マニュアル式シリンダー・キャビネット a 供給装置, 機器類 …mg 0.5mpa v2 v24...
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一般工業ガス用
圧力調整器
Ⅰ
分析用標準ガス・
理科学機器用
圧力調整器
Ⅱ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス用圧力調整器
Ⅲ
一般工業ガス
供給設備・機器
Ⅳ
分析用標準ガス
供給設備・機器
Ⅴ
大臣認定について
Ⅶ
高圧ガスの法律
Ⅷ
参考資料
Ⅸ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス供給設備・機器
Ⅵ
275
RTB-102型(10L用)
RTB-101~5型, RTB-10201/10302/10403/10504/10605型…10L容器用 RTB-401~5型, RTB-40201/40302/40403/40504/40605型…47L容器用
Ⅵ 供給装置, 機器類 マニュアル式シリンダー・キャビネット 1
マニュアル式シリンダー・キャビネット
A
10987654321
管高圧ベント弁低圧ベント弁低圧フィルター低圧ストップ弁圧力調整器高圧フィルター高圧空気作動弁逆止弁N2パージ弁
SV
AC100V
駆動用空気
ガス漏れ警報信号
PROCESS OUT
AV21
F21
R21
V21
CV21
10L
AV11
F11
R11
V13
V11
CV11
MG
0.5MPa
V23
V24
CV23
V14
CV13
V22
CV22
V12
CV12
F12
N2 IN
F22
SV
SV
VENT
10L
PROCESS OUT
CHIYODA SEIKIDEC.INC.
COMPOUND
GAUGEOIL&
WATERUSE
NO
CL 1.5
kgf/cm2
cmHg
76
OIL&WATER
USE NO
CL 1.5kgf/cm2
CHIYODA SEIKIDEC.INC.
COMPOUND
GAUGEOIL&
WATERUSE
NO
CL 1.5
kgf/cm2
cmHg
76
OIL&WATER
USE NO
CL 1.5kgf/cm2
VENT OUT
PROCESS OUT
N2 IN
10l容器
F12CV13
V14 V13
R11
V11 AV11 V12 V21
CV23 F22
V24 V23
R21
F21F11
AV21 V22
CV22CV12
CV21CV11
10l容器
PROCESS OUT
1 2 34
5
678
9
10
1600(1900)
電気制御盤排気ダンパー
ガス検知器(検知部)
ガス検知器(表示部)
一般工業ガス用
圧力調整器
Ⅰ
分析用標準ガス・
理科学機器用
圧力調整器
Ⅱ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス用圧力調整器
Ⅲ
一般工業ガス
供給設備・機器
Ⅳ
分析用標準ガス
供給設備・機器
Ⅴ
大臣認定について
Ⅶ
高圧ガスの法律
Ⅷ
参考資料
Ⅸ
半導体用特殊材料ガス
高純度・超高純度
キャリアガス供給設備・機器
Ⅵ
Ⅵ マニュアル式シリンダー・キャビネット
276
【特長】 ●半導体製造等に使用する毒性ガス容器を格納するガスボックスで、万一ガス洩れが発生しても室内への拡散を防止し、さらに上面よりガスを除害装置へ導くことができます。 ●BA管を標準仕様とし、TIG自動溶接による製作をしています。 ●緊急遮断、全自動式、その他特殊オーダー品は、別途ご用命下さい。
【仕様】
●連結管
●圧力調整器
【シリンダー・キャビネット使用機器類】
型式
RTB-101RTB-102RTB-103RTB-104RTB-105
本数
1本
2本
3本
4本
5本
W
500
850
1200
1550
1900
D
400
H
1600
10L容器用(標準サイズ) 継手=SWGタイプ, VCRタイプ (mm)
型式
RTB-401RTB-402RTB-403RTB-404RTB-405
本数
1本
2本
3本
4本
5本
W
500
850
1200
1550
1900
D
400
H
1900
47L容器用(標準サイズ) 継手=SWGタイプ, VCRタイプ (mm)
型式
RTB-10201RTB-10302RTB-10403RTB-10504RTB-10605
本数
1本
2本
3本
4本
5本
W
850
1200
1550
1900
2250
D
400
H
1600
10L容器用(標準サイズ) パージ用N2ボンベ内蔵型 継手=SWGタイプ, VCRタイプ (mm)
型式
RTB-40201RTB-40302RTB-40403RTB-40504RTB-40605
本数
1本
2本
3本
4本
5本
W
850
1200
1550
1900
2250
D
400
H
1900
47L容器用(標準サイズ) パージ用N2ボンベ内蔵型 継手=SWGタイプ, VCRタイプ (mm)
スウェジロック型 シングル ダブル パージ付 VCR型 シングル ダブル パージ付
EX-20mkⅡ-G2 SWG接続EX-100mkⅡ-G2 SWG接続
EX-20mkⅡ-G1 VCR接続EX-100mkⅡ-G1 VCR接続
EX-20-TD VCR接続/SWG接続EX-100-TD VCR接続/SWG接続
EX-M-20 EP仕様 VCR接続EX-M-100 EP仕様 VCR接続
EX-20-VC 本体VCRメス接続EX-M-20-VC, EP仕様 本体VCRメス接続
P156
P155
P156 P157
P159
参照 圧力調整器のポートアッセンブリー、継手オプション一覧表は、P172~176、 圧力計オプションは、P177, 178をご参照下さい。