超小形サイズで、高速応答小形流量センサcc-886 8 small size flow sensor rapiflow®...

8CC-886

SMALL SIZE FLOW SENSOR RAPIFLOW® FSM2 SERIES

小形流量センサ超小形サイズで、高速応答

ラピフロー® FSM2シリーズ

精度±3%F.S.を実現し、より正確な流量計測が可能になりました。

ニーズに応えた豊富なラインナップ

アプリケーション

サン

小型流量センサラピフロー表示一体型／表示分離型

FSM2 Series● 樹脂ボディタイプ（流量レンジ：500㎖/min～200ℓ/min）● アルミボディタイプ（流量レンジ：500ℓ/min、1000ℓ/min）● ステンレスボディタイプ（流量レンジ：500㎖/min～200ℓ/min）

項目表示一体型（樹脂・アルミボディ）FSM2－[※1][※2][※3][※4]－[※5][※6]－[※7]

フルスケール流量 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102

流量レンジ注1

※

4

005 500mℓ/min ●010 1ℓ/min ●020 2ℓ/min ●050 5ℓ/min ●100 10ℓ/min ●200 20ℓ/min ●500 50ℓ/min ●101 100ℓ/min ●201 200ℓ/min ●501 500ℓ/min ●102 1000ℓ/min ●

接続口径／ボディ材質

※

5

H04 φ4ワンタッチ／樹脂 ● ● ● ● ● ●H06 φ6ワンタッチ／樹脂 ● ● ● ● ● ● ●H08 φ8ワンタッチ／樹脂 ● ● ●H10 φ10ワンタッチ／樹脂 ● ●A15 Rc1/2／アルミ ● ●

ニードル弁一体型注1 ※6 N ● ● ● ● ● ● ● ● ●

流量表示注2、注3

表示の種類 4桁＋4桁 2色LCD

表示範囲 ※3F 0～500

mℓ/min0～1000mℓ/min

０～2.00ℓ/min

０～5.00ℓ/min

０～10.00ℓ/min

０～20.0ℓ/min

０～50.0ℓ/min

０～100.0ℓ/min

０～200ℓ/min

0～500ℓ/min

０～1000ℓ/min

R-500～500

mℓ/min

-1000～1000

mℓ/min

-2.00～2.00

ℓ/min

-5.00～5.00

ℓ/min

-10.00～10.00ℓ/min

-20.0～20.0

ℓ/min

-50.0～50.0

ℓ/min

-100.0～100.0ℓ/min

-200～200

ℓ/min

-500～500

ℓ/min

-1000～1000ℓ/min

表示分解能 1mℓ/min 0.01ℓ/min 0.1ℓ/min 1ℓ/min

積算機能注4

表示範囲 9999999mℓ 99999.99ℓ 999999.9ℓ 9999999ℓ表示分解能 1mℓ 0.01ℓ 0.1ℓ 1ℓ積算パルス出力レート 5mℓ 10mℓ 0.02ℓ 0.05ℓ 0.1ℓ 0.2ℓ 0.5ℓ 1ℓ 2ℓ 5ℓ 10ℓ

使

用

条

件

適用流体注5 清浄空気（JIS B 8392-1：2012 1.1.1～5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2012 1.1.1～1.6.2）、窒素ガス最高使用圧力 0.7MPa最低使用圧力 -0.09MPa耐圧力 1MPa使用周囲温度・湿度 0～50℃，90%RH以下流体温度 0～50℃（結露なきこと）使用範囲片方向タイプ：3～100％F.S.、双方向タイプ：-100～-3％F.S.、3～100％F.S.

精

度

直線性（表示・アナログ出力） ±3%F.S.以内（2次側大気開放）圧力特性 ±5%F.S.以内（-0.09～0.7MPa、2次側大気開放基準）温度特性 ±0.2%F.S.／℃以内（15～35℃、25℃基準）

注6 再現性（くり返し精度） ±1%F.S.以内応答時間注7 50ms以下

出

力

スイッチ出力 ※1 N 出力2点（NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）P 出力2点（PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）

アナログ出力 ※2 V 1～5V電圧出力1点（接続負荷インピーダンス50kΩ以上）注8A 4～20mA電流出力1点（接続負荷インピーダンス0～300Ω）

電源電圧注9 ※2 V DC12～24V（10.8～26.4V）A DC24V（21.6～26.4V）

消費電流注10 50mA以下リード線 Φ3.7 AWG26相当×5芯（コネクタ接続）、絶縁体外径Φ1.0保有機能流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力他取

付取付姿勢縦・横自在導入直管部不要

保護構造 IEC規格 IP40相当保護回路注11 電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2／3／4／6／8

質量（本体のみ） ※5

H04 約50g （ニードル弁付きは約80g）H06 約50g （ニードル弁付きは約80g）H08 約70g （ニードル弁付きは約110g）H10 約75g （ニードル弁付きは約115g）A15 約155g

クリーン仕様 ※7 P70 発塵防止注12P80 禁油処理注13

表示一体型（樹脂・アルミボディタイプ）仕様

1

FSM2 Series仕様

項目表示一体型（ステンレスボディ）FSM2－[※1][※2][※3][※4]－[※5][※6][※7]－[※8]

フルスケール流量 005 010 020 050 100 200 500 101 201

流量レンジ注1

※

4

005 500mℓ/min ●010 1ℓ/min ●020 2ℓ/min ●050 5ℓ/min ●100 10ℓ/min ●200 20ℓ/min ●500 50ℓ/min ●101 100ℓ/min ●201 200ℓ/min ●


※

5

S06 Rc1/8 ステンレス ● ● ● ● ● ● ●（炭酸ガスはなし）

S08 Rc1/4 ステンレス ● ● ●空気、窒素ガスのみ

SM5 M5 ステンレス（受注生産品） ● ● ● ● ● ●

（炭酸ガスはなし）ニードル弁一体型注1 ※7 N ● ● ● ● ● ● ● ● ●

流量表示注2、注3

表示の種類 4桁＋4桁 2色LCD

表示範囲 ※3F 0～500

mℓ/min0～1000mℓ/min

０～2.00ℓ/min

０～5.00ℓ/min

０～10.00ℓ/min

０～20.0ℓ/min

０～50.0ℓ/min

０～100.0ℓ/min

０～200ℓ/min

R -500～500mℓ/min

-1000～1000mℓ/min

-2.00～2.00ℓ/min

-5.00～5.00ℓ/min

-10.00～10.00ℓ/min

-20.0～20.0ℓ/min

-50.0～50.0ℓ/min

-100.0～100.0ℓ/min

-200～200ℓ/min

表示分解能 1mℓ/min 0.01ℓ/min 0.1ℓ/min 1ℓ/min

積算機能注4

表示範囲 9999999mℓ 99999.99ℓ 999999.9ℓ 9999999ℓ表示分解能 1mℓ 0.01ℓ 0.1ℓ 1ℓ積算パルス出力レート 5mℓ 10mℓ 0.02ℓ 0.05ℓ 0.1ℓ 0.2ℓ 0.5ℓ 1ℓ 2ℓ

使

用

条

件

適用流体注5 ※6

無記号清浄空気（JIS B 8392-1：2003 1.1.1～5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2003 1.1.1～1.6.2）、窒素ガスAR アルゴンC2 炭酸ガス

最高使用圧力 1.0MPa最低使用圧力 -0.09MPa耐圧力 1.5MPa使用周囲温度・湿度 0～50℃，90%RH以下流体温度 0～50℃（結露なきこと）使用範囲片方向タイプ：3～100％F.S.、双方向タイプ：-100～-3％F.S.、3～100％F.S.

精

度

直線性（表示・アナログ出力） ±3%F.S.以内（2次側大気開放）圧力特性 ±5%F.S.以内（-0.09～0.7MPa、2次側大気開放基準）温度特性 ±0.2%F.S.／℃以内（15～35℃、25℃基準）

注6 再現性（くり返し精度） ±1%F.S.以内応答時間注7 50ms以下

出

力

スイッチ出力 ※1 N 出力2点（NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）P 出力2点（PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）

アナログ出力 ※2 V 1～5V電圧出力1点（接続負荷インピーダンス50kΩ以上）注8A 4～20mA電流出力1点（接続負荷インピーダンス０～300Ω）


消費電流注10 50mA以下リード線 Φ3.7 AWG26相当×5芯（コネクタ接続）、絶縁体外径Φ1.0保有機能流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力他取


保護構造 IEC規格 IP40相当保護回路注11 電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2／3／4／6／8

質量（本体のみ） ※5S06 約95g （ニードル弁付きは約160g）S08 約115g （ニードル弁付きは約200g）SM5 約140g


表示一体型（ステンレスボディタイプ）仕様

注1：漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。仕様上ある程度の漏れを許容しています。注2：標準状態（20℃ 1気圧（101kPa）相対湿度65％）での体積流量に換算注3：流量表示は約±1％F.S.未満において切り捨て（強制ゼロ）をしております。注4：積算流量は計算（参考）値です。電源を切るとリセットされます。注5：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、JIS B

8392-1:2012 等級1.1.1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。＜推奨回路＞

注6：本製品の校正は使用範囲内で行います。精度条件：温度 25±3℃、電源電圧 DC24±0.01V。F.S.とはフルスケール流量を指します。注7：応答時間は、設定にて50ms以下～約1.5sまで7段階の設定ができます。注8：アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が

大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。注9：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。注10：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。注11：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。注12：＜P70＞発塵防止（包装前に製品表面を脱脂洗浄。クリーンベンチ（クラス1000以上）内にて帯電防止袋へヒートシール包装。）注13：＜P80＞禁油処理（P70仕様に加えて、接ガス部の脱脂洗浄を実施。接ガス部材については「内部構造図および部品リスト」参照。）

＜推奨機器＞エアフィルタ：Fシリーズオイルミストフィルタ：Mシリーズ

オイルミストフィルタ（マイクロエレッサ）

レギュレータエアドライヤ

フィルタ

FSM2シリーズ空気圧源

2

FSM2 Series

項目表示分離型（樹脂・アルミボディ）FSM2－Ａ[※1][※2][※3]－[※4]－[※5]

フルスケール流量 005 010 020 050 100 200 500 101 201 501 102

流量レンジ注1

※

3

005 500mℓ/min ●

010 1ℓ/min ●

020 2ℓ/min ●

050 5ℓ/min ●

100 10ℓ/min ●

200 20ℓ/min ●

500 50ℓ/min ●

101 100ℓ/min ●

201 200ℓ/min ●

501 500ℓ/min ●

102 1000ℓ/min ●


※

4

H04 φ4ワンタッチ／樹脂 ● ● ● ● ● ●

H06 φ6ワンタッチ／樹脂 ● ● ● ● ● ● ●

H08 φ8ワンタッチ／樹脂 ● ● ●

H10 φ10ワンタッチ／樹脂 ● ●

A15 Rc1/2／アルミ ● ●

流れ方向 ※2F 片方向R 双方向

使

用

条

件

適用流体注2 清浄空気（JIS B 8392-1：2003 1.1.1～5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2003 1.1.1～1.6.2）、窒素ガス最高使用圧力 0.7MPa最低使用圧力 -0.09MPa耐圧力 1MPa使用周囲温度・湿度 0～50℃，90%RH以下流体温度 0～50℃（結露なきこと）使用範囲片方向タイプ：3～100％F.S.、双方向タイプ：-100～-3％F.S.、3～100％F.S.

精

度

直線性（アナログ出力） ±3%F.S.以内（2次側大気開放）圧力特性 ±5%F.S.以内（-0.09～0.7MPa、2次側大気開放基準）温度特性 ±0.2%F.S.／℃以内（15～35℃、25℃基準）

注3 再現性（くり返し精度） ±1%F.S.以内応答時間 50ms以下表示の種類流量バー表示出力アナログ出力 ※1

V 1～5Ｖ電圧出力1点（接続負荷インピーダンス50kΩ以上）注4A 4～20mA電流出力1点（接続負荷インピーダンス0～300Ω）

電源電圧注5 ※1V DC12～24V（10.8～26.4V）A DC24V（21.6～26.4V）

消費電流注6 50mA以下リード線 Φ3.7 AWG26相当×4芯（コネクタ接続）、絶縁体外径Φ1.0保有機能アナログ出力、流量バー表示、エラー表示取


保護構造 IEC規格 IP40相当保護回路注7 電源逆接続保護EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2／3／4／6／8

質量（本体のみ） ※4

H04 約40gH06 約40gH08 約60gH10 約65gA15 約145g

クリーン仕様 ※5P70 発塵防止注8P80 禁油処理注9

表示分離型（樹脂・アルミボディタイプ）仕様

3

FSM2 Series仕様

項目表示分離型（ステンレスボディ）FSM2－Ａ[※1][※2][※3]－[※4][※5]－[※6]

フルスケール流量 005 010 020 050 100 200 500 101 201

流量レンジ注1

※

3

005 500mℓ/min ●

010 1ℓ/min ●

020 2ℓ/min ●

050 5ℓ/min ●

100 10ℓ/min ●

200 20ℓ/min ●

500 50ℓ/min ●

101 100ℓ/min ●

201 200ℓ/min ●


※

4

S06 Rc1/8 ステンレス ● ● ● ● ● ●●

（炭酸ガスはなし）

S08 Rc1/4 ステンレス ● ●●

空気、窒素ガスのみ

SM5 M5 ステンレス（受注生産品）

● ● ● ● ●●

（炭酸ガスはなし）

流れ方向 ※2 F 片方向R 双方向

使

用

条

件

適用流体注2 ※5

無記号清浄空気（JIS B 8392-1：2003 1.1.1～5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1：2003 1.1.1～1.6.2）、窒素ガスAR アルゴンC2 炭酸ガス

最高使用圧力 1.0MPa最低使用圧力 -0.09MPa耐圧力 1.5MPa使用周囲温度・湿度 0～50℃，90%RH以下流体温度 0～50℃（結露なきこと）使用範囲片方向タイプ：3～100％F.S.、双方向タイプ：-100～-3％F.S.、3～100％F.S.

精

度

直線性（アナログ出力） ±3%F.S.以内（2次側大気開放）圧力特性 ±5%F.S.以内（-0.09～0.7MPa、2次側大気開放基準）温度特性 ±0.2%F.S.／℃以内（15～35℃、25℃基準）

注3 再現性（くり返し精度） ±1%F.S.以内応答時間 50ms以下表示の種類流量バー表示出

力アナログ出力 ※1 V 1～5Ｖ電圧出力1点（接続負荷インピーダンス50kΩ以上）注4A 4～20mA電流出力1点（接続負荷インピーダンス0～300Ω）


消費電流注6 50mA以下リード線 Φ3.7 AWG26相当×4芯（コネクタ接続）、絶縁体外径Φ1.0保有機能アナログ出力、流量バー表示、エラー表示取


保護構造 IEC規格 IP40相当保護回路注7 電源逆接続保護EMC指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2／3／4／6／8

質量（本体のみ） ※４S06 約85gS08 約105gSM5 約130g


注1：標準状態（20℃ 1気圧（101kPa）相対湿度65％）での体積流量に換算注2：塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、JIS

B 8392-1:2003 等級1.1.1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサーからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ（最低圧力露点10℃以下）及びオイルミストフィルタ（最大油分濃度0.1mg/m3）を取り付けてご使用ください。＜推奨回路＞

注3：本製品の校正は使用範囲内で行います。精度条件：温度25±3℃、電源電圧DC24±0.01V。F.S.とはフルスケール流量を指します。注4：アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。接続負荷

のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。注5：電圧出力タイプと電流出力タイプでは、電源電圧仕様が異なりますのでご注意ください。注6：DC24V接続、負荷未接続時の電流です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。注7：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。注8：＜P70＞発塵防止（包装前に製品表面を脱脂洗浄。クリーンベンチ（クラス1000以上）内にて帯電防止袋へヒートシール包装。）注9：＜P80＞禁油処理（P70仕様に加えて、接ガス部の脱脂洗浄を実施。接ガス部材については「内部構造図および部品リスト」参照。）

表示分離型（ステンレスボディタイプ）仕様

＜推奨機器＞エアフィルタ：Fシリーズオイルミストフィルタ：Mシリーズ

オイルミストフィルタ（マイクロエレッサ）

レギュレータエアドライヤ

フィルタ

FSM2シリーズ空気圧源

4

FSM2 Series

分離表示器仕様

注１： FSM2表示分離形を接続した場合のみ流量レンジ、流れ方向、ガス種を自動認識します。（工場出荷状態にて） FSM2シリーズの他、FSM-Hシリーズ、FSM-Vシリーズ、WFK3000シリーズの流量レンジにも対応しておりますが、FSM2シリーズ以外は自動認識し

ませんので、使用時はその製品の流量レンジ、流れ方向、ガス種を設定してからご使用ください。接続可能な流量レンジは下記「流量レンジ毎の表示」を参照してください。又、センサ部を変更される場合は過去の流量レンジ等の設定が残りますので、リセット操作をしてからご使用ください。注２：ＤＣ24V接続、負荷未接続の電流です。負荷の接続状態によって、消費電流が変わりますのでご注意ください。注3：本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から、保護できるわけではありません。注4：＜P70＞発塵防止（包装前に製品表面を脱脂洗浄。クリーンベンチ（クラス1000以上）内にて帯電防止袋へヒートシール包装。）注5：FSM-Vシリーズ、WFK3000シリーズへ接続する場合は、ケーブルの太さが異なるため、別途適合するセンサ接続用コネクタ（e-con）が必要となります。

弊社営業又は代理店へお問合せください。FSMシリーズ、FSM-Hシリーズについては、添付のセンサ接続用コネクタ（e-con）が使用できます。

注6：アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。

項目分離表示器ＦＳＭ２－D－[※ １][※ ２]－□－[※3]

設定可能流量レンジ　注1mℓ 5，10，50，100，500

ℓ 1，2，4，5，10，12，20，25，32，50，100，200，500，1000，1500

使用周囲温度・湿度 0～50℃表示の種類４桁＋４桁　２色LCD入力電圧 1～5V

出力

スイッチ出力 ※１N 出力２点（ＮＰＮオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）P 出力２点（ＰＮＰオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）

アナログ出力 ※2V １～５Ｖ電圧出力１点　（接続負荷インピーダンス50kΩ以上）　注6A 4～20mA電流出力１点　（接続負荷インピーダンス０～300Ω）

電源電圧 ※2V DC12～24V （10.8～26.4V）A DC24V （21.6～26.4V）

消費電流注2 40mA以下（DC24V時、負荷未接続）リード線 Φ3.7　AWG26相当×5芯（コネクタ接続）、絶縁体外径Φ1.0保有機能流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力保護構造ＩＥＣ規格 IP40相当保護回路注3 電源逆接続保護ＥＭＣ指令 EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2／3／4／6／8付属品センサ接続用コネクタ（e-con）1個、適合ケーブルAWG24～26、絶縁体外径Φ1.0～1.2質量（本体のみ）約40ｇクリーン仕様注4 ※3 P70 発塵防止

流量レンジ毎の表示

流量表示

表示範囲

片方向0～500

mℓ/min

0～1000

mℓ/min

0～2.00

ℓ/min

0～4.00

ℓ/min

0～5.00

ℓ/min

0～10.00ℓ/min

0～12.0

ℓ/min

0～20.0

ℓ/min

0～25.0

ℓ/min

0～32.0

ℓ/min

0～50.0

ℓ/min

0～100.0ℓ/min

0～200

ℓ/min

0～500

ℓ/min

0～1000ℓ/min

0～1.50

ｍ3/min

0～5.00mℓ/min

0～10.00mℓ/min

0～50.0mℓ/min

0～100.0mℓ/min

双方向－500

～500

mℓ/min

－1000～

1000mℓ/min

－2.00～

2.00ℓ/min

―－5.00

～5.00

ℓ/min

－10.00～

10.00ℓ/min

―－20.0

～20.0

ℓ/min― ―

－50.0～

50.0ℓ/min

－100.0～

100.0ℓ/min

－200～

200ℓ/min

－500～

500ℓ/min

－1000～

1000ℓ/min

－1.50～

1.50ｍ3/min

－5.00～

5.00mℓ/min

－10.00～

10.00mℓ/min

－50.0～

50.0mℓ/min

－100.0～

100.0mℓ/min

表示分解能 1mℓ/min 0.01ℓ/min 0.1ℓ/min 1ℓ/min 0.01m3/min 0.01mℓ/min 0.1mℓ/min精算機能

表示範囲 9999999mℓ 99999.99ℓ 999999.9ℓ 9999999ℓ 99999.99m3 99999.99mℓ 999999.9mℓ表示分解能 1mℓ 0.01ℓ 0.1ℓ 1ℓ 0.01m3 0.01mℓ 0.1mℓ積算パルス出力レート 5mℓ 10mℓ 0.02ℓ 0.04ℓ 0.05ℓ 0.1ℓ 0.12ℓ 0.2ℓ 0.25ℓ 0.32ℓ 0.5ℓ 1ℓ 2ℓ 5ℓ 10ℓ 15ℓ 0.05mℓ 0.1mℓ 0.5mℓ 1mℓ

※対応するセンサは電圧出力（1-5V）タイプとなります。電流出力タイプや他の電圧出力タイプを接続した場合は正常に動作しませんのでご注意ください。

5

MEMOMEMO

6

FSM2 Series

形番表示方法

イ出力タイプ

ハ流れ方向

ニ流量レンジ

ヘガス種

チブラケット

リトレーサビリティ

ホ接続口径　　（ボディ材質）

トケーブル

※ 流量レンジと接続口径(ボディ材質)、ガス種の組合せについては次ページの表をご覧ください。

ロアナログ出力形式

記号内　容イ出力タイプ

A 表示分離型（アナログ出力1点のみ）　（ニードル弁付き選定不可）N 表示一体型（スイッチ出力（NPN)2点、アナログ出力1点）P 表示一体型（スイッチ出力（PNP)2点、アナログ出力1点）

ロアナログ出力形式V 電圧出力（1-5Ｖ）A 電流出力（4-20mA)

ハ流れ方向F 片方向　R 双方向　（ニードル弁付き選定不可）

ニ流量レンジ（フルスケール流量）005 500 mℓ/min010 1 ℓ/min020 2 ℓ/min050 5 ℓ/min100 10 ℓ/min200 20 ℓ/min500 50 ℓ/min101 100 ℓ/min201 200 ℓ/min501 500 ℓ/min　（ニードル弁付き選定不可）102 1000 ℓ/min　（ニードル弁付き選定不可）

ホ接続口径（ボディ材質）H04 ワンタッチφ４（樹脂）H06 ワンタッチφ６（樹脂）H08 ワンタッチφ８（樹脂）H10 ワンタッチφ10（樹脂）S06 Ｒｃ１／８（ステンレス）S08 Ｒｃ１／４（ステンレス）A15 Ｒｃ１／２（アルミ）　（ニードル弁付き選定不可）SM5 Ｍ５（ステンレス）　（受注生産品）（ニードル弁付き選定不可）

ヘガス種無記号空気、窒素ガス

AR アルゴンC2 炭酸ガス

トケーブル無記号なし

1 1m3 3m

チブラケット無記号なし

B ブラケット付P パネル取り付けキット

リトレーサビリティ無記号なし

T トレーサビリティ証明書、体系図、検査成績書付K 検査成績書付

ヌニードル弁付き無記号なし

N ニードル弁一体型

ルクリーン仕様無記号なしP70 発塵防止P80 禁油処理

FSM2 005 S06 ARA P70V R 1 B K N

ヌニードル弁付き

ルクリーン仕様

〈形番表示例〉FSM2-NVF005-S06AR1BKN-P70機種名：ラピフロー　FSM2　イ出力タイプ：表示一体型（NPN）ロアナログ出力形式：電圧出力(1-5V)ハ流れ方向：片方向ニ流量レンジ：500mℓ/minホ接続口径(ボディ材質)：Ｒc1/8（ステンレス）ヘガス種：アルゴントケーブル：1ｍチブラケット：ブラケット付リトレーサビリティ：検査成績書付ヌニードル弁付き：ニードル弁付きルクリーン仕様：発塵防止

● 表示一体型、表示分離型、ニードル弁一体型

注1

注1

注１：イ出力タイプ“A”の場合は、チパネル取付オプション“P”は選定できません。またイ出力タイプ“A”には分離表示器は添付されません。

注2：表示分離型で分離表示器にFSM2-Dを使用される場合は“V”を選定してください。

注3：ホ接続口径“A15”の場合は、チパネル取付オプション“P”は選定できません。

形番選定にあたっての注意事項

注2

注3

7

FSM2 Series形番表示方法

流量レンジと接続口径（ボディ材質）、ガス種ニードル弁付きの組合せホ接続口径（ボディ材質）

H04 H06 H08 H10 S06 S08 A15 SM5

ニ　

流量レンジ

005 ●◆ ●◆ ●○△◆ ●○△010 ●◆ ●◆ ●○△◆ ●○△020 ●◆ ●◆ ●○△◆ ●○△050 ●◆ ●◆ ●○△◆ ●○△100 ●◆ ●◆ ●○△◆ ●○△200 ●◆ ●◆ ●○△◆ ●○　500 ●◆ ●◆ ●○　◆ ●○△◆101 ●◆ ●◆ ●○△◆201 ●◆ ●◆ ●　　◆501 ●102 ●

ヘガス種● ：空気、窒素ガス○ ：アルゴン△ ：炭酸ガス

：製作不可

ヌニードル弁付き◆ ：ニードル弁一体型

接続口径とクリーン仕様の組合せホ接続口径（ボディ材管）

H04 H06 H08 H10 S06 S08 A15 SM5

ルクリーン仕様P70 ● ● ● ● ● ● ● ●P80 ● ● ● ● ● ●

● ：有り：製作不可

記号内　容イオプションLB1 ブラケット(φ4,φ6,φ8,φ10,Ｒｃ1/8,Ｒｃ1/4,M5用)LB2 ブラケット(Ｒｃ1/2用)ＫＨＳパネル取り付けキット（表示一体型用、分離表示器用）※

ＫHS-N パネル取り付けキット一式（ニードル弁一体型用）C51 ５芯ケーブル1m（表示一体型用、分離表示器用）C53 ５芯ケーブル3m（表示一体型用、分離表示器用）C41 4芯ケーブル1m（表示分離型用）C43 4芯ケーブル3m（表示分離型用）

記号内　容ロクリーン仕様無記号なしP70 発塵防止

オプション単品形番

イオプションロクリーン仕様

FSM2 LB1 P70

記号内　容イ出力タイプ

N スイッチ出力（NPN）2点、アナログ出力１点P スイッチ出力（PNP）2点、アナログ出力１点

ロアナログ出力形式V 電圧出力（1-5V）A 電流出力（4-20mA）

ハケーブル無記号なし

1 1m3 3m

ニブラケット無記号なし

P パネル取り付けキット

ホクリーン仕様無記号なしP70 発塵防止

イ出力タイプロアナログ出力形式

ハケーブルニブラケット

ホクリーン仕様

●分離表示器　

FSM2 D N V 3 P P70

記号内　容イオプションKHS パネル取り付けキット一式C51 ５芯ケーブル1m（表示一体型用、分離表示器用）C53 ５芯ケーブル3m（表示一体型用、分離表示器用）EC センサ接続用コネクタ（e-con）5ヶセット

ロクリーン仕様無記号なしP70 発塵防止

イオプションロクリーン仕様

オプション単品形番

FSM2 KHS P70

※：パネル取付キットはFSM2-□-A15□タイプへは取付けられません。

対応するセンサは、電圧出力（1-5V）タイプとなります。電流出力タイプや他の電圧出力タイプを接続した場合は正常に動作しませんので、ご注意ください。FSM2をご使用の場合は、FSM2-AV□を使用ください。注意

8

FSM2 Series

内部構造および部品リスト●表示一体型　樹脂ボディ　接続口径Φ6ワンタッチ

z 表示分離型　ステンレスボディ　接続口径　Rc1/4

主要部品リスト品番部品名称材　　質品番部品名称材　　質

1 液晶カバーアクリル樹脂 8 樹脂ボディ（・）ポリアミド樹脂2 液晶－ 9 センサチップ（・）半導体チップ3 スイッチＥＰＤＭ 10 整流板（・）ステンレス4 基板スペーサポリカーボネート樹脂 11 ポートフィルタ（・）ステンレス5 モジュール押さえポリアミド樹脂 12 センサ基板（・）アルミナ6 ワンタッチ継手－ 13 電子基板－7 センサガスケット（・）フッ素ゴム 14 ケースＡＢＳ樹脂


1 フロントシートＰＥＴフィルム 8 スペーサ（・）ステンレス2 ケースＡＢＳ樹脂 9 ポートフィルタ（・）ステンレス3 電子基板－ 10 整流板（・）ステンレス4 モジュール押さえポリアミド樹脂 11 センサチップ（・）半導体チップ5 Ｃリング（・）ステンレス 12 ステンレスボディ（・）ステンレス6 Ｏリングホルダ（・）ステンレス 13 センサガスケット（・）フッ素ゴム7 Ｏリング（・）フッ素ゴム 14 センサ基板（・）アルミナ

1

14

13

12

11 10 9 8 7

2 3

4

5

6

1

14

13

12

11 10 9 8 7

2

3

4

5

6

※部品の材質については予告なく変更する場合があります。


（・）…P80仕様洗浄部品

（・）…P80仕様洗浄部品9

FSM2 Series内部構造および部品リスト

内部構造および部品リスト●表示分離型　アルミボディ　接続口径　Rc1/2


1 フロントシートＰＥＴフィルム 8 スペーサ（・）アルミニウム2 ケースＡＢＳ樹脂 9 ポートフィルタ（・）ステンレス3 電子基板－ 10 整流板（・）ステンレス4 モジュール押さえポリアミド樹脂 11 センサチップ（・）半導体チップ5 Ｃリング（・）ステンレス 12 アルミボディ（・）アルミニウム6 Ｏリングホルダ（・）ステンレス 13 センサガスケット（・）フッ素ゴム7 Ｏリング（・）フッ素ゴム 14 センサ基板（・）アルミナ

1

14

13

12

11 10 9 8 7

2

3

4

5

6


（・）…P80仕様洗浄部品

10

FSM2 Series

内部構造および部品リスト●ニードル弁付（樹脂ボディ）　FSM2-□-H□N

●ニードル弁付（ステンレスボディ）　FSM2-□-S□N


1 ツマミポリブチレンテレフタレート 8 ニードル弁ボディステンレス2 ロックナット黄銅／ニッケルメッキ 9 ポートフィルタステンレス3 ニードルガイドステンレス 10 Ｏリングフッ素ゴム4 ニードルステンレス 11 オリフィス PTFE5 固定ピンステンレス 12 スプリングピンステンレス6 Ｏリングフッ素ゴム（フッ素樹脂コーティング） 13 Ｏリングフッ素ゴム（フッ素樹脂コーティング）7 Ｏリングフッ素ゴム（フッ素樹脂コーティング）

4 23 1

1

1112131415 10 9

8

7

2

3

4

5

6

1

7

2

3

4

5

6

1

111213 10 9 8

7

2 3

4

56

センサ部注1

センサ部注1

4 23 1

1

1112131415 10 9

8

7

2

3

4

5

6

1

7

2

3

4

5

6

1

111213 10 9 8

7

2 3

4

56

センサ部注1

センサ部注1


1 ツマミポリブチレンテレフタレート 9 継手固定ピンステンレス2 ロックナット黄銅／ニッケルメッキ 10 ニードル弁ボディポリアミド樹脂3 ニードルガイド黄銅／ニッケルメッキ 11 ポートフィルタステンレス4 ニードル黄銅／ニッケルメッキ　　　注2 12 Ｏリングフッ素ゴム5 固定ピンステンレス 13 オリフィス黄銅／ニッケルメッキ　　　注36 Ｏリングフッ素ゴム（フッ素樹脂コーティング） 14 継手固定ピンステンレス7 Ｏリングフッ素ゴム（フッ素樹脂コーティング） 15 Ｏリングフッ素ゴム（フッ素樹脂コーティング）8 カートリッジ継手－

注１：センサ部の主要部品については9ページを参照してください。注2：FSM2-□005/010/020についてはステンレスとなります。注3：FSM2-□005/010/020についてはPTFEとなります。

注１：センサ部の主要部品については9ページを参照してください。



11

FSM2 Series内部構造および部品リスト

内部構造および部品リスト●分離表示器　FSM2-D-□


1 液晶カバーアクリル樹脂 5 背面カバーポリアミド樹脂2 液晶－ 6 電子基板－3 スイッチＥＰＤＭ 7 ケースＡＢＳ樹脂4 基板スペーサポリカーボネート樹脂

4 23 1

1

1112131415 10 9

8

7

2

3

4

5

6

1

7

2

3

4

5

6

1

111213 10 9 8

7

2 3

4

56

センサ部注1

センサ部注1


12

外形寸法図（表示一体型）表示一体型、接続口径：ワンタッチφ4、φ6●FSM2-N/P□-H04/H06□（フルスケール流量：0.5、1、2、5、10、20、50ℓ/min）

5515

17

15.5

9.5

27

37

3.6

8.5(24.2)

(A)1.5

2-φ3.4貫通

2-M3深さ5

φ4またはφ6ワンタッチ継手

表示一体型、接続口径：ワンタッチφ8、φ10●FSM2-N/P□-H08/H10□（フルスケール流量：50、100、200ℓ/min）

5515

17

15.5

9.5

3.643

13(30.2)

27

(A)

1.5

2-φ3.4貫通

2-M3深さ5


形番継手（A)寸法FSM2-N/P□-H04□ ワンタッチφ4 64FSM2-N/P□-H06□ ワンタッチφ6 65

形番継手（A)寸法FSM2-N/P□-H08□ ワンタッチφ8 70.6FSM2-N/P□-H10□ ワンタッチφ10 82.1

FSM2 Series

13

外形寸法図（表示一体型）表示一体型、接続口径：Rc1/8、M5●FSM2-N/P□-S06/SM5□（フルスケール流量：0.5、1、2、5、10、20、50ℓ/min）

3.6

27

9.5

15.5

37

(24.2)

17

15 55

8.5

1.5

2-φ3.4貫通

2-M3深さ5

Ｒc1/8またはＭ5

表示一体型、接続口径：Rc1/4F●SM2-N/P□-S08□（フルスケール流量：50、100、200ℓ/min）

43

3.6

(30.2)

13

27

9.5

15.5

17

5515

1.5

2-φ3.4貫通

2-M3深さ5

Ｒc1/4

FSM2 Series外形寸法図

14

外形寸法図（表示一体型）表示一体型、接続口径：Rc1/2●FSM2-N/P□-A15□（フルスケール流量：500、1000ℓ/min）

80

30

30

50

(37)

15

13

301.5

2-M3深さ5

Ｒc1/2

FSM2 Series

15

外形寸法図（表示分離型）表示分離型、接続口径：ワンタッチφ4、φ6●FSM2-A□-H04/H06□（フルスケール流量：0.5、1、2、5、10、20、50ℓ/min）

17

5515

29

3.6

27

(24.2)

8.5

9.5

15.5

(A)

2-φ3.4貫通

2-M3深さ5


表示分離型、接続口径：ワンタッチφ8、φ10●FSM2-A□-H08/H10□（フルスケール流量：50、100、200ℓ/min）

17

5515

15.5

9.5

35

3.6

27

(30.2)

13

(A)

2-φ3.4貫通

2-M3深さ5


形番継手（A)寸法FSM2-A□-H04□ ワンタッチφ4 64FSM2-A□-H06□ ワンタッチφ6 65

形番継手（A)寸法FSM2-A□-H08□ ワンタッチφ8 70.6FSM2-A□-H10□ ワンタッチφ15 82.1


16

外形寸法図（表示分離型）表示分離型、接続口径：Rc1/8、M5●FSM2-A□-S06/SM5□（フルスケール流量：0.5、1、2、5、10、20、50ℓ/min）

5515

17

27

29

3.6

(24.2)

8.5

9.5

15.5

2-φ3.4貫通

2-M3深さ5

Ｒc1/8またはＭ5

表示分離型、接続口径：Rc1/4●FSM2-A□-S08□（フルスケール流量：50、100、200ℓ/min）

27

35

3.6

(30.2)

13

9.5

15.5

5515

17

2-φ3.4貫通

2-M3深さ5

Ｒc1/4

FSM2 Series

17

外形寸法図（表示分離型）表示分離型、接続口径：Rc1/2●FSM2-A□-A15□（フルスケール流量：500、1000ℓ/min）

42

30

13

30

(37)

15

30

80

2-M3深さ5

Ｒc1/2


18

外形寸法図（表示一体型、ニードル弁一体型）表示一体型、接続口径：ワンタッチφ4、φ6●FSM2-N/P□-H04/H06□N（フルスケール流量：0.5、1、2、5、10、20、50ℓ/min）

表示一体型、接続口径：ワンタッチφ8、φ10●FSM2-N/P□-H08/H10□N（フルスケール流量：50、100、200ℓ/min）

5586

2343

70

15.5

9.5

8

13(30.2)

27

17

15

（A）

2-M3深さ5


2-φ3. 4 貫通

（10.5～19）

27.5

17

5580

37

17

8

15.5

9.5

（A）

27

8.5

2-M3深さ5

(24.2)

15 70


2-φ3. 4 貫通

27.5

（10.5～19）

形番継手（A)寸法FSM2-N/P□-H04□ ワンタッチφ4 89FSM2-N/P□-H06□ ワンタッチφ6 90

形番継手（A)寸法FSM2-N/P□-H08□ ワンタッチφ8 101.6FSM2-N/P□-H10□ ワンタッチφ10 113.1

FSM2 Series

19

外形寸法図（表示一体型、ニードル弁一体型）表示一体型、接続口径：Ｒｃ1/8●FSM2-N/P□-S06□N（フルスケール流量：0.5、1、2、5、10、20、50ℓ/min）

表示一体型、接続口径：Ｒｃ1/4●FSM2-N/P□-S08/□N（フルスケール流量：50、100、200ℓ/min）

5586

23

43

15.5

9.5

70

17

15

Rc1/4

13

(30.2)

27

2-M3深さ5

2-φ3. 4 貫通

8

（10.5～19）

27.5

17

5580

1737

8

15.5

9.5

15 70

Rc1/8

8.5(24.2)

27

2-M3深さ5

2-φ3. 4 貫通

（10.5～19）

27.5


20

オプション付外形寸法図（B：ブラケット付）表示一体型、接続口径：ワンタッチφ4、φ6、Rc1/8、M5●FSM2-N/P□-H04/H06/S06/SM5□B（フルスケール流量：0.5、1、2、5、10、20、50ℓ/min）

42

(29.2)

8.613.5

27

1.5

14.5

18.5

2327

17

5

30

6

1

3.5Ｒ1.75

表示一体型、接続口径：ワンタッチφ8、φ10、Rc1/4●FSM2-N/P□-H08/H10/S08□B（フルスケール流量：50、100、200ℓ/min）

1.5

48

(35.2)

18

8.6

27

5515

6

30

5

1

3.5

14.5

18.5

172327

Ｒ1.75

FSM2 Series

21

オプション付外形寸法図（B：ブラケット付）表示一体型、接続口径：Rc1/2●FSM2-N/P□-A15□B（フルスケール流量：500、1000ℓ/min）

80

(42)

20

55

35

1.5

30

40

50

30

6

2025

65

5

1

Ｒ1.75

表示分離型、接続口径：ワンタッチφ4、φ6、Rc1/8、M5●FSM2-A□-H04/H06/S06/SM5□B（フルスケール流量：0.5、1、2、5、10、20、50ℓ/min）

34

55

(29.2)

13.5

15

27

8.61

6

30

5

27

23

17

18.5

14.5

3.5Ｒ1.75

FSM2 Seriesオプション付外形寸法図

22

オプション付外形寸法図（B：ブラケット付）表示分離型、接続口径：ワンタッチφ8、φ10、Rc1/4●FSM2-A□-H08/H10/S08□B（フルスケール流量：50、100、200ℓ/min）

40

27

55(35.2)

18

15

8.61

6

30

5

18.5

3.5

14.5

2327

17

Ｒ1.75

表示分離型、接続口径：Rc1/2●FSM2-A□-A15□B（フルスケール流量：500、1000ℓ/min）

(42)

20

47

35

80

30

65

25

20

50

40

5

1

Ｒ1.7530

6

FSM2 Series

23

オプション付外形寸法図（B：ブラケット付）ニードル弁一体型、接続口径：ワンタッチφ4、φ6、Rc1/8●FSM2-N/P□-H04/H06/S06□BN（フルスケール流量：0.5、1、2、5、10、20、50ℓ/min）

ニードル弁一体型、接続口径：ワンタッチφ8、φ10、Rc1/4●FSM2-N/P□-Ｈ08/H10/S08□BN（フルスケール流量：50、100、200ℓ/min）

Ｒ1.75

27

23

17 14.5

1

18.5

3.5

30

55

27

30

15

6

518（35.2）48

1.5

8.6

27

23

17

3.5

8.6

513.5（29.2）42

1

1.5

14.5

18.5

Ｒ1.7530

27

30

6


24

28

18

78 71 61

4

A

20

57.5±0.5

22.5+28×（n－1）

28

28

1.4

B

4-R1以下

15

パネル厚さ6mm以下

57.5±0.5

22.5±0.5

4-R1以下

単品取付けの場合

密着取付けの場合パネルベッセル

パネルホルダ

2-固定用ネジ締付トルク0.06N・m

パネルベッセル押さえ


B

A

788895

1828

4

74.5±0.5

28

28

1.4

4-R1以下

15

22.5+28×（n－1）

22.5±0.5

74.5±0.54-R1以下22.5±0.5


密着取付けの場合

パネルベッセル

パネルホルダ



オプション付外形寸法図（Ｐ：パネル取り付けキット　オプション付）●表示一体型

●ニードル弁一体型

形番 A BFSM2-N/P□-H04/H06/S06/SM5□ 40.5 28.5FSM2-N/P□-H08/H10/S08□ 46.5 30.0

形番 A BFSM2-N/P□-H04/H06/S06□N 40.5 28.5FSM2-N/P□-H08/H10/S08□N 46.5 30.0

〈パネルカット寸法〉


※FSM-N/P□-A15□へは取付けられません。

FSM2 Series

25


オプション外形寸法図● ブラケット

（フルスケール流量：0.5、1、2、5、10、20、50、100、200ℓ/min）形番：FSM2-LB1 形番：FSM2-LB2

（フルスケール流量：500、1000ℓ/min）

※固定用M3（長さ6mm）ビス2本付属

質量：13g

質量：28g

※固定用M3（長さ6mm）ビス2本付属

● ケーブルオプション

形番：FSM2-C51,C535芯ケーブル（表示一体型 FSM2-N/P□-□用、分離表示器FSM2-D用）

形番：FSM2-C41,C434芯ケーブル（表示分離型 FSM2-A□-□用）

端子No. ケーブル色1 茶2 黒3 白4 灰5 青

端子No. ケーブル色1 茶2 黒3 白4 青

形番 L寸法質量 gFSM2-C51 1040±20 21FSM2-C53 3040±20 57

形番 L寸法質量 gFSM2-C41 1040±20 19FSM2-C43 3040±20 52

2-φ3.5

Ｒ1.75

6

3.5

18

.5

17 1

4.5

9.5

15.5

4

8.4

27

55

30

1

5

2-φ3.5

R1.75 6

3.5

1

5

40

13 50

30

65

30

5(3.7

)

ハロゲンフリー電線コンタクト：JST製4-SSHL-002T-P0.2

ハウジング：JST製GHR-04V-S

4-AWG26

30以下25

コネクタカバー材質：EPDM

ハーフストリップ

Ｌ

5(3.7

)

ハロゲンフリー電線コンタクト：JST 製5-SSHL-002T-P0.2

ハウジング：JST製GHR-05V-S

5-AWG2630以下コネクタカバー

材質：EPDMハーフストリップ

25Ｌ

26

分離表示器外形寸法図●FSM2-Dｰ□

●パネル取付けキットオプション付き外形寸法図

21

23

33

55

17

25

71.6

27

2-φ2.6深さ7

開口部幅 22.5

28

18

78

71

61

4

15

30.5

3.5

20

1.4

センサ側コネクタ（e-con）接続時

パネルベッセル

パネルホルダ

パネルベッセル押さえ 2-固定用ネジ締付トルク0.06N・m


28

18

78 71 61

4

A

20

57.5±0.5

22.5+28×（n－1）

28

28

1.4

B

4-R1以下

15


57.5±0.5 22.5±0.5

4-R1以下


連続取付けの場合パネルベッセル

パネルホルダ



FSM2 Series

27

MEMOMEMO

28

内部回路および負荷接続例●FSM2-N□ｰ□（表示一体型　NPN出力）

ＦＳＭ2-D-N□ｰ□（分離表示器　NPN出力）

主

回

路

負荷

負荷

負荷

（茶）電源＋

（灰）アナログ出力

（黒）CH1 SW出力１

（白）CH2

R※

SW出力2

（青）電源－

＋

－

1

2

3

4

5

主

回

路

負荷

負荷

（茶）電源＋



（白）CH2 外部入力

（青）電源－

＋

－

1

2

3

4

5

＜ＣＨ２をＳＷ出力として使用する場合＞

（FSM2側）

＜ＣＨ２を外部入力として使用する場合＞

R※

※アナログ出力電圧出力タイプ　R:約1KΩ電流出力タイプ　R:約100Ω

端子No.オプションケーブル色

名称

茶電源＋（電圧出力：12～24V、電流出力：24V）黒 CH1（スイッチ出力１：max50mA）白 CH2（スイッチ出力２：max50mA、または外部入力）

灰アナログ出力電圧出力：1-5V　負荷インピーダンス50kΩ以上

電流出力：4-20mA　負荷インピーダンス300Ω以下青電源－（GND）

●FSM2-P□ｰ□（表示一体型　PNP出力）FＳＭ2-D-P□ｰ□（分離表示器　PNP出力）


名称

茶電源＋（電圧出力：12～24V、電流出力：24V）黒 CH1（スイッチ出力１：max50mA）白 CH2（スイッチ出力２：max50mA、または外部入力）

灰アナログ出力電圧出力：1-5V　負荷インピーダンス50kΩ以上

電流出力：4-20mA　負荷インピーダンス300Ω以下青電源－（GND）

（FSM2側）

（FSM2側）

主

回

路

負荷

負荷

負荷

（茶）電源＋


（青）電源－

＋

－


（白）CH2 SW出力2

1

2

3

4

5

主

回

路

負荷

負荷

（茶）電源＋


（青）電源－

＋

－


（白）CH2 外部入力

1

2

3

4

5

＜ＣＨ２をＳＷ出力として使用する場合＞＜ＣＨ２を外部入力として使用する場合＞

（FSM2側）

R※ R※

※アナログ出力電圧出力タイプ　R:約1KΩ 電流出力タイプ　R:約100Ω

FSM2 Series

29

FSM2 Series技術資料

内部回路および負荷接続例●FSM2-A□ｰ□（表示分離型）

主

回

路負荷

（茶）電源＋

（黒）アナログ出力

（白）Ｎ.Ｃ. （機種判別信号）

（青）電源－

＋

－

R※

※アナログ出力電圧出力タイプ　R:約1KΩ　アナログ出力電流出力タイプ　R:約100Ω


名称

茶電源＋（電圧出力：12～24V、電流出力：24V）

黒

アナログ出力電圧出力：1-5V負荷インピーダンス50kΩ以上電流出力：4-20mA負荷インピーダンス300Ω以下

白Ｎ.Ｃ.（機種判別信号　単品で使用の場合は接続しません）

青電源－（GND）

アナログ出力特性

電圧出力タイプ　流量方向片側電流出力タイプ　流量方向片側

電圧出力タイプ　流量方向双方向電流出力タイプ　流量方向双方向

流量（ℓ/min）

（V）

0 F.S.流量

5

1

3

流量（ℓ/min）

（ｍＡ）

0 F.S.流量

20

4

12

（ℓ/min）

（V）

-F.S.流量 F.S.流量0

5

1

3

流量（ℓ/min）

（ｍＡ）

アナログ出力

アナログ出力

アナログ出力

アナログ出力

20

4

12

-F.S.流量 F.S.流量0

表示一体型の双方向タイプは、ボタン設定で片方向の出力に切り替えることができます。切替後の値は参考値となります。詳細は41ページをご参照ください。

（FSM2側）

●分離表示器とFSM2表示分離型との接続方法

分離表示器（FSM2-D-□）

ＦＳＭ2表示分離型電圧出力タイプ（FSM2-AV□）（電流出力タイプは接続できません）

1

2

3

4

（茶）電源＋（黒）センサ（白）機種識別信号（青）電源－

e-con 住友3M ミニ・クランプボードマウントソケットストレート型 1列タイプ 37204-62Ｂ3-004 PL

e-con 住友3M ワイヤーマウントプラグ 37104-3122-000 FL

●分離表示器とFSM表示分離型との接続方法

分離表示器（FSM2-D-□）

ＦＳＭ表示分離型（FSM-A-□-□ / FSM-H-A-□-□）

1

2

3

4

（茶）電源＋（黒）センサ接続しない（青）電源－

e-con 住友3M ミニ・クランプボードマウントソケットストレート型 1列タイプ 37204-62Ｂ3-004 PL

e-con 住友3M ワイヤーマウントプラグ 37104-3122-000 FL

FSM-V シリーズ、WFK シリーズへ接続する場合は、ケーブルの太さが異なるため、別途適合するセンサ接続用コネクタ（e-con）が必要となります。

30

圧力損失特性（空気、窒素ガス用）●FSM2-□005-□

0

0.01

0.02

0.03

0.04

0.05

0.06

0.07

0.08

0.09

0.1

0 0.50.40.30.20.1流量（ℓ/min）

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□020-□

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.05

0.1

0.15

0.2

0.25

0.3

0.35

0.4

0.45

0.5

0 21.510.5流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□100-□

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.5

1

1.5

2

2.5

3

3.5

4

4.5

0186420流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□010-□

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.02

0.04

0.06

0.08

0.1

0.12

0.14

0.16

0.18

0.2

0 10.80.60.40.2流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□050-□

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

1.2

1.4

1.6

543210流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□200-□

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.5

1

1.5

2

2.5

3

3.5

4

4.5

5

0 2015105流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

FSM2 Series

31

圧力損失特性（空気、窒素ガス用）●FSM2-□500-□

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

1

2

3

4

5

6

0 5040302010流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□201-□

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

5

10

15

20

25

30

0 20015010050流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□102-□

0

5

10

15

20

25

30

35

40

0 1000800600400200

0.3MPa

0.5MPa

0.7MPa

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□101-□

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

1

2

3

4

5

6

7

8

0 10080604020流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□501-□

0

2

4

6

8

10

12

0 500400300200100

0.3MPa

0.5MPa

0.7MPa

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)


32

圧力損失特性（アルゴン用）●FSM2-□005-□AR

0

0.02

0.04

0.06

0.08

0.1

0.12

0.14

0.16

0 0.50.40.30.20.1

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□020-□AR

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0 21.510.5流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□100-□AR

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

1

2

3

4

5

6

0 105流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□500-□AR

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

0 5040302010

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□010-□AR

0 10.80.60.40.2

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.05

0.1

0.15

0.2

0.25

0.3

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□050-□AR

0

0.5

1

1.5

2

2.5

0 54321

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□200-□AR

0 2015105

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

1

2

3

4

5

6

7

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□101-□AR

0 10080604020

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

2

4

6

8

10

12

14

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

FSM2 Series

33

圧力損失特性（炭酸ガス用）●FSM2-□005-□C2

0

0.01

0.02

0.03

0.04

0.05

0.06

0.07

0.08

0.09

0.1

0 0.50.30.1

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□020-□C2

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.05

0.1

0.15

0.2

0.25

0.3

0.35

0.4

0.45

0.5

0 21.510.5流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□100-□C2

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

1.2

1.4

1.6

0 105

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□500-□C2

0

0.5

1

1.5

2

2.5

3

3.5

0 503010

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□010-□C2

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.02

0.04

0.06

0.08

0.1

0.12

0.14

0.16

0.18

0.2

0 10.5流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□050-□C2

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

1.2

1.4

1.6

1.8

0 531

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□200-□C2

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

0.2

0.4

0.6

0.8

1

1.2

1.4

1.6

0 2015105

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)

●FSM2-□101-□C2

0.1MPa

0.3MPa

0.5MPa

0

2

4

6

8

10

12

0 10050

流量（ℓ/min）

圧力損失(kPａ)


34

ニードル弁流量特性（空気、窒素ガス用）●FSM2-□005／010／020　（樹脂ボディ）

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

0 14ニードル回転数

121082 4 6

流量﹇ℓ/min（ANR）﹈

0.5MPa

0.1MPa

●FSM2-□200／500-H04／H06　（樹脂ボディ）

0

20

40

60

80

100

120

140

160

180

200

ニードル回転数


0 14121082 4 6

0.5MPa

0.1MPa

●FSM2-□005／010／020　（SUSボディ）

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10



0 14121082 4 6

0.5MPa

0.1MPa

●FSM2-□200／500-S06　（SUSボディ）

0

20

40

60

80

100

120

140

160

180

200



0 14121082 4 6

0.5MPa

0.1MPa

●FSM2-□050／100　（樹脂ボディ）

0

5

10

15

20

25

30

35



0 14121082 4 6

0.5MPa

0.1MPa

●FSM2-□500／101／201-H08／H10　（樹脂ボディ）

0

50

100

150

200

250

300

350



0 14121082 4 6

0.5MPa

0.1MPa

●FSM2-□050／100　（SUSボディ）

0

5

10

15

20

25

30

35



0 14121082 4 6

0.5MPa

0.1MPa

●FSM2-□500／101／201-S08　（SUSボディ）

0

50

100

150

200

250

300

350



0 14121082 4 6

0.5MPa

0.1MPa

注意：本特性は代表値であり、特性を保証するものではありません。

FSM2 Series

35

表示・操作部の名称と機能●表示一体型

MODEキー・各種設定モードに入るときに設定します。・流量表示に戻すときに使用します。・ピークホールド動作を解除するときに使用　します。

△（UP）キー・流量表示時に、CH1のデータを順次表示します。・ピークホールド動作時に、最高値の表示をします。・モード選択時には、モードの決定をします。・各データの設定時には、数値等のカウントアップに　使用します。

▽（DOWN）キー・流量表示時に、CH2のデータを順次表示します。・ピークホールド動作時に、最低値の表示をします。・各データの設定時には、数値等のカウントダウンに　使用します。

メイン表示部（緑色/赤色）・流量表示、設定値を表示します。・表示色を切り替えることができます。・積算流量表示時に上位3ケタを表示し　ます。

サブ表示部（緑色/赤色）・流れ方向・動作状態等を表示します。・表示色を切り替えることができます。・積算流量表示時に下位4ケタを表示し　ます。

流量単位表示（緑色）・流量単位を表示します。

出力（OUT1）表示（緑色）・CH1出力ON時点灯します。・過電流検出時に点滅します。

出力（OUT2）表示（緑色）・CH2出力ON時点灯します。・過電流検出時に点滅します。

＜表示例＞　機種 FSM2-NVR100- □の場合表示液晶表示

瞬時流量表示　逆方向　10L/min（ANR）

過流量でHi表示になります。（－10％F.S.以上でHi表示になります。）

※双方向設定の場合です。　（注：片方向タイプの場合は「Lo」表示となります。）

積算流量表示　99999.99Lの場合

※表示範囲「99999.99」を超えると、「0.00」に戻ります。　（リセットされます）

※ 片方向タイプの場合、－10％F.S.でLo表示になります。（例 10ℓタイプの場合、逆側に－1ℓ流れたらLo表示になります。）　双方向タイプの場合、±10％F.S.以上でHi表示になります。

FSM2 Series操作方法

36

●表示分離型

＜表示例＞　　　　表示は FSM2-A □ F101- □の場合です流量片方向タイプ双方向タイプ

0%F.S.

0 20 40 60 80 100L/min

GAS: Air, N2

－100 －60 －20 0 20 60 100

L/minGAS: Air, N2

+60%F.S.（順方向）

0 20 40 60 80 100L/min

GAS: Air, N2

－100 －60 －20 0 20 60 100L/min

GAS: Air, N2

+120%F.S.（順方向）過流量で点滅します※+10％F.S.以上で　点滅します

0 20 40 60 80 100L/min

GAS: Air, N2

－100 －60 －20 0 20 60 100L/min

GAS: Air, N2

-60%F.S.（逆方向）

0 20 40 60 80 100L/min

GAS: Air, N2

－100 －60 －20 0 20 60 100L/min

GAS: Air, N2

-120%F.S.（逆方向）過流量で点滅します ※－10％F.S.以下で　点滅します

0 20 40 60 80 100L/min

GAS: Air, N2

－100 －60 －20 0 20 60 100L/min

GAS: Air, N2

流量バー表示・流量に応じて点灯します。・過流量時は、点滅します。

L/minGAS: Air, N2

0 20 40 60 80 100

FSM2 Series

37


エラーコードについて●表示一体型、ニードル弁一体型

エラーコード原　因対　策

ゼロアジャスト時に適応外の流量でリセットされています。

流量を確実にゼロにしてからゼロアジャストを実施してください。

EEPROMの読込み、書込みにエラーが発生しています。

電源を再投入してください。正常に復帰しない場合は、最寄の弊社営業所・代理店にご連絡ください。

メモリの読込み、書込みにエラーが発生しています。


流量表示範囲の上限を超えて流量が流れています。

瞬時流量値を流量レンジ内まで下げてください。

センサの故障電源を再投入してください。正常に復帰しない場合は、最寄の弊社営業所・代理店にご連絡ください。

流量表示範囲の下限を超えて流量が流れています。

瞬時流量値を流量レンジ内まで上げてください。


出力表示の点滅（スイッチ出力が出力しない）

スイッチ出力の荷電流保護回路が作動しています。

負荷電流が定格を超えていないかどうかをご確認の上、正しく接続し、電源を再投入してください。

●表示分離型エラーコード原　因対　策

左から3番目点滅 EEPROMの読込み、書込みにエラーが発生しています。


左から4番目点滅メモリの読込み、書込みにエラーが発生しています。


<片方向>全点滅

<双方向>左半分点滅

流量表示範囲の上限を超えて流量が流れています。

瞬時流量値を流量レンジ内まで下げてください。


<片方向>一番左点滅

<双方向>左半分点滅

流量表示範囲の下限を超えて流量が流れています。

瞬時流量値を流量レンジ内まで上げてください。


38

機能の説明（表示一体型）機能および各種設定は、通常の流量表示時に行う場合と、設定モードに入ってから行う場合があります。設定モードも、使用頻度にあわせて、標準設定モードと詳細設定モードに分かれます。

●通常動作項目説明工場出荷時の設定

瞬時流量表示瞬時流量を表示します。－積算流量表示積算流量表示に切り替えることが可能です。

スイッチ出力機能には、規定積算値以上でスイッチをＯＮ/ＯＦＦさせたり、一定積算値毎にパルスを出力する積算パルス機能があります。電源OFFでリセットされます。またボタン操作、外部入力でもリセット可能です。

瞬時流量表示

ピークホールド機能ある期間内の、流量値の示した最大値と最小値を知ることができます。ピークホールドＯＦＦキーロック機能キー操作を無効にして、誤操作を防止することができます。キーロック無効エラー表示機能異常やエラーが発生したときに、エラーの状態を表示します。－

●標準設定モード項目説明工場出荷時の設定

スイッチ出力機能２点のスイッチ出力を持ち、７つの動作パターンと動作の停止が設定可能です。

ＣＨ１、ＣＨ２ともにスイッチＯＦＦ設定

強制出力機能スイッチ出力を強制的にＯＮさせ、配線接続や入力装置の初期動作確認に使用します。

－

ゼロアジャスト機能ゼロ点のずれを補正します。（範囲：0±10％F.S.）アジャスト値：０

●詳細設定モード項目説明工場出荷時の設定

流量方向の選択（表示一体型の双方向タイプのみ選択可能）

流れ方向を設定します。双方向、片側順方向、片側逆方向に設定可能です。

双方向設定

ＣＨ２動作の選択ＣＨ２の機能を選択します。ＣＨ２をスイッチ出力として使用するか、外部入力（積算値リセット/オートリファレンス）として使用するか選択します。

スイッチ出力

オートリファレンス機能ＣＨ２をオートリファレンスと選択された場合に、スイッチ出力のしきい値を、外部入力やボタン操作で取り込むことが可能です。ワークが変わるなどして、スイッチのしきい値が変わるときに、自動的にしきい値を変更することができます。

オートリファレンス機能ＯＦＦ

応答時間の設定応答時間を設定します。50msから約1.5sまで、7段階で変更できます。急激な流量変化やノイズなどによる、チャタリングや誤作動を防止します。

応答時間：50ms

表示速度の設定デジタル表示の表示更新周期を250msから1sまで３段階に可変できます。表示がちらつく場合、表示更新周期を長くすることにより、改善することができます。

表示速度：250ms

サブ画面の設定サブ表示部の表示方法を設定します。流量方向、流量単位、ガス種表示に切り替えることができます。

流量方向表示

表示色の設定表示色を設定します。通常表示時、スイッチ出力ＯＮ時の表示色を設定できます。

メイン・サブともに通常表示時：緑色スイッチ　ＯＮ時：赤色

ヒステリシスの設定スイッチ設定値の応差を設定します。流量に脈動があり、しきい値付近でスイッチのチャタリングを起こす時などに、ご使用ください。

応差：1%FS

流量単位の設定表示単位を標準状態か基準状態に選択できます。標準状態（ＡＮＲ）：20℃、1気圧の体積に換算した流量基準状態（ＮＯＲ）：0℃、1気圧の体積に換算した流量（注1）

流量単位：ＡＮＲ

エコモードの設定エコモードの選択ができます。約1分間ボタン操作しないと、エコモードに移行し表示のバックライトが消灯します。消費電流を削減することが可能です。

エコモードＯＦＦ

設定リセット出荷時の状態へ戻ります。分離表示器については、設定リセット後にFSM2表示分離型（センサ部）を接続状態で電源を入れ直すと、流量レンジを自動認識します。

－

機種選択（分離表示器のみ）流量レンジ、流れ方向、ガス種の選択をします。非設定（注2）

注1：基準状態表示は計算（参考）値です。注2：工場出荷時は非設定状態となります。ご使用時非設定の場合は、通電直後に機種選択モードから始まります。必ず機種設定を確定して

からご使用ください。なお、非設定状態（工場出荷時）にて、FSM2表示分離型（センサ）を接続した場合のみ、機種を自動で認識します。

FSM2 Series

39

スイッチ出力機能について用途に応じて、７種類のスイッチ動作から選ぶことができます。ＣＨ１、ＣＨ２にそれぞれ適応できます。

動作パターン名称説明動作波形ＬCD表示

ウインド動作①（範囲内ＯＮ）

指定した範囲内でスイッチ出力がＯＮします。

流量

ＯＮ

ＯＦＦ

ＯＮ設定値ＯＦＦ設定

<サブ表示部>

ウインド動作②（範囲外ＯＮ）

指定した範囲外でスイッチ出力がＯＮします。

流量

ＯＮ

ＯＦＦ


ヒステリシス動作①（流量小側ＯＮ）

ヒステリシス（応差）を任意に設定して、指定した流量以上でスイッチ出力がＯＦＦします。

流量

ＯＮ

ＯＦＦ


ヒステリシス動作②（流量大側ＯＮ）

ヒステリシス（応差）を任意に設定して、指定した流量以上でスイッチ出力がＯＮします。（Hi表示のときも出力は保持されます。）流量

ＯＮ

ＯＦＦ


積算出力①（積算流量以上ＯＮ）

設定した積算値以上でスイッチ出力がＯＮします。

積算流量

ＯＮ

ＯＦＦ

積算設定値

積算出力②（積算流量以上ＯＦＦ）

設定した積算値以上でスイッチがＯＦＦします。

積算流量

ＯＮ

ＯＦＦ

積算設定値

積算パルス出力既定積算値毎に積算パルスを出力します。既定積算値については仕様「積算機能」を参照してください。（1,2ページ）積算流量

ＯＮ

ＯＦＦ

既定積算値

40msec

スイッチ動作ＯＦＦスイッチ動作ＯＦＦ状態です。


40

オートリファレンス機能についてＣＨ２をオートリファレンスと選択された場合に、スイッチ出力のしきい値を、外部入力やボタン操作で取り込むことが可能です。ワークが変わるなどして、スイッチのしきい値が変わるときに、自動的にしきい値を変更することができます。入力値は、外部入力をONにした時の流量値を取込みます。オートリファレンス動作中は、ＣＨ２のスイッチ設定は無効となります。

入力点数動作パターン名称説明動作波形ＬCD表示

１点

入力値以上ＯＮ取込んだ値以上をＯＮします。（しきい値：入力値）

流量

ＯＮ

ＯＦＦ

入力値 <サブ表示部>

<メイン表示部>

入力値以上ＯＦＦ取込んだ値以上をOFFします。（しきい値：入力値）

流量

ＯＮ

ＯＦＦ

入力値

２点

２点の中心値以上ＯＮ

取込んだ２点の中心値以上をＯＮします。

（しきい値：（入力①＋入力②）／２）

流量

ＯＮ

ＯＦＦ

入力値入力値

２点の中心値以上OFF

取込んだ２点の中心値以上をＯＦＦします。

（しきい値：（入力①＋入力②）／２）

流量

ＯＮ

ＯＦＦ

入力値入力値

２点の間ＯＮ取込んだ２点の間をＯＮします。（しきい値①：入力値①）（しきい値②：入力値②）

流量

ＯＮ

ＯＦＦ

入力値入力値

２点の間OFF 取込んだ２点の間をＯＦＦします。（しきい値①：入力値①）（しきい値②：入力値②）

流量

ＯＮ

ＯＦＦ

入力値入力値

FSM2 Series

41

流量方向の選択について（表示一体型、双方向タイプのみ）表示一体型、双方向タイプは、ボタン操作により、流量方向を設定することができます。切替後の値は参考値となります。

流れ方向ＬＣＤ表示アナログ出力特性

＜双方向＞

流れ方向に応じて矢印が切り替わります

逆方向時、マイナス表示になります

〈メイン表示部〉

〈サブ表示部〉

アナログ出力

F.S.流量0-F.S.流量（逆方向）（順方向）

5 20

3 12

1 4

(V) (mA)

（ℓ/min）

＜片方向（順方向）＞〈メイン表示部〉


アナログ出力

（ℓ/min）0 F.S.流量

5 20

3 12

1 4

(V) (mA)

（順方向）

＜片方向（逆方向）＞〈メイン表示部〉


アナログ出力

（ℓ/min）0 F.S.流量

5 20

3 12

1 4

(V) (mA)

（逆方向）


42

FSM2シリーズの計測原理FSM2シリーズでは、シリコンマイクロ加工技術を応用した、白金センサチップ（3mm×3.5mm）を採用しております。センサ部は、シリコン基板から熱的に絶縁されており、熱容量が極めて小さいため、高速応答で高感度です。センサ部には、2つの温度センサがヒータを挟んで配置されています。温度センサの材質には、温度によって抵抗値が変化する、白金を用いています。ヒータに通電加熱すると、流れの無い場合は、温度分布がヒータを中心に対称となります。流れを受けた場合は、温度分布の対称性が崩れ、ヒータ上流側の温度は低下し、ヒータ下流側の温度は上昇します。この温度差は、温度センサの抵抗値の差となって現れ、流量によって変化します。また、逆方向に流れた場合は、温度差（抵抗値の差）が逆転します。この方式を用いると、双方向の流量を検知することができます。また、この方式は比較的小流量の検出に適しています。

〈流れなし〉

温度分布対称

R1

R1

R2

R2

温度抵抗値

Rh

ヒータ

R2R1

温度センサ② FLOW温度センサ①

〈流れあり〉

Rh R2R1

V out

V out

5V電圧

2.5V

温度分布の対称崩れる

R1 R2

温度抵抗値

R1

R2

V out

V out

5V電圧

2.5V

FSM2 Series

43

流量センサ選定方法1吸着ノズルでの吸着・離脱確認、漏れ検査等で流量センサをご使用になる場合の、流量レンジの選定の目安にお役立てください。

ノズル（ピンホール）の有効断面積とノズルの内外での圧力差により、流量を計算することができます。

●P1≧1.89P2（音速）の場合Q＝113.2×S×P1

●P1＜1.89P2（亜音速）の場合Q＝226.4×S×　P2（P1－P2）

Q ：流量　ℓ/minP1 ： 1次側絶対圧力　MPaP2 ： 2次側絶対圧力　MPaS ：ノズル（ピンホール）の有効断面積　mm2

P2 ：真空

P1 ：大気圧吸着ノズル

P1 ：加圧

P2 ：大気圧

P1 ：加圧

P2 ：大気圧ピンホール

●計算例

ノズルの径がφ0.1～2でP2を可変した場合の流量計算値を下表に示します。

P1（MPa）絶対圧

P1（MPa）ゲージ圧

P2（MPa）絶対圧

P2（MPa）ゲージ圧

音速／亜音速

流量計算値（ℓ/min）

φ0.1 φ0.2 φ0.3 φ0.4 φ0.5 φ0.7 φ1 φ1.5 φ2

吸引

0.1013 0 0.0313 -0.07 音速 0.090 0.360 0.810 1.440 2.250 4.411 9.002 20.254 36.007

0.1013 0 0.0413 -0.06 音速 0.090 0.360 0.810 1.440 2.250 4.411 9.002 20.254 36.007

0.1013 0 0.0513 -0.05 音速 0.090 0.360 0.810 1.440 2.250 4.411 9.002 20.254 36.007

0.1013 0 0.0613 -0.04 亜音速 0.088 0.352 0.792 1.408 2.200 4.312 8.800 19.801 35.202

0.1013 0 0.0713 -0.03 亜音速 0.082 0.329 0.740 1.315 2.055 4.028 8.220 18.494 32.878

0.1013 0 0.0813 -0.02 亜音速 0.072 0.287 0.645 1.147 1.792 3.512 7.166 16.125 28.666

0.1013 0 0.0913 -0.01 亜音速 0.054 0.215 0.483 0.859 1.343 2.631 5.370 12.083 21.480

ブロー（漏れ検査）

0.1113 0.01 0.1013 0 亜音速 0.057 0.226 0.509 0.905 1.414 2.772 5.657 12.727 22.626

0.1213 0.02 0.1013 0 亜音速 0.080 0.320 0.720 1.280 2.000 3.920 8.000 17.999 31.998

0.1413 0.04 0.1013 0 亜音速 0.113 0.453 1.018 1.810 2.828 5.543 11.313 25.454 45.252

0.1613 0.06 0.1013 0 亜音速 0.139 0.554 1.247 2.217 3.464 6.789 13.856 31.175 55.423

0.1813 0.08 0.1013 0 亜音速 0.160 0.640 1.440 2.560 4.000 7.840 15.999 35.998 63.996

0.2013 0.1 0.1013 0 音速 0.179 0.716 1.610 2.862 4.472 8.765 17.888 40.248 71.552

0.3013 0.2 0.1013 0 音速 0.268 1.071 2.410 4.284 6.694 13.119 26.774 60.242 107.096

0.4013 0.3 0.1013 0 音速 0.357 1.426 3.209 5.706 8.915 17.474 35.660 80.236 142.641

0.5013 0.4 0.1013 0 音速 0.445 1.782 4.009 7.127 11.137 21.828 44.547 100.230 178.186

0.6013 0.5 0.1013 0 音速 0.534 2.137 4.809 8.549 13.358 26.182 53.433 120.224 213.731

（注意）● 配管等に漏れがある場合、計算値より実際に流れる流量が大きくなります。流量選定時には、配管の漏れ量を考慮してください。● 配管途中で、吸着ノズル径よりも細い部分がある場合、流量が絞られてしまい、計算値より低い流量になることがあります。　また、吸着確認等ができなくなるおそれがあります。● 有効断面積は、あくまでも目安です。ノズルが細長い場合、有効断面積はノズルの開口面積よりも小さくなります。● 応答速度は、流量センサから吸着ノズル（ピンホール）までの配管の内容積によって決まります。高速検知を行う場合は、吸着ノズルの近くに流量センサを配　置するなど、極力配管の内容積を小さくしてください。


44

吸着確認について

応答時間について1

コレットノズルをご使用の場合2

　吸着確認時の応答時間は、配管の内容積や真空ポンプの排気能力等によって決まります。例えば、右図のような配管の場合の応答時間の配管依存性は下図のようになります。この結果より、応答時間を短くするためには、センサから吸着ノズルまでの配管内容積をできるだけ小さくすることが効果的です。

　コレットノズルは、吸着するワークをノズルと直接密着したくない場合によく用いられます。コレットノズルは、内部が角錐状になっており、ワークが吸着したときに、四隅に隙間ができる構造であるため、吸着時に漏れが発生します。コレットノズルとワークの隙間(有効断面積)に対して、配管(バルブ、継手等を含む)の有効断面積が小さいと、流量は配管の有効断面積で決まってしまい、吸着時と非吸着時の流量差が小さくなってしまいます。このような場合は、配管の有効断面積をコレットノズルとワークの隙間の有効断面積より極力大きくすることにより、確実に吸着確認ができるようになります。

加圧源（20kPa）

ノズル（φ0.25）

A B

3方弁圧力センサ

試験配管

FSM2

真空源（－70kPa）

応答の配管依存性

吸引吸引リリース（ブロー）吸着

時間（msec）

配管B内に気体が充填される

5.5

5

4.5

4

3.5

3

2.5

2

1.5

1

0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300 1400

0.5

アナログ電圧出力（V）配管B内から

気体がぬける

A：φ4×40 B：φ4×40

A：φ4×40 B：φ4×1000

A：φ4×1000 B：φ4×40

0.5（ℓ/min）

0（ℓ/min）

0.5（ℓ/min）

－0.3（ℓ/min）

A-A断面

ノズル

ワーク

コレットノズル

A A

FSM2 Series

45

小形流量センサラピフロー専用超小形インラインフィルタ

FSM-VFM Series

注1：50ページのJIS B 8392-1：2012（ISO 8573-1：2010）による圧縮空気品質等級を参照してください。注2：流量が10 /minを超えますと圧力損失が大きくなりますので、10 /min以下でご使用ください。

（エレメント：5ケ、継手固定ピン：1ケ）

● 保守部品形番

（十字穴付皿タッピンネジ M2.5×6：1ケ）

機種形番

● ブラケット部品形番

H44 BVFMFSM

形番表示方法

仕様

小形流量センサラピフロー専用のインラインフィルタです。内容積が小さいため、吸着確認時の高速応答を妨げません。

● 邪魔にならない超小形、省スペース● エレメントの交換が容易● ケース材質は耐薬品性に優れたポリアミド樹脂を使用● 透明ケースなので、エレメントの汚れ具合が外部から確認可能

おもな特長

項目 FSM-VFM-H22 FSM-VFM-H44 FSM-VFM-M55

使用流体清浄空気（JIS B 8392－1：2012（ISO 8573－1：2010）1.1.1～5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392－1：2012（ISO 8573－1：2010）1.1.1～1.6.2）注1

適用チューブ外径φ1.8

（エアファイバ）φ4

（ワンタッチ）ポート径 M5

耐圧 MPa 0.75使用圧力範囲 MPa －0.1～0.5使用温度範囲 ℃ 0～50

材質ケースポリアミドエレメントポリプロピレン、ポリエチレン

ろ過度 μm 10製品質量 g 5.2 9.5 4.2推奨流量 ℓ/min 10

記号内容チューブ外径

H22 φ1.8（エアファイバ）H44 φ4（ワンタッチ）M55 ポート径 M5

添付無記号ブラケット無し

B ブラケット添付

チューブ外径イ

添付ロ

イ

ロ

BVFMFSM

EVFMFSM

● クリーンベンチ（クラス1000以上）内にて帯電防止袋へヒートシール包装。

クリーン仕様（カタログNo.CB-033S）

P70…………………FSM-VFM-

注2

46

FSM-VFM Series

外形寸法図

流量特性（FSM-VFM-H44）

注意事項

●FSM-VFM-H22 ●FSM-VFM-H44 ●FSM-VFM-H55

●FSM-VFM-B　［ブラケット］

10

37.8

φ10

φ10

10

43.8

φ10

37

10

6.8 6.813.6

フィルタボディ保持部8

.314

4 88 16

4.8 6.8

取付穴φ2.6

●エアファイバをご使用の場合、配管条件により圧力損失が大きくなる場合があります。ご注意ください。

0

0.5

1

1.5

2

2.5

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11

流量（ ℓ/min）

圧力損失

0.1MPa

0.3MPa(kPa)

●本フィルタには方向性があります。吸着確認等で使用の際にゴミの流出を防止する対策として逆止め弁をお使いください。

（回路例）切換弁

真空源

加圧源

FSM2FSMフィルタノズル

●その他注意事項、エレメントの交換方法については56ページをご参照ください。

47

MEMOMEMO

48

本製品を安全にご使用いただくためにご使用になる前に必ずお読みください

当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または水制御回路とこれらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保できる事をチェックして安全な装置を製作する義務があります。当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が重要です。装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるようにお願い申し上げます。

1 本製品は、一般産業機械用装置･部品として設計、製造されたものです。よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。

2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外での使用、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。

（ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりますが、万一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。）❶ 原子力･鉄道･航空･船舶･車両･医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器･緊急遮断回路･

プレス機械･ブレーキ回路･安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。

3 装置設計･管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。ISO4414、JIS B 8370（空気圧システム通則）JFPS2008（空気圧シリンダの選定及び使用の指針）高圧ガス保安法、労働安全衛生法およびその他の安全規則、団体規格、法規など。

4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に行わないでください。❶機械･装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行ってください。❷ 運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。❸ 機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、システム

内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。❹ 空気圧機器を使用した機械･装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保されて

いるか確認し、注意して行ってください。5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。

警告

■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険」「警告」「注意」として区別してあります。

危険: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、かつ危険発生時の緊急性（切迫の度合い）が高い限定的な場合。（DANGER）

警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される場合。（WARNING）

注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生じることが想定される場合。（CAUTION）

なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。

ご注文に際しての注意事項

1 保証期間当社製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1年間といたします。

2 保証範囲上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品の無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。①カタログまたは仕様書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合②故障の原因が本製品以外の事由による場合③製品本来の使い方以外の使用による場合④当社が関わっていない改造または修理が原因の場合⑤納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合⑥天災、災害など当社の責でない原因による場合なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については除外させていただきます。

3 適合性の確認お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。

49

安全性を確保するための

ご使用になる前に必ずお読みください。

空圧機器：警告・注意事項

設計・選定時

危険■ 引火性の流体には絶対に使用しないでください。

使用流体について

警告■ 取引用メータとしては使用できません。

計量法に適合していませんので、商取引には使用しないでください。工業用センサとして使用してください。

■ 適用流体以外の流体では、精度の保証はできませんので使用しないでください。

■ 圧縮空気をご使用の場合は、JISB8392-1：2003等級1.1.1～1.6.2の清浄空気をご使用ください。コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン（水、酸化オイル、異物等）が含まれていますので、センサの一次側（上流）にフィルタ、エアドライヤ及びオイルミストフィルタ（マイクロエレッサ）を取付けて使用ください。尚、センサ内のメッシュ（金網）は、配管中の流れを整流するためのものです。異物を取除くためのフィルタではありませんので、必ずフィルタを設置してください。＜推奨回路＞

元圧エアドライヤフィルタレギュレータオイルミストフィルタ

（マイクロエレッサ）

流量センサFSMシリーズ

■ センサの一次側にバルブを使用する場合は、禁油仕様のバルブをご使用ください。グリス、オイル等の飛散により、センサが誤作動したり破壊する恐れがあります。なお、バルブによっては摩耗粉が発生する場合がありますので、センサへの流れ込みを防ぐため、フィルタを取り付けてご使用ください。

■ 炭酸ガスなど液化ガスをご使用の場合は、必ず気化させてください。液化したガスが本製品に流れ込むと故障の原因になります。

■ 塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、かつダストおよびオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。

■ 流体の質によっては流体を長時間滞留させると性能に悪影響を及ぼす可能性があります。配管内の流体を長時間密封しないでください。

危険

使用環境について

■ 防爆性環境

注意■ 本製品の流量は温度、圧力の影響を受けない質量

流量で計測しています。単位はℓ/minですが、これは質量流量を20℃ 1気圧(101kPa)での体積流量に換算した場合の表示です。

警告■ 腐食性環境

亜硫酸ガス等の腐食性ガス雰囲気では使用しないでください。

■ 周囲温度・流体温度周囲温度・流体温度は0～50℃の範囲内でご使用ください。なお、温度範囲内であっても周囲温度・流体温度が急激に変化し結露が発生する場所では使用しないでください。

■ 使用圧力範囲・使用流量範囲最高使用圧力以上又は最低使用圧力以下、使用流量範囲外での使用は故障の原因になりますので、仕様範囲内でご使用ください。

■ 防滴環境本製品の保護構造はIP40相当です。水分、塩分、塵埃及び切り粉がある場所、加圧、減圧環境下では設置しないでください。温度変化の激しい場所や、高湿度の環境では本体内部に結露による障害を発生する恐れがありますので使用できません。

流量単位について

注意■ 各シリーズで、耐圧が異なります。選定時ご注意く

ださい。

耐圧について

注意■ 各シリーズともに、測定範囲の2倍程度の過流量が

流れてもセンサには問題ありませんが、最大使用圧力近くでの動圧がかかった場合（一次側と二次側の間で最高使用圧以上の圧力差が加わった場合）、センサに異常をきたす恐れがあります。モレ検査のワーク充填時等、動圧がかかる場合は、必ずバイパス回路や、しぼりを設けてセンサに動圧がかからないようにしてください。

過流量について

爆発性ガス雰囲気中では、絶対に使用しないでください。防爆構造になっていませんので、爆発火災を引起こす可能性があります。

50

■ 本製品を吸着確認等でご使用の場合は、使用真空圧力、吸着ノズル径より流量レンジを選定してください。別紙「流量理論計算方法」44ページを参照してください。

■ 本製品を吸着確認等でご使用の場合は吸入側の上流に必ずご使用状況に応じたエアフィルタを取付け、異物の吸入を防止してください。

■ 本製品を吸着確認等でご使用の場合は大気の露点と本製品の周囲温度を考慮して、配管内で結露しない条件でご使用ください。

■ 本製品を吸着確認等でご使用の場合、吸着ノズルから本製品の間の配管容積によって、応答速度が遅れる場合があります。その場合は、配管容積を小さくする等の対策をとってください。

■ 吸気などの真空用途で使用する場合、ワンタッチ継手部付近での曲げを行わないでください。ワンタッチ継手付近のチューブに応力が加わる場合はインサートリングをチューブに挿入後、ワンタッチ継手へ差し込んでご使用ください。

■ 配線の前に必ず配管・取付けを行ってください。■ 流体の流れ方向とボディに指示された方向を合せ

て、配管してください。■ センサを配管に取りつける時は、接続ポ－トに過大

なねじ込みトルクや荷重トルクが加わらないように、下記トルクを参考にしてくだい。

■ 配管の前には、配管内の異物・切粉等を除去するため、エアブロ－を行って清掃してください。異物・切粉等が大量に混入すると整流ユニットやセンサチップを破損することがあります。

■ 配管の際には、金属部にスパナ掛け等を行い樹脂部に力が加わらないようにしてください。

■ 配管の際には、シ－ルテ－プや接着剤が入らないようにしてください。※クリーン仕様をご使用の場合は、ご使用のシステムに対して、シール材質に気をつけてください。

■ 本製品の使用圧力範囲は、－0.09～1.00MPaです。特に－0.09MPa以下の真空下で通

・・・・・電された

場合、センサの放熱性が悪くなり、センサの劣化につながります。

■ 吸着確認用センサを圧力センサ（スイッチ）から流量センサ（スイッチ）へ置き換えた場合、センサ出力

（スイッチ出力）の理論が反転するイメージになります（下図参照）。PLCのシーケンスプログラムについて変更・修正する必要が出ますので、ご注意ください。特に、装置電源投入時に、元圧・真空源が供給されていない場合、流量センサ（スイッチ）では、「流量0」＝「センサ出力（スイッチ出力）ON」の状態となりますので、PLCのシーケンスプログラム等にて問題がでないようにしてください。

■ 金属ボディでOUT側開放で使用の場合でも必ず継手を接続してください。ポートフィルタがはずれる恐れがあります。

■ ワンタッチ継手をご使用の場合、チューブは確実に挿入し、チューブを引いて抜けないことを確認してから、ご使用ください。また、チューブは専用カッタで必ず直角に切断してからご使用ください。

■ 配管の漏れ検査を行う場合、モンジュ液がケースの中に入らないように注意してください。

■ 本製品の直前には、減圧弁（レギュレータ）等を設置しないでください。偏流が発生し、誤差の原因となることがあります。必要に応じて直管部を設けてください。

■ 表示一体型の流量表示は液晶を用いております。角度によって見えにくくなる場合があります。

■ 製品本体同志を密着させての設置はしないでください。互いの自己発熱により製品本体の温度が上昇し、特性の変化や、樹脂材料の劣化が促進される場合があります。並べて使用する場合は、10mm以上の間隔をあけてください。

取付・据付・調整時

吸着確認等でご使用の場合漏れ検査でご使用の場合

配管について

注意

注意

取付について注意

［参考値］接続ねじ締付けトルク N・m

M5 1.0～1.5Rc1/8(G1/8) 3～5Rc1/4 6～8Rc1/2 16～18

ねじ部にフッ素樹脂製のシールテープを巻く場合は、ねじの先端を2～3山残してシールテープを1～2重に巻きつけ、爪先で押さえてねじに密着させてください。液状のシール剤を使用するときも、ねじの先端から1～2山残して多すぎないように注意しながら塗布してください。機器のねじ側へ塗布しないようにしてください。

（悪）（良）（悪）（良）

シールテープ固形・液状シール剤

固形液状

シール剤

固形液状

シール剤

圧力センサ（スイッチ）流量センサ（スイッチ）

吸着確認

設定値以上 ON 設定値以下 ON

OFF

ON

流量大側流量0側高真空側

OFF

ON

大気圧側

FSM2 Series

51

配線について

危険■ 電源電圧及び出力は、仕様電圧でご使用ください。

仕様電圧以上の電圧を印加すると、誤作動、センサの破損および感電や火災の原因となります。また、出力の定格を超える負荷は、使用しないでください。出力の破損や火災の原因となります。

警告■ 配線時に線の色の確認を行ってください。誤配線は

センサの破壊・故障および誤作動につながりますので、取扱注意書にて、配線の色をご確認の上、配線ください。

■ 配線の絶縁を確認してください。他の回路と接触、地絡、端子間絶縁不良がないようにしてください。センサに過電流が流れ込み、破損の原因となります。

■ 本製品に使用する電源は交流電源とは絶縁された定格内のDC安定化電源を使用ください。絶縁されていない電源は、感電の危険があります。安定化されていない電源では、定格を超え、本製品を破損させたり精度を悪化させる場合があります。

■ コネクタを接続後は、必ずコネクタカバーを取付けてください。

調整時

注意■ 流体の脈動等、流量が安定しない状態でスイッチ

動作を行うと動作不安定となる場合があります。この時は、2つの設定値の間を十分持たせるか、不安定な領域でのスイッチ設定をさけ、スイッチ動作が安定する事を確認してから、ご使用ください。

■ 本製品は上下左右どの方向にも取付ることができます。横取付（貫通穴使用）

ブラケット取付（専用ブラケット使用）

縦取付（底面めねじ使用）

接続口径：ワンタッチφ4、φ6、φ8、φ10　　　　　Rc1/8、Rc1/4、M5ブラケット単品形番：FSM2-LB1

接続口径：Rc1/2ブラケット単品形番：FSM2-LB2

取付ネジ

取付ネジ

取付ネジ

取付ネジ

取付ネジ

取付ネジは締付トルク0.5N・mとしてください。

取付ネジは締付トルク0.5N・mとしてください。

取付・据付・調整時■ 直接ケーブルの引出し部およびコネクタ部にストレ

ス（7N以上）がかからないようにしてください。■ 配線は制御装置・機械装置を停止し、電源を切った

状態で行ってください。急激に作動させると予期しない動作をする場合があり、危険です。まず、制御装置・機械装置を停止状態のまま、通電試験を行い、目的としたスイッチデータ設定を行ってください。作業前、作業中は人体・工具・装置に帯電した静電気を放電させて、作業を行ってください。可動部にはロボット用線材のように耐屈曲性能のある線材を接続配線してください。

■ 電源電圧範囲を超えて使用しないでください。使用範囲以上の電圧を印加したり、交流電源を印加すると、破裂したり焼損したりする恐れがあります。

■ 本製品および配線は、強電線などのノイズ源から離して設置してください。電源線にのるサージは別に対策をとってください。表示や出力が変動する場合があります。

■ 負荷を短絡しないでください。破裂したり焼損したりする恐れがあります。

■ 金属ボディ（ステンレスボディ、アルミボディ）タイプ用の電源は、交流1次側とは完全に絶縁されたDC安定化電源を使用し、電源側の＋側－側どちらか一方をF.G.接続してご使用ください。金属ボディタイプの内部電源回路と金属ボディの間には、センサの絶縁破壊防止のため、バリスタ（制限電圧約40V）が接続されています。金属ボディタイプの内部電源回路と金属ボディの間での耐電圧試験・絶縁抵抗試験は行わないでください。これらの試験が必要な場合には配線を外してから行ってください。電源と金属ボディ間の過大な電位差は内部部品を焼損させます。なお、金属ボディタイプの設置・接続・配線後の、装置・フレームの電気溶接や短絡事故などは、溶接電流・溶接時の過渡的な高電圧・サージ電圧などが、上記機器間に接続された配線・アース線や流体路を迷走し、電線や機器を破損させる場合があります。電気溶接などの作業は、本機や電気配線のF.G.接続をすべて取り外してから、行ってください。

■ 接続負荷について■ アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダン

スは約1KΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値の誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上ご使用ください。（アナログ出力電流出力タイプは対象外です）

パネルマウント取付

取付ネジは、締付トルク0.06N・mとしてください。組付け前に配管をしてください。組付け後に配管をされると過大な応力がかかり、部品を破損する恐れがあります。パネルマウント時には、極力製品に振動が加わらないようにしてください。特にステンレスボディに使用される場合、振動が増幅されて破損する場合があります。

取付ネジ

FSM2-□V出力インピーダンス：Ro＝1KΩ負荷内部インピーダンス　　　：Rx＝1MΩ

出力値＝（1－　　　　）×100％RoRo＋Rx

　　　＝（1－　　　　　　）×100％1KΩ1KΩ＋1MΩ

出力値の誤差約0.1％

計算例

FSM2 Series個別注意事項

52

サージ電流回り込みによる破損を防止するには下記のような対策を行ってください。

電磁弁・リレーなどの誘導負荷となる出力系と流量センサなどの入力系の電源は分離させてください。別電源とすることが出来ない場合は、すべての誘導負荷に対して直接サージ吸収用の素子をお取り付けください。PLCなどに接続されているサージ吸収素子はその機器のみを保護するものであるとお考えください。さらに、下図のように電源配線の各所にサージ吸収素子を接続し、不特定箇所での断線に備えてください。

なお、機器類をコネクタ接続されている場合、通電中にコネクタを外すと上記現象により、出力回路が破損することもありますので、コネクタの脱着は必ず電源を切ってから行ってください。

■ 流量範囲を超えた場合でも、アナログ出力されます。表示については表示一体型の場合、「Hi」または「Lo」表示となります。表示分離型の場合、バー表示が点滅します。但し、精度保証外となりますので、あらかじめご了承ください。

■ 表示一体型をご使用の場合、表示部を押さないでください。故障の原因となります。

■ 精度については、お客様のご使用環境やご使用状態において、初期から変動する場合があります。定期的に動作確認することを推奨いたします。

■ センサチップは長時間使用すると劣化により、検出流量が変化していきますので、定期点検を行ってください。

■ CE適合のための使用条件本製品は、EMC 指令に適応した CE 適合製品です。本製品に適用しているイミュニティに関する整合規格は EN61000-6-2 ですが、この規格への適合として下記条件が必須となります。条件● 本製品の評価は、電源線と信号線が一対となったケーブ

ルを使用し、信号線として評価しています。● サージイミュニティに対する耐性はありませんので、装

置側にて対策を実施してください。

■ 出力精度は、温度特性の他に通電による自己発熱の影響も受けます。ご使用時には、待機時間（通電後5分以上）をもうけるようにしてください。

■ 本製品は、通電直後は、自己診断のため約4秒は、流量検出スイッチ動作を行いません。通電後約4秒は信号を無視する制御回路・プログラムとしてください。

■ 本製品はマイクロセンサチップを使用しているため落下衝撃や振動の加わらない場所でご使用ください。また設置・運搬時にも精密機器としての取り扱いをしてください。

■ 動作中に異常が発生した場合は、すぐに電源を遮断し、使用を中止し、販売店に連絡をしてください。

■ 本製品の流量は定格流量の範囲内でお使いください。■ 本製品は使用圧力の範囲内でお使いください。■ 出力の設定値を変更する場合は、制御系装置が意

図しない動作をする可能性がありますので、装置を停止してから変更してください。

■ 故障の原因になりますので、分解・改造はしないでください。

■ ケースの材質は樹脂です。汚れ等を取るために、溶剤・アルコール・洗浄剤などは使用しないでください。樹脂を侵す恐れがあります。薄めた中性洗剤を堅く絞ったウエスなどで拭き取ってください。

■ 断線・配線抵抗による逆流電流にご注意ください。流量センサと同じ電源に流量センサを含めた他の機器が接続されている場合、制御盤の入力装置の作動を確認するため、スイッチ出力線と電源線－側を短絡させたり、または電源線－側が断線すると流量センサのスイッチ出力回路に逆流電流が流れ破損する場合があります。

■ 逆流電流による破損を防止するには、下記のような対策を行ってください。

電源線、特に－側の電源線への電流の集中を避けるとともに、配線を極力太くしてください。流量センサと同じ電源に接続する機器を制限してください。流量センサ出力線に直列にダイオードを入れ、電流の逆流を防止してください。流量センサの電源線－側に直列にダイオードを入れ、電流の逆流を防止してください。

■ サージ電流の回り込みにご注意ください。流量センサと電磁弁・リレーなどのサージを発生する誘導負荷と電源を共有している場合、誘導負荷が作動した状態で回路が遮断されると、サージ吸収素子の取付位置によっては、サージ電流がスイッチ出力回路に回りこみ破損する場合があります。

使用・メンテナンス時

注意

警告

主回路

P

L

C入力

他の機器

逆流防止用ダイオード制御盤流量センサ

断線テストSW又は、短絡

他の機器からの電流

電磁弁リレー

主回路 ON

PLCPLCの出力サージ電流

流量センサ

サージ吸収素子（後付け）

断線または非常停止による回路遮断サージ吸収素子

（内蔵）

入力機器

入力機器

入力機器

FSM2 Series

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個別注意事項：ニードル弁一体型　FSM2-□N　シリーズ

設計時・選定時

注意■ 漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用で

きません。製品の仕様上ある程度の漏れを許容しています。

■ ニードル弁の流路内の発塵はゼロではありませんので、発塵が問題となる回路ではファイナルクリーンフィルタを合わせてご使用ください。


注意■ ツマミの全閉・全開時はツマミを強く廻し過ぎない

ようにしてください（0.05N･m 以下）。また、ニードル調整は、ロックナットを摘んで行わないようにしてください。ニードルのカジリや破損の原因となります。

■ ニードル弁ツマミについて、全閉時に強く締めすぎると設定流量が変動することがあります。微小流量を設定する場合などにおいては、ツマミの締め過ぎに注意してください。


注意■ 振動により、ニードルが回転し、流量が変化する場

合があります。


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個別注意事項：分離表示器　FSM2-D　シリーズ


注意■ e-conコネクタの結線は先端のハーフストリップ部をカットしてからご使用ください。電線はコネクタの奥まで

挿入し、プライヤーなどの工具で確実に圧接してください。電線の被覆の除去は不要です。圧接時はピン番号と、電線の色を確認し、間違えのないようにしてください。誤配線はセンサ、分離表示器の破壊、故障および、誤作動につながります。

■ ケーブルを脱着する場合は、電線を持たずに、コネクタを持って行ってください。電線が接触不良、断線や短絡などを起こし、センサや分離表示器が破損や、誤作動する原因となります。

■ ケーブルには１５Ｎ以上の負荷がかからないようにしてください。

1

123

4

e-conコネクタ形番については、30ページを参照してください。

茶黒

白青

1

123

4

e-conコネクタ形番については、30ページを参照してください。

茶黒

白青

この番号と色を合わせてください

プライヤーなどで圧接してください

色の順番を間違えないようにしてください１－茶、２－黒、３－白、４－青

電線を奥まで挿入してください

4芯ケーブル（FSM2-C4□）

設計時・選定時

注意■ 対応するセンサは、電圧出力（1-5V）タイプとなります。電流出力タイプや他の電圧出力タイプを接続した場

合は正常に動作しませんので、ご注意ください。FSM2をご使用の場合は、FSM2-AV□を使用ください。

FSM2 Series

※e-conコネクタは分離表示器に添付されます。

55

個別注意事項：超小形インラインフィルタ　FSM-VFMシリーズ


注意■ 酸、アルカリ、カルボン酸、その他有機化合物、ネ

ジロック剤、溶剤、アルコール液の付着およびこれらを含むエアの吸込みを目的とした真空回路で使用しないでください。ボディが破損する恐れがあり危険です。

■ 指定されたチューブおよびプラスチック製プラグをご使用ください。◦チューブ外径精度

・ポリアミド管 .................................... ±0.1mm以内・ポリウレタン管

（～φ6） ................................. ±0.1mm以内

（φ8～） ................................. ＋0.1 mm以内－0.15

◦CKD推奨形番プラスチックプラグ GWP※-Bシリーズソフトナイロンチューブ F15※※シリーズポリウレタンチューブ U95※※シリーズニューウレタンチューブ NU-04, 06シリーズ

■ ワンタッチ継手に関する注意事項については、「空圧・真空・補助機器総合」No.CB-24S“ジョイント・チューブの個別注意事項”を併せてお読みください。

■ ポリアミドケースのクラック、傷、その他の劣化を確認するために定期的な点検・清掃・交換を行ってください。

■ フィルタエレメントの目詰まりは真空源の性能低下の原因となりますので、エレメントの定期的な点検・清掃・交換を行ってください。

■ フィルタエレメントの清掃・交換などでボディを取外す時は必ず容器内を大気圧にしてから行ってください。また、流れ方向には方向性がありますので、ボディの矢印表示をよく確認して、再組立を行ってください。再組立後は回路内が必要な真空度になることを確認してください。

■ ボディの洗浄には家庭用中性洗剤を使用後、水洗いしてください。

■ 吸着時の粉塵等、粒子径の小さいものが流路に侵入した場合、異物がろ過されずに 2 次側に流出する可能性があります。目的に合わせてフィルタの選定をしてください。

エレメントの交換方法

エレメント継手

継手固定ピン

先端が尖った治具などで、継手固定ピンを抜きます。（継手固定ピンは再使用しますので無くさないようにご注意ください）継手を引抜きます。エレメントを交換し、継手を差込みます。継手固定ピンを差込み、継手を固定します。

注意


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MEMOMEMO

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関連商品

小形流量センサ　ラピフロー®FSMシリーズ

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総合カタログNo.CB-024S

インライン形クリーンフィルタ　FCS500･FCS1000シリーズ

■高精度ろ過0.01μm、除去効率99.99%中空糸膜エレメントの採用で、ろ過精度0.01μm除去効率99.99%を実現しました。

各種クリーン用途のファイナルフィルタとして最適（Air、不活性ガス用）

■長寿命寿命も大幅に向上。平膜式と比べ、約5倍にアップしました。

■小形・軽量・大流量同一容積の平膜式に比べ、3～10倍のろ過面積を有しているため、大流量で低圧損。同一流量なら小形・軽量化が可能です。

■禁油仕様部品はすべて脱脂洗浄を実施。さらに、組立から包装までをクリーンルーム内で一貫生産しています。

■メンテナンス容易樹脂タイプは透明ケース採用。エレメントの汚れが目視確認できます。

■バリエーション豊富流量で500と1000の2シリーズ、材質で樹脂とステンレス、さらに、取付にはワンタッチ継手、おねじ配管、めねじ配管を用意しています。

カタログNo.CB-024S

FSM Series関連商品

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(器)和英モ(13.4.1)F-44.ai

2013.9.CBC●Specifications are subject to change without notice.●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。

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