ecr-cvd& hit 太陽能電池
DESCRIPTION
ECR-CVD& HIT 太陽能電池. 指導老師 : 蕭瑞陽、林儒禮 老師 組別 : 第 20 組 學生 : 曹祖嘉 ( 49614024 ) 、張善淵 (49614049 ). 化學氣相沉積 ( CVD ). CVD (Chemical Vapor Deposition) ,乃利用化學反應的方式在反應腔體內將反應物 ( 通常為氣體 ) 生成固態的生成物,並沉積在晶片表面的一種薄膜沉積技術。. 能量型式分類. 能量來源: 利用電漿( plasma) ,為電漿輔助 CVD ( Plamsa Enhanced CVD )。 - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
-
ECR-CVD&HIT: :20:(49614024)(49614049)
-
(CVD) CVD (Chemical Vapor Deposition)()
-
plasma)CVDPlamsa Enhanced CVDCVDThermal CVDCVD photo- CVD
-
ECR-CVD
-
1982NTT
-
ECR?ECR()
-
(electron cyclotron resonance,ECR)
-
ECR-CVDfceHZBT fce = 2.8X1010 B
2.45GHZECR87.5mT
-
ECRECR (300K)10-210-3 Pa(1050 eV)(10-2)10111013 cm-3
-
/Pa105~102102 ~10-110-1 ~10-510-5 ~10-9
-
HIT
-
90%
-
H.I.T1992(SANYO) Floating Zone n-(Hetero-junction with Intrinsic Thin layer ,HIT)22%
-
HIT
-
HIT
-
ECRCVD HIT
-
ECRCVD HIT
-
[1], [2][3][4][5]VHF ECR/ICP
-
Thank you for your attention