XGT/XGD SeriesP-13-4A

バリエーション

スリットバルブ／ドアバルブ

450mmウエハ対応

NewNewボディ厚み

（mm）

200mmウエハ対応タイプ

300mmウエハ対応タイプ

450mmウエハ対応タイプ

¡46×236mm¡32×222mm

※開口寸法70×500mm、100×750mm対応可　※その他開口寸法につきましては、当社営業へお問合せください。

70

200 300 450 開口幅（mm）

60

50

トップアクセス可能高いメンテナンス性を実現

ベローズ交換可能高いメンテナンス性を実現

2段動作構造採用エンドロック機構付空気源が切れてもゲート位置を保持

P.1

P.1

P.1

¡56×496mm

カセットなし カセット式 ドアバルブ

スリットバルブ

スリットバルブ ドアバルブ

スリットバルブ ドアバルブ

スリットバルブ

スリットバルブ

200mm、300mmの詳細はWEBカタログまたはBest Pneumatics No.⑧ P.1211

¡50×336mm

ゲートバルブドアバルブ

qボディ取外し

チャンバー

小ねじ

チャンバー

ゲート ゲート

側板

w固定ボルト外し

w側板取外し

eゲートを本体取外し

eベローズ取外し

トップアクセス スリットバルブ

ベローズ交換 スリットバルブ

qトッププレート外し

ゲート上昇・下降の直線動作とゲート開閉のクランプ動作の2段動作構造

2段動作構造採用 スリットバルブ ドアバルブ

w上昇 eクランプ、ゲート閉qゲート開

ゲート

止めねじ

1

XGT/XGD Series

上昇

クランプ

仕様

ドアバルブ

仕様開口寸法（高さ×幅） 56mm×496mm使用環境圧力 大気圧～1×10－6Pa(abs)操作圧力 0.4～0.6MPaリーク 6.5×10－10Pa・m3/s※1

使用温度 5～60℃使用流体 不活性ガス取付方向 垂直(シリンダー下側)エンドロック機構 閉位置ロック機構付※2

質量 12kgオートスイッチ なし、D-A93選択可コネクタ マルチコネクタ、Dサブコネクタ選択可

※1 常温時値OリングFKMの場合（ガス透過を除きます）※2 作動圧力がない状態からのバルブのロック解除は、閉位置を維持

する操作ポートへ圧力を加えてから、操作バルブを切換えてロックの解除を行ってください。

ドアバルブ

カセットなし カセット式

仕様開口寸法（高さ×幅） 56mm×496mm使用環境圧力 大気圧～1×10－6Pa(abs)操作圧力 0.45～0.6MPa内部リーク量 6.5×10－10Pa・m3/s※1

逆圧時内部リーク量 6.5×10－8Pa・m3/s※1、※2

外部リーク量 6.5×10－11Pa・m3/s※1

使用温度ゲート部：5～150℃

アクチュエータ部：5～80℃継手、オートスイッチ部：5～60℃

使用流体 不活性ガス取付方向 垂直エンドロック機構 開閉位置ロック機構付※3

質量 カセットなし：17kgカセット式：25kg

オートスイッチ なし、D-A93選択可コネクタ マルチコネクタ、Dサブコネクタ選択可

※1 常温時値OリングFKMの場合（ガス透過を除きます）※2 逆圧力：0.1MPa(abs)以下。※3 作動圧力がない状態からのバルブのロック解除は、現状を維持す

る操作ポートへ圧力を加えてから、操作バルブを切換えてロックの解除を行ってください。

スリットバルブ

2

450mm ゲートバルブ XGT/XGD Series

56

49670

69

485

63

123.5

496

622

56

142.5 144

75

514

37

107.5

485

142.5 144 69

67（ストローク）

56（開口寸法）

56（開口寸法）

80（ストローク）74

514

37

315

56

154

148

110

2×ø44

496（開口寸法）

496（開口寸法）

64

外形寸法図スリットバルブ／XGT

カセットあり

カセットなし

ドアバルブ／XGD

XGT/XGD Series