CAT:NO.752-01-F

Mass Flow Controller

デジタルインターフェースも標準装備（RS485）

サーマルシリーズ

あらゆる部分にお客様からのご提案を取り入れさせていただいております。

T2000シリーズの構成 T2000 Series Features

上面 Top view

正面 Front view

側面 Side view

1

D-sub9ピンコネクタ （アナログインターフェース、電源）0-5V

D-sub 9-pin connector(Analog interface, power) 0-5 V

LED 正常作動、異常作動表示 アラームA、B状態表示

LEDIndicates normal anderror conditions,and alarm A/B status.

ゼロスイッチ Zero button

接続 1.5W（79.8）、1.125W（92、79.8）、 UJR-6.35（106、124）可能。 ［スタンダードは1.125W（92）大流量はUJR-9.52］

End connectionApplicable sizes are 1.5” W (79.8mm), 1.125” W (92mm, 79.8mm) andUJR-6.35mm (106mm, 124mm).[Standard: 1.125” W (92mm); High flow:UJR-9.52mm]

RJ-45コネクタ ・ 動作通信 ・ オートゼロ ・ アラーム設定等 ・ デジタル通信での T2000接続はMAX99台まで可能

RJ-45 connector(Digital interface RS485)･ Signal input/output･ Auto zero･ Alarm setting.･ Up to 99 T2000 units can be

chained together.

流量出力信号（アナログ）DC 0～5V Flow output signal (Analog) 0-5 V DC

駆動電源 ±15V DC Power supply 　15 V DC

流量設定信号（アナログ）DC 0～5V Command signal (Analog) 0-5 V DC

ピエゾアクチュエータ Piezoelectric actuator

流量コントロールバルブ Flow control valve

メタルダイヤフラム Metal diaphragm

流量センサ（サーマルセンサ） Flow sensor (Thermal sensor)

GAS INLET

メタルリング Metal seal ring

RS485通信（デジタル） RS485 interface (Digital)

層流素子バイパス Laminar flow element bypass

電気回路

流量精度 Flow Rate Accuracy

仕　様 Specifications

●±1.0％ S.P.（セットポイント）の精度 　設定信号が25％～100％の範囲を　±1.0％ S.P. ●±0.25％ F.S.の精度 　設定信号が2％～25％の 　範囲を±0.25％ F.S.

2

＋1.0

＋0.5

0

－0.5

－1.0

10 20 30 40 50 60 70 80 90 100

流量レンジ （%） Flow range (%)

T2005,T2020,T2050シリーズの範囲 T2005/T2020/T2050 series

2-25% F.S.: ±0.25% F.S. 25%-100% F.S.: ±1.0% S.P.

精度がフルスケール±1%の場合の誤差範囲 Error range ( accuracy : ±1% F.S.)

T2150シリーズ ±2.0% F.S. (T2150 series: 2.0% F.S.)

精度（％F.S.） Accuracy (% F.S.)

●Accuracy : 1.0% S.P. (set point)　Controls flow rate to within 1.0% S.P. when　the command signal is in the 25 to 100% range.

●Accuracy : 0.25% F.S.　Controls flow rate to within 0.25% F.S.　when the command signal is in the 2 to 25% range.

品名 Type of Product

型式 Model Number

質量流量制御器（マスフローコントローラ）/（マスフローメータ） Mass Flow Controller　　 Mass Flow Meter　

FCST2005(D) / TM2005(D) FCST2020(D) /TM2020(D) FCST2050(D) /TM2050(D) FCST2150(D)

流量 Flow Range

バルブ動作 Valve Type

表面処理 Surface Finish

制御流量範囲 Control Range

アナログ流量出力信号 Analog Flow Rate Output Signal

アナログ流量設定信号 Analog Flow Rate Command Signal

流量精度 Accuracy

再現性 Repeatability

応答時間 Response Time

ノーマルオープン（Normally Open）： NO　ノーマルクローズ（Normally Closed）： NC

EP処理（精密研磨） EP Treatment

2%-100% F.S.

流量に比例 0-5 V DC Proportional to Flow Rate,0-5 V DC

流量に比例 0-5 V DC Proportional to Flow Rate,0-5 V DC

2%-25%： ±0.25% F.S.　　25%-100%： ±1.0% S.P. ±2.0% F.S.

±0.2% F.S.

1 秒 1 sec

必要差圧 Differential

Pressure Range

5, 10, 20, 30, 50,100, 200, 300, 500 SCCM 1, 2, 3, 5 SLM

50-300 kPa

10, 20 SLM 30, 50 SLM

100-300 kPa（30 SLM） 150-300 kPa（50 SLM）

100, 150 SLM

200-350 kPa（100 SLM） 250-350 kPa（150 SLM）

耐圧 Proof Pressure

ゼロ（Zero）

FCST

FCSTM

温度影響 Temperature Coefficient スパン（Span）

最大動作圧 Maximum Operating Pressure

使用保証温度 Guaranteed Operating Temperature

外部リーク External Leak Rate

取り付け姿勢 Installation Orientation

接ガス部材質 Wetted Materials

シール部材質 Seal Ring Material

アクチュエータ方式 Actuator

接続継手 Fittings

消費電流 Power Consumption

インターフェース Communication Interface

300 kPa（G）

10～400kPa

350 kPa（G）

200-300 kPa（20 SLM）

100-300 kPa（10 SLM）

100-300 kPa（20 SLM）

50-300 kPa（10 SLM）

NC

NO

1 MPa（G）

±0.02% F.S./ ℃

±0.02% F.S./ ℃ ±0.04% F.S./ ℃ ±0.08% F.S./ ℃ ±0.1% F.S./ ℃

±0.05% F.S./ ℃

5-50 ℃

1x10-11Pa・m3/sec

指定なし（自由） Any

SUS316L, PCTFE SUS316L, PCTFE, FKM

Au

ピエゾアクチュエータ Piezo actuator

1.125W, 1.5W, 1/4" UJR

+15V: 100mA -15V: 50mA　24V: DeviceNetTM

ソレノイドアクチュエータ(NC) Solenoid actuator

ピエゾアクチュエータ(NO) Piezo actuator

3/8" UJR

+15V: 100mA -15V: 200mA(NC)

+15V: 100mA -15V: 50mA(NO)

アナログ(Analog)： 0-5 VDC　　デジタル(Digital)： RS485　DeviceNetTM ： 24V

/

最新のカタログは”http://www.fujikin.co.jp/go/c75201”よりダウンロードできます。 You can download the latest catalogue from URL http://www.fujikin.co.jp/go/c75201

呼び径 6.35呼び径 6.35

呼び径 6.35

び

ねじ

※:

※:

①

⑥

⑧⑤

②

ねじ

④

③

① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨

D : DeviceNetTM （横出し）DT : DeviceNetTM （上出し）

ABC

⑨

ABC

3

⑦, HE, SIH4

（ガス名は大文字で記載）, HE, SIH4

(Capital letter indicates gas name.)

Panel Cut SizeMax. Volume Adjuster

Display Panelmeter外部信号、電源用コネクタExternal signal, Connectors for power supply

（M3 端子台×10）（M3 Terminal box ×10）

FCS 接続コネクタ（Dsub15ピン メス）（Dsub 15 Pin Female）

Multiple FCST2000 unit・Power Supply・Digital Panelmeter・Control Potentiometer・Cables

Single FCST2000 unit・Power Supply Meter・Cables

アクセサリー

外形寸法 Dimensions

付属品と接続例 Accessories and Setup Examples

Accessories

24114

3030

120

14 213

232

電源表示設定器Power Supply Meter

流量表示器Digital Panelmeter

流量設定器Control Potentiometer

電源 （FCST 6台接続用）Power Supply for 6 Units

Power Supply for 3Units

流量表示器　 流量表示器　

電源 （FCST 3 台接続用） Power Supply for 6Units電源 （FCST 6 台接続用） Power Supply for 9Units電源 （FCST 9 台接続用）

Digital Panelmeter Control PotentiometerPower Supply Meter

FCST2000 1台 FCST2000 1台 複数台

241

75

14

3030

120

14 213

232

15.5

定格ラベル

2

電源接続端子台 (M3)Power Supply Terminal (M3)AC100-240V, 端子台カバー付、ケーブル2ｍ付

フレームグランド端子

180

R2.5

流量表示器、流量設定器接続コネクターDisplay & Controller Connector

コネクターの着脱に最低150mm必要です。

（Dsub 25 Pin X1）

MFC接続コネクターMFC Connector（Dsub 9 Pin X3）

AC100-240V, with Terminal Block Cover & Cable Length 2m attachment

Frame GND Terminal

Rated Label Rated Label Rated Label

24114

3030

120

14 213

232

75

15.5

定格ラベル

2

電源接続端子台 (M3)Power Supply Terminal (M3)AC100-240V, 端子台カバー付、ケーブル2ｍ付

フレームグランド端子

180

R2.5

流量表示器、流量設定器接続コネクターDisplay & Controller Connector

コネクターの着脱に最低150mm必要です。

（Dsub 25 Pin X2）

MFC接続コネクターMFC Connector（Dsub 9 Pin X6）

AC100-240V, with Terminal Block Cover & Cable Length 2m attachment

AC100-240V, with Terminal Block Cover & Cable Length 2m attachment

Frame GND Terminal Frame GND Terminal 75

15.5

定格ラベル

2電源接続端子台 (M3)Power Supply Terminal (M3)AC100-240V, 端子台カバー付、ケーブル2ｍ付

フレームグランド端子

180

R2.5

流量表示器、流量設定器接続コネクターDisplay & Controller Connector

コネクターの着脱に最低150mm必要です。

（Dsub 25 Pin X3）

MFC接続コネクターMFC Connector（Dsub 9 Pin X9）

FCPT1200ｰACｰ2MFCST2000

電源表示設定器Power Supply Meter　FCS-PM1000A-SP

FCPT1200ｰDS9ｰDS15-＊Mｰ0.3SQ

FCSｰSETｰ01ｰL100

FCSｰDPMｰ05ｰL100

FCST2000

FCPT1000ｰDS9ｰDS9ｰ＊Mｰ0.3SQ

電源Power Supply　FCSｰT1000ｰPS3

FCPT1000ｰDS25ｰ3X3ｰ4X3ｰ＊M

Red

Green

White

Black

30 or less

4

流量表示器流量設定器