低真空ポンプ

メカニカルブースタポンプ　PMB／ PRCシリーズ

低真

空ポ

ンプ二つのロータが互いに逆方向へ同期回転します。高速回

転のロータが気体を吸入口から排気口に送り出します。

PMB-Dオリジナル高効率（IE3）汎用モータを搭載したスタンダードモデルです。100 ～ 2400（㎥ /h）クラスの5機種をラインアップ。※PMB100Dは、IE2です。PRC-A油漏れがないキャンドモータ搭載のクリーンモデルです。300 ～ 1800（㎥ /h）クラスの4機種をラインアップ。PMB-C大排気量、低速回転の堅牢モデルです。4000 ～ 6000（㎥ /h）クラスの2機種をラインアップ。

メカニカルブースタポンプはドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプなどの粗引ポンプと組み合わせて使用することにより、 粗引ポンプの排気速度が低下する 10k ～ 1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。

PMB1200D

シリーズ名-Ver. PMB-D PRC-A PMB-C

材質（シリンダ、ロータ） アルミニウム アルミニウム 鋳鉄表面処理 オプション（陽極酸化皮膜） あり（陽極酸化皮膜） なしモータ 汎用モータ（全閉外扇） キャンドモータ 汎用モータ（全閉外扇）駆動方式 ダイレクト駆動 ダイレクト駆動 ベルト駆動大気真空シール メカニカルシール Oリング メカニカルシール大気圧駆動 オプション オプション なし

セレクションガイド

特　長

PRC-012A

PMB-040C

構造説明図

2

汎用モータ仕様　PMBシリーズ　Ver.D

外 形 寸 法 図

仕　　様

型式*1 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

最大排気速度　m3/h（L/min）50Hz 95 （1580） 280 （4670） 500 （8330） 1000 （16667） 2500（41667）／

2000 （33330）

60Hz 115 （1920） 330 （5500） 600 （10000） 1200 （20000） 3100（51667）／2400 （40000）

最大吸入圧力　Pa50Hz 9.3×103 1.2×103 1.3×103 2.0×103／8.0×102

60Hz 6.2×103 9.3×102 1.1×103 1.5×103／6.7×102

最大許容圧力差　Pa50Hz 8.0×103 4.0×103 7.3×103 3.5×103／5.6×103

60Hz 5.6×103 3.3×103 6.0×103 3.0×103／4.7×103

到達圧力*2　Pa 4.0×10-1 6.7×10-1

駆動可能圧力　Pa ～1.0×105（大気圧駆動型）

モータ*3

型式 全閉外扇形　三相誘導電動機高効率クラス IE2 IE3出力（極数）　kW 0.4（2） 0.75（2） 2.2（2） 3.7（2） 7.5（2）

200V級モータ　V50Hz 200 −60Hz 200／220 −

マルチ電圧モータ　V50Hz 220～240／380～415 200～240／380～41560Hz 208～240／380～460 200～240／380～460

使用油*4 R-4 R-4（空冷仕様：R-7）所要油量　L 0.35 0.7 1.5 1.9 4.0冷却方式*5 空冷 空冷／水冷

冷却水

一次側圧力　MＰａ − 0.3出入口差圧　MＰａ − 0.05冷却水量　L/min　 − 2.0 3.0冷却水温度*6　℃ − 5～30

吸気口径　JIS B 2290 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当排気口径　JIS B 2290 VF50相当 VF80相当 VF200相当質量　kg 26 51 82 115 260外形寸法　W×D×H*7　mm 267×576×180 321×685×260 362×784×320 417×970×340 520×1260×460標準補助ポンプ VD40 VD60 VD90 VS2401 VS650/PKS-070適合規格 CE、cTUVus CE標準付属品 油１台分、取扱説明書1部オプション 表面処理、アダプタフランジ、防爆モータ 、大気圧駆動（インバータ）*5、使用油*4、潤滑室別排気ポート、水平排気（PMB2400Dのみ）大気圧駆動インバータ仕様／電圧対応

I2、A2／200V～240V（50Hz／60Hz）　I4、A4／380V～480V（50Hz／60Hz）　

注意　本カタログは、SI 単位系を採用しています。非 SI 単位系との換算は次のようになります。 到達圧力：4.0 × 10-1Pa ＝ 3.0 × 10-3Torr、圧力：0.05MPa ＝ 0.5㎏f ／ cm2

*1　標準は表面処理なし。オプションで表面処理（陽極酸化皮膜）付きも選定できます。*2　ピラニ真空計での測定（補助ポンプ、使用油は標準）。*3　200V 級モータとマルチ電圧モータが選択できます。（PMB100D のみ）防爆モータ対応の場合は、マルチ電圧対応は出来ません。*4　オプションで鉱物油：R-7、合成油：R-7000、フッ素油：J25F が選定できます。*5　インバータ仕様にて、空冷で全圧力領域を運転することが可能です。空冷で使用する場合は、ご注文時ご指定ください。空冷仕様の使用油は、R-7 になります。 水冷仕様のインバータで空冷運転はできません。 PMB600D､ 1200D、2400D は、300Pa ～ 4000Pa の圧力範囲で 1hr 以上圧力保持を行うとポンプ破損の原因となります。その場合は、水冷を選択してください。*6　結露しない環境でご使用ください。*7　その他の寸法については、弊社 Web サイトに掲載の CAD データでご確認ください。

3

排 気 速 度 曲 線

型 式 説 明

例）PMB600D　表面処理／全閉外扇モータ／200V級／JISフランジ／標準油（R4）／インバータ（I2）付PMB600 D MA 2 J1 R4 I2 XXT−

本体オプション●表面処理

なし：なし（標準）T ：表面処理

●排気方向なし：垂直（標準）H ：水平　（PMB2400D のみ）

外部オプション①モータ種類

MA：全閉外扇（標準）MD：安増防爆（屋内）MF：耐圧防爆（屋内）

②モータ電圧2：200V 級4：マルチ電圧9：その他（電圧指定）

③吸排気口フランジJ1：JIS（標準）A1：吸気 ISO-F（アダプタ）A2：吸排気 ISO-F（アダプタ）A3：吸気 ISO-K（アダプタ）　　（PMB2400D のみ）

④使用油R4：鉱物油（R-4：水冷）R7：鉱物油（R-7：空冷）S7：合成油（R-7000）F1：フッ素油（J25F）

⑤インバータ（大気圧駆動型）XX：なし（標準）I2 ：200V 級（水冷）I4 ：400V 級（水冷）A2：200V 級（空冷）A4：400V 級（空冷）

⑥潤滑室別排気XX：なし（標準）B1：潤滑室別排気

● ● ① ② ③ ④ ⑤ ⑥

標準

大気圧駆動（水冷）

大気圧駆動（水冷）

標準

大気圧駆動（空冷）

大気圧駆動（空冷）

4

キャンドモータ仕様　PRCシリーズ　Ver.A

外 形 寸 法 図

仕　　様

型式*1 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

最大排気速度　m3/h（L/min）50Hz 280 （4670） 500 （8330） 1000 （16667） 1500（25000）60Hz 330 （5500） 600 （10000） 1200 （20000） 1800（30000）

最大吸入圧力　Pa50Hz 1.2×103 1.3×103 1.2×103

60Hz 9.3×102 1.1×103 9.3×102

最大許容圧力差　Pa50Hz 4.0×103 7.3×103 4.3×103

60Hz 3.3×103 6.0×103 3.2×103

到達圧力*2　Pa 4.0×10-1 6.7×10-1

駆動可能圧力　Pa ～1.0×105（大気圧駆動型）

モータ*3

型式 キャンドタイプ　三相誘導電動機高効率クラス −出力（極数）　kW 0.75（2） 2.2（2） 3.7（2） 5.5（2）

200V級モータ　V50Hz 20060Hz 200/220

マルチ電圧モータ　V50Hz −60Hz −

使用油*4 R-4所要油量　L 0.7 1.5 1.9冷却方式 水冷

冷却水

一次側圧力　MＰａ 0.3出入口差圧　MＰａ 0.01冷却水量　L/min　 2.0 3.0冷却水温度*5　℃ 5 ～ 30

吸気口径　JIS B 2290 VG80相当 VG100相当 VG150相当排気口径　JIS B 2290 VF80相当 VF100相当質量　kg 51 86 118 150外形寸法　W×D×H*6　mm 296×575×260 356×619×320 406×759×340 406×989×340標準補助ポンプ VD60 VD90 VS2401 VS2401適合規格 −標準付属品 油１台分、取扱説明書1部オプション 表面処理なし、アダプタフランジ、大気圧駆動（インバータ）、使用油*4、潤滑室別排気ポート、異電圧モータ

注意　本カタログは、SI 単位系を採用しています。非 SI 単位系との換算は次のようになります。 到達圧力：4.0 × 10-1Pa ＝ 3.0 × 10-3Torr、圧力：0.05MPa ＝ 0.5㎏f ／ cm2

*1　標準は表面処理あり。オプションで表面処理（陽極酸化皮膜）なしも選定できます。*2　ピラニ真空計での測定（補助ポンプ、使用油は標準）。*3　耐圧防爆、安増防爆には対応できません。*4　オプションで合成油：R-7000、フッ素油：J25F が選定できます。*5　結露しない環境でご使用ください。*6　その他の寸法については、弊社 Web サイトに掲載の CAD データでご確認ください。

5

排 気 速 度 曲 線

用 語 説 明

大気圧駆動 表面処理

標準

大気圧駆動

標準

大気圧駆動

最適なパラメータを入力したインバータを搭載して、大気圧から運転することが可能になります。

アルミニウムは、陽極酸化皮膜を施すことにより強い耐腐食性能を持ち、硬度も高くなります。

インバータタイプ 適用電圧

水冷設定I2 200V～240VI4 380V～480V

空冷設定（PMB-Dのみ）A2 200V～240VA4 380V～480V

陽極酸化皮膜

硬度 :HV400～ 500（鉄はHV320）

塩酸（HCL）雰囲気中での耐腐食性試験＝腐食開始時間

6

メカニカルブースタポンプ用　架台ユニット　YMVシリーズ

+

+

+

架台ユニットYMVシリーズ

オプション

油回転真空ポンプ

メカニカルブースタポンプ

PMB600D

架台ユニット（YMV-06A）　

架台ユニット：YMV-06Aポンプ：PMB600D ＋ VD90（別手配）

VD90

YMV シリーズは、メカニカルブースタポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて 4 種類の架台ユニットを用意しました。ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。

特　長

仕　　様

架台ユニット*1 YMV-01A YMV-03A YMV-06Aベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き

推奨ポンプ*2メカニカルブースタポンプ PMB100D PMB300D PMB600D油回転真空ポンプ VD30 VD40 VD60 VD90

最大排気速度　m3/hr（L/min）50Hz 95（1580） 250（4100） 450（7500） 500（8330）60Hz 115（1900） 290（4800） 520（8670） 600（10000）

最大吸入圧力　Pa50Hz 8.5×103 7.0×102 1.0×103 1.3×103

60Hz 4.5×103 7.0×102 1.0×103 1.1×103

到達圧力*3　Pa 4.0×10-1

冷却水

冷却方式*4 空冷 空冷／水冷一次側圧力　MPaG − 0.3出入口差圧　MPaG − 0.05冷却水温度　℃ − 5～30冷却水量　L/min − 2.0≦

吸気口径　JIS B 2290 VG50相当 VG80相当排気口径　JIS B 2290 VG40相当質量　kg　（推奨ポンプ含む） 150 180 260 285外形寸法　W×D×H　mm 500×860×848 500×860×920 500×960×1030 500×960×1030

オプション

大気圧駆動（インバータ）*5

I2 PMB100D用 PMB300D用 PMB600D用I4 PMB100D用 PMB300D用 PMB600D用

オイルミストトラップ TM201／TM401 TM401／TM-2（F）制御盤*6 PMB100D＋VD30用 PMB300D＋VD40用 PMB600D＋VD60用 PMB600D＋VD90用端子台ボックス PMB100D＋VD30用 PMB300D＋VD40用 PMB600D＋VD60用 PMB600D＋VD90用吸気口フランジ*7 PMB100D用 PMB300D/PMB600D用遅延真空電磁弁*8 共用（DC24V／AC200V／AC220V／AC380V／AC400V／AC415V／AC440Vから選定）冷却水フロースイッチ*9 PMB300D＋VD40/PMB600D＋VD60/PMB600D＋VD90用

注意　YMV シリーズはメカニカルブースタポンプ用の架台ユニットです。メカニカルブースタポンプ＋油回転真空ポンプは別に手配して下さい。 メカニカルブースタポンプ，油回転真空ポンプの仕様は、単体のカタログを参照下さい。単体オプションの追加が可能です。（但し、大気圧駆動（インバータ）はYMV のオプションから選定して下さい）

*1　架台ユニットは、架台・接続配管・ベローズ配管・アジャスタ・キャスタで構成されています。*2　搭載可能な推奨ポンプの組合せです。*3　到達圧力は、ピラニ真空計にて測定。*4　吸入圧力により水冷が必要になります。詳しくはメカニカルブースタポンプのカタログを参照下さい。*5　インバータは、I2 ／ I4 から選定。I2（200 ～ 240V）／ I4（380 ～ 480V）に対応。*6　制御盤は、AC200V ／ AC220V ／ AC380V ／ AC400V ／ AC415V ／ AC440V ／ AC460V ／ AC480V 仕様から選定。*7　吸気口フランジには、φ 18 ゲージポート＋リークポート＋ 1/4B ソケットが付いています。*8　遅延真空電磁弁を採用する際は、配管に 1/4B のソケットが必要になります。オプションの吸気口フランジをお勧めします。*9　冷却水フロースイッチは、DC24V 仕様になります。

7

⑤吸気口フランジ

④端子台ボックス

①オイルミスト　トラップ

③制御盤

②インバータ

⑥遅延真空電磁弁

⑦冷却水フロースイッチ

仕　　様

架台ユニット*1 YMV-12Aベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き

推奨ポンプ*2メカニカルブースタポンプ PMB600D PMB1200D油回転真空ポンプ VS1501 VS2401 VS1501 VS2401

最大排気速度　m3/hr（L/min）50Hz 550（9200） 600（10000） 850（14200） 1000（16700）60Hz 660（11000） 720（12000） 1000（16700） 1200（20000）

最大吸入圧力　Pa50Hz 1.5×103 2.4×103 1.3×103 2.0×103

60Hz 1.3×103 2.1×103 1.1×103 1.7×103

到達圧力*3　Pa 6.7×10-1

冷却水

冷却方式*4 水冷一次側圧力　MPaG 0.3出入口差圧　MPaG 0.1冷却水温度　℃ 5～30冷却水量　L/min 4.0≦ 5.0≦ 4.0≦ 5.0≦

吸気口径　JIS B 2290 VG80相当 VG100相当排気口径　JIS B 2290 VG50相当質量　kg　（推奨ポンプ含む） 480 520 530 570外形寸法　W×D×H　mm 650×1200×1238 650×1200×1238 650×1200×1258 650×1200×1258

オプション

大気圧駆動（インバータ）*5

I2 PMB600D用 PMB1200D用I4 PMB600D用 PMB1200D用

オイルミストトラップ TM-3（F） TM-4（F） TM-3（F） TM-4（F）制御盤*6 PMB600D＋VS1501用 PMB600D＋VS2401用 PMB1200D＋VS1501用 PMB1200D＋VS2401用端子台ボックス PMB600D＋VS1501/VS2401用 PMB1200D＋VS1501/VS2401用吸気口フランジ*7 PMB300D/PMB600D用 PMB1200D用遅延真空電磁弁*8 共用（DC24V／AC200V／AC220V／AC380V／AC400V／AC415V／AC440Vから選定）冷却水フロースイッチ*9 PMB600D＋VS1501用 PMB600D＋VS2401用 PMB1200D＋VS1501用 PMB1200D＋VS2401用

オプション

◆基本構成①架台ユニット 　（ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き）②メカニカルブースタポンプ　・・・別手配③油回転真空ポンプ　・・・別手配

◆オプション　 ・・・別手配①オイルミストトラップ②大気圧駆動（インバータ付き）③制御盤④端子台ボックス⑤吸気口フランジ⑥遅延真空電磁弁⑦冷却水フロースイッチ

大排気量汎用モータ仕様　PMBシリーズ　Ver.C

■東日本営業統括部■西日本営業統括部

■規格品事業部

国内販売：　アルバック販売株式会社

海外販売：　株式会社アルバック

TEL 03-5769-5511（代）TEL 06-6397-2281（代）

TEL +81-467-89-2261

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

5500600065007000

PMB-060C+PKS-070×2

05001000150020002500300035004000450050005500

0.1 1 10 100 1000 10000 100000

Pum

ping

Spe

ed (m

3 /h)

P res s ure (Pa)

PMB-040C+PKS-070

外 形 寸 法 図 排 気 速 度 曲 線

1330J/2017012500SP

注意　本カタログは、SI 単位系を採用しています。非 SI 単位系との換算は次のようになります。 到達圧力：4.0 × 10-1Pa ＝ 3.0 × 10-3Torr、圧力：0.05MPa ＝ 0.5㎏f ／ cm2

*1　ピラニ真空計での測定（補助ポンプ、使用油は標準）。*2　結露しない環境でご使用ください。*3　排気の方向の選択ができます。*4　その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

仕　　様

型式 PMB-040C PMB-060C

最大排気速度　m3/h(L/min)　50Hz

3800(63300) 6200(103300)60Hz

最大吸入圧力　Pa50Hz

8.0×10260Hz

最大許容圧力差　Pa50Hz

5.9×103 5.1×10360Hz

到達圧力*1　Pa 6.7×10-1

駆動可能圧力　Pa 8.0×102

モータ

型式 全閉外扇形　三相誘導電動機高効率クラス IE3出力（極数）　kW 15（4） 18.5（4）

200V級モータ　V50Hz 20060Hz 200/220

マルチ電圧モータ　V50Hz −60Hz −

使用油 R-7所要油量　L 8冷却方式 水冷

冷却水

一次側圧力　MＰａ 0.3出入口差圧　MＰａ 0.05冷却水量　L/min　 10冷却水温度*2　℃ 5～30

吸気口径　JISB2290 VG250相当 VG300相当排気口径　JISB2290*3 VF150相当 VF200相当

質量　kg　 970（モータ無）

1100（モータ無）

外形寸法*4

W×D×H　mm 772×1182×680 772×1452×680

T1/T2　mm50Hz 1570/900 1608/90060Hz 1570/940 1608/940

標準補助ポンプ PKS-070 PKS-070×2適合規格 −標準付属品 油１台分、Vベルト、ベルトカバー、基礎ボルト、モータプーリ、取扱説明書1部オプション 異電圧モータ