漏れ検査システム

You can trust to, for high reliability.

商品に関するお問い合せ先 保守・点検・サービスに 関するお問い合せ先

FA営業部　TEL 053-467-3601

ユーザーサービスセンター　TEL 053-467-3606

交通アクセス‥‥新幹線浜松駅よりタクシーにて10分、「ヤマハ天竜工場内」とご指定ください。

N

S

遠州鉄道

柳通り

ヤマハ本社 ヤマハ 中沢工場

六間通り

浜松IC東名高速道路

R1

R1

浜松アリーナ

産業展示館

陸橋

至名古屋

至大阪 至東京

至静岡

JR新幹線

ファミリー マート

長鶴交差点

JR東海道線

天竜川

天竜川駅

ヤマハ天竜工場

浜松駅

マルス家具

JR新幹線

正門

至浜松IC

ヤマハファインテック（株） FA事業部

ヤマハ天竜工場

R1

ヤマザキ デイリー

タタミ店

マクド ナルド

JR東海道線 天竜川駅

長鶴

R152

陸橋

FA事業部 〒435-8568 浜松市南区青屋町283

TEL053（467）3601 FAX 053（467）3613 URL : http://www.yamaha.co.jp/finetech/

お断わりなしに仕様を変更することがございますので予め御了承ください。（2011年7月作成）

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ヤマハヘリウム式リークテスターは、ワークを検査用真空チャンバーにセット後、

ワーク内に所定圧力までヘリウムガスを噴射加圧し、

真空チャンバー内に漏れたヘリウムガスをリークディテクターによって測定し、

設定された漏れ量に対しての合否を判定するシステムです。

この他にスニッファー法などによるシステムでも検査が可能です。

ヘリウム式リークテスターの特長

1 微少な漏れを正確に検出ヤマハ独自の優れたシステム構成により、水没法やエア差圧法に比べ100～1000倍の精度で微少な漏れを判定し、信頼性の高い検査を行います。

2 ライン直結方式、短い検査タクトヤマハの高度FA技術により、ライン直結やロボットによる搬送などで、省力化や無人化を可能にします。

3 ミスを排除するフェールセーフシステム良品・不良品の自動振り分け、マーキング、処理確認、インターロックなど作業者の負担を軽減し、ミスを防止する安全設計です。

4 取扱い、メンテナンスは極めて簡単高度なシステムが装置を完全に制御し、取扱いやメンテナンスが簡単です。万一の誤操作やトラブルにも、自己判断機能付操作盤と日本語メッセージが敏速・的確な復旧措置をお知らせします。

トレースガス法

ワーク

長所・装置が簡便、操作も簡便　　・ランニングコストが安い・漏れを直接確認できる

短所・熟練を要する（見落としの可能性あり）・被検査物水没の後処理、要　　・水の透明度等の管理、要・リークレートの定量的管理ができない・作業環境が悪い　　・自動化困難　　　・人為差がある

検知可能リークレート・事実上10-4［Pa・m3/sec］・低リークレートほど時間が掛かる

検査ワーク

バルブ バルブ

エア源

マスターワーク

ワーク

ヘリウムガス ディテクター

真空ポンプ

ヘリウム式リークテスター

水没式漏れ検査 差圧式漏れ検査

■真空チャンバー法 ■スニッファー法

長所・比較的装置が簡便・被検査物全体の漏れ計測が可能

短所・ワーク温度の影響が大きい　・感度が低い・環境温度の影響が大きい　　・漏れ箇所判定は出来ない

検知可能リークレート・事実上10-4［Pa・m3/sec］・低リークレートほど時間が掛かる

長所・漏れ箇所が直接解る・装置スペースが簡略・設備コストが安価

短所・漏れ箇所にプローブが直接当たらないと計測出来ない・プローブ操作に熟練が必要・ワーク全体の漏れ量が計測出来ない

検知可能リークレート・事実上10-6［Pa・m3/sec］（ピンポイント）

長所　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・全体の漏れ判定が確実に出来る・漏れ計測が速い　　　　　　　・人為誤差がない・自動化が容易に出来る　　　　・ヘリウム汚染対策不要

短所・装置が大掛かりになる［別途・簡易型をご提案致します（検知能力条件付）］

・個々の漏れ位置の判定は出来ない

検知可能リークレート・事実上10-8［Pa・m3/sec］以上

注）検知可能リークレートとは、一般的な漏れ検知リークレートである。

ヘリウムガス ディテクター

センサー

ワーク

4

ヘリウムがトレースガスとして使われる理由

ワーク

チャンバー 真空ポンプ

ヘリウム供給 回収装置

ヘリウム回収 真空ポンプ

ヘリウム供給

ヘリウム回収

ワーク 真空ポンプ

チャンバー

センシングバルブ

ピラニー 真空計

粗引きバルブ

フォア バルブ

テスト バルブ

ディテクター入口ポート

ダイレクトフロー

分析管

ターボ分子ポンプ （拡散ポンプ）

カウンターフロー

メインフロー

ヘリウムリークディテクター フォア真空ポンプ （粗引き兼用）

例：真空チャンバー法

3

ヘリウム式リークテスター（チャンバー式）システム図

特長

1.総合的評価

ヤマハ独自のヘリウム式リークディテクターを開発し、検査ワークハンドリングの機械及び制御設計から組立調整まで全て社内で設計製作、トータルでお客様にシステムを提供できます。各機器はリークテスターにベストな機器を選定し、設備本体の信頼性が高く、各種テスト装置を有し、信頼性の高い漏れ検査基準の設定が可能です。ユーザーのリピートが多く、アルミホイール及びエアコン関連のリークテスターでは国内シェアNo.1です。国内だけでなく、韓国、中国、東南アジア、アメリカ、ヨーロッパ、南米のお客様にもご使用頂いております。

2.各技術要素の優位点

（1）ヘリウムの漏れ検査を低真空のチャンバー圧力（100～500Pa ）の下でも実施する事ができます。

①チャンバーの真空引き時間が環境によって（湿度、水分など）左右されにくく安定する。

②真空度を保つためのチャンバーの保守が容易。③ヘリウム汚染に対しての回復が早い。④粗引き、本引きが不要のため真空引き時間が短く、フレキシビリティのある省スペースのシステム構成が可能。

⑤耐久性の良い真空ポンプを採用できる。⑥真空ポンプのイニシャルコストが低減できる。⑦システムの設置場所について、スペース、床耐荷重の制約が少なくなる。

低真空でリークテストできるメリット

①ヤマハ独自の方式によりチャンバー内の空気中残存ヘリウムを低減化させる技術を保有。

②低真空でもリークテストを可能にするヘリウムディテクターの採用。

低真空でリークテストできる理由

（2）主要機器にリークテスターにベストな機器を選定

①真空引きと復圧の繰り返しに強い。②空冷タイプ。③オイル排気にミストセパレーター不要。

チャンバー真空ポンプ

① 180°磁場偏向型分析管及び特殊センサーにより高分解能実現。

②高効率フィラメントの採用。③入り口部真空破壊に強い構造。

高性能リークディテクター

（3）漏れ基準器（マスターキャピラリー）の信頼性が高い。

①公的に認定された計測器を使用し、第三者機関によって検定された漏れ基準器を使用。②オールステンレス製でガラス・樹脂を使用しないため、割れ・クラック等の破損がなく耐久性・信頼性に優れる。③ヘリウム漏れ量の変化が極めて少ない。④ISO取得に必要なトレーサビリティが可能。

（4）取り扱いが極めて簡単。

①高度なシステムが精密な装置を完全に保護し、取り扱いやメンテナンスが簡単。②万一の操作ミスやトラブルにも、自己診断機能付き操作盤が敏速・的確な復旧措置を表示する。③装置の原点復帰もスイッチ１つで実現できるので、メンテナンス後の立ち上げ等も非常に簡単に操作できる。

ヤマハリークテスターはトレースガス法を採用しており、トレースガスとして主にヘリウムを使っています。ヘリウムがトレースガスとして使われる理由は次のように多くの利点があるからです。

［He］［原子番号2］［原子量4.003］希ガス元素　大気中に5.2×10－6（体積比）含まれる。太陽大気のスペクトル線中から発見されたのでギリシャ語の太陽（helios）にちなんで命名された。北アメリカの天然ガス中には比較的多く含まれ、ときには7～8％を越えることがある。冷却と加圧によって共存する他の気体を液化して除き、粗ヘリウムとし、これを液体窒素で冷却した活性炭を通すと、純度99.995％となる。無色無臭の気体。融点－272.2℃（26atm）、沸点－268.9℃、臨界温度－268℃、臨界圧2.25atm、密度0.179g／dm3

（0℃,1atm）、液体の密度0.125g／cm3（－269℃）。水素についで軽く、理想気体に極めて近い。化学的に安定で他の元素と化合物をつくらない。極低温物性研究に不可欠であるほか、溶接雰囲気、ロケット液体推進薬の加圧、呼吸用混合ガス、ガスクロマトグラフィーのキャリヤーガス等として用いられる。

理化学辞典（岩波書店）抜粋

人体や地球環境に対して無毒無害で悪影響を及ぼさず安全である。

1不燃性のため安全である。

2分子直径が小さく、質量も小さいので、微細な孔でも容易に漏れ出易い。

3

通常の大気中や金属には微量にしか存在しないため、漏れ出たヘリウムと区別が付き易い。

4通常の環境では、液化しにくいため、漏れ孔を塞ぐ事がない。

5化学的に不活性ガスなので金属を錆びさせる事がない。

6

ヘリウムとは

5 6

漏れ対象市場について

農業機械 単車部品 建設機械 プラント用機器 防災機器 油空圧部品 水道用機器 建築用機器 石油機器 ガス機器 家庭用電気機器 産業用電気機器

燃料タンク ミッション エンジン

燃料タンク ミッション キャブレター エンジン

エンジン部品 油圧配管 回転子

パイプ 弁 継手

スプリンクラー 火災報知器

油圧用 空圧用電磁弁 エアーシリンダー カプラ チェック弁

水栓金具 水道用弁

ユニットバス 壁材 衛生陶器 流し台 ドアチェック 床材

石油ストーブ カートリッジ オイルポンプ

ガスメーター 遮断弁 ガス湯沸し機 ガス調理器具 ガスホース ガスコック

各種電池 防水シェイバー 防水型掃除機 防水ラジオ 洗濯機部品 アイロン

ハーメチックモータ 減速機 リレースイッチ

通信用機器 事務用機器 コンピュータ ヘルスケア 電子部品 メディカル機器 精密機械 医薬品 ゴム製品 トイレタリー 化粧品容器 食品パック包装

通信衛星用送受信機 防水型通信機 通信コネクター

エアー差圧式

水　 没　 式

缶　業　界

スプレー缶

医 療 機 器

薬品庫 カテーテル ペースメーカー 人工透析機

飲　　　食 ショーケース用熱交 冷凍機　自販機

アルミホイール 鉄ホイール ラジエター オイルタンク オイルポンプ インレットマニホールド トルコン

＊ ＊ ＊ ＊

ミッションケース周辺部品 ブレーキチューブ ボディシリンダーケース ブレーキシリンダー オイルパン マフラー エキゾーストマニホールド

＊ ＊ ＊

インレットチューブ インレットロア 燃料タンク バッテリーケース パアーステアリング ショックアブソーバ Liイオン電池・燃料電池

フューエルストレーナー ＊ ＊

＊ ＊ ＊

エンジンASSY デフケース 車体系パイプコネクター 駆動系パイプコネクター エンジン系パイプコネクター 船舶用チルト部品

カーエアコンパイプ カーエアコン熱交 カーコンプレッサー コンデンサー エバボレーター リキットタンク エアタンク

＊ ＊

EGRクーラーパイプ コモンレール デリバリーパイプ インジクター エアバック

家　　　電

自　動　車

10 －8 10 －7 10 －6 10 －5 10 －4 Pa・m3/sec以下

ルームクーラー パッケージエアコン 冷蔵庫

調理器・家庭用品 消化器 ドアクローザー

ドラム缶 18L缶 ストーブ燃料タンク オイル缶

ガス調理器

エアー差圧式

水　 没 　式

イオン整水器 浄水器 電子体温計 電動歯ブラシ

ピローパック PTP 分包 軟膏チューブ

乳首 ホース 膜製品

濡れタオル パック製品

コピー用トナー缶 修正液 プリンターカートリッジ

ハードデスク HDDコネクタ

CCDイメージ LSI 水晶振動子 （ボンビング法）

血液ポンプ 輸液パック 注射器

防水カメラ 腕時計 （ボンビング法）

加工肉 生麺 菓子

シャンプーポンプ ノズル

チャンバー方式 リークテスト方式 スニッファー方式

水没式及び差圧式

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対象ワーク

●エアコン部品●エバポレータ●冷機用コイル●コンプレッサー●バルブ類●室外機Assy

空調・冷凍機器関連自動車関連

●冷蔵庫●各種電池●防水シェイバー●防水型掃除機

●防水ラジオ●洗濯機部品●アイロン

●ショーケース用熱交●冷凍機●自販機

●ガスメーター●遮断弁●ガス湯沸かし機

●ガス調理器具●ガスホース●ガスコック

その他

●ラジエータ●ウォーターポンプ●シリンダーヘッド●シリンダーブロック●オイルパン

●エンジンAssy●デリバリーパイプ●インジェクター●コモンレール●オイルポンプ

●インテクマニホールド●エキゾーストマニホールド●インタークーラー●ターボチャージャー●触媒コンバーター●マフラー

吸排気

エンジン

●トルクコンバーター●ミッションケース●シリンダーセカンドブレーキ●オイルポンプハウジング

ミッション

エアコン

●フューエルタンクAssy●フューエルポンプ●フューエルストレナー

●フューエルパイプ●キャニスター●インレットチューブ

燃料系

●アルミホイール●アルミテンパーホイール●スチールホイール

ホイール

●パワーステアリング●ステアリングポンプ●ショックアブソーバ●エアーサスペンション●Liイオン電池・燃料電池

●ブレーキマスターシリンダー●ブレーキブースター●エアータンク●インフレーター

その他

●カーコンプレッサー●コンデンサー●エバポレーター●リキッドタンク●カーエアコンパイプ

エアコン室外機Assy 家電用コンプレッサーエアコン室内機用熱交換器

●ドラム缶●18L缶●ストーブ燃料タンク

●オイル缶●スプレー缶

●油圧用●空圧用電磁弁●エアーシリンダー

●カプラ●チェック弁

●水栓金具●水道用弁

●ユニットバス●壁材●衛生陶器

●流し台●ドアチェック●床材

●石油ストーブ●カートリッジ●オイルポンプ

●通信衛星用送受信機●防水型通信機●通信コネクター

●薬品庫●カテーテル●ペースメーカー●人工透析機

●血液ポンプ●輸液パック●注射器

●防水カメラ●防水時計

家庭用電気機器 缶　業　界

油空圧部品

水道用機器

建築用機器

石油機器

通信用機器

飲　　食

ガス機器

医療機器

精密機械

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漏れキューブシステム 仕　様パッケージ型リークテスタ パッケージ型リークテスタ

■水没式検査・着圧式検査の置き換えに「漏れキューブ」システムは水没式検査やエア差圧式検査に比べ、より正確な信頼性の高い検査を行います。高い微少多孔検出能力を持っています。

■ワーク温度の影響を受けにくいワークの温度や使用環境の温度・湿度に影響されず、精密な漏れ検査が実施できます。仮洗浄・温洗浄後でもすぐに検査が可能です。

■省スペースタイプ主要機能をワンパッケージに集約した為、省スペースが可能になります。

■操作は液晶タッチパネルでの一括管理液晶タッチパネルが、操作・メンテナンスをサポートします。パラメータ設定は、ユーザー要求に合わせて簡単に設定が可能です。データは、PCへ取り込むこともでき、データ管理が簡単です。

■チャンバ切替え対応チャンバ周辺の2本の配管を切り替え、データを読み出すだけで簡単に仕様の違うワークに切り替え、検査が可能です。

システムの共通部分を一つにし、精密な漏れ検査を実現

システム例

「漏れキューブ」システム仕様例

ワ　ー　ク項　　　　目

エンジンカバー ショックアブソーバー仕　　　　様

●このカタログに掲載した製品は機能・性能向上の為、仕様及びデザインを予告なく変更する場合があります。

検 出 方 式可 検 能 力

ヘリウム 封 入 圧ワ ー ク 容 積チ ャ ン バ 寸 法デモシステム寸法チャンバ真空ポンプワーク真空ポンプディテクタ用真空ポンプ温 度電 源ヘ リ ウ ムエ ア窒 素 ガ ス表 示 操 作言 語動 作 モ ー ドディテクタ 校 正設 定履 歴入 出 力 信 号

デ ー タ 管 理

180度磁場偏向型質量分析1.0×10-9 ～ 9.0×10-3 Pa m3 / secチャンバ容積及び判定値による

max 0.9 MPa（G）

（W）900mm×（D）1100mm×（H）1500mm100［m3/h］21［m3/h］25［m3/h］10～40 ℃

3φAC200V±10％　50/60Hz　300VA0.4 ［MPa］　Rc 3／8 inch0.4 ［MPa］　Rc 3／8 inch0.2 ［MPa］　Rc 3／8 inch5インチ　液晶タッチパネル日本語 / 英語　選択式

ヘリウム検査、マスターチェック（基準リークによる検査）内部校正、外部校正

しきい値、マスターチェック上限、下限、校正リークレートなど検査履歴、エラー履歴、メンテナンスカウンタ、累計カウンタ外部起動／停止、モード選択、エラーなど Ⅰ／O 信号20点

USBポート（Aタイプ）USB Ver1.1準拠市販のUSBメモリやCF I／F を接続し、設定値、検査履歴、エラー履歴を保存

400［cc］（（ワーク＝1000）－（中子＝600））（W）380mm×（D）285mm×（H）120mm 約13［L］

115［cc］（（ワーク＝400）－（中子＝285））（W）120mm×（D）100mm×（H）345mm 約4.2［L］

サイクルタイム（ワーク入れ替えを除く）

注意：本仕様は、デモシステム用にヤマハファインテックが想定したものであり、漏れ量、封入圧など、お客様からの要求仕様ではございません。

検 出 能力

選 定 機 器

使 用 環 境

表 示 操 作

エンジンカバー用検査チャンバ

ショックアブソーバー用検査チャンバ

基本仕様

項　　　目 仕　　　様

リークディテクタ

判定リークレート

最小検出リークレート

立 上 げ 時 間

分析管フィラメント数

分析管シール

校　　　正

温　　　度

湿　　　度

電　　　源

外 形 寸 法

重　　　量

1×10－9 ～ 1×10－2 Pa・m3 / sec

1×10－9 Pa・m3 / sec

3分

ダブルフィラメント（2本）

フラットガスケット

外部／内部校正リーク選択による校正作業可能

10～40℃

90％以下

AC 200V±10％　3相 800VA

456mm（W）×291mm（D）×578mm（H）

35 kg

YAMAHA YLD-500

基本仕様

項　　　目 仕　　　様

リークディテクタ

判定リークレート

最小検出リークレート

立上げ時間

分析管フィラメント数

分析管シール

校　　　正

温　　　度

湿　　　度

電　　　源

外 形 寸 法

重　　　量

1×10－8 ～ 1×10－2 Pa・m3 / sec

1×10－9 Pa・m3 / sec

3分

ダブルフィラメント（2本）

Oリング

外部／内部校正リーク選択による校正作業可能

10～40℃

90％以下

AC 200～220V±10％　単相 50/60Hz 20A

456mm（W）×334mm（D）×414mm（H）

35 kg

YAMAHA YLD-220

11 12

YHS-600 スニファー式漏れ検査機 YLD-220 漏れ検査機 Helium Leak Detector

スニファーディテクタ ヘリウムリークディテクタ

基本仕様

項　　　　目 仕　　　　様

リークディテクタ

判定リークレート

最小検出リークレート

立 上 げ 時 間

分析管フィラメント数

分析管シール

校　　　　　正

温　　　　　度

湿　　　　　度

電　　　　　源

外　形　寸　法

重　　　　　量

1×10－8 ～ 1×10－2 Pa・m3 / sec

1×10－8 Pa・m3 / sec

3分

ダブルフィラメント（2本）

フラットガスケット

外部校正

10～40℃

90％以下

AC 100V±10％　単相 50 / 60Hz 10A

546mm（W）×378mm（D）×470mm（H）

46 kg

YAMAHA YHS-600

YLD-500 漏れ検査機 Helium Leak Detector

470

470

（546）

（380）

スニファーチューブ収納

AC-IN100VAC 400VA

POWER

R/P FUZE

HAND DISPLAY

A-OUT

スニファープローブ

オイル排気口

表示器

表示器ケーブル収納

オイルゲージ確認

スニファー吸込み流量確認

操作パネル

スニファープローブ スニファーディテクタ本体

1413

AW20・30・60 アルミホイール用リークテスター

専用モデル

■自動車・オートバイ用アルミホイール専用漏れ検査機チャンバー内にHe混合ガスを所定圧力まで加圧噴射後、アルミホイール内に漏れたトレースガスを質量分析の原理によるディテクターにて測定し、漏れのしきい値に対して漏れの大小で合否を判定致します。

■アルミホイールのサイズを選ばず（12″～20″）検出可能工場のラインにおける生産に合わせ、12″～20″のサイズを自動で判断し、検査する為、生産計画を自由に選択出来ます。

■装置の状態を自動チェック連続運転中、設定された時間毎にマスターチェックを行い、常に正常であるかをチェックし、正確な判定を致します。

DK-1 ドラム缶用リークテスター

■製品全体検査による信頼確保ドラム缶の大型製品の漏れ検査は圧力降下法、水没法や加工箇所の各部分に石けん水を塗るなどの漏れ検査を行っていたが正確に漏れ検出が厳しい面もある。Heによる検査システム導入により加工箇所のマキ締め部や溶接部及び材料欠陥の微細な漏れを自動で正確に検出が可能となり、製品信頼が大幅にアップしました。

■薄肉容器の変形防止機構検査時の圧力差による製品の変形を治具レスで行う事の出来る変形防止機構を導入する事で経済性を向上致しました。

■高速検出、高速搬送による高生産効率を実現ドラム缶の生産スピードにマッチした検出スピードを実現し、周辺の装置（搬送）においても検査ステーションとしてシステム化する事でライン構成が容易となり、生産効率を大幅にアップしました。

真空引き

ヘリウムリーク ディテクター

1 微少な漏れを正確に検出

2 ライン直結方式、短い検査タクト

3 ミスを排除するフェールセーフシステム

4 低ランニングコスト

5 取扱い、メンテナンスは極めて簡単

FT-1 自動車用フューエルタンク専用漏れ検査機

●微少な漏れを正確に検出します。●差圧コントロール機能で真空チャンバー内でのワークの変形を防ぎます。

●各種フューエルセーフ機能により、大漏れワーク測定時、検査回路を保護します。

5350

1700

特注システム

※この図面は、リークテスターステーション及びコンベアのリークテスターシステムの1例です。

お客様の仕様に合わせた専用システムをエンジニアリングします。1MPa以上の高圧システム・全自動システムなどお客様の仕様に合わせた特注システムをご提案いたします。テストルームには、様々なワークに対応できるようドラム缶用、燃料タンク用、15MPaの高圧用等のデモ機を用意しております。随時テストが可能ですので、お気軽にお問い合せください。