人並みの触覚を実現する mems触覚センサaaaaa...
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介護ロボットのような人と共存しサービスを提供する
ヒューマンサポートロボットに十分な安全性と作業性を
与えるためには、器用な触覚機能が必要である。本プロ
ジェクトでは、MEMS技術を応用し、人間並の機能を持
ちロボットの指先に実装できる超小型多軸触覚センサの
開発を行った。
開発したセンサは、垂直力と水平方向2軸の剪断力に
対して感度を持ち、超小型のカンチレバーをエラストマ
で被った構造をしている。エラストマの上面に垂直力と
剪断力をかけると，エラストマごとMEMS構造が変形
し，その変形状態を電気的に検知する。行列計算を用い
たアルゴリズムにより、垂直力と剪断力を同時に分離し
て計測することを可能とした。
試作した触覚センサは検知部の直径が約1mm、チッ
プの大きさが最小5mm角であり、ロボットの指先にも
搭載可能な大きさを実現できた。
研究内容
応用例
立命館大学リサーチオフィス(BKC)〒525-8577 滋賀県草津市野路東1-1-1 びわこ・くさつキャンパス テクノコンプレクス1FTEL 077・561・2802 FAX 077・561・2811 MAIL [email protected]
開発センサ／Developed sensor
計測システム／Measurement system
触覚センサ
ロボットハンドの指や掌に実装して最適な把持状態を実現する。
ロボットの腕や肩に実装して障害物の接触状態を検知する。
開発コンセプト／Development concept
エラストマ
マイクロカンチレバー
Si基板
1 mm
垂直力 剪断力
超小型触覚センサ
ハイブリッド化
アクティブタッチ計測
3次元ベクトル力計測
介護ロボット
褥瘡予防装置
器用な産業用ロボット
質感定量評価
応用展開・波及効果
シーズ技術
特色・派生技術
日常生活モニタセンサ
インテリジェントタイヤ
(参画機関：新潟大学・大阪大学・新機能素子研究所・ (株)国際電気通信基礎技術研究所)
立命館大学 情報理工学部・メディア情報学科 教授 野間 春生
● 人 並 み の 触 覚 を 実 現 す る ●● M E M S 触 覚 セ ン サ ●
● 先 端 I C T メ デ ィ カ ル ・ ヘ ル ス ケ ア 研 究 セ ン タ ー ●