mems, szenzorok - elteszft.elte.hu/~danka/iefa/2016/mems_szenzorok-totht.pdfszenzorok •olyan...
TRANSCRIPT
![Page 1: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/1.jpg)
MEMS, szenzorok
Tóth Tünde
Anyagtudomány MSc
2016. 05. 04.
1
![Page 2: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/2.jpg)
Előadás vázlat
• MEMS
• Története
• Előállítása
• Szenzorok
• Nyomásmérők
• Gyorsulásmérők
• Szögsebességmérők
• Áramlásmérők
• Hőmérsékletmérők
2
![Page 3: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/3.jpg)
Mi is az a MEMS?
• MEMS = mikro-elektromechanikai rendszerek
• Olyan apró eszközök, melyek mechanikai és elektronikai
alkatrészeket is tartalmaznak.
• Karakterisztikus méretük jellemzően 20-1000 mikrométer
• Az alkatrészek mérete 1-100 mikrométer
3
![Page 4: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/4.jpg)
4
![Page 5: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/5.jpg)
Története
5
![Page 6: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/6.jpg)
Előállítás
• Alapanyagok:
• Szilícium
• Legelterjedtebb
• Jól megmunkálható, stabil
• Polimerek
• Olcsó, könnyen előállítható és megmunkálható
• Szubsztrát és fotoreziszt is lehet
• Fémek ( Au, Ni, Cu, Al, Ti, Ag, Pt)
• Si tulajdonságai jobbak
• Megfelelő korlátok között megbízható Mems eszközök készíthetőek
• Kerámiák (Si, Al, Ti nitridjei)
6
![Page 7: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/7.jpg)
Előállítás
• Főbb lépései
• Rétegleválasztás
• Mintázat kialakítása
• Maratás
• Rétegleválasztási technikák
• Fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD)
• Hordozó és felvitt anyag közt nincs kémiai reakció
• A kialakult réteget csak kohéziós erők kötik a hordozóhoz
• Kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD)
• A réteg kémiai kötéssel kapcsolódik a hordozóhoz
• Leggyakrabban: LPCVD
7
![Page 8: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/8.jpg)
PVD
8
![Page 9: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/9.jpg)
CVD
9
![Page 10: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/10.jpg)
Mintázat kialakítása
• Litográfiai eljárások
• Litográfia = lenyomat
• Mikrotechnikában:
• Áramkörök, mikromechanikai struktrúrák rajza
• Fotoreziszt = fizikai tulajdonságai megváltoznak, ha megfelelő
besugárzást kap
• Maszk = az átvivendő struktúrát tartalmazza
• Optikai, röntgen-, és elektronsugaras
10
![Page 11: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/11.jpg)
Fotolitográfia
11
![Page 12: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/12.jpg)
Maratási eljárások
• Nedves maratás
• Marószer oldatába merítve történik a folyamat
• Anizotróp marás
• Marási sebesség erősen függ a kristálytani irányoktól
• Izotróp marás
• Marási sebesség független a kristálytani irányoktól
• Szelektivitás fogalma
12
![Page 13: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/13.jpg)
Anizotróp marás
13
Egykristály szilícium
![Page 14: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/14.jpg)
Izotróp marás
14
![Page 15: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/15.jpg)
Maratási eljárások
• Száraz maratás
• A folyamat gáz vagy gőzfázisban történik
• Fizikai és kémiai folyamatok is
• Az egyik legelterjedtebb módszer: DRIE
15
![Page 16: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/16.jpg)
Deep Reactive Ion Etching
• Erősen anizotróp
• Felváltva: izotróp maratás és passziválás
16
![Page 17: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/17.jpg)
Mikrotechnikai kötések
• Mikrotechnikai kötések biztosítása
• Típusai
• Forrasztott: a kötés fémes adalékanyag segítségével jön létre
• Ultrahangos:
17
![Page 18: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/18.jpg)
Mikrotechnikai kötések II
• Típusai:
• Termokompressziós: Au és Si
18
![Page 19: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/19.jpg)
Mikrotechnikai kötések III
• Típusai
• Termoszonikus kötés:
• Termokompressziós és ultrahangos technika ötvözése
• Módszerek előnyeinek kombinálása
• Alacsonyabb hőmérséklet, kötés időtartama rövidebb, felületi
szennyeződések, oxidrétegek eltávolítása
• Anódos kötés:
• Sík szilícium-, és üvegfelületek kötésére
19
![Page 20: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/20.jpg)
Szenzorok
• Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet (fizikai vagy
kémiai) elektromos jellé alakítanak át.
• Jellemzőik:
• Szelektivitás
• Reprodukálhatóság
• Gyors működés
• Folyamatos működés
20
![Page 21: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/21.jpg)
Nyomásmérők
• Iparban és egészségügyben is számos területen használják
21
![Page 22: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/22.jpg)
Orvosi nyomásmérő
• Kardiovaszkuláris katéter: a szív koszorúereiben fellépő nyomás mérésére
• Mikromechanikai membrán, alsó részén referencianyomás, felső részén vérnyomás
22
![Page 23: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/23.jpg)
Orvosi nyomásmérő II
• A membránt kondenzátorként alakítják ki
•∆𝐶
𝐶= −
𝑤(𝑥)
𝑥𝑝
23
![Page 24: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/24.jpg)
Légnyomás mérése
• A=1x1 mm, d= 10μm Si membrán
• Atmoszférikus nyomás deformálja a membránt
• Membrán anyagából kialakított piezorezisztorok
24
![Page 25: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/25.jpg)
Gyorsulásmérők • Járműiparban széleskörű felhasználás:
• Benzinmotorok kopogásszabályzása
• Járműgyorsulások meghatározása a blokkolásgátló (ABS) vagy a
stabilitási (ESP) rendszerek számára
• Légzsák és övfeszítő biztonsági rendszerek működtetésére
ütközéskor
• Karosszériagyorsulások kiértékelésére a felfüggesztési rendszerek
szabályozásához
25
![Page 26: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/26.jpg)
Gyorsulásmérők
• Az erőmérést útmérésre vagy mechanikai feszültség mérésére vezetik vissza
• Állandó gyorsulás: 𝐹 = 𝑚 ∗ 𝑎 = 𝑐 ∗ 𝑥
• Változó gyorsulás: 𝐹 = 𝑚 ∗ 𝑎 = 𝑐 ∗ 𝑥 + 𝑏 ∗ 𝑥 + 𝑚 ∗ 𝑥
26
![Page 27: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/27.jpg)
Kapacitív gyorsulásmérők
• Fontos alkalmazás: légzsákok vezérlésére szolgáló szenzorok
27
![Page 28: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/28.jpg)
Kapacitív gyorsulásmérők
• Légzsák vezérléséhez kifejlesztett gyorsulásmérő szenzor
28
![Page 29: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/29.jpg)
Piezoelektromos gyorsulásmérők
• Működésük a töltésszétválasztás elvén alapul
29
![Page 30: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/30.jpg)
Piezorezisztív gyorsulásmérők
• Gyorsulásmérés nyúlásmérő bélyegek alkalmazásával
30
![Page 31: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/31.jpg)
Termodinamikai elven működő gyorsulásmérők • Felmelegített gázbuborék helytől függő hőmérséklet eloszlása
31
![Page 32: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/32.jpg)
Szögsebesség érzékelők
• Járművekben az 1990-es évektől kezdve
• Érzékelik a jármű kanyarodását, kisodródását is
• Műhorizont, ESP, rakétatechnika 32
![Page 33: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/33.jpg)
Klasszikus giroszkópok
• Gyorsuló koordináta-rendszerben:
𝑚𝒂 = 𝑭 −𝑚𝒂0 −m𝝎× 𝝎 × 𝒓 − 2𝑚 𝝎 × 𝒓 −𝑚 𝜷 × 𝒓
Működés alapja: Coriolis-erő= −2𝑚 𝝎 × 𝒓
33
![Page 34: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/34.jpg)
MEMS giroszkópok
• Próbatest rezonanciában rezeg
• Forgómozgás esetén Coriolis-erő
• Mérése rugók segítségével
• Elmozdulások mérése kapacitív elven
34
![Page 35: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/35.jpg)
MEMS giroszkópok
• Kis kapacitásváltozások, így két ellenfázisban működő mikromechanikai rendszert építenek egymás mellé
35
![Page 36: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/36.jpg)
MEMS giroszkópok
36
![Page 37: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/37.jpg)
Áramlásmérők
• Belsőégésű motoroknál nagyon fontos a helyes levegő-tüzelőanyag arány betartása
• Hőfilmes áramlásmérők
• Gyors
• Levegő abszolút hőmérséklete
befolyásolja
• Mérőcellát védeni kell a
szennyeződésektől 37
![Page 38: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/38.jpg)
Hőmérők
• Ellenállás változáson alapuló szenzorok
• Kerámia hordozóra felvitt strukturált vékonyréteg
ellenállás (Ni, Pt)
38
![Page 39: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/39.jpg)
Szenzortechnika jelentősége a gépjárműiparban
39
![Page 40: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/40.jpg)
40
![Page 41: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/41.jpg)
Források
• en.wikipedia.org/wiki/Microelectromechanical_systems
• www.memsindustrygroup.org
• http://www.mogi.bme.hu/TAMOP/mikromechanika
• https://www.mems-exchange.org/MEMS
41
![Page 42: MEMS, szenzorok - ELTEszft.elte.hu/~danka/IEFA/2016/MEMS_szenzorok-TothT.pdfSzenzorok •Olyan eszközök, melyek egy nem elektromos jelet fizikai vagy kémiai elektromos jellé alakítanak](https://reader035.vdocuments.net/reader035/viewer/2022071500/611fa5155b7e7359f04f37df/html5/thumbnails/42.jpg)
Köszönöm a figyelmet!
42