McDRY（超低湿ドライボックス）は米国共同電子機器技術委員会（IPC/JEDEC J-STD-033A ）の基準に準拠しています。

（Joint Electron Devices Engineering Council）ICパッケージを超低湿ドライボックスで管理することにより、再パックやベーキングが省け、実装現場の品質向上とコストダウンがはかれます。

1%、3% RH全自動式超低湿ドライボックス（超低湿保管庫）

超低湿ドライボックスによるICパッケージ管理

製造販売

ISO-9000の必需品　ERC-5000版 特許登録済7件

マイクロクラック（ポップコーンクラック）

1

水蒸気 水蒸気圧力が高まる パッケージがふくれる パッケージクラックの発生

保管時に大気中の水分がパッケージ内に拡散

リフロー加熱時の水蒸気圧力でダイパットと樹脂の界面剥離

さらに熱することによって水蒸気が膨張しパッケージがふくれる。 （ポップコーン現象）

膨張した水蒸気によりパッケージが破壊され、水蒸気が外部に放出される。

通常保管 リフロー工程

防湿包装開封後のICパッケージ（MSD）の低湿保管（CSP、BGA、TQFP等のフロワーライフ時間をストップさせます）

1.防湿包装を開封したMSDの実装前と実装残の低湿保管

2.マウンターから取りはずしたMSDの低湿保管

3.ロム書き込み時のMSDの低湿保管、他

表面実装後のリワーク前の低湿保管と片面実装後の次工程までの低湿保管

BGA及び有機特殊基板等の製造工程間保管（有機薄板多層プリント配線板）

プリント配線板製造工程に使用するパターンフィルムやプリプレグの低湿保管

液晶ガラス基板の洗浄後の常温乾燥（水切りの均一性のため）ガラス表面に異物や薬品の再付着を防止し、クリーンに保管

水晶振動子の製造工程における水晶片、電極材接着剤等の低湿保管

光ファイバー（WDM用マイクロレンズ）やCCD（固体撮像素子）の脱湿と低湿保管

その他電子部品の酸化（腐食）防止、及び高分子材料の低湿保管

1

2

3

4

5

6

7

8

マックドライの超低湿保管でICパッケージのクラック防止

マックドライは扉を開閉しても防湿包装と同等の機能を発揮します。（新IPC/JEDEC J-STD-033A に準拠）

MSDのポップコーンクラックの防止（MOISTURE-SENSITIVE ICパッケージ）防湿包装を開封したICパッケージはフロワーライフ（大気中に暴露した時

の許容時間）内に実装をしないと、ICパッケージが大気中の水分を吸着し

吸湿許容値を超えてしまいます。許容値を超えて水分を吸着したICパッケ

ージを表面実装すると、リフロー時の熱によりダイパット部にたまった水

分が瞬時に膨張し、ほぼ100％に近い割合でポップコーンクラックが発生

します。これを防止するために、防湿包装から取り出したICパッケージを

速やかにマックドライの超低湿ドライボックスに収納し、フロワーライフ　

時間をストップさせてください。

マイクロクラック（ポップコーンクラック）

↓

McDRYの使用例（低湿度管理を必要とする製品）

2

強力な吸着剤によりドライボック

ス内を常温超低湿に保ちます。こ

のドライボックス内にICパッケー

ジ等の電子部品を保管することに

よりコンポーネントから水分を脱

湿します。

ドライユニット内の吸着剤は、自

動的に加熱再生を行ない最良の吸

着能力を保ちます。さらに強制対流方式により、ドライボックス上部

から流出した超低湿空気が庫内を循環し急速除湿をはかります。

ドライユニット

強制対流方式

ICパッケージの脱湿原理と急速除湿

新IPC/JEDEC の管理基準に基づくICパッケージの常温脱湿例

ICパッケージの吸湿・脱湿データ

新IPC/JEDEC J-STD-033A によると、防湿包装から取り出したレベル2～4のICパッケージは、湿度10％RH

以下のドライボックスで管理されるよう定められています。又、防湿包装から取り出したICパッケージを外気条

件30℃、60%RH以下の環境下に放置した場合、放置時間の5倍の時間、湿度10％RH以下のドライボックスに保

管すればフロワーライフはリセットされると規定されています。（ただし放置時間は12時間以内に限定されています）

前処理：＋125℃で24時間ベーキング処理

測定条件①加湿：周囲環境＋30℃、60％RH中に12時間放置（恒温恒湿室を使用）②脱湿：湿度3％RHのドライボックスに保管

A

B

0.08

0.10

0.06

0.04

0.02

10 20 30 40 50 60 70 80 90 1000

脱湿

12h×5倍=60h

加湿

12h

吸湿率（重量％） ②

②

経過時間（hr）

①

①

フロワーライフのリセット例

25

10

10

25

試　料

厚さ1.4mm

厚さ1.4mmQFP

BGAA

B

前処理：＋125℃で24時間ベーキング処理測定条件①加湿：周囲環境＋30℃、85％RH中に25時間放置（恒温恒湿室を使用）②脱湿：湿度5％RHのドライボックスに保管③ベーキング処理後5％RHのドライボックスに保管（新IPC/JEDEC J-STD-033A によるドライボックス5％RH保管例）

0.20

0.25

0.15

0.10

0.05

25250 50 75 100 125 150

0

脱湿 加湿 ベーキング

自然吸湿自然吸湿

吸湿率（重量％）

0.145％

経過時間（hr）

クラック発生領域

注意領域

安全領域

24h

① ②

③

25

25

試　料：PBGA

厚さ1.8mm

除湿剤

3

%RH

60

50

40

30

20

10

03 6 9 12 15 18 21 24湿度 経過時間（hr）

SPU-1001

%RH

60

50

40

30

20

10

0湿度

DXU-1001

MC-1001

3 6 9 12 15 18 21 24経過時間（hr）

20

10

0

経過時間（hr）

湿度 (%RH)

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90電源OFF

20

10

0

湿度 (%RH)

1 2 3 4 5 6 7 8経過時間（hr）

薄板多層プリント配線板の低湿保管例

DXU-1001（1%RH）扉開閉データ

薄板多層プリント配線板は板厚が薄くなればなる程吸湿

率が大きくなります。その含水量が0.2重量％以上にな

ると実装工程でのリフローソルダリングの熱で層間剥離、

ミーズリング等の異常が発生しますので超低湿ドライボ

ックスに保管して下さい。

プリント基板（ガラスエポキシ基材）

0.4

0.3

0.2

0.1

20 40 60 80 10000

吸湿率（重量％）

経過時間（hr）

層間剥離領域

安全領域

PBGAキャリア基板

0.4

0.5

0.6

0.3

0.2

0.1

25250 50 75 100 125 150

00

脱湿 加湿 ベーキング

自然 吸湿

吸湿率（重量％）

0.42％

経過時間（hr）

24h

層間剥離領域

安全領域

①

②

③

測定条件前処理：＋125℃で24時間ベーキング処理①周囲環境＋30℃、85％RH中に25時間放置（恒温恒湿室を使用）②上記①の処理後、湿度5％RHのドライボックスに保管③ベーキング処理後湿度5％RHのドライボックスに保管

試　料：薄板多層プリント配線板　6層寸　法：50×100×1t測定条件前処理：＋125℃で24時間ベーキング処理加　湿：2時間煮沸脱　湿：湿度5％RHのドライボックスに保管

マックドライの庫内湿度測定例（外気条件25℃、60%RH）

DXU-1001（1%RH）電源OFF後の庫内湿度変化（停電を想定した場合）

（外気条件25℃ 60％RH） 扉の開閉は中扉右側20秒間開（外気条件25℃ 60％RH）

SPU-1001（1%RH） DXU-1001（1%RH）MC-1001（3%RH）

4

ICパッケージの管理基準 新IPC/JEDEC J-STD-033A （米国共同電子機器技術委員会）

SPU-1001（1%RH）扉開閉データ　　　　　　　　　　　　　（参考例）

ドライボックスによる5％RH、10％RH管理新IPC/JEDEC J-STD-033A によると、防湿包装を開封したICパッケージが大気中の水分を吸着しないよ

う、湿度5％以下又は10%RH以下のドライボックス（低湿保管庫）で管理するよう定められています。

しかし、ICパッケージの実装現場では、デバイスの出し入れのため扉の開閉頻度も多くなり、その都度外気が侵入

し庫内の湿度が上昇してしまいます。これを防止し常時庫内を湿度5％以下又は10%RH以下に保つためには、よ

り低湿度のドライボックスが必要になります。

そのためマックドライは、作業現場の扉の開閉頻度に対応してグレード別に分類しています。

GⅠ 1%RH SPU型 約20分～30分に 1回程度

・扉を頻繁に開閉する実装現場のICパッケージの防湿保管

・低湿度が特に要求される工程間の防湿保管

GⅡ 1%RH DXU型 約30分～45分に 1回程度

・通常の実装現場のICパッケージの防湿保管

GⅢ 3%RH MCU型 MC型 約1時間～2時間に

1回程度

・扉の開閉頻度の少ない実装現場のICパッケージの防湿保管

・長期のICパッケージ及び電子部品の防湿保管 ・プリント基板の防湿保管、他

項目

グレード 最低湿度 機種名 用途例 扉の開閉頻度の目安

最も一般的に使用されているタイプ（GⅡ）

60

50

40

30

20

10

0

湿度 (%RH) 外気条件　25℃　60%RH

番号 ①…4扉 A B C D …2分間同時開 番号 ②⑤⑦⑨⑩⑪⑫…1扉 A …20秒間開 番号 ③⑧…1扉 A ……30秒間開 番号 ④……2扉 A B …30秒間同時開 番号 ⑥……2扉 A B …2分間同時開 番号 ⑬……2扉 A B …1分間同時開

1h

8:00 9:009:30 2:30 3:30 4:30

時間（hr）

扉の開閉箇所と開閉時間

昼 朝 10:00 11:00 1:00 2:00 3:00 4:00 5:00

1h 2h0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.51h

AB

DC

② ③

④

⑤

⑥

⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫

⑬

扉

①

5

マックドライの機能

MAロガー（モニタリング・アラームロガー）の機能（オプション）

ワンタッチで扉をロックできます（鍵付）

ボディーはワンランクアップの堅牢型

棚板（耐荷重100kg）

デジタル湿度計（静電容量式）ERC-301F

MAロガー

高抵抗付アース付（裏側）

キャスター （ウレタン車輪、ストッパー付）

オプション

ドライユニット

測定範囲：1～90%RH 精度：±3%RH

熱対流板方式による 急速除湿機能付き ドライユニット

校正証明書はご要望により 提出いたします。

データ出力

データ入力

異常湿度アラーム中点滅

データサンプリング中点滅

MAロガーによる湿度管理（12いずれか選択）

1MAロガー

仕様（Windows対応ソフトウェア付）1. サンプリングデータ：3000データ2. サンプリング間隔：30分、60分、120分、180分3. 測定項目：湿度％RH、温度℃4. 湿度異常時アラーム：ランプの点滅5. 電源：アルカリ電池　単3×4本、寿命約1年通信仕様1. RS-232C（MAロガーとパソコン間）2. 通信方式：半二重調歩同期3. 伝搬速度：9600bps

2MAロガー遠隔操作方式

（マックドライ本体に通信ケーブル端子取付）1. 伝送距離：15m以下

15m以上（特殊アダプター付）オプション2. リアルタイム出力：3000データ

ML-2001

湿度、温度データ表示例

SPU型　1％RH（超急速除湿型）扉の開閉頻度　20分～30分に1回程度

6

SPU―10011200r

（6ドアタイプ）

SPU―10021200r

（4ドアタイプ）

特　長①超強力急速除湿ドライユニット付②表示パネルの大きいデジタル湿度計付③1MΩのアース端子付④棚板荷重100kg⑤中央支柱がないのでワイドに使用できます。

受注オーダー品N2ガス用ソケットも取付できます。

132

1718

1850

1200 650 50

132

1718

1850

1200 650 50

形式項目 SPU-1001 SPU-1002

湿 度 調 節 器 ダイヤル自動調節式（相対湿度）

外形寸法（mm） W1200×D700×H1850

内形寸法（mm） W1150×D600×H1700

約1200

除 湿 装 置 US-6000×2

本 体 材 質 ボンデ鋼板メラミン焼付塗装（色：シルバーメタリック）

扉（マグネット式） ガラス扉6枚 ガラス扉4枚

製 品 重 量 200kg 190kg

電 　 　 源 AC100V(50/60Hz)

消 費 電 力 96W/H(MAX880W)

内 容 量 r

付 属 品 棚板5枚、鍵、湿度計、キャスター（ストパー付き）、アース端子

仕　様（注）製品改良に伴い仕様を一部変更することもあります。

・SPU型には加湿、加熱、冷却機構は組込まれていません。

GⅠ用途：特に扉の開閉頻度の多い実装現場用

7

仕　様（注）製品改良に伴い仕様を一部変更することもあります。

・DXU型には加湿、加熱、冷却機構は組込まれていません。

形式項目 DXU-501 DXU-1001 DXU-1002

湿 度 調 節 器 ダイヤル自動調節式

外形寸法（mm） W600×D700×H1850 W1200×D700×H1850

内形寸法（mm） W550×D600×H1700 W1150×D600×H1700

内 容 量 r 約600 約1200

除 湿 装 置 US-5000 US-5000×2

本 体 材 質 ボンデ鋼板メラミン焼付塗装（色：シルバーメタリック）

扉（マグネット式） ガラス扉3枚 ガラス扉6枚 ガラス扉4枚

製 品 重 量 110kg 200kg 180kg

電 　 　 源 AC100V(50/60Hz)

消 費 電 力 47W/h（MAX 370W） 94W/h（MAX 740W）

付 属 品 棚板5枚、鍵、湿度計、キャスター（ストッパー付）、アース端子

特　長①超強力急速除湿ドライユニット付②表示パネルの大きいデジタル湿度計付③1MΩのアース端子付④棚板荷重100kg⑤中央支柱がないのでワイドに使用できます。

受注オーダー品N2ガス用ソケットも取付できます。

DXU型　1％RH（急速除湿型）扉の開閉頻度　30分～45分に1回程度

DXU―10011200r

（6ドアタイプ）

DXU―501600r

（3ドアタイプ）

DXU―10021200r

（4ドアタイプ）

132

1718

1850

600 650 50

132

1718

1850

1200 650 50

132

1718

1850

1200 650 50

GⅡ用途：一般の実装現場用

仕　様（注）製品改良に伴い仕様を一部変更することもあります。

・オプション：専用キャスターも用意しています。・DXU型には加湿、加熱、冷却機構は組込まれていません。

8

特　長①急速除湿ドライユニット付②表示パネルの大きいデジタル湿度計付③1MΩのアース端子付④棚板荷重50kg

MCU-201 MCU-301 MCU-401

ダイヤル自動調節式

W500×D570×H630 W500×D630×H1200

W480×D500×H540 W480×D600×H1080 W480×D600×H1410

約135 約310

1 1

ボンデ鋼板メラミン焼付塗装（色：アイボリー）

ガラス扉1枚 ガラス扉2枚 ガラス扉3枚

30kg 60kg 70kg

AC100V(50/60Hz)

21W/h(MAX140W) 33W/h(MAX250W)

棚板4、鍵、湿度計、アース端子

MCU型　3％RH扉の開閉頻度　1時間～2時間に1回程度

MCU―301300r

MCU―401420r

MCU―340300r

MCU―580520r

MCU―201135r

62568

630

500 530500

50

821118

1200

500 630600

40

821448

1530

500 630600

40

980

880 500430

4030

980

880 800730

4030

GⅢ用途：扉の開閉頻度の少ない実装現場及び長期防湿保管用

防湿パック

約400

1

W500×D630×H1530

MCU-340

約300

W830×D430×H790

1

ガラス扉2枚

58kg

33W/h(MAX250W)

棚板3、鍵、湿度計、アース端子

W880×D500×H980

MCU-580

約520

W830×D730×H790

1

（色：シルバーメタリック）

ガラス扉2枚

80kg

47W/h(MAX370W)

W880×D800×H980

棚板8、鍵、湿度計、アース端子

形式項目

湿 度 調 節 器

外形寸法（mm）

内形寸法（mm）

内 容 量 r

除 湿 装 置

本 体 材 質

扉（マグネット式）

製 品 重 量

電 　 　 源

消 費 電 力

付 属 品

33W/h(MAX250W)

9

特　長①超強力急速除湿ドライユニット付

②表示パネルの大きいデジタル湿度計付

③1MΩのアース端子付

④棚板荷重100kg

⑤中央支柱がないのでワイドに使用できます。

受注オーダー品N2ガス用ソケットも取付できます。

形式項目 MC-1001 MC-1002

湿 度 調 節 器 ダイヤル自動調節式

外形寸法（mm） W1200×D700×H1850

内形寸法（mm） W1150×D600×H1700

内 容 量 r 約1200

除 湿 装 置 US-5000

本 体 材 質 ボンデ鋼板メラミン焼付塗装（色：シルバーメタリック）

扉（マグネット式） ガラス扉6枚 ガラス扉4枚

製 品 重 量 190kg 180kg

電 　 　 源 AC100V(50/60Hz)

消 費 電 力 47W/h(MAX370W)

付 属 品 棚板5枚、鍵、湿度計、キャスター（ストパー付き）、アース端子

仕　様（注）製品改良に伴い仕様を一部変更することもあります。

・MC型には加湿、加熱、冷却機構は組込まれていません。

MC型　3％RH（ドライユニット1個付き）扉の開閉頻度　1時間～2時間に1回程度

MC―10011200r

（6ドアタイプ）

132

1718

1850

1200 650 50

132

1718

1850

1200 650 50

GⅢ用途：扉の開閉頻度の少ない実装現場及び長期防湿保管用

MC―10021200r

（4ドアタイプ）

10

ドライキャビ 中低湿タイプ

特　長■庫内をフルに活用できます。小型高性能ドライ・ユニットはボディ底部へ搭載、庫内には突起物がありません。

■ドライユニット内の特殊乾燥剤は通常使用では半永久的。

■中央支柱がないので、横長のものの出し入れもらくらく。（280/550）

■使い易い全面ワイドドアー。マグネットゴム式ドアー、ロック付。

■湿度調節器で適湿を保持します。

■無音・無振動です。

■デュアル湿度計付で庫内も庫外も一目で湿度チェックが可能。

■運転ランプもついて、運転中が一目でわかります。

■棚板は荷重約50kg／枚までOK。上下可変、取り外しも可。

●キャスター取付可（4ヶ1セット、前輪ストッパー付き）

TDC―140EATDC―141―PA126r

TDC―170EATDC―171―PA198r

TDC―280EATDC―281―PA

291r

TDC―550EATDC―551―PA

485r

中湿度用 30％RH 　 低湿度用 15 ％RHEA 型

形式項目

TDC-140EATDC-141-PA

TDC-170EATDC-171-PA

TDC-280EATDC-281-PA

TDC-550EATDC-551-PA

除湿・湿度調節器 ダイヤル自動調節式（相対湿度）

外形寸法（mm） W438×D495×H978 W600×D495×H978 W880×D495×H978 W880×D725×H978

内形寸法（mm） W436×D390×H850 W598×D390×H850 W878×D390×H850 W878×D650×H850

内 容 量 r 約126 約198 約291 約485

本 体 材 質 高級ボンデ鋼板、メラミン焼付塗装、シルバーメタリック

扉（マグネット式） 高級ボンデ鋼板、ガラス（スチール）、マグネットゴム付、取手、湿度計付き

製品重量（kg） 24/24.5 30/31 45/57 65/72

電 　 　 源 AC100V(50/60Hz)

消 費 電 力 4W/h(MAX120W)/8W/h(MAX240W) 8W/h(MAX240W)/12W/h(MAX360W) 8W/h(MAX240W)/16W/h(MAX480W) 16W/h(MAX480W)/24W/h(MAX720W)

付 属 品 棚板3枚、底板1セット、キー2、デュアル湿度計1

仕　様（注）製品改良に伴い仕様を一部変更することもあります。

（注）・ドライ・キャビには庫内の加湿（湿度を上げる）、加熱（温度を上げる）、冷却（温度を下げる）等の機能はありません。

PA 型

お問い合わせは下記へ…

〒228-0803 神奈川県相模原市相模大野3-16-11大矢ビル402

0042（749）9751FAX.042（744）2521

DXU-1002-L 2%RH（ロングタイプ）

DXU―1002-L奥行　900mm(4ドアタイプ）

132

1718

1850

1200 950 50

GⅡ

テープリールをテープフィーダーごと保管庫に収納できます。

テープフィーダー

特注品

形式項目 DXU-1002-L

湿 度 調 節 器 ダイヤル自動調節式

外形寸法（mm） W1200×D1000×H1850

内形寸法（mm） W1150×D900×H1700

内 容 量 R 1600

除 湿 装 置 US-5000×2

本 体 材 質 ボンデ鋼板メラミン焼付塗装（色：シルバーメタリック）

扉（マグネット式） ガラス扉4枚

製 品 重 量 250kg

電 　 　 源 AC100V(50/60Hz)

消 費 電 力 94W/h(MAX740W)

付 属 品 棚板5枚、鍵、湿度計、キャスター（ストパー付き）、アース端子