DC POWER SUPPLYOPERATING USER`S MANUAL

MODEL - PDMLE82N2K

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품질보증

파워디지텍 에서는 본 제품에 댈한 품질을 보증하고 있습니다.

본 제품의 품질보증 기간은 취득자가 구입일로부터 1년간을 원칙으로 정하고 있으

며 이 기간 중에 제품에 이상이 있을 때 에는 당사에 문의하여 주시기 바랍니다.

보증에 대한 유의사항

본 제품을 사용하기 전에 이 설명서를 충분히 읽어 주시기 바라며 특히 다음

사항에 유의하여 주십시오.

1. 입력전압 및 주파수는 제품의 입력조건에 적절한지 확인하여 주십시오.

2. 설치 및 점검은 사용 전 반드시 확인하여 주십시오.

3. 다음과 같은 경우에는 당사에서 보증 책임을 지지 않습니다.

- 사용자의 실수 또는 부주의로 인한 파손이나 성능을 개조한 경우.

- 보증기간이 지난 경우.

서비스 접수 / 상담

장비 사용 중 이상이 생겼거아 문의사항이 생기면 아래 연락처로 연락바랍니다.

주 소 : 경기도 시흥시 정왕동 1364번지 시화유통상가 34동 223호

전 화 : 031-430-5130

팩 스 : 031-430-5131

홈페이지 : www.powerdigi.co.kr

전자메일 : info@powerdigi.co.kr

취급품목 : 진공증착 및 도금용 전원장치

SPUTTERING, BIAS, ETCHING 용 DC POWER SUPPLY.

ELECTRON BEAM POWER SUPPLY. PULSE POWER SUPPLY.

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차 례

제 1 장. 일반사항

1-1. 개 요 ------------------------------------------ 41-2. 주의사항 ------------------------------------------ 41-3. 안전표시 ------------------------------------------ 41-4. 제품의 특성 ------------------------------------------ 5

제 2 장. 설치와 점검

2-1. 초기점검 ------------------------------------------ 72-2. 전기적 점검 ------------------------------------------ 72-3. 사용 전 준비 ------------------------------------------ 7

제 3 장. 동작 방법

3-1. 전면 판넬 설명 ------------------------------------------ 83-2. 후면 판넬 설명 ------------------------------------------ 103-3. I/O PORT ------------------------------------------ 113-4. RS-232 ------------------------------------------ 11

제 4 장. 장비 사용방법

4-1. 사용방법 ------------------------------------------ 124-2. Model Check ------------------------------------------ 12

4-3. 전압, 전류 세팅 ------------------------------------------ 134-4. x1 x10 사용방법 ------------------------------------------ 134-5. 사용모드선택 ------------------------------------------ 144-6. 데이터 저장 ------------------------------------------ 144-7. 출력 On ------------------------------------------ 154-8. 출력 Off ------------------------------------------ 15

제 5 장. 에러메세지

5-1. Interlock ------------------------------------------ 165-2. Emergency ------------------------------------------ 165-3. Arc ------------------------------------------ 165-4. OCP (Over Current Protector) ------------------------------- 17

제 6 장. RS-232C Protocol ------------------------------------------ 18

제 7 장. 고장증상 및 대책 ------------------------------------------ 19

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제 1 장. 일반사항

1-1. 개 요

MODEL-PDMLE82N2K는 Sputter장비용 DC Power Supply로써 직류 전원의 출력을

가지고 있습니다. 냉각은 Fan에 의한 강제 공냉식으로 되어 있으며, 정류 방식은 SCR을

사용한 위상제어방식으로 정전압, 정전류 조정이 가능합니다.

출력전압은 0 ~ 800V 까지 연속 가변되며, 출력전류도 0 ~ 2.5A 까지 제한할 수 있는

기능을 가지고 있습니다.

기 능

RS-232를 사용하여 컴퓨터로 모든 동작을 원격제어하고 DATA를 처리할 수 있습니다.

보호기능 (Arc, OCP)으로 출력을 제어할 수 있습니다.

REMOTE On/Off를 사용하여 외부에서 출력을 제어할 수 있습니다.

외부 입력(DC 0~10V)으로 전압과 전류를 제어할 수 있습니다.

LED Level Meter 사용으로 출력전압, 전류의 상황을 쉽게 볼 수 있습니다.

Jog Dial로 쉽게 전압, 전류값을 세팅할 수 있습니다.

현재 사용하고 있는 전압, 전류의 데이터를 저장할 수 있습니다.

20 X 4Line LCD를 사용하여 모든 정보를 표시해 줍니다.

출력되고 있는 전력값을 표시해 줍니다.

부하의 임피던스값을 표시해 줍니다.

1-2. 주의사항

장비를 사용하기 전에는 사용설명서를 충분히 일고 적절한 지식을 가진 후

사용하시기 바라며 이를 위하여 다음사항에 유의하여 주시기 바랍니다.

장비를 사용하기 전에는 반드시 제품의 입력전원과 제품의 입력조건이 동일한지를

확인하시고 전원이 연결되어야 합니다.

전원코드 또는 전원입력단자대의 접지단자는 접지 되어야 하며, 직류출력단자의 (-)

가 출력이며 (+)단자는 장비내부에서 접지단자로 연결되어 있습니다.

만약, 접지를 하지 않고 사용할 경우에는 정전기에 의한 문제점이나 감전에

주의하여야 합니다.

본 장비의 출력은 고전압으로 인체에 접촉시 사망할 수 있으므로 후면부 단자대 결선

시 에는 주전원을 반드시 차단하고 작업해 주십시오.

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기 호 설 명 비 고

고전압 주의, 전기쇼크 주의

표시

주의, 경고 표시

접지단자 표시

WARNING 경고표시

CAUTION 주의표시

1-3. 안전표시

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SPEC Condition & Description

AC Input

Voltage 220V 단상 60Hz Sine Wave

Current Approx. 12A Effcient : ±3%

DC Output

V-Rang 0V ~ 800V

A-Rang 0A ~ 2.50A

Maximum Capacity 2000 Watt

Control Accuracy

Voltage 0 ~ 800V (0~800bit)

Current 0 ~ 2.50A (0~250bit)

Display Accuracy

Voltage ±1bit

Current ±1bit

Error Protector

Arc 0.5sec Restart

OCP 0.5sec Restart

Display LCD 20 X 4Line Blue Backlight

InterfaceRS-232C , Analog In/Out(0~10V)

Remote On/Off

Temperature 0 ~ 50

Storage Environment -40 ~ 70

Weight kg

Dimension 483 (W) x 380 (D) x 177 (H)

1-4. 제품특성

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제 2 장. 설치와 점검

2-1. 초기점검

기구적인 외관점검

제품을 구입한 후 먼저 외관상에 나타나는 파손부의가 있는지 확인 하십시오.

만약 파손이 있을 경우에는 전기적인 동작을 시키지 않도록 하십시오.

본 제품을 인수할 때 운반도중 발생할 수 있는 손상이 있는지 검사 하십시오.

손상이 있을 경우에는 즉시 연락을 주십시오.

2-2. 전기적 점검

(1) 장비의 입력전압을 확인 하십시오.

(2) 전원스위치가 "Off" 로 되어 있도록 하십시오.

(3) 제품의 전원입력을 연결 하십시오.

(4) 제품의 전원 스위치(MAIN POWER)를 ON 시키십시오.

2-3. 사용 전 준비

전원공급기를 사용하시기 전에 다음과 같은 조건과 환경을 갖도록 준비합니다.

(1) 전원공급기 후면은 열이 발생하므로 통풍이 잘 되도록 설치하여야 합니다.

(2) 전원공급기의 우측면은 공기가 들어가는 통로로 다른 제품의 적재를 피하는 것이

좋습니다.

(3) 열이 많이 발생하는 장소와 습기나 먼지가 많은 장소는 피하여 설치하여 주십시오.

(4) 직류출력단자에서 출력선은 가능한 짧게 사용하여 주십시오.

선의 길이 또는 굵기에 따라 전압강하로 인하여 출력특성이 저하될 수 있습니다.

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제 3 장. 전면부, 후면부 명칭

3-1. 전면판넬 설명

1 2 4 5

3 6 7

(그림1) 전면판넬 구성

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9

No. 명 칭 설 명 비 고

1 Level Meter전압, 전류값을 LED Lamp로 레벨을

볼 수 있습니다.On시에 LED표시

2 LCD Display

20 x 4 Line 으로 전압, 전류, 전력,

입피던스, CV/CC, 기타 상태표시를

모두 볼 수 있습니다.

3 Key 데이터 세팅, 세이브용 키입니다.

4 Jog Dial전압 및 전류를 조절하거나 설정할 때

사용합니다.

세팅할 경우에는 3

초간 누른다.

5

Arc부하측에 아크 발생시 램프가

점등됩니다.

Error인터페이스 에러 또는 OCP

에러일 경우 램프가 점등됩니다.

Interlock

Emegency

OCP

On 출력이 On 되면 LED가 점등됩니다.

6 On Key 출력을 On 시키는 스위치입니다.

7 Off Key 출력을 Off 시키는 스위치입니다.

DC POWER SUPPLY

10

No. 명 칭 설 명 비 고

1 MAIN POWER 주전원 스위치입니다.차단기는

20A입니다.

2 교류 입력 단자교류전원입력 단자로 AC220V, 60Hz

단상 전원을 사용합니다.KIV 4 사용 권장

3 직류 출력 단자직류전원 출력 단자로 고전압으로써

갑전에 주의 하세요.KIV 2.0 사용 권장

4 RS-232컴퓨터나 기타 장치와 시리얼

통신으로 원격제어할 때 사용됩니다.PAGE 11 참조

5 IO PORT입출력 포트로 외부기기와 연결시

사용됩니다.PAGE 11 참조

3-2. 후면판넬 설명

5

1 2 3 4

(그림2) 후면판넬 구성

핀번호 내 용1 Interlock

B접점2 GND3 Emegency

A접점4 GND5 Remote On/Off6 GND789101112131415 V in (DC 0~10V)16 GND1718 C in (DC 0~10V)19 GND20 V out (DC 0~10V)21 GND22 C out (DC 0~10V)23 GND2425

핀번호 내 용1

2 Rx3 Tx

45 GND6789

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11

3-3. IO POART

13

1

3-4. RS-232

V : 8 0 0 V M D = _ _

C : 2 . 5 0 A L o c a l

W : 2 0 0 0 W

3 2 0 Ω O U T = O f f

D C P O W E R S U P P L Y

P D M L E 8 2 N 2 K

V e r 1 1 . 6

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제 4 장. 장비 사용 방법

4-1. 사용 방법

1) 전원스위치를 “Off" 하세요.

2) 제품의 입력전압을 확인하세요. 본장비는 단상 AC220V, 60Hz용입니다.

3) 입력케이블을 연결하세요. KIV4 사용을 권장합니다.

4) 출력케이블을 연결하세요. KIV2.0 사용을 권장합니다.

5) 접지단자를 이용하여 접지케이블을 연결하세요.

4-2. Model Check

후면부 전원스위치를 ON하면 LCD DISPLAY에 명칭과 모델명이 나타납니다.

3초후 다음과 같은 메인 화면이 나타납니다.

1 5

2 6

3

4 7

(1) 전압 지시 - Off 시 세팅값 On 시 출력값 지시

(2) 전류 지시 - Off 시 세팅값 On 시 출력값 지시

(3) 전력 지시 - 출력 전력값 지시

(4) 부하임피던스 지시

(5) CV, CC 지시

(6) Local / Remote / Ext_in 설정값 지시

(7) 출력 On / Off 지시

V : 8 0 0 V M D = _ _ x 1 >

I : 2 . 5 0 A L o c a l

P : 2 0 0 0 W S >

3 2 0 Ω O U T = O f f ⤶>

V : 8 0 0 V M D = _ _ x 1 >

I : 2 . 5 0 A L o c a l

P : 2 0 0 0 W S >

3 2 0 Ω O U T = O f f ⤶>

V : 8 0 0 V M D = _ _ x 1 >

I : 2 . 5 0 A L o c a l

P : 2 0 0 0 W S >

3 2 0 Ω O U T = O f f ⤶>

V : 8 0 0 V M D = _ _ x 1 0 >

I : 2 . 5 0 A L o c a l

P : 2 0 0 0 W S >

3 2 0 Ω O U T = O f f ⤶>

DC POWER SUPPLY

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4-3. 전압, 전류 세팅

전압세팅을 위하여 Jog Dial을 2초간 누르면 삐삐삑하는 소리와 함께 다음 화면과

같이 표시 됩니다. 그 다음 Jog Dial을 좌우로 돌려서 사용하고자 하는 전압값을

세팅합니다. (세팅 후 5초간 키 조작이 없을시 메인화면으로 돌아갑니다.)

다음 전류세팅을 위하여 Jog Dial을 누르면 삐하는 소리와 함께 다음 화면과 같이

표시 됩니다. 그 다음 Jog Dial을 좌우로 돌려서 사용하고자 하는 전류값을 세팅합니다.

(세팅 후 5초간 키 조작이 없을시 메인화면으로 돌아갑니다.)

4-4. x1 , x10 사용방법

전압, 전류값을 세팅하기 위해 Jog Dial을 돌리면 x1에 선택되어 있으면 1씩 증가

또는 감소 하게 되고 x10에 선택되어 있으면 10씩 증가 또는 감소하게 됩니다.

선택방법은 버튼을 누르면 됩니다.

V : 8 0 0 V M D = _ _ x 1 0 >

I : 2 . 5 0 A L o c a l

P : 2 0 0 0 W S >

3 2 0 Ω O U T = O f f ⤶>

V : 8 0 0 V M D = _ _ x 1 0 >

I : 2 . 5 0 A L o c a l

P : 2 0 0 0 W S >

3 2 0 Ω O U T = O f f ⤶>

N e w D a t a S a v e ! !

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4-5. 사용 모드 선택

본 장비는 Local, Remote, Ext_in 3가지 모드를 지원합니다. 선택방법은 세팅모드로

가기 위해 Jog Dial을 2초간 누른 뒤 세팅모드로 들어가는 “삐삐삑“ 소리가 나면

Local위치에 화살표가 지시되도록 Jog Dial의 누름동작을 반복합니다.

Jog Dial을 돌리면 Local-Remote-Ext_in을 계속 박복해서 선택되어 집니다. 사용하고자

하는 모드를 선택하고 ⤶키를 눌러서 메인화면으로 갑니다.

4-6. 데이터 저장

세팅되어 있는 전압값, 전류값, 모드는 전원이 차단되면 삭제됩니다. 저장을 위해서

세팅모드로 가서(Jog Dial을 2초간 누릅니다.) “S"키를 누르게 되면 다음 화면이

나타나게 되면서 데이터는 저장됩니다.

V : 8 0 0 V M D = C C

I : 2 . 5 0 A L o c a l

P : 2 0 0 0 W

3 2 0 Ω O U T = O n

V : 8 0 0 V M D = _ _

I : 2 . 5 0 A L o c a l

P : 2 0 0 0 W

3 2 0 Ω O U T = O f f

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4-7. 출력 On

출력을 On하기 위하여 On키를 누릅니다.

4-8. 출력 Off

출력을 Off하기 위하여 Off키를 누릅니다.

I n t e r l o c k

C h e c k ! !

E m e r g e n c y

C h e c k ! !

V : 8 0 0 V M D = C C

C : 2 . 5 0 A L o c a l

W : 2 0 0 0 W A r c

3 2 0 Ω O U T = O n

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제 5 장. 에러 메시지

5-1. Interlock

장비 후면부 IO PORT의 1번핀, 2번핀은 항상 쇼트되어 있어야 됩니다. 단선시

에러메시지가 표시됩니다. 장비가 On되어 있었다면 Off가 되면서 메시지가

표시됩니다. (Error Lamp On)

5-2. Emergency

장비 후면부 IO PORT의 3번핀, 4번핀은 항상 단선되어 있어야 됩니다. 단락시

에러메시지가 표시됩니다. 장비가 On되어 있었다면 Off가 되면서 메시지가

표시됩니다. (Error Lamp On)

5-3. Arc

부하측에서 아크가 발생하면 출력이 차단되었다가 다시 복구 되면서 다음과 같은

메시지가 표시됩니다. (Arc, Error Lamp On)

V : 8 0 0 V M D = C C

C : 2 . 5 0 A L o c a l

W : 2 0 0 0 W O C P

3 2 0 Ω O U T = O n

DC POWER SUPPLY

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5-3. OCP

Over Current Protector

부하측에서 쇼트가 발생하면 출력이 차단되었다가 다시 복구 되면서 다음과 같은

메시지가 표시됩니다. (Error Lamp On)

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제 6 장. RS-232C Protocol

- 통신속도 19200 Bps

- 페리티비트 None

- 데이터비트 8Bit

- 스톱비트 1Bit

전압, 전류값 세팅

- 아스키 코드 "0" ~ "9" 로 숫자 구현 : 30H ~ 39H

- 아스키 코드 "V" : 전압 (56H)

- 아스키 코드 "A" : 전류 (41H)

예) 300V 세팅 : 33H 30H 30H 56H

3 0 0 V

예) 2.50A 세팅 : 32H 35H 30H 41H

2 5 0 A

출력 On, Off

- 아스키 코드 "R" : On (52H)

- 아스키 코드 "S" : Off (53H)

Data Read

컴퓨터 또는 PLC에서 본 장비로 4FH를 송신하면 전압, 전류, 전력값이 일괄

전송된다.

- 아스키 코드 “O" : (4FH)

- 아스키 코드 "a"(61H), 1000단위, 100단위, 10단위, 1단위, “V"(56H) 전송

- 아스키 코드 "c"(63H), 1000단위, 100단위, 10단위, 1단위, “A"(41H) 전송

- 아스키 코드 "e"(65H), 1000단위, 100단위, 10단위, 1단위, “kW"(6BH,57H) 전송

고 장 증 상 대 책 비 고

스위치를 올려도 전원이

들어오지 않는다.

주전원 확인

주전원 케이블 확인

스위치 불량

전원스위치를 올려도 계속

떨어진다.

내부 이상

전원스위치 불량

전류는 흐르는데 전압이

0 이다

부하 쇼트

내부이상

전압은 높은데 전류는

0이다

출력케이블 단선

부하 이상

가스 확인

전압 전류가 심하게

흔들린다.

출력케이블 접촉 불량

장치 내부 이상

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제 7 장. 고장증상 및 대책

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