industrial instruments general catalogue 2014 fr

Catalogue Général Produits Industriels

Catalogue Général Produits Industriels 2014.8

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Caméras microscopes – DS-Ri2Têtes de caméra numériques – DS-Vi1 / DS-Fi2

Unités de commande indépendantes – DS-L3Unités de commande à contrôle sur PC – DS-U3

4-5

6

7

8

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INDEX

Stéréomicroscopes 3

Microscopes industrielsMicroscopes droits – LV150N / LV150NA / LV100ND / LV100DA-U / L300N / L300ND / L200N / L200NDMicroscopes métallurgiques inversés – MA200 / MA100 / MA100LMicroscopes polarisants – LV100NPOL / Ci POLMicroscopes Zoom multi tâches – AZ100 / AZ100M

Caméras numériques pour microscopes

Microscopes numériques / Profileurs surface 3D sans contact grande résolutionMicroscopes numériques – ShuttlePix P-400Rv Profileurs de surface 3D – BW-D500 Series / BW-S500 Series

ObjectifsObjectifs – CFI60-2 / CFI60 / CF&IC Objectifs proches infrarouge – NIR / NIR-C

Pour incorporation dans microscopes / Chargeurs de WafersUnités de mise au point modulaires – IM-4 / LV-IM / LV-FM / LV-FMAUnité dynamique Auto-Focus – LV-DAF

Microscopes compacts réfléchis – CM SeriesChargeurs de Wafers – NWL200 Series

10-11Systèmes de mesure par vidéo à CNSystèmes de mesure par vidéo à CN – NEXIV VMA / VMR / VMZ-R / VMZ-H SeriesSystèmes de mesure confocaux par vidéo à CN – NEXIV VMZ-K Series

12Microscopes de mesureMicroscopes de mesure – MM-200 / MM-400 / MM-800

13Projecteurs de profil / Système de traitement des donnéesProjecteurs de profil – V-12B / V-20B / V-24BLogiciel de traitement des données – E-MAX

Processeur de données – DP-E1Logiciel de métrologie – U-DP

14Autocollimateurs / DIGIMICROAutocollimateurs – 6B-LED / 6D-LED DIGIMICRO – MF-1001 / MF-501 / MH-15M

15Optique plane / Optique parallèle/ Echelle standard 300mm

Optiques parallèles – SMZ25 / SMZ18 / SMZ1270 / SMZ1270i / SMZ800NOptiques Greenough – SMZ745 / SMZ745T / SMZ660 / SMZ445 / SMZ460 / SMZ-2 / SM-5

3

Stéréomicroscopes

Optiques parallèles

SMZ445SMZ460

SMZ745SMZ745T SMZ660 SM-5SMZ-2

4.3 : 1

3.5–60×(7–30×)

4.4 : 1

0.8 –3.5×

4–70×(8–35×)

0.7 –3×

6.3 : 1

0.8–5×

4–300×(8–50×)

(SMZ745T only)

7.5 : 1

0.67–5×

3.35–300×(6.7–50×)

5 : 1

0.8–4×

4–120×(8–40×)

100mm115mm115mm 77.5mm 100mm

10–60×(20×)

SMZ25

60mm

25 : 1

0.63–15.75×

3.15–945×(6.3–157.5×)

SMZ18

60mm

18 : 1

0.75–13.5×

3.75–810×(7.5–135×)

SMZ1270SMZ1270i

70mm

12.7 : 1

0.63–8×

3.15–480×(6.3–80×)

SMZ800N

78mm

8 : 1

1–8×

5–480×(10–80×)

SMZ Series

Optiques Greenough

La gamme SMZ propose des appareils avec une performance optique remarquable, un système extensible flexible et une excellente opérabilité.

*1: Selon la combinaison Oculaire/Objectif. *2: Combinaison Oculaire 10× et Objectif10×. *3: Objectif 1× ou sans Objectif auxiliaire.

Rapport de zoom

Plage de zoom

Grossissement total*1Combinaison standard*2)

D.T.*3

Caméra

: Disponible / : Non disponible

Rapport de zoom

Plage de zoom

Grossissement total*1Combinaison standard*2)

D.T.*3

Caméra

Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.


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LV100NDLV100DA-UChaque modèle propose différentes méthodes d'observation avec un éclairage Réflexion/Transmission.

LV150NLV150NALV150NL*Sélection du support et des unités d'éclairage en fonction des méthodes d'observation et de l'utilisation.

L300NL300NDDisponible avec une platine d'une course de 350x300mm. Pour l'observation de wafer de Ø300mm

*L200ND uniquement

Les microscopes industriels de Nikon utilisent les systèmes optiques CFI60-2, très appréciés pour leur combinaison unique d'une grande ouverture numérique (NA) et d'une grande distance de travail (D.T.)

Ph-C

• Platine 3×2 (course 75×50mm)• Platine 6×6 (course 150×150mm)

POLDFBF DIC 2-BeamFLEPI

**

• Episcopique • Episcopique / Diascopique

Microscopes droits (modèles à grandes platines)

Microscopes droits (modèles généraux)

LV150N LV100ND

Méthode d'observation

Eclairage

Platine

Microscopes industriels

*Voir la brochure "LV-N Series" pour les autres plateaux compatibles.

• Platine 3×2 (course 75×50mm)• Platine 6×4 (course 150×100mm)*Voir la brochure "LV-N Series" pour les autres plateaux compatibles.

EPIDIA

BF DF DIC POL FL

*L300ND uniquement

• Platine 14×12 (course 350×300mm)

• L300N : Episcopique• L300ND : Episcopique / Diascopique

• Platine 8×8 (course 200×200mm)

• L200N : Episcopique• L200ND : Episcopique / Diascopique

EPIDIA

BF DF DIC FLS-POL BF DF DIC FLS-POLEPIDIA


2-Beam

BF: Fond clair DF: Fond noir DIC: Contraste par Interférence Différentielle FL: Fluorescence POL: Polarisation 2-beam: Interférométrie à 2 faisceaux Ph-C: Phase-Contraste *Seuls les BF, DIC, et S-POL sont disponibles pour le LV150NL

BF: Fond clair DF: Fond noir DIC: Contraste par Interférence Différentielle S-POL: Polarisation simple FL: Fluorescence


Eclairage

Platine

*

L300ND

L200NL200NDDisponible avec une platine d'une course de 200x200mm. Pour l'observation de wafer de Ø200mm

L200ND

: Disponible / : Non disponible: Disponible / : Non disponible

: Disponible / : Non disponible: Disponible / : Non disponible

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ECLIPSE SeriesLes microscopes industriels de Nikon utilisent les systèmes optiques CFI60-2, très appréciés pour leur combinaison unique d'une grande ouverture numérique (NA) et d'une grande distance de travail (D.T.)

Microscopes Inversés Métallurgiques

Avec son boitier robuste, le MA200 est plus stable, plus durable et a un plus faible encombrement au sol que les modèles conventionnels.

MA200

Les MA100 et MA100L sont des microscopes inversés compacts, conçus pour les observations à fond clair et à polarisation simple.

MA100MA100L

LV100NPOLCi POL

Les Multizoom AZ100 et AZ100M combinent les avantages des microscopes stéréoscopiques et métallographiques.

AZ100AZ100M

• LV100NPOL : Platine rotative de grande précision pour observation polarisantes• Ci POL : Platine rotative avec serrage du plateau

Microscopes polarisants de grande qualité, avec une superbe performance optique, s'adaptant à de nombreux types d'observations.

Microscopes polarisants Microscopes Zoom multi-tâches

• Episcopique/ Diascopique

AZ100LV100NPOL

MA100L

• Episcopique / Diascopique • Episcopique

• Episcopique/ Diascopique

EPIDIA

BF DF DIC FLS-POL

• Platine mécanique MA2-SR (course 50×50mm) • Platine rectangulaire MA-SR 3 plaques (course50×50mm)• Platine plan MA-SP • Platine mécanique amovible Ti-SM CH (course 126×80mm)

BF DF DIC FLS-POLEPIDIA

EPIDIA

BF POL

• Platine 6×6 (course 150×150mm) pour épiscopique• Platine 6×4 (course 150×100mm) pour diascopique




Eclairage

Platine

EPIBF DF DIC FLS-POL


Eclairage

Platine



: Disponible / : Non disponible : Disponible / : Non disponible

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Taux d'acquisition

Résolution 2560×1920

27ips (800×600 / )

DS-U3

Les icônes permettent de régler facilement les paramètres optimaux d'imagerie pour chaque type d'échantillon et de méthode d'observation.

De nombreux outils

Wafers/CI

Métal, Céramique/Plastique

Circuit imprimé

Ecran plat

Assemble des images acquises avec différents champs de vision, pour créer une seule image.

Assemblage d'images

Crée une image toutes-focales à partir d'images à différentes focales.

EDF (Profondeur de Champ Etendue)

System Type (Têtes de caméra)

System Type (Unités de commande)

*Pour les autres caméras, voir le catalogue "Digital Sight series" .

DS-L3Equipée avec un grand écran tactile et riche en fonctionnalités, la DS-L3 est facile à utiliser et permet d'acquérir rapidement des images sans passer par un PC ou un moniteur.

Mode scène Logiciel de traitement d'image"NIS-Elements"

1600×1200

21ips (1280×960 / )

Mesure (distance entre 2 points)

De nombreuses fonctions d'édition sont disponibles et peuvent être enregistrées sur les images. Il est facile d'extraire les données des mesures, si besoin.

Unité contrôlée par PC

Caméras numériques pour microscopes Digital Sight Series

Unité indépendante

Fonctions de mesure

DessinComparaison de la position et de la taille


DS-Vi1

Tête de caméra couleurs grande vitesse

DS-Fi2

Tête de caméra couleurs haute définition

Caméra microscope

DS-Ri2Modèle Stand-Alone

45ips (1636×1088)

4908×3264

Couleurs Hauterésolution

5.0megapixels

Couleurs2.0megapixels

Couleur Hauterésolution

16.25megapixels

Capable de restituer des images brutes, cette caméra numérique pour microscope propose une grande résolution, une bonne reproduction des couleurs et un excellent taux d'acquisition.

Le nouveau modèle indépendant Stand-Alone peut acquérir des images à haute définition sans unité de commande, tandis que le System Type permet d'assembler librement des têtes de caméras et des contrôleurs.

De l'affichage et de l'acquisition des images à l'analyse et au traitement avancés des images, la DS-U3 permet de commander toutes les fonctions à partir d'un PC et peut être utilisée pour de très nombreuses applications.

7

Support motorisé de mise au point + Ecran tactile

Kit portatif Support unique

Cet ensemble tout-en-un propose une tête de caméra zoom sur pile et un support compact à simple réflexion. Chacun d'entre eux peut être emmené n'importe où pour capturer des images à haute résolution.

Tous les utilisateurs pourront manipuler facilement cette tête de caméra à la fois légère et ergonomique.

Grâce au fonctionnement intuitif des icônes tactiles, ou grâce au stylet, il est maintenant possible de capturer des images avec précision et de faire des mesures simples.

La technologie de mesure par interférométrie optique de type scanning, brevetée par Nikon, permet d'atteindre une résolution en hauteur de 1pm. Les applications proposées par Nikon sont nombreuses : surfaces lustrées comme les wafers de silicone et surfaces en verre ou métalliques.

1pm

< 4458×4448µm** La plage peut être étendue en changeant la lentille relais ou par assemblage.

510×510

4 s (scan 10µm)

< 2015×2015µm*

2,046×2,046

38 s (scan 10µm)

1,022×1,022

16 s (scan 10µm)

Lent i l l e Ve r reSur face polie en céramique Sur face gravée en métal Pap ie r sa t iné

Modèle grande vitesse²BW-D500 Series

Modèle haute résolution en pixelsBW-S500 Series

Images EDF en un seul contact

Microscope Numérique ShuttlePix P-400RvCe microscope numérique, unique en son genre, peut être soit portatif pour s'adapter aux dimensions d'un échantillon ou peut se fixer sur une base pour prendre des images à fort grossissement et réaliser différentes mesures.

Profileurs de surface 3D sans contact, à très grande résolution verticale

BW-D500 Series/BW-S500 Series


Il est facile d'acquérir des images en sélectionnant les positions initiale et finale sur un échantillon.

Résolution en hauteur (algorithme) Répétabilité

RésolutionDurée de la mesure dehauteurChamp de Vision

σ: 8nm (8µm mesure de la hauteur d'échelon)

BW-S507

8

CFI60-2 / CFI60 / CF&ICLes systèmes optiques CFI60-2/CFI60/CF&IC de Nikon sont très appréciés pour leur concept unique, à savoir la combinaison d'une grande ouverture numérique (NA) et d'une grande distance de travail (D.T.) Ces objectifs ont évolué pour offrir ce qui se fait de mieux en termes de distance de travail, de correction des aberrations chromatiques et de masse optimisée.

Les objectifs atteignent une grande transmission supérieure ou égale à 90%, dans une plage visible de 1064 nm. Précision d'usinage nettement améliorée pour les petites tailles à faible puissance. Conviennent pour les semi-conducteurs et les LCD par réparation laser.

*A: Position prisme sur A / B: Pösition prisme sur B

Objectifs proches infrarouge NIR / NIR-C


*1: Nous contacter pour la transmission en dehors de la plage de vision et 1064nm. *2: La D.T. est mesurée à partir de la surface de l'objet avec une épaisseur de verre couvrante de 1.1mm.*3: A cause d'un changement de position parfocale, en cas d'utilisation avec un objectif à moindre couverture, la distance parfocale est corrigée par des bagues et des rondelles correctrices.


Objectifs

BF: Fond clair DF: fond noir POL: Polarisation S-POL: Polarisation simple DIC: Contraste à Interférence Différentielle UV-FL: UV Fluorescence FL: EPI Fluorescence

NIR, Plan proche infrarougeNIR-C,Plan proche infrarouge (plage de correction d'épaisseur du verre 0.3–1.1mm)

Modèle Grossissement NA D.T. (mm)

20× 0.40 25.0 50× 0.42 20.0 20× 0.40 24.0 50× 0.42 19.0

Longueur d'onde (n.m) Distance parfocale (mm)

1,064/5321,064/5321,064/5321,064/532

95959595

*3

*3

*2

*2

*1

*1

1× 0.03 3.8 2.5× 0.075 6.5 5× 0.15 23.5 10× 0.3 17.5 20× 0.45 4.5 50× 0.8 1.0 100× 0.9 1.0 50× 0.8 2.0 100× 0.9 2.0 150× 0.9 1.5 5× 0.15 23.5 10× 0.3 17.5 20× 0.45 4.5 50× 0.8 1.0 100× 0.9 1.0 20× 0.4 19.0 50× 0.6 11.0 100× 0.8 4.5 10× 0.2 37.0 20× 0.3 30.0 50× 0.4 22.0 100× 0.6 10.0 5× 0.15 18.0 10× 0.3 15.0 20× 0.45 4.5 50× 0.8 1.0 100× 0.9 1.0 50× 0.8 2.0 100× 0.9 2.0 150× 0.9 1.5 20× 0.4 19.0 50× 0.6 11.0 100× 0.8 4.5 40× 0.65 1.0 150× 0.95 0.3 100× 0.9 0.51 150× 0.9 0.42 20× 0.45 10.9–10.0 50× 0.7 3.9–3.0 100× 0.85 1.2–0.85 100× 0.85 1.3–0.95 2.5× 0.075 8.8 5× 0.13 22.5 10× 0.3 16.5 20× 0.46 3.1 50× 0.8 0.54 100× 0.95 0.3 50× 0.95 0.4 100× 0.95 0.3 150× 0.95 0.2 20× 0.4 11 50× 0.55 8.7 100× 0.8 2 10× 0.21 20.3 20× 0.35 20.5 50× 0.45 13.8 100× 0.73 4.7 2.5× 0.075 10.3 5× 0.13 9.3 10× 0.3 7.4 20× 0.4 4.7 50× 0.55 3.4 100× 0.7 2.0

T Plan EPI Plan (Semi-apochromatique)TU Plan Fluor EPIFluor Plan Universel (Semi-apochromatique)

TU Plan Apo EPI Apo Plan Universel (Apochromatque)

TU Plan Fluor EPI P Fluor Plan Universel Polarisant (Semi-apochromatique)

TU Plan EPI ELWD Plan Super grande distance de travail (Semi-apochromatique)

T Plan EPI SLWD Plan Super grande distance de travail(Semi-apochromatique)

TU Plan Fluor BD Fluor Plan Universel (Semi-apochromatique)

TU Plan Apo BDApo Plan Universel (Apochromatique)

TU Plan BD ELWD Plan Universel Grande distance de travail(Semi-apochromatique)

L Plan EPI CRPlan Inspection des substrats LCD (Achromatique)

CF IC EPI Plan TI DIC Plan CF IC EPI Plan DIDIC Plan

CF IC EPI PlanPlan (achromatique)

L Plan EPI (Achromatique)LU Plan Apo EPI / Apo Plan Universel (Apochromatique)LU Plan Apo BDApo Plan Universel (Apochromatique)

*Offres valables jusqu'à épuisement du stock

CF IC EPI Plan ApoPlan Apo (Apochromatique)

CF IC EPI Plan ELWDPlan Grande distance de travail (Achromatique)

CF IC EPI Plan SLWDPlan Super grande distance de travail (Achromatique)

GrossissementModèle NA D.T. (mm) BF DF POL S-POL DIC UV-FL FL

AAAAAAAAAAAAABBB

AAAAAAAABBB

AAA

9

Pour intégration dans les microscopes

Chargeurs de wafersLa technologie brevetée de Nikon permet d'assurer un chargement fiable des wafers ultra fins de 100μm. Les chargeurs NWL 200 series permettent des chargements fiables et conviennent à l'inspection des semi-conducteurs nouvelle-génération.

ø200mm / ø150mm / ø125mm300um

300–100µm

DiamètresWafers Epaisseur (standard) Epaisseur (en option)Inspection macro des surfaces et des faces arrière

LV-DAFUnité Auto-Focus dynamique

L'Auto-focus hybride offre une large plage de mise au point et une capacité de repérage rapide. Large palette de méthodes d'observation, comprenant : fond clair, fond noir et DIC. Il est possible d'observer des échantillons réfléchissants et transparents.

IM-4, LV-IM/LV-IMA, LV-FM/LV-FMAUnités de mise au point modulaires

Prêtes à être incorporées dans des systèmes, ces unités de mise au point permettent de monter un éclairage universel et un porte-objectif motorisé.

CM SeriesMicroscopes compacts réfléchis

Microscopes ultra-compacts réfléchis conçus pour être intégrés dans les lignes de production et l'observation sur des moniteurs.

Monture caméraGrossissement bague allonge

Objectifs compatiblesSystème optique d'éclairageSurfaces de montage

CM-5A

1×

3

CM-10A/CM-10L CM-20A/CM-20L

Gamme A : Objectifs CF IC EPI Plan / Gamme L : Objectifs CFI60-2/ CFI60 EPI Plan0.5×

CM-30A/CM-30L

1×

4Eclairage Koehler(éclairage télécentrique de grande qualité)

Monture C (Monture ENG possible en option)

Manuel30mm

Type Course verticale

IM-4 LV-IM/LV-IMA LV-FM/LV-FMA

Système de projection découpé/ Système de détection par contraste LED Proche infrarouge (λ=770nm)

Inf. à 0.7 sec (Objectif: 20×, Distance à partir de la position focale: 200μm) Fond clair, Fond noir, Polarisant DIC

Système de détectionSource de lumière AFTemps focalObservation

Manuel / Motorisé30/20mm

LV-FMA

LV-IMA

NWL200 Series


Manuel / Motorisé30/20mm

10

Champ de Vision L(mm)× P(mm)

Type ATête standard Type 1 Type 2 Type 3 Type 4 Type TZ

Corps principal (Type / Course du plateau)

VMR / VMZ-RVMR: VMR-1515/VMR-3020/VMR-6555/VMR-10080/VMR-12072VMZ-R: VMZ-R3020/VMZ-R4540/VMZ-R6555

VMR-HVMR-H3030

VMAVMA-4540 SeriesVMA-2520 Series

Type standard Type Grande précision Type Large Champ de Vision

Têtes de zoom

Type Course XY (mm)

Tête large Champ de VisionTête standardTête fort grossissementCourse Axe Z (mm)

Poids maximum des pièces (kg)

Erreur maxi autorisée (μm) EUX, MPE:Erreur maxi autorisée surZ (μm) EUZ, MPE:*1

Large Champ de Vision Standard300×200 450×400 650×550 1000×800 1200×720

Grande précision

300×300

73.5mm

9.8mm

50mm

Type 1–4

Equipé de couronnes lumineuses réglables en hauteur, en bas et obliques. Le Laser AF TTL (Through The Lens) est un outil standard capable de scanner des surfaces à 1000 points/seconde.

Type TZ

Equipé d'un super grand rapport de zoom 1-120x à 8 étages. Convient pour la mesure de petites cibles, jusqu'à quelques micromètres.

Type A

Travail aisé grâce au large champ de vision et à la grande distance de travail. Possibilité de fixer les accessoires Laser AF et palpeur à contact.* Le palpeur à contact est en option uniquement sur les VMA.

450×400

Modèles

iNEXIV VMA-4540 NEXIV VMR-H3030NEXIV VMZ-R4540NEXIV VMZ-R3020

13.310.0

9.337.01

7.85.8

4.73.5

2.61.9

2.331.75

1.331.00

1.1650.875

0.6220.467

0.5820.437

0.3110.233

0.2910.218

0.1550.117

0.1460.109

0.0700.068

0.0730.055

0.0390.029

30mm

Systèmes de mesure par vidéo à CNUne large palette de courses de platine et de grossissements est disponible, pour satisfaire les exigences des clients.

NEXIV Series


20015

2+8L/10003+L/50

15020

1.5+4L/10001.5+L/150

15030

0.6+2L/10000.9+L/150

15040

2.2+4L/10001.5+L/150

15040

2+4L/10001.5+L/150

20050

1.2+4L/10001.2+5L/1000

20040

1.2+4L/10001.2+5L/1000

20020

1.2+4L/10001.2+5L/1000

Tête fort grossissement

Tête large Champ de Vision

W.D.

150×150250×200

20020

2+6L/10003+L/100

L = Longueur en mm *1: avec Laser AF ou palpeur à contact

Modèles Modèle

11

VMZ-K6555

Contour Vue en 3DFond clair

Le NEXIV confocal comprend des optiques confocales pour réaliser des évaluations rapides et précises de géométries fines tri-dimensionnelles. Les optiques confocales sont conçues pour les hauteurs des grands champs de vision.

D.T.24mm

20mm

24mm

5mm

5mm

86

43

2.01.5

1.61.2

1.000.75

0.80.6

0.630.47

0.530.40

0.40.3

0.300.23

0.270.20

0.200.15

0.110.08

0.1000.074

0.050.04

1.260.95

Optiques fond clairOptiques confocales Les images à fond clair et 3D sont disponibles

300×4001.5× / 3× / 7.5×

15× / 30×15020

1.5+2.5L / 10001+L / 1000

Course XY (mm)

Grossissement (Type S)

Grossissement (Type H)

Course Axe Z (mm)

Poids maximum des pièces (kg)

Erreur maxi autoriséeU1X, U1Y (μm)

Erreur maxi autorisée sur Z (μm)

VMZ-K3040

650×5501.5× / 3× / 7.5×

15× / 30×15030

1.5+2.5L / 10001+L / 1000

Echantillon très contrasté et à plusieur niveaux (PCB) Echantillon fin et transparent (Film à surface métallique/ Résist. semi-conducteur

Difficile de détecter les films à couches minces

Corps principal (Type/Course plateau)

Têtes de zoom

L'observation sur fond clair est parfois difficile à cause des lignes floues le long de la structure de l'échantillon. Avec des optiques confocales, on peut facilement observer et mesurer ces lignes. Image SEM

Image confocale

Avec des optiques confocales, il est facile de détecter les surfaces supérieures du film transparent mince et de la surface métallique.

Image à fond clair

Les couches supérieures et inférieures sont détectéesavec précision

Détection du haut Détection du bas

NEXIV Confocal Mesure simultanée de la hauteur sur de grandes zones avec des optiques confocales et mesure en 2D avec un zoom fond clair 15×.

Champ de L(mm)×Vision P(mm)

Type S 1.5× 3× 7.5×Type H 15× 30×


Images à fond clair

Image confocale

FilmMetal Surface

12

*Uniquement pour les têtes vidéo simples

Type universel

MM-400MM-200

Cette gamme est compatible avec la mesure dimensionnelle et différentes méthodes d'observation.

Modèle compact Modèle de base

Type MM

L'objectif Split-Prism FA, développé récemment, produit des motifs très pointus permettant de faire des mises au point précises pour les mesures sur Z. Les motifs FA sont clairement visibles car ils sont découpés dans le sens vertical

Mise au point en avant Bonne mise au point Mise au point en arrière

Lentille

Aide à la mise au point (FA)

Le levier de sélection Rapide/Fin et les boutons RESET et ENVOI sont situés près des boutons des axes X et Y.

Nouvelle platine grande précision

Boutons axe X Boutons axe Y

On peut atteindre une grande précision de mesure avec la technologie optique de Nikon et les nouvelles platines récemment développées.

MM-800Modèle grande platine

110mm

*1×/3×/5×/10×

150mm 200mm

1×/3×/5×/10×/20×/50×/100×

Microscopes de mesureConçus pour être à la fois précis et facile d'utilisation, de nombreux produits sont disponibles dans la gamme MM.


Hauteur maxi de la pièce

Grossissement objet

Tête optique

X-Y-Z

Dispositif à transfert de charge CCD

Dimensions de platine/ Capacité de chargement

50×50mm / 5kg100×100mm / 15kg150×100mm / 15kg200×150mm / 20kg250×150mm / 20kg300×200mm / 20kg

MonoculaireBinoculaire2-axes3-axes


13

Systèmes de traitement des données pour les microscopes de mesure et les projecteurs de profil

*1: Champ de Vision réel = Diamètre effectif de l'écran / Grossissement lentille*2: La hauteur maxi de l'échantillon est de 70mm avec un plateau de 200×150mm.

V-20BV-12B

Logiciel de traitement des données

Apporte à l'utilisateur différentes mesures avancées et des fonctions de traitement. La détection automatique des bords avec un traitement inférieur au pixel permet de réaliser des mesures plus répétitives et plus précises.

Processeur de données Logiciel de métrologie

U-DP

Il est très facile de brancher le logiciel de dimensionnement géométrique à navigation sur l'Ethernet ou un réseau Wifi. La navigation interactive autorise un fonctionnement immédiat, tandis que la configuration de l'écran donne facilement la confirmation des résultats de mesure.

[Environnement de travail]OS: Windows®XP, Windows®7Mémoire nécessaire : 2GB (mini.)Navigateurs recommandés: Windows® Internet Explorer Ver6.0.2.9 ou plus récents

Connexion sur projecteur de profil, Il faut un compteur de retrofit et des unités DP.

Modèle écran largeModèle de bureau

V-24B

E-MAX

Utilisé avec un microscope de mesure/un projecteur de profil, il calcule et traite rapidement les données de mesure. Le fonctionnement orienté-entité du DP-E1 permet à l'utilisateur de réaliser ses mesures avec des dessins, en fournissant un environnement de mesure optimal.

DP-E1

Modèle écran large

Connexion sur projecteur de profil,Fonctions du traitement des données uniquement

250mm600mmInversée

5×/10×/20×/50×/100×60mm

(Externe)

100mm*2

305mmRedressée

5×/10×/20×/25×/50×/100×/200×30.5mm

150mm500mmInversée

5×/10×/20×/50×/100×50mm

Projecteurs de profilLes projecteurs de profil Nikon appliquent les principes optiques à l'inspection des pièces manufacturées en projetant des silhouettes agrandies sur un écran.


Dimensions de la platine/ Capacité de chargement

Hauteur maxi de la pièce Ecran Image Lentille de projectionRapporteur numériqueCompteur numérique

50×50mm / 5kg100×100mm / 15kg150×100mm / 15kg200×150mm / 20kg250×150mm / 20kg225×100mm / 30kg

GrossissementCdV (avec lentille10×)*1


14 Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.

Grâce à des systèmes de mesure de la longueur, numériques et photoélectriques, le DIGIMICRO permet de mesurer, sans défaut, les dimensions, l'épaisseur et la profondeur.

0–100mm3μm

Vers le bas de 1.225 à 1.813N (variable autour de 0.441N), latérale de 0.637 à1.225N

Unité principalePlage de mesurePrécision (à 20°C)Force de mesure

Température de fonctionnement

MF-10010–15mm

0.7μmVers le haut 0.245N, vers le bas 0.637N, latérale 0.441*Avec relâchement à la remontée

MF-501 MH-15M0–50mm

1μmVers le bas de 1.127 à1.617N (variable autour de 0.294N), latérale de 0.637 à 1.225N

de 0 à 40˚C

Méthode d'observationSystème d'affichagePlage de mesurePlage minimale

6B-LED: Fond clair, 6D-LED: Fond noirRéglage dans le champ de vision et lecture sur micromètre

30 minutes d'arc (sur l'axe vertical et sur l'axe horizontal en même temps)0.5 seconde d'arc

6B-LEDType à fond clair

Utilise les optiques de marque Nikon pour éclairer les détails de la surface.

30

200 10 20 30

1div=1min

0

10

0 10 20 30

30

20

1div=1min

0

10

30

200 10 20 30

1div=1min

0

10

0 10 20 30

30

20

1div=1min

0

10

Unité principale MF-1001 + Compteur MFC-101 + Support MS-21

DIGIMICRO

AutocollimateursLes autocollimateurs sont des appareils de métrologie faciles à utiliser et précis pour mesurer les angles, le parallélisme, la perpendicularité, la rectitude des composants précis, des glissières de machines, mais aussi pour d'autres applications.

Le meilleur choix pour mesurer les petits miroirs plans.

Unité principale MF-501 + Compteur MFC-101 + Support MS-11C

6D-LEDType à fond noir

Les deux côtés sont parfaitement parallèles, ce qui permet de l'utiliser comme surface non réfléchissante. Egalement utile pour mesurer des angles très petits, là où il faut un miroir plus petit.*Le boitier en bois est fourni.

30mm12mm

2 secondes d'arc

Diamètre extérieurEpaisseurParallélisme

Miroir plan C

Unité d'éclairage LED pour installation sur l'unité d'éclairage de l'autocollimateur 6B/6D.

Eclairage à LED AC-L1

2x piles AA , adaptateur CASource de courant

Optique plane / Optique parallèle / Echelle standard 300mm

15

On utilise une optique plane pour vérifier le niveau de planéité d'une surface avec finition miroir. On peut mesurer le niveau de planéité en observant les franges d'interférométrie, en plaçant l'optique plane en contact avec la pièce.

Optique plane

15mm0.1μm

DiamètreEpaisseurPlanéité

Verre (ø60mm)27mm0.1μm

Les deux plans de l'optique parallèle sont finis avec précision, au niveau de la planéité et du parallélisme. On utilse cette optique pour mesurer les niveaux de planéité et de parallélisme d'une pièce en observant les franges d'interférométrie, en plaçant l'optique parallèle en contact avec la pièce.

30mm12mm / 12.12mm / 12.25mm / 12.37mm

inférieure à 0.1μminférieur à 0.2μm

DiamètreEpaisseurPlanéitéParallélisme

ab

Optique parallèle

Echelle standard 300mm

Echelles de précision de déplacement des platines jusqu'à 300mm. Les motifs de capteur, avec intervalles de 10 mm, ainsi que les calibrations, sont fournis. Fabriquées en verre à faible dilatation thermique. *Moins de 1µm en comparaison avec les valeurs de compensation.


Verre (ø130mm)

*Des optiques planes et parallèles plus précises sont disponibles, selon la

commande du client.

Le fabricant se réserve le droit de modifier les caractéristiques de ses appareils, sans préavis et sans obligation de sa part. Juin 2014 ©2014 NIKON CORPORATIONN.B. L'exportation des produits* présentés dans ce catalogue est soumise à la législation japonaise sur les relations extérieures et à la législation sur le commerce extérieur. Une procédure d'exportation conforme sera exigée en cas d'importation en provenance du Japon.*Produits: Le matériel et ses informations techniques (logiciels compris).• Monitor images are simulated. Company names and product names in this brochure are their registered trademarks or trademarks.

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