erabilpena (YAG-A120 3 tartean 2 .20 oreka diagraman),
edo hasierako nahasketetan C gehikuntza edo aldez aurretik enkapsulatu diren
laginengain presioa aplikatzeak (4.17 taula), Y203+A1203 duten laginetan dentsitatea
lortzea posible dela adierazten dute .
5.2.1 .1 . A1203-ren eragina
Aluminaren erabilpen soilak, SiC-a disolbatzeko gai diren likidoak sortuz, SiC laginetan
dentsitate altuak eragiten dituzte [631 [75 1 i 891 1901 . Alde batetik hau eta lortu diren emaitzek,A1203 eta Y203-ren arteko erreakioz, YAG-a lortzeko beharrezkoa dena baino A1203
gehiago gehitzea, SiC-ren sinterizaziorako mesedegarri izan daitekela aditzera ematen
dute .
YAG-a sortu ondoren gelditzen den A1203 soberakinak, 46 eta 23 konposaketen kasuan,
sinter-tenperatura baino tenperatura baxuagotan (1760°C), likidoa sortzen du . Likido
honen biskositatea baxuagoa izan daitezke eta SiC-aren dentsifikaziorako beharrezkoak
diren SiC-aren disoluzio eta difusioak erraz daitezke, dentsitate altuak lortuz (4 .33 eta
4.34 irudiak) . Ajay K . Misra-k 1901 dionez, karbono aktibitatearen arabera, SiC eta A1203
arteko erreakzioz 1947 eta 2127°C tenperatura tartean, SiC-A1 4C3j A1203-A14C3 eta Al
likidoak sor daitezke. Autore honen esanetan SiC-a hauetako edozeinetan disolbatzeko
gai dela froga daiteke
4.33 irudian 46 konposaketek, C izan edo ez, 1800° eta 1850°C artean dentsitate altuak
lortzen dituzte . Ez da ordea berdina gertatzen 23 konposaketekin non, nahiz eta sortzen
den likidoa SiC-aren sinterizazioa eragin dezaken, lortutako likido kantitatea ez da
nahikoa DT-aren %95-a baino gehiago lortzeko . 4.44 irudian ikusten den bezala lagin
5 .10
hauetan lortzen den mikroegiturak likidoz inguraturik dagoen ale-txikiko zonalde eta ale-
luzeko zonaldeak tartekatzen ditu .
SiC eta A120,-ren arteko erreakzioa oraindik ere nabarmenagoa da sinter-tenperatura
altuetan. Tenperatura hauetan (5 .1) erreakzioaren arabera, hegaskorrak diren SiO, A120
eta CO substantziak sortzen dira eta 4 .30 eta 4.35 irudietan ikus daitezken, eta A1203
kantitatearen proportzionalak diren masa galera handiak eragin .
SiC(5) + A1203(s) -* SiOcg + A120(g) + CO(g)
Sinterizazio tenperatura altuetan, espezie hegaskorren formazioak, materiaren garraioa
bapore-fasean eragiten du eta beraz laginen gainazalan SiC-kristal hexagonalen
hazkuntza (5 .5 irudian ikus daiteken bezala) . Gainazalean sortzen diren SiC ale
hexagonal hauek oso purutasun handikoak dira, bere formaren harabera eta beraz
aluminioak H2O-ren presentzian hidroxidoak osatuz deskonposa daitezken carburuak
osa ditzake. Beraz, ingurugiroko hezetasunarekin kontaktuan egonez gero,
deskonposaketa hauen bolumen aldaketak direla eta laginaren gainazala eror daiteke eta
5.6 irudian ikusten den bezala, lagina ondatu daiteke .
Tenperatura altuetan beraz (2000°C) masa galera itzelak sortzen dira eta dentsitatearen
txikiagotzea .
12 µm
Eztabaida
(5.1)
5.5 Irudia.-Q46 laginean, 1900°C-tan sinterizatu
5.6 Irudia. Makroskopikoki ikusita Q46-ondoren sortzen diren ale hexagonalak
Laginaren gainazal ondatua
5 . 1 1
5. Atala
5.2.1.2. Y 203 -ren eragina
Lehen ikusi den bezala A1203 gehigarri bakartzat erabiltzeak, SiC-aren sinterizazioa
eragin dezake . Y203-k ordea, bere urtze tenperatura altua dela eta, sinter tenperatura oso
altuen erabilpera bortzatuko luke sinterizazioa erraztuko luken likido bat sortu al izateko[SS] I"' . Bestalde tenperatura altu hauen erabilpenak SiC-aren deskonposaketa ere eragin
dezake .
2.20 irudiko oreka diagraman ikusten den bezala, hainbat Y203 + A1203 konposaketek
1760 °C-tan pisuan %60 A1203 + %40 Y2O3 duen eutektiko bat sortzen dute . Beste era
batera esanda, Y203 gehikuntzak SiC eta A1203 -ren arteko erreakzioa errazten du likido
tenperatura jetxiz. SiC eta A1203-ren arteko erreakzioaren ondorioz, lehen aipatu
likidoak sortzen dira (SiC-A14C3, A1203-A14C3, Al) eta beraz dentsifikazioa . Honela, 46
konposaketan bi baldintza hauek betetzen dira, alde batetik A1203 soberakinaren
presentzia eta bestalde eutektikoa sortzeko Y203 kantitate nahikoa .
Bestalde, tenperatura altuetan, 5 .1 erreakzioa edo 5 .2 erreakzioak direla eta A1203 galera
handiak pairatzen dira .
A1203 + C -> A120C + 02
(5.2)
A120C + 2Y20. -> A12Y6C + 5/2 02
Y203 -k, sortu den A1 2OC-rekin erreakzionatuz (5 .3 erreakzioa) Al 2Y6C karburoa sor
dezake Y203 edukin altuko konposaketetan (64, 32) eta bereziki karbonoa soberan duten
laginetan ikusten den bezala. Hau da, sinter tenperatura altuak erabiltzen direnean
(2050°C), SiC-z gain X-izpietan (5 .7 irudia) identifikatu diren kristal-egitureko faseak
(AIY3Co.s) karburoa eta A12Y409 faseak izan dira hain zuzen 4 .15 eta 4 .16 taulak
5 . 1 2
(5.3)
x10 31 00
I Sample : QC64 2.000 PULIDA File : SYStCERAMICO :[ EIKARHIIQC6ERP .SM
0 .81
0 .64
0 .49
0 .36
0 .25
0 .16
0 .09
0 .04 -
D .Ol h .
20 .0
25.0 30 .035.040.0
6
4H
6H
i
v ŕv
5.2.1 .3.Karbonoaren eragina
o AMY3C0,5 '6H4H 6H
o AI 2Y 409
,H~
~H
45.0 50 .0
5.7 . Irudia.- 2000°C-tan sinterizatutako 64 laginaren X-izpi difraktograma
Eztabaida
Karbono gehikuntzaren ondorio nabarmena da Y 203-n aberatsagoak diren konposaketek
(64 et 32) DT-aren %95-a baino gehiago lor al izatea . Hau da, karbonorik gabe, bakarrik
birantolakuntzaz dentsifikatzen ziren laginen dentsifikazioa .
C gehikuntza, alde batetik SiC-A1203 muga-gainazalaren egonkortasun tenperaturaren
beherapena eragin eta bestetik C eta A1203 -ren arteko erreakzioz A14C3 sortzen du,
YAG-a formatu aurretik . A14C3-ren presentzia lagungarria da SiC disolbatuko duten eta
beraz dentsifikazioa eragingo duten likidoak sortzeko .
Bestalde karbonoak, prozesuen tenperatura jetxi araziz, hauen abiadura azkartzen du eta
beraz honengatik Q46 laginetan neurtu den ale-tamaina handiagoa da karbonoa duten
laginetan (4.40 irudia) ez dutenetan baino . Eraldaketa prozesuaren tenperatura ere jeisten
da eta beraz 4H politipoa, bai 3C-.4H eraldaketa zuzenez (SG hautsa) edo 6H-+4H
eraldaketaz (QD 1 hautsa) tenperatura baxuagoetan agertzen hasten da . (4 .15 eta 4.16
taulak)
5 . 1 3
5 . Atala
Karbonoak, gainera, beroketa prozesuan zehar, SiC-aren gainazalean dagoen Sio z-arekin
erreakzionatzeko joera du . 4.35 irudian 1800°C-tik behera C duten laginen masa galera
C-rik ez duten laginetan baino %2 altuagoa da . C eta Sioz-aren arteko erreakzio honek
1867°C-arte egonkorra den mullita sorrera galeraziko luke, A1203 libre utziz .
5.2.1 .4.Hlasierako hautsaren eragina
Orain arte aipatu ez den arren, SiC-(3-z, hau da SG hautsaz lortu diren nahasketen
dentsifikazioarekiko portaera ezberdina dela aipatzea, garrantzi handikoa da .
Izan ere bi ezaugarrik bereizten dute hauts hau (SG) QD 1 hautsetik . Alde batetik duen
kristal egitura kubiko purua (3C) eta bestetik hautsean dagoen karbono-aske kantitate
altua (3 .1 taula)
4.31 irudian azaltzen denez, hauts honekin lortutako laginek, S46 1750°C-tan izan ezik,
ez dute DT-aren %90-a baino goragoko dentsitaterik lortzen . Bestalde, A1203 edo A1203
+ C-ak eragiten duten 3C- 4H eraldaketak (SSC-ren sinterizazio atalean ikusi den
bezala) ale-hazkuntza bultzatzen du eta eraldaketa honen ondorioz sortzen den 4H
politipoak dentsifikaziorako kaltegarria da dentsitatea lortu aurretik agertzen bada (4.42
irudia) . Hau da, beste era batera esateko, hauts moeta honekin dentsitate altuak lor al
izateko sinterizazioa 3C->4H eraldaketa gerta aurretik egin behar da, eta bestetik
karbono gehikuntza gehiagorik gabeko laginak erabili behar dira (4 .35 irudia). Kasu
honetan, karbono gehiago gehitzea kaltegarria da, izan ere karbonoak eragingo luken
ale-hazkuntzak (QD 1 hautsaren kasuan 4.40 irudian ikusi den bezala) are gehiago
ekidingo luke dentsifikazioa . Hau da, sistemari, eraldaketarako beharrezkoa den OG*
gaindituko duen energia termikoa ematen bazaio 4H politipoa kasu honetan nukleatu eta
haziko da eta gainazalan barrena materia garraio mekanismoak aktibatuko dira ale
hazkuntza eta dentsifikazio eza eraginaz .
5 . 1 4
Bestalde, lagin enkapsulatuengain HIP bidez presioa aplikatuz dentsitatea lortu da erabili
diren Y 203+A1203 bi konposaketetan (46 y 64) (4 .17 taula). Honela lortu diren laginek
bere hasierako kristal-egitura mantentzen dute (4 .53) hau da, sinterizazioa 3C4H
eraldaketaren presentziarik gabe burutu al izan da . Edo beste era batera esateko,
presioak 3C-*4H eraldaketa ekiditen du . Tenperatura eta presio kanstantepean gertatzen
diren prozesuetan :
AG*=AU+POV-TA S
Eztabaida
(5.4)
eta beraz sinter-tenperatura jakin batetan, eraldaketaren OG* handituko da presioa
handitzen denean eta beraz presiorik gabe eraldaketa jasaten zuen SiC-ak ez du orain
eraldaketarik jasango politipo berriaren hazien ezean .
64 konposaketen kasuan, alde batetik karbono askea eta bestetik Si02-A1203-Y2O3
diagrama ternarioan (2.20 irudia) ikusten den bezala, kapsulatik ekar daiteken Si02-k
likidoaren biskositatea alda edo likidoa tenperatura baxuagoetan sorrerazi ditzake, ,
dentsitate altuagoak lortzen lagunduz .
5.2.2. Y203 + S102 ETAY203+S102+A1 203
Bai Y203+ Si02 (C, C605 edo C-rik gabe, 605), zein Y203+A1203+SiO2 (625)
konposaketek, aldez aurretik enkapsulatu diren laginengain, presioaren aplikazioa behar
dute dentsitate altuak lor al izateko .
Enkapsulatu gabeko laginetan, presiorik gabeko sinterizazioan zehar, 605 hauts-ohea
erabiliz edo erabili gabe, Si02 hegaskortzen da, bai karbonoarekin erreakzionatuz (5 .5)
bai SiC berarekin erreakzionatuz (5 .6) .
Si02 + C --~ SiO + CO
2 SiC + Si02 ->3 Si + 2 CO
(5.5)
(5.6)
5 . 1 5
5. Arala
Beraz, era honetara laginetan Y203 bakarrik edo Y203 eta A120_ gutxi geldituko da, eta
ikusi den bezala Y 203-n aberatsak diren konposaketak ez dira SiC-a sinterizatzeko gai .)55, 911
Kapsulen erabilerak Si02-aren hegaskortzea ekiditen du eta beraz SiC-aren sinterizazioa
posible da Yz03+ Si02 eta Y20_+A120;+Si02 likidoen formazioz . Lehengo kasuan,
hoztean, sortzen diren ale-arteko faseak kristal-egitura dute eta bigarren kasuan berriz
A1203-k eraginda %37Y, %42Si eta %2 1 Al atomo konposaketa duten beirak )9zi ) 93) ) 94)
4.52 irudia .
6% Y203 + 5% Si02 (605) konposaketetan sortzen diren faseak karbono edukinaren
menpekoak dira . Honela, hasieran %4 karbono erantsi zaien laginek, karbonorik erantsi
ez zaien laginek baino, Y-an aberatsagoak diren faseak sortzen dituzte . Izan ere posible
da enkapsulazio prozesuan zehar karbonoa eta Si02-a erreakzionatzea (5.5 erreakzioa),
nahasketa Si02-an pobreago bihurtuz, eta 2.20 irudiko oreka diagraman ikus daiteken
bezala Y203-runtz desplazatuz (4.46 eta4.49 irudiak) Fase honen itxura bereziak (5 .8
irudia) osagai bat baino gehiagoz osaturik dagoela aditzera ematen du eta beraz, posible
da kristal-egitura ezberdinetako Y203 + Y2SiO5 nahasketak izatea . Fase honen
identifikazioa ez da posible izan ez X izpi ez elektroi difrakzio teknikak erabiliz (4.47
irudia)
a)
5 . 1 6
0,3 .~tm b)
5.8 Irudia.- TEM kidez lortutako C605 laginen mikroegitura (1750°C)
0,2itm
Karbonoa duten laginak bestalde, Si-an aberatsagoak diren faseak sortzen dituzte, kasu
batzuetan Y4,67(Si04)30 bezala identifikatua izan delarik (4.50 irudia)
5.3 . SIC-AREN EGONKORTASUNA GOI TENPERATURATAN
5.3.1 . ATMOSFEA OXIDATZAILEA
Lehen aipatu den bezala oxidatzeko erabiltzen diren laginak guztiz dentsoak dira
sinterizatu ondoren (4 .9-4.12 irudiak)
Egoera solidoan sinterizatutako laginak duten mikroegiturak ezberdinak dira bi
hautsetan. UFB-10 hautsaren mikroegitura diametro-baliokidean 3pm duten ale-txiki eta
ardazkidez osaturik dago (4.16 irudia), SG hautsak ordea 1950°C-tan ale-hazkuntza
anomaloa jasaten du eta beraz aleek luma itxuta eta 65p.m-tako diametro-baliokidea
dute.(4.17 irudia) .
Fase likidoan lortu diren materialek ordea, antzeko mikroegitura dute bi kasutan . hau da,
ale-txikiz eta ardazkidez osaturiko materialak dira . Erabili diren bi material hauen
ezberdintasun nagusia ale-arteko faearen izaeran datza . Y203+ A1203 dun laginen ale-
arteko fase YAG (Yttrium Aluminium Garnet) den bitartean, Y203+SiO2 duten laginek,
erantsitako C kantitateaen arabera Y 203+Y2SiO5 edo Y4,67(SiO4)30 ale-arteko faseak
dituzte (4 .47 eta 4.50 irudiak)
Oxidazio prozesuan zehar laginek jasan dituzten masa irabaziak neurtu ondoren, lagin
guztien oxidazio zinetika parabolikoa dela esan daiteke . Hau da, SSC-z eta LPS-z
sinterizatutako materialen oxidazioa denbora aurrera doan heinean pasibatu egiten da.
4.54 eta 4 .61 irudietan SSC eta LPS materialen oxidazio-ondorengo masa irabaziak ikus
daitezke. Lehenego kasuan 1400-1600°C artean eta bigarrenean 1300-1500°C artean. Bi
Eztabaida
5 . 1 7
5 . Atala
irudietan argia da masa irabaziaren eta denboraren arteko erlazio parabolikoa . Ardatz
bertikalen eskaletan ohartuz, egoera solidoan sinterizatutako materialaren
oxidazioarekiko erresistentzia, fase likidoan sinterizatzen denarena baino altuagoa dela
ikus daiteke. Azpimarratu beharrekoa da tenperatura altuetan (1600°C), denbora luzez
(80 ordu) oxidatu ondoren ere, SSC-ak jasaten duen oxidazioa bereziki txikia dela, LPS
materialak tenperatura baxuenetan (1300°C) jasaten duen oxidazioa baino baxuagoa
alegia. Honek argi adierazten du, aldez aurretik soma ziteken bezala, egoera solidoan
sinterizatutako Sic materialaren oxidazioarekiko erresistentzia, fase likidoan
sinterizatzen dena baino askoz ere hobea dela .
Aurreko ondorioa 4.56 irudian ere azaltzen da, non Arrhenius motako grafikan, erabili
diren lau materialen oxidazioaren aktibazio energiak irudikatzen diren . Zuzen hauen
maldatik (4.1) formula erabiliz lortu diren aktibazio energiak 300 eta 670 kJ/mol artean
daude LPS materialentzat eta 200-300 kJ/mol SSC materialaren kasuan
4 .56 irudian, erabili diren LPS materialen oxidazioarekiko joera adierazten da . Bi
material hauetan lortu diren zuzenen maldak ezberdinak dira eta beraz bi zuzenak
1400°C-tan ebaki egiten dira . Ebakidura puntu honek bi tenperatura tarte bereizten ditu
T=1400°C-tik gorako tenperatura tartea, non Y203+SiO2 konposaketa oxidazioarekiko
erresistenteagoa den eta 1400°C-tik beherako tenperatura tartean berriz, Y 203+A1203
konposaketak jasaten duen masa irabazia eta beraz oxidazioa txikiagoa .
Bi material hauek oxidazioarekiko erresistentzian duten ezberdintasuna, bere gainazalean
sortzen diren geruza oxidatuen ezaugarrien ezberdintasunen ondorio izan daiteke .
Oxidazio-tenperatura baxuen tartean Y 203+A1203 duten laginek erresistentzia hobea dute
eta hau sinterizazioan lagin hauek sortu duten YAG ale-arteko fasearen oxidazioarekiko-
5 . 1 8
5.3.1 .1. Fase likidoan sinteriztutako SiC-ren oxidazioa
Eztabaida
erresistentzi onean oinarri daiteke . Izan ere, material honek propietate onak ditu
atmosfera oxidatzailetan . Gainera Y203+Sioz duten materialek sortzen dituzten ale-
arteko faseak ez dira egonkorrak Si02-ren presentzian . Beraz, SiC-ren oxidazioaren
ondorioz sortzen den Si02-ak (5 .7), (5 .8) eta (5 .9) erreakzioak jarraituz ale-arteko
fasearekin erreakzionatuko du, 4.63 irudian ikus daiteken itrio disilikatu (Y2Si207)
kantitate handiak sortuz eta beraz sortu den Si02-ak ez du kasu honetan geruza-babesle
modura jokatzen .
Y203 + 2 Si02 -> Y2Si207
Y2SiO 5 + Si02 -> Y2Si207
(5.8)
Y4s7(Si04)3 0 + Sioz - Y2Si207
(5.7)
(5.9)
Oxidazio-tenperatura altuen tarteko jokaera berriz alderantzizkoa da . Tenperatura tarte
honetan A1203 duten laginetan sortzen diren geruza oxidatuak likidoak dira (4.64 irudia)
eta beraz oxigenoarentzat iragazkorragoak .
4 .63-4 .64 irudietan LPS material oxidatuaren geruza oxidatuen mikroegiturak ikus
daitezke . Y203 eta A1203 duten laginetan, oxidazio-tenperatura baxuetan (1300°C), alde
batetik, fase kristalino modura a-kristobalita, Y2Si2O7 kristal poligonalak eta A1 2Y4O9
kantitate txikiak eta bestetik aluminioan aberatsa den beiraren egitura duen fase bat
sortzen da. Tenperatura honetan, eta YAG-aren egonkortasunari esker, Y2Si2O7 kristal
gutxi sortzen da geruza oxidatuaren gainazalean . Oxidazio tenperatura igotzen bada,
geruza oxidatua katioi metalikoetan (Y3+ y A13+ kasu honetan) aberasten da eta beraz
sortzen den Y2Si 2O7 kristal kopurua eta aluminioan aberatsa den fase bitreoa-ren
kantitatea handitzen da. 1450°C-tan berriz, oxidazio produktua guztiz likidoa da, eta
solidotzean beiran bihurtzen da . Beira hau da hain zuzen tenperatura honetan geruza
oxidatuaren gehiengo osagaia .
5 . 1 9
5. Atala
Gainera, oxidazio tenperaturan, , Y eta Si espezie atomikoen fluxua dela eta, aldez
aurretik sortu diren Y2Si2O7 kristalak hazi egiten dira. Honela itrio gradiente bat sortzen
da likidoan, prezipitatuen inguruan Y-an aberatsago izanik. Hoztutzerakoan, Y-an
aberatsagoa den zonalde honetan, hau da, prezipitatuen inguruan, dendrita forma duten
Y2Si2O 7 kristal berriak hazten dira. Honela Y2Si2O7 prezipitatuen inguruan gelditzen den
fase bitreoa aluminioan aberatuz (4.65 irudia) .
5.3.1.2 . Egoera solidoan sinterizatu den SiC-ren oxidazioa
LPS materialaren oxidazioaren kasuan, ale-arteko fase ezberdinak izateagatik aktibazio-
energia ezberdinak lortu dira . Egoera solidozko materialen kasuan berriz, experimentalki
lortu diren puntuak ia lerro berean aurketzen direla esan daiteke . Baina, hala ere, nahiz
eta bi materialek jasan dituzten masa irabaziak oso antzekoak izan, bien artean dauden
ezberdintasunak ustegabekoak ez direla kontsidera daiteke . Izan ere, laginak bi hauts
ezberdinetatik lortuak dira eta UFB-10 hautsak duen oxidazioarekiko erresistentzia
txarragoa, hauts honek duen ezpurutasun kantitate handiagoak eraginda izan daiteke (5 .2
taula) .
5.2. Taula- UFBIO eta SG hautsen ez-purutasun kopurua
5 .20
Hautsa
Ez-purutasuna (%wt)
Si 0.03
Superior Graphite (HSC059(s))
A1 0.018
Fe 0 .013
Si 0 .19
UFB-10
A10.11
Fe 0.03
Eztabaida
Gainera, bi material hauen geruza oxidatuetan aurkitu den osagai bakarra bi kasuetan a-
kristobalita izan den arren, morfologia ezberdina du batean eta bestean (4.59 eta 4 .60
irudiak) .
Bi materialetan, Si02 geruza jarrai bat sortzen da . Nahiz eta ale-tamainan, edo sakoneran
ezberdintasunak eduki, bi kasuetan tontor edo "ledges" motako hazkunta laterala dute .
Hazkuntza lateral hau, a-kristobalita (tetragonala) eta substratoa osatzen duen a-SiC
(hexagonala)-ren arteko kristal-egitura ezberdina dela eta argi daiteke .
Irudi hauetan ikusten den bezala, geruza oxidatu hauek tontor edo "ledges"
makroskopikoz osaturik daude . Ledge hauen formak ezberdinak dira eta irregularki
sakabanatuak daude espazioan . Hau, geruza oxidatuaren eta substratoaren arteko
gainazalaren natura inkoerentearen eta aldi berean difusio abiadura isotropikoen ondorio
izan daitekelarik I951
I961 Bi geruza hauen arteko ezberdintasun nabarmenena, kasu
bakoitzean ageri diren ledge kopurua eta hauen tamainari dagokio . Ezberdintasun hauek
bi arrazoi ezberdinen erantzun izan daiteke . Alde batetik hasierako hautsaren ez-
purutasun kantitatea eta bestetik sinterizatutako laginen mikroegitura ezberdina .
Lehenengo posibilitateari, hau da ezpurutasun kantitateari dagokionez, G.C Weatherly-k[95] ledges mekanismoan, ezpurutasunek garrantzi handia dutela dio . Beraz, UFB-10
hautsak duen ez-purutasun kantitateak kristobalita aleen hazkuntza azeleratu dezake .
Bestalde, hasierako materialaren mikroegiturei dagokionez, (4.16 eta 4 .17 irudiak),
geruza oxidatuek duten ale tamaina ezberdina, mikroegitura ezberdin hauek eragin
dezaketen kristobalita aleen nukleazio eta hazkuntza abiaduraren ondorio izan daiteke .
UFB-10 laginetan sortzen diren "ledges" edo tontorrak handiagoak dira . Oxidazioaren
hasierako ataletan Si02 aleen talkaz sortzen diren tontorrak aluminiozko alezaioetan
gertatzen den bezala 1 971 ale-hazkuntza abidadura azkarrak eragiten dituzte eta
beraztontor guztiak desager daitezke aleen hazkuntza soilaz . guztiak desagertu arte .
5 . 2 1
5. Atala
5.3.2 . NITROGENOAN
3SiC+2N2 aSi3N4-(3+3C
(5.10)
3 SiC + 2 N2 <:> Si 3N4- a + 3C
5.3.2.1 . SiC Hutsa
Lan honetan lortu diren emaitzen arabera, SiC-a nitrogenoan sinterizatu ondoren, orekan
aurkitzen diren faseak, Si 3N4-a eta f3, SiC eta karbonoa dira (4 .69 irudia). Erabilitako
tenperatura tartetan fase hauen arteko oreka adierzaten duten ekuazioak honakoak dira :
Wada eta laguntzaileek 1981 proposatzen duten eta Hendry-k 99j jasotako datoen arabera,
konposatu hauen formaziorako energia askea, kJ/mol-etan adierazia :
AG°(Si3N4-a)= -1167,3 + 0,594T
AG°(Si3N4-f3) =-936+0,45T
AG°(SiC) = -72,832 + 0,007T
Eta honela, 5 .11 ekuazioa 5 .12 ekuazioan berridatz daiteke :
2,85 SiC + 1,875 N2 + 0,0375 02 -> 1/4 Si 11 , 4N1 50°,3 + 2,85 C
(5.12)
eta Si3N4 eta SiC-ren aktibitateen arteko erlazioa N2 presio partzialaren arabera 5.13 eta
5 .14 ekuazioekin adieraz daiteke :
"a s ;,l r,_ R l
37480
(5.13)log
3
-22.41-3 log a, +2 logPNîas ;c j
T
ra Si 3N4-a
log
, 85as;c j
5 .22
50133
(5.14)- 29.99 - 2.85 • log a,, + 1 .875 • log PN , + 0.0375 • log Pot
T
Bi erlazio hauen adierazpen grafikoa, lan honetan erabili diren bi presiorentzat
kalkulatuta (PN2= 0,5 eta 50 MPa), 5 .9 irudian ikus daiteke . Kasu honetan, grafitozko
arrago eta kalefaktoreak erabili direnez, karbonoaren aktibitatea a, =1 kontsideratu
delarik.
2100
1700
130010
1
1
1
0
13
i-104
4.5
5
5.5
6
6.51/T •1 0-4(K)
5.9 Irudia. SiC eta Si3N4 oreka diagrama
.o
Eztabaida
5 .9 irudian, 0,5 MPa N2-ko presioan, 1783K (1510°C) tenperaturatik gora, egonkorra
den fasea SiC-a dela ikus daiteke. Honengatik, eta 4.22 taulako emaitzak kontutan
hartuz, argi ikusten da aktibazio-termikorako energia behar bezain altua den arren, 0,5
MPa N2, ez da 5.9 eta 5 .10 ekuazioak eskubira desplazatzeko nahikoa. Tenperatura
baxuagoetan ordea (1400 edo 1450°C-tan) fase egonkorra Si 3N4 izango litzake, laginan
egonez gero. Baina hasierako laginek, SIC besterik ez dutenez, ez da inongo aldaketarik
somatzen (4.22 taulan, 0,5 MPa N2-ri dagokion zutabea) . Beraz, tenperatura hauetan ez
da, SiC-a Si 3N4-an bihurtzeko, behar den energia termikoa sortzen .
5 . 23
5. Atala
Bestalde, 50MPa-eko presioan, Si3N4-~ 1930°C-ak arte egonkorra dela ikus daiteke eta
beraz Si3N4-ren formazioa justifikatuko litzateke . Kasu honetan ere, ez da inolako
aldaketarik somatzen 1400 eta 1450 °C-tan. Hau da presio altuak eraniltzen diren arren,
tenperatura baxuetan laginei "emandako" energia termikoak ez du SiC eta N2-ren arteko
erreakzioa eragiten .
1800°C-tan berriz, SiC-a ez da egonkorra N2 atmosferan eta (5 .10), (5 .11) erreakzioen
arabera Si3N4 eta C sortzen dira . Laginaren gainazalean neurtzen den SiC kantitateak,
hozte prozesuan SiO eta C-ren erreakzioz sortutakoak izan daiteke . Izan ere, labean SiC
laginekin batera, SiC+Si0 2 laginak eta grafitozko arrago eta kalefaktoreak bait daude .
Bestalde presioaren eragina, laginaren barnean sortzen den Si 3N4 kantitateen arabera ere
azter daiteke. 1750°C-tan sinterizatzen denean, N2 5MPa-etan bihurketa prozesua hasten
da eta lortutako konpositeetan SiC/Si3N4 proportzioa 85/15-ekoa da . Presio altuagoetan
berriz, 50 MPa N2 , SiC-ren nitrurazioa altua da eta lortzen diren konpositeen SiC/Si3N4
proportzioa 20/80-koa da. Emaitza hauek 5.9 irudiko kalkuloekin bat datozela esan
daiteke .
SiC-ren nitrurazio prozesuan aipagarria den aspektu bat laginetan aurkitzen den Si3N4a
kantitate altua da . Gainera, 5 .3 taulan ikusten den bezala, Si 3N4-a kantitatea presioa eta
tenperatura igotzen diren eran handitzen dira . 1800°C eta 50 MPa-etan laginaren
gainazalean sortzen den Si 3N4 guztia a da .
5 . 24
Tenp . (°C)
Presioa (MPa)
0 .5
5
50
75
200
1400
EA
EA
EA
1450
EA
EA
EA
1500
EA
G-21-14
I-7-12
1750
EA
G-48-25
G-60-23
I-7-8
I-61-26
1-59-30
1800
G-100-0
1-65-35
1850
EA
5.3. Taula.- Si3N4-a eta f3 kantitate erlatiboak
Eztabaida
EA=Ez dago aldaketarik, G= Gainazala, I= Barrua . Lehenengo zenbakia Si 3N4-a kantitateari dagokioeta bigarrena Si3N4-(3-ri
Ezagutzen diren datoen arabera, jokabide hau ez da espero zitekena, izan ere erabilitako
lan baldintzetan Si 3N4-13, termodinamikoki Si3N4-a baino egonkorragoa izango
litzakelako . Bibliografiako datoen arabera, lortu diren oreka diagramek (5 .10 irudia) ere,
hau bera adierazten dute 11001 .
Si3N4-a eta /3 faseen egonkortasun tarteen arabera, lan honetan erabili diren baldintzetan
Si3N4-(3 aurkitzea litzateke normalen . Behaketa experimentalak eta teoria kontraesanak
direnez, Si3N4-(3 haziak ez daudenean, ondorioa, hau, zuzenean nukleatzeko gai ez dela
izango da. Beraz Si3N4-a-ren formazioa beharrezkoa izango da eta ondoren a-*(3
eraldaketak aurrera egin dezake . a->J3 eraldaketa ordea faktore zinetikoen menpe dago
eta beraz, Si 3N4-a fase metaegonkor bezala aurkitzea posible da, hala gertatzen den
bezala .
Argudio hauek kontutan hartuz, Si3N4-a fase metaegonkor bezala kontsideratuz eta
Si3N4-(3-ren datoak kontuan hartu gabe, Si 3N4-a-ren oreka tarteak berriz kalkulatu dira .
Emaitzak lerro hautsietan 5 .10 irudiko diagrametan irudikatzen dira . Experimentalki
lortu diren emaitzak diagrama berri hauekin konparatzen badira, bat datozela esan
5 . 25
5 . Atala
daiteke eta berza kalkulo teorikoek behatutakoa justifikatu dezakete . Ondorio modura,
SiC-ren nitrurazio produktua Si 3N4-a da eta honen eraldaketaz Si3N4-13 sortzen da .
5 . 26
o
-10
-30
-10
-30
200015001100
Si0 2
4
Sit N2 O
p-sic
13-&3 N4
4
5
6
7104/T (K')
200015001100
Si0 2
Sit N2 O
3,Si3 N4
5
6
7104/T (K')
(Y--Si3 N4
5.10 Irudia. Si-C-N-O oreka diagramak, oxigenoaren presio partziala etatenperaturaren arabera . a) 0,5MPa eta b) 50 MPa N2 presiotan
Si3N4 + Si02 -> Si 2N2O
5.3.2.2.SiC gehigarriekin
5.3.2.2.1 .SiO2
Eztabaida
Silizearen nitrurazio zuzena ondorengo ekuazioan adieraz daiteke :
2 SiO2 + N2 -> Si2N20 + 3/2 02
(5.15)
Erreakzio hau, batez ere tenperatura baxuetan eta Si02 kantitate handiak daudenean
gertatzen da (4.77 irudia) . Sinter.tenperatura igotzen bada, Si3N4-a sortzen da gehienbat .
Bestalde, tenperatura altuetan Si 2N2O-ren sorrerak beste bide bat izan dezake, hau da,
lehendabizi, Si 3N4-ren sorrera eta ondoren honen erreakzioa Si02-rekin 5 .16
erreakzioaren arabera :
5.3.2.2.2. A1203
(5.16)
eta beraz, Si3N4 eta Si2N2O kantitate erlatiboak hasierako hautsei erantsi zaien Si0 2
kantitatearen araberakoak izango dira .
Si02 asko duten laginetan, garrantzi handia du laginak inguratuz aurkitzen den karbonoa
(arrago eta kalefaktoreak) izan ere bi hauen erreakzioz SiO eta/edo CO substantzi
hegaskorrak sor daitezke eta beraz, masa galera handiak . Masa galera hauen ondorioz,
Si02 duten laginak (4 .75 irudia) Si2N2O dute fase nagusitzat eta dentsitate baxuak
dituzte .
A1203-ren gehikuntza dentsitate altuko laginak sortzeko mesedegarria da (4.66 irudia)
Sialon eta Si 3N4-ren sinterizazioan gertatzen den bezala 11011
5 .27
5 . Atala
Gainera alumina gehikuntzak a->R eraldaketa errazten du eta beraz, lortzen diren
konpositeak SiC/Si 3N4-J3 motakoak dira (4 .72 irudia). Hau da, A1203-k, a-*f3
eraldaketak behar duen aktibazio-energia gutxiagotzen du . A1203-k dentsifikazioa zein
eraldaketa errazteak, materiaren garraio mekanismoak errazten duela aditzera ematen du .
A1203-k biskositate baxuko likido bat sor dezake eta beraz Si3N 4-ren disoluzio-
birprezipitazio prozesuak
TEM bitartez burutu diren analisiek ordea, ez dute aluminioan aberatsa den ale-arteko
faseren berri ematen . Hala ere, aluminioak SiC edo Si 3N4 sareetan duen disolbagarritasun
handia ezaguna da eta beraz Al ioiak sare hauetan aurki daitezke .
Lan honetan aipagarria den beste aspektu bat, beste autore batzuek diotenaren aurka [100I
11021 Si3N4-13 hazirik gabe, eraldaketaz, fase honen sortzea posible dela frogatzen duela da .
Hau da, a-> 3 eraldaketak ez duela Si 3N4-(3 ren haziren beharrik, eta beraz Si3N4-a-an
nuklea dezake zuzenean .
5 .2 8
ONDORIOAK
6 . ONDORIOAK
Lan honen ondorio garrantzitsuenak honakoak dira :
1 .-SiC sinteriza ahal izateko karbonoa erantsi behar zaio . Nahasketaren homogenotasuna
garrantzi handikoa izaki, karbonoaren eransketa erretxina likido eran egitea komenigarria
da.
2 .- SiC tenperatura altuetan sinterizatuz gero ale-hazkuntzarako joera handia du . Ale-
hazkuntza, bereziki 3C->4H eraldaketa agertzen denean nabarmentzen da .
3 .- Fase likido baten presentzian posible da SiC-a sinterizatzea . Presiorik gabe egiten den
sinterizazioan, erabiltzen den fase likidoak behar adina A1203,kantitate izan behar du .
Honek SiC-rekin erreakzionatuz disoluzioa eta difusioa erraztuko duten likidoak sortzen
ditu. Sinterizatu ondorengo ale-arteko faseak tenperaturarekin aldatzen dira . Honela
1850°C arte YAG sortzen den bitartean, tenperatura altuagotan A1Y 3Co,5 eta A12Y4O9
sortzen dira.
4 .- HIP bidez sinterizatuz gero, Y203 Y Si02 erantsiz ere dentsitate altuak lor daitezke .
Konposaketa hauek sortzen dituzten ale-arteko faseak kristal-egitura dute, eta laginen C
kantitatearen menpekoak dira . Gehigarri hauei A1203 eransten bazaie, sortzen diren ale-
arteko fasean amorfoak izango dira .
5 .- Fase likido baten presentzian sinterizatzeko behar den A1203 edo Al-ak, 3C->4H
eraldaketa eragin dezakete . Egoera solidozko sinterizazioan gertatzen zen bezala
eraldaketa dentsifikazioaren aurretik gertatzen denean ale-hazkuntza eragin daiteke
materia garraioa gainazalan zehar mekanismoaz eta beraz, laginak ez dira dentsifikatuko .
6.-Egoera solidoan sinterizatutako laginen oxidazioarekiko portaera fase likido baten
presentzian sinterizatutako laginena baino askoz ere hobea da . Oxidazio produktua
orokorrean kristobalita-a da. Fase likido baten presentzian sinterizatutako laginen
oxidazio produktuak gehigarrien menpekoak dira .
7.- SiC-ren nitrurazioz SiC-Si3N4 kompositeak lor daitezke . Konposite hauen ale
tamaina nanometroaren tartean dago . Gainera, nitrurazio prozesuan zehar jasaten duten
masa irabaziak direla eta, lortzen diren laginek ez dute bere dimentsioen murriztapenik
sufritzen .
8.- SiC-ren nitrurazioaren ondorioz Si_N 4-a sortzen da. Honek a-> 3 eraldaketa jasan
dezake, batez ere A1203 ren presentzian .
9 .- Si 3N4-a-tik habiatuz, nukleazio eta hazkuntza mekanismoen bitartez Si 3N4-13 lor
daiteke, azken honen hazi ezean .
IRADOKIZUNAK
7. IRADOKIZUNAK
1 .- Ekoiztutako materialek tenperatura altuetan izan ditzaketan propietate mekanikoen
ikerketa sakona eta batez ere fase likido baten presentzian sinterizatu diren materialen
aplikazioen
2.- SiC+N2-*Si3N4+C erreakzioaren ondorioz laginetan gelditzen den, partzialki
grafitizaturik dagoen karbonoaren ezabaketa . C-aren eta eransten diren beste gehigarrien
arteko erreakzioz lor daitezken nanokonposite berrien ikerketa
3 .- Erabili diren materialen korrosio mekanismoen ikerketa .
4.- Injekzio moldeaketaz SiC-ren erabilera .
BIBLIOGRAFIA
BIBLIOGRAFIA
1 . Y. Inomata. "Crystal Chemistry of Silicon Carbide" Silicon Carbide Ceramics-1 .Fundamental and solid reaction . Ed. by S . Somiya and Y. Inomata. Elsevier AppliedScience. (1991)
2 . W.F . Knippenberg, Growth phenomena in SiC. Philips . Res . Rep. ,18,P.161-274(1963)
3 . Y. Inomata, A. Inoue, M.Mitomo and H. Suzuki. Relation between growthtemperature and the structure of SiC crystals grown by the sublimation method .Yogyo-Kyokai-Shi, 76, p.313-319 (1968)
4 . M. Srinivasan . "The Silicon Carbide Family of Structural Ceramics" . In StructuralCeramics. Es decir, . by. J.B . Wachtman, Jr.,p107
5 . D . W. Richerson. En "Modern Ceramic Engineering . Properties, Processing and usein Design." Es decir, . por Marcel Dekker. (1982)
6 . K.Yamada, M.Mohri . "Properties and Applications of SiC Ceramics" . SiliconCarbide Ceramics-1 . Fundamental and solid reaction . Ed. by S.Somiya and Y .Inomata. Elsevier Applied Science .(1991)
7 . P.G . Neudeck . "Progress in SiC semiconductor Electronics Technology" .J.Elec.Mat.,vol.24, n°4,1995
8 . G.W. Meetham. "The future composites in Gas turbine Engines" . Materials andDesign . vol .x,n°5 .1989
9 . S . Mason, R .J. Minor and A.G. Razzell."Ceramic Matrix xomposites for aero-engines" Mat . World, vol .1, n°1, 1993
10 . C. Baudin, J .S . Moya Sinterizacion en estado sólido . Bol .Soc. Esp.Ceram. Vidr. Vo l22, n°3, p.107
11 . F. Thümmler and R . Oberacker. En Introduction to Powder Metallurgy . Cap .7
12. Kuczynski, G.C . Self diffusion in sintering metals powders . Trans. Am. Inst. Min .(Metall) Engrs. 185 (1949) 169-182
13 . Kingery, W.D. y Berg, M. Study of the initial stage of sintering solids by viscousflow, evaporation-condensation, and self-diffusion . J. Appl. Phys.,26 (1955) 1205-1212
R. 1
14 . Coble, R.L. Initial sintering of alumina and hematite . J. Am. Ceram . Soc . 41 (1958) ,55-62
15. Johnson, D.L. y Cutler, I.B. Diffusion sintering : I, Initial stage sintering models andtheir application to shrinkage of powder compacts. J. Am. Ceram . Soc . 46 (1963)11,541-545
16 . Cabrera,N. Trans . Am. Inst . Min. (Metal]) Engrs . (1950), 188
17 . Bannister, M .J . Shape sensitivity of initial sintering equations . J. Am. Ceram . Soc .51 (1968) 10, 548-553
18 . Greskovich y Rosolowski . Sintering of covalent solids . J. Am. Ceram . Soc 59 7-8(1976)
19. S . Prochazka, G .E. Report, SRD-72-035, 1972
20. H. Suzuki and T . Hase, "Some experimental . . .", Proc . Int. Symp . Of Factors inDensification and Sintering of Oxide and Non-Oxide Ceramics, (1978), Japan, p .345
21 . J.M. Bind and J .V. Biggers, J.Appl . Phys.,47 (1976), p .5171
22 . Yamada k., Properties and applications of SiC Ceramics . (Libro rojo 1) SiliconCarbide Ceramics-1 . Fundamental and solid reaction. Ed. by S .Somiya and Y .Inomata. Elsevier Applied Science.(1991)
23 . Van Rijswijk, W . Y Shanefield D.J ., Effects of Carbon as a Sintering aid in SiC . J .Am. Ceram . Soc., 73 [1] 148-149
24. Hamminger, R . Carbon Inclusions in sintered silicon carbide . J.Am . Ceram . Soc .,72[9] (1989) 1741-44
25. Bicker, W. Y Hausner, H . The influence of B and C additions on the microstructureof sintered a-SiC
26 . Mizhah, T., Hoffinann, M. Y Gauckler, L., Pressureless sintering of a-SiC . PowderMet . Int., 16 [5], (1984)
27. Tanaka, H. Sintering of SiC, Silicon Carbide Ceramics-l . Fundamental and solidreaction . Ed. by S .Somiya and Y . Inomata. Elsevier Applied Science .(1991)
28. Hojo, J . Sintering behaviour of ultrafine SiC powder, in Silicon Carbide Ceramics-1 .Ed. By Shigeyuki Somiya and Yoshizo Inomata . Elsevier Applied Science . 1991
29 . Hausner, H. Sintering and Microstructure of Non-oxide Ceramics . Sci. Ceram. 12 .Ceramurgia s.r .l ., Faenza. Italy . P229
R. 2
30. Elder, P . Y Krstic, V .D., Effect of Surface Area on densification of b-SiC . J. Mat .Sci . Let . 8 (1989), 941-943
31 . Hidehiko, T ., Inomata Y ., Hara K., Hasegawa H. Normal sintering of Al-doped b-SiC. J. Mat. Sci . Let. 4 (1985) 315-317
32 . Sakai, T. Et al Sintering aids and thermal conductivity of polycrystalline SiC . SiliconCarbide Ceramics-1 . Fundamental and solid reaction . Ed. by S.Somiya and Y .Inomata. Elsevier Applied Science. (1991)
33 . Stutz, H.D . Prochazka, S . Y Lorenz, J., Sintering and microstructure formation ofR-SiC. J. Am . Ceram . Soc ., 68(9), (1985), 479-482
34 . Yamauchi, H. Fabrication method and properties of (3-SiC Ceramics. Silicon CarbideCeramics-1 . Fundamental and solid reaction. Ed. by S .Somiya and Y . Inomata .Elsevier Applied Science.(1991)
35 . Kevorkijan, V . Et al , Factors influencing the sinterability of b-SiC powders . EnEuro-ceramics . Vol 1 . Processing of Ceramics. Ed by G. de With, R.A. Terpstra, R .Metselaar. Elsevier Applied Science. (1989), 1 .125
36. Kijima, K., Noguchi, H. Y Konishi, M ., Sintering of ultrafine SiC powders preparedby plasma CVD . J. Mat. Sci .,24 (1989), 2929
37. W.D. Kingery . "Densification During Sintering in the presence of a liquid phase . I yII. En Sintering Key Papers . Ed ., . porS . Somiya, Y . Moriyoshi . Elsevier AppliedScience. (1989), 383
38. German, R.M., Liquid phase sintering, Plenum Press, New York and London (1985)
39. I. Iturriza. Tesis Doctoral : Universidad Navarra . Facultad de Ciencias . 1992
40. Petzow, G., Kaysser, W.A. en "Sintered metal-Ceramic Composites" ed . PorUpadhyaya G., Elsevier Science Publishers (1984), 51
41 . Kingery, W.D ., J . Appl. Phys . Vol 30 (1959), 301
42 . Kwon, O.J ., Yoon, D .N . en "Sintering Processes" ed . Por Kuczynski, G.C. PlenunPress N.Y. (1980), 203
43 . Kingery, W .D., Niki, E ., Narasimhan, M.D., J . Am. Ceram. Soc., 44 (1961), 29
44. Negita, K., Effective sintering aids for SiC ceramics : reactivities of SiC with variousadditives., J. Am. Ceram . Soc., 69[12], 1986, c308
45 . R.Hamminger, H. Krüner and W . Bbcker, J.Hard Mat .,Vol.3,N°2, (1992), p98
R.3
46. E. Kostic . "Sintering of SiC in the presence of Oxide Additives" . Pow- Met. Int .,vol.20, n°6, (1988)
47. L. Kahlman, K. Rundgren, E . Liden, B . Nyberg, E . Carlstrom "Processing of LPSSiC- Mechanical and Wear Properties" . Third Euro-Ceramics V3, (1993) p 477
48 . E.Kostic, O . Nesic, S . Zec, "Hot pressing of SiC" En Euro-ceramics . Vol 1 .Processing of Ceramics . Ed by G. de With, R.A. Terpstra, R. Metselaar. ElsevierApplied Science. (1989), 1 .341
49. Mulla, M.A. y Krstic, V.D., Low temperature pressureless Sintering of b-SiC withA1203 and Y2O3 additions .Ceram. Bull ., vol . 70, n°3, 1991
50 . Cutler, R.A. y Jackson, T .B ., Liquid phase sintered Silicon Carbide .,
51 . A.H. Heuer, G.A. Fryburg, L .U . Ogbuji, T.E . Mitchell and S . Shinozaki . J. Am .Ceram . Soc . 61,(1978), 407
52 . T.E. Mitchell, L .U. Ogbuji and A.H. Heuer, ibid . p.412
53 . L.U. Ogbuji, T .E. Mitchell and A .H. Heuer . ibid . 64 (1981), 91
54. L.U. Ogbuji, TE . Mitchell, A.H. Heuer and S . Shinozaki, ibid . 64 (1981),100
55 . M. Lancin. Phase transformation b®a in sintered SiC involving feather formation .Part 1" . J. Mat. Sci . 19, (1984) 4077
56 . N.W.Jepps and T .F . Page "Polytypic Transformations in SiC" J . Cryst. GrowthCharacterization, 7, (1983), 259-307
57. A.R. Kieffer, P .Ettmayer, E . Gugel and A . Schmidt, "Phase Stability of SiC internary system Si-C-N" . Mat . Res . Bull .,4, (1969), s153
58 . H. Tanaka, S . Takekawa and M. Tsutsumi ."6H-3C-SiC Trasnformation in SiC-TiNPowder Mixture at High temperature . J . Ceram . Soc . Jap ., Int. Ed ., vol 99, (1991),363
59. N.W. Jepps and T.F. Page . "Electron microscopy of interfaces between trasformingpolytypes in SiC" . J.Micros.,116, (1979), 159-171
60. K.A. Schwetz, A. Lipp . "The effect of Boron and Al Sintering additives on theproperties of dense sintered a-SiC" . Proc. 10th Symp. On Science of Ceramics .H .Hausner(Ed .), Deutsch Keram. Ges. (1980), 149
61 . P.A. Kistler-De Coppi and W. Richarz. "Phase Transformations and Grain Growthin Silicon Carbide Powders" . Int . J . High. Tech. Ceram., 2, (1986), 99-113
R.4
62 . Y. Takeda et al . "Effects of Elemental Additives on Densifiation Microstructure,Strength and Thermal Conductivity of SiC Ceramics" . Advances ceram . Mat.,1(2),(1986), 162
63 . W. Bocker, H. Landfermann and H . Hausner. "Sintering of a-SiC with additions ofAluminum". Pow. Met. Int . , vol . 11, n°2, (1979)
64. T. Sakai, H. Watanabe and T . Aikawa. "Effects of Carbon on Phase transformationof [3-SiC with A1203" . J. Mat. Sci . Letters, 6, (1987), 865
65 . T. Narushima, T. Goto, Y. Yokoyama, Y. Iguchi and T . Hirai . "High-TemperatureActive Oxidation of CVD in CO-CO2 Atmosphere" . J. Am. Ceram . Soc., 76[10],2521, (1993)
66. W.L. Vaughn and H .G. Maahs. "Active to Passive Transition in the Oxidation ofSiC and Si3N4" . J. Am. Ceram . Soc., 73[6], 1540, (1990)
67 . T . Narushima, T. Goto, Y. Yokoyama and T . Hirai. "High-Temperature ActiveOxidation of CVD in Ar-02 Atmosphere" . J. Am. Ceram . Soc., 74[10], 2583,(1991)
68 . M. Balat, G . Flamant, G. Male and G . Pichelin . "Active to Passive Transition in theOxidation of SiC at High Temperature and Low Pressure in Molecular and AtomicOxygen" . J. Mat . Sci ., 27, 697, (1992)
69. C. Wagner. "Passivity during the oxidation of Silicon at Elevated Temperatures" . J .Appl. Phys ., vol 29, n°3, 1295, (1958)
70. H.Kim and Arthur J . Moorhead . "Effects of Active Oxidation on the FlexuralStrenght of a-Silicon Carbide" . J. Am. Ceram . Soc., 73[7], 1868, (1990)
71 . J. Echeberría . Tesis Doctoral . Universidad de Navarra. Facultad de Ciencias . (1993)
72 . D .M. Mieskowski, T .E. Mitchell, A.H. Heuer. "Bubble Formation in Oxide Scaleson SiC". Comm . Am. Ceram . Soc., C17, (January 1984)
73 . P. J. Jorgensen, M .E. Wadsworth and I .B . Cutler. "Oxidatio of Silicon Carbide" . J .Am. Ceram . Soc., 42,12, 613, (1959)
74. S.C. Singhal . "Oxidation Kinetics of Hot-Pressed Silicon Carbide" . J. Mat. Sci . 11,1246, (1976)
75. M. Maeda, K. Nakamura and M. Yamada. "Oxidation Resistance Evaluation of SiCCeramics with Various Additives" . J. Am. Ceram . Soc ., 72 (3), 512, (1989)
76 . J.A. Costello and R .E . Tressler. "Oxidation Kinetics of SiC Crystals and ceramics :I,in dry Oxygen" . J. Am . Ceram . Soc ., 69 (9), 674, (1986)
R. 5
77 . D. S. Fox . "Oxidation Kinetics of CVD SiC and Si3N4" Ceram . Eng. Sci. Proc.,13,(1992), 836 .
78 . T. Narushima, T. Goto, Y . Iguchi and T . Hirai. "High-Temperature Oxidation ofCVD in wet Oxygen at 1823-1923 K" . J. Am. Ceram . Soc., 73 (12), 3580, (1990)
79. J. Rodriguez-Viejo, F. Sibieude and M .T. Clavaguera-Mora. "High-TemperatureOxidation of CVD b-SiC .II" . J. Eur. Ceram . Soc., 13, 177, (1994)
80. G . Ervin,Jr ., J. Am . Ceram . Soc., 41 (9), 347, (1958)
81 . T . Narushima, T. Goto and T . Hirai. "High-Temperature Passive Oxidation ofCVD" . J. Am . Ceram . Soc., 72 (8), 1386, (1989)
82 . M. Maeda, K. Nakamura, T . Ohkubo and T . Ishizuka . "Oxidation Behaviour of SiCunder Cyclic and Static Conditions" . Ceram. Intern ., 15, 1, (1989)
83 . A. Heuer, L.U. Ogbuji and T .E. Mitchell. "J. Am. Ceram. SocDissc-notes, 63 (5-6),354 (1980)
84. J.A. Costello and R .E. Tressler . "Oxidation Kinetics of Hot-Pressed and Sintered a-SiC" . J. Am. Ceram . Soc., 64 (6), 327, (1981)
85 . J. Rodriguez-Viejo, F . Sibieude and M .T. Clavaguera-Mora. "High-TemperatureOxidation of CVD b-SiC .I". J. Eur. Ceram . Soc., 13, 167, (1994)
86 . K.L. Luthra. "Some New Perspectives on Oxidation of Silicon Carbide and SiliconNitride" . J. Am. Ceram . Soc., 74 (5), 1095, (1991)
87. Manufacture of shaped articles from sinterable powder. US patent 5,089,197 .(1992)
88. G. Maeder, Y . Ramón, G. Thorel and J. Barrails; Memoires Scientifiques RevueMétallurgie, Mai 1975, p .397
89 . F .F Lange, "Hot pressing behaviour of silicon carbide powders with additions ofaluminium oxide" J. Mat. Sci . 10, (1975) pp .314-320
90. Ajay K. Misra "Thermochemical Analysis of the Silicon Carbide-Alumina Reactionwith Reference to Liquid-Phas Sintering of Silicon Carbide" . J. Am. Ceram . Soc .74(2), p .345-51, 1991
91 . L. Cordrey, D .E. Niesz and D . J. Shanefield, "Sintering of Silicon Carbide with rare-earth oxide additions" . Ceram. Trans . vol . 7, (1990), 618
92 . O . Abe, J. Mat. Sci . vol .25 (1990) p. 3641
R. 6
93 . J.T. Smith, C .L. Quackembush, Am . Ceram. Bull ., vol.59(5), 1980, p .529
94 . C. Greskovich, S . Prochazka, J.Am. Ceram . Soc ., vol .60, 1977, p .471
95 . G. C. Weatherly, "The Structure of Ledges at plate-shaped Precipitates" . ActaMetall . .,19, 181,(1971)
96. J.W. Cahn, "Theory of crystal growth and interface motion in crystalline materials"Acta Metall., 8, 554, 1960
97. G.C. Weatherly, Can . Metall . Q. ,8, 105, 1969
98. H. Wada, M .J. Wang y T.Y . Tien, "Stability of phases in the Si-C-N-O system". J .Am. Ceram . Soc ., 71(10), 1988, p .837
99 . A: Hendry, "Structural ceramics : processing, microesructure and properties" In 11thRiso International Symposium on Metallurgy and Materials Science, Ed . por . J.J .Bentzen, J.B . Bilde-Sorensen, N . Christiansen, A Horsewell & B . Ralph. p.27, 1990
100 .G. Petzow and M .J. Ho mann. "Grain growth studies in Si3N4 Ceramics" . InRecrystallization 92 Materials Science Forum, vol . 113-15, es decir, . M. Fuentesand J . Gil Sevillano, p. 91, 1992
101 .T. Ekstrbm and M Nygren, "Sialon ceramics" J . Am. Ceram . Soc . 75,(2), 1992,p.259
102.W. Hermel, M. Herrmann and C . Schubert, "Have the limits of the development os(3-Si3N4 materials already been reached?" In third Euro-Ceramics, vol.3 es decir, .P . Duran and J.F . Fernandez, 1993, p . 391
R.7
ARGITARAPENAK
'ournal of the European Ceramic Society 14 (1994) 4 1 1 -418
~Iitridation of SiC for the Production of3iC-Si3N4 NanocompositesGomez, T. Gómez-Acebo, J . Echeberría, I. Iturriza & F . Castro
:entro de Estudios e Investigaciones, Técnicas de Guipúzcoa (CEIT),'° Manuel de Lardizábal 15, 20009 San Sebastián, Spain
Received 5 December 1993 ; revised version received 10 May 1994; accepted 24 May 1994)
abstract
Graphitkdrnern, ist Bestandteil des Gefüges . DieseHerstellungsmethode kann deshalb zur Produktion
ligh pressure sintering of SiC green compacts, von SiC-Si3N4Nanoverbindungen mit unterschiedlichenoth with and without additions of A1203 and Si02 , Anteilen von SiC, a-Si 3N4 and l -Si3N4 eingesetztas been carried out in a HIP press under a nitrogen
werden .tmosphere. The amount of conversion of SiC toSi3N4 has been quantfled after nitridation by XRD, On a fritté des pastilles brutes de SiC, contenant ound the results were interpreted in terms of phase ne contenant pas d'A1203 et SiO, comme additifs,tability diagrams taking into account the chemical ceci par pressage isostatique à chaud (HIP), sousomposition of the specimens, the carbon activity azote. Après nitruration, le taux de conversion dend the nitrogen and the oxygen partial pressure . SiC en Si3N4 a été déterminé par diffraction X, et(s a result of the process the final microstructure of les résultats interprétés en termes de diagrammes dehe sintered materials was observed to consist of a phases, en tenant compte de la composition chimiqueombination ofSiC and Si3N4 grains in the nanosize des échantillons, de l'activité du carbone, des pres-ange and whose relative volume fractions depend sions partielles d'azote et d'oxygène . La micro-n sintering conditions and the initial chemical sctructure finale des produits frittés est un mélangeomposition. A minor proportion of free carbon, in de grains de SiC et Si3N4 , de taille nanométrique, et~ e form of both amorphous carbon and nanosi_ ed dont les fractions volumiques relatives dépendent desraphite grains, was also part of the microstructure . conditions de frittage et de la composition initiale ."his method is therefore regarded as a means for On trouve également du carbone libre, soit amorpheze production of SiC-Si3N4 nanocomposites with soit sous forme de grains de graphite nanometriques,arying amounts of SiC, a-Si3N4 and (3-Si3N4
en petite quantite . Cette méthode semble doncadéquate pour produire des nanocomposites SiCSi3N4
7C-Grünlinge mit and ohne Si0 2 and A1203-Zusatz contenant des quantités variables de SiC, a-Si3N4 eturden bei hohem Druck in einer HIP-Presse un ter
/3-Si3N4.'tickstoffatmosphdre gesintert . Die Menge an SiC,as sich in Si3N4 unwandelt, wurde nach der Nitrier-ng mit Hilfe von XRD bestimmt and die Ergeb-
1 Introductionisse bezüglich der Phasenstabilitátsdiagrçimme under'erücksichtigung der chemischen Zusammensetzung Silicon carbide and silicon nitride based ceramicsér Proben, der Kohlenstoffaktivitdt and der Stick- have been extensively studied 1-5 particularly because(off- and Sauerstoffpartialdrücke interpretiert. Das of their excellent mechanical properties at high tem-refüge der gesinterten Proben bestand als Resultat peratures . While Si3N4 and SiC monolithic ceramicsér Prozej3bedingungen aus einer Konibination von exhibit very attractive properties themselves, the'iC- and Sï3N4Kórnern, deren Grdj3e einige Nano- design of Si 3N4SiC composite materials has at-ieter betrdgt, and déren Volumenanteil von den tracted attention mainly due to their improved'interbedingungen and der chemischen Zusam- high temperature strength and increased fractureiensetzung des Ausgangsmaterials abhángt. Ein toughness." The fabrication of Si 3N4-SiC com-eringer Ted des freien Kohlenstoffs, in Form posites has been tried using SiC whiskers, fibres, .on amorphem Kohlenstoff and nanometergroJ3en
platelets and a dispersion of particles for the rein-411
ournal of the European Ceramic Society 0955-2219/94/$7 .00 © 1994 Elsevier Science Limited, England . Printed intreat Britain
412
E. Goniez, T. Gónzez-Acebo, J. Echeberría, I. Iturriza, F. Castro
forcement of Si3N4 . 6-" In most of these cases specimens and subsequently ion-beam thinned todensification has been achieved by the application be examined under the transmission electron micro-of high pressure through hot pressing or HIPing,
scope .since pressureless sintering rates have been observedto decrease considerably due to the presence of thehard non-sinterable crystals of the second phase .' 1,12
3 ResultsSi 3N4SiC composite materials have also beenobtained by a reaction bonding route or mechanical
The stability of SiC during 'sintering of siliconattrition through the use of dispersants .' • 12-14
carbide green compacts in a nitrogen atmosphereAdditional interest in composite materials is
was observed to show a strong dependence onbased upon the fabrication of very small grain
both temperature and pressure . Under thesesized ceramics, particularly in the nanosize range .
conditions conversion of SiC into Si 3N4 may occurWork in this area has been focused on the use of
according to the following chemical reaction :mechanical attrition15 and hot pressing of CVDSi-C-N amorphous powders" ," together with
3SiC + 2N2
Si3N4 + 3C
(1)
metal oxide additions to aid densification .
In the present work it was observed that theThe present paper reports on the obtention of equilibrium shifts to the right in reaction (1) at
Si3N4SiC nanocomposites by the nitridation of temperatures above 1450°C and pressures higherSIC-based green compacts through hot isostatic
than 5 MPa .pressing. The method looks promising not only As a means of illustration Fig . 1 shows thebecause of the formation of nanosize microstruc- phases observed in two specimens after sinteringtures but also because densification takes place at (a) 1400°C and 50 MPa, and (b) 1750°C andwith little or without any shrinkage at all . Some 50 MPa. The XRD traces clearly show that thethermodynamic aspects related to the nitridation nitridation of silicon carbide leads to the forma-of SiC in a high pressure nitrogen atmosphere are tion of silicon nitride in both forms, that is, a-discussed .
and 8-Si3N4 (Fig . 1(b)) .Although the nitridation process was observed
to take place all through the bulk of the powder2 Experiment Procedure
compacts, the amount of conversion of SiC intoSi 3N4 was much larger on the surface, particularly
The basic powders used during this work wereSuperior Graphite HCS059 and Lonza UFB10 SiC
sicgrades, precipitated silica (BDH Ltd, Poole, UK)and Alcoa CT 3000 SG A1,0 3 . Powder mixturesconsisting of SiC + (10 or 30) wt% SiO, and
Y
SiC + 5 wt% A1,0 3 were obtained after dry milling/
W
mixing in a ball mill with SIC milling media .Cylindrical green compacts prepared from thesepowder blends, and also from SiC powders in the as-received condition of 5 mm height and diametersin the range of 10 to 20 mm, were produced b
20
25
30
25
40
45Y
Diffraction angle (2e , )
cold isostatic pressing at 100 MPa. Sintering was
(a)carried out in nitrogen (99995% pure) between1400 and 1850°C within a pressure range from 0 .5to 200 MPa, and holding times up to 90 min in aASEA Q 1 H-6 HIP equipment . After sintering thespecimens were weighed and measured in order todetermine weight changes and amount of shrink-
Zage. Their density was obtained by the immersion
° °method . The quantitative determination of thephases present in the as-sintered samples wascarried out by standard XRD methods 18 using
J
Cu-a radiation . XRD work was carried out, both
20
25
30
35
on the surface of the specimens and after cutting
Diffraction angle ( 29)
to expose a plane parallel to the base of the
(b)cylinders and passing through their centre . Discs
Fig. 1. XRD trace of a SiC compact sintered during 30 min3 mm in diameter were cut out from a selection of
under a pressure of 50 MPa N, at (a) 1400°C and (b) 1750°C .
•
a-5i3N4° (i - S'04•
Sic
40 45
Table 1 . Quantitative results obtained from XRD traces aftersintering of SiC powder compacts during 30 min under several
combinations of temperature and pressuren. 0 .6 -
ture (°C)
~ 0.4 -0-5
5
50
75
200
Tempera-
Pressure (MPa)
1400
NC NC
NC1450
NC NC
NC1500
NC
S-65-35I-81-19
1 750
NC S-27-73 S-17-83
S-20-80I-85-15 I-13-87
I-11-89
SiC-Si3N4 nanocomposites from nitridation of SiC
413
(a)1
1 800
S-20-80 S-20-80I-0-100
1-0-100
0 .8 -1 850
NC
o0 .6 -
NC = no change observed, S = surface and I = interior .Numbers correspond to amounts measured for SiC (first
0 .4 -number) and Si 3N 4 (second number) .
when the sintering conditions were too close to thelimiting temperature (1450°C) and pressure (5 MPa) .Nevertheless, as seen in Table 1, which presents asummary of results obtained under various sinter-ing conditions, the specimens exhibited a higherdegree of homogeneity (comparing their surfaceand interior) as pressure and temperature wereincreased .It is noteworthy that Table 1 only reports on
the amounts of SiC and Si 3N4 observed in thespecimens, irrespective of the type of silicon nitridedetected by XRD. The numbers in Table 1 corre-sponding to Si 3N 4 therefore represent the sum ofx + 6 silicon nitride . In graphic form Fig. 2 showsthe conversion of SiC into Si 3N4 in percentage asa function of temperature and pressure. It isimportant to mention, however, that the amount:)f a-Si 3N4 observed in all the specimens wassurprisingly high. In fact, as observed in Fig . 3,:he amount of a-Si 3N4 in the specimens shows an.ncreasing tendency with both temperature andDressure .Irrespective of the type of Si 3N 4 formed, during
conversion of SiC into Si 3N 4 according to reac-tion (1), it is clear that as nitrogen reacts with SiCi net weight gain will be produced (see Table 2) .
o
1
0 .8
0 .2 -
0 1400C
1600
1800Temperature (°C)
0 .2 -
0, g0
1
2
3Pressure. log(atm)
(b)Fig . 3 . a/a + (3 ratio silicon nitride in pure SiC specimensintered in a N, atmosphere (a) at a constant pressure of
50 MPa and (b) at a constant temperature of 1750°C .
Additionally, since the amount of shrinkage ob-served was negligible in all cases, this represents anon-shrinkage densification process for the prepa-ration of SiC-Si3N 4 composites. At 1750°C and50 MPa pressure, for instance, a weight increaseof -38% was measured, thus obtaining a compos-ite with a density of -2 . 5 g/cm 3 and a Si 3N4/SiCratio of -4 to 1 .
In order to investigate the influence of S'02 andA1203 on densification, formation of Si 3N4 anda - (3 transformation, controlled amounts of thesecompounds were added to the raw SiC powdersto obtain powder mixtures of SiC + 10 wt% Si0 2 ,SiC + 30 wt% Si0 2 and SiC 5 wt% A1 20 3 . Asobserved in Fig . 4 the additions of Si02 led to theformation of Si2N 20. The amounts of Si 2N20measured in the specimens for a fixed sinteringtime t were observed to depend on silica content,temperature and nitrogen pressure . These results
Table 2. Densities and weight gains of SiC compacts withadditions of silica and alumina after sintering during 30 min
at 1750°C and under several N2 pressures
11
11
0 0
0
Additions
Pressure (MPa)to SiC
0 . 5
5
50
200
P(g/cm3) ;
p(g/cm3) ;
p(g/cm3 ) ;
P(g/cm 3 ) ;
0 1400ó c 1600
1800
A Wt(%)
4 wt(%)
A wt(%)
4 w(%)
Temperature (°C)
0 wt% SiO,
1.83; -0 . 8
2 ,013; 8 . 04
2.50; 38
2.54; 38Fig . 2. Percentage of conversion of pure SiC to Si 3N 4 after
10 wt% Si02 1 .75 ; -8 . 11 1 .994; 7 .74 2 .453 ; 34 . 95 2.454; 36 . 62;intering during 30 min under a N2 pressure of J, 0 .5 MPa ;
5 wt% A1203 1 .94 ; 6 . 54
2251; 5 .52 2 . 53 ; 28 . 02
2 .83; 24.60, 5 MPa; and 0, 50 MPa .
414
E. Gomez, T. Gómez-Acebo, J. Echeberría, T. Iturriza, F Castro
u,ZWr
n
• n -5'3N4•
G
° /3-Si 3 N4°
•
• •°
A Si :N 30
1
I)o
1
1
100 -
no
80
oeo
N 60 -S .
q 40 L~OU
2013V
á~000
50
100
150 20020
25
30
35
40
45 Pressure (MPa)Diffraction angle (2 & )
Fig . 6. Total amount of SiC converted into Si 3N4 + Si,N 2OFig. 4. XRD trace of a SiC + 10 wt% SiO, sample sintered in specimens of: O, pure SiC, A, SiC + 10 wt.% Si0 2 andduring 30 min under a N, atmosphere at 1750°C and 50 MPa .
0, SiC + 30wt.% SiO, .
are illustrated in graphic form in Figs 5 and 6 . In
vary in quantitative terms according to Figs 5(b)terms of temperature the amount of SiC remain-
and 5(c) . In the figures it is apparent that Si 2N 20ing in the specimens, after nitridation at a pres-
may be formed, in preference to Si 3N 4 , either atsure of 50 MPa, decreases markedly between 1450
low temperatures and low Si0 2 contents or at highand 1500°C to disappear completely at about
temperatures and high SiO, contents .1750°C. The products into which SiC are converted
The direct nitridation of silica may take placethrough the reaction
100- 0 0° °
2 Si0 2 + N, 4* Si2N2O + 3/2 0,
(2)•
80- ° ° 0•
which seems to be favoured at low temperatures
•
60 - and low silica contents since, as temperature is•
•40 - increased, Si 3N 4 will be formed instead, due to a
lower availability of oxygen (lower contents of20
D
o
Si0 2 ) . At high temperatures, on the other hand,o6 0
the formation of Si,N,O may take place by a1400
1600
1800
Temperature (°C)
sequence of Si 3N4 formation and the following(a)
reactionSi 3N 4 + SiO, -~-* 2 Si 2N,O
(3)100 -
°
with the relative amounts of Si 3N4 and Si 2N 2O80 -
°
formed being dependent on the amount of silica•
60 - A added to the powder mixture. It is worth mention-
•
40 -ing that in this sequence the role of carbon isimportant, particularly at high silica contents,
"•
20 -
a
° °
through the reduction of SiO 2 and the formation°
A
of volatile species (e.g . CO)0- 0 which counterbalance1400-
1600
1800
the weight gains during nitridation, consequentlyTemperature (°c)
leading to less dense specimens and mainly formed( b )
by S1 2N2O. At 1750°C, Fig . 6 shows that the final100 -
amount of SiC in the specimens exhibits a strong°
dependence on N2 pressure and Si0 2 content .80 '
In contrast to the low density observed in speci-•
60 ° mens containing Si02 , the addition of A1203 as
>•
40 -
sintering aid leads to nearly fully dense materials,0
as it is also typically observed during sintering of"• 20 - ° A °
sialons and Si 3N4 . 19 The additions of A1 20 3 were0 o û°also observed to encourage the a--->,B transforma-
1400
1600
1800
tion leading to fully ¡3-Si 3N 4-SiC composites .Temperature (°c)
On examination under the TEM the microstruc-(c) ture of these materials was observed to consist of
Fig. 5. (a) Residual SiC in samples containing : O, SiC; grains and a minor fraction of amorphous areasA, SiC + 10 wt% Sio,; and ¡, SiC + 30 wt% Sio,, after
(Fig. 7). Detailed observation of these specimenssintering at 50 MPa N, . Amounts of: 0, Si3N4 and A, Si,N,Oin (b) a SiC + 10 wt% SiO, specimen and (c) a SiC + 30 wt%
revealed that the amorphous areas correspondingSiO2 specimen after sintering at 50 MPa in N, for 30 min .
to carbon and the grains, which represent at least
Fig. 7. TEM micrograph of a composite obtained after
andsintering a SiC green compact at 1750°C. 50 MPa N,
aa_ s ,3Nawithout any holding time and electron diffraction pattern of
logcrystalline carbon .
astc s5
75 vol .% of the specimens, were silicon carbideand silicon nitride . The morphology of the grainswas generally equiaxed and particularly in thecase of Si-,N4 grains, their size was below 50 nm,whereas the SiC grains were of about 100 rim. Thedistribution of SiC and Si3N a grains in the micro-structure was observed to be fairly uniform, thusindicating that the formation of Si 3N a grains tookplace by nucleation around SiC particles . Theareas corresponding to carbon were also foundrelatively homogeneously distributed separatinggrains but not particularly as an intergranularphase. Detailed examination of these areas alsorevealed the presence in large amounts of extremelysmall (<10 nm) grains which were identified ascrystalline carbon, according to the spotty appear-ance of the rings in the electron diffraction pattern(Fig . 7) .
4 Discussion
According to these results and under the experi-mental conditions used in this work it can beobserved that the phases in equilibrium after sin-tering of silicon carbide in a nitrogen atmosphereare a- and ,8-Si 3N,, SiC and carbon . The chemicalreactions that represent the equilibrium betweenthese phases, in the present temperature range,may then be expressed as
3SiC + 2N, f=> R-Si 3N a + 3C
(4)and
3SiC + 2N, <~=> a-Sï 3N a + 3C
(5)
Following the approach reported by Wada et al .7°and using the data compiled by Hendry (whoconsidered a-Si 3Na as Si I 1 -4N 150 0 . á ) 21 for the freeenergies of formation of these compounds in
SiC-Sŕ 3N,, nanocomposites from nitridation of SiC
415
kJ/mol, that is, OG °(a-Si 3Na) = - 1167 . 3 + 0-594T,OG °(/3-Si 3N a) = - 936 + 0 .45T and OG°(SiC) =-72832 + 0 . 007T, eqn (5) should be rewritten as
2 . 85SiC + 1 . 875N2 + 003750 2
1/4Si 11 . 4N 1500 . 3 + 2-85C
(5a)
and the ratio of activities between Si 3N a and SiCmay be calculated, as a function of P N , and ac ,through the following relationships
log( a.-si3N4)a s ,c 3
37 480 - 2241 - 3 log ac + 2 log P N2 (6)T
50133 - 29 .99 - 2 .85 log ac
(7)T
+ 1 . 875 log PN2 + 0 .0375 log Po ,
The results of these calculations for two of thesintering conditions used in this work (PN , = 0 . 5and 50 MPa) are represented in graphic form inFig. 8, considering ac = 1, since the specimenswere sintered on a graphite base and in a HIPpress with a graphite heating element .
In terms of Fig . 8, it is interesting to observe,first of all, at a pressure of 0 . 5 MPa, that above1783 K (1510°C) SIC is the stable phase . There-fore, it is clear, in accord with the numerical datashown in Table 1 . that although the thermalactivation could be thought to be high enough toconvert SiC into Si 3N a, 0 . 5 MPa pressure of nitro-gen is insufficient to make either reaction (4) or (5)proceed forward . At lower temperatures (e.g . 1400
102100
-104
Temperature (°C)
17001
1300
5
61041T (K
-1 )
Fig . 8. Equilibrium between SiC and Si 3N4, bold linerepresenting a-Si 3N a and fine line l3-Si 3Na, at pressures of- - -, 0 .5 MPa and. 50 MPa N, assuming a, = 1, Po, =
10 '0 atm .
416
E. Gome-, T. Gómez-Acebo, J. Echeberría, I. Iturriza, F'. Castro
Temperature (°C)
possibly due to a reaction between SiO and car-2000
1500
1100
bon encouraged during cooling by the proximityof the specimens to carbon sources like the crucible
sio,
and the heating element .-10
In addition, the influence of pressure may beanalyzed with the aid of numerical data for the
á
amounts of Si 3N4 observed in the core of theSi, N, o
specimens at 1750°C . It may be seen that at 5 MPaa° -20
the conversion process has already started, giving°
rise to a composite with a SiC/Si3N4 ratio of 85/15 .At higher pressures, from 50 MPa upwards, the
R Si ; N4
nitridation of SiC is very profuse and a compositea-si ; N4
with ratio of SiC/Si 3N4 = 20/80 is then obtained .30
5
6
These results are also in accord with the theoretical10 4 rr (K')
calculations represented in Fig . 8 .(a)
It is noteworthy that all the specimens containimportant amounts of a-Si 3N4 after sintering .
Temperature (°C)
Besides, as illustrated in Table 3, the amounts of2000
1500
1100
a-Si 3N4 measured show an increasing tendency aseither temperature or pressure are increased . This
sio, latter point was observed to be even more accen-tuated at the surface of the specimens where ata temperature of 1800°C and under a pressure of50 MPa all Si3N4 formed is a-type .
This behaviour was somewhat unexpected, since,°-° -20
Si, N2 o
according to the data used for the construction ofR-sic
Fig. 8, and within the experimental range used inthis work, s-Si 3N 4 is thermodynamically more
i N4
stable than the corresponding a-type . This fact is-30
P- 3
also reflected by the phase stability diagrams, pre-4
5
6
7
sented in Fig . 9, obtained through calculationsI0 4/T (K`)
using data available in the literature .''- '(b)
According to the stability range for 6- and
Fig. 9 . Phase stability diagram of Si-C-N-O as a function of
a-Si 3N4 indicated by these diagrams s-Si3N4
oxygen partial pressure and temperature at (a) 0 .5 MPa N,
should have been observed under several condi-and (b) 50 MPa N, .
tions of pressure and temperature used in this work .Since this statement is contrary to the experi-
and 1450°C) Fig. 9 indicates that Si 3N 4 would be mental observations, it has to be concluded thatstable, if present . Nonetheless, since the specimens (at least in the absence of /3-Si 3N 4 seeds) R-Si 3N 4
were constituted by 'pure' SiC no change wasobserved (see column for 0 5 MPa in Table 1), which
Table 3. Quantitative results in terms of a- and 13-Si,N 4,
therefore means that at these low temperatures the
obtained from XRD traces after sintering of SiC powdercompacts during 30 min under several combinations of
thermal activation for conversion is too small .
temperature and pressureOn the other hand . neglecting for the moment
the type of Si 3N4 present in the specimens, it may
Tempera--
Pressure (MPa)
be seen that the data in Table I for the formation
lure /
0-5
5
50
75
200
of Si 3N 4 at 50 MPa is well accounted for byconsidering the straight line for a-Si 3N4 in Fig . 8,
1400
NC NC
NC
which indicates stability of P- 3 aSiN up to 1930°C .
11 0 0
NC
NC
NC50
NC
S-21-14Again, at 1400 and 1450°C no change is observed,
I-7-12even at this high pressure, due to an insufficient
1750
NC S-48-25 S-60-23
I-59-30
thermal activation . The importance of tempera-
1-7-8 I-61-261800
S-100-0ture in the conversion process cannot be overem-
1-65-35phasized since at 1800°C SiC is destabilized to be
1850
NC
completely converted (see data for the interior of NC = no change observed, S = surface and I = interior .the specimen in Table 1) into Si3 . 4 d carbon . Numbers correspond to amounts measured for a-Si,N4 (firstThe amount of SiC observed on the s face is
number) and /3-Si,N4 (second number) .
4
SiC-Si3N4 nanocomposites from nitridation of SiC
417
cannot be nucleated directly, the formation of the
panied by an extremely small shrinkage .a-form, being necessary first, followed by the a - /3
This method shows therefore a great poten-transformation. Consequently, although /3-Si3N4 is
tial for producing SiC-Si3N4 composites bythermodynamically more stable, the a -> R trans-
a non-shrinkage-densification route .formation is subjected to kinetic factors, it therefore
(2) The microstructure observed shows thatbeing possible, as observed in this work, to obtain
the material mainly consists of SiC-Si3N4the a-type as a metastable phase after sintering .
grains in the nanosize range. The speci-According to these arguments the stability range
mens were also observed to contain a smallfor a-Si3N4, considered as a metastable phase, can
fraction of residual carbon which is consti-be recalculated, neglecting the data corresponding
tuted by graphite nanocrystals embedded into the 8-form . The result of these calculations is
amorphous carbon areas .represented in Fig. 9 by the broken lines in the
(3) If residual carbon can be controlled thisdiagrams which indicate an extended field of sta-
method could be used for the productionbility for a-Si3N4 . Comparison of the experimental
of SiC-Si3N4 nanocomposites with selecteddata with these metastable diagrams thus allows
SiC : Si3N4 ratios .it to be seen, although not very accurately, that
(4) Si3N4 formed from reaction between SiCin quantitative terms, the tendencies shown by
and nitrogen at high temperature and pres-the experimental data can be reasonably well
sure, nucleates directly as a-Si3N4, whichaccounted for in terms of these theoretical calcula-
remains as a metastable phase at roomtions. In principle it can therefore be concluded
temperature ; and (3-Si3N4 only forms as athat the reaction product after nitridation of SiC
result of a---)p transformation . A1203 addi-is a-Si3N4 and that /3-Si3N4 is only observed after
tions encourage the a---)p transformationthe a--->p transformation has taken place .
and aid densification .Therefore the influence of alumina has to be (5) The results obtained in terms of the phases
understood as being a direct one upon lowering observed in the specimens (SiC, a-Si3N4,the activation energy required for the transforma- /3-Si3N4, etc .) after nitridation of SiC powdertion. Since alumina is also observed to encourage compacts at various combinations of tem-densification, that is, facilitates material transport, perature and nitrogen pressure may beit is likely that the a -4 /3 transformation requires interpreted to a reasonable degree of accu-a low viscosity liquid in which dissolution and racy in terms of phase stability diagramsreprecipitation can be eased .
constructed through theoretical calculationsOn the other hand, microstructural analyses
using basic thermodynamic data previouslyunder the TEM did not show any evidence of an
reported in the literature .aluminium-rich secondary phase ; however, this isnot so surprising since both SiC and Si3N4 exhibita certain solubility for aluminium, it therefore being
Acknowledgements
possible that, after formation of a liquid, the The authors gratefully acknowledge the Europeanaluminium ions migrate to the SiC and/or Si 3N4 Economic Community (BRITE Project Breu/0132-lattice .
C (TT)) and the Ministerio de Educación y Cien-Additionally, in contrast to some reports in the
cia of Spain for the economic support providedliterature--"- •-3 from this study it can also be seen
for the realization of this work .that in total absence of / -Si,N4 seeds, (3-Si3N4 canstill be foiined, which therefore means that thea-->p transformation does not necessarily proceed
Referencesby the growth of existing /-Si3N4 nuclei, but, that it
1 . Bowen, L . J . . Weston, R . J., Carruthers, T. G. & Brook,can be formed instead by nucleation from a-Si3N4 .
R. J., Hot-pressing and a-¡3 phase transformation insilicon nitride. J. Mat . Sci ., 13 (1978) 341 .
2. Negita, K ., Effective sintering aids for silicon carbideceramics : reactivities of silicon carbide with various
5 Conclusions
additives . J. Am. Ceram. Soc., 69(12) (1986) C-308 .3 . Lange, F . F., Hot pressing behaviour of silicon carbide
powders with additions of aluminium oxide . J. Mat. Scŕ.,From the results obtained in this work the follow- .
10 (1975) 314.inn conclusions can be drawn :
4. Shimada, M ., Tanaka, A ., Yamada, T. & Koizumi, M .,Densification and phase transformation of Si ;N4 by high
(1) During high pressure nitridation of SiC-
pressure sintering . In Ceramic Powders, ed . P . Vincenzini,based green compacts a net weight gain is
1983, p. 871 .5 . Iturriza, I ., Castro, F . & Fuentes, M ., Sinter and sinter-
observed which consequently leads to an
hip of silicon nitride ceramics with yttria and aluminaincrease in density of the specimens accom-
additions . J. Mat . Sci, 24 (1989) 2047 .
418
E. Gomei, T Góme--Acebo, J. Echeberria, I. Iturriza, F. Castro
6 . Lange, F . F ., Effect of microstructure on strength of 16. Niihara, K ., Hiramo, T., Nakahira, A., Suganuma, K . .Si,N 4-SiC composite systems . J. Am. Ceram . Soc ., 56 Izaki, K. & Kawami, T., Nanostructure and thermo-(1973) 445 .
mechanical properties of Si 3N4/SiC composites fabricated7. Greskovich, C., A gas pressure sintering process for
from Si-C-N precursor powders . J. Jap. Soc. Powderproducing dense Si3N4. In Progress in Nitrogen Ceramics,
Metall., 36 (1989) 243 .ed . F. L . Riley . Martinus Nijhoff Publishers . Boston/The
17. Niihara, K., Suganuma, K., Nakahira, A . & Izaki, K.,Hague/Dordrecht/Lancaster, 1983 .
Interfaces in Si3N4-SiC nanocomposite. J. Mater. Sci.8. Reddy, N . K., Silicon nitride-silicon carbide refractories
Lett. 9 (1990) 598 .produced by reaction bonding . J. Ain . Ceram. Soc ., 74(5)
18. Maeder, G ., Ramon, Y., Thoral, G . & Barralis, J .,(1991) 1139 .
Dosage par radiocristallographie X de I'austénite résidu-9 . Buljan, S . T ., Baldoni, J. G. & Huckabee, M . L ., Si3N4-
elle dans des aciers 16 NCD 13 cémentés. MémoiresSiC composites . Am. Ceram . Soc . Bull. 66(2) (1987)
Scientifiques Revue Metallurgie, May, 1975, pp . 397 .347 .
19. Ekstrdm, T. & Nygren, M ., SiA1ON ceramics . J. Ain .10. Shalele, P. D., Petrovie, J. J., Murley, G. F. & Gac,
Ceram . Soc . 75(2) (1992) 259 .F. D., Hot pressed SiC whisker/Si 3N4 matrix composites .
20. Wada, H ., Wang, M . J . & Tien, T. Y ., Stability of phasesAm. Ceram . Soc . Bull., 65 (1986) 351 .
in the Si-C-N-O system . J. Ain. Ceram . Soc ., 71(10)11 . Greil . P., Tanaka. H. & Petzow, G ., Sintering and hip-
(1988) 837 .ping of silicon nitride-silicon carbide composite materials . 21 . Hendry, A ., Structural ceramics: processing . microstruc-High Tech Ceramics, ed . P. Vincenzini. Elsevier Science ture and properties . In 11th Riso International SymposiumPublishers, B.V ., Amsterdam, 1987, p . 1011 .
on Metallurgy and Materials Science, ed . J . J . Bentzen,12. Pick, A . N ., Properties and applications of silicon carbide
J. B . Bilde-Sorensen, N . Christiansen . A. Horsewell & B .refractories . Trans . Brit . Ceram . Soc. . 78(4) (1979) 13 .
Ralph. (1990) p . 27 .13. Herbert, D . B ., Silicon carbide refractories-what is first
22. Petzow, G . & Hoffmann, M . J ., Grain growth studies inquality . Refract. J. 40(11) (1964) 456 .
Si3N4 ceramics . In Recrystallization 92 Materials Science14. Washburn, M. E. & Loue, R. W., A silicon carbide
Forum . Vol . 113-15, ed . M . Fuentes & J . Gil Sevillano,refractory with a complex nitride bond containing silicon
1992, p . 91 .oxynitride . Am. Ceram. Soc. Bull., 41(7) (1962) 447 .
23. Hermel, W., Herrmann, M . & Schubert, C., Have the15 . Koch, C. C., The synthesis and structure of nano- limits of the development of R-Si 3N4 materials already
crystalline materials produced by mechanical attrition : a been reached? In Third Euro-Ceramics, Vol . 3, ed . P .review . Nanostructured Materials, 2 (1993) 109 .
Duran & J. F . Fernandez, 1993, p . 391 .
~~
Pergamon
0956-716X(95)90218-9
OXIDATION RESISTANCE OF SiC CERAMICSSINTERED IN THE SOLID STATE
OR IN THE PRESENCE OF A LIQUID PHASE
E. Gomez, I. Iturriza, J. Echeberria and F . CastroCentro de Estudios e Investigaciones Técnicas de Guipúzcoa (CEIT)
Apartado 15555, 20080 San Sebastian, Spain
(Received February 7, 1995)(Revised March 24, 1995)
Introduction
The oxidation resistance of silicon carbide has been extensively studied in the past using single crystal (1-3)samples in powder form (4,5), or alternatively on materials obtained either by CVD (6-9) or after hot pressing(3,10-12). From these studies data on the oxidation kinetics of SiC have been obtained between 900 and 1650°C in various oxygen-containing atmospheres. Analogous to silicon nitride, SiC exhibits active or passiveoxidation at high temperatures depending on ambient oxygen partial pressure (10,13). At high oxygenpressures, passive oxidation occurs wherein a protective layer of S'02 is formed on the surface of the sample.The oxide scales formed in this way have been observed to be constituted by varying amounts of glassy andcrystalline phases depending on SiC purity, whether or not the samples contain sintering additives andoxidation temperature (4,7,11) . The main crystalline product detected in the oxide scale was cristobalite whichhas been generally observed to form with a spherulitic morphology (6,7,10,14) .
Although, as mentioned above, a great deal of effort has been devoted to the study of the oxidationbehaviour of SiC (single crystals, hot pressed, obtained by CVD or in powder form), relatively few data havebeen reported on the oxidation resistance of pressureless-sintered SiC . Besides, in recent years SiC ceramics,sintered in the presence of a liquid phase, have been reported to be attractive materials for high temperatureapplications (15) . The present paper reports on the oxidation resistance of liquid phase sintered SiC . Theresults are compared to the behaviour shown by solid state sintered samples after oxidation under exactly thesame conditions . The microstructural characteristics of the oxide scales formed on both kinds of SiC- ceramicsare also reported .
Experimental Procedure
The specimens used for oxidation treatments were obtained in fully dense form through pressureless sinteringor hipping at a temperature of 1850 °C in the case of liquid phase sintered SiC (LPSSC) and at 1950 °C forsolid state sintered SiC (SSC) .
Table 1 represents a summary of chemical composition of the specimens used, the sintering methods,crystal structure of the as-sintered material and the corresponding densification temperature. The table alsoincludes the sources of the two different kinds of basic SiC powders used in this work .
491
Scripta Metallurgica et Materialia, vol. 33, No. 3, pp . 491-496, 1995Copyright 01995 Els„-vier Science LtdPrinted in the USA All rights reserved
0956-716X195 $9 .50 + .00
492
OXIDATION RESISTANCE OF SiC CERAMICS
Vol. 33, No. 3
TABLE 1Characteristics of the Specimens Studied
Label
Supplier
Sintering route
Additives wt%
max impur. wt%
Crystal struc .
RS
Superior Graphite
Pressureless
0.5% B4C + 4%C
Si0.03
3C + 6HHSC059(s)
1950 °C
Al 0.08USA
Fe 0.013RH
HIP
6%Y203+5%
3C1850 11C
Si02+4%C
US
LONZA UFB10
Pressureless
0.65%B4C
Si0.19
6H+4H1950 °C
+3%C
Al 0.11Fe 0.03
UL
Germany
Pressureless
4%Y203
6H+4H1850 °C
+60/OA1203
The oxidation experiments were performed for up to 80 hrs in static air, at temperatures between 1300and 1600 °C, withdrawing the specimens from the furnace at fixed time intervals . After oxidation the weightgained by each specimen was measured several times (to an accuracy of 10 4g), and the result expressed asan average .
The oxidation products developed on the surface of the specimens were characterized by X-ray diffractionand scanning electron microscopy. Variations in chemical composition were studied by energy-dispersive X-ray analysis .
Results and Discussion
As mentioned before, the experimental materials used for oxidation work were fully dense after sintering . Themicrostructures observed in the SSC specimens were typical of SSC with the difference that the equiaxedgrains, obtained using LONZA powders had a mean size (equivalent diameter) of about 3 µm, whereas thoseobtained using the powders supplied by Superior Graphite suffered exaggerated grain growth reaching anequivalent diameter of 65 gm developing a featherlike appearance, Figl a and b . On the other hand thematerials obtained through LPS showed equiaxed grains in all cases, with a mean grain size between I and1 .5 gm. As could be expected the microstructural differences in these materials are related to the sintering aidsused, in such way that those containing Y.03 + A1203 developed an intergranular phase identified as yttrium
Figure 1 . Optical micrographs showing the microstructure of the starting samples sintered in solid state at 1950 °C a) L ONZA powder,b) Superior Graphite powder.
Vol. 33, No. 3
0.11500°C
* 1550 ° Co 1500 ° C6 1450°C
N
á
•/ -
O-
0 1
0
20
40
60
80t (hrs)
(a)
Figure 2 . Parabolic relationship between weight gain and time after oxidation of a) solid state tint red SiC and b) with additions of4wt% Y203 and 6wí°.ó A120 1 .
aluminium garnet (YAG), whereas in the materials containing additions of Y203 + S'02 the intergranularphase formed was Y4 .67(SiO4) 3O.
After measuring the weight gains for every specimen at high oxidation temperatures, the oxidation kineticswas observed to be of a parabolic type for both materials, that is, sintered in solid state or in the presence ofa liquid phase. Figures 2, a and b, summarize this information for oxidation temperatures between 1400-1600°C for solid state sintered SiC and between 1300 and 1500 °C for liquid phase sintered SiC . In the figures,the parabolic relationship between weight gain and time is clearly noticed in both cases over all theexperimental temperature range, it is noteworthy however that solid state sintered SiC is much more resistantto oxidationthan liquidphase sintered SiC . This latter point can be clearly appreciated in the figures from thescales of the vertical axes . It must also be emphasized that even after long oxidation periods (e.g. 80 hours)and high temperatures (e.g. 1600 °C) the solid state sintered SiC shows extremely small weight gains (0.3mg/cm2) while liquid phase sintered SiC does show larger weight gains even at the lowest temperature (1300°C). This point clearly indicates that, as could be expected, solid state sintered SiC is far superior againstoxidation than the liquid phase version.
This conclusion is also reflected in Fig .3 which corresponds to an Arrhenius type of plot from which theactivation energies for the oxidation process in every case can be obtained . The activation energies obtainedfrom the slope of these straight lines range from 300 to 670 kJ/mol for LPS SiC and between 200 and 300kJ/mol for SSC .
Temperature (°C)1600 1500
1400
1300<
t
OXIDATION RESISTANCE OF SiC CERAMCS
493
US
5
5.5
61/T 104 ( K 1 )
6.5
NEU
200 1500°C
/•
1400°C O
* 1350°CA 1300°C
US Q=300 KJ/motRS Q=200 "
∎ UL Q=670 "o RH Q=300 "
Figure 3 . Arrhenius plot of parabolic rate constants for oxidation .
(b)
UL
° o
20
40
60
80t (hrs)
494 OXIDATION RESISTANCE OF SiC CERAMICS
Y46(SiO 4)3 + 513 SiO 2- 713 Y2Si207
Vol. 33, No . 3
Figure 4. SEM micrographs of the oxide layer of the solid state sintered SiC oxidized at 1550 °C, during 80 hrs a) LONZA powder,b) superior graphite powder .
An interesting aspect to observe in this figure, related to the oxidation behaviour of the two different LPSmaterials, is the difference in the slope of the straight lines corresponding to each case, which produces as aconsequence an intersection point at a value of about T=1400 °C. The existence of this intersection pointclearly establishes a temperature above which the specimen of the material containing Y 203 + S'02 is moreresistant to oxidation and below which the lowest weight gains correspond to the material containing Y 203+ A1203 . This difference in oxidation resistance between the two LPS materials is believed to be related to thecharacteristics of the oxide layer (which are described later on in this paper) produced on each specimen.Taking for instance the low temperature range the better oxidation resistance exhibited by the Y 203 + A1203containing material is not surprising since its intergranular phase after sintering is the YAG which is wellknown for its good oxidation resistance . Besides, the intergranular phase of the Y203 + Si02 containingmaterial, which corresponds to Y4.,,(SiO4)3O tends to react with Sí0 2 according to the following reaction :
(1)
which indicates the formation of larger quantities of oxide products (Y 2Si207) and tends to consume S'0 2which cannot therefore act as a strong passivating product against oxidation.
On the other hand, at higher temperatures, the A12O3 containing material is less resistant to oxidation sincethe oxidation products formed are liquid at those temperatures, and consequently more permeable to oxygen .
In contrast to the behaviour exhibited by LPS materials, Fig . 3 shows that the experimental points obtainedfor SSC materials lie, to a good degree of approximation, on the same line . On the other hand, it couldprobably be argued, that the small difference between the data points (considering the two different SiCpowder sources) is not fortuitous and may be related to their difference in purity, since the metallic impurities(see table 1) are present in larger quantities in the LONZA powder which exhibits a slightly poorer oxidationresistance .
Another difference which can be noticed between these two materials is that although the oxidation productis the same (a-cristobalite) in both cases the morphology of the oxide scale produced on them is clearlydifferent as illustrated by the micrographs in Fig . 4 .
A continuous layer of SiO2 is observed to be developed on both materials, which apart from the differencesexhibited between them, such as mean grain size, thickness, etc., exhibit faceted growth in the form of ledges .The lateral growth of these grains can be understood considering that a-cristobalite is aproduct with a different crystal structure (tetragonal) than that of the a -SiC substrate (hexagonal) . As seen inthese micrographs the morphology of these oxidation layers shows the presence of macroscopic ledgesirregularly spaced and of varying shapes. In general, however, it may be said that the majority of them showa series of concentric ledges which are probably produced due to the incoherent nature of the oxide layer-substrate interface and the occurrence of isotropic diffusion rates (16,17) . An important difference betweenthese two micrographs is, nevertheless, the scale of their microstructure and the number of ledges observed
Vol . 33, No . 3
OXIDATION RESISTANCE OF SiC CERAMICS
495
in both cases. These differences may be basically attributed to two different reasons, that is the impurity levelof the SiC starting powders and/or the difference in microstructure or these materials as observed in Figs 4a and b. For the first possibility it has been reported (16) that impurities play a very important role in thenucleation and growth of new phases by the ledge mechanism, which may therefore lend the interpretation thatgrowth of the cristobalite grains could be accelerated when the starting SiC powder contsins a higher amountof impurities. This is the case corresponding to Figs . 4a and 1 a. On the other hand considering the differencein microstructure of the as sintered SiC samples obtained from different starting powders (Figs . 1 a and b), itmay also be argued that the difference in the scale of the microstructure of these oxide layers could have beenproduced by differences in nucleation and growth rates of the cristobalite grains . As a result, the larger crystalsobserved in Fig. 4a could stem from the fact that cristobalite grain impingement after nucleation is dominantonly in the early stages of growth, consequently leading to accelerated growth rates as reported for the growthof precipitates in Al based alloys (18) . In this situation the grains would be expected to continue thickeninguntil a large number of ledges had disappeared by growth.
Figure 5 shows the morphologies of the oxide layers of the liquid phase sintered SiC samples . The samplescontaining Y203 and A12O3, develop at low temperatures (1300 °C) oxide layers consisting of a-cristobalite(in dark contrast), Y2&207 plate-like crystals, a small amount of A12Y409 (arrowed on the microraph) and a
Figure 5 . SEM Micrographs of oxidation layers of the liquid phase sintered samples . a,b,c) 4wt% YO, and 6wt% A12O„ oxidizedduring 80 hrs at 1300, 1350 and 1450 °C respectively, d,e,f) 6wt% YO, and 5wt% SiO 2 at 1300, 1350 and 1450 °C respectively .
496
OXIDATION RESISTANCE OF SiC CERAMICS
Vol. 33, No . 3
residual Alrich glassy phase (Fig. 5a). At this temperature, and due to the stability of the YAG intergranularphase, only few crystals of Y 2Si2O, are formed on the surface of the oxide layer . As temperature is increased(Fig. 5b), the oxide layer is richer in metallic cations (YY and A13+), leading to the formation of a largernumber of Y2Si207 crystals and to an increase of the Al-rich- glassy phase. However, at 1450 °C, the oxideproduct is liquid and transforms to a glassy phase upon solidification .This is the major constituent of the oxidelayer observed in Fig . 5c. In atlclition, it may be thought that at the oxidation temperature, the previouslyformed Y2Si2O, crystals grow into the liquid by the flux of yttrium and silicium atomic species towards them .Consequently a gradient is formed such that the concentration of Y is higher near the precipitates . Therefore,during cooling, new Y2Si2O, crystals are observed to grow in a dendritic way, leaving behind Al rich areaswhich correspond to the darker phase observed around the precipitates in micrograph 5c .
At all temperatures the samples containing Y203 and Si02, Figs. 5d to 5f, develop crystalline oxide layersconsisting in a- cristobalite and Y 2Si20, precipitates. At low temperatures more yttrium disilicate, comparingto those samples that contain Y 203 and A1203, is formed due to reaction (1), between the intergranular phaseand S'02 . At high temperatures Y2Si20, changes its morphology and covers all the surface, with a layer ofcristobalite remaining underneath .
Concluding Remarks
As expected SSC is more resistant to oxidation than LPSSC, mainly due to the crystallinity of the oxideproduct formed on the surface of the specimens and the absence of an intergranular phase in the as-sinteredmaterials. LPSSC, containing YAG as intergranular phase, is more resistant to oxidation at low temperaturesthan the samples with additions of Y203 and Si02. At higher temperatures however this tendency is reverseddue to the massive formation of Y 2Si20, that covers all the surface of the sample providing a better oxidationresistance than the glassy phases formed on the Y 203 and A1203 containing samples .
Acknowledgements
The autors gratefully acknowledge the European Economic Community (BRiTE Project Breu/0132-C (TT))and the Ministerio de Educación y Ciencia of Spain for the economic support provided for the performanceof this work
References
1 . A H. Heuer, L U . Ogbuji and T. E . Mitchell . J . Am. Ceram. Soc ., Discus, and notes, .63, (5,6), 354 (1980)2. D. M. Mieskowski, T. E. Mitchell and A H. Heuer. Communications of Am . Ceram . Soc., c-17 (1984)3. J. A. Costello and R. E . Tressler. J.Am Ceram . Soc, 69 (9),674 (1986)4. P. J. Jorgensen, M. E. Wadsworth and I.B. Cutler. J. Am Ceram.Soc., 42 (12), 613 (1959)5. G. Ervin, Jr., J. Am Ceram Soc., 41(9), 347 (1958)6. T. Narushima, T. Goto and T. Hirai., J. Am. Ceram. Soc., 72 (8),1386 (1989)7. T. Narushima, T. Goto, Y. Iguchi and T . Hírai., J. Am Ceram Soc., 74 (10), 2583 (1991)8 . Ibid, 76 (10), 2521(1993)9. D. Fox, Ceram.Fng. Sci . Proc., 13,836 (1992)10. J. A Costello and R. E. Tressler. J.Am. Ceram. Soc, 64 (6),327 (1981)11 . S. C. Singbal, J. Mat Sci.11, 1246 (1976)12. M. Maeda, K Nakamura and M . Yamada, J. Am. Ceram . Soc ., 72 (3), 512 (1989)13. J. E. Antill and J. B. Warburton, Corrosion ScL,11, 337 (1971)14. J. Rodriguez-Viejo, F . Sibieude and M . T. Clavaguera-Mora. J.Eur, Ceram., Soc., 13, 167 (1994)15. E. Gomez, F. Castro, Brite Project BREU-132BE-3005. Final Tech Report (Feb 1994)16. G. C. Weatherly, Acta Metall,19, 181 (1971)17. J. W. Cahn, Acta Metan., 8,554(1960)18. G. C. Weatherly, Can . Metall. Q ., 8, 105 (1969)