IIndustry ndustry Briefrief

Analyst 이세철 (6309-4523)

seicheol.lee@meritz.co.kr

2013. 06. 11

반도체 Overweight

공정변화 4: CMP(Chemical Mechanical Polishing)

Top Picks

삼성전자(005930) Buy, TP 1,970,000원 SK하이닉스(000660) Buy, TP 36,000원 솔브레인(036830) Buy, TP 60,000원 관련주: 케이씨텍

▶ 결론 - CMP (Chemical Mechanical Polishing)는 배선 단차를 낮추고 평탄화하는 공정 - 3D NAND 등 3차원 반도체 구조변화로 CMP 중요성 확대 - CMP 공정에서는 Slurry가 중요. Ceria Slurry (CeO2)가 각광. Ceria Slurry는 히타치

케미칼이 대표적이나 국내는 케이씨텍과 솔브레인이 이를 대체 - 반도체 업종 Overweight 유지. 솔브레인, 케이씨텍 긍정적

▶ Investment Point : 3D NAND + CMP + Slurry

1. CMP (Chemical Mechanical Polishing)는 배선 단차를 낮추고 평탄화하는 공정 CMP 공정은 Platen위에 굴곡이 있는 Pad가 있고 그 위에 CVD 공정을 거친 Wafer를 Head라는 장치에 부착시켜 Wafer에 압력을 가하면서 회전시키는 방식. 여기에 Slurry 용액이 투하되면서 CVD 막질을 화학적 (Chemical), 기계적으로 (Mechanical) 연마하는 (Polishing) 공정임

2. 3D NAND 등 3차원 반도체 구조변화로 CMP 중요성 확대

QPT, 3D NAND, FinFET등 반도체 3차원구조로의 변화로 CMP공정 중요성이 확대되고

있음. CMP는 CVD공정 다음 스텝으로 CVD공정이 늘게되면 자연스럽게 CMP공정도

늘어나게 됨. CVD로 막질을 형성하게 되면 CMP로 평탄화 하거나 단차를 낮춰야

하기 때문. 3차원 구조는 CVD공정 스텝이 증가하기 때문에 CMP 스텝도 증가함.

또한 수십 Layer를 형성해야 하기 때문에 CMP로 단차를 낮추는 수요 증가 예상

3. CMP 공정에서는 Slurry가 중요. Ceria Slurry (CeO2)가 각광

CMP 공정에서는 Slurry가 매우 중요. Surry는 연마제가 포함된 현탁액으로 CMP 공정 중에 사용되는 화학물질. Oxide CMP Slurry를 예를 들면 수십, 수백나노의 Silica를 KOH용액에 분산시킨 용액으로 절연막인 SiO2와 화학반응을 통해 반도체 막질을 박리. 하지만 최근에는 STI 전용 CMP Slurry인 Ceria Slurry가 Oxide CMP Slurry를 대체하고 있음. Ceria Slurry는 CeO2를 계면활성제인 첨가제와 섞어 사용. Ceria Slurry는 Nitride와 Oxide간 선택비가 매우 높아 원하는 단차에서 CMP 공정을 멈출수 있는 장점을 갖고 있음 (End Point Detect). Ceria Slurry는 히타치 케미칼이 대표적이나 국내에서는 케이씨텍과 솔브레인이 이를 대체하고 있음

메리츠종금증권 리서치센터 2

[그림 1] CMP 공정 개념도

자료: 메리츠종금증권 리서치센터

[그림 2] CMP 공정 - 평탄화 + 단차 조절

자료: 메리츠종금증권 리서치센터

[그림 3] Oxide- ILD/IMD CMP

자료: Asahi Glass, 메리츠종금증권 리서치센터

메리츠종금증권 리서치센터 3

[그림 4] CMP Slurry 화학 작용

자료: 메리츠종금증권 리서치센터

[그림 5] Ceria CMP Slurry Process

Development of nano – ceria slurry for under 90nm memory device

1st & 2nd step (Fumed Silica Slurry)

- Polishing Amount : 300[nm]

3rd step (Ceria Slurry)

- Polishing Amount : 250[nm] High Selectivity

- No Dishing, No Erosion

자료: 한양대학교 국가지정 연구실, 메리츠종금증권 리서치센터

메리츠종금증권 리서치센터 4

Compliance Notice

동 자료는 작성일 현재 사전고지와 관련한 사항이 없습니다. 당사는 동 자료에 언급된 종목과 계열회사의

관계가 없으며 2013년 6월 11일 현재 동 자료에 언급된 종목의 유가증권(DR, CB, IPO, 시장조성 등) 발행

관련하여 지난 6개월 간 주간사로 참여하지 않았습니다. 당사는 2013년 6월 11일 현재 동 자료에 언급된

종목의 지분을 1%이상 보유하고 있지 않습니다. 당사의 조사분석 담당자는 2013년 6월 11일 현재 동

자료에 언급된 종목의 지분을 보유하고 있지 않습니다. 본 자료에 게재된 내용들은 본인의 의견을 정확하게

반영하고 있으며, 외부의 부당한 압력이나 간섭 없이 작성되었음을 확인합니다. (작성자: 이세철)

동 자료는 투자자들의 투자판단에 참고가 되는 정보제공을 목적으로 배포되는 자료입니다. 동 자료에

수록된 내용은 당사 리서치센터의 추정치로서 오차가 발생할 수 있으며 정확성이나 완벽성은 보장하지

않습니다. 동 자료를 이용하시는 분은 동 자료와 관련한 투자의 최종 결정은 자신의 판단으로 하시기

바랍니다.

투자등급 관련사항

1. 종목추천관련 투자등급(추천기준일 종가대비 4등급)

→아래 종목투자의견은 향후 6개월간 추천기준일 종가대비 추천종목의 예상 목표수익률을 의미함.

ㆍStrong Buy : 추천기준일 종가대비 +50%이상.

ㆍBuy : 추천기준일 종가대비 +15%이상 ~ +50%미만.

ㆍHold : 추천기준일 종가대비 +5%이상 ~ +15%미만.

ㆍReduce : 추천기준일 종가대비 +5%미만.

2. 산업추천관련 투자등급(추천기준일 시장지수대비 3등급)

→아래 산업투자의견은 시가총액기준 산업별 시장비중 대비 보유비중의 변화를 추천하는 것.

ㆍ비중확대(Overweight).

ㆍ중립(Neutral).

ㆍ비중축소(Underweight)

메리츠종금증권 리서치센터 5

삼성전자(005930)의 투자등급변경 내용 추천확정일자 자료의 형식 투자의견 목표주가 담당자 주가 및 목표주가 변동추이

2011.07.04 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.08.01 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.09.01 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.09.19 산업분석 Buy 1,250,000 이선태2011.09.27 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.10.04 산업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.10.10 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.10.17 산업분석 Buy 1,250,000 이선태2011.10.31 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태2011.11.07 기업브리프 Buy 1,250,000 이선태2012.03.05 산업분석 Buy 1,500,000 이세철2012.03.23 산업브리프 Buy 1,500,000 이세철2012.03.26 산업브리프 Buy 1,500,000 이세철2012.04.03 기업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.09 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.16 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.17 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.19 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.23 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.26 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.04.30 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.02 기업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.03 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.07 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.08 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.14 산업브리프 Buy 1,700,000 이세철2012.05.15 기업분석 Buy 2,000,000 이세철2012.05.16 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.05.21 기업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.05.23 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.05.29 산업분석 Buy 2,000,000 이세철2012.05.31 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.04 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.07 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.11 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.13 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.19 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.06.25 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.07.02 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.07.09 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.07.10 기업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.07.16 산업브리프 Buy 2,000,000 이세철2012.07.30 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.08.06 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.08.14 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.08.21 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.08.27 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.09.04 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.09.11 산업분석 Buy 1,800,000 이세철2012.09.18 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.09.25 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.09.27 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.02 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.04 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.16 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.17 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.29 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.30 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.10.31 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.14 산업분석 Buy 1,800,000 이세철2012.11.15 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.16 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.20 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.21 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.26 기업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.11.29 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.12.03 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.12.04 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.12.06 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.12.10 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2012.12.17 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2013.01.02 산업브리프 Buy 1,800,000 이세철2013.01.03 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.01.08 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.01.14 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.01.16 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.01.28 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.01.30 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.02.06 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.02.12 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.02.26 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.02.27 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.03.04 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.03.05 산업분석 Buy 1,970,000 이세철2013.03.11 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.03.18 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.03.25 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.03.27 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.04.01 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.04.08 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.04.15 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.04.29 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철2013.05.14 산업분석 Buy 1,970,000 이세철 2013.05.20 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.05.21 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.05.22 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.05.27 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.06.03 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.06.04 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.06.07 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.06.10 기업브리프 Buy 1,970,000 이세철 2013.06.11 산업브리프 Buy 1,970,000 이세철

0

500,000

1,000,000

1,500,000

2,000,000

2,500,000

2011.04 2011.08 2011.12 2012.04 2012.08 2012.12 2013.04

주가 목표주가(원)

메리츠종금증권 리서치센터 6

SK하이닉스(000660)의 투자등급변경 내용 추천확정일자 자료의 형식 투자의견 목표주가 담당자 주가 및 목표주가 변동추이

2011.06.01 산업브리프 Buy 40,000 이선태 2011.06.08 산업브리프 Buy 40,000 이선태 2011.07.04 산업브리프 Buy 40,000 이선태 2011.07.22 기업브리프 Buy 34,000 이선태 2011.07.23 산업브리프 Buy 34,000 이선태 2011.08.01 산업브리프 Buy 34,000 이선태 2011.09.01 산업브리프 Buy 34,000 이선태 2011.10.04 산업브리프 Buy 34,000 이선태 2011.11.01 산업브리프 Buy 34,000 이선태

담당 애널리스트 변경 2012.03.05 산업분석 Buy 37,000 이세철 2012.03.15 기업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.03.23 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.03.26 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.02 기업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.04 기업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.09 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.16 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.17 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.23 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.26 기업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.04.27 기업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.03 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.07 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.08 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.14 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.23 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.25 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.05.31 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.04 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.07 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.11 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.13 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.19 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.06.25 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.07.09 산업브리프 Buy 37,000 이세철 2012.07.26 기업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.09.11 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.09.18 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.09.25 산업분석 Buy 33,000 이세철 2012.10.04 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.10 기업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.16 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.17 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.25 기업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.29 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.30 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.10.31 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.11.14 산업분석 Buy 33,000 이세철 2012.11.15 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.11.16 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.11.20 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.11.21 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.11.29 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.12.03 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.12.04 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.12.06 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2012.12.17 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.02 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.07 기업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.14 기업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.16 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.30 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.01.31 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.02.06 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.02.12 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.02.26 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.02.27 산업브리프 Buy 33,000 이세철 2013.03.05 산업분석 Buy 33,000 이세철 2013.03.13 기업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.03.18 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.04.01 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.04.15 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.04.25 기업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.05.14 산업분석 Buy 36,000 이세철 2013.05.20 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.05.21 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.05.22 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.05.27 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.06.03 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.06.07 산업브리프 Buy 36,000 이세철 2013.06.11 산업브리프 Buy 36,000 이세철

0

10,000

20,000

30,000

40,000

50,000

2011.05 2011.09 2012.01 2012.05 2012.09 2013.01

주가 목표주가(원)

메리츠종금증권 리서치센터 7

솔브레인(036830)의 투자등급변경 내용 추천확정일자 자료의 형식 투자의견 목표주가 담당자 주가 및 목표주가 변동추이

2013.05.14 산업분석 Buy 60,000 이세철

2013.05.20 산업브리프 Buy 60,000 이세철

2013.05.21 산업브리프 Buy 60,000 이세철

2013.05.22 산업브리프 Buy 60,000 이세철

2013.05.27 산업브리프 Buy 60,000 이세철

2013.06.03 산업브리프 Buy 60,000 이세철

2013.06.04 산업브리프 Buy 60,000 이세철

2013.06.07 산업브리프 Buy 60,000 이세철

2013.06.11 산업브리프 Buy 60,000 이세철

0

10,000

20,000

30,000

40,000

50,000

60,000

70,000

2011.05 2011.09 2012.01 2012.05 2012.09 2013.01 2013.05

주가 목표주가(원)