2点の独立した圧力設定が可能

真空吸着パッド径の変更により設定圧力が2出力必要な 場合や正圧ラインのライン切換による2圧確認が必要な 場合などに好適です。

ステンレスダイヤフラム採用

センサ部にSUS630、継手部にSUS304を採用しました。

リーク量：1×10-5Pa·m3/s

センサ部と継手部を電子ビーム溶接することで、従来 対応できなかった水分を含んだ空気や油などの巾広い 流体の圧力検出が可能です。

汎用流体用

Series

（真空用）

（正圧用）

ZSE5BISE5B

バックライト付

デジタル圧力スイッチ

巾広い流体の圧力検出が可能巾広い流体の圧力検出が可能 ●油圧作動油油圧作動油　　●シリコンオイルシリコンオイル　●潤滑油潤滑油 ●乾燥空気乾燥空気　　　●二酸化炭素二酸化炭素　　　●アルゴンアルゴン ●ドレン含空気ドレン含空気　●アンモニアアンモニア　　　●窒素ガス窒素ガス ●フレオンフレオン

多彩なスイッチ出力モード

（標準） （反転）

ヒステリシス モード

ウインド コンパレータ モード

ON

OFF

P2 P1

ON

OFF

n2 n1

（標準） （反転）

ON

OFF

P1 P2

ON

OFF

n1 n2

データ保持機能 専用のIC(EEPROM)を使用していますので、設定された データは電源を切っても10万時間（約11年）保持してい ます。

パネルマウント対応可能 専用のアダプタで簡単にパネルマウントに対応できます。

大気圧復帰を確実に検知（真空用） 真空破壊圧印加後の、大気圧復帰を確実に検知できます。

598

バックライト付デジタル圧力スイッチ

型式表示方法

リード線長さ L 3m

出力仕様 26

27

67

アナログ出力（1～5V）

NPNオープンコレクタ2出力

PNPオープンコレクタ2出力

配管仕様 02

T2

R1/4

NPTF 1/4

パネルマウント用アダプタ品番 （パネルアダプタA＋パネルアダプタB＋取付金具）

ZS-22-E パネルアダプタA‥‥‥‥‥ZS-22-03 パネルアダプタB‥‥‥‥‥ZS-22-02 取付金具‥‥‥‥‥‥‥‥‥ZS-22-04

ZSE5B／ISE5B

正圧用

真空用

ISE5B

ZSE5B

L

L

オプションブラケット

注）配管の内側にはM5×0.8 　　めねじが切ってあります。

ZS-22-D M3タッピングネジ4本付

パネルアダプタA

パネルアダプタB

取付金具

M

M

注1）新計量法上（日本国内はSI単位）、 海外向けのみの販売となります。 注2）固定単位 　　　　　正圧用：MPa 　　　　　真空用：kPa

単位仕様 無記号

M

単位切換機能付

SI単位固定

注1）

注2）

599

PS□

ZSP

IS□

ZSM

PF□

IF□

ZSE□ISE□

ZSE5B／ISE5B

仕様

kPa MPa mmHg kgf/cm2

PSI bar

ヒステリシスモード ウインドコンパレータモード

真空 ZSE5B

正圧 ISE5B

ON時点灯（OUT1：緑　OUT2：赤） 200Hz（5ms）

使用流体 温度特性 繰り返し精度 使用電圧 出力仕様 消費電流 異常表示 圧力表示 自己診断機能 使用温度範囲 耐ノイズ 耐電圧 絶縁抵抗 耐振動 耐衝撃 リード線 質量 管接続口径 保護構造

SUS304、SUS630を腐食させない流体 ±3％F.S.以下 ±1％F.S.以下

DC12～24V（リップル±10％以下） NPNオープンコレクタ30V、80mA以下　PNPオープンコレクタ　80mA以下

45mA以下 表示灯：赤点滅　LCDにエラーコード表示

3 1/2桁　LCD（文字高10mm） （注3過電流）、過圧力、データエラー、0クリア時の圧力の有無

0～50℃（結露しないこと） 500Vp-p　パルス幅1μS　立上がり1nS

外部端子一括とケース間　AC250V　50/60Hz1分間 外部端子一括とケース間　2MΩ（DC50Vメガ計にて）

10～500Hz振幅1.5mmまたは加速度98m／s2いずれも小さい方にてX,Y,Z方向各2時間 980m／s2　X,Y,Z方向　各3回

グロメット耐油ビニルキャブタイヤコード -26 ø3.4　0.2mm2 3芯 3m -27、-67、ø3.5　0.14mm2 4芯 3m 126g（3mリード線含む）

02：R1/4、M5×0.8　T2：NPTF 1/4、M5×0.8 IP40

注1）●単位切換機能付の場合 　　　 ｛単位切換機能がないタイプについては、SI単位（kPaまたはMPa）に固定されます。｝ 注2）●ヒステリシスモード 　　　 ZSEの場合：P1,P2の値を同じか、P1＞P2で2digit以内の場合、P1の設定値に対し応差は自動的に2digitになります。 　　　 I SEの場合：P1,P2の値を同じか、P1＞P2で3digit以内の場合、P1の設定値に対し応差は自動的に3digitになります。 　　 ●ウインドコンパレータモード 　　　 ZSEの場合：応差が2digitになりますのでP1,P2は5digit以上離して設定してください。 　　　 I SEの場合：応差が3digitになりますのでP1,P2は7digit以上離して設定してください。 　　　 ※1digitとは圧力表示最小単位（上表参照）のことをいいます。 注3）●アナログ出力タイプにはありません。

型式

注2）

注1）

200kPa

操作部の名称

応差

表示最小単位

動作表示灯 応答周波数

最高使用圧力 圧力設定範囲

2 ― 10 0.02 0.2 0.02

― 0.01 ― 0.1 1 0.1

1.5MPa

可変（2digit以上） 固定（2digit）

可変（3digit以上） 固定（3digit）

－0.1～1MPa

－100～100kPa

SET

RESET

PRESSURE SWITCH

ON/OFF設定値を増加させます。 ピーク表示モードへの切換え

UPボタン

OUT1のスイッチの動作状況を表示 します。

LED（緑）

UPUPボタンボタンとDOWNDOWNボタンボタンを同時に 押すとRESET機能が働きます。 異常が発生した場合にクリアします。 表示の0クリアします。

RESETボタン

現在圧力の表示 ON/OFF設定値の表示 エラーコードの表示 単位の表示

LCD

ON/OFF設定値を減少させます。 ボトム表示モードへの切換え 単位切換、出力モードの切換に 使用します。

DOWNボタン

OUT2のスイッチの動作状況を表示 します。 エラーが発生した場合点滅します。

LED（赤）

設定モードへの切換え 1秒以上押すと単位切換、出力モー ドの切換になります。

SETボタン

MPa

ON/OFF設定値を増加させます。 ピーク表示モードへの切換え

UPボタン

OUT1のスイッチの動作状況を表示 します。

LED（緑）

UPUPボタンボタンとDOWNDOWNボタンボタンを同時に 押すとRESET機能が働きます。 異常が発生した場合にクリアします。 表示の0クリアします。

RESETボタン

600

ZSE5B／ISE5B

YES

NO

YES

NO

「P」

「n」

OUT1 出力モード

≧

≧

P-1P-2

P-1 P-2

n-1n-2

n-1 n-2

HH

HH H（固定応差）＝2digit(ZSE5B) 　　　　　　 3digit(ISE5B)

OFF

ON

圧力→

圧力→

圧力→

圧力→

OFF

ON

OFF

ON

OFF

ON

●ヒステリシスモード

●ウインドコンパレータ モード

●ヒステリシスモード

●ウインドコンパレータモード

出力方式 表1

圧力の設定方法

設定の手順

初期設定

「SET」ボタンを1秒以上押し続け てください。表示は図のように なり、単位が点滅します。

▼ボタンで単位が切換ります。 高圧用 MPa→PSI→kgf/cm2→bar 低圧用 mmHg→kPa→PSI→ 　　　 kgf/cm2→bar

1.初期設定モード 2.表示単位の選択 3.OUT1出力モードの選択

「SET」ボタン を押す

:通常出力 :反転出力

バックライト付デジタル圧力スイッチ

▼ボタンでOUT1の「　」と「　」 が切換わります。 （ 表1 を参照してください。）

SET

注）マイコンのプログラムの 　　バージョンを表示します。 　　単位切換機能がないタイプ 　　は3.OUT1出力モードの選択 　　に行きます。

初期設定 圧力設定 通常動作 「表示単位」、「出力モード」 を選定します。

スイッチ出力を行う 圧力の設定を行います。

注）単位切換機能がないタイプにつきましては、「2.表示単位の選択」はありません。

圧力動作を表示し、 スイッチ動作を行います。

kPa

注） 注）

※OUT2も同様です。

H（固定応差）＝2digit(ZSE5B) 　　　　　　 3digit(ISE5B)

4.OUT2出力モードの選択

「SET」ボタンを押す と設定は終了します。　

:通常出力 :反転出力

▲ボタンでOUT2の「　」と「　」 が切換わります。 （ 表1 を参照してください。）

SET

「SET」ボタン を押す

SET

SET

RESET

SET

RESET

SET

RESET

SET

RESET

PRESSURE SWITCHSMC PRESSURE SWITCHSMC PRESSURE SWITCHSMC PRESSURE SWITCHSMC

kPa

601

PS□

ZSP

IS□

ZSM

PF□

IF□

ZSE□ISE□

RESET

PRESSURE SWITCH

RESET

PRESSURE SWITCH

RESET

PRESSURE SWITCH

RESET

PRESSURE SWITCH

RESET

PRESSURE SWITCH

真空スイッチとしてご使用になる場合 表2

圧力の設定方法

ZSE5B／ISE5B

圧力設定

「SET」ボタンを押してください。 ▲ボタン：設定値を大きくします。 ▼ボタン：設定値を小さくします。 （真空でご使用になる場合は 　 表2 を参照ください。）

1. 設定値の入力モード 2. OUT1(1)の設定値入力 3. OUT1(2)の設定値入力

▲ボタン：設定値を大きくします。 ▼ボタン：設定値を小さくします。

▲ボタン：設定値を大きくします。 ▼ボタン：設定値を小さくします。

4. OUT2(1)の設定値入力 5. OUT2(2)の設定値入力

▲ボタン：設定値を大きくします。 ▼ボタン：設定値を小さくします。

ZSE5タイプ（ZSE6タイプ）の圧力スイッチは設定範囲が-100kPa～100kPaです。 従来のデジタル式圧力スイッチとは設定方法が異なりますのでご注意ください。

1.ヒステリシスモードでご使用になる場合 〈例〉-50kPa以上でスイッチを切り換え、 　　　ヒステリシスを10kPaにする。

・P1に-40kPa 　P2に-50kPaを設定します。

注）従来のスイッチの大小関係とは 　　逆になりますのでご注意ください。

注）ヒステリシスは2dight以上設けてください。

※dightとは圧力設定の最小単位です。 　1dight 2kPa,10mmHg, 0.02kgf/cm2, 0.2PSI, 0.02bar

2.ウインドコンパレータモードでご使用になる場合 〈例〉-30kPa以上-70kPa以下でスイッチを 　　　切り換える。

・P1に-70kPa 　P2に-30kPaを設定します。

注）ウインドコンパレータの場合は自動的に 　　ヒステリシスが2dightかかります。

負圧 正圧 0

ON

OFF

ON

OFF

P2: －50kPa

P1: －40kPa

標準出力の場合

反転出力の場合

圧力とスイッチ出力の関係

負圧 正圧 0

ON

OFF

ON

OFF

P1: －70kPa

P2: －30kPa

標準出力の場合

反転出力の場合

圧力とスイッチ出力の関係

-66kPa-66kPa -34kPa-34kPa－66kPa －34kPa

「SET」ボタンを 押す

SET

「SET」ボタンを 押す

SET SET

「SET」ボタンを 押すと設定は 終了します。

SET

mmHg

「SET」ボタンを 押す

SETSETSET

SET SET

mmHg mmHg

mmHg mmHg

602

RESET

PRESSURE SWITCH

バックライト付デジタル圧力スイッチ

構成部品 部品名

表示パネル ボディ パッキン リード線 圧力センサ 配管継手

材質 変性PPO PBT NBR

塩化ビニル（ビニルシース部） SUS630 SUS304

番号 1 2 3 4 5 6

q w

e

r

t

y

ZSE5B／ISE5B

その他の機能

●ピーク表示モード

●ボトム表示モード

●リセット機能

圧力表示中にDOWNボタンを押すことにより 圧力の下限ピーク値（真空度の高い値）を表示 します。この場合LCDには"L"が表示されます。 元に戻す場合は、再度DOWNボタンを押して ください。

圧力表示中にUPボタンを押すことにより圧力 の上限ピーク値（真空度の低い値）を表示します。 この場合LCDには"H"が表示されます。元に戻す 場合は、再度UPボタンを押してください。

RESET操作を行なうと次のようになります。 1）通常の動作の場合 ●ピーク表示、ボトム表示モードのクリア、または 0クリア 2）エラー発生の場合 ●設定モードで設定されたデータは保持された ままの状態で、電源投入時と同じ状態になり ます。（システムリセットがかかります。） ●データエラーの場合、設定モードになり設定が 終わると、電源投入時と同じ状態になります。 （システムリセットがかかります。） 注）設定モードでは、リセット機能は働きません。

エラー発生時の処置

エラー発生時は次のように処置してください。

表示 内容 処置

内部回路と配線例

-27NPNオープンコレクタ

-26アナログ出力タイプ

-67PNPオープンコレクタ

設定されたデータが何 らかの影響で変化して います。

大気圧と比較して1MPa 用は±0.07MPa、真空用、 100kPa用は±7kPa以上 の圧力が0クリア時に加 わっています。

OUT1の負荷に80mAを 超える電流が流れてい ます。

出力ON時にOUT1が無 負荷で電源等に接触し たか、現在も接触して いる可能性があります。

OUT2の負荷に80mAを 超える電流が流れてい ます。

出力ON時にOUT2が無 負荷で電源等に接触し たか、現在も接触して いる可能性があります。

正圧用は最高使用圧力 ×1.5倍、真空用は0.5MPa の圧力が2秒以上加わっ ています。

RESET操作を行ない全 てのデータを設定し直 してください。

電源を切ってOUT1に接 続されている負荷を交 換してください。

OUT1の電源等への非接 触状態を確認した後、 RESET操作を行なってく ださい。

電源を切ってOUT2に接 続されている負荷を交換 してください。 OUT2の電源等への非接 触状態を確認した後、 RESET操作を行なってく ださい。

圧力を定格圧以下にして からRESET操作を行なっ てください。

圧力を大気圧にしてから、 RESET操作を行なってく ださい。

注）アナログ出力付きにはありません。

＋

－

LED 緑

LED 赤

主

回

路

負荷

DC12～24V

LED 緑

LED 赤

主

回

路

＋

－ DC12～24V

負荷

負荷

MAX80mA↓

MAX80mA↓

＋

－ LED 緑

LED 赤

主

回

路

DC12～24VMAX80mA 　　→

負荷

負荷

MAX80mA 　　→

構造図

注）

注）

RESET

PRESSURE SWITCH

RESET

PRESSURE SWITCH

SET

SET

SET

1～5V（±5％F.S.） 負荷インピーダンス： 1kΩ以上

Max.30V、80mA 残圧電圧1V以下

Max.80mA

茶　DC（＋）

青　DC（－）

黒　OUT （アナログ出力）

茶　DC（＋）

青　DC（－）

黒　OUT1

白　OUT2

茶　DC（＋）

青　DC（－）

黒　OUT1

白　OUT2

603

PS□

ZSP

IS□

ZSM

PF□

IF□

ZSE□ISE□

ZSE5B／ISE5B

乾燥空気

ドレンを含む空気

油圧作動油(JIS-K2213)

シリコンオイル(JIS-K2213)

潤滑油(JIS-K6301)

フルオロカーボン

二酸化炭素

アンモニア

アルゴン

窒素ガス

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

q耐電圧について 本スイッチの金属継手─リード線間の耐電圧は250Vです。これ以上の電

圧は印加しないでください。

qパネルマウント取付け方法

qパネル表面からパネルアダプタAを差込みます。

↓ w裏面からパネルアダプタBでパネルアダプタAをしっかり固定します。

↓ e圧力スイッチを裏面よりパネルアダプタAに差込みます。

↓ r取付金具により圧力スイッチを固定してください。

取付金具

パネルアダプタA

パネルアダプタB

圧力スイッチ

q使用流体について 接流体部はSUS630（圧力センサ）、SUS304（継手）となっておりますので、この材質を腐食させない流体をご使用ください。 SUS630とSUS304の耐腐食性はほぼ同等ですので参考までにSUS304での使用可能流体、ガスを表示いたします。

q配管に誘導ノイズが発生する恐れがある場合には配管をアースしてくだ 　さい。

製品個別注意事項

警告

ご使用の前に必ずお読みください。 安全上のご注意、掲載製品／共通注意事項については、前付P.34・35、各シリーズごとの共通注意事項については、 P.520～P.522をご確認ください。

配線

注意

その他

注意

警告

圧力源

604

バックライト付デジタル圧力スイッチ

外形寸法図

標準タイプ

ブラケット付

3000

リード線長さ

39

(44)

17

12.3

28

SET

RESET

SMC PRESSURE SWITCH

40

20

30

50

30

8.5

53.5

4-ø4.5

ブラケット

3000

リード線長さ

39

17

12.3

28

SMC PRESSURE SWITCH

SET

RESET

30

30

53.5

8.5

02:R1／4 T2:NPTF1／4

ZSE5B／ISE5B

パネルマウント ZS-22-03

パネルアダプタA

SET

RESET

SMC PRESSURE SWITCH

40

41.8

40

58.5

パネルアダプタB

取付金具

ZS-22-04

ZS-22-02

36

（41.6）

4.3 36＋0.50

36＋0.50

パネルマウント用カット寸法

パネル厚さは1～3.2mm

ZS-22-D

20

5

4-ø2.7 深6.5

20

センサ

溶接部

継手

M5×0.8　深5

605

PS□

ZSP

IS□

ZSM

PF□

IF□

ZSE□ISE□

2点の独立した圧力設定が可能

真空吸着パッド径の変更により設定圧力が2出力必要な 場合や正圧ラインのライン切換による2圧確認が必要な 場合などに好適です。

ステンレスダイヤフラム採用

測定流体がセンサ部に直接触れないダイヤフラム構造。 センサ部にSUS630、継手部にSUS304を採用。

リーク量：1×10-10Pa·m3/s

センサ部、継手部は電子ビーム溶接、継手は漏れのない 2種類のメタルガスケットシール継手対応。漏れを嫌うガ ス、液体の圧力検出に好適。

汎用流体用

ZSE6BISE6B

バックライト付

デジタル圧力スイッチ

Series

（真空用）

（正圧用）

半導体製造設備の半導体製造設備のロードロッロードロック（予備室）（予備室） チャンバチャンバーなどの大気圧確認に好適なーなどの大気圧確認に好適な デジタデジタル圧力ル圧力スイッスイッチです。チです。

多彩なスイッチ出力モード

（標準） （反転）

ヒステリシス モード

ウインド コンパレータ モード

ON

OFF

P2 P1

ON

OFF

n2 n1

（標準） （反転）

ON

OFF

P1 P2

ON

OFF

n1 n2

データ保持機能 専用のIC(EEPROM)を使用していますので、設定された データは電源を切っても10万時間（約11年）保持してい ます。

パネルマウント対応可能 専用のアダプタで簡単にパネルマウントに対応できます。

大気圧復帰を確実に検知（真空用） 真空破壊圧印加後の大気圧復帰を確実に検知できます。

606

パネルマウント用アダプタ品番 （パネルアダプタA＋パネルアダプタB＋取付金具）

ZS-22-E パネルアダプタA‥‥‥‥‥ZS-22-03 パネルアダプタB‥‥‥‥‥ZS-22-02 取付金具‥‥‥‥‥‥‥‥‥ZS-22-04 オプションブラケット

バックライト付デジタル圧力スイッチ

型式表示方法

リード線長さ L 3m

出力仕様 26

27

67

アナログ出力（1～5V）

NPNオープンコレクタ2出力

PNPオープンコレクタ2出力

配管仕様 A2

B2

URJ 1/4

TSJ 1/4

ZSE6B／ISE6B

正圧用

真空用

ISE6B

ZSE6B

L

L

　URJ1/4とTSJ1/4は半導体 　装置等向けの特殊継手で 　すので、ご注意ください。

ZS-22-D M3タッピングネジが4本付きます。

パネルアダプタA

パネルアダプタB

取付金具

注1）新計量法上（日本国内はSI単位）、 海外向けのみの販売となります。 注2）固定単位 　　　　　正圧用：MPa 　　　　　真空用：kPa

単位仕様 無記号

M

単位切換機能付

SI単位固定

注1）

注2）

M

M

607

PS□

ZSP

IS□

ZSM

PF□

IF□

ZSE□ISE□

RESET

PRESSURE SWITCH

ZSE6B／ISE6B

仕様

kPa MPa mmHg kgf/cm2

PSI bar

ヒステリシスモード ウインドコンパレータモード

真空 ZSE6B

正圧 ISE6B

ON時点灯（OUT1：緑　OUT2：赤） 200Hz（5ms）

使用流体 温度特性 繰り返し精度 使用電圧 出力仕様 消費電流 異常表示 圧力表示 自己診断機能 使用温度範囲 耐ノイズ 耐電圧 絶縁抵抗 耐振動 耐衝撃 リード線 質量 管接続口径 保護構造

SUS304、SUS630を腐食させない流体 ±3％F.S.以下 ±1％F.S.以下

DC12～24V（リップル±10％以下） NPNオープンコレクタ30V、80mA以下　PNPオープンコレクタ80mA以下

45mA以下 表示灯：赤点滅　LCDにエラーコード表示

3 1/2桁　LCD（文字高10mm） （注3過電流）、過圧力、データエラー、0クリア時の圧力の有無

0～50℃（結露しないこと） 500Vp-p　パルス幅1μS　立上がり1nS

外部端子一括とケース間　AC250V　50/60Hz 1分間 外部端子一括とケース間　2MΩ（DC50Vメガ計にて）

10～500Hz振幅1.5mmまたは加速度98m/s2いずれか小さい方にてX,Y,Z方向各2時間 980m/s2　X,Y,Z方向　各3回

グロメット耐油ビニルキャブタイヤコード　-26　ø3.4　0.2mm2　3芯　3m　-27、　-67 ø3.5　0.14mm2　4芯　3m 126g（3mリード線含む） A2：URJ 1/4、B2：TSJ 1/4

IP40注1）●単位切換機能付の場合 　　　 ｛単位切換機能がないタイプについては、SI単位（kPaまたはMPa）に固定されます。｝ 注2）●ヒステリシスモード 　　　 ZSEの場合：P1,P2の値を同じか、P1＞P2で2digit以内の場合、P1の設定値に対し応差は自動的に2digitになります。 　　　 I SEの場合：P1,P2の値を同じか、P1＞P2で3digit以内の場合、P1の設定値に対し応差は自動的に3digitになります。 　　 ●ウインドコンパレータモード 　　　 ZSEの場合：応差が2digitになりますのでP1,P2は5digit以上離して設定してください。 　　　 I SEの場合：応差が3digitになりますのでP1,P2は7digit以上離して設定してください。 　　　 ※1digitとは圧力表示最小単位（上表参照）のことをいいます。 注3） アナログ出力タイプにはありません。

型式

注2）

注1）

200kPa

操作部の名称

応差

表示最小単位

動作表示灯 応答周波数

最高使用圧力 圧力設定範囲

2 ― 10 0.02 0.2 0.02

― 0.01 ― 0.1 1 0.1

1.5MPa

可変（2digit以上） 固定（2digit）

可変（3digit以上） 固定（3digit）

－100～100kPa －0.1～1MPa

現在圧力の表示 ON/OFF設定値の表示 エラーコードの表示 単位の表示

LCD

ON/OFF設定値を減少させます。 ボトム表示モードへの切換え 単位切換、出力モードの切換に 使用します。

DOWNボタン

OUT2のスイッチの動作状況を表示 します。 エラーが発生した場合点滅します。

LED（赤）

設定モードへの切換え 1秒以上押すと単位切換、出力モー ドの切換になります。

SETボタン

ON/OFF設定値を増加させます。 ピーク表示モードへの切換え

UPボタン

OUT1のスイッチの動作状況を表示 します。

LED（緑）

UPUPボタンボタンとDOWNDOWNボタンボタンを同時に 押すとRESET機能が働きます。 異常が発生した場合にクリアします。 表示の0クリアします。

RESETボタン

kPa

SET

608

バックライト付デジタル圧力スイッチ

構成部品 部品名

表示パネル ボディ パッキン リード線 圧力センサ 配管継手

材質 変性PPO PBT NBR

塩化ビニル（ビニルシース部） SUS630 SUS304

番号 1 2 3 4 5 6

q w

e

r

t

y

ZSE6B／ISE6B

圧力の設定方法 エラー発生時の処置

エラー発生時は次のように処置してください。

表示 内容 処置

内部回路と配線例

-27NPNオープンコレクタ

-26アナログ出力タイプ

-67PNPオープンコレクタ

設定されたデータが何 らかの影響で変化して います。

大気圧と比較して1MPa 用は±0.07MPa、真空 用、100kPa用は±7kPa 以上の圧力が0クリア時 に加わっています。

OUT1の負荷に80mAを 超える電流が流れてい ます。

出力ON時にOUT1が無 負荷で電源等に接触し たか、現在も、接触し ている可能性がありま す。

OUT2の負荷に80mAを 超える電流が流れてい ます。

出力ON時にOUT2が無 負荷で電源等に接触し たか、現在も、接触し ている可能性がありま す。

正圧用は最高使用圧力 ×1.5倍、真空用は0.5MPa の圧力が2秒以上加わっ ています。

RESET操作を行ない全 てのデータを設定し直 してください。

電源を切ってOUT1に接 続されている負荷を交 換してください。

OUT1の電源等への非接 触状態を確認した後、 RESET操作を行なってく ださい。

電源を切ってOUT2に接 続されている負荷を交換 してください。 OUT2の電源等への非接 触状態を確認した後、 RESET操作を行なってく ださい。

圧力を定格圧以下にして からRESET操作を行なっ てください。

圧力を大気圧にしてから、 RESET操作を行なってく ださい。

注）アナログ出力付きにはありません。

＋

－

LED 緑

LED 赤

主

回

路

負荷

DC12～24V

LED 緑

LED 赤

主

回

路

＋

－ DC12～24V

負荷

負荷

MAX80mA↓

MAX80mA↓

＋

－ LED 緑

LED 赤

主

回

路

DC12～24VMAX80mA 　　→

負荷

負荷

MAX80mA 　　→

構造図

注）

注）

圧力の設定方法は、ZSE5B/ISE5Bシリーズと同様になりますので P.601,602をご参照ください。

その他の機能

ZSE5B/ISE5Bシリーズと同様になりますのでP.603をご参照くだ さい。

1～5V（±5％F.S.） 負荷インピーダンス： 1kΩ以上

Max.30V、80mA 残圧電圧1V以下

Max.80mA

茶　DC（＋） （赤）

青　DC（－） （黒）

黒　OUT（アナログ出力） （白）

茶　DC（＋） （赤）

青　DC（－） （黒）

黒　OUT1 （白）

白　OUT2 （黄）

茶　DC（＋） （赤）

青　DC（－） （黒）

黒　OUT1 （白）

白　OUT2 （黄）

（　）内のリード線色は、IEC規格準拠前の場合です。

609

PS□

ZSP

IS□

ZSM

PF□

IF□

ZSE□ISE□

ZSE6B／ISE6B

q毒性、腐食性、燃焼ガスの使用について 本スイッチの圧力センサおよび継手部の材質はSUS630、SUS304です

ので、毒性、腐食性のガスは使用しないでください。 また本スイッチは防爆対応ではありませんので、燃焼ガスにも使用しないでください。

乾燥空気

ドレンを含む空気

油圧作動油(JIS-K2213)

シリコンオイル(JIS-K2213)

潤滑油(JIS-K6301)

フルオロカーボン

二酸化炭素

アンモニア

アルゴン

窒素ガス

○

○

○

○

○

○

○

○

○

○

q耐電圧について 本スイッチの金属継手─リード線間の耐電圧は250Vです。これ以上の電

圧は印加しないでください。

qパネルマウント取付け方法

qパネル表面からパネルアダプタAを差込みます。

↓ w裏面からパネルアダプタBでパネルアダプタAをしっかり固定します。

↓ e圧力スイッチを裏面よりパネルアダプタAに差込みます。

↓ r取付金具により圧力スイッチを固定してください。

取付金具

パネルアダプタA

パネルアダプタB

圧力スイッチ

w使用流体について 接流体部はSUS630（圧力センサ）、SUS304（継手）となっておりますので、この材質を腐食させない流体をご使用ください。 SUS630とSUS304の耐腐食性はほぼ同等ですので参考までにSUS304での使用可能流体、ガスを表示いたします。

q配管に誘導ノイズが発生する恐れがある場合には配管をアースしてくだ 　さい。

製品個別注意事項

警告

ご使用の前に必ずお読みください。 安全上のご注意、掲載製品／共通注意事項については、前付P.34・35、各シリーズごとの共通注意事項については、 P.520～P.522をご確認ください。

配線

注意

その他

注意

警告

圧力源

eヘリウムリーク検査について 溶接部はヘリウムリーク検査を行っています。TSJ継手はクロフォードフィッテング社製フェルール（スエジロック継手）、URJ継手はケイジョン社製（VCR継手）のパッキン、グランド等を使用してください。他社継手のフェルールおよびパッキン、グランドを使用する場合には必ず継手部のヘリウムリーク検査を行ってから使用してください。

610

パネルマウント

36＋0.50

36＋0.50

パネルマウント用カット寸法

パネル厚さは1～3.2mm

バックライト付デジタル圧力スイッチ

TSJ1/4(Tube Swage Joint)ブラケット付

URJ1/4(Union Ring Joint)

SMC PRESSURE SWITCH

SET

RESET

30

8.5

56

30

URJ1／4

9　／16-18UNF

7／16-20UNF

3000

39

17

12.3

28

SET

RESET

SMC PRESSURE SWITCH

30

308.

5

51

TSJ1／4

20

20

4-ø2.7深 6.5

継手

溶接部

センサ

3000

39

17

12.3

28

リード線長さ

外形寸法図

ZSE6B／ISE6B

パネルアダプタB

取付金具

ZS-22-04

ZS-22-02

36

（41.6）

4.3

ZS-22-03

パネルアダプタA

SET

RESET

SMC PRESSURE SWITCH

40

41.8

40

リード線長さ

61

611

PS□

ZSP

IS□

ZSM

PF□

IF□

ZSE□ISE□

故障予知出力機能内蔵

真空システム（エジェクタ）のサイレンサの目詰りによ る性能低下、パッドの亀裂、真空配管の洩れ等で真空到 達度が低下した場合、異常をすばやく検知しシステムの 停止を事前に外部に出力します。

充実した自己診断機能 ■過電流検知機能

■過圧力検知機能

■データエラー

LCD表示： LCDにエラー表示

動作表示灯： 異常時に赤点滅

真空ユニット：ZXシリーズに モジュール化可能

サクションフィルタ付

データ保持機能

専用のIC(EEPROM)を使用していますので、設定された データは電源を切っても10万時間（約11年）保持してい ます。

2点の独立した圧力設定が可能

真空吸着パッド径の変更により設定圧力が2出力必要な 場合や正圧ラインのライン切換による2圧確認が必要な 場合などに好適です。

SMC

RESET SET

kPa

一般空気圧用

ZSE3ISE3

LCD表示形

デジタル圧力スイッチ

Series

（真空用）

（正圧用）

デジタルデジタル表示で簡単に圧力設定が表示で簡単に圧力設定が 可能可能

612

海外規格適合機種の詳細は、 SMCホームページをご参照ください。