prüfungsordnung: 2011 mikrotechnik, gerätetechnik und ... · modulhandbuch studiengang master of...

497
Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung: 2011 Wintersemester 2011/12 Stand: 16. November 2011 Universität Stuttgart Keplerstr. 7 70174 Stuttgart

Upload: vunga

Post on 12-Aug-2019

215 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

Page 1: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

ModulhandbuchStudiengang Master of Science Maschinenbau /

Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische OptikPrüfungsordnung: 2011

Wintersemester 2011/12Stand: 16. November 2011

Universität StuttgartKeplerstr. 7

70174 Stuttgart

Page 2: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 2 von 497

Kontaktpersonen:Studiendekan/in: Wolfgang Schinköthe

Institut für Konstruktion und Fertigung in der FeinwerktechnikTel.:E-Mail: [email protected]

Studiengangsmanager/in: Eberhard BurkardInstitut für Konstruktion und Fertigung in der FeinwerktechnikTel.:E-Mail: [email protected]

Page 3: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 3 von 497

Inhaltsverzeichnis

Präambel ........................................................................................................................... 6

100 Vertiefungsmodule ...................................................................................................... 7110 Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik ........................................................................................ 8

32240 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- und Systemaufbau ............................................... 932230 Grundlagen der Mikrosystemtechnik ........................................................................................... 1413540 Grundlagen der Mikrotechnik ...................................................................................................... 2013560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I .................................................................... 25

120 Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik ....................................................................................... 3132730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten .........................................................................................................................................

32

13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik ......................................................... 3733090 Medizingerätetechnik ................................................................................................................... 41

130 Gruppe 3: Optische Technologien / Optische Fertigungstechnologien ................................................ 4233420 Anlagentechnik für die laserbasierte Fertigung ........................................................................... 4314060 Grundlagen der Technischen Optik ............................................................................................ 4614140 Materialbearbeitung mit Lasern .................................................................................................. 5033710 Optische Messtechnik und Messverfahren ................................................................................. 54

140 Gruppe 4: Spezifische Anwendungen .................................................................................................. 5932250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme ................................................. 6032220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik ................................................................................ 66

33920 Industriepraktikum Maschinenbau .................................................................................................... 72

200 Spezialisierungsmodule ............................................................................................. 75210 Biomedizinische Technik ...................................................................................................................... 76

213 Ergänzungsfächer mit 3 LP ............................................................................................................ 7733480 Biomedizinische Gerätetechnik .............................................................................................. 7833500 Grundlagen der medizinischen Strahlentechnik .................................................................... 8133490 Klinische Dosimetrie und Bestrahlungsplanung .................................................................... 8430710 Strahlenschutz ....................................................................................................................... 8833470 Übungen zur Biomedizinischen Technik ............................................................................... 91

211 Kernfächer mit 6 LP ........................................................................................................................ 9532220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik ........................................................................... 96

212 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP .......................................................................................... 10232920 Bildgebende Verfahren und Bildverarbeitung in der Medizin ................................................ 10332930 Biologische Informations-, Kommunikations- und Regelsysteme .......................................... 10732220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik ........................................................................... 111

33510 Praktikum Biomedizinischen Technik .......................................................................................... 117220 Elektronikfertigung ................................................................................................................................ 121

223 Ergänzungsfächer mit 3 LP ............................................................................................................ 12233450 Elektronik für Mikrosystemtechniker ...................................................................................... 12333770 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II ............................................................. 127

221 Kernfächer mit 6 LP ........................................................................................................................ 13132250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme ............................................ 13214030 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung ............................................................................... 138

222 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP .......................................................................................... 14132730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten ....................................................................................................................................

142

33760 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien ............................................................... 14732250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme ............................................ 15113970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik .................................................... 15714030 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung ............................................................................... 16113540 Grundlagen der Mikrotechnik ................................................................................................ 164

Page 4: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 4 von 497

33710 Optische Messtechnik und Messverfahren ............................................................................ 16914230 Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen und Industrieroboter ....................................... 17413560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I .............................................................. 179

33290 Praktikum Mikroelektronikfertigung ............................................................................................. 185230 Feinwerktechnik .................................................................................................................................... 188

233 Ergänzungsfächer mit 3 LP ............................................................................................................ 18932480 Deutsches und europäisches Patentrecht (Gewerblicher Rechtsschutz I) ............................ 19033300 Elektrische Bauelemente in der Feinwerktechnik .................................................................. 19433310 Elektronik für Feinwerktechniker ............................................................................................ 19733450 Elektronik für Mikrosystemtechniker ...................................................................................... 20032880 Elektronische Bauelemente in der Mikrosystemtechnik ........................................................ 20433280 Praktische FEM-Simulation mit ANSYS und MAXWELL ....................................................... 208

231 Kernfächer mit 6 LP ........................................................................................................................ 21132730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten ....................................................................................................................................

212

13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik .................................................... 21733260 Praxis des Spritzgießens in der Gerätetechnik, Verfahren, Prozesskette, Simulation ........... 221

232 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP .......................................................................................... 22432730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten ....................................................................................................................................

225

13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik .................................................... 23014030 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung ............................................................................... 23413540 Grundlagen der Mikrotechnik ................................................................................................ 23733710 Optische Messtechnik und Messverfahren ............................................................................ 24233260 Praxis des Spritzgießens in der Gerätetechnik, Verfahren, Prozesskette, Simulation ........... 24713560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I .............................................................. 250

33780 Praktikum Feinwerktechnik ......................................................................................................... 256240 Laser in der Materialbearbeitung ......................................................................................................... 259

243 Ergänzungsfächer mit 3 LP ............................................................................................................ 26029980 Einführung in das Optik-Design ............................................................................................. 26132760 Festkörper- und Halbleiterlaser ............................................................................................. 26532740 Physikalische Prozesse der Lasermaterialbearbeitung ......................................................... 26932110 Thermokinetische Beschichtungsverfahren ........................................................................... 27232750 Wellenleiter in der Lasertechnik ............................................................................................ 276

241 Kernfächer mit 6 LP ........................................................................................................................ 27929990 Grundlagen der Laserstrahlquellen ....................................................................................... 28014140 Materialbearbeitung mit Lasern ............................................................................................. 284

242 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP .......................................................................................... 28833420 Anlagentechnik für die laserbasierte Fertigung ..................................................................... 28929990 Grundlagen der Laserstrahlquellen ....................................................................................... 29214140 Materialbearbeitung mit Lasern ............................................................................................. 296

33800 Praktikum Lasertechnik ............................................................................................................... 300270 Medizingerätetechnik ............................................................................................................................ 304

273 Ergänzungsfächer mit 3 LP ............................................................................................................ 305271 Kernfächer mit 6 LP ........................................................................................................................ 306272 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP .......................................................................................... 307

250 Mikrosystemtechnik .............................................................................................................................. 308253 Ergänzungsfächer mit 3 LP ............................................................................................................ 309

33450 Elektronik für Mikrosystemtechniker ...................................................................................... 31032880 Elektronische Bauelemente in der Mikrosystemtechnik ........................................................ 31433540 Grundlagen der Mikrosystemtechnik (Übungen) ................................................................... 31833530 Mikrofluidik (Übungen) ........................................................................................................... 32133110 Modellierung und Simulation in der Mikrosystemtechnik ....................................................... 32433770 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II ............................................................. 327

251 Kernfächer mit 6 LP ........................................................................................................................ 33132240 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- und Systemaufbau .......................................... 33233760 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien ............................................................... 33732230 Grundlagen der Mikrosystemtechnik ..................................................................................... 341

Page 5: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 5 von 497

13540 Grundlagen der Mikrotechnik ................................................................................................ 34733690 Mikrofluidik und Mikroaktorik ................................................................................................. 35213560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I .............................................................. 357

252 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP .......................................................................................... 36332730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten ....................................................................................................................................

364

32240 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- und Systemaufbau .......................................... 36933760 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien ............................................................... 37432250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme ............................................ 37832220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik ........................................................................... 38432230 Grundlagen der Mikrosystemtechnik ..................................................................................... 39013540 Grundlagen der Mikrotechnik ................................................................................................ 39633690 Mikrofluidik und Mikroaktorik ................................................................................................. 40133710 Optische Messtechnik und Messverfahren ............................................................................ 40613560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I .............................................................. 41113580 Wissens- und Informationsmanagement in der Produktion ................................................... 417

33810 Praktikum Mikrosystemtechnik .................................................................................................... 422260 Technische Optik .................................................................................................................................. 426

263 Ergänzungsfächer mit 3 LP ............................................................................................................ 42731870 Bildverarbeitungssysteme in der industriellen Anwendung .................................................... 42829980 Einführung in das Optik-Design ............................................................................................. 43232760 Festkörper- und Halbleiterlaser ............................................................................................. 43629960 Grundlagen der Farbmetrik und Digitale Fotografie .............................................................. 44029970 Optik dünner und nanostrukturierter Schichten ..................................................................... 44433400 Optische Phänomene in Natur und Alltag ............................................................................. 447

261 Kernfächer mit 6 LP ........................................................................................................................ 45014060 Grundlagen der Technischen Optik ....................................................................................... 45129950 Optische Informationsverarbeitung ........................................................................................ 45533710 Optische Messtechnik und Messverfahren ............................................................................ 459

262 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP .......................................................................................... 46432730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten ....................................................................................................................................

465

32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme ............................................ 47013540 Grundlagen der Mikrotechnik ................................................................................................ 47614060 Grundlagen der Technischen Optik ....................................................................................... 48129950 Optische Informationsverarbeitung ........................................................................................ 48533710 Optische Messtechnik und Messverfahren ............................................................................ 489

33460 Praktikum Technische Optik ....................................................................................................... 494

80480 Studienarbeit Maschinenbau ................................................................................. 497

Page 6: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 6 von 497

Präambel

2 Auszug aus der Prüfungsordnung (Besonderer Teil)§ 1 Die Masterprüfung im Studiengang Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik undTechnische Optik(1) Die Masterprüfung besteht aus den in § 2 Abs. 1 dieser Anlage der Prüfungsordnung aufgeführtenModulprüfungen, einem im Allgemeinen Teil dieser Prüfungsordnung geregelten Industriepraktikumund der ebenfalls im Allgemeinen Teil dieser Prüfungsordnung geregeltenStudien- und Masterarbeit. Das Lehrangebot erstreckt sich über alle 4 Fachsemester.(2) Die Studierenden müssen Pflichtmodule (P, siehe Tabelle §2, Abs. 1) im Umfang von 57 Leistungspunktenund Wahlmodule (W, siehe Tabelle §2, Abs. 1) im Umfang von 63 Leistungspunktenbelegen. Die einzelnen Module sind in § 2 Abs. 1 dieser Anlage der Prüfungsordnunggeregelt.(3) Es sind zwei Spezialisierungsfächer zu wählen. Eine Liste der wählbaren Spezialisierungsfächerwird im Modulhandbuch bekanntgegeben. Innerhalb des Spezialisierungsfaches sind Moduleim Umfang von je 18 LP zu belegen.(4) Im Wahlbereich legt die bzw. der Studierende ihre bzw. seine zu prüfenden Module in einemindividuellen Übersichtsplan fest. Der Übersichtsplan besteht aus zwei Teilen. Der erste Teildes Übersichtsplans besteht aus einer Aufstellung der Module im Bereich der Pflichtmodule mitWahlmöglichkeit. Der zweite Teil des Übersichtsplans legt die gewählten Spezialisierungsfächerund die darin zu prüfenden Module fest. Der Prüfungsausschuss erlässt darüber hinausRegeln über die Gestaltung und Genehmigung des Übersichtsplans.

Page 7: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 7 von 497

100 Vertiefungsmodule

Zugeordnete Module: 110 Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik120 Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik130 Gruppe 3: Optische Technologien / Optische Fertigungstechnologien140 Gruppe 4: Spezifische Anwendungen33920 Industriepraktikum Maschinenbau

Page 8: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 8 von 497

110 Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

Zugeordnete Module: 32240 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- und Systemaufbau32230 Grundlagen der Mikrosystemtechnik13540 Grundlagen der Mikrotechnik13560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

Page 9: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 9 von 497

Modul: 32240 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- undSystemaufbau

2. Modulkürzel: 073400003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: • Heinz Kück• Bernhard Polzinger• Tobias Grözinger

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Das Modul „Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- undSystemaufbau“ bildet zusammen mit dem Modul „Aufbau- undVerbindungstechnik II - Technologien“ den Kern der Ausbildung inder Gehäuse-, Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme.Die Studierenden erwerben grundlegende Kenntnisse überwesentliche Fragestellungen bei der Entwicklung der Aufbau- undVerbindungstechnik von Sensoren und Systemen aus verschiedenenmikrotechnischen Komponenten.

Die Studierenden sollen:

• die Vielfalt und Verschiedenheit der Aufbauten von Mikrosystemen undder Technologien der Aufbau- und Verbindungstechnik kennenlernen;

• erkennen, wie das Einsatzgebiet von Sensoren und Systemen dieAnforderungen an die Aufbau- und Verbindungstechnik bestimmt undwelche Anforderungen zu erfüllen sind;

• die Einflüsse insbesondere die parasitären Einflüsse der Aufbau- undVerbindungstechnik auf die Eigenschaften der Sensoren und Systemeerkennen;

• die Auswirkungen der Aufbau- und Verbindungstechniken auf Qualität,Zuverlässigkeit und Kosten kennenlernen;

• die von der Stückzahl abhängigen spezifischen Vorgehensweisenbei der Aufbauund Verbindungstechnik von Sensoren und Systemenkennenlernen. Ein besonderes Augenmerk wird auf die Erfordernissekompletter Sensoren oder Systeme über den ganzen Lebenszyklusgelegt.

13. Inhalt: Einführung; Übersicht zu Aufbauten von Mikrosystemen; Einteilung derSensoren und Mikrosysteme nach Anforderungen und Spezifikationen fürverschiedene Branchen; Übersicht zu mikrotechnischen Bauelementenfür Sensoren; Grundzüge zu Systemarchitektur und elektronischen

Page 10: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 10 von 497

Schaltungen, Übersicht über Aufbaustrategien und Montageprozesse;grundlegende Eigenschaften der eingesetzten Werkstoffe; umwelt-und betriebsbedingte Beanspruchungen und Stress in verschiedenenAnwendungen; wesentliche Ausfallmechanismen bei mikrotechnischenBauelementen und Aufbauten; Qualität und Zuverlässigkeit von Sensorenund Mikrosystemen; Funktionsprüfung und Kalibrierung; Besonderheitenvon speziellen Sensorsystemen u. a. für Vektorgrößen, fluidischeGrößen; Aspekte der Fertigung von Sensoren und Mikrosystemen beikleinen und großen Stückzahlen. Die jeweiligen Lehrinhalte werdenanhand von einschlägigen Beispielen diskutiert und veranschaulicht. DieLehrinhalte werden durch Übungen vertieft. In einem praktischen Teilwird der Bezug der Lehrinhalte zur industriellen Praxis dargestellt.

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322401 Vorlesung (inkl. Übungen, praktischer Teil am Institut, undExkursion) : Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor-und Systemaufbau, Vorlesung (inkl. Übungen, praktischerTeil am Institut, und Exkursion),

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32241 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- undSystemaufbau (PL), schriftlich, eventuell mündlich,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel, Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 11: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 11 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 12: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 12 von 497

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 13: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 13 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 14: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 14 von 497

Modul: 32230 Grundlagen der Mikrosystemtechnik

2. Modulkürzel: 072420002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: Hermann Sandmaier

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Mikrosystemtechnik

• haben die Studierenden einen Überblick über die bedeutendstenMärkte und Bauelemente bzw. Systeme der Mikrosystemtechnik (MST)kennen gelernt

• wissen die Studierenden, wie sich einzelne physikalische Größen beieiner Miniaturisierung verhalten bzw. ändern und wie diese Skalierunggenutzt werden kann, um Mikrosensoren und mikroaktorische Antriebezu realisieren

• können die Studierenden die bedeutendsten Sensoren und Systemeder Mikrosystemtechnik nach vorgegebene Spezifikationen entwerfenund auslegen.

Erworbene Kompetenzen:

Die Studierenden

• haben ein Gefühl für die Märkte der MST und können die wichtigstenProdukte der Mikrosystemtechnik benennen und beschreiben

• besitzen die Grundlagen, um Auswirkungen einer Miniaturisierung aufphysikalische Größen, wie mechanische Spannungen, elektrische,piezoelektrische und magnetische Kräfte, Zeitkonstanten undFrequenzen, thermische Phänomene, Reibungseffekte und dasVerhalten von Flüssigkeiten und Gasen beurteilen zu können

• kennen die physikalischen Grundlagen zu den bedeutendstenWandlungsprinzipien bzw. Messeffekten der MST

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens zur Realisierung von mikrosystemtechnischen Sensoreneinschließlich der teilweise in den Sensoren erforderlichenmikroaktorischen Antriebe

• können anhand vorgegebener Spezifikationen einen Mikrosensoreinschließlich der elektrischen Auswerteschaltung auslegen undentwerfen.

Page 15: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 15 von 497

13. Inhalt: Die Vorlesung Mikrosystemtechnik vermittelt den Studierenden dieGrundlagen, und das Basiswissen zur Gestaltung und Entwicklungvon mikrotechnischen Funktionselementen, Sensoren und Systemen.Anhand der Skalierung von physikalischen Gesetzen und Größen werdendie Grundlagen vermittelt, die zur Auslegung und Berechnung vonBauelementen und Systemen der Mikrosystemtechnik benötigt werden.Es werden die Grundlagen zur Auslegung von schwingungsfähigenSystemen, wie sie in Beschleunigungssensoren und Drehratensensorenerforderlich sind, vermittelt. Einen weiteren Schwerpunkt bilden die inder MST bedeutendsten Wandlungsprinzipien und die Beschreibunganisotroper Effekte. Die gewonnenen Kenntnisse werden anschließendeingesetzt, um den Aufbau und die Funktionsweise der wirtschaftlichbedeutenden Mikrosensoren zu erläutern. Ausführlich wird auf dieMikrosensoren zur Messung von Abständen bzw. Wegen, Drücken,Beschleunigungen, Drehraten, magnetischen und thermischenGrößen sowie Durchflüssen, Winkel und Neigungen eingegangen. DaMikrosensoren heute in der Regel ein elektrisches Ausgangssignalliefern, werden auch für die Sensorsignalauswertung wichtigeelektronische Schaltungen behandelt.

14. Literatur: - Schwesinger N., Dehne C., Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,Oldenburg Verlag, 2009- HSU Tai-Ran, MEMS and Microsystems, Wiley, 2008- Korvink, J. G., Paul O., MEMS - A practical guide to design, analysisand applications, Springer, 2006- Menz, W., Mohr, J., Paul, O.; Mikrosystemtechnik für Ingenieure,Weinheim: Wiley-VCH, 2005- Völklein, F., Zetterer T., Praxiswissen Mikrosystemtechnik,- Mescheder U.; Mikrosystemtechnik, Teubner Stuttgart Leipzig , 2000- Pagel L., Mikrosysteme, J. Schlembach Fachverlag, 2001- Handouts, Skript und CD zur Vorlesung- Übungen zur Mikrosystemtechnik

Online-Vorlesungen:- http://www.sensedu.com- http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322301 Vorlesung Mikrosystemtechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32231 Grundlagen der Mikrosystemtechnik (PL), mündliche Prüfung,40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus BWL

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Spezialisierungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik

Page 16: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 16 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik

Page 17: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 17 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Pflichtmodule mit Wahl

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module

Page 18: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 18 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

Page 19: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 19 von 497

➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 20: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 20 von 497

Modul: 13540 Grundlagen der Mikrotechnik

2. Modulkürzel: 073400001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: Heinz Kück

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden erwerben Kenntnisse über die wichtigstenWerkstoffeigenschaften, sowie Grundlagen der Konstruktion undFertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen. DieStudierenden sind in der Lage, die Besonderheiten der Konstruktionund Fertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen in derProduktentwicklung und Produktion zu erkennen und sich eigenständig inLösungswege einzuarbeiten.

13. Inhalt: • Eigenschaften der wichtigsten Werkstoffe der MST• Silizium-Mikromechanik• Einführung in die Vakuumtechnik• Herstellung und Eigenschaften dünner Schichten• (PVD- und CVD-Technik, Thermische Oxidation)• Lithographie und Maskentechnik• Ätztechniken zur Strukturierung (Nasschemisches Ätzen, RIE, IE,

Plasmaätzen)• Reinraumtechnik• Elemente der Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme

(Bondverfahren, Chipgehäusetechniken)• LIGA-Technik• Mikrotechnische Bauteile aus Kunststoff (Mikrospritzguss, Heißprägen)

Page 21: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 21 von 497

• Mikrobearbeitung von Metallen (Funkenerosion, spanendeMikrobearbeitung)

• Messmethoden der Mikrotechnik• Prozessfolgen der Mikrotechnik

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 135401 Vorlesung Grundlagen der Mikrotechnik• 135402 Freiwillige Übung zur Vorlesung Grundlagen der

Mikrotechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13541 Grundlagen der Mikrotechnik (PL), mündliche Prüfung, 40Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overhead-Projektor-Anschrieb, Tafelanschrieb,Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von: Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 22: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 22 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 23: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 23 von 497

➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule

Page 24: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 24 von 497

➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 25: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 25 von 497

Modul: 13560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

2. Modulkürzel: 072420001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: Hermann Sandmaier

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

• haben die Studierenden die wichtigsten Technologien und Verfahrenzur Herstellung von Bauelementen der Mikroelektronik als auch derNano- und Mikrosystemtechnik kennen gelernt,

• können die Studierenden einzelne technologische Prozesse bewertenund sind in der Lage Prozessabläufe selbstständig zu entwerfen.

Erworbene Kompetenzen:

Die Studierenden

• können die wichtigsten Materialien der Nano- und Mikrosystemtechnikbenennen und beschreiben,

• können die wichtigsten Verfahren der Mikroelektronik sowie der Nano-und Mikrosystemtechnik benennen und mit Hilfe physikalischerGrundlagenkenntnisse erläutern,

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens zur Herstellung von mikrotechnischen Bauelementen,

• haben ein Gefühl für den Aufwand einzelner Verfahren entwickelnkönnen,

• sind mit den technologischen Grenzen der Verfahren vertraut undkönnen diese bewerten,

• sind in der Lage, auf der Basis gegebener technologischer undwirtschaftlicher Randbedingungen, die optimalen Prozessverfahren

Page 26: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 26 von 497

auszuwählen und einen kompletten Prozessablauf für die Herstellungvon mikrotechnischen Bauelementen zu entwerfen.

13. Inhalt: Die Vorlesung vermittelt den Studierenden die Grundlagen,um die komplexen Prozessabläufe bei der Herstellung vonmodernen Bauelementen der Mikroelektronik sowie der Nano- undMikrosystemtechnik zu verstehen. Nach einer Einführung in die Thematikwerden zunächst die wichtigsten Materialien - insbesondere Silizium- vorgestellt. Anschließend werden die bedeutendsten Prozesse zurHerstellung von mikroelektronischen und mikrosystemtechnischenBauelementen und Systemen behandelt. Insbesondere werdendie Grundlagen zur Dünnschichttechnik, zur Lithographie und zuden Ätzverfahren vermittelt. Abschließend werden als Vertiefungdie Prozessabläufe der Oberflächen- und Bulkmikromechanik kurzvorgestellt und erläutert. Anhand von Anwendungsbeispielen wirdgezeigt, wie durch eine geschickte Aneinanderreihung der einzelnenProzesse komplexe Bauelemente, wie elektronische Schaltungenoder Mikrosysteme, hergestellt werden können.

14. Literatur: • Korvink, J. G.; Paul O.,MEMS - A practical guide to design, analysisand applications, Springer, 2006

• Menz, W.; Mohr, J.; Paul, O., Mikrosystemtechnik für Ingenieure,Weinheim: Wiley-VCH, 2005

• Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, 2. Auflage, Boca Raton:crcpress, 1997

• Bhushan, B., Handbook of Nanotechnology, Springer, 2003• Völklein, F.; Zetterer T., Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage,

Wiesbaden, Vieweg, 2006• Schwesinger N.; Dehne C.; Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,

Oldenburg Verlag, 2009• Handouts, Skript und CD zur Vorlesung

Online-Vorlesungen:

• http://www.sensedu.com• http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 135601 Vorlesung Technologien der Nano- und MikrosystemtechnikI

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13561 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I (PL),mündliche Prüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von: Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

Page 27: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 27 von 497

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

Page 28: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 28 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Weitere Spezialisierungsfächer➞ Fabrikbetrieb➞ Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau

Page 29: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 29 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik

Page 30: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 30 von 497

➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 31: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 31 von 497

120 Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

Zugeordnete Module: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendungmechatronischer Komponenten

13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik33090 Medizingerätetechnik

Page 32: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 32 von 497

Modul: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten

2. Modulkürzel: 072510003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: Wolfgang Schinköthe

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden kennen die Grundlagen der Magnettechnik und-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktive Auslegung,Magnetisierung). Die Studierenden können elektromagnetische Antriebe(rotatorische und lineare Schrittmotoren) vereinfacht berechnen,gestalten und auslegen. Die Studierenden können elektrodynamischeAntriebe (rotatorische und lineare Gleichstromkleinstmotoren) vereinfachtberechnen, gestalten und auslegen. Die Studierenden kennenpiezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik.

13. Inhalt: Behandelt werden feinwerktechnische Antriebe unterschiedlicherWirkprinzipe mit den Schwerpunkten:

• Magnettechnik/-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktiveAuslegung, Magnetisierung)

• Elektromagnetische Antriebe (rotatorische und lineare Schrittmotoren;Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

• Elektrodynamische Antriebe (rotatorische und lineareGleichstromkleinstmotoren; Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

Page 33: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 33 von 497

• Piezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik(neue Werkstoffe in mechatronischen Komponenten, Berechnung,Gestaltung, Anwendung)

• Beispiele zur Realisierung mechatronischer Lösungen in derGerätetechnik. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigen Übungen undPraktika (Spezialisierungsfachpraktika und APMB).

14. Literatur: • Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil 1.Skript zur Vorlesung

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil2 Übung und Praktikumsversuch Piezosysteme/ Ultraschallantriebe.Skript zu Übung und Praktikum

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten -Teil 3 Übung und Praktikumsversuch Lineare Antriebssysteme/Lineardirektantriebe. Skript zu Übung und Praktikum

• Kallenbach, E.; Stölting, H.-D.: Handbuch Elektrische Kleinantriebe.Leipzig: Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag 2011

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 327301 Vorlesung + Übung Aktorik in der Gerätetechnik;Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32731 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Overhead-Projektor, Beamer-Präsentation

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 34: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 34 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik

Page 35: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 35 von 497

➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 36: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 36 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- undProduktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 37: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 37 von 497

Modul: 13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik

2. Modulkürzel: 072510002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: • Wolfgang Schinköthe• Eberhard Burkard

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in Konstruktionslehre

12. Lernziele: Fähigkeiten zur Analyse und Lösung von komplexen feinwerktechnischenAufgabenstellungen im Gerätebau unter Berücksichtigung desGesamtsystems, insbesondere unter Berücksichtigung von Präzision,Zuverlässigkeit, Sicherheit, Umgebungs- und Toleranzeinflüssen beimEntwurf von Geräten und Systemen

13. Inhalt: Entwicklung und Konstruktion feinwerktechnischer Geräte und Systememit Betonung des engen Zusammenhangs zwischen konstruktiverGestaltung und zugehöriger Fertigungstechnologie.Methodik der Geräteentwicklung, Ansätze zur kreativen Lösungsfindung,Genauigkeit und Fehlerverhalten in Geräten, Präzisionsgerätetechnik(Anforderungen und Aufbau genauer Geräte und Maschinen),Toleranzrechnung, Toleranzanalyse, Zuverlässigkeit und Sicherheitvon Geräten (zuverlässigkeits- und sicherheitsgerechte Konstruktion),Beziehungen zwischen Gerät und Umwelt, Lärmminderungin der Gerätetechnik. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigenÜbungen und in den Praktika „Einführung in die 3D-Messtechnik“,„Zuverlässigkeitsuntersuchungen und Lebensdauertests“

14. Literatur: • Schinköthe, W.: Grundlagen der Feinwerktechnik - Konstruktion undFertigung. Skript zur Vorlesung

• Krause, W.: Gerätekonstruktion in Feinwerktechnik und Elektronik.München Wien: Carl Hanser 2000

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 139701 Vorlesung Gerätekonstruktion und -fertigung in derFeinwerktechnik, 3 SWS

• 139702 Übung Gerätekonstruktion und -fertigung in derFeinwerktechnik (inklusive Praktikum, Einführung in die

Page 38: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 38 von 497

3D-Meßtechnik, Zuverlässigkeitsuntersuchungen undLebensdauertests), 1,0 SWS (2x1,5 h)

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13971 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik (PL),schriftliche Prüfung, 120 Min., Gewichtung: 1.0, bei Kern- oderErgänzungsfach in Masterstudiengängen mündliche Prüfung

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: • Tafel• OHP• Beamer

20. Angeboten von: Institut für Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 39: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 39 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik kreramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule

Page 40: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 40 von 497

➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 41: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 41 von 497

Modul: 33090 Medizingerätetechnik

2. Modulkürzel: 041100110 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 0.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher:

9. Dozenten:

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele:

13. Inhalt:

14. Literatur:

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 330901 Vorlesung Medizingerätetechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand:

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33091 Medizingerätetechnik (BSL), schriftlich, eventuell mündlich,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

Page 42: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 42 von 497

130 Gruppe 3: Optische Technologien / Optische Fertigungstechnologien

Zugeordnete Module: 33420 Anlagentechnik für die laserbasierte Fertigung14060 Grundlagen der Technischen Optik14140 Materialbearbeitung mit Lasern33710 Optische Messtechnik und Messverfahren

Page 43: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 43 von 497

Modul: 33420 Anlagentechnik für die laserbasierte Fertigung

2. Modulkürzel: 073000003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: • Rudolf Weber• Andreas Letsch

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: • Die Voraussetzungen für sinnvolle und effiziente Laser-Anwendungenin der Materialbearbeitung kennen und verstehen.

• Begreifen der für den AnlagenbauentscheidendenLaserprozessgrößen.

• Wissen wie diese durch geeignete Auslegung der Anlagen erfülltwerden können.

• Anlagen bezüglich technischen und wirtschaftlichen Gesichtspunktenbewerten und verbessern können.

13. Inhalt: • Die wichtigsten Anwendungen des Lasers in der Materialbearbeitung• Anlagenkonzepte vom Roboterschweißen bis zur Laserfusion• Auslegung der Anlage von den mechanische Komponenten und

Strahlführungssystemen bis zur Achsendynamik• Peripherie von der Steuerung bis zu Sicherheitsaspekten• Kommerzielle Aspekte von der Stückkostenrechnung bis zur

Anlagenamortisation

14. Literatur: Folien der Vorlesungen

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 334201 Vorlesung Anlagentechnik für die laserbasierte FertigungTeil I: von der Anwendung zur Anlage

• 334202 Vorlesung Anlagentechnik für die laserbasierte FertigungTeil II: von der Anlage zum Betrieb

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: • 33421Anlagetechnik für die laserbasierte Fertigung - Teil I: vonder Anwendung zur Anlage (PL), mündliche Prüfung, 40Min., Gewichtung: 1.0, Anlagentechnik für die laserbasierteFertigung - Teil I: von der Anwendung zur Anlage, 0,5,mündlich, 20 minAnlagentechnik für die laserbasierteFertigung -Teil II: von der Anlage zum Betrieb, 0,5, mündlich,20 min(Wird nach Möglichkeit in einem gemeinsamen Terminabgehalten)

Page 44: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 44 von 497

• 33422Anlagetechnik für die laserbasierte Fertigung - Teil II: vonder Anlage zum Betrieb (PL), mündliche Prüfung, 40 Min.,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module

Page 45: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 45 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 46: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 46 von 497

Modul: 14060 Grundlagen der Technischen Optik

2. Modulkürzel: 073100001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: • Wolfgang Osten• Erich Steinbeißer

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen: HM 1 - HM 3 ,Experimentalphysik

12. Lernziele: Die Studierenden

• erkennen die Möglichkeiten und Grenzen der abbildenden Optik aufBasis des mathematischen Modells der Kollineation

• sind in der Lage, grundlegende optische Systeme zu klassifizieren undim Rahmen der Gaußschen Optik zu berechnen

• verstehen die Grundzüge der Herleitung der optischen Phänomene„Interferenz“ und „Beugung“ aus den Maxwell-Gleichungen

• können die Grenzen der optischen Auflösung definieren• können grundlegende optische Systeme (wie z.B. Mikroskop,

Messfernrohr und Interferometer) einsetzen und bewerten

13. Inhalt: • optische Grundgesetze der Reflexion, Refraktion und Dispersion;• Kollineare (Gaußsche) Optik;• optische Bauelemente und Instrumente;• Wellenoptik: Grundlagen der Beugung und Auflösung;• Abbildungsfehler;• Strahlung und Lichttechnik

Lust auf Praktikum?

Zur beispielhaften Anwendung und Vertiefung des Lehrstoffs bietenwir fakultativ ein kleines Praktikum an. Bei Interesse bitte an HerrnSteinbeißer wenden.

14. Literatur: Manuskript aus Powerpointfolien der Vorlesung; Übungsblätter;Formelsammlung;Sammlung von Klausuraufgaben mit ausführlichen Lösungen;

Literatur:

Page 47: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 47 von 497

• Gross: Handbook of Optical Systems Vol. 1, Fundamentals ofTechnical Optics, 2005

• Haferkorn: Optik, Wiley, 2002• Hecht: Optik, Oldenbourg, 2005• Kühlke: Optik, Harri Deutsch, 2004• Pedrotti: Optik für Ingenieure, Springer, 2007• Schröder: Technische Optik, Vogel, 2007

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 140601 Vorlesung Grundlagen der Technischen Optik• 140602 Übung Grundlagen der Technischen Optik• 140603 Praktikum Grundlagen der Technischen Optik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42h + Nacharbeitszeit: 138h = 180

17. Prüfungsnummer/n und -name: 14061 Grundlagen der Technischen Optik (PL), schriftliche Prüfung,120 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Powerpoint-Vorlesung mit zahlreichen Demonstrations-Versuchen,Übung: Notebook + Beamer,OH-Projektor, Tafel, kleine „Hands-on“ Versuche gehen durch die Reihen

20. Angeboten von: Institut für Technische Optik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Grundlagen der Natur- und Ingenieurwissenschaften

B.Sc. Technische Kybernetik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Grundlagen der Natur- und Ingenieurwissenschaften

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 48: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 48 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

Page 49: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 49 von 497

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 50: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 50 von 497

Modul: 14140 Materialbearbeitung mit Lasern

2. Modulkürzel: 073010001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: Thomas Graf

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Schulkenntnisse in Mathematik und Physik.

12. Lernziele: Die vielfältigen Einsatzmöglichkeiten des Strahlwerkzeuges Laserinsbesondere beim Schweißen, Schneiden, Bohren, Strukturieren,Oberflächenveredeln und Urformen kennen und verstehen. Wissen,welche Strahl-, Material- und Umgebungseigenschaften sich wie aufdie Prozesse auswirken. Bearbeitungsprozesse bezüglich Qualität undEffizienz bewerten und verbessern können.

13. Inhalt: • Laser und die Auswirkung ihrer Strahleigenschaften (Wellenlänge,Intensität, Polarisation, etc.) auf die Fertigung,

• Komponenten und Systeme zur Strahlformung und Stahlführung,Werkstückhandhabung,

• Wechselwirkung Laserstrahl-Werkstück• physikalische und technologische Grundlagen zum Schneiden,

Bohren und Abtragen, Schweißen und Oberflächenbehandeln,Prozeßkontrolle, Sicherheitsaspekte, Wirtschaftlichkeitsbetrachtungen

14. Literatur: Buch:

Helmut Hügel und Thomas Graf, Laser in der Fertigung, Vieweg+Teubner(2009)

ISBN 978-3-8351-0005-3

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 141401 Vorlesung mit integrierter Übung Materialbearbeitung mitLasern

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42h + Nacharbeitszeit: 138h = 180h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 14141 Materialbearbeitung mit Lasern (PL), schriftliche Prüfung, 120Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

Page 51: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 51 von 497

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester

Page 52: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 52 von 497

➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik kreramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Materialwissenschaft, PO 2008, 6. Semester➞ Schlüsselqualifikationen➞ Wahlpflichtmodul B (Fachfremd)

B.Sc. Materialwissenschaft, PO 2011, 6. Semester➞ Schlüsselqualifikationen➞ Wahlpflichtmodul B (Fachfremd)

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

Page 53: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 53 von 497

➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

M.Sc. Technikpädagogik➞ Hauptfach Maschinenbau➞ Fertigungstechnik➞ Wahlcontainer Fertigungstechnik-Hauptfach

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Fertigungstechnik➞ Fertigungstechnik (Wahl)

Page 54: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 54 von 497

Modul: 33710 Optische Messtechnik und Messverfahren

2. Modulkürzel: 073100002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: Wolfgang Osten

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden

• verstehen die Unterschiede zwischen wellenoptischer undgeometrisch-optischer Beschreibung,

• sind in der Lage die in Wellenfeldern enthaltene Information zubeschreiben,

• können Messungen kritisch mittels Fehleranalyse bewerten,• kennen die Rolle und Wirkungsweise der wichtigsten Komponenten

und sind in der Lage, optische Mess-Systeme aus einzelnenKomponenten zusammenzustellen und zu bewerten,

• sind in der Lage, Methoden zur Vermessung von optischen undtechnischen Oberflächen sowie deren Oberflächenveränderungenzielgerichtet einzusetzen.

13. Inhalt: Grundlagen der geometrischen Optik: - optische Komponenten- optische SystemeGrundlagen der Wellenoptik: - Wellentypen- Interferenz und Kohärenz- Beugung und Auflösungsvermögen

Page 55: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 55 von 497

HolografieSpeckleMessfehlerGrundprinzipien und Klassifikation optischerMesstechnikenKomponenten optischer Messsysteme: - Lichtquellen- Lichtmodulatoren- Auge und DetektorenMessmethoden auf Basis der geometrischen Optik: - Strukturierte Beleuchtung- Moiré- Messmikroskope und MessfernrohreMessmethoden auf Basis der Wellenoptik: - interferometrische Messtechniken- Interferenzmikroskopie- holografische Interferometrie- Speckle-Messtechniken- Laufzeittechniken

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung;

Pedrotti, F.; et al: Optik für Ingenieure. Springer Verlag,Berlin 2002;

Hecht, E.: Optik. Oldenbourg Verlag, München 2001.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 337101 Vorlesung Optische Messtechnik und Messverfahren• 337102 Übung Optische Messtechnik und Messverfahren

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33711 Optische Messtechnik und Messverfahren (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 56: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 56 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement

Page 57: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 57 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik

Page 58: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 58 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 59: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 59 von 497

140 Gruppe 4: Spezifische Anwendungen

Zugeordnete Module: 32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme32220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik

Page 60: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 60 von 497

Modul: 32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme

2. Modulkürzel: 052110003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Joachim Burghartz

9. Dozenten: Joachim Burghartz

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 4: Spezifische Anwendungen

11. Empfohlene/Voraussetzungen: V/Ü Grundlagen der Mikroelektronikfertigung (Empfehlung)

12. Lernziele: Vermittlung weiterführender Kenntnisse der wichtigsten Technologienund Techniken in der Elektronikfertigung

13. Inhalt: Die Vorlesung bietet eine fundierte und praxisbezogene Einführung indie Herstellung von Mikrochips und die besonderen Aspekte beim Testmikroelektronischer Schaltungen sowie dem Verpacken der Chips in IC-Gehäuse.

• Grundlagen der Mikroelektronik• Lithografieverfahren• Wafer-Prozesse• CMOS-Gesamtprozesse• Packaging und Test• Qualität und Zuverlässigkeit

14. Literatur: - D. Neamon:Semiconductor Physics and Devices; Mc Graw-Hill, 2002- S. Wolf: Silicon Processing for the VLSI Era, Vol. 2; Lattice Press, 1990- S. Sze: Physics of Semiconductor Devices, 2nd Ed. Wiley Interscience,1981- P.E. Allen and D.R. Holberg: CMOS Analog Circuit Design, SaundersCollege Publishing.- L.E. Glasser and D.W. Dobberpuhl: The Design and Aanalysis of VLSICircuits, Addison Wesley.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322501 Vorlesung und Übung Design und Fertigung mikro- undnanoelektronischer Systeme ( Blockveranstaltung)

Page 61: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 61 von 497

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32251 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme(PL), schriftliche Prüfung, 120 Min., Gewichtung: 1.0, oder beigeringer Anzahl Studierender:mündlich, 40 min.

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: PowerPoint

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 62: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 62 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Pflichtmodule mit Wahl

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 63: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 63 von 497

➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik

Page 64: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 64 von 497

➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Mechatronik➞ Vertiefungsmodule➞ Elektrotechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2

Page 65: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 65 von 497

➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

Page 66: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 66 von 497

Modul: 32220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik

2. Modulkürzel: 040900001 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr. Joachim Nagel

9. Dozenten: • Joachim Nagel• Johannes Port

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 4: Spezifische Anwendungen

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden

• besitzen grundlegende Kenntnisse in der biomedizinischenInstrumentierung

• kennen die physikalischen Grundlagen und theoretischen Herleitungenund Annahmen wichtiger biomedizinischer Messverfahren

• haben wesentliche Kenntnisse gängiger bildgebender Verfahren• besitzen fundamentale Kenntnisse der funktionellen Stimulation und

von der Physiologie der zu ersetzenden natürlichen Funktionen• können die Verfahren bewerten und deren Einsatzmöglichkeiten in der

biomedizinischen Technik beurteilen• verfügen über einen wesentlichen Grundwortschatz biomedizinischer

Begriffe• besitzen sowohl grundlegendes theoretisches und praktisches

Fach- und Methodenwissen als auch biologische und medizinischeKenntnisse

• sind in der Lage, eine Verbindung zwischen der Medizin und Biologieeinerseits und den Ingenieurund Naturwissenschaften andererseitsherzustellen sowie neue Kenntnisse von der molekularen Ebene bishin zu gesamten Organsystemen zu erforschen und neue Materialien,Systeme, Verfahren und Methoden zu entwickeln, mit dem Ziel derPrävention, Diagnose und Therapie von Krankheiten sowie derVerbesserung der Patientenversorgung, der Rehabilitation und derLeistungsfähigkeit der Gesundheitssysteme.

13. Inhalt: In dem Modul werden folgende Inhalte vermittelt:

• die besonderen Probleme bei der Messung physiologischerKenngrößen

Page 67: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 67 von 497

• die grundlegenden Eigenschaften biologischer Gewebe• die Besonderheiten der Elektroden und damit die entsprechenden

einzuhaltenden Maßnahmen bei der Ableitung der Signale• die physikalischen Grundlagen wichtiger mechanoelektrischer,

photoelektrischer, elektrochemischer und thermoelektrischer Wandler• die wesentlichen Prinzipien und die biomedizinisch spezifischen

Besonderheiten der Signalerfassung, Signalverarbeitung,Signalverstärkung und Signalübertragung

• allgemeine Eigenschaften des kardiovaskulären und respiratorischenSystems

• Messverfahren kardiovaskulärer Kenngrößen, wie Elektrokardiogramm,Impedanzkardiogramm, Impedanzplethysmogramm,Blutdruckmessung, Blutflussmessung, etc.

• Messverfahren respiratorischer Kenngrößen, wieImpedanzpneumographie, Pneumotachographie, Spirometrie,Ganzkörperplethysmographie, etc.

• Messverfahren biochemischer Kenngrößen, wie pH-Wert-Messung,Ionenkonzentrationsmessung, Sauerstoffmessung, etc.

• Messverfahren neurologischer Kenngrößen, wie dasElektroenzephalogramm, Elektroneurogramm, Evozierte Potentiale,etc.

• Messverfahren visueller Kenngröße, wie das Elektrookulogramm,das Elektroretinogramm, etc., - wichtige physikalische, akustischeKenngrößen

• Messverfahren akustischer Kenngrößen, wie das Audiogramm,otoakustisch evozierte Potentiale, Elektrocochleogramm, etc.

• Messverfahren weiterer wichtiger Kenngrößen, wie dasElektromyogramm, Elektronystagmogramm, etc.

• Bildgebende Verfahren, wie die Röntgentechnik, Ultraschall,Magnetresonanztechnik, Endoskopietechnik, Thermographie, etc.

• Beispiele für Implantate und Funktionsersatz, wie das Cochlea-Implantat, Mittelohrprothese, Hörgeräte, Herzschrittmacher,Herzklappenersatz, etc.

• Beispiele aktueller Forschung, wie das Brain- Computer Interface,biohybride Armprothese, etc..

14. Literatur: • Port, J.: Biomedizinische Technik I + II. Vorlesungsskript undVorlesungsfolien

• Bronzino, J.: The Biomedical Engineering Handbook I+II, 2. Auflage,Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2000

• Wintermantel, E., Ha, S.-W.: Medizintechnik: Life Science Engineering,5. Auflage, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2009

• Kramme, R.: Medizintechnik, 3. Auflage, Springer- Verlag, 2007• Schmidt, R., Lang, F.: Physiologie des Menschen, 30. Auflage,

Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007• Eichmeier, J.: Medizinische Elektronik, 3. Auflage, Springer-Verlag

Berlin Heidelberg, 1997• Czichos, H., Hennecke, M., Hütte: Das Ingenieurwissen, 33. Auflage,

Springer-Verlag Berlin• Heidelberg, 2008 - Dössel, O.: Bildgebende Verfahren in der Medizin,

Springer-Verlag Berlin• Heidelberg, 2000 - Kalender, W.: Computertomographie. Grundlagen,

Gerätetechnologie, Bildqualität, Anwendungen, 2. Auflage, PublicisCorporate Publishing Verlag, 2006

• Pschyrembel, Klinisches Wörterbuch, 261. Auflage, Walter de Gruyter-Verlag, 2007

• Bannwarth, H., Kremer, B. P., Schulz, A.: Basiswissen Physik, Chemieund Biochemie, Springer- Verlag Berlin Heidelberg, 2007

Page 68: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 68 von 497

• Brdicka, R.: Grundlagen der physikalischen Chemie, 15. Auflage,Wiley-VCH-Verlag, 1990

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322201 Vorlesung Biomedizinische Technik I und II und 2-tägigeExkursion

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 58 StundenSelbststudium: 122 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32221 Grundlagen der Biomedizinischen Technik (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamer-Präsentation, Overhead-Projektor, Tafel

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 69: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 69 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement

Page 70: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 70 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 71: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 71 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 72: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 72 von 497

Modul: 33920 Industriepraktikum Maschinenbau

2. Modulkürzel: 072410017 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 12.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 0.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr.-Ing. Thomas Bauernhansl

9. Dozenten:

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Im Verlauf des Studiengangs soll das Industriepraktikum dasStudium ergänzen und erworbene theoretische Kenntnisse in ihremPraxisbezug vertiefen. Die Praktikanten haben im Fachpraktikumdie Möglichkeit, einzelne der Fertigung vor- bzw. nachgeschalteteBereiche kennenzulernen und dabei ihr im Studium erworbenesWissen, beispielsweise durch Einbindung in Projektarbeit, umzusetzen.Ein weiterer Aspekt liegt im Erfassen der soziologischen Seite desBetriebsgeschehens. Die Praktikanten müssen den Betrieb auch alsSozialstruktur verstehen und das Verhältnis zwischen Führungskräftenund Mitarbeitern kennenlernen, um so ihre künftige Stellung undWirkungsmöglichkeit richtig einzuordnen.

13. Inhalt: Siehe Praktikantenrichtlinien Machinenbau

14. Literatur:

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 339201 33920

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: 360 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33921 Industriepraktikum Maschinenbau (USL), schriftlich, eventuellmündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 73: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 73 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule

B.Sc. Mechatronik

Page 74: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 74 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule

Page 75: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 75 von 497

200 Spezialisierungsmodule

Zugeordnete Module: 210 Biomedizinische Technik220 Elektronikfertigung230 Feinwerktechnik240 Laser in der Materialbearbeitung270 Medizingerätetechnik250 Mikrosystemtechnik260 Technische Optik

Page 76: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 76 von 497

210 Biomedizinische Technik

Zugeordnete Module: 213 Ergänzungsfächer mit 3 LP211 Kernfächer mit 6 LP212 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP33510 Praktikum Biomedizinischen Technik

Page 77: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 77 von 497

213 Ergänzungsfächer mit 3 LP

Zugeordnete Module: 33480 Biomedizinische Gerätetechnik33500 Grundlagen der medizinischen Strahlentechnik33490 Klinische Dosimetrie und Bestrahlungsplanung30710 Strahlenschutz33470 Übungen zur Biomedizinischen Technik

Page 78: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 78 von 497

Modul: 33480 Biomedizinische Gerätetechnik

2. Modulkürzel: 040900006 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr. Joachim Nagel

9. Dozenten:

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Lernziele sind:

• Die Studierenden haben einen Basiswortschatz medizinischerTerminologie erworben,

• sie besitzen grundlegende Kenntnisse der Beatmungs-/Narkosetechnik,

• sowie Kenntnisse zu den wichtigsten Gewebedissektionsverfahren,• sie kennen das Basisinstrumentarium der minimal invasiven Chirurgie,• sie haben die theoretischen Grundkenntnisse des Kardiotechnikers

erworben,• sie besitzen Grundkenntnisse medizinischinterventioneller

Robotiksysteme und entsprechender Anforderungen an die Systeme,• sie haben ein Verständnis von medizintechnischen

Entwicklungsschwerpunkten und der notwendigen Komplexitätklinischer Medizingeräte erworben.

13. Inhalt: Erfordernisse technischer Geräte im klinischen Einsatzbereich; Mittelder Ingenieurwissenschaft (mit Schwerpunkt Maschinenbau) werden aufkonkrete medizinische Problemstellungen übertragen und angewendet:

- Einführung in die Beatmungs-/Narkosetechnik,- Grundlagen der Chirurgietechnik, Schwerpunkt minimal invasiveChirurgie, mit Anwendungsbeispielen- Einführung in das theoretische Basiswissen des Kardiotechnikers mitAnwendungsbeispielen- Grundlagen der medizinisch-interventionellen Robotertechnik mitAnwendungsbeispielen

14. Literatur: - Vorlesungsskriptum- Kumar, S.; Marescaux, J.: Telesurgery. Springer Verlag, 2008- Pschyrembel. Klinisches Wörterbuch. 261. Auflage, Verlag Walter deGruyter, 2007- Lippert, H.; Herbold, D.; Lippert-Burmester, W.: Anatomie. Text u. Atlas.8. Aufl., Verlag Urban & Fischer bei Elsevier, 2006- Huch, R.; Jürgens, K. D.: Mensch, Körper, Krankheit. 5. Aufl., VerlagUrban & Fischer b. Elsevier, 2007- Liehn, M.; Steinmüller, L.; Middelanis-Neumann, I.: OP-Handbuch. 4.Aufl., Springer Verlag, 2007- Lauterbach, G.: Handbuch der Kardiotechnik. 4. Auflage, Verlag Urban& Fischer b. Elsevier,2002- Rathgeber, J.; Züchner, K.: Grundlagen der maschinellen Beatmung.Aktiv Druck & Verlag, 1999

Page 79: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 79 von 497

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 334801 Vorlesung Biomedizinische Gerätetechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33481 Biomedizinische Gerätetechnik (BSL), mündliche Prüfung, 20Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamer-Präsentation, Overhead-Projektor, Tafel

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement

Page 80: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 80 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

Page 81: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 81 von 497

Modul: 33500 Grundlagen der medizinischen Strahlentechnik

2. Modulkürzel: 041610008 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Eckart Laurien

9. Dozenten: Gerhard Pfister

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Ingenieurwissenschaftliche Grundlagen, Grundlagen in Mathematik,Physik

12. Lernziele: Im Rahmen des Moduls sollen die Grundlagen der verschiedenenStrahlungsarten, der eingesetzten technischen Bestrahlungsgeräte unddie biologischen Auswirkungen auf menschliches Gewebe erarbeitetwerden.

13. Inhalt: • Anwendungen ionisierender Strahlen in der medizinischen Diagnostikund Therapie• Vorstellung der technischen Bestrahlungsgeräte• Physikalische Einflüsse auf die Bildqualität bei diagnostischenUntersuchungen• Überblick über die Methoden der Strahlentherapie• Biologische Wirkungen bei kleinen und großen Strahlendosen

14. Literatur:

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 335001 Vorlesung Grundlagen der medizinischen Strahlentechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 25 hSelbststudiumzeit / Nachbearbeitungszeit / Prüfungsvorbereitung:65 hGesamt: 90 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33501 Grundlagen der medizinischen Strahlentechnik(BSL), schriftliche Prüfung, 60 Min., Gewichtung: 1.0,(gegebenenfalls mündlich)

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: PPT-Präsentationen, PPT-Skripte zur Vorlesung

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

Page 82: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 82 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module

Page 83: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 83 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

Page 84: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 84 von 497

Modul: 33490 Klinische Dosimetrie und Bestrahlungsplanung

2. Modulkürzel: 040900007 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr. Joachim Nagel

9. Dozenten: Christian Gromoll

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden

• besitzen grundlegende Kenntnisse in der strahlentherapeutischenInstrumentierung

• kennen die wichtigsten Geräte zur klinischen Strahlentherapie sowiederen Aufbau und Wirkungsweise

• besitzen grundlegende Kenntnisse der klinischen Dosimetrie• kennen die physikalischen Grundlagen und theoretischen Herleitungen

und Annahmen zur Dosimetrie,• sind vertraut mit der praktischen Durchführung der Dosimetrie von

Photonen• besitzen grundlegende Kenntnisse der klinischen Bestrahlungsplanung• sind vertraut mit dem Ablauf der Bestrahlungsplanung• kennen die physikalischen Grundlagen und theoretischen Herleitungen

der Algorithmen• können die Verfahren bewerten und deren Einsatzmöglichkeiten in der

Strahlentherapie beurteilen• verfügen über einen wesentlichen Grundwortschatz

strahlentherapeutischer Begriffe• besitzen sowohl grundlegendes theoretisches und praktisches

Fach- und Methodenwissen als auch biologische und medizinischeKenntnisse

• sind in der Lage, eine Verbindung zwischen der Medizin und Biologieeinerseits und den Ingenieurund Naturwissenschaften andererseitsherzustellen sowie neue Kenntnisse von der molekularen Ebene bishin zu gesamten Organsystemen zu erforschen und neue Materialien,Systeme, Verfahren und Methoden zu entwickeln, mit dem Ziel derPrävention, Diagnose und Therapie von Krankheiten sowie derVerbesserung der Patientenversorgung, der Rehabilitation und derLeistungsfähigkeit der Gesundheitssysteme.

13. Inhalt: In dem Modul werden folgende Inhalte vermittelt:- Aufbau und Funktion von strahlentherapeutischen Anlagen,- prinzipieller Aufbau von Elektronenbeschleunigern- Gerätesicherheit und Strahlenschutz,- Wechselwirkung ionisierender Strahlung mit Materie,- physikalische Grundlagen der Messung ionisierender Strahlung,- Dosimetrie nach der Sondenmethode,- klinische Dosimetrie nach int. Dosimetrieprotokollen (DIN6800-2,AAPM-TG43),- die grundlegenden Eigenschaften biologischer Gewebe,

Page 85: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 85 von 497

- Bildgebende Verfahren in der Bestrahlungsplanung,wie dieComputertomografie,Magnetresonanztechnik, PET,- Techniken zur Bestrahlungsplanung,- Beschreibung der wichtigsten Algorithmen zur Bestrahlungsplanung,- Grundzüge der Strahlenbiologie zum Verständnis der Strahlentherapie,- Tumorschädigung und Nebenwirkungen,- Neue Techniken (IMRT, Hadronen, nuklearmedizinischeTherapieansätze, etc.)

14. Literatur: • Gromoll, Ch.: Klinische Dosimetrie und Bestrahlungsplanung,Vorlesungsskript und Vorlesungsfolien,

• Reich, H.: Dosimetrie ionisierender Strahlung, B.G. Teubner, Stuttgart,1990

• Krieger, H.: Grundlagen der Strahlungsphysik und desStrahlenschutzes: Vieweg+Teubner, Stuttgart, 2009

• Smith, R.: Radiation Therapy Physics: Springer, 1995• Richter, J. und Flentje, M.: Strahlenphysik für die Radioonkologie:

Thieme, Stuttgart, 1998• Bille, J. und Schlegel, W.: Medizinische Physik Band 1: Grundlagen,

Springer, 1999• Schlegel, W. und Bille, J.: Medizinische Physik Band 2: Medizinische

Strahlenphysik, Springer, 2002,• Steel, G.G.: Basic Clinical Radiobiology, Oxford University Press, New

York, 2002• Pschyrembel, Klinisches Wörterbuch, 261. Auflage, Walter de Gruyter-

Verlag, 2007.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 334901 Vorlesung Klinische Dosimetrie und Bestrahlungsplanung

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33491 Klinische Dosimetrie und Bestrahlungsplanung (BSL),mündliche Prüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 86: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 86 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau

Page 87: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 87 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

Page 88: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 88 von 497

Modul: 30710 Strahlenschutz

2. Modulkürzel: 041610005 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Eckart Laurien

9. Dozenten: Gerhard Pfister

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Ingenieurwissenschaftliche Grundlagen, Grundlagen in Mathematik,Physik

12. Lernziele: Im Rahmen der Vorlesung werden die Grundlagen der verschiedenenStrahlenarten, deren Erzeugung und physikalische und biologischeWechselwirkungen erarbeitet. Die gesetzlichen Regelungen imStrahlenschutz werden vorgestellt. Lernziel ist ein fundierter Überblickzu ionisierender Strahlung im Arbeits-, Umwelt- und Patientenschutz inMedizin und Technik.

13. Inhalt: • Physikalische Grundlagen zu ionisierender Strahlung• Strahlenmesstechnik• Gesetzliche Grundlagen zu Strahlenschutz• Natürliche und zivilisatorische Strahlenbelastung• Ausbreitung radioaktiver Stoffe in die Umwelt• Radiologische Auswirkung von Emissionen• Biologische Strahlenwirkung

14. Literatur:

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 307101 Vorlesung Strahlenschutz

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 hSelbststudiumzeit: 69 hGesamt: 90 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 30711 Strahlenschutz (BSL), mündliche Prüfung, 60 Min.,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: PPT-Präsentationen, PPT-Skripte zu Vorlesungen

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik

Page 89: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 89 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Energietechnik➞ Fachspezifisches Spezialisierungsfach➞ Kernenergietechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Energietechnik➞ Spezialisierungsfach mit Querschnittscharakter➞ Energie und Umwelt➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Umweltschutztechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Umweltschutztechnik

M.Sc. Umweltschutztechnik➞ Studienrichtung Energie➞ Masterfach Umweltschutz in der Energieerzeugung➞ Spezialisierungsmodule Umweltschutz in der Energieerzeugung

M.Sc. Umweltschutztechnik➞ Wahlmodule➞ Spezialisierungsmodule (Wahlmodule)

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

Page 90: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 90 von 497

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Energietechnik➞ Kernenergietechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Energietechnik➞ Kernenergietechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Erneuerbare Energien➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

Page 91: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 91 von 497

Modul: 33470 Übungen zur Biomedizinischen Technik

2. Modulkürzel: 040900002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Johannes Port

9. Dozenten: Johannes Port

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Modul 040900001, d.h. die Vorlesungen 36478 und 36496Biomedizinische Technik I und II, 4 SWS

12. Lernziele: Die Studierenden

• besitzen grundlegende Kenntnisse in der biomedizinischenInstrumentierung

• kennen die physikalischen Grundlagen und theoretischen Herleitungenund Annahmen wichtiger biomedizinischer Messverfahren

• haben wesentliche Kenntnisse gängiger bildgebender Verfahren• besitzen fundamentale Kenntnisse der funktionellen Stimulation und

von der Physiologie der zu ersetzenden natürlichen Funktionen• können die Verfahren bewerten und deren Einsatzmöglichkeiten in der

biomedizinischen Technik beurteilen• verfügen über einen wesentlichen Grundwortschatz biomedizinischer

Begriffe• besitzen sowohl grundlegendes theoretisches und praktisches

Fach- und Methodenwissen als auch biologische und medizinischeKenntnisse

• sind in der Lage, eine Verbindung zwischen der Medizin und Biologieeinerseits und den IngenieurModulhandbuch und Naturwissenschaftenandererseits herzustellen sowie neue Kenntnisse von der molekularenEbene bis hin zu gesamten Organsystemen zu erforschen und neueMaterialien, Systeme, Verfahren und Methoden zu entwickeln, mit demZiel der Prävention, Diagnose und Therapie von Krankheiten sowieder Verbesserung der Patientenversorgung, der Rehabilitation und derLeistungsfähigkeit der Gesundheitssysteme.

13. Inhalt: In den Übungen werden folgende Inhalte vermittelt:

• theoretische Grundlagen der Ionenkonzentrationsbestimmung• Berechnung charakteristischer Kennwerte der Hautimpedanz• Berechnung charakteristischer Kennwerte von Druckwandlern• Berechnung charakteristischer Kennwerte von Verstärkern• Berechnung charakteristischer Kennwerte von Ultraschall• theoretische Bestimmung der Belastung der Bandscheiben• umfangreiche praktische Messungen verschiedener physiologischer

Kenngrößen sowie Interpretation bzw. Analyse der Ergebnisse undProbleme

• praktische Übungen zur Signalverarbeitung• ausgewählte Anwendungsbeispiele von biomedizinischer Technik in

der klinischen Praxis (Klinikbesuche).

Page 92: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 92 von 497

14. Literatur: • Port, J.: Biomedizinische Technik I + II. Vorlesungsskript undVorlesungsfolien, Skripten für die theoretischen und praktischenÜbungen

• Bronzino, J.: The Biomedical Engineering Handbook I+II, 2. Auflage,Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2000

• Wintermantel, E., Ha, S.-W.: Medizintechnik: Life Science Engineering,5. Auflage, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2009

• Kramme, R.: Medizintechnik, 3. Auflage, Springer- Verlag, 2007• Schmidt, R., Lang, F.: Physiologie des Menschen, 30. Auflage,

Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007• Eichmeier, J.: Medizinische Elektronik, 3. Auflage, Springer-Verlag

Berlin Heidelberg, 1997• Czichos, H., Hennecke, M., Hütte: Das Ingenieurwissen, 33. Auflage,

Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2008• Dössel, O.: Bildgebende Verfahren in der Medizin, Springer-Verlag

Berlin Heidelberg, 2000• Kalender, W.: Computertomographie. Grundlagen, Gerätetechnologie,

Bildqualität, Anwendungen, 2. Auflage, Publicis Corporate PublishingVerlag, 2006

• Pschyrembel, Klinisches Wörterbuch, 261. Auflage, Walter de Gruyter-Verlag, 2007

• Bannwarth, H., Kremer, B. P., Schulz, A.: Basiswissen Physik, Chemieund Biochemie, Springer- Verlag Berlin Heidelberg, 2007

• Brdicka, R.: Grundlagen der physikalischen Chemie, 15. Auflage,Wiley-VCH-Verlag, 1990

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 334701 Übungen Biomedizinischen Technik I + II

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 Stunden Selbststudium: 69 Stunden Summe: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33471 Übungen zur Biomedizinischen Technik (BSL), mündlichePrüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Beamer-Präsentation, Overhead-Projektor

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 93: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 93 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 94: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 94 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

Page 95: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 95 von 497

211 Kernfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 32220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik

Page 96: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 96 von 497

Modul: 32220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik

2. Modulkürzel: 040900001 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr. Joachim Nagel

9. Dozenten: • Joachim Nagel• Johannes Port

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 4: Spezifische Anwendungen

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden

• besitzen grundlegende Kenntnisse in der biomedizinischenInstrumentierung

• kennen die physikalischen Grundlagen und theoretischen Herleitungenund Annahmen wichtiger biomedizinischer Messverfahren

• haben wesentliche Kenntnisse gängiger bildgebender Verfahren• besitzen fundamentale Kenntnisse der funktionellen Stimulation und

von der Physiologie der zu ersetzenden natürlichen Funktionen• können die Verfahren bewerten und deren Einsatzmöglichkeiten in der

biomedizinischen Technik beurteilen• verfügen über einen wesentlichen Grundwortschatz biomedizinischer

Begriffe• besitzen sowohl grundlegendes theoretisches und praktisches

Fach- und Methodenwissen als auch biologische und medizinischeKenntnisse

• sind in der Lage, eine Verbindung zwischen der Medizin und Biologieeinerseits und den Ingenieurund Naturwissenschaften andererseitsherzustellen sowie neue Kenntnisse von der molekularen Ebene bishin zu gesamten Organsystemen zu erforschen und neue Materialien,Systeme, Verfahren und Methoden zu entwickeln, mit dem Ziel derPrävention, Diagnose und Therapie von Krankheiten sowie derVerbesserung der Patientenversorgung, der Rehabilitation und derLeistungsfähigkeit der Gesundheitssysteme.

13. Inhalt: In dem Modul werden folgende Inhalte vermittelt:

• die besonderen Probleme bei der Messung physiologischerKenngrößen

Page 97: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 97 von 497

• die grundlegenden Eigenschaften biologischer Gewebe• die Besonderheiten der Elektroden und damit die entsprechenden

einzuhaltenden Maßnahmen bei der Ableitung der Signale• die physikalischen Grundlagen wichtiger mechanoelektrischer,

photoelektrischer, elektrochemischer und thermoelektrischer Wandler• die wesentlichen Prinzipien und die biomedizinisch spezifischen

Besonderheiten der Signalerfassung, Signalverarbeitung,Signalverstärkung und Signalübertragung

• allgemeine Eigenschaften des kardiovaskulären und respiratorischenSystems

• Messverfahren kardiovaskulärer Kenngrößen, wie Elektrokardiogramm,Impedanzkardiogramm, Impedanzplethysmogramm,Blutdruckmessung, Blutflussmessung, etc.

• Messverfahren respiratorischer Kenngrößen, wieImpedanzpneumographie, Pneumotachographie, Spirometrie,Ganzkörperplethysmographie, etc.

• Messverfahren biochemischer Kenngrößen, wie pH-Wert-Messung,Ionenkonzentrationsmessung, Sauerstoffmessung, etc.

• Messverfahren neurologischer Kenngrößen, wie dasElektroenzephalogramm, Elektroneurogramm, Evozierte Potentiale,etc.

• Messverfahren visueller Kenngröße, wie das Elektrookulogramm,das Elektroretinogramm, etc., - wichtige physikalische, akustischeKenngrößen

• Messverfahren akustischer Kenngrößen, wie das Audiogramm,otoakustisch evozierte Potentiale, Elektrocochleogramm, etc.

• Messverfahren weiterer wichtiger Kenngrößen, wie dasElektromyogramm, Elektronystagmogramm, etc.

• Bildgebende Verfahren, wie die Röntgentechnik, Ultraschall,Magnetresonanztechnik, Endoskopietechnik, Thermographie, etc.

• Beispiele für Implantate und Funktionsersatz, wie das Cochlea-Implantat, Mittelohrprothese, Hörgeräte, Herzschrittmacher,Herzklappenersatz, etc.

• Beispiele aktueller Forschung, wie das Brain- Computer Interface,biohybride Armprothese, etc..

14. Literatur: • Port, J.: Biomedizinische Technik I + II. Vorlesungsskript undVorlesungsfolien

• Bronzino, J.: The Biomedical Engineering Handbook I+II, 2. Auflage,Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2000

• Wintermantel, E., Ha, S.-W.: Medizintechnik: Life Science Engineering,5. Auflage, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2009

• Kramme, R.: Medizintechnik, 3. Auflage, Springer- Verlag, 2007• Schmidt, R., Lang, F.: Physiologie des Menschen, 30. Auflage,

Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007• Eichmeier, J.: Medizinische Elektronik, 3. Auflage, Springer-Verlag

Berlin Heidelberg, 1997• Czichos, H., Hennecke, M., Hütte: Das Ingenieurwissen, 33. Auflage,

Springer-Verlag Berlin• Heidelberg, 2008 - Dössel, O.: Bildgebende Verfahren in der Medizin,

Springer-Verlag Berlin• Heidelberg, 2000 - Kalender, W.: Computertomographie. Grundlagen,

Gerätetechnologie, Bildqualität, Anwendungen, 2. Auflage, PublicisCorporate Publishing Verlag, 2006

• Pschyrembel, Klinisches Wörterbuch, 261. Auflage, Walter de Gruyter-Verlag, 2007

• Bannwarth, H., Kremer, B. P., Schulz, A.: Basiswissen Physik, Chemieund Biochemie, Springer- Verlag Berlin Heidelberg, 2007

Page 98: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 98 von 497

• Brdicka, R.: Grundlagen der physikalischen Chemie, 15. Auflage,Wiley-VCH-Verlag, 1990

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322201 Vorlesung Biomedizinische Technik I und II und 2-tägigeExkursion

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 58 StundenSelbststudium: 122 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32221 Grundlagen der Biomedizinischen Technik (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamer-Präsentation, Overhead-Projektor, Tafel

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 99: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 99 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement

Page 100: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 100 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 101: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 101 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 102: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 102 von 497

212 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 32920 Bildgebende Verfahren und Bildverarbeitung in der Medizin32930 Biologische Informations-, Kommunikations- und Regelsysteme32220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik

Page 103: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 103 von 497

Modul: 32920 Bildgebende Verfahren und Bildverarbeitung in der Medizin

2. Modulkürzel: 040900003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr. Joachim Nagel

9. Dozenten: Joachim Nagel

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Bildgebende Verfahren in der Medizin

• haben die Studenten grundlegende Kenntnisse der bildgebendenVerfahren erworben;

• haben die Studierenden die physikalischen und technischen Prinzipiender bildgebenden Verfahren, Realsierungen der unterschiedlichenSysteme, sowie deren medizinische Anwendungen gelernt;

• haben die Studenten detaillierte Kenntnisse der Computertomographieerworben;

• haben die Studenten grundlegende Kenntnisse der Bildverarbeitungerworben.

Die Studierenden kennen die Verfahren, Realisierungen undAnwendungen von:- traditionellen Röntgen Abbildungen,- Röntgen Computer Tomographie,- Nuklearmedizinische Bildgebungsverfahren,- Magnet-Resonanz Tomographie,- Ultraschall Abbildungsverfahren,- Thermographie,- Impedanz-Tomographie,- Abbildung elektrischer Quellen,- optische Tomographie,- Endoskopie.

Die Studierenden beherrschen:- die Grundlagen der Systemtheorie bildgebender Verfahren, und- Grundlagen der digitalen Bildverarbeitung.

Die Studierenden kennen die biologischen Wirkungen ionisierenderStrahlung und die Grundlagen der Dosimetrie.

13. Inhalt: In dem Modul werden folgende Inhalte vermittelt:

Physikalisch-technische Grundlagen und Realisierungen derBilderzeugung, sowie Anwendung diagnostischer und therapeutischerVerfahren in der Medizin. Inhalte sind: systemtheoretische Grundlagender Bilderzeugung und Bildverarbeitung; Wechselwirkungender in der Medizin genutzten Strahlen und Wellen mit Materie;Bilderzeugung in der Röntgendiagnostik; Grundlagen und Technikender Computertomographie, Rekonstruktionsverfahren; RöntgenCT; nuklearmedizinische Verfahren (planare Szintigraphie, PET;

Page 104: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 104 von 497

SPECT); Kernspintomographie; Impedanz-Tomographie; OptischeTomographie, Endoskopie; bildgebende Ultraschallverfahren;Thermographie; Abbildung bioelektrischer Quellen; ausgewählteAnwendungen der Bildverarbeitung. Es werden die Grundlagen derSystemtheorie bildgebender Verfahren und die Grundlagen der digitalenBildverarbeitung dargelegt. Die biologischen Wirkungen ionisierenderStrahlung und die Grundlagen der Dosimetrie werden analysiert.

14. Literatur: • Nagel, J.: Bildgebende Verfahren in der Medizin. Vorlesungsfolien undInternetquellen

• Dössel, O.: Bildgebende Verfahren in der Medizin, Springer-VerlagBerlin Heidelberg, 2000

• Kalender, W.: Computertomographie. Grundlagen, Gerätetechnologie,Bildqualität, Anwendungen, 2. Auflage, Publicis Corporate PublishingVerlag, 2006

• Morneburg, H.: Bildgebende Systeme für die medizinische Diagnostik,Publicis MCD Verlag, 1995

• Macovski, A.: Medical Imaging, Prentice-Hall, Inc., Englewood Cliffs,1983

• Pschyrembel, Klinisches Wörterbuch, 261. Auflage, Walter de Gruyter-Verlag, 2007

• Bannwarth, H., Kremer, B. P., Schulz, A.: Basiswissen Physik, Chemieund Biochemie, Springer- Verlag Berlin Heidelberg, 2007

• Bronzino, J.: The Biomedical Engineering Handbook I+II, 2. Auflage,Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2000

• Ott, R: Manuskript zur Vorlesung Digitale Bildver arbeitung, Institut fürPhysikalische Elektronik, 1996

• Gonzalez, R.C., Woods, R.E.: Digital Image Processing, 3rd edition,Prentice Hall, 2008

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 329201 Vorlesung Bildgebende Verfahren in der Medizin

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32921 Bildgebende Verfahren und Bildverarbeitung in der Medizin(PL), schriftliche Prüfung, 60 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamer-Präsentation mit Animationen und Filmen, Overhead-Projektorund Tafel

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 105: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 105 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau

Page 106: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 106 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

Page 107: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 107 von 497

Modul: 32930 Biologische Informations-, Kommunikations- undRegelsysteme

2. Modulkürzel: 040900004 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr. Joachim Nagel

9. Dozenten: Joachim Nagel

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Biologische Informations-, Kommunikations-und Regelsysteme haben die Studenten grundlegendeKenntnisse biologischer Informations-, KommunikationsundRegelsysteme erworben; haben die Studierenden die biologischen,physikalischen, biochemischen, und elektrobiologischen Prinzipiender Informationsentstehung und Speicherung, der neurologischenInformationsübertragung sowie der Informationsverarbeitung inneuronalen Netzwerken einschließlich des Gehirns erlernt; habendie Studierenden die unterschiedlichen biologischen Regelkreise immenschlichen Körper verstanden; haben die Studieren eine Vorstellungüber die Funktion des menschlichen Gehirns erworben (wie denkt derMensch?).

Die Studierenden kennen die Grundlagen der Informationsspeicherungund -verarbeitung in der DNS und RNS, die Studierenden haben eintiefgreifendes Wissen über die Funktion von Sensoren zur Erfassungvon Informationen aus der inneren und äußeren Umwelt erworben,sie kennen die Mechanismen der Übertragung und Verarbeitungvon Informationen in einem neuronalen Netzwerk, die Studierendenkennen die Mechanismen eines biologischen Regelkreises, dieStudierenden beherrschen die Grundlagen der Funktionen des Gehirnsund können Prozesse wie Informationsspeicherung (Gedächtnis) undInformationsverarbeitung (Denken) erklären, sowie Parallelen zwischenbiologischen und technischen Systemen aufzeigen.

Die Studierenden haben grundlegende Kenntnisse über diediagnostischen und therapeutischen Anwendungen von Informations-,Kommunikationsund Regelsysteme erworben.

13. Inhalt: In dem Modul werden folgende Inhalte vermittelt:

Kriterien und Elemente lebender Systeme; biologischeInformationsspeicherung, genetischer Code, Proteinsynthese;physikalische, elektrische und chemische Prozesse an der Zellmembran;Reiz- und Informationserzeugung; Übertragung von Information, undPrinzipien der biologischen Informationsverarbeitung; Grundlagender Neurophysiologie und des menschlichen Denkens; motorisches,sensorisches und autonomes Nervensystem; Reflexe; neuronaleund humorale Steuerungs- und Regelprozesse wie kardiovaskulärerRegelkreis und Temperaturregelung; neuronale Netze, Beispiele

Page 108: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 108 von 497

biologischer Nachrichtenverarbeitung; diagnostische und therapeutischeAnwendungen in der Medizin.

14. Literatur: • Nagel, J.: Biologische Informations-, Kommunikations- undRegelsysteme . Vorlesungsfolien und Vorlesungsmanuskript

• Schmidt, R.F. und Thews, G. (Hrsg.): Physiologie des Menschen,Springer Verlag, 26. Auflage, 1995

• Klinke, R. und Silbernagl, S. (Hrsg.): Lehrbuch der Physiologie, GeorgThieme Verlag, 2. Auflage, 1996

• Löffler, G. und Petrides P.E.: Biochemie und Pathobiochemie,Springer-Verlag, 4. Auflage, 1990.

• Kandel, E.R. et al. (Hrsg.): Neurowissenschaften, Eine Einführung,Spektrum Akademischer Verlag, Heidelberg, Berlin, Oxford, 1996.

• Thews, G., Mutschler, E., und Vaupel, P.: Anatomie,Physiologie, Pathophysiologie des Menschen, WissenschaftlicheVerlagsgesellschaft mbH Stuttgart, 1982.

• Mörike, Betz, Mergenthaler: Biologie des Menschen, Quelle & MeyerVerlag, Wiesbaden, 14. Auflage, 1997.

• Gerke, P.R.: Wie denkt der Mensch? Informationstechnik und Gehirn,J.F. Bergmann Verlag, München, 1987.

• Purves, Augustine, Fitzpatrick, Katz, LaMantia, McNamara:Neuroscience, Sinauer Associates, Inc. Publishers, Sunderland,Massachusetts, 1997.

• Bear, M.F., B.W. Connors, B.W. und Paradiso, M.A.: Neuroscience,Exploring the Brain, Williams & Wilkins, 1996.

• Guyton & Hall: Textbook of Medical Physiology, W.B. SaundersCompany, 9. Edition, 1996.

• Bronzino, J.: The Biomedical Engineering Handbook I+II, 2. Auflage,Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2000

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 329301 Vorlesung Biologische Informations-, Kommunikations- undRegelsysteme

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32931 Biologische Informations-, Kommunikations- undRegelsysteme (PL), schriftliche Prüfung, 60 Min., Gewichtung:1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamer-Präsentation mit Animationen und Filmen, Overhead-Projektorund Tafel

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

Page 109: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 109 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

Page 110: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 110 von 497

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

Page 111: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 111 von 497

Modul: 32220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik

2. Modulkürzel: 040900001 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr. Joachim Nagel

9. Dozenten: • Joachim Nagel• Johannes Port

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 4: Spezifische Anwendungen

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden

• besitzen grundlegende Kenntnisse in der biomedizinischenInstrumentierung

• kennen die physikalischen Grundlagen und theoretischen Herleitungenund Annahmen wichtiger biomedizinischer Messverfahren

• haben wesentliche Kenntnisse gängiger bildgebender Verfahren• besitzen fundamentale Kenntnisse der funktionellen Stimulation und

von der Physiologie der zu ersetzenden natürlichen Funktionen• können die Verfahren bewerten und deren Einsatzmöglichkeiten in der

biomedizinischen Technik beurteilen• verfügen über einen wesentlichen Grundwortschatz biomedizinischer

Begriffe• besitzen sowohl grundlegendes theoretisches und praktisches

Fach- und Methodenwissen als auch biologische und medizinischeKenntnisse

• sind in der Lage, eine Verbindung zwischen der Medizin und Biologieeinerseits und den Ingenieurund Naturwissenschaften andererseitsherzustellen sowie neue Kenntnisse von der molekularen Ebene bishin zu gesamten Organsystemen zu erforschen und neue Materialien,Systeme, Verfahren und Methoden zu entwickeln, mit dem Ziel derPrävention, Diagnose und Therapie von Krankheiten sowie derVerbesserung der Patientenversorgung, der Rehabilitation und derLeistungsfähigkeit der Gesundheitssysteme.

13. Inhalt: In dem Modul werden folgende Inhalte vermittelt:

• die besonderen Probleme bei der Messung physiologischerKenngrößen

Page 112: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 112 von 497

• die grundlegenden Eigenschaften biologischer Gewebe• die Besonderheiten der Elektroden und damit die entsprechenden

einzuhaltenden Maßnahmen bei der Ableitung der Signale• die physikalischen Grundlagen wichtiger mechanoelektrischer,

photoelektrischer, elektrochemischer und thermoelektrischer Wandler• die wesentlichen Prinzipien und die biomedizinisch spezifischen

Besonderheiten der Signalerfassung, Signalverarbeitung,Signalverstärkung und Signalübertragung

• allgemeine Eigenschaften des kardiovaskulären und respiratorischenSystems

• Messverfahren kardiovaskulärer Kenngrößen, wie Elektrokardiogramm,Impedanzkardiogramm, Impedanzplethysmogramm,Blutdruckmessung, Blutflussmessung, etc.

• Messverfahren respiratorischer Kenngrößen, wieImpedanzpneumographie, Pneumotachographie, Spirometrie,Ganzkörperplethysmographie, etc.

• Messverfahren biochemischer Kenngrößen, wie pH-Wert-Messung,Ionenkonzentrationsmessung, Sauerstoffmessung, etc.

• Messverfahren neurologischer Kenngrößen, wie dasElektroenzephalogramm, Elektroneurogramm, Evozierte Potentiale,etc.

• Messverfahren visueller Kenngröße, wie das Elektrookulogramm,das Elektroretinogramm, etc., - wichtige physikalische, akustischeKenngrößen

• Messverfahren akustischer Kenngrößen, wie das Audiogramm,otoakustisch evozierte Potentiale, Elektrocochleogramm, etc.

• Messverfahren weiterer wichtiger Kenngrößen, wie dasElektromyogramm, Elektronystagmogramm, etc.

• Bildgebende Verfahren, wie die Röntgentechnik, Ultraschall,Magnetresonanztechnik, Endoskopietechnik, Thermographie, etc.

• Beispiele für Implantate und Funktionsersatz, wie das Cochlea-Implantat, Mittelohrprothese, Hörgeräte, Herzschrittmacher,Herzklappenersatz, etc.

• Beispiele aktueller Forschung, wie das Brain- Computer Interface,biohybride Armprothese, etc..

14. Literatur: • Port, J.: Biomedizinische Technik I + II. Vorlesungsskript undVorlesungsfolien

• Bronzino, J.: The Biomedical Engineering Handbook I+II, 2. Auflage,Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2000

• Wintermantel, E., Ha, S.-W.: Medizintechnik: Life Science Engineering,5. Auflage, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2009

• Kramme, R.: Medizintechnik, 3. Auflage, Springer- Verlag, 2007• Schmidt, R., Lang, F.: Physiologie des Menschen, 30. Auflage,

Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007• Eichmeier, J.: Medizinische Elektronik, 3. Auflage, Springer-Verlag

Berlin Heidelberg, 1997• Czichos, H., Hennecke, M., Hütte: Das Ingenieurwissen, 33. Auflage,

Springer-Verlag Berlin• Heidelberg, 2008 - Dössel, O.: Bildgebende Verfahren in der Medizin,

Springer-Verlag Berlin• Heidelberg, 2000 - Kalender, W.: Computertomographie. Grundlagen,

Gerätetechnologie, Bildqualität, Anwendungen, 2. Auflage, PublicisCorporate Publishing Verlag, 2006

• Pschyrembel, Klinisches Wörterbuch, 261. Auflage, Walter de Gruyter-Verlag, 2007

• Bannwarth, H., Kremer, B. P., Schulz, A.: Basiswissen Physik, Chemieund Biochemie, Springer- Verlag Berlin Heidelberg, 2007

Page 113: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 113 von 497

• Brdicka, R.: Grundlagen der physikalischen Chemie, 15. Auflage,Wiley-VCH-Verlag, 1990

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322201 Vorlesung Biomedizinische Technik I und II und 2-tägigeExkursion

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 58 StundenSelbststudium: 122 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32221 Grundlagen der Biomedizinischen Technik (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamer-Präsentation, Overhead-Projektor, Tafel

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 114: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 114 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement

Page 115: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 115 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 116: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 116 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 117: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 117 von 497

Modul: 33510 Praktikum Biomedizinischen Technik

2. Modulkürzel: 040900008 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr. Joachim Nagel

9. Dozenten: • Joachim Nagel• Johannes Port

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Modul 040900001, d.h. die Vorlesungen 36478 und 36496Biomedizinische Technik I und II, 4 SWS

12. Lernziele: Die Studierenden sind in der Lage, die in den Vorlesungen erworbenentheoretischen Kenntnisse in der Erfassung biomedizinischerKenngrößen anzuwenden und in der Praxis umzusetzen. Sie kennen diebesonderen Eigenschaften der Messverfahren und können daher derenAnwendbarkeit bewerten.

13. Inhalt: Nähere Informationen zu den Praktischen Übungen: APMB erhalten Siezudem unterhttp://www.uni-stuttgart.de/mabau/msc/msc_mach/linksunddownloads.html

In den Praktika werden folgende praktische Inhalte in der Bestimmungbiomedizinischer Kenngrößen vermittelt:- Grundlagen der klinischen Photometrie,- Grundlagen der Magnetresonanztomographie,- Grundlagen der Lungenfunktionsdiagnostik,- Grundlagen der Biopotentialmessung,- Grundlagen der nicht invasiven und der invasiven Blutdruckmessung,- Grundlagen des Ultraschalls,- Grundlagen der Audiometrie.

14. Literatur: • Skripten zu den Praktikumsversuchen• Port, J.: Biomedizinische Technik I + II. Vorlesungsskript und

Vorlesungsfolien• Bronzino, J.: The Biomedical Engineering Handbook I+II, 2. Auflage,

Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2000• Wintermantel, E., Ha, S.-W.: Medizintechnik: Life Science Engineering,

5. Auflage, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2009• Kramme, R.: Medizintechnik, 3. Auflage, Springer- Verlag, 2007• Schmidt, R., Lang, F.: Physiologie des Menschen, 30. Auflage,

Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007• Eichmeier, J.: Medizinische Elektronik, 3. Auflage, Springer-Verlag

Berlin Heidelberg, 1997• Czichos, H., Hennecke, M., Hütte: Das Ingenieurwissen, 33. Auflage,

Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2008• Dössel, O.: Bildgebende Verfahren in der Medizin, Springer-Verlag

Berlin Heidelberg, 2000• Kalender, W.: Computertomographie. Grundlagen, Gerätetechnologie,

Bildqualität, Anwendungen, 2. Auflage, Publicis Corporate PublishingVerlag, 2006

Page 118: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 118 von 497

• Pschyrembel, Klinisches Wörterbuch, 261. Auflage, Walter de Gruyter-Verlag, 2007

• Bannwarth, H., Kremer, B. P., Schulz, A.: Basiswissen Physik, Chemieund Biochemie, Springer- Verlag Berlin Heidelberg, 2007

• Brdicka, R.: Grundlagen der physikalischen Chemie, 15. Auflage,Wiley-VCH-Verlag, 1990

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 335101 Spezialisierungsfachversuch 1• 335102 Spezialisierungsfachversuch 2• 335103 Spezialisierungsfachversuch 3• 335104 Spezialisierungsfachversuch 4• 335105 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 1• 335106 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 2• 335107 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 3• 335108 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 4

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33511 Praktikum Biomedizinischen Technik (USL), schriftlich,eventuell mündlich, Gewichtung: 1.0, USL.Art und Umfangwird zu Beginn des Moduls bekannt gegeben

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

Page 119: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 119 von 497

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Spezialisierungsfächer A (ING)➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Spezialisierungsmodule➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 120: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 120 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

Page 121: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 121 von 497

220 Elektronikfertigung

Zugeordnete Module: 223 Ergänzungsfächer mit 3 LP221 Kernfächer mit 6 LP222 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP33290 Praktikum Mikroelektronikfertigung

Page 122: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 122 von 497

223 Ergänzungsfächer mit 3 LP

Zugeordnete Module: 33450 Elektronik für Mikrosystemtechniker33770 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II

Page 123: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 123 von 497

Modul: 33450 Elektronik für Mikrosystemtechniker

2. Modulkürzel: 073400004 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Rainer Mohr

9. Dozenten: Rainer Mohr

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Ziel ist es, den Studierenden elektronische Schaltungstechnikzu vermitteln. Dabei liegt der Schwerpunkt auf Schaltungen derMikrosystemtechnik: Analoge Signalverarbeitung, Sensorik,Stromversorgungen batteriebetriebener Geräte.

Die Studierenden sind in der Lage- Einfache Schaltungen zu dimensionieren- Schaltbilder zu lesen und zu verstehen- elektrische Messtechnik durchzuführen- ein Schaltungssimulationsprogramm zu bedienen

13. Inhalt: Einfache Stromkreise, Elektrische Netzwerke, Wechselstromlehre,Signalverarbeitung, Verstärker, Analoge integrierte Schaltungen(Operationsverstärker), Sensorsignalverarbeitung, Oszillatoren,Schwingschaltungen, Stromversorgungen, Rauschen,Elektromagnetische Verträglichkeit, Schaltungsbeispiele

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung, Literatur zu den einzelnen Kapiteln(Literaturverzeichnis im Manuskript)

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 334501 Vorlesung (inkl. Elektronikpraktikum) Elektronik fürMikrosystemtechniker

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33451 Elektronik für Mikrosystemtechniker (BSL), mündlichePrüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel

20. Angeboten von:

Page 124: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 124 von 497

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

Page 125: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 125 von 497

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 126: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 126 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 127: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 127 von 497

Modul: 33770 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II

2. Modulkürzel: 072420004 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: Hermann Sandmaier

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

12. Lernziele: Im Modul Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II

• haben die Studierenden die Technologien der Oberflächen-und Bulkmikromechanik sowie die Röntgenlithographie und dasLIGA Verfahren zur Herstellung von Bauelementen der NanoundMikrosystemtechnik vertiefend kennen gelernt,

• können die Studierenden die Prozessverfahren bewerten und sind inder Lage Prozessabläufe selbstständig zu entwerfen.

Erworbene Kompetenzen:

Die Studierenden

• können die Verfahren der Oberflächen- und Bulkmikromechanik sowiedie Röntgenlithographie und das LIGA-Verfahren benennen und mitHilfe physikalischer Grundlagenkenntnisse erläutern,

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens zur Herstellung von mikrotechnischen Bauelementen aufder Basis der oben genannten Technologien

• haben ein Gefühl für den Aufwand der einzelnen Verfahren entwickelnkönnen,

• sind mit den technologischen Grenzen der Verfahren vertraut undkönnen diese bewerten,

• sind in der Lage, auf der Basis gegebener technologischer undwirtschaftlicher Randbedingungen einen kompletten Prozessablauf zurHerstellung von mikrotechnischen Bauelementen und Systemen zuentwerfen.

13. Inhalt: Die Vorlesung vermittelt den Studierenden die Grundlagen, umdie spezifischen Prozessabläufe zur Herstellung von modernenBauelementen der Mikrosystemtechnik zu verstehen. Nach einer kurzenEinführung in die Thematik werden die Oberflächenmikromechanik(OMM), die Bulkmikromechanik (BMM), die Röntgenlitho-graphie und das LIGA-Verfahren ausführlich behandelt, und dieGrundlagen zu den einzelnen technologischen Prozessen vermittelt.Anhand von Anwendungsbeispielen wird gezeigt, wie durch einegeschickte Aneinanderreihung der einzelnen Prozesse komplexe

Page 128: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 128 von 497

Bauelemente der Nano- und Mikrosystemtechnik, wie z.B. Druck-,Beschleunigungssensoren und das Digital Mirror Device (DMD)hergestellt werden können.

14. Literatur: - Menz, W.; Mohr, J.; Paul, O., Mikrosystemtechnik für Ingenieure,Weinheim: Wiley-VCH, 2005- Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, 2. Auflage, Boca Raton:crcpress, 1997- Bhushan, B., Handbook of Nanotechnology, Springer, 2003- Völklein, F.; Zetterer T., Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage,Wiesbaden, Vieweg,2006- Schwesinger N.; Dehne C.; Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,Oldenburg Verlag, 2009- Handouts und CD zur Vorlesung

Online-Vorlesungen:- http://www.sensedu.com- http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 337701 Vorlesung Technologien der Nano- und MikrosystemtechnikII

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33771 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II (BSL),schriftlich, eventuell mündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus BWL

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Spezialisierungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 129: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 129 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module

Page 130: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 130 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 131: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 131 von 497

221 Kernfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme14030 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung

Page 132: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 132 von 497

Modul: 32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme

2. Modulkürzel: 052110003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Joachim Burghartz

9. Dozenten: Joachim Burghartz

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 4: Spezifische Anwendungen

11. Empfohlene/Voraussetzungen: V/Ü Grundlagen der Mikroelektronikfertigung (Empfehlung)

12. Lernziele: Vermittlung weiterführender Kenntnisse der wichtigsten Technologienund Techniken in der Elektronikfertigung

13. Inhalt: Die Vorlesung bietet eine fundierte und praxisbezogene Einführung indie Herstellung von Mikrochips und die besonderen Aspekte beim Testmikroelektronischer Schaltungen sowie dem Verpacken der Chips in IC-Gehäuse.

• Grundlagen der Mikroelektronik• Lithografieverfahren• Wafer-Prozesse• CMOS-Gesamtprozesse• Packaging und Test• Qualität und Zuverlässigkeit

14. Literatur: - D. Neamon:Semiconductor Physics and Devices; Mc Graw-Hill, 2002- S. Wolf: Silicon Processing for the VLSI Era, Vol. 2; Lattice Press, 1990- S. Sze: Physics of Semiconductor Devices, 2nd Ed. Wiley Interscience,1981- P.E. Allen and D.R. Holberg: CMOS Analog Circuit Design, SaundersCollege Publishing.- L.E. Glasser and D.W. Dobberpuhl: The Design and Aanalysis of VLSICircuits, Addison Wesley.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322501 Vorlesung und Übung Design und Fertigung mikro- undnanoelektronischer Systeme ( Blockveranstaltung)

Page 133: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 133 von 497

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32251 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme(PL), schriftliche Prüfung, 120 Min., Gewichtung: 1.0, oder beigeringer Anzahl Studierender:mündlich, 40 min.

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: PowerPoint

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 134: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 134 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Pflichtmodule mit Wahl

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 135: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 135 von 497

➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik

Page 136: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 136 von 497

➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Mechatronik➞ Vertiefungsmodule➞ Elektrotechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2

Page 137: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 137 von 497

➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

Page 138: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 138 von 497

Modul: 14030 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung

2. Modulkürzel: 052110002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Englisch

8. Modulverantwortlicher: Joachim Burghartz

9. Dozenten: Joachim Burghartz

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Studierende kennen wesentliche Grundlagen der Werkstoffe,Prozessschritte, Integrationsprozesse und Volumenproduktionsverfahrenin der Silizium-Technologie

13. Inhalt: • History and Basics of IC Technology• Process Technology I and II• Process Modules• MOS Capacitor• MOS Transistor• Non-Ideal MOS Transistor• Basics of CMOS Circuit Integration• CMOS Device Scaling• Metal-Silicon Contact• Interconnects• Design Metrics• Special MOS Devices• Future Directions

14. Literatur: • D. Neamon:Semiconductor Physics and Devices; Mc Graw-Hill, 2002• S. Wolf: Silicon Processing for the VLSI Era, Vol. 2; Lattice Press, 1990• S. Sze: Physics of Semiconductor Devices, 2nd Ed. Wiley Interscience,

1981• S. Sze: Fundamentals of Semiconductor Fabrication, Wiley

Interscience, 2003

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 140301 Vorlesung und Übung Grundlagen derMikroelektronikfertigung

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42h + Nacharbeitszeit: 138h = 180h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 14031 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung (PL), schriftlich odermündlich, 120 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

Page 139: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 139 von 497

19. Medienform: Beamer, Tafel, persönliche Interaktion

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 6. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 6. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 140: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 140 von 497

➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 141: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 141 von 497

222 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendungmechatronischer Komponenten

33760 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik14030 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung13540 Grundlagen der Mikrotechnik33710 Optische Messtechnik und Messverfahren14230 Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen und Industrieroboter13560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

Page 142: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 142 von 497

Modul: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten

2. Modulkürzel: 072510003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: Wolfgang Schinköthe

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden kennen die Grundlagen der Magnettechnik und-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktive Auslegung,Magnetisierung). Die Studierenden können elektromagnetische Antriebe(rotatorische und lineare Schrittmotoren) vereinfacht berechnen,gestalten und auslegen. Die Studierenden können elektrodynamischeAntriebe (rotatorische und lineare Gleichstromkleinstmotoren) vereinfachtberechnen, gestalten und auslegen. Die Studierenden kennenpiezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik.

13. Inhalt: Behandelt werden feinwerktechnische Antriebe unterschiedlicherWirkprinzipe mit den Schwerpunkten:

• Magnettechnik/-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktiveAuslegung, Magnetisierung)

• Elektromagnetische Antriebe (rotatorische und lineare Schrittmotoren;Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

• Elektrodynamische Antriebe (rotatorische und lineareGleichstromkleinstmotoren; Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

Page 143: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 143 von 497

• Piezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik(neue Werkstoffe in mechatronischen Komponenten, Berechnung,Gestaltung, Anwendung)

• Beispiele zur Realisierung mechatronischer Lösungen in derGerätetechnik. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigen Übungen undPraktika (Spezialisierungsfachpraktika und APMB).

14. Literatur: • Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil 1.Skript zur Vorlesung

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil2 Übung und Praktikumsversuch Piezosysteme/ Ultraschallantriebe.Skript zu Übung und Praktikum

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten -Teil 3 Übung und Praktikumsversuch Lineare Antriebssysteme/Lineardirektantriebe. Skript zu Übung und Praktikum

• Kallenbach, E.; Stölting, H.-D.: Handbuch Elektrische Kleinantriebe.Leipzig: Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag 2011

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 327301 Vorlesung + Übung Aktorik in der Gerätetechnik;Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32731 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Overhead-Projektor, Beamer-Präsentation

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 144: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 144 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik

Page 145: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 145 von 497

➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 146: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 146 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- undProduktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 147: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 147 von 497

Modul: 33760 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien

2. Modulkürzel: 073400002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: Bernhard Polzinger

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Das Modul „Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien“ bildetzusammen mit dem Modul „Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor-und Systemaufbau“ den Kern der Ausbildung in der Gehäuse-, Aufbau-und Verbindungstechnik für Mikrosysteme. Die Studierenden erwerbenKenntnisse über die Technologien und Fertigungsverfahren bei derMontage von Mikrosystemen.

Die Studierenden sollen:

• die wichtigsten Fertigungsverfahren der Aufbau- undVerbindungstechnik kennen und in Abhängigkeit derSystemerfordernisse zu bewerten lernen;

• die Eigenschaften der wichtigen Werkstoffe und deren Einfluss aufQualität und Zuverlässigkeit der Mikrosysteme kennenlernen;

• die wesentlichen technologischen Einflussgrößen der Verfahrenkennenlernen;

• die wichtigsten Merkmale der Fertigungsanlagen kennen und zubewerten lernen;

13. Inhalt: Einführung in die Aufbau- und Verbindungstechnik; Leiterplatten; Lötenund Kleben in der SMDTechnik; Dickschichttechnik; Gehäusearten undTypen; Chipmontage mit Die-Bonden, Drahtbonden, Flip-Chip-Technik,TAB-Bonden; Thermoplastische Systemträger (Moulded InterconnectDevices „MID“) mit Spritzgießtechnik, Zweikomponentenspritzguss- MID-Technik, Laserbasierte MID-Technik; Chemische Metallbeschichtung vonKunststoffen; Chip-und SMD -Montage auf MID; Heißpräge-MID-Technik;Sensoren und Aktoren in MID-Technik; Fügen und Verbinden vonKunststoffbauteilen mit Kleben und Schweißen; Qualitätsmanagement inder Aufbau- und Verbindungstechnik.

Die jeweiligen Lehrinhalte werden anhand von einschlägigen Beispielendiskutiert und veranschaulicht. Die Lehrinhalte werden durch Übungen

Page 148: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 148 von 497

vertieft. In einem praktischen Teil wird der Bezug der Lehrinhalte zurindustriellen Praxis dargestellt.

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 337601 Vorlesung(inkl. ÜB, Pr, Exkursion) Aufbau- undVerbindungstechnik II - Technologien

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33761 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien (PL),schriftlich, eventuell mündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel, Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

Page 149: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 149 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau

Page 150: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 150 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 151: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 151 von 497

Modul: 32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme

2. Modulkürzel: 052110003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Joachim Burghartz

9. Dozenten: Joachim Burghartz

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 4: Spezifische Anwendungen

11. Empfohlene/Voraussetzungen: V/Ü Grundlagen der Mikroelektronikfertigung (Empfehlung)

12. Lernziele: Vermittlung weiterführender Kenntnisse der wichtigsten Technologienund Techniken in der Elektronikfertigung

13. Inhalt: Die Vorlesung bietet eine fundierte und praxisbezogene Einführung indie Herstellung von Mikrochips und die besonderen Aspekte beim Testmikroelektronischer Schaltungen sowie dem Verpacken der Chips in IC-Gehäuse.

• Grundlagen der Mikroelektronik• Lithografieverfahren• Wafer-Prozesse• CMOS-Gesamtprozesse• Packaging und Test• Qualität und Zuverlässigkeit

14. Literatur: - D. Neamon:Semiconductor Physics and Devices; Mc Graw-Hill, 2002- S. Wolf: Silicon Processing for the VLSI Era, Vol. 2; Lattice Press, 1990- S. Sze: Physics of Semiconductor Devices, 2nd Ed. Wiley Interscience,1981- P.E. Allen and D.R. Holberg: CMOS Analog Circuit Design, SaundersCollege Publishing.- L.E. Glasser and D.W. Dobberpuhl: The Design and Aanalysis of VLSICircuits, Addison Wesley.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322501 Vorlesung und Übung Design und Fertigung mikro- undnanoelektronischer Systeme ( Blockveranstaltung)

Page 152: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 152 von 497

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32251 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme(PL), schriftliche Prüfung, 120 Min., Gewichtung: 1.0, oder beigeringer Anzahl Studierender:mündlich, 40 min.

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: PowerPoint

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 153: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 153 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Pflichtmodule mit Wahl

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 154: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 154 von 497

➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik

Page 155: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 155 von 497

➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Mechatronik➞ Vertiefungsmodule➞ Elektrotechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2

Page 156: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 156 von 497

➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

Page 157: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 157 von 497

Modul: 13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik

2. Modulkürzel: 072510002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: • Wolfgang Schinköthe• Eberhard Burkard

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in Konstruktionslehre

12. Lernziele: Fähigkeiten zur Analyse und Lösung von komplexen feinwerktechnischenAufgabenstellungen im Gerätebau unter Berücksichtigung desGesamtsystems, insbesondere unter Berücksichtigung von Präzision,Zuverlässigkeit, Sicherheit, Umgebungs- und Toleranzeinflüssen beimEntwurf von Geräten und Systemen

13. Inhalt: Entwicklung und Konstruktion feinwerktechnischer Geräte und Systememit Betonung des engen Zusammenhangs zwischen konstruktiverGestaltung und zugehöriger Fertigungstechnologie.Methodik der Geräteentwicklung, Ansätze zur kreativen Lösungsfindung,Genauigkeit und Fehlerverhalten in Geräten, Präzisionsgerätetechnik(Anforderungen und Aufbau genauer Geräte und Maschinen),Toleranzrechnung, Toleranzanalyse, Zuverlässigkeit und Sicherheitvon Geräten (zuverlässigkeits- und sicherheitsgerechte Konstruktion),Beziehungen zwischen Gerät und Umwelt, Lärmminderungin der Gerätetechnik. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigenÜbungen und in den Praktika „Einführung in die 3D-Messtechnik“,„Zuverlässigkeitsuntersuchungen und Lebensdauertests“

14. Literatur: • Schinköthe, W.: Grundlagen der Feinwerktechnik - Konstruktion undFertigung. Skript zur Vorlesung

• Krause, W.: Gerätekonstruktion in Feinwerktechnik und Elektronik.München Wien: Carl Hanser 2000

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 139701 Vorlesung Gerätekonstruktion und -fertigung in derFeinwerktechnik, 3 SWS

• 139702 Übung Gerätekonstruktion und -fertigung in derFeinwerktechnik (inklusive Praktikum, Einführung in die

Page 158: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 158 von 497

3D-Meßtechnik, Zuverlässigkeitsuntersuchungen undLebensdauertests), 1,0 SWS (2x1,5 h)

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13971 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik (PL),schriftliche Prüfung, 120 Min., Gewichtung: 1.0, bei Kern- oderErgänzungsfach in Masterstudiengängen mündliche Prüfung

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: • Tafel• OHP• Beamer

20. Angeboten von: Institut für Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 159: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 159 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik kreramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule

Page 160: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 160 von 497

➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 161: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 161 von 497

Modul: 14030 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung

2. Modulkürzel: 052110002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Englisch

8. Modulverantwortlicher: Joachim Burghartz

9. Dozenten: Joachim Burghartz

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Studierende kennen wesentliche Grundlagen der Werkstoffe,Prozessschritte, Integrationsprozesse und Volumenproduktionsverfahrenin der Silizium-Technologie

13. Inhalt: • History and Basics of IC Technology• Process Technology I and II• Process Modules• MOS Capacitor• MOS Transistor• Non-Ideal MOS Transistor• Basics of CMOS Circuit Integration• CMOS Device Scaling• Metal-Silicon Contact• Interconnects• Design Metrics• Special MOS Devices• Future Directions

14. Literatur: • D. Neamon:Semiconductor Physics and Devices; Mc Graw-Hill, 2002• S. Wolf: Silicon Processing for the VLSI Era, Vol. 2; Lattice Press, 1990• S. Sze: Physics of Semiconductor Devices, 2nd Ed. Wiley Interscience,

1981• S. Sze: Fundamentals of Semiconductor Fabrication, Wiley

Interscience, 2003

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 140301 Vorlesung und Übung Grundlagen derMikroelektronikfertigung

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42h + Nacharbeitszeit: 138h = 180h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 14031 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung (PL), schriftlich odermündlich, 120 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

Page 162: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 162 von 497

19. Medienform: Beamer, Tafel, persönliche Interaktion

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 6. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 6. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 163: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 163 von 497

➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 164: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 164 von 497

Modul: 13540 Grundlagen der Mikrotechnik

2. Modulkürzel: 073400001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: Heinz Kück

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden erwerben Kenntnisse über die wichtigstenWerkstoffeigenschaften, sowie Grundlagen der Konstruktion undFertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen. DieStudierenden sind in der Lage, die Besonderheiten der Konstruktionund Fertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen in derProduktentwicklung und Produktion zu erkennen und sich eigenständig inLösungswege einzuarbeiten.

13. Inhalt: • Eigenschaften der wichtigsten Werkstoffe der MST• Silizium-Mikromechanik• Einführung in die Vakuumtechnik• Herstellung und Eigenschaften dünner Schichten• (PVD- und CVD-Technik, Thermische Oxidation)• Lithographie und Maskentechnik• Ätztechniken zur Strukturierung (Nasschemisches Ätzen, RIE, IE,

Plasmaätzen)• Reinraumtechnik• Elemente der Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme

(Bondverfahren, Chipgehäusetechniken)• LIGA-Technik• Mikrotechnische Bauteile aus Kunststoff (Mikrospritzguss, Heißprägen)

Page 165: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 165 von 497

• Mikrobearbeitung von Metallen (Funkenerosion, spanendeMikrobearbeitung)

• Messmethoden der Mikrotechnik• Prozessfolgen der Mikrotechnik

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 135401 Vorlesung Grundlagen der Mikrotechnik• 135402 Freiwillige Übung zur Vorlesung Grundlagen der

Mikrotechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13541 Grundlagen der Mikrotechnik (PL), mündliche Prüfung, 40Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overhead-Projektor-Anschrieb, Tafelanschrieb,Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von: Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 166: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 166 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 167: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 167 von 497

➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule

Page 168: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 168 von 497

➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 169: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 169 von 497

Modul: 33710 Optische Messtechnik und Messverfahren

2. Modulkürzel: 073100002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: Wolfgang Osten

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden

• verstehen die Unterschiede zwischen wellenoptischer undgeometrisch-optischer Beschreibung,

• sind in der Lage die in Wellenfeldern enthaltene Information zubeschreiben,

• können Messungen kritisch mittels Fehleranalyse bewerten,• kennen die Rolle und Wirkungsweise der wichtigsten Komponenten

und sind in der Lage, optische Mess-Systeme aus einzelnenKomponenten zusammenzustellen und zu bewerten,

• sind in der Lage, Methoden zur Vermessung von optischen undtechnischen Oberflächen sowie deren Oberflächenveränderungenzielgerichtet einzusetzen.

13. Inhalt: Grundlagen der geometrischen Optik: - optische Komponenten- optische SystemeGrundlagen der Wellenoptik: - Wellentypen- Interferenz und Kohärenz- Beugung und Auflösungsvermögen

Page 170: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 170 von 497

HolografieSpeckleMessfehlerGrundprinzipien und Klassifikation optischerMesstechnikenKomponenten optischer Messsysteme: - Lichtquellen- Lichtmodulatoren- Auge und DetektorenMessmethoden auf Basis der geometrischen Optik: - Strukturierte Beleuchtung- Moiré- Messmikroskope und MessfernrohreMessmethoden auf Basis der Wellenoptik: - interferometrische Messtechniken- Interferenzmikroskopie- holografische Interferometrie- Speckle-Messtechniken- Laufzeittechniken

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung;

Pedrotti, F.; et al: Optik für Ingenieure. Springer Verlag,Berlin 2002;

Hecht, E.: Optik. Oldenbourg Verlag, München 2001.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 337101 Vorlesung Optische Messtechnik und Messverfahren• 337102 Übung Optische Messtechnik und Messverfahren

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33711 Optische Messtechnik und Messverfahren (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 171: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 171 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement

Page 172: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 172 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik

Page 173: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 173 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 174: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 174 von 497

Modul: 14230 Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen undIndustrieroboter

2. Modulkürzel: 072910003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Alexander Verl

9. Dozenten: Alexander Verl

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Vorlesung „Steuerungstechnik mit Antriebstechnik“ (Modul Regelungs-und Steuerungstechnik)

12. Lernziele: Die Studierenden kennen typische Anwendungen der Steuerungstechnikin Werkzeugmaschinen und Industrierobotern. Sie verstehendie Möglichkeiten heutiger Steuerungskonzepte vor demHintergrund komfortabler Bedienerführung, integrierter Mess-und Antriebsregelungstechnik (mechatronische Systeme) sowieDiagnosehilfen bei Systemausfall. Aus der Kenntnis der verschiedenenSteuerungsarten und Steuerungsfunktionen für Werkzeugmaschinen undIndustrieroboter können die Studierenden die Komponenten innerhalbder Steuerung, wie z.B. Lagesollwertbildung oder Adaptive Control-Verfahren interpretieren. Sie können die Auslegung der Antriebstechnikund die zugehörigen Problemstellungen der Regelungs- und Messtechnikverstehen, bewerten und Lösungen erarbeiten.

Die Studierenden können erkennen, wie die Kinematik und Dynamikvon Robotern und Parallelkinematiken beschrieben, gelöst undsteuerungstechnisch integriert werden kann.

13. Inhalt: • Steuerungsarten (mechanisch, fluidisch, Numerische Steuerung,Robotersteuerung): Aufbau, Architektur, Funktionsweise.

• Mess-, Antriebs-, Regelungstechnik für Werkzeugmaschinen undIndustrieroboter

• Kinematische und Dynamische Modellierung von Robotern undParallelkinematiken.

• Praktikum zur Inbetriebnahme von Antriebssystemen undregelungstechnischer Einstellung.

14. Literatur: Pritschow, G.: Einführung in die Steuerungstechnik, Carl Hanser Verlag,München, 2006

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 142301 Vorlesung Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen undIndustrieroboter

• 142302 Übung Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen undIndustrieroboter

• 142303 Praktikum 1 Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinenund Industrieroboter

• 142304 Praktikum 2 Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinenund Industrieroboter

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 50h

Page 175: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 175 von 497

Nacharbeitszeit: 130h

Gesamt: 180h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 14231 Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen undIndustrieroboter (PL), schriftlich, eventuell mündlich, 120 Min.,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamer, Overhead, Tafel

20. Angeboten von: Institut für Steuerungstechnik der Werkzeugmaschinen undFertigungseinrichtungen

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Wahlbereich Anwendungsfach➞ Anwendungsfach Steuerungstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Wahlbereich Anwendungsfach➞ Anwendungsfach Steuerungstechnik

M.Sc. Technische Kybernetik, PO 2011, . Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Steuerungstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

Page 176: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 176 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 6. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 6. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mechatronik und Technische Kybernetik➞ Steuerungstechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mechatronik und Technische Kybernetik➞ Steuerungstechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik kreramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mechatronik und Technische Kybernetik➞ Steuerungstechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mechatronik und Technische Kybernetik

Page 177: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 177 von 497

➞ Steuerungstechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Systemtechnik➞ Steuerungstechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Steuerungstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Vertiefungsmodule➞ Industrielle Steuerungstechnik und Antriebstechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Steuerungstechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Steuerungstechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

M.Sc. Technikpädagogik➞ Hauptfach Maschinenbau➞ Fertigungstechnik➞ Wahlcontainer Fertigungstechnik-Hauptfach

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Fertigungstechnik➞ Fertigungstechnik (Pflicht)

Page 178: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 178 von 497

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ WPF Fertigungstechnik➞ Pflichtcontainer Fertigungstechnik

Page 179: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 179 von 497

Modul: 13560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

2. Modulkürzel: 072420001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: Hermann Sandmaier

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

• haben die Studierenden die wichtigsten Technologien und Verfahrenzur Herstellung von Bauelementen der Mikroelektronik als auch derNano- und Mikrosystemtechnik kennen gelernt,

• können die Studierenden einzelne technologische Prozesse bewertenund sind in der Lage Prozessabläufe selbstständig zu entwerfen.

Erworbene Kompetenzen:

Die Studierenden

• können die wichtigsten Materialien der Nano- und Mikrosystemtechnikbenennen und beschreiben,

• können die wichtigsten Verfahren der Mikroelektronik sowie der Nano-und Mikrosystemtechnik benennen und mit Hilfe physikalischerGrundlagenkenntnisse erläutern,

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens zur Herstellung von mikrotechnischen Bauelementen,

• haben ein Gefühl für den Aufwand einzelner Verfahren entwickelnkönnen,

• sind mit den technologischen Grenzen der Verfahren vertraut undkönnen diese bewerten,

• sind in der Lage, auf der Basis gegebener technologischer undwirtschaftlicher Randbedingungen, die optimalen Prozessverfahren

Page 180: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 180 von 497

auszuwählen und einen kompletten Prozessablauf für die Herstellungvon mikrotechnischen Bauelementen zu entwerfen.

13. Inhalt: Die Vorlesung vermittelt den Studierenden die Grundlagen,um die komplexen Prozessabläufe bei der Herstellung vonmodernen Bauelementen der Mikroelektronik sowie der Nano- undMikrosystemtechnik zu verstehen. Nach einer Einführung in die Thematikwerden zunächst die wichtigsten Materialien - insbesondere Silizium- vorgestellt. Anschließend werden die bedeutendsten Prozesse zurHerstellung von mikroelektronischen und mikrosystemtechnischenBauelementen und Systemen behandelt. Insbesondere werdendie Grundlagen zur Dünnschichttechnik, zur Lithographie und zuden Ätzverfahren vermittelt. Abschließend werden als Vertiefungdie Prozessabläufe der Oberflächen- und Bulkmikromechanik kurzvorgestellt und erläutert. Anhand von Anwendungsbeispielen wirdgezeigt, wie durch eine geschickte Aneinanderreihung der einzelnenProzesse komplexe Bauelemente, wie elektronische Schaltungenoder Mikrosysteme, hergestellt werden können.

14. Literatur: • Korvink, J. G.; Paul O.,MEMS - A practical guide to design, analysisand applications, Springer, 2006

• Menz, W.; Mohr, J.; Paul, O., Mikrosystemtechnik für Ingenieure,Weinheim: Wiley-VCH, 2005

• Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, 2. Auflage, Boca Raton:crcpress, 1997

• Bhushan, B., Handbook of Nanotechnology, Springer, 2003• Völklein, F.; Zetterer T., Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage,

Wiesbaden, Vieweg, 2006• Schwesinger N.; Dehne C.; Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,

Oldenburg Verlag, 2009• Handouts, Skript und CD zur Vorlesung

Online-Vorlesungen:

• http://www.sensedu.com• http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 135601 Vorlesung Technologien der Nano- und MikrosystemtechnikI

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13561 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I (PL),mündliche Prüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von: Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

Page 181: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 181 von 497

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

Page 182: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 182 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Weitere Spezialisierungsfächer➞ Fabrikbetrieb➞ Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau

Page 183: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 183 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik

Page 184: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 184 von 497

➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 185: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 185 von 497

Modul: 33290 Praktikum Mikroelektronikfertigung

2. Modulkürzel: 052110003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher:

9. Dozenten:

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden lernen theoretische Vorlesungsinhalte anzuwendenund in der Praxis umzusetzen.

13. Inhalt: Nähere Informationen zu den Praktischen Übungen: APMB erhalten Siezudem unterhttp://www.uni-stuttgart.de/mabau/msc/msc_mach/linksunddownloads.html

Praktische Beispiele und Teilschritte der Halbleiterfertigung in einermodernen CMOSProzesslinie vom Wafersubstrat bis zum aufgebautenChips.

14. Literatur: Präsentationen, Moderation, Praktikumsunterlagen

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 332901 Spezialisierungsfachversuch 1• 332902 Spezialisierungsfachversuch 2• 332903 Spezialisierungsfachversuch 3• 332904 Spezialisierungsfachversuch 4• 332905 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 1• 332906 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 2• 332907 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 3• 332908 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 4

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 30 StundenSelbststudium: 60 StundenGesamt: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33291 Praktikum Mikroelektronikfertigung (USL), schriftlich, eventuellmündlich, Gewichtung: 1.0, USL. Art und Umfang der USLwerden jeweils zu Beginn des Praktikums bekannt gegeben.

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Umdrucke, elektronische Medien (Powerpoint, Excel, Mindmapping,Eagle, Speq, …), Demonstrationen und Bedienung von Geräten

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 186: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 186 von 497

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Spezialisierungsfächer A (ING)➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Spezialisierungsmodule➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 187: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 187 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

Page 188: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 188 von 497

230 Feinwerktechnik

Zugeordnete Module: 233 Ergänzungsfächer mit 3 LP231 Kernfächer mit 6 LP232 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP33780 Praktikum Feinwerktechnik

Page 189: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 189 von 497

233 Ergänzungsfächer mit 3 LP

Zugeordnete Module: 32480 Deutsches und europäisches Patentrecht (Gewerblicher Rechtsschutz I)33300 Elektrische Bauelemente in der Feinwerktechnik33310 Elektronik für Feinwerktechniker33450 Elektronik für Mikrosystemtechniker32880 Elektronische Bauelemente in der Mikrosystemtechnik33280 Praktische FEM-Simulation mit ANSYS und MAXWELL

Page 190: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 190 von 497

Modul: 32480 Deutsches und europäisches Patentrecht (GewerblicherRechtsschutz I)

2. Modulkürzel: 100410110 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Alexander Bulling

9. Dozenten: Alexander Bulling

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Grundkenntnisse im Umgang mit Erfindungen beherrschen und darausresultierende Patente erkennen.

13. Inhalt: • Sinn und Zweck von Schutzrechten• Wirkungen und Schutzbereich eines Patents• Unmittelbare und Mittelbare Patentverletzung, Vorbenutzungsrecht,Erschöpfung, Verwirkung• Patentfähigkeit und Erfindungsbegriff• Schutzvoraussetzungen• Von der Erfindung zur Patentanmeldung• Das Recht auf das Patent (Erfinder/Anmelder)• Das Patenterteilungsverfahren• Priorität und Nachanmeldungen: Europäisches und internationalesAnmeldeverfahren.• Rechtsbehelfe und Prozesswege• Vorgehensweise bei Patentverletzung• Übertragung, Lizenzen, Schutzrechtsbewertung• Das Arbeitnehmererfindergesetz• EXKURSION: Patentinformationszentrum im Haus der Wirtschaft/Stuttgart

14. Literatur: Folien zur Vorlesung werden zur Verfügung gestellt.Lit.: Beck-Text, Patent- und Musterrecht

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 324801 Vorlesung Deutsches und europäisches Patentrecht

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32481 Deutsches und europäisches Patentrecht (GewerblicherRechtsschutz I) (BSL), schriftliche Prüfung, 60 Min.,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

Page 191: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 191 von 497

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

Page 192: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 192 von 497

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Weitere Spezialisierungsfächer➞ Fabrikbetrieb➞ Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik

Page 193: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 193 von 497

➞ Fabrikbetrieb➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fabrikbetrieb➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 194: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 194 von 497

Modul: 33300 Elektrische Bauelemente in der Feinwerktechnik

2. Modulkürzel: 072510008 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hubert Effenberger

9. Dozenten: Hubert Effenberger

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden kennen diskrete und integrierte, analoge und digitaleBauelemente und haben die Fähigkeiten zur praktischen Anwendung inder Feinwerktechnik.

13. Inhalt: Halbleiterbauelemente (diskrete und integrierte, analoge und digitaleBauelemente, Sensoren, Wandler), Dioden, Transistoren, Thyristoren,Triac, Fotoelemente, Fotodioden, Lumineszenzdioden, Optokoppler,temperaturabhängige Bauelemente, Mikroprozessortechnik.

14. Literatur: • Effenberger, H.: Umdrucke zur Vorlesung• Tietze, U; Schenk, Ch.: Halbleiter-Schaltungstechnik. Berlin: Springer

2002

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 333001 Vorlesung Elektrische Bauelemente in der Feinwerktechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33301 Elektrische Bauelemente in der Feinwerktechnik (BSL),mündliche Prüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Overhead-Projektor, Beamer-Präsentation

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 195: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 195 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 196: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 196 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

Page 197: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 197 von 497

Modul: 33310 Elektronik für Feinwerktechniker

2. Modulkürzel: 072510007 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hubert Effenberger

9. Dozenten: Hubert Effenberger

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden kennen die Grundschaltungen der Analog- undDigitaltechnik. Sie kennen integrierte Schaltkreise in Bipolar- und MOS-Technik und haben die Fähigkeiten zur praktischen Anwendung.

13. Inhalt: Grundschaltungen der Analog- und Digitaltechnik, Sensoren,Anwendungsbeispiele integrierter Schaltkreise (z. B.Operationsverstärker, A/DWandler, logische Schaltungen, Speicher) inBipolar- und MOS-Technik, Einführung in die Microcomputertechnik.

14. Literatur: • Effenberger, H.: Umdrucke zur Vorlesung• Tietze, U; Schenk, Ch.: Halbleiter-Schaltungstechnik. Berlin: Springer

2002

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 333101 Vorlesung Elektronik für Feinwerktechniker

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33311 Elektronik für Feinwerktechniker (BSL), mündliche Prüfung, 20Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Overhead-Projektor, Beamer-Präsentation

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 198: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 198 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 199: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 199 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

Page 200: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 200 von 497

Modul: 33450 Elektronik für Mikrosystemtechniker

2. Modulkürzel: 073400004 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Rainer Mohr

9. Dozenten: Rainer Mohr

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Ziel ist es, den Studierenden elektronische Schaltungstechnikzu vermitteln. Dabei liegt der Schwerpunkt auf Schaltungen derMikrosystemtechnik: Analoge Signalverarbeitung, Sensorik,Stromversorgungen batteriebetriebener Geräte.

Die Studierenden sind in der Lage- Einfache Schaltungen zu dimensionieren- Schaltbilder zu lesen und zu verstehen- elektrische Messtechnik durchzuführen- ein Schaltungssimulationsprogramm zu bedienen

13. Inhalt: Einfache Stromkreise, Elektrische Netzwerke, Wechselstromlehre,Signalverarbeitung, Verstärker, Analoge integrierte Schaltungen(Operationsverstärker), Sensorsignalverarbeitung, Oszillatoren,Schwingschaltungen, Stromversorgungen, Rauschen,Elektromagnetische Verträglichkeit, Schaltungsbeispiele

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung, Literatur zu den einzelnen Kapiteln(Literaturverzeichnis im Manuskript)

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 334501 Vorlesung (inkl. Elektronikpraktikum) Elektronik fürMikrosystemtechniker

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33451 Elektronik für Mikrosystemtechniker (BSL), mündlichePrüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel

20. Angeboten von:

Page 201: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 201 von 497

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

Page 202: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 202 von 497

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 203: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 203 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 204: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 204 von 497

Modul: 32880 Elektronische Bauelemente in der Mikrosystemtechnik

2. Modulkürzel: 073400005 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Rainer Mohr

9. Dozenten: Rainer Mohr

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Ziel ist es, den Studierenden Kenntnisse über elektronischeBauelemente, insbesondere für Anwendungenin der Mikrosystemtechnik, z.B. als sensorische Elemente zu vermitteln.

Die Studierenden sind in der Lage

• Elektronische Bauelemente zu qualifizieren, d.h. ein für den gedachtenAnwendungszweck geeignetes Bauelement auszusuchen.

• Ersatzschaltbilder für Bauelemente auszusuchen ausProgrammbibliotheken für die Verwendung in einer Simulation

• elektrische Messtechnik durchzuführen• ein Schaltungssimulationsprogramm zu bedienen

13. Inhalt: Allgemeines zu elektronischen Bauelementen, Leitungsmechanismen,Widerstände, Kondensatoren, Spulen, Halbleiter (Diode, BipolareTransistoren, Feldeffekttransistoren), Ladungsverschiebungselemente(CCD), Elektronische Speicher, Parasitäre Eigenschaften beielektronischen Bauelementen, Piezoelektrische Bauelemente (Quarz,Piezokeramik), Organische elektronische Bauelemente (OLED, OFET)

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung, Literatur zu den einzelnen Kapiteln(Literaturverzeichnis im Manuskript)

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 328801 Vorlesung (inkl. Übungen und Schaltungssimulation)Elektronische Bauelemente in der Mikrosystemtechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32881 Elektronische Bauelemente in der Mikrosystemtechnik (BSL),mündliche Prüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik

Page 205: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 205 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement

Page 206: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 206 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik

Page 207: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 207 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 208: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 208 von 497

Modul: 33280 Praktische FEM-Simulation mit ANSYS und MAXWELL

2. Modulkürzel: 072510005 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: Wolfgang Schinköthe

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden haben die Fähigkeit die FEM-Programme ANSYS undMAXWELL für Simulationsaufgaben verschiedenster Art einzusetzen.

13. Inhalt: Einführung in die praktische Nutzung der FEMProgrammeANSYS und MAXWELL zur Berechnung von Strukturmechanik-Aufgaben, thermischen Problemen, Magnetfeldern und Antrieben(Lineardirektantriebe und piezoelektrische Antriebe). BeispielhafteVertiefung in einer zugehörigen Übung.

14. Literatur: • Schinköthe, W.; Ulmer, M.; Joerges, P.; Zülch, M.: Praktische FEM-Simulation mit ANSYS und MAXWELL. Skript zur Vorlesung

• Schätzing, W.: FEM für Praktiker - Band 4: Elektrotechnik. Renningen:expertVerlag 2009

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 332801 Vorlesung und Übung Praktische FEM-Simulation mitANSYS und MAXWELL

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33281 Praktische FEM-Simulation mit ANSYS und MAXWELL (BSL),mündliche Prüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: am PC, Beamer-Präsentation,

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 209: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 209 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau

Page 210: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 210 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

Page 211: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 211 von 497

231 Kernfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendungmechatronischer Komponenten

13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik33260 Praxis des Spritzgießens in der Gerätetechnik, Verfahren, Prozesskette,

Simulation

Page 212: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 212 von 497

Modul: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten

2. Modulkürzel: 072510003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: Wolfgang Schinköthe

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden kennen die Grundlagen der Magnettechnik und-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktive Auslegung,Magnetisierung). Die Studierenden können elektromagnetische Antriebe(rotatorische und lineare Schrittmotoren) vereinfacht berechnen,gestalten und auslegen. Die Studierenden können elektrodynamischeAntriebe (rotatorische und lineare Gleichstromkleinstmotoren) vereinfachtberechnen, gestalten und auslegen. Die Studierenden kennenpiezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik.

13. Inhalt: Behandelt werden feinwerktechnische Antriebe unterschiedlicherWirkprinzipe mit den Schwerpunkten:

• Magnettechnik/-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktiveAuslegung, Magnetisierung)

• Elektromagnetische Antriebe (rotatorische und lineare Schrittmotoren;Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

• Elektrodynamische Antriebe (rotatorische und lineareGleichstromkleinstmotoren; Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

Page 213: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 213 von 497

• Piezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik(neue Werkstoffe in mechatronischen Komponenten, Berechnung,Gestaltung, Anwendung)

• Beispiele zur Realisierung mechatronischer Lösungen in derGerätetechnik. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigen Übungen undPraktika (Spezialisierungsfachpraktika und APMB).

14. Literatur: • Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil 1.Skript zur Vorlesung

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil2 Übung und Praktikumsversuch Piezosysteme/ Ultraschallantriebe.Skript zu Übung und Praktikum

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten -Teil 3 Übung und Praktikumsversuch Lineare Antriebssysteme/Lineardirektantriebe. Skript zu Übung und Praktikum

• Kallenbach, E.; Stölting, H.-D.: Handbuch Elektrische Kleinantriebe.Leipzig: Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag 2011

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 327301 Vorlesung + Übung Aktorik in der Gerätetechnik;Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32731 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Overhead-Projektor, Beamer-Präsentation

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 214: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 214 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik

Page 215: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 215 von 497

➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 216: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 216 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- undProduktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 217: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 217 von 497

Modul: 13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik

2. Modulkürzel: 072510002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: • Wolfgang Schinköthe• Eberhard Burkard

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in Konstruktionslehre

12. Lernziele: Fähigkeiten zur Analyse und Lösung von komplexen feinwerktechnischenAufgabenstellungen im Gerätebau unter Berücksichtigung desGesamtsystems, insbesondere unter Berücksichtigung von Präzision,Zuverlässigkeit, Sicherheit, Umgebungs- und Toleranzeinflüssen beimEntwurf von Geräten und Systemen

13. Inhalt: Entwicklung und Konstruktion feinwerktechnischer Geräte und Systememit Betonung des engen Zusammenhangs zwischen konstruktiverGestaltung und zugehöriger Fertigungstechnologie.Methodik der Geräteentwicklung, Ansätze zur kreativen Lösungsfindung,Genauigkeit und Fehlerverhalten in Geräten, Präzisionsgerätetechnik(Anforderungen und Aufbau genauer Geräte und Maschinen),Toleranzrechnung, Toleranzanalyse, Zuverlässigkeit und Sicherheitvon Geräten (zuverlässigkeits- und sicherheitsgerechte Konstruktion),Beziehungen zwischen Gerät und Umwelt, Lärmminderungin der Gerätetechnik. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigenÜbungen und in den Praktika „Einführung in die 3D-Messtechnik“,„Zuverlässigkeitsuntersuchungen und Lebensdauertests“

14. Literatur: • Schinköthe, W.: Grundlagen der Feinwerktechnik - Konstruktion undFertigung. Skript zur Vorlesung

• Krause, W.: Gerätekonstruktion in Feinwerktechnik und Elektronik.München Wien: Carl Hanser 2000

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 139701 Vorlesung Gerätekonstruktion und -fertigung in derFeinwerktechnik, 3 SWS

• 139702 Übung Gerätekonstruktion und -fertigung in derFeinwerktechnik (inklusive Praktikum, Einführung in die

Page 218: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 218 von 497

3D-Meßtechnik, Zuverlässigkeitsuntersuchungen undLebensdauertests), 1,0 SWS (2x1,5 h)

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13971 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik (PL),schriftliche Prüfung, 120 Min., Gewichtung: 1.0, bei Kern- oderErgänzungsfach in Masterstudiengängen mündliche Prüfung

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: • Tafel• OHP• Beamer

20. Angeboten von: Institut für Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 219: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 219 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik kreramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule

Page 220: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 220 von 497

➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 221: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 221 von 497

Modul: 33260 Praxis des Spritzgießens in der Gerätetechnik, Verfahren,Prozesskette, Simulation

2. Modulkürzel: 072510004 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: • Wolfgang Schinköthe• Eberhard Burkard

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden können Material und Fertigungsverfahren fürKunststoffteile in der Feinwerktechnik auswählen. Sie haben dieFähigkeit zum Entwurf von Spritzgussteilen und Spritzgießwerkzeugenfür die Gerätetechnik. Die Studierenden beherrschen den Einsatz vonSimulationsprogrammen für die Kunststoffspritzgusssimulation.

13. Inhalt: Einteilung der Polymerwerkstoffe, charakteristischeWerkstoffeigenschaften, Verarbeitung der Polymerwerkstoffe,Kunststoffspritzguss, Aufbau einer Spritzgießmaschine,Spritzgießprozess, Sonderverfahren beim Kunststoffspritzguss,Gestaltung von Kunststoffspritzgussteilen, Konstruktion vonSpritzgießwerkzeugen, rheologische Auslegung von Teil und Werkzeug,Berechnung und Simulation des Spritzgießprozesses, Einsatz vonSimulationsprogrammen. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigenÜbungen.

14. Literatur: • Burkard, E.: Praxis des Spritzgießens in der Gerätetechnik; Verfahren,Prozesskette, Simulation. Skript zur Vorlesung

• Jaroschek, Ch.: Spritzgießen für Praktiker. München: Carl Hanser 2008

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 332601 Vorlesung + Übung Praxis des Spritzgießens in derGerätetechnik; Verfahren, Prozesskette, Simulation

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33261 Praxis des Spritzgießens in der Gerätetechnik, Verfahren,Prozesskette, Simulation (PL), mündliche Prüfung, 40 Min.,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Overhead-Projektor, Beamer-Präsentation,PC

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

Page 222: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 222 von 497

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement

Page 223: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 223 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

Page 224: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 224 von 497

232 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendungmechatronischer Komponenten

13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik14030 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung13540 Grundlagen der Mikrotechnik33710 Optische Messtechnik und Messverfahren33260 Praxis des Spritzgießens in der Gerätetechnik, Verfahren, Prozesskette,

Simulation13560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

Page 225: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 225 von 497

Modul: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten

2. Modulkürzel: 072510003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: Wolfgang Schinköthe

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden kennen die Grundlagen der Magnettechnik und-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktive Auslegung,Magnetisierung). Die Studierenden können elektromagnetische Antriebe(rotatorische und lineare Schrittmotoren) vereinfacht berechnen,gestalten und auslegen. Die Studierenden können elektrodynamischeAntriebe (rotatorische und lineare Gleichstromkleinstmotoren) vereinfachtberechnen, gestalten und auslegen. Die Studierenden kennenpiezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik.

13. Inhalt: Behandelt werden feinwerktechnische Antriebe unterschiedlicherWirkprinzipe mit den Schwerpunkten:

• Magnettechnik/-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktiveAuslegung, Magnetisierung)

• Elektromagnetische Antriebe (rotatorische und lineare Schrittmotoren;Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

• Elektrodynamische Antriebe (rotatorische und lineareGleichstromkleinstmotoren; Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

Page 226: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 226 von 497

• Piezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik(neue Werkstoffe in mechatronischen Komponenten, Berechnung,Gestaltung, Anwendung)

• Beispiele zur Realisierung mechatronischer Lösungen in derGerätetechnik. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigen Übungen undPraktika (Spezialisierungsfachpraktika und APMB).

14. Literatur: • Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil 1.Skript zur Vorlesung

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil2 Übung und Praktikumsversuch Piezosysteme/ Ultraschallantriebe.Skript zu Übung und Praktikum

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten -Teil 3 Übung und Praktikumsversuch Lineare Antriebssysteme/Lineardirektantriebe. Skript zu Übung und Praktikum

• Kallenbach, E.; Stölting, H.-D.: Handbuch Elektrische Kleinantriebe.Leipzig: Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag 2011

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 327301 Vorlesung + Übung Aktorik in der Gerätetechnik;Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32731 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Overhead-Projektor, Beamer-Präsentation

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 227: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 227 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik

Page 228: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 228 von 497

➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 229: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 229 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- undProduktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 230: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 230 von 497

Modul: 13970 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik

2. Modulkürzel: 072510002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: • Wolfgang Schinköthe• Eberhard Burkard

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in Konstruktionslehre

12. Lernziele: Fähigkeiten zur Analyse und Lösung von komplexen feinwerktechnischenAufgabenstellungen im Gerätebau unter Berücksichtigung desGesamtsystems, insbesondere unter Berücksichtigung von Präzision,Zuverlässigkeit, Sicherheit, Umgebungs- und Toleranzeinflüssen beimEntwurf von Geräten und Systemen

13. Inhalt: Entwicklung und Konstruktion feinwerktechnischer Geräte und Systememit Betonung des engen Zusammenhangs zwischen konstruktiverGestaltung und zugehöriger Fertigungstechnologie.Methodik der Geräteentwicklung, Ansätze zur kreativen Lösungsfindung,Genauigkeit und Fehlerverhalten in Geräten, Präzisionsgerätetechnik(Anforderungen und Aufbau genauer Geräte und Maschinen),Toleranzrechnung, Toleranzanalyse, Zuverlässigkeit und Sicherheitvon Geräten (zuverlässigkeits- und sicherheitsgerechte Konstruktion),Beziehungen zwischen Gerät und Umwelt, Lärmminderungin der Gerätetechnik. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigenÜbungen und in den Praktika „Einführung in die 3D-Messtechnik“,„Zuverlässigkeitsuntersuchungen und Lebensdauertests“

14. Literatur: • Schinköthe, W.: Grundlagen der Feinwerktechnik - Konstruktion undFertigung. Skript zur Vorlesung

• Krause, W.: Gerätekonstruktion in Feinwerktechnik und Elektronik.München Wien: Carl Hanser 2000

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 139701 Vorlesung Gerätekonstruktion und -fertigung in derFeinwerktechnik, 3 SWS

• 139702 Übung Gerätekonstruktion und -fertigung in derFeinwerktechnik (inklusive Praktikum, Einführung in die

Page 231: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 231 von 497

3D-Meßtechnik, Zuverlässigkeitsuntersuchungen undLebensdauertests), 1,0 SWS (2x1,5 h)

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13971 Gerätekonstruktion und -fertigung in der Feinwerktechnik (PL),schriftliche Prüfung, 120 Min., Gewichtung: 1.0, bei Kern- oderErgänzungsfach in Masterstudiengängen mündliche Prüfung

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: • Tafel• OHP• Beamer

20. Angeboten von: Institut für Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 232: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 232 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik kreramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule

Page 233: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 233 von 497

➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 234: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 234 von 497

Modul: 14030 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung

2. Modulkürzel: 052110002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Englisch

8. Modulverantwortlicher: Joachim Burghartz

9. Dozenten: Joachim Burghartz

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Studierende kennen wesentliche Grundlagen der Werkstoffe,Prozessschritte, Integrationsprozesse und Volumenproduktionsverfahrenin der Silizium-Technologie

13. Inhalt: • History and Basics of IC Technology• Process Technology I and II• Process Modules• MOS Capacitor• MOS Transistor• Non-Ideal MOS Transistor• Basics of CMOS Circuit Integration• CMOS Device Scaling• Metal-Silicon Contact• Interconnects• Design Metrics• Special MOS Devices• Future Directions

14. Literatur: • D. Neamon:Semiconductor Physics and Devices; Mc Graw-Hill, 2002• S. Wolf: Silicon Processing for the VLSI Era, Vol. 2; Lattice Press, 1990• S. Sze: Physics of Semiconductor Devices, 2nd Ed. Wiley Interscience,

1981• S. Sze: Fundamentals of Semiconductor Fabrication, Wiley

Interscience, 2003

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 140301 Vorlesung und Übung Grundlagen derMikroelektronikfertigung

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42h + Nacharbeitszeit: 138h = 180h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 14031 Grundlagen der Mikroelektronikfertigung (PL), schriftlich odermündlich, 120 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

Page 235: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 235 von 497

19. Medienform: Beamer, Tafel, persönliche Interaktion

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 6. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 6. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 236: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 236 von 497

➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 237: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 237 von 497

Modul: 13540 Grundlagen der Mikrotechnik

2. Modulkürzel: 073400001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: Heinz Kück

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden erwerben Kenntnisse über die wichtigstenWerkstoffeigenschaften, sowie Grundlagen der Konstruktion undFertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen. DieStudierenden sind in der Lage, die Besonderheiten der Konstruktionund Fertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen in derProduktentwicklung und Produktion zu erkennen und sich eigenständig inLösungswege einzuarbeiten.

13. Inhalt: • Eigenschaften der wichtigsten Werkstoffe der MST• Silizium-Mikromechanik• Einführung in die Vakuumtechnik• Herstellung und Eigenschaften dünner Schichten• (PVD- und CVD-Technik, Thermische Oxidation)• Lithographie und Maskentechnik• Ätztechniken zur Strukturierung (Nasschemisches Ätzen, RIE, IE,

Plasmaätzen)• Reinraumtechnik• Elemente der Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme

(Bondverfahren, Chipgehäusetechniken)• LIGA-Technik• Mikrotechnische Bauteile aus Kunststoff (Mikrospritzguss, Heißprägen)

Page 238: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 238 von 497

• Mikrobearbeitung von Metallen (Funkenerosion, spanendeMikrobearbeitung)

• Messmethoden der Mikrotechnik• Prozessfolgen der Mikrotechnik

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 135401 Vorlesung Grundlagen der Mikrotechnik• 135402 Freiwillige Übung zur Vorlesung Grundlagen der

Mikrotechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13541 Grundlagen der Mikrotechnik (PL), mündliche Prüfung, 40Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overhead-Projektor-Anschrieb, Tafelanschrieb,Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von: Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 239: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 239 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 240: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 240 von 497

➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule

Page 241: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 241 von 497

➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 242: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 242 von 497

Modul: 33710 Optische Messtechnik und Messverfahren

2. Modulkürzel: 073100002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: Wolfgang Osten

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden

• verstehen die Unterschiede zwischen wellenoptischer undgeometrisch-optischer Beschreibung,

• sind in der Lage die in Wellenfeldern enthaltene Information zubeschreiben,

• können Messungen kritisch mittels Fehleranalyse bewerten,• kennen die Rolle und Wirkungsweise der wichtigsten Komponenten

und sind in der Lage, optische Mess-Systeme aus einzelnenKomponenten zusammenzustellen und zu bewerten,

• sind in der Lage, Methoden zur Vermessung von optischen undtechnischen Oberflächen sowie deren Oberflächenveränderungenzielgerichtet einzusetzen.

13. Inhalt: Grundlagen der geometrischen Optik: - optische Komponenten- optische SystemeGrundlagen der Wellenoptik: - Wellentypen- Interferenz und Kohärenz- Beugung und Auflösungsvermögen

Page 243: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 243 von 497

HolografieSpeckleMessfehlerGrundprinzipien und Klassifikation optischerMesstechnikenKomponenten optischer Messsysteme: - Lichtquellen- Lichtmodulatoren- Auge und DetektorenMessmethoden auf Basis der geometrischen Optik: - Strukturierte Beleuchtung- Moiré- Messmikroskope und MessfernrohreMessmethoden auf Basis der Wellenoptik: - interferometrische Messtechniken- Interferenzmikroskopie- holografische Interferometrie- Speckle-Messtechniken- Laufzeittechniken

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung;

Pedrotti, F.; et al: Optik für Ingenieure. Springer Verlag,Berlin 2002;

Hecht, E.: Optik. Oldenbourg Verlag, München 2001.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 337101 Vorlesung Optische Messtechnik und Messverfahren• 337102 Übung Optische Messtechnik und Messverfahren

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33711 Optische Messtechnik und Messverfahren (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 244: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 244 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement

Page 245: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 245 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik

Page 246: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 246 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 247: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 247 von 497

Modul: 33260 Praxis des Spritzgießens in der Gerätetechnik, Verfahren,Prozesskette, Simulation

2. Modulkürzel: 072510004 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: • Wolfgang Schinköthe• Eberhard Burkard

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden können Material und Fertigungsverfahren fürKunststoffteile in der Feinwerktechnik auswählen. Sie haben dieFähigkeit zum Entwurf von Spritzgussteilen und Spritzgießwerkzeugenfür die Gerätetechnik. Die Studierenden beherrschen den Einsatz vonSimulationsprogrammen für die Kunststoffspritzgusssimulation.

13. Inhalt: Einteilung der Polymerwerkstoffe, charakteristischeWerkstoffeigenschaften, Verarbeitung der Polymerwerkstoffe,Kunststoffspritzguss, Aufbau einer Spritzgießmaschine,Spritzgießprozess, Sonderverfahren beim Kunststoffspritzguss,Gestaltung von Kunststoffspritzgussteilen, Konstruktion vonSpritzgießwerkzeugen, rheologische Auslegung von Teil und Werkzeug,Berechnung und Simulation des Spritzgießprozesses, Einsatz vonSimulationsprogrammen. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigenÜbungen.

14. Literatur: • Burkard, E.: Praxis des Spritzgießens in der Gerätetechnik; Verfahren,Prozesskette, Simulation. Skript zur Vorlesung

• Jaroschek, Ch.: Spritzgießen für Praktiker. München: Carl Hanser 2008

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 332601 Vorlesung + Übung Praxis des Spritzgießens in derGerätetechnik; Verfahren, Prozesskette, Simulation

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33261 Praxis des Spritzgießens in der Gerätetechnik, Verfahren,Prozesskette, Simulation (PL), mündliche Prüfung, 40 Min.,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Overhead-Projektor, Beamer-Präsentation,PC

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

Page 248: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 248 von 497

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement

Page 249: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 249 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

Page 250: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 250 von 497

Modul: 13560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

2. Modulkürzel: 072420001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: Hermann Sandmaier

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

• haben die Studierenden die wichtigsten Technologien und Verfahrenzur Herstellung von Bauelementen der Mikroelektronik als auch derNano- und Mikrosystemtechnik kennen gelernt,

• können die Studierenden einzelne technologische Prozesse bewertenund sind in der Lage Prozessabläufe selbstständig zu entwerfen.

Erworbene Kompetenzen:

Die Studierenden

• können die wichtigsten Materialien der Nano- und Mikrosystemtechnikbenennen und beschreiben,

• können die wichtigsten Verfahren der Mikroelektronik sowie der Nano-und Mikrosystemtechnik benennen und mit Hilfe physikalischerGrundlagenkenntnisse erläutern,

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens zur Herstellung von mikrotechnischen Bauelementen,

• haben ein Gefühl für den Aufwand einzelner Verfahren entwickelnkönnen,

• sind mit den technologischen Grenzen der Verfahren vertraut undkönnen diese bewerten,

• sind in der Lage, auf der Basis gegebener technologischer undwirtschaftlicher Randbedingungen, die optimalen Prozessverfahren

Page 251: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 251 von 497

auszuwählen und einen kompletten Prozessablauf für die Herstellungvon mikrotechnischen Bauelementen zu entwerfen.

13. Inhalt: Die Vorlesung vermittelt den Studierenden die Grundlagen,um die komplexen Prozessabläufe bei der Herstellung vonmodernen Bauelementen der Mikroelektronik sowie der Nano- undMikrosystemtechnik zu verstehen. Nach einer Einführung in die Thematikwerden zunächst die wichtigsten Materialien - insbesondere Silizium- vorgestellt. Anschließend werden die bedeutendsten Prozesse zurHerstellung von mikroelektronischen und mikrosystemtechnischenBauelementen und Systemen behandelt. Insbesondere werdendie Grundlagen zur Dünnschichttechnik, zur Lithographie und zuden Ätzverfahren vermittelt. Abschließend werden als Vertiefungdie Prozessabläufe der Oberflächen- und Bulkmikromechanik kurzvorgestellt und erläutert. Anhand von Anwendungsbeispielen wirdgezeigt, wie durch eine geschickte Aneinanderreihung der einzelnenProzesse komplexe Bauelemente, wie elektronische Schaltungenoder Mikrosysteme, hergestellt werden können.

14. Literatur: • Korvink, J. G.; Paul O.,MEMS - A practical guide to design, analysisand applications, Springer, 2006

• Menz, W.; Mohr, J.; Paul, O., Mikrosystemtechnik für Ingenieure,Weinheim: Wiley-VCH, 2005

• Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, 2. Auflage, Boca Raton:crcpress, 1997

• Bhushan, B., Handbook of Nanotechnology, Springer, 2003• Völklein, F.; Zetterer T., Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage,

Wiesbaden, Vieweg, 2006• Schwesinger N.; Dehne C.; Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,

Oldenburg Verlag, 2009• Handouts, Skript und CD zur Vorlesung

Online-Vorlesungen:

• http://www.sensedu.com• http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 135601 Vorlesung Technologien der Nano- und MikrosystemtechnikI

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13561 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I (PL),mündliche Prüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von: Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

Page 252: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 252 von 497

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

Page 253: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 253 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Weitere Spezialisierungsfächer➞ Fabrikbetrieb➞ Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau

Page 254: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 254 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik

Page 255: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 255 von 497

➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 256: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 256 von 497

Modul: 33780 Praktikum Feinwerktechnik

2. Modulkürzel: 072510006 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: Wolfgang Schinköthe

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden können verschiedene Geräte, Software undVersuchsanlagen der Feinwerktechnik praktisch nutzen. Sie beherrschendas Umsetzen theoretischer Vorlesungsinhalte in der Praxis.

13. Inhalt: Nähere Informationen zu den Praktischen Übungen: APMB erhalten Siezudem unterhttp://www.uni-stuttgart.de/mabau/msc/msc_mach/linksunddownloads.html• Beispiel Gleichstrommotoren: Die Studierenden kennen die

Grundlagen von DC- und EC-Motoren. Die Studierenden könnenKennlinien von DC- und EC-Motoren mit statischen und modernendynamischen Verfahren messen und beherrschen die Messtechnikdazu. Die Studierenden können Kennlinien von DC- und EC-Motorenanalysieren und bewerten.

• Beispiel Schrittmotoren: Die Studierenden kennen Aufbau, Funktionund Bewegungsverhalten von Schrittmotoren einschließlich derenAnsteuerung. Die Studierenden können Ansteuerungen und somitdas Bewegungsverhalten von Schrittmotoren programmieren undPositioniersysteme damit realisieren.

14. Literatur: Praktikums-Unterlagen

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 337801 Spezialisierungsfachversuch 1• 337802 Spezialisierungsfachversuch 2• 337803 Spezialisierungsfachversuch 3• 337804 Spezialisierungsfachversuch 4• 337805 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 1• 337806 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 2• 337807 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 3• 337808 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 4

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 30 StundenSelbststudium/Nacharbeit: 60 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33781 Praktikum Feinwerktechnik (USL), schriftlich oder mündlich,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

Page 257: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 257 von 497

19. Medienform: am Versuchsstand

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Spezialisierungsfächer A (ING)

Page 258: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 258 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Spezialisierungsmodule➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Spezialisierungsmodule➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik

Page 259: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 259 von 497

240 Laser in der Materialbearbeitung

Zugeordnete Module: 243 Ergänzungsfächer mit 3 LP241 Kernfächer mit 6 LP242 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP33800 Praktikum Lasertechnik

Page 260: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 260 von 497

243 Ergänzungsfächer mit 3 LP

Zugeordnete Module: 29980 Einführung in das Optik-Design32760 Festkörper- und Halbleiterlaser32740 Physikalische Prozesse der Lasermaterialbearbeitung32110 Thermokinetische Beschichtungsverfahren32750 Wellenleiter in der Lasertechnik

Page 261: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 261 von 497

Modul: 29980 Einführung in das Optik-Design

2. Modulkürzel: 073100007 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Christoph Menke

9. Dozenten: • Christoph Menke• Alois Herkommer

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: empfohlen: Grundlagen der Technischen Optik

12. Lernziele: Die Studierenden- kennen die physikalischen Grundlagen der optischen Abbildung undsind mit den Konventionen und Bezeichnungen der geometrischen Optik vertraut- können die Bildgüte von optischen Systemen bewerten- kennen die Entstehung und die Auswirkung einzelner Abbildungsfehler- können geeignete Korrektionsmittel zu den einzelnen Abbildungsfehlerbenennen und anwenden- sind in der Lage mit Hilfe des Optik-Design Programms ZEMAX (aufbereitgestellten Rechnern) einfache Optiksysteme zu optimieren

13. Inhalt: - Grundlagen der geometrischen Optik- Geometrische und chromatische Aberrationen (Entstehung, Systematik,Auswirkung, Gegenmaßnahmen)- Bewertung der Abbildungsgüte optischer Systeme- Verschiedene Typen optischer Systeme (Fotoobjektive, Teleskope,Okulare, Mikroskope, Spiegelsysteme, Zoomsysteme)- Systementwicklung (Ansatzfindung, Optimierung, Tolerierung,Konstruktion)

14. Literatur: - Manuskript der Vorlesung- Gross: Handbook of optical systems Vol. 1-4- Kingslake: Lens Design Fundamentals- Smith: Modern Optical Engineering- Fischer/Tadic-Galeb: Optical System Design- Shannon: The Art and Science of Optical Design

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 299801 Vorlesung Einführung in das Optik-Design

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

Page 262: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 262 von 497

17. Prüfungsnummer/n und -name: 29981 Einführung in das Optik-Design (BSL), mündliche Prüfung, 20Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Powerpoint-Vortrag

für Studenten bereitgestellte Notebooks mit Zemax-Optik-DesignProgramm

20. Angeboten von: Institut für Technische Optik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 263: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 263 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module

Page 264: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 264 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 265: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 265 von 497

Modul: 32760 Festkörper- und Halbleiterlaser

2. Modulkürzel: 073000008 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: • Andreas Voß• Uwe Brauch

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Grundlagen und Funktionsprinzipien von Festkörper- undHalbleiterlasern kennen und verstehen. Wissen wie sich die Material-und Aufbaueigenschaften auf die Leistungsparameter der erzeugtenLaserstrahlung auswirken. Aufbau und Realisierungsmethodenverschiedener Bauelemente und Laseranordnungen bewerten undverbessern können.

13. Inhalt: • Grundlagen der Halbleiterlaser (Kristallgitter, Bandstruktur,Quantenstrukturen, Fermi- Verteilung etc.), Absorptions-, Emissions-und Laserprozesse (Fermis goldene Regel, Ratengleichungen).

• Design und Eigenschaften eines Halbleiter- Scheibenlasers.• Aufbau und Eigenschaften verschiedener LEDs und Laserdioden

(Kantenemitter, VCSEL, Hochleistungs- Stacks, DBR-Laser etc.).• Methoden zur Realisierung der Bauelemente: von der Einkristallzucht,

über die Epitaxie (MBE, MOCVD) und die Strukturierung (Lithographie)bis hin zur Konfektionierung.

• Festkörperlaser: Energieniveaus der Seltenen Erden undÜbergangsmetalle, Einfluss der Wirtsmaterialien, daraus resultierendePump- und Laserwellenlängen, Durchstimmbarkeit, Pulsdauer:Hochleistungs- und Kurzpulsbetrieb

14. Literatur: Skript und Folien der Vorlesung

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 327601 Vorlesung Festkörper- und Halbleiterlaser

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32761 Festkörper- und Halbleiterlaser (BSL), mündliche Prüfung, 20Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik

Page 266: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 266 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement

Page 267: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 267 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik

Page 268: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 268 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 269: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 269 von 497

Modul: 32740 Physikalische Prozesse der Lasermaterialbearbeitung

2. Modulkürzel: 073000006 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: • Peter Berger• Thomas Graf

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die physikalischen Grundlagen und Modelle der unterschiedlichenLasermaterialbearbeitungsverfahren kennen und verstehen. Wissenwelche Bedeutung die einzelnen Wechselwirkungsmechanismenauf das jeweilige Verfahrensergebnis hat. Modellierungsansätze fürunterschiedliche Prozesse und Geometrien bewerten und verbessernkönnen.

13. Inhalt: • Beschreibung und Simulation ausgewählterLasermaterialbearbeitungsverfahren: Laserstrahlschweißen, -bohren, -abtragen, -schneiden und - härten.

• Modellierung der physikalischen Prozesse bei der WechselwirkungLaserstrahl/ Werkstück: Absorption, Wärmeleitung, Schmelzen/Erstarren, Schmelzbadbewegung, Verdampfung, Plasmaausbildung.

• Anhand zahlreicher Beispiele wird die Bedeutung der einzelnenWechselwirkungsmechanismen für das jeweilige Verfahrensergebniserläutert.

14. Literatur: Folien der Vorlesungen

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 327401 Vorlesung Physikalische Prozesse derLasermaterialbearbeitung

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32741 Physikalische Prozesse der Lasermaterialbearbeitung (BSL),schriftlich, eventuell mündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 270: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 270 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

Page 271: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 271 von 497

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 272: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 272 von 497

Modul: 32110 Thermokinetische Beschichtungsverfahren

2. Modulkürzel: 072200005 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Andreas Killinger

9. Dozenten: Andreas Killinger

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studenten können:• Funktionsprinzipien thermokinetischer Beschichtungsverfahrenbeschreiben und erklären.• verfahrensspezifische Eigenschaften von Schichten auflisten undbenennen.• Unterschiede der einzelnen Verfahrensvarianten untereinanderwiedergeben und gegenüberstellen.• Eignung einer bestimmten Verfahrensvariante hinsichtlich vorgegebenerSchichteigenschaften beurteilen und begründen.• Herstellverfahren für Pulver und Drähte wiedergeben, vergleichen undBeispiele geben.• Einfluss der Pulvereigenschaften auf den Prozess vorhersagen undbewerten.• Einfluss der Pulvereigenschaften auf die Schichteigenschaftenverstehen und ableiten.• industrielle Anwendungsfelder im Maschinenbau benennen undwiedergeben.

13. Inhalt: Dieser Modul hat die Grundlagen und Verfahrensvarianten derthermokinetischen Beschichtungsverfahren zum Inhalt. Dabei wird aufFertigungsund Anlagentechnik, Spritzzusatzwerkstoffe, moderne Online-Diagnoseverfahren, zerstörende und zerstörungsfreie Prüfverfahrenfür Schichtverbunde eingegangen. Anhand von Beispielen aus derindustriellen Praxis wird eine Übersicht über die wichtigsten industriellenAnwendungen und aktuelle Forschungsschwerpunkte gegeben.

Stichpunkte:

• Flammspritzen, Elektrolichtbogendrahtspritzen,Überschallpulverflammspritzen, Suspensionsflammspritzen,Plasmaspritzen.

• Herstellung und Eigenschaften von Spritzzusatzwerkstoffen.• Fertigungs- und Anlagentechnik.• Industrielle Anwendungen (Überblick).• Grundlagen der Schichtcharakterisierung.

14. Literatur: Skript, Literaturliste

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 321101 Vorlesung Thermokinetische Beschichtungsverfahren

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 Stunden

Page 273: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 273 von 497

Summe: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32111 Thermokinetische Beschichtungsverfahren (BSL), schriftlich,eventuell mündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Energietechnik➞ Spezialisierungsfach mit Querschnittscharakter➞ Festigkeitslehre und Werkstofftechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik

Page 274: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 274 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik kreramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 275: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 275 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Erneuerbare Energien➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Energietechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 276: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 276 von 497

Modul: 32750 Wellenleiter in der Lasertechnik

2. Modulkürzel: 073000007 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: • Andreas Voß• Uwe Brauch

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Funktionsweise und Einsatzbereiche flexibler Wellenleiter für denTransport von Laserstrahlung kennen und verstehen. Wissen wieaktive und passive Wellenleiterstrukturen ausgelegt, hergestellt undcharakterisiert werden. Optische Wellenleiter und wellenleiterintegrierteKomponenten anforderungsspezifisch bewerten und verbessern können.

13. Inhalt: • Definition, Arten und Anwendungsbereiche von Wellenleitern für dieLasertechnik

• Theoretische Grundlagen, Auslegung, Herstellung, Charakterisierungund Einsatzbereiche von flexiblen Wellenleitern für den Transport vonLaserstrahlung.

• Aktive Wellenleiterstrukturen in Gaslasern, Festkörperlasern (z.B.Faserlasern) und Halbleiterlasern.

• Planare Wellenleiterstrukturen (speziell polarisationsselektive Gitter-Wellenleiterstrukturen)

• Wellenleiterintegrierte Komponenten: Fibre Bragg Gratings (Einsatzz.B. als Resonatorspiegel und wellenlängenselektives Elementin Faserlasern), Filter, Strahlweichen, Koppler, Polarisatoren,Modulatoren, Isolatoren.

Der Schwerpunkt der Anwendungen liegt im Bereich derLasermaterialbearbeitung

14. Literatur: - Folien der Vorlesungen- K. Okamoto: Fundamentals of Optical Waveguides, Academic Press(2000)- Govind P. Agrawal: Nonlinear Fiber Optics (Third Edition), AcademicPress (2001)

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 327501 Vorlesung Wellenleiter in der Lasertechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32751 Wellenleiter in der Lasertechnik (BSL), schriftlich, eventuellmündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

Page 277: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 277 von 497

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung

Page 278: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 278 von 497

➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 279: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 279 von 497

241 Kernfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 29990 Grundlagen der Laserstrahlquellen14140 Materialbearbeitung mit Lasern

Page 280: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 280 von 497

Modul: 29990 Grundlagen der Laserstrahlquellen

2. Modulkürzel: 073000002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: Thomas Graf

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Das Prinzip der Laserstrahlerzeugung, insbesondere die Anregung,stimulierte Emission,Strahlausbreitung und optische Resonatoren kennen und verstehen.Wissen, welcheEigenschaften des Laseraktiven Mediums und des Resonators sich wieauf die erzeugte Strahlungauswirken. Laserkonzepte bezüglich Leistungsdaten, Wirkungsgrad undStrahlqualitätbewerten und verbessern können.

13. Inhalt: • Physikalische Grundlagen der Strahlausbreitung, Strahlerzeugung undStrahlverstärkung• laseraktives Medium, Inversionserzeugung, Wechselwirkung derStrahlung mit dem laseraktives Medium (Ratengleichungen)• Laser als Verstärker und Oszillator, Güteschaltung, Modenkopplung,Resonatoren• technologische Aspekte, insbesondere CO2-, Nd:YAG- Yb:YAG-,Faser- und Diodenlaser

14. Literatur: Buch:

Graf Thomas, „Laser - Grundlagen der Laserstrahlquellen“, Vieweg+Teubner 2009,

ISBN:978-3-8348-0770-0

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 299901 Vorlesung (mit integrierten Übungen) Grundlagen derLaserstrahlquellen

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 29991 Grundlagen der Laserstrahlquellen (PL), schriftliche Prüfung,120 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

Page 281: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 281 von 497

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 282: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 282 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

Page 283: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 283 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 284: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 284 von 497

Modul: 14140 Materialbearbeitung mit Lasern

2. Modulkürzel: 073010001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: Thomas Graf

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Schulkenntnisse in Mathematik und Physik.

12. Lernziele: Die vielfältigen Einsatzmöglichkeiten des Strahlwerkzeuges Laserinsbesondere beim Schweißen, Schneiden, Bohren, Strukturieren,Oberflächenveredeln und Urformen kennen und verstehen. Wissen,welche Strahl-, Material- und Umgebungseigenschaften sich wie aufdie Prozesse auswirken. Bearbeitungsprozesse bezüglich Qualität undEffizienz bewerten und verbessern können.

13. Inhalt: • Laser und die Auswirkung ihrer Strahleigenschaften (Wellenlänge,Intensität, Polarisation, etc.) auf die Fertigung,

• Komponenten und Systeme zur Strahlformung und Stahlführung,Werkstückhandhabung,

• Wechselwirkung Laserstrahl-Werkstück• physikalische und technologische Grundlagen zum Schneiden,

Bohren und Abtragen, Schweißen und Oberflächenbehandeln,Prozeßkontrolle, Sicherheitsaspekte, Wirtschaftlichkeitsbetrachtungen

14. Literatur: Buch:

Helmut Hügel und Thomas Graf, Laser in der Fertigung, Vieweg+Teubner(2009)

ISBN 978-3-8351-0005-3

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 141401 Vorlesung mit integrierter Übung Materialbearbeitung mitLasern

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42h + Nacharbeitszeit: 138h = 180h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 14141 Materialbearbeitung mit Lasern (PL), schriftliche Prüfung, 120Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

Page 285: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 285 von 497

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester

Page 286: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 286 von 497

➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik kreramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Materialwissenschaft, PO 2008, 6. Semester➞ Schlüsselqualifikationen➞ Wahlpflichtmodul B (Fachfremd)

B.Sc. Materialwissenschaft, PO 2011, 6. Semester➞ Schlüsselqualifikationen➞ Wahlpflichtmodul B (Fachfremd)

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

Page 287: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 287 von 497

➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

M.Sc. Technikpädagogik➞ Hauptfach Maschinenbau➞ Fertigungstechnik➞ Wahlcontainer Fertigungstechnik-Hauptfach

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Fertigungstechnik➞ Fertigungstechnik (Wahl)

Page 288: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 288 von 497

242 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 33420 Anlagentechnik für die laserbasierte Fertigung29990 Grundlagen der Laserstrahlquellen14140 Materialbearbeitung mit Lasern

Page 289: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 289 von 497

Modul: 33420 Anlagentechnik für die laserbasierte Fertigung

2. Modulkürzel: 073000003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: • Rudolf Weber• Andreas Letsch

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: • Die Voraussetzungen für sinnvolle und effiziente Laser-Anwendungenin der Materialbearbeitung kennen und verstehen.

• Begreifen der für den AnlagenbauentscheidendenLaserprozessgrößen.

• Wissen wie diese durch geeignete Auslegung der Anlagen erfülltwerden können.

• Anlagen bezüglich technischen und wirtschaftlichen Gesichtspunktenbewerten und verbessern können.

13. Inhalt: • Die wichtigsten Anwendungen des Lasers in der Materialbearbeitung• Anlagenkonzepte vom Roboterschweißen bis zur Laserfusion• Auslegung der Anlage von den mechanische Komponenten und

Strahlführungssystemen bis zur Achsendynamik• Peripherie von der Steuerung bis zu Sicherheitsaspekten• Kommerzielle Aspekte von der Stückkostenrechnung bis zur

Anlagenamortisation

14. Literatur: Folien der Vorlesungen

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 334201 Vorlesung Anlagentechnik für die laserbasierte FertigungTeil I: von der Anwendung zur Anlage

• 334202 Vorlesung Anlagentechnik für die laserbasierte FertigungTeil II: von der Anlage zum Betrieb

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: • 33421Anlagetechnik für die laserbasierte Fertigung - Teil I: vonder Anwendung zur Anlage (PL), mündliche Prüfung, 40Min., Gewichtung: 1.0, Anlagentechnik für die laserbasierteFertigung - Teil I: von der Anwendung zur Anlage, 0,5,mündlich, 20 minAnlagentechnik für die laserbasierteFertigung -Teil II: von der Anlage zum Betrieb, 0,5, mündlich,20 min(Wird nach Möglichkeit in einem gemeinsamen Terminabgehalten)

Page 290: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 290 von 497

• 33422Anlagetechnik für die laserbasierte Fertigung - Teil II: vonder Anlage zum Betrieb (PL), mündliche Prüfung, 40 Min.,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module

Page 291: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 291 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 292: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 292 von 497

Modul: 29990 Grundlagen der Laserstrahlquellen

2. Modulkürzel: 073000002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: Thomas Graf

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Das Prinzip der Laserstrahlerzeugung, insbesondere die Anregung,stimulierte Emission,Strahlausbreitung und optische Resonatoren kennen und verstehen.Wissen, welcheEigenschaften des Laseraktiven Mediums und des Resonators sich wieauf die erzeugte Strahlungauswirken. Laserkonzepte bezüglich Leistungsdaten, Wirkungsgrad undStrahlqualitätbewerten und verbessern können.

13. Inhalt: • Physikalische Grundlagen der Strahlausbreitung, Strahlerzeugung undStrahlverstärkung• laseraktives Medium, Inversionserzeugung, Wechselwirkung derStrahlung mit dem laseraktives Medium (Ratengleichungen)• Laser als Verstärker und Oszillator, Güteschaltung, Modenkopplung,Resonatoren• technologische Aspekte, insbesondere CO2-, Nd:YAG- Yb:YAG-,Faser- und Diodenlaser

14. Literatur: Buch:

Graf Thomas, „Laser - Grundlagen der Laserstrahlquellen“, Vieweg+Teubner 2009,

ISBN:978-3-8348-0770-0

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 299901 Vorlesung (mit integrierten Übungen) Grundlagen derLaserstrahlquellen

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 29991 Grundlagen der Laserstrahlquellen (PL), schriftliche Prüfung,120 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

Page 293: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 293 von 497

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 294: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 294 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

Page 295: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 295 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 296: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 296 von 497

Modul: 14140 Materialbearbeitung mit Lasern

2. Modulkürzel: 073010001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: Thomas Graf

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Schulkenntnisse in Mathematik und Physik.

12. Lernziele: Die vielfältigen Einsatzmöglichkeiten des Strahlwerkzeuges Laserinsbesondere beim Schweißen, Schneiden, Bohren, Strukturieren,Oberflächenveredeln und Urformen kennen und verstehen. Wissen,welche Strahl-, Material- und Umgebungseigenschaften sich wie aufdie Prozesse auswirken. Bearbeitungsprozesse bezüglich Qualität undEffizienz bewerten und verbessern können.

13. Inhalt: • Laser und die Auswirkung ihrer Strahleigenschaften (Wellenlänge,Intensität, Polarisation, etc.) auf die Fertigung,

• Komponenten und Systeme zur Strahlformung und Stahlführung,Werkstückhandhabung,

• Wechselwirkung Laserstrahl-Werkstück• physikalische und technologische Grundlagen zum Schneiden,

Bohren und Abtragen, Schweißen und Oberflächenbehandeln,Prozeßkontrolle, Sicherheitsaspekte, Wirtschaftlichkeitsbetrachtungen

14. Literatur: Buch:

Helmut Hügel und Thomas Graf, Laser in der Fertigung, Vieweg+Teubner(2009)

ISBN 978-3-8351-0005-3

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 141401 Vorlesung mit integrierter Übung Materialbearbeitung mitLasern

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42h + Nacharbeitszeit: 138h = 180h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 14141 Materialbearbeitung mit Lasern (PL), schriftliche Prüfung, 120Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

Page 297: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 297 von 497

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester

Page 298: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 298 von 497

➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik kreramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Materialwissenschaft, PO 2008, 6. Semester➞ Schlüsselqualifikationen➞ Wahlpflichtmodul B (Fachfremd)

B.Sc. Materialwissenschaft, PO 2011, 6. Semester➞ Schlüsselqualifikationen➞ Wahlpflichtmodul B (Fachfremd)

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

Page 299: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 299 von 497

➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fertigungstechnik keramischer Bauteile, Verbundwerkstoffe und

Oberflächentechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

M.Sc. Technikpädagogik➞ Hauptfach Maschinenbau➞ Fertigungstechnik➞ Wahlcontainer Fertigungstechnik-Hauptfach

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Fertigungstechnik➞ Fertigungstechnik (Wahl)

Page 300: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 300 von 497

Modul: 33800 Praktikum Lasertechnik

2. Modulkürzel: 073000009 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: • Thomas Graf• Andreas Voß

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Besuch des Spezialisierungsmoduls Grundlagen der Laserstrahlquellen.

12. Lernziele: Die Studierenden sind in der Lage, theoretische Vorlesungsinhalteanzuwenden und in der Praxis umzusetzen.

13. Inhalt: Nähere Informationen zu den Praktischen Übungen: APMB erhalten Siezudem unterhttp://www.uni-stuttgart.de/mabau/msc/msc_mach/linksunddownloads.html

Beispiele:

1) Scheibenlaser Zu Beginn des Versuchs wird der Resonator desScheibenlasers justiert und zum Lasen gebracht. Mit Hilfe einesLeistungsmessgerätes wird dann die Laserschwelle und derdifferentielle Wirkungsgrad bestimmt. Durch gezieltes Einfügen vonVerlusten im Resonator werden Resonatormoden erzeugt und miteiner Kamera aufgenommen.

2) Laserstrahlpropagation Mit der Messerschneidenmethode wirdin mehreren Ebenen der Strahldurchmesser eines HeNe-Lasersgemessen. Um die Strahlpropagationseigenschaften zu bestimmen,muss nach ISO 11146 der Strahldurchmesser in mindestens 10Messebenen ermittelt werden. Fünf dieser Messebenen sind imBereich der Taille und fünf Messebenen bei Positionen größer alszwei Rayleighlängen aufzunehmen. Im Rahmen dieses Versuchsist ein Teleskop so einzurichten, dass die oben beschriebeneMessvorschrift angewendet werden kann.

3) Polarisation Im Rahmen dieses Versuchs werden diePolarisationseigenschaften eines HeNe- Lasers untersucht.Nach der Charakterisierung dieses Lasers wird mit Hilfe vondoppelbrechenden Materialien zirkular und elliptisch polarisiertesLicht erzeugt. Mit Hilfe des Brewstereffekts wird die optische Dichteeines unbekannten Materials bestimmt.

4) Interferometer Zu Beginn des Versuchs wird ein Interferometeraufgebaut, mit dem die Oberfläche eines Spiegels vermessen wird.Mit einem weiteren Interferometer wird der Ausdehnungskoeffizientvon Aluminium bestimmt. Hierzu wird die Längenänderung einesAluminiumblocks beim Abkühlen interferometrisch gemessen, derzuvor elektrisch erwärmt wurde

5) Faserlaser Zu Beginn des Versuchs wird ein Faserlaser in Betriebgenommen. Es werden charakteristische Eigenschaften des Lasersbestimmt und der Einfluss von Biegung der Faser untersucht.Die

Page 301: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 301 von 497

Studierenden sind in der Lage, theoretische Vorlesungsinhalteanzuwenden und in der Praxis umzusetzen.

14. Literatur: Praktikums-Unterlagen

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 338001 Spezialisierungsfachversuch 1• 338002 Spezialisierungsfachversuch 2• 338003 Spezialisierungsfachversuch 3• 338004 Spezialisierungsfachversuch 4• 338005 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 1• 338006 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 2• 338007 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 3• 338008 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 4

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 30 StundenSelbststudium / Nacharbeitszeit: 60 StundenGesamt: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33801 Praktikum Lasertechnik (USL), schriftlich, eventuell mündlich,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 302: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 302 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Spezialisierungsfächer A (ING)➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Spezialisierungsmodule➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

Page 303: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 303 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Spezialisierungsmodule➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung

Page 304: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 304 von 497

270 Medizingerätetechnik

Zugeordnete Module: 273 Ergänzungsfächer mit 3 LP271 Kernfächer mit 6 LP272 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 305: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 305 von 497

273 Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 306: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 306 von 497

271 Kernfächer mit 6 LP

Page 307: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 307 von 497

272 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 308: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 308 von 497

250 Mikrosystemtechnik

Zugeordnete Module: 253 Ergänzungsfächer mit 3 LP251 Kernfächer mit 6 LP252 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP33810 Praktikum Mikrosystemtechnik

Page 309: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 309 von 497

253 Ergänzungsfächer mit 3 LP

Zugeordnete Module: 33450 Elektronik für Mikrosystemtechniker32880 Elektronische Bauelemente in der Mikrosystemtechnik33540 Grundlagen der Mikrosystemtechnik (Übungen)33530 Mikrofluidik (Übungen)33110 Modellierung und Simulation in der Mikrosystemtechnik33770 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II

Page 310: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 310 von 497

Modul: 33450 Elektronik für Mikrosystemtechniker

2. Modulkürzel: 073400004 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Rainer Mohr

9. Dozenten: Rainer Mohr

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Ziel ist es, den Studierenden elektronische Schaltungstechnikzu vermitteln. Dabei liegt der Schwerpunkt auf Schaltungen derMikrosystemtechnik: Analoge Signalverarbeitung, Sensorik,Stromversorgungen batteriebetriebener Geräte.

Die Studierenden sind in der Lage- Einfache Schaltungen zu dimensionieren- Schaltbilder zu lesen und zu verstehen- elektrische Messtechnik durchzuführen- ein Schaltungssimulationsprogramm zu bedienen

13. Inhalt: Einfache Stromkreise, Elektrische Netzwerke, Wechselstromlehre,Signalverarbeitung, Verstärker, Analoge integrierte Schaltungen(Operationsverstärker), Sensorsignalverarbeitung, Oszillatoren,Schwingschaltungen, Stromversorgungen, Rauschen,Elektromagnetische Verträglichkeit, Schaltungsbeispiele

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung, Literatur zu den einzelnen Kapiteln(Literaturverzeichnis im Manuskript)

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 334501 Vorlesung (inkl. Elektronikpraktikum) Elektronik fürMikrosystemtechniker

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33451 Elektronik für Mikrosystemtechniker (BSL), mündlichePrüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel

20. Angeboten von:

Page 311: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 311 von 497

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

Page 312: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 312 von 497

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 313: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 313 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 314: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 314 von 497

Modul: 32880 Elektronische Bauelemente in der Mikrosystemtechnik

2. Modulkürzel: 073400005 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Rainer Mohr

9. Dozenten: Rainer Mohr

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Ziel ist es, den Studierenden Kenntnisse über elektronischeBauelemente, insbesondere für Anwendungenin der Mikrosystemtechnik, z.B. als sensorische Elemente zu vermitteln.

Die Studierenden sind in der Lage

• Elektronische Bauelemente zu qualifizieren, d.h. ein für den gedachtenAnwendungszweck geeignetes Bauelement auszusuchen.

• Ersatzschaltbilder für Bauelemente auszusuchen ausProgrammbibliotheken für die Verwendung in einer Simulation

• elektrische Messtechnik durchzuführen• ein Schaltungssimulationsprogramm zu bedienen

13. Inhalt: Allgemeines zu elektronischen Bauelementen, Leitungsmechanismen,Widerstände, Kondensatoren, Spulen, Halbleiter (Diode, BipolareTransistoren, Feldeffekttransistoren), Ladungsverschiebungselemente(CCD), Elektronische Speicher, Parasitäre Eigenschaften beielektronischen Bauelementen, Piezoelektrische Bauelemente (Quarz,Piezokeramik), Organische elektronische Bauelemente (OLED, OFET)

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung, Literatur zu den einzelnen Kapiteln(Literaturverzeichnis im Manuskript)

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 328801 Vorlesung (inkl. Übungen und Schaltungssimulation)Elektronische Bauelemente in der Mikrosystemtechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32881 Elektronische Bauelemente in der Mikrosystemtechnik (BSL),mündliche Prüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik

Page 315: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 315 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement

Page 316: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 316 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik

Page 317: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 317 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 318: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 318 von 497

Modul: 33540 Grundlagen der Mikrosystemtechnik (Übungen)

2. Modulkürzel: 072420102 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 0.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten:

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele:

13. Inhalt:

14. Literatur:

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 335401 Übungen Mikrosystemtechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand:

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33541 Grundlagen der Mikrosystemtechnik (Übungen) (BSL),schriftlich, eventuell mündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 319: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 319 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- undProduktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

Page 320: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 320 von 497

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 321: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 321 von 497

Modul: 33530 Mikrofluidik (Übungen)

2. Modulkürzel: 072420106 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: • Hermann Sandmaier• Nourdin Boufercha

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Teilnahme an der Vorlesung Mikrofluidik und Mikroaktorik

12. Lernziele: Im Modul Mikrofluidik (Übungen)- vertiefen die Studierenden das in der Vorlesung Mikrofluidik vermitteltetheoretische Wissen von fluidischen Systemen an praktischen Übungsbeispielen.

Erworbene Kompetenzen:Die Studierenden- können fluidische Systeme modellieren,- können diese Systeme simulieren- lernen das Werkzeug „Simulation" kennen und zu bedienen.

13. Inhalt:

14. Literatur:

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 335301 Übungen Mikrofluidik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33531 Mikrofluidik (Übungen) (BSL), schriftliche Prüfung, 60 Min.,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamer, handouts, Gruppenarbeit, einzeln am PC

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

Page 322: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 322 von 497

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 323: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 323 von 497

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 324: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 324 von 497

Modul: 33110 Modellierung und Simulation in der Mikrosystemtechnik

2. Modulkürzel: 073400006 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Rainer Mohr

9. Dozenten: • Rainer Mohr• Marc Schober

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Ziel ist es, den Studierenden Modellierungs- und Simulationsmethoden,insbesondere der Mikrosystemtechnik, zu vermitteln. Dazu gehörtauch die Vermittlung von Kenntnissen der Bedienung entsprechenderProgramme (Matlab / Simulink, LTSpice und ANSYS).

13. Inhalt: Einführung in die Modellierung und Simulation, Einführung in dienumerische Feldberechnung, Netzwerkbeschreibung physikalischerStrukturen (elektrische, mechanische, elektro-mechanische undthermische Netzwerke), Blockbeschreibung, Finite DifferenzenMethode, Finite Elemente Methode (Galerkin Verfahren, Vernetzung,Fehlerabschätzung, Adaptive Verfahren), Einführung in ANSYS

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung, Literatur zu den einzelnen Kapiteln(Literaturverzeichnis im Manuskript)

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 331101 Vorlesung (inkl. Übungen am Computer): Modellierung undSimulation in der Mikrosystemtechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33111 Modellierung und Simulation in der Mikrosystemtechnik (BSL),schriftlich, eventuell mündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Tafel, 20 Bezeichnung der zugehörigenModulprüfung/ en und

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik

Page 325: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 325 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement

Page 326: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 326 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 327: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 327 von 497

Modul: 33770 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II

2. Modulkürzel: 072420004 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: Hermann Sandmaier

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

12. Lernziele: Im Modul Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II

• haben die Studierenden die Technologien der Oberflächen-und Bulkmikromechanik sowie die Röntgenlithographie und dasLIGA Verfahren zur Herstellung von Bauelementen der NanoundMikrosystemtechnik vertiefend kennen gelernt,

• können die Studierenden die Prozessverfahren bewerten und sind inder Lage Prozessabläufe selbstständig zu entwerfen.

Erworbene Kompetenzen:

Die Studierenden

• können die Verfahren der Oberflächen- und Bulkmikromechanik sowiedie Röntgenlithographie und das LIGA-Verfahren benennen und mitHilfe physikalischer Grundlagenkenntnisse erläutern,

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens zur Herstellung von mikrotechnischen Bauelementen aufder Basis der oben genannten Technologien

• haben ein Gefühl für den Aufwand der einzelnen Verfahren entwickelnkönnen,

• sind mit den technologischen Grenzen der Verfahren vertraut undkönnen diese bewerten,

• sind in der Lage, auf der Basis gegebener technologischer undwirtschaftlicher Randbedingungen einen kompletten Prozessablauf zurHerstellung von mikrotechnischen Bauelementen und Systemen zuentwerfen.

13. Inhalt: Die Vorlesung vermittelt den Studierenden die Grundlagen, umdie spezifischen Prozessabläufe zur Herstellung von modernenBauelementen der Mikrosystemtechnik zu verstehen. Nach einer kurzenEinführung in die Thematik werden die Oberflächenmikromechanik(OMM), die Bulkmikromechanik (BMM), die Röntgenlitho-graphie und das LIGA-Verfahren ausführlich behandelt, und dieGrundlagen zu den einzelnen technologischen Prozessen vermittelt.Anhand von Anwendungsbeispielen wird gezeigt, wie durch einegeschickte Aneinanderreihung der einzelnen Prozesse komplexe

Page 328: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 328 von 497

Bauelemente der Nano- und Mikrosystemtechnik, wie z.B. Druck-,Beschleunigungssensoren und das Digital Mirror Device (DMD)hergestellt werden können.

14. Literatur: - Menz, W.; Mohr, J.; Paul, O., Mikrosystemtechnik für Ingenieure,Weinheim: Wiley-VCH, 2005- Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, 2. Auflage, Boca Raton:crcpress, 1997- Bhushan, B., Handbook of Nanotechnology, Springer, 2003- Völklein, F.; Zetterer T., Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage,Wiesbaden, Vieweg,2006- Schwesinger N.; Dehne C.; Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,Oldenburg Verlag, 2009- Handouts und CD zur Vorlesung

Online-Vorlesungen:- http://www.sensedu.com- http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 337701 Vorlesung Technologien der Nano- und MikrosystemtechnikII

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33771 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik II (BSL),schriftlich, eventuell mündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus BWL

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Spezialisierungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 329: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 329 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module

Page 330: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 330 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 331: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 331 von 497

251 Kernfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 32240 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- und Systemaufbau33760 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien32230 Grundlagen der Mikrosystemtechnik13540 Grundlagen der Mikrotechnik33690 Mikrofluidik und Mikroaktorik13560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

Page 332: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 332 von 497

Modul: 32240 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- undSystemaufbau

2. Modulkürzel: 073400003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: • Heinz Kück• Bernhard Polzinger• Tobias Grözinger

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Das Modul „Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- undSystemaufbau“ bildet zusammen mit dem Modul „Aufbau- undVerbindungstechnik II - Technologien“ den Kern der Ausbildung inder Gehäuse-, Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme.Die Studierenden erwerben grundlegende Kenntnisse überwesentliche Fragestellungen bei der Entwicklung der Aufbau- undVerbindungstechnik von Sensoren und Systemen aus verschiedenenmikrotechnischen Komponenten.

Die Studierenden sollen:

• die Vielfalt und Verschiedenheit der Aufbauten von Mikrosystemen undder Technologien der Aufbau- und Verbindungstechnik kennenlernen;

• erkennen, wie das Einsatzgebiet von Sensoren und Systemen dieAnforderungen an die Aufbau- und Verbindungstechnik bestimmt undwelche Anforderungen zu erfüllen sind;

• die Einflüsse insbesondere die parasitären Einflüsse der Aufbau- undVerbindungstechnik auf die Eigenschaften der Sensoren und Systemeerkennen;

• die Auswirkungen der Aufbau- und Verbindungstechniken auf Qualität,Zuverlässigkeit und Kosten kennenlernen;

• die von der Stückzahl abhängigen spezifischen Vorgehensweisenbei der Aufbauund Verbindungstechnik von Sensoren und Systemenkennenlernen. Ein besonderes Augenmerk wird auf die Erfordernissekompletter Sensoren oder Systeme über den ganzen Lebenszyklusgelegt.

13. Inhalt: Einführung; Übersicht zu Aufbauten von Mikrosystemen; Einteilung derSensoren und Mikrosysteme nach Anforderungen und Spezifikationen fürverschiedene Branchen; Übersicht zu mikrotechnischen Bauelementenfür Sensoren; Grundzüge zu Systemarchitektur und elektronischen

Page 333: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 333 von 497

Schaltungen, Übersicht über Aufbaustrategien und Montageprozesse;grundlegende Eigenschaften der eingesetzten Werkstoffe; umwelt-und betriebsbedingte Beanspruchungen und Stress in verschiedenenAnwendungen; wesentliche Ausfallmechanismen bei mikrotechnischenBauelementen und Aufbauten; Qualität und Zuverlässigkeit von Sensorenund Mikrosystemen; Funktionsprüfung und Kalibrierung; Besonderheitenvon speziellen Sensorsystemen u. a. für Vektorgrößen, fluidischeGrößen; Aspekte der Fertigung von Sensoren und Mikrosystemen beikleinen und großen Stückzahlen. Die jeweiligen Lehrinhalte werdenanhand von einschlägigen Beispielen diskutiert und veranschaulicht. DieLehrinhalte werden durch Übungen vertieft. In einem praktischen Teilwird der Bezug der Lehrinhalte zur industriellen Praxis dargestellt.

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322401 Vorlesung (inkl. Übungen, praktischer Teil am Institut, undExkursion) : Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor-und Systemaufbau, Vorlesung (inkl. Übungen, praktischerTeil am Institut, und Exkursion),

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32241 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- undSystemaufbau (PL), schriftlich, eventuell mündlich,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel, Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 334: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 334 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 335: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 335 von 497

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 336: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 336 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 337: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 337 von 497

Modul: 33760 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien

2. Modulkürzel: 073400002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: Bernhard Polzinger

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Das Modul „Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien“ bildetzusammen mit dem Modul „Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor-und Systemaufbau“ den Kern der Ausbildung in der Gehäuse-, Aufbau-und Verbindungstechnik für Mikrosysteme. Die Studierenden erwerbenKenntnisse über die Technologien und Fertigungsverfahren bei derMontage von Mikrosystemen.

Die Studierenden sollen:

• die wichtigsten Fertigungsverfahren der Aufbau- undVerbindungstechnik kennen und in Abhängigkeit derSystemerfordernisse zu bewerten lernen;

• die Eigenschaften der wichtigen Werkstoffe und deren Einfluss aufQualität und Zuverlässigkeit der Mikrosysteme kennenlernen;

• die wesentlichen technologischen Einflussgrößen der Verfahrenkennenlernen;

• die wichtigsten Merkmale der Fertigungsanlagen kennen und zubewerten lernen;

13. Inhalt: Einführung in die Aufbau- und Verbindungstechnik; Leiterplatten; Lötenund Kleben in der SMDTechnik; Dickschichttechnik; Gehäusearten undTypen; Chipmontage mit Die-Bonden, Drahtbonden, Flip-Chip-Technik,TAB-Bonden; Thermoplastische Systemträger (Moulded InterconnectDevices „MID“) mit Spritzgießtechnik, Zweikomponentenspritzguss- MID-Technik, Laserbasierte MID-Technik; Chemische Metallbeschichtung vonKunststoffen; Chip-und SMD -Montage auf MID; Heißpräge-MID-Technik;Sensoren und Aktoren in MID-Technik; Fügen und Verbinden vonKunststoffbauteilen mit Kleben und Schweißen; Qualitätsmanagement inder Aufbau- und Verbindungstechnik.

Die jeweiligen Lehrinhalte werden anhand von einschlägigen Beispielendiskutiert und veranschaulicht. Die Lehrinhalte werden durch Übungen

Page 338: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 338 von 497

vertieft. In einem praktischen Teil wird der Bezug der Lehrinhalte zurindustriellen Praxis dargestellt.

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 337601 Vorlesung(inkl. ÜB, Pr, Exkursion) Aufbau- undVerbindungstechnik II - Technologien

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33761 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien (PL),schriftlich, eventuell mündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel, Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

Page 339: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 339 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau

Page 340: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 340 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 341: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 341 von 497

Modul: 32230 Grundlagen der Mikrosystemtechnik

2. Modulkürzel: 072420002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: Hermann Sandmaier

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Mikrosystemtechnik

• haben die Studierenden einen Überblick über die bedeutendstenMärkte und Bauelemente bzw. Systeme der Mikrosystemtechnik (MST)kennen gelernt

• wissen die Studierenden, wie sich einzelne physikalische Größen beieiner Miniaturisierung verhalten bzw. ändern und wie diese Skalierunggenutzt werden kann, um Mikrosensoren und mikroaktorische Antriebezu realisieren

• können die Studierenden die bedeutendsten Sensoren und Systemeder Mikrosystemtechnik nach vorgegebene Spezifikationen entwerfenund auslegen.

Erworbene Kompetenzen:

Die Studierenden

• haben ein Gefühl für die Märkte der MST und können die wichtigstenProdukte der Mikrosystemtechnik benennen und beschreiben

• besitzen die Grundlagen, um Auswirkungen einer Miniaturisierung aufphysikalische Größen, wie mechanische Spannungen, elektrische,piezoelektrische und magnetische Kräfte, Zeitkonstanten undFrequenzen, thermische Phänomene, Reibungseffekte und dasVerhalten von Flüssigkeiten und Gasen beurteilen zu können

• kennen die physikalischen Grundlagen zu den bedeutendstenWandlungsprinzipien bzw. Messeffekten der MST

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens zur Realisierung von mikrosystemtechnischen Sensoreneinschließlich der teilweise in den Sensoren erforderlichenmikroaktorischen Antriebe

• können anhand vorgegebener Spezifikationen einen Mikrosensoreinschließlich der elektrischen Auswerteschaltung auslegen undentwerfen.

Page 342: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 342 von 497

13. Inhalt: Die Vorlesung Mikrosystemtechnik vermittelt den Studierenden dieGrundlagen, und das Basiswissen zur Gestaltung und Entwicklungvon mikrotechnischen Funktionselementen, Sensoren und Systemen.Anhand der Skalierung von physikalischen Gesetzen und Größen werdendie Grundlagen vermittelt, die zur Auslegung und Berechnung vonBauelementen und Systemen der Mikrosystemtechnik benötigt werden.Es werden die Grundlagen zur Auslegung von schwingungsfähigenSystemen, wie sie in Beschleunigungssensoren und Drehratensensorenerforderlich sind, vermittelt. Einen weiteren Schwerpunkt bilden die inder MST bedeutendsten Wandlungsprinzipien und die Beschreibunganisotroper Effekte. Die gewonnenen Kenntnisse werden anschließendeingesetzt, um den Aufbau und die Funktionsweise der wirtschaftlichbedeutenden Mikrosensoren zu erläutern. Ausführlich wird auf dieMikrosensoren zur Messung von Abständen bzw. Wegen, Drücken,Beschleunigungen, Drehraten, magnetischen und thermischenGrößen sowie Durchflüssen, Winkel und Neigungen eingegangen. DaMikrosensoren heute in der Regel ein elektrisches Ausgangssignalliefern, werden auch für die Sensorsignalauswertung wichtigeelektronische Schaltungen behandelt.

14. Literatur: - Schwesinger N., Dehne C., Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,Oldenburg Verlag, 2009- HSU Tai-Ran, MEMS and Microsystems, Wiley, 2008- Korvink, J. G., Paul O., MEMS - A practical guide to design, analysisand applications, Springer, 2006- Menz, W., Mohr, J., Paul, O.; Mikrosystemtechnik für Ingenieure,Weinheim: Wiley-VCH, 2005- Völklein, F., Zetterer T., Praxiswissen Mikrosystemtechnik,- Mescheder U.; Mikrosystemtechnik, Teubner Stuttgart Leipzig , 2000- Pagel L., Mikrosysteme, J. Schlembach Fachverlag, 2001- Handouts, Skript und CD zur Vorlesung- Übungen zur Mikrosystemtechnik

Online-Vorlesungen:- http://www.sensedu.com- http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322301 Vorlesung Mikrosystemtechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32231 Grundlagen der Mikrosystemtechnik (PL), mündliche Prüfung,40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus BWL

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Spezialisierungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik

Page 343: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 343 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik

Page 344: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 344 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Pflichtmodule mit Wahl

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module

Page 345: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 345 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

Page 346: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 346 von 497

➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 347: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 347 von 497

Modul: 13540 Grundlagen der Mikrotechnik

2. Modulkürzel: 073400001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: Heinz Kück

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden erwerben Kenntnisse über die wichtigstenWerkstoffeigenschaften, sowie Grundlagen der Konstruktion undFertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen. DieStudierenden sind in der Lage, die Besonderheiten der Konstruktionund Fertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen in derProduktentwicklung und Produktion zu erkennen und sich eigenständig inLösungswege einzuarbeiten.

13. Inhalt: • Eigenschaften der wichtigsten Werkstoffe der MST• Silizium-Mikromechanik• Einführung in die Vakuumtechnik• Herstellung und Eigenschaften dünner Schichten• (PVD- und CVD-Technik, Thermische Oxidation)• Lithographie und Maskentechnik• Ätztechniken zur Strukturierung (Nasschemisches Ätzen, RIE, IE,

Plasmaätzen)• Reinraumtechnik• Elemente der Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme

(Bondverfahren, Chipgehäusetechniken)• LIGA-Technik• Mikrotechnische Bauteile aus Kunststoff (Mikrospritzguss, Heißprägen)

Page 348: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 348 von 497

• Mikrobearbeitung von Metallen (Funkenerosion, spanendeMikrobearbeitung)

• Messmethoden der Mikrotechnik• Prozessfolgen der Mikrotechnik

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 135401 Vorlesung Grundlagen der Mikrotechnik• 135402 Freiwillige Übung zur Vorlesung Grundlagen der

Mikrotechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13541 Grundlagen der Mikrotechnik (PL), mündliche Prüfung, 40Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overhead-Projektor-Anschrieb, Tafelanschrieb,Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von: Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 349: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 349 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 350: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 350 von 497

➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule

Page 351: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 351 von 497

➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 352: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 352 von 497

Modul: 33690 Mikrofluidik und Mikroaktorik

2. Modulkürzel: 072420003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: • Hermann Sandmaier• Joachim Sägebarth

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Mikrofluidik und Mikroaktorik

• haben die Studierenden die physikalischen Grundlagen zumikrofluidischen Phänomenen kennen gelernt,

• haben die Studierenden die physikalischen Grundlagen zuAktorprinzipien kennen gelernt,

• können die Studierenden die Funktionsweise der wichtigstenmikrofluidischen Produkte und der wichtigsten Aktoren erläutern.

Erworbene Kompetenzen

Die Studierenden

• können die wichtigsten Bauelemente der Mikrofluidik und Mikroaktorikbenennen und mit Hilfe physikalischer Grundlagenkenntnisseerläutern,

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens beim Entwurf und der Berechnung von mikrofluidischenBauelementen und Mikroaktoren,

• haben ein Gefühl für den technischen Aufwand zur Herstellungeinzelner Bauelemente entwickelt,

• sind mit den technischen Grenzen der Bauelemente vertraut undkönnen diese bewerten,

• besitzen die Grundlagen, um Auswirkungen einer Miniaturisierung aufphysikalische Größen, wie Kräfte, Zeitkonstanten, Wärmetransport,fluidische Strömungen, etc. beurteilen zu können,

• sind in der Lage, auf der Basis gegebener technischer undwirtschaftlicher Randbedingungen, die optimalen Bauelementeauszuwählen und entsprechende mikrofluidische bzw. aktorischeSysteme zu entwerfen.

13. Inhalt: • Die Vorlesung ist in zwei Teile aufgeteilt, die weitgehen unabhängigvoneinander sind. Während im Wintersemester die Mikrofluidikbehandelt wird, wird im Sommersemester schwerpunktmäßig aufdie Mikroaktorik eingegangen. In keinem Teil der Vorlesung werdendie vermittelten Kenntnisse des anderen Teils vorausgesetzt.

Page 353: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 353 von 497

Die Vorlesung kann deshalb sowohl im Sommerals auch imWintersemester begonnen werden.

• Im Vorlesungsteil mit dem Schwerpunkt Mikrofluidik werdendie physikalischen Grundlagen zu Fluideigenschaften undzur Fluiddynamik vermittelt sowie die Randbedingungen beimminiaturisieren von Fluidsystemen dargestellt. Des Weiteren wird dieEntwicklung, Funktionsweise und Herstellung von mikrofluidischenBauelementen und Aktoren anhand bereits realisierter Systeme (z.B.Lab-On-A-Chip) analysiert.

• Im Vorlesungsteil mit dem Schwerpunkt Mikroaktorik werden diephysikalischen Grundlagen zur Mikroaktorik vermittelt. Anhand vonÜbungen werden die vermittelten Kenntnisse vertieft. Es werdeninsbesondere die elektrostatischen, die piezoelektrischen, diemagnetischen, magnetound elektrostriktiven sowie die thermischenAktorprinzipien behandelt. Dabei werden auch die Auswirkungen einerMiniaturisierung auf das Aktorprinzip (Kraft, Weg, Geschwindigkeitbzw. Frequenz, Leistungsverbrauch, etc.) analysiert. Des Weiterenwird auf die Entwicklung und Funktionsweise bereits realisiertermikroaktorischer Bauelemente und Systeme eingegangen.

14. Literatur: - Pagel L., Mikrosysteme, J. Schlembach Fachverlag, 2001- Nam-Trung Nguyen, Mikrofluidik: Entwurf, Herstellung undCharakterisierung, Teubner, 2004- Korvink, J. G., Paul O., MEMS - A practical guide to design, analysisand applications, Springer, 2006- Nam-Trung Nguyen, Steven T. Wereley, Fundamentals and applicationsof microfluidics, Artech House, 2006- Patrick Tabeling, Introduction to microfluidics, Oxford University Press,2006- Oliver Geschke, Henning Klank, Pieter Telleman, Microsystemengineering of lab on a chip devices, Wiley-VCH, 2008- HSU Tai-Ran, MEMS and Microsystems, Wiley, 2008- Schwesinger N., Dehne C., Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,Oldenburg Verlag, 2009- Handouts, Skript und CD zur Vorlesung

Online-Vorlesungen:- http://www.sensedu.com- http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 336901 Vorlesung mit Übungen : Mikrofluidik und Mikroaktorik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33691 Mikrofluidik und Mikroaktorik (PL), schriftlich, eventuellmündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 354: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 354 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module

Page 355: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 355 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 356: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 356 von 497

➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 357: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 357 von 497

Modul: 13560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

2. Modulkürzel: 072420001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: Hermann Sandmaier

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

• haben die Studierenden die wichtigsten Technologien und Verfahrenzur Herstellung von Bauelementen der Mikroelektronik als auch derNano- und Mikrosystemtechnik kennen gelernt,

• können die Studierenden einzelne technologische Prozesse bewertenund sind in der Lage Prozessabläufe selbstständig zu entwerfen.

Erworbene Kompetenzen:

Die Studierenden

• können die wichtigsten Materialien der Nano- und Mikrosystemtechnikbenennen und beschreiben,

• können die wichtigsten Verfahren der Mikroelektronik sowie der Nano-und Mikrosystemtechnik benennen und mit Hilfe physikalischerGrundlagenkenntnisse erläutern,

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens zur Herstellung von mikrotechnischen Bauelementen,

• haben ein Gefühl für den Aufwand einzelner Verfahren entwickelnkönnen,

• sind mit den technologischen Grenzen der Verfahren vertraut undkönnen diese bewerten,

• sind in der Lage, auf der Basis gegebener technologischer undwirtschaftlicher Randbedingungen, die optimalen Prozessverfahren

Page 358: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 358 von 497

auszuwählen und einen kompletten Prozessablauf für die Herstellungvon mikrotechnischen Bauelementen zu entwerfen.

13. Inhalt: Die Vorlesung vermittelt den Studierenden die Grundlagen,um die komplexen Prozessabläufe bei der Herstellung vonmodernen Bauelementen der Mikroelektronik sowie der Nano- undMikrosystemtechnik zu verstehen. Nach einer Einführung in die Thematikwerden zunächst die wichtigsten Materialien - insbesondere Silizium- vorgestellt. Anschließend werden die bedeutendsten Prozesse zurHerstellung von mikroelektronischen und mikrosystemtechnischenBauelementen und Systemen behandelt. Insbesondere werdendie Grundlagen zur Dünnschichttechnik, zur Lithographie und zuden Ätzverfahren vermittelt. Abschließend werden als Vertiefungdie Prozessabläufe der Oberflächen- und Bulkmikromechanik kurzvorgestellt und erläutert. Anhand von Anwendungsbeispielen wirdgezeigt, wie durch eine geschickte Aneinanderreihung der einzelnenProzesse komplexe Bauelemente, wie elektronische Schaltungenoder Mikrosysteme, hergestellt werden können.

14. Literatur: • Korvink, J. G.; Paul O.,MEMS - A practical guide to design, analysisand applications, Springer, 2006

• Menz, W.; Mohr, J.; Paul, O., Mikrosystemtechnik für Ingenieure,Weinheim: Wiley-VCH, 2005

• Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, 2. Auflage, Boca Raton:crcpress, 1997

• Bhushan, B., Handbook of Nanotechnology, Springer, 2003• Völklein, F.; Zetterer T., Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage,

Wiesbaden, Vieweg, 2006• Schwesinger N.; Dehne C.; Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,

Oldenburg Verlag, 2009• Handouts, Skript und CD zur Vorlesung

Online-Vorlesungen:

• http://www.sensedu.com• http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 135601 Vorlesung Technologien der Nano- und MikrosystemtechnikI

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13561 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I (PL),mündliche Prüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von: Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

Page 359: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 359 von 497

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

Page 360: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 360 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Weitere Spezialisierungsfächer➞ Fabrikbetrieb➞ Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau

Page 361: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 361 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik

Page 362: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 362 von 497

➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 363: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 363 von 497

252 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendungmechatronischer Komponenten

32240 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- und Systemaufbau33760 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme32220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik32230 Grundlagen der Mikrosystemtechnik13540 Grundlagen der Mikrotechnik33690 Mikrofluidik und Mikroaktorik33710 Optische Messtechnik und Messverfahren13560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I13580 Wissens- und Informationsmanagement in der Produktion

Page 364: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 364 von 497

Modul: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten

2. Modulkürzel: 072510003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: Wolfgang Schinköthe

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden kennen die Grundlagen der Magnettechnik und-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktive Auslegung,Magnetisierung). Die Studierenden können elektromagnetische Antriebe(rotatorische und lineare Schrittmotoren) vereinfacht berechnen,gestalten und auslegen. Die Studierenden können elektrodynamischeAntriebe (rotatorische und lineare Gleichstromkleinstmotoren) vereinfachtberechnen, gestalten und auslegen. Die Studierenden kennenpiezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik.

13. Inhalt: Behandelt werden feinwerktechnische Antriebe unterschiedlicherWirkprinzipe mit den Schwerpunkten:

• Magnettechnik/-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktiveAuslegung, Magnetisierung)

• Elektromagnetische Antriebe (rotatorische und lineare Schrittmotoren;Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

• Elektrodynamische Antriebe (rotatorische und lineareGleichstromkleinstmotoren; Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

Page 365: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 365 von 497

• Piezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik(neue Werkstoffe in mechatronischen Komponenten, Berechnung,Gestaltung, Anwendung)

• Beispiele zur Realisierung mechatronischer Lösungen in derGerätetechnik. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigen Übungen undPraktika (Spezialisierungsfachpraktika und APMB).

14. Literatur: • Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil 1.Skript zur Vorlesung

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil2 Übung und Praktikumsversuch Piezosysteme/ Ultraschallantriebe.Skript zu Übung und Praktikum

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten -Teil 3 Übung und Praktikumsversuch Lineare Antriebssysteme/Lineardirektantriebe. Skript zu Übung und Praktikum

• Kallenbach, E.; Stölting, H.-D.: Handbuch Elektrische Kleinantriebe.Leipzig: Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag 2011

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 327301 Vorlesung + Übung Aktorik in der Gerätetechnik;Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32731 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Overhead-Projektor, Beamer-Präsentation

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 366: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 366 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik

Page 367: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 367 von 497

➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 368: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 368 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- undProduktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 369: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 369 von 497

Modul: 32240 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- undSystemaufbau

2. Modulkürzel: 073400003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: • Heinz Kück• Bernhard Polzinger• Tobias Grözinger

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Das Modul „Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- undSystemaufbau“ bildet zusammen mit dem Modul „Aufbau- undVerbindungstechnik II - Technologien“ den Kern der Ausbildung inder Gehäuse-, Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme.Die Studierenden erwerben grundlegende Kenntnisse überwesentliche Fragestellungen bei der Entwicklung der Aufbau- undVerbindungstechnik von Sensoren und Systemen aus verschiedenenmikrotechnischen Komponenten.

Die Studierenden sollen:

• die Vielfalt und Verschiedenheit der Aufbauten von Mikrosystemen undder Technologien der Aufbau- und Verbindungstechnik kennenlernen;

• erkennen, wie das Einsatzgebiet von Sensoren und Systemen dieAnforderungen an die Aufbau- und Verbindungstechnik bestimmt undwelche Anforderungen zu erfüllen sind;

• die Einflüsse insbesondere die parasitären Einflüsse der Aufbau- undVerbindungstechnik auf die Eigenschaften der Sensoren und Systemeerkennen;

• die Auswirkungen der Aufbau- und Verbindungstechniken auf Qualität,Zuverlässigkeit und Kosten kennenlernen;

• die von der Stückzahl abhängigen spezifischen Vorgehensweisenbei der Aufbauund Verbindungstechnik von Sensoren und Systemenkennenlernen. Ein besonderes Augenmerk wird auf die Erfordernissekompletter Sensoren oder Systeme über den ganzen Lebenszyklusgelegt.

13. Inhalt: Einführung; Übersicht zu Aufbauten von Mikrosystemen; Einteilung derSensoren und Mikrosysteme nach Anforderungen und Spezifikationen fürverschiedene Branchen; Übersicht zu mikrotechnischen Bauelementenfür Sensoren; Grundzüge zu Systemarchitektur und elektronischen

Page 370: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 370 von 497

Schaltungen, Übersicht über Aufbaustrategien und Montageprozesse;grundlegende Eigenschaften der eingesetzten Werkstoffe; umwelt-und betriebsbedingte Beanspruchungen und Stress in verschiedenenAnwendungen; wesentliche Ausfallmechanismen bei mikrotechnischenBauelementen und Aufbauten; Qualität und Zuverlässigkeit von Sensorenund Mikrosystemen; Funktionsprüfung und Kalibrierung; Besonderheitenvon speziellen Sensorsystemen u. a. für Vektorgrößen, fluidischeGrößen; Aspekte der Fertigung von Sensoren und Mikrosystemen beikleinen und großen Stückzahlen. Die jeweiligen Lehrinhalte werdenanhand von einschlägigen Beispielen diskutiert und veranschaulicht. DieLehrinhalte werden durch Übungen vertieft. In einem praktischen Teilwird der Bezug der Lehrinhalte zur industriellen Praxis dargestellt.

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322401 Vorlesung (inkl. Übungen, praktischer Teil am Institut, undExkursion) : Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor-und Systemaufbau, Vorlesung (inkl. Übungen, praktischerTeil am Institut, und Exkursion),

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32241 Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor- undSystemaufbau (PL), schriftlich, eventuell mündlich,Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel, Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 371: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 371 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 372: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 372 von 497

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 373: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 373 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 374: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 374 von 497

Modul: 33760 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien

2. Modulkürzel: 073400002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: Bernhard Polzinger

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Das Modul „Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien“ bildetzusammen mit dem Modul „Aufbau- und Verbindungstechnik I - Sensor-und Systemaufbau“ den Kern der Ausbildung in der Gehäuse-, Aufbau-und Verbindungstechnik für Mikrosysteme. Die Studierenden erwerbenKenntnisse über die Technologien und Fertigungsverfahren bei derMontage von Mikrosystemen.

Die Studierenden sollen:

• die wichtigsten Fertigungsverfahren der Aufbau- undVerbindungstechnik kennen und in Abhängigkeit derSystemerfordernisse zu bewerten lernen;

• die Eigenschaften der wichtigen Werkstoffe und deren Einfluss aufQualität und Zuverlässigkeit der Mikrosysteme kennenlernen;

• die wesentlichen technologischen Einflussgrößen der Verfahrenkennenlernen;

• die wichtigsten Merkmale der Fertigungsanlagen kennen und zubewerten lernen;

13. Inhalt: Einführung in die Aufbau- und Verbindungstechnik; Leiterplatten; Lötenund Kleben in der SMDTechnik; Dickschichttechnik; Gehäusearten undTypen; Chipmontage mit Die-Bonden, Drahtbonden, Flip-Chip-Technik,TAB-Bonden; Thermoplastische Systemträger (Moulded InterconnectDevices „MID“) mit Spritzgießtechnik, Zweikomponentenspritzguss- MID-Technik, Laserbasierte MID-Technik; Chemische Metallbeschichtung vonKunststoffen; Chip-und SMD -Montage auf MID; Heißpräge-MID-Technik;Sensoren und Aktoren in MID-Technik; Fügen und Verbinden vonKunststoffbauteilen mit Kleben und Schweißen; Qualitätsmanagement inder Aufbau- und Verbindungstechnik.

Die jeweiligen Lehrinhalte werden anhand von einschlägigen Beispielendiskutiert und veranschaulicht. Die Lehrinhalte werden durch Übungen

Page 375: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 375 von 497

vertieft. In einem praktischen Teil wird der Bezug der Lehrinhalte zurindustriellen Praxis dargestellt.

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 337601 Vorlesung(inkl. ÜB, Pr, Exkursion) Aufbau- undVerbindungstechnik II - Technologien

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33761 Aufbau- und Verbindungstechnik II - Technologien (PL),schriftlich, eventuell mündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overheadprojektor, Tafel, Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

Page 376: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 376 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau

Page 377: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 377 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 378: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 378 von 497

Modul: 32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme

2. Modulkürzel: 052110003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Joachim Burghartz

9. Dozenten: Joachim Burghartz

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 4: Spezifische Anwendungen

11. Empfohlene/Voraussetzungen: V/Ü Grundlagen der Mikroelektronikfertigung (Empfehlung)

12. Lernziele: Vermittlung weiterführender Kenntnisse der wichtigsten Technologienund Techniken in der Elektronikfertigung

13. Inhalt: Die Vorlesung bietet eine fundierte und praxisbezogene Einführung indie Herstellung von Mikrochips und die besonderen Aspekte beim Testmikroelektronischer Schaltungen sowie dem Verpacken der Chips in IC-Gehäuse.

• Grundlagen der Mikroelektronik• Lithografieverfahren• Wafer-Prozesse• CMOS-Gesamtprozesse• Packaging und Test• Qualität und Zuverlässigkeit

14. Literatur: - D. Neamon:Semiconductor Physics and Devices; Mc Graw-Hill, 2002- S. Wolf: Silicon Processing for the VLSI Era, Vol. 2; Lattice Press, 1990- S. Sze: Physics of Semiconductor Devices, 2nd Ed. Wiley Interscience,1981- P.E. Allen and D.R. Holberg: CMOS Analog Circuit Design, SaundersCollege Publishing.- L.E. Glasser and D.W. Dobberpuhl: The Design and Aanalysis of VLSICircuits, Addison Wesley.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322501 Vorlesung und Übung Design und Fertigung mikro- undnanoelektronischer Systeme ( Blockveranstaltung)

Page 379: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 379 von 497

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32251 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme(PL), schriftliche Prüfung, 120 Min., Gewichtung: 1.0, oder beigeringer Anzahl Studierender:mündlich, 40 min.

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: PowerPoint

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 380: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 380 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Pflichtmodule mit Wahl

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 381: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 381 von 497

➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik

Page 382: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 382 von 497

➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Mechatronik➞ Vertiefungsmodule➞ Elektrotechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2

Page 383: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 383 von 497

➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

Page 384: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 384 von 497

Modul: 32220 Grundlagen der Biomedizinischen Technik

2. Modulkürzel: 040900001 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr. Joachim Nagel

9. Dozenten: • Joachim Nagel• Johannes Port

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 4: Spezifische Anwendungen

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden

• besitzen grundlegende Kenntnisse in der biomedizinischenInstrumentierung

• kennen die physikalischen Grundlagen und theoretischen Herleitungenund Annahmen wichtiger biomedizinischer Messverfahren

• haben wesentliche Kenntnisse gängiger bildgebender Verfahren• besitzen fundamentale Kenntnisse der funktionellen Stimulation und

von der Physiologie der zu ersetzenden natürlichen Funktionen• können die Verfahren bewerten und deren Einsatzmöglichkeiten in der

biomedizinischen Technik beurteilen• verfügen über einen wesentlichen Grundwortschatz biomedizinischer

Begriffe• besitzen sowohl grundlegendes theoretisches und praktisches

Fach- und Methodenwissen als auch biologische und medizinischeKenntnisse

• sind in der Lage, eine Verbindung zwischen der Medizin und Biologieeinerseits und den Ingenieurund Naturwissenschaften andererseitsherzustellen sowie neue Kenntnisse von der molekularen Ebene bishin zu gesamten Organsystemen zu erforschen und neue Materialien,Systeme, Verfahren und Methoden zu entwickeln, mit dem Ziel derPrävention, Diagnose und Therapie von Krankheiten sowie derVerbesserung der Patientenversorgung, der Rehabilitation und derLeistungsfähigkeit der Gesundheitssysteme.

13. Inhalt: In dem Modul werden folgende Inhalte vermittelt:

• die besonderen Probleme bei der Messung physiologischerKenngrößen

Page 385: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 385 von 497

• die grundlegenden Eigenschaften biologischer Gewebe• die Besonderheiten der Elektroden und damit die entsprechenden

einzuhaltenden Maßnahmen bei der Ableitung der Signale• die physikalischen Grundlagen wichtiger mechanoelektrischer,

photoelektrischer, elektrochemischer und thermoelektrischer Wandler• die wesentlichen Prinzipien und die biomedizinisch spezifischen

Besonderheiten der Signalerfassung, Signalverarbeitung,Signalverstärkung und Signalübertragung

• allgemeine Eigenschaften des kardiovaskulären und respiratorischenSystems

• Messverfahren kardiovaskulärer Kenngrößen, wie Elektrokardiogramm,Impedanzkardiogramm, Impedanzplethysmogramm,Blutdruckmessung, Blutflussmessung, etc.

• Messverfahren respiratorischer Kenngrößen, wieImpedanzpneumographie, Pneumotachographie, Spirometrie,Ganzkörperplethysmographie, etc.

• Messverfahren biochemischer Kenngrößen, wie pH-Wert-Messung,Ionenkonzentrationsmessung, Sauerstoffmessung, etc.

• Messverfahren neurologischer Kenngrößen, wie dasElektroenzephalogramm, Elektroneurogramm, Evozierte Potentiale,etc.

• Messverfahren visueller Kenngröße, wie das Elektrookulogramm,das Elektroretinogramm, etc., - wichtige physikalische, akustischeKenngrößen

• Messverfahren akustischer Kenngrößen, wie das Audiogramm,otoakustisch evozierte Potentiale, Elektrocochleogramm, etc.

• Messverfahren weiterer wichtiger Kenngrößen, wie dasElektromyogramm, Elektronystagmogramm, etc.

• Bildgebende Verfahren, wie die Röntgentechnik, Ultraschall,Magnetresonanztechnik, Endoskopietechnik, Thermographie, etc.

• Beispiele für Implantate und Funktionsersatz, wie das Cochlea-Implantat, Mittelohrprothese, Hörgeräte, Herzschrittmacher,Herzklappenersatz, etc.

• Beispiele aktueller Forschung, wie das Brain- Computer Interface,biohybride Armprothese, etc..

14. Literatur: • Port, J.: Biomedizinische Technik I + II. Vorlesungsskript undVorlesungsfolien

• Bronzino, J.: The Biomedical Engineering Handbook I+II, 2. Auflage,Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2000

• Wintermantel, E., Ha, S.-W.: Medizintechnik: Life Science Engineering,5. Auflage, Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2009

• Kramme, R.: Medizintechnik, 3. Auflage, Springer- Verlag, 2007• Schmidt, R., Lang, F.: Physiologie des Menschen, 30. Auflage,

Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2007• Eichmeier, J.: Medizinische Elektronik, 3. Auflage, Springer-Verlag

Berlin Heidelberg, 1997• Czichos, H., Hennecke, M., Hütte: Das Ingenieurwissen, 33. Auflage,

Springer-Verlag Berlin• Heidelberg, 2008 - Dössel, O.: Bildgebende Verfahren in der Medizin,

Springer-Verlag Berlin• Heidelberg, 2000 - Kalender, W.: Computertomographie. Grundlagen,

Gerätetechnologie, Bildqualität, Anwendungen, 2. Auflage, PublicisCorporate Publishing Verlag, 2006

• Pschyrembel, Klinisches Wörterbuch, 261. Auflage, Walter de Gruyter-Verlag, 2007

• Bannwarth, H., Kremer, B. P., Schulz, A.: Basiswissen Physik, Chemieund Biochemie, Springer- Verlag Berlin Heidelberg, 2007

Page 386: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 386 von 497

• Brdicka, R.: Grundlagen der physikalischen Chemie, 15. Auflage,Wiley-VCH-Verlag, 1990

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322201 Vorlesung Biomedizinische Technik I und II und 2-tägigeExkursion

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 58 StundenSelbststudium: 122 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32221 Grundlagen der Biomedizinischen Technik (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamer-Präsentation, Overhead-Projektor, Tafel

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 387: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 387 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Biomedizinische Technik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement

Page 388: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 388 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Biomedizinische Technik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 389: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 389 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 390: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 390 von 497

Modul: 32230 Grundlagen der Mikrosystemtechnik

2. Modulkürzel: 072420002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: Hermann Sandmaier

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Mikrosystemtechnik

• haben die Studierenden einen Überblick über die bedeutendstenMärkte und Bauelemente bzw. Systeme der Mikrosystemtechnik (MST)kennen gelernt

• wissen die Studierenden, wie sich einzelne physikalische Größen beieiner Miniaturisierung verhalten bzw. ändern und wie diese Skalierunggenutzt werden kann, um Mikrosensoren und mikroaktorische Antriebezu realisieren

• können die Studierenden die bedeutendsten Sensoren und Systemeder Mikrosystemtechnik nach vorgegebene Spezifikationen entwerfenund auslegen.

Erworbene Kompetenzen:

Die Studierenden

• haben ein Gefühl für die Märkte der MST und können die wichtigstenProdukte der Mikrosystemtechnik benennen und beschreiben

• besitzen die Grundlagen, um Auswirkungen einer Miniaturisierung aufphysikalische Größen, wie mechanische Spannungen, elektrische,piezoelektrische und magnetische Kräfte, Zeitkonstanten undFrequenzen, thermische Phänomene, Reibungseffekte und dasVerhalten von Flüssigkeiten und Gasen beurteilen zu können

• kennen die physikalischen Grundlagen zu den bedeutendstenWandlungsprinzipien bzw. Messeffekten der MST

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens zur Realisierung von mikrosystemtechnischen Sensoreneinschließlich der teilweise in den Sensoren erforderlichenmikroaktorischen Antriebe

• können anhand vorgegebener Spezifikationen einen Mikrosensoreinschließlich der elektrischen Auswerteschaltung auslegen undentwerfen.

Page 391: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 391 von 497

13. Inhalt: Die Vorlesung Mikrosystemtechnik vermittelt den Studierenden dieGrundlagen, und das Basiswissen zur Gestaltung und Entwicklungvon mikrotechnischen Funktionselementen, Sensoren und Systemen.Anhand der Skalierung von physikalischen Gesetzen und Größen werdendie Grundlagen vermittelt, die zur Auslegung und Berechnung vonBauelementen und Systemen der Mikrosystemtechnik benötigt werden.Es werden die Grundlagen zur Auslegung von schwingungsfähigenSystemen, wie sie in Beschleunigungssensoren und Drehratensensorenerforderlich sind, vermittelt. Einen weiteren Schwerpunkt bilden die inder MST bedeutendsten Wandlungsprinzipien und die Beschreibunganisotroper Effekte. Die gewonnenen Kenntnisse werden anschließendeingesetzt, um den Aufbau und die Funktionsweise der wirtschaftlichbedeutenden Mikrosensoren zu erläutern. Ausführlich wird auf dieMikrosensoren zur Messung von Abständen bzw. Wegen, Drücken,Beschleunigungen, Drehraten, magnetischen und thermischenGrößen sowie Durchflüssen, Winkel und Neigungen eingegangen. DaMikrosensoren heute in der Regel ein elektrisches Ausgangssignalliefern, werden auch für die Sensorsignalauswertung wichtigeelektronische Schaltungen behandelt.

14. Literatur: - Schwesinger N., Dehne C., Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,Oldenburg Verlag, 2009- HSU Tai-Ran, MEMS and Microsystems, Wiley, 2008- Korvink, J. G., Paul O., MEMS - A practical guide to design, analysisand applications, Springer, 2006- Menz, W., Mohr, J., Paul, O.; Mikrosystemtechnik für Ingenieure,Weinheim: Wiley-VCH, 2005- Völklein, F., Zetterer T., Praxiswissen Mikrosystemtechnik,- Mescheder U.; Mikrosystemtechnik, Teubner Stuttgart Leipzig , 2000- Pagel L., Mikrosysteme, J. Schlembach Fachverlag, 2001- Handouts, Skript und CD zur Vorlesung- Übungen zur Mikrosystemtechnik

Online-Vorlesungen:- http://www.sensedu.com- http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322301 Vorlesung Mikrosystemtechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32231 Grundlagen der Mikrosystemtechnik (PL), mündliche Prüfung,40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus BWL

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Spezialisierungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik

Page 392: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 392 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik

Page 393: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 393 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Pflichtmodule mit Wahl

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module

Page 394: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 394 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 2: Konstruktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

Page 395: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 395 von 497

➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 396: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 396 von 497

Modul: 13540 Grundlagen der Mikrotechnik

2. Modulkürzel: 073400001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: Heinz Kück

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden erwerben Kenntnisse über die wichtigstenWerkstoffeigenschaften, sowie Grundlagen der Konstruktion undFertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen. DieStudierenden sind in der Lage, die Besonderheiten der Konstruktionund Fertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen in derProduktentwicklung und Produktion zu erkennen und sich eigenständig inLösungswege einzuarbeiten.

13. Inhalt: • Eigenschaften der wichtigsten Werkstoffe der MST• Silizium-Mikromechanik• Einführung in die Vakuumtechnik• Herstellung und Eigenschaften dünner Schichten• (PVD- und CVD-Technik, Thermische Oxidation)• Lithographie und Maskentechnik• Ätztechniken zur Strukturierung (Nasschemisches Ätzen, RIE, IE,

Plasmaätzen)• Reinraumtechnik• Elemente der Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme

(Bondverfahren, Chipgehäusetechniken)• LIGA-Technik• Mikrotechnische Bauteile aus Kunststoff (Mikrospritzguss, Heißprägen)

Page 397: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 397 von 497

• Mikrobearbeitung von Metallen (Funkenerosion, spanendeMikrobearbeitung)

• Messmethoden der Mikrotechnik• Prozessfolgen der Mikrotechnik

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 135401 Vorlesung Grundlagen der Mikrotechnik• 135402 Freiwillige Übung zur Vorlesung Grundlagen der

Mikrotechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13541 Grundlagen der Mikrotechnik (PL), mündliche Prüfung, 40Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overhead-Projektor-Anschrieb, Tafelanschrieb,Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von: Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 398: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 398 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 399: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 399 von 497

➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule

Page 400: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 400 von 497

➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 401: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 401 von 497

Modul: 33690 Mikrofluidik und Mikroaktorik

2. Modulkürzel: 072420003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: • Hermann Sandmaier• Joachim Sägebarth

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Mikrofluidik und Mikroaktorik

• haben die Studierenden die physikalischen Grundlagen zumikrofluidischen Phänomenen kennen gelernt,

• haben die Studierenden die physikalischen Grundlagen zuAktorprinzipien kennen gelernt,

• können die Studierenden die Funktionsweise der wichtigstenmikrofluidischen Produkte und der wichtigsten Aktoren erläutern.

Erworbene Kompetenzen

Die Studierenden

• können die wichtigsten Bauelemente der Mikrofluidik und Mikroaktorikbenennen und mit Hilfe physikalischer Grundlagenkenntnisseerläutern,

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens beim Entwurf und der Berechnung von mikrofluidischenBauelementen und Mikroaktoren,

• haben ein Gefühl für den technischen Aufwand zur Herstellungeinzelner Bauelemente entwickelt,

• sind mit den technischen Grenzen der Bauelemente vertraut undkönnen diese bewerten,

• besitzen die Grundlagen, um Auswirkungen einer Miniaturisierung aufphysikalische Größen, wie Kräfte, Zeitkonstanten, Wärmetransport,fluidische Strömungen, etc. beurteilen zu können,

• sind in der Lage, auf der Basis gegebener technischer undwirtschaftlicher Randbedingungen, die optimalen Bauelementeauszuwählen und entsprechende mikrofluidische bzw. aktorischeSysteme zu entwerfen.

13. Inhalt: • Die Vorlesung ist in zwei Teile aufgeteilt, die weitgehen unabhängigvoneinander sind. Während im Wintersemester die Mikrofluidikbehandelt wird, wird im Sommersemester schwerpunktmäßig aufdie Mikroaktorik eingegangen. In keinem Teil der Vorlesung werdendie vermittelten Kenntnisse des anderen Teils vorausgesetzt.

Page 402: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 402 von 497

Die Vorlesung kann deshalb sowohl im Sommerals auch imWintersemester begonnen werden.

• Im Vorlesungsteil mit dem Schwerpunkt Mikrofluidik werdendie physikalischen Grundlagen zu Fluideigenschaften undzur Fluiddynamik vermittelt sowie die Randbedingungen beimminiaturisieren von Fluidsystemen dargestellt. Des Weiteren wird dieEntwicklung, Funktionsweise und Herstellung von mikrofluidischenBauelementen und Aktoren anhand bereits realisierter Systeme (z.B.Lab-On-A-Chip) analysiert.

• Im Vorlesungsteil mit dem Schwerpunkt Mikroaktorik werden diephysikalischen Grundlagen zur Mikroaktorik vermittelt. Anhand vonÜbungen werden die vermittelten Kenntnisse vertieft. Es werdeninsbesondere die elektrostatischen, die piezoelektrischen, diemagnetischen, magnetound elektrostriktiven sowie die thermischenAktorprinzipien behandelt. Dabei werden auch die Auswirkungen einerMiniaturisierung auf das Aktorprinzip (Kraft, Weg, Geschwindigkeitbzw. Frequenz, Leistungsverbrauch, etc.) analysiert. Des Weiterenwird auf die Entwicklung und Funktionsweise bereits realisiertermikroaktorischer Bauelemente und Systeme eingegangen.

14. Literatur: - Pagel L., Mikrosysteme, J. Schlembach Fachverlag, 2001- Nam-Trung Nguyen, Mikrofluidik: Entwurf, Herstellung undCharakterisierung, Teubner, 2004- Korvink, J. G., Paul O., MEMS - A practical guide to design, analysisand applications, Springer, 2006- Nam-Trung Nguyen, Steven T. Wereley, Fundamentals and applicationsof microfluidics, Artech House, 2006- Patrick Tabeling, Introduction to microfluidics, Oxford University Press,2006- Oliver Geschke, Henning Klank, Pieter Telleman, Microsystemengineering of lab on a chip devices, Wiley-VCH, 2008- HSU Tai-Ran, MEMS and Microsystems, Wiley, 2008- Schwesinger N., Dehne C., Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,Oldenburg Verlag, 2009- Handouts, Skript und CD zur Vorlesung

Online-Vorlesungen:- http://www.sensedu.com- http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 336901 Vorlesung mit Übungen : Mikrofluidik und Mikroaktorik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33691 Mikrofluidik und Mikroaktorik (PL), schriftlich, eventuellmündlich, Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 403: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 403 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module

Page 404: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 404 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 405: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 405 von 497

➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

Page 406: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 406 von 497

Modul: 33710 Optische Messtechnik und Messverfahren

2. Modulkürzel: 073100002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: Wolfgang Osten

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden

• verstehen die Unterschiede zwischen wellenoptischer undgeometrisch-optischer Beschreibung,

• sind in der Lage die in Wellenfeldern enthaltene Information zubeschreiben,

• können Messungen kritisch mittels Fehleranalyse bewerten,• kennen die Rolle und Wirkungsweise der wichtigsten Komponenten

und sind in der Lage, optische Mess-Systeme aus einzelnenKomponenten zusammenzustellen und zu bewerten,

• sind in der Lage, Methoden zur Vermessung von optischen undtechnischen Oberflächen sowie deren Oberflächenveränderungenzielgerichtet einzusetzen.

13. Inhalt: Grundlagen der geometrischen Optik: - optische Komponenten- optische SystemeGrundlagen der Wellenoptik: - Wellentypen- Interferenz und Kohärenz- Beugung und Auflösungsvermögen

Page 407: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 407 von 497

HolografieSpeckleMessfehlerGrundprinzipien und Klassifikation optischerMesstechnikenKomponenten optischer Messsysteme: - Lichtquellen- Lichtmodulatoren- Auge und DetektorenMessmethoden auf Basis der geometrischen Optik: - Strukturierte Beleuchtung- Moiré- Messmikroskope und MessfernrohreMessmethoden auf Basis der Wellenoptik: - interferometrische Messtechniken- Interferenzmikroskopie- holografische Interferometrie- Speckle-Messtechniken- Laufzeittechniken

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung;

Pedrotti, F.; et al: Optik für Ingenieure. Springer Verlag,Berlin 2002;

Hecht, E.: Optik. Oldenbourg Verlag, München 2001.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 337101 Vorlesung Optische Messtechnik und Messverfahren• 337102 Übung Optische Messtechnik und Messverfahren

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33711 Optische Messtechnik und Messverfahren (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 408: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 408 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement

Page 409: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 409 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik

Page 410: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 410 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 411: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 411 von 497

Modul: 13560 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

2. Modulkürzel: 072420001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Hermann Sandmaier

9. Dozenten: Hermann Sandmaier

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Im Modul Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I

• haben die Studierenden die wichtigsten Technologien und Verfahrenzur Herstellung von Bauelementen der Mikroelektronik als auch derNano- und Mikrosystemtechnik kennen gelernt,

• können die Studierenden einzelne technologische Prozesse bewertenund sind in der Lage Prozessabläufe selbstständig zu entwerfen.

Erworbene Kompetenzen:

Die Studierenden

• können die wichtigsten Materialien der Nano- und Mikrosystemtechnikbenennen und beschreiben,

• können die wichtigsten Verfahren der Mikroelektronik sowie der Nano-und Mikrosystemtechnik benennen und mit Hilfe physikalischerGrundlagenkenntnisse erläutern,

• beherrschen die wesentlichen Grundlagen des methodischenVorgehens zur Herstellung von mikrotechnischen Bauelementen,

• haben ein Gefühl für den Aufwand einzelner Verfahren entwickelnkönnen,

• sind mit den technologischen Grenzen der Verfahren vertraut undkönnen diese bewerten,

• sind in der Lage, auf der Basis gegebener technologischer undwirtschaftlicher Randbedingungen, die optimalen Prozessverfahren

Page 412: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 412 von 497

auszuwählen und einen kompletten Prozessablauf für die Herstellungvon mikrotechnischen Bauelementen zu entwerfen.

13. Inhalt: Die Vorlesung vermittelt den Studierenden die Grundlagen,um die komplexen Prozessabläufe bei der Herstellung vonmodernen Bauelementen der Mikroelektronik sowie der Nano- undMikrosystemtechnik zu verstehen. Nach einer Einführung in die Thematikwerden zunächst die wichtigsten Materialien - insbesondere Silizium- vorgestellt. Anschließend werden die bedeutendsten Prozesse zurHerstellung von mikroelektronischen und mikrosystemtechnischenBauelementen und Systemen behandelt. Insbesondere werdendie Grundlagen zur Dünnschichttechnik, zur Lithographie und zuden Ätzverfahren vermittelt. Abschließend werden als Vertiefungdie Prozessabläufe der Oberflächen- und Bulkmikromechanik kurzvorgestellt und erläutert. Anhand von Anwendungsbeispielen wirdgezeigt, wie durch eine geschickte Aneinanderreihung der einzelnenProzesse komplexe Bauelemente, wie elektronische Schaltungenoder Mikrosysteme, hergestellt werden können.

14. Literatur: • Korvink, J. G.; Paul O.,MEMS - A practical guide to design, analysisand applications, Springer, 2006

• Menz, W.; Mohr, J.; Paul, O., Mikrosystemtechnik für Ingenieure,Weinheim: Wiley-VCH, 2005

• Madou, M., Fundamentals of Microfabrication, 2. Auflage, Boca Raton:crcpress, 1997

• Bhushan, B., Handbook of Nanotechnology, Springer, 2003• Völklein, F.; Zetterer T., Praxiswissen Mikrosystemtechnik, 2. Auflage,

Wiesbaden, Vieweg, 2006• Schwesinger N.; Dehne C.; Adler F., Lehrbuch Mikrosystemtechnik,

Oldenburg Verlag, 2009• Handouts, Skript und CD zur Vorlesung

Online-Vorlesungen:

• http://www.sensedu.com• http://www.ett.bme.hu/memsedu

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 135601 Vorlesung Technologien der Nano- und MikrosystemtechnikI

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13561 Technologien der Nano- und Mikrosystemtechnik I (PL),mündliche Prüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Präsentation mit Animationen und Filmen, Beamer, Tafel,Anschauungsmaterial

20. Angeboten von: Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

Page 413: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 413 von 497

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

Page 414: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 414 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Weitere Spezialisierungsfächer➞ Fabrikbetrieb➞ Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau

Page 415: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 415 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik

Page 416: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 416 von 497

➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 417: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 417 von 497

Modul: 13580 Wissens- und Informationsmanagement in der Produktion

2. Modulkürzel: 072410003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 6.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Univ.-Prof. Dr.-Ing. Thomas Bauernhansl

9. Dozenten: Thomas Bauernhansl

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Fertigungslehre mit Einführung in die Fabrikorganisation. Es wirdempfohlen die Vorlesung Fabrikbetriebslehre ergänzend zu belegen

12. Lernziele: In der industriellen Produktion sind nahezu alle Arbeitsplätzein unternehmensinternen und externen Informations- undKommunikationssystemen vernetzt. Die Studierenden beherrschennach Besuch der Vorlesung die Grundlagen, Methoden undZusammenhänge des Managements von Informationen und Prozessenin der Produktion. Sie können diese in operativer als auch planerischerEbene innerhalb der Industrie anwenden und bewerten und dieseentsprechend der jeweiligen Aufgaben modifizieren.

13. Inhalt: Schwerpunkte der methodisch orientierten Vorlesung sindGrundlagen, Methoden und Werkzeuge des Wissensmanagements,Auftragsmanagements, Customer Relationship Managements, SupplyChain Managements, Produktdatenmanagements, Engineering DataManagements, Facility Managements sowie der Digitalen und VirtuellenFabrik.

14. Literatur: • Skript zur Vorlesung,• Wandlungsfähige Unternehmensstrukturen• Das Stuttgarter Unternehmensmodell, Westkämper Engelbert, Berlin

Springer 2007

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 135801 Vorlesung Wissens- und Informationsmanagement in derProduktion I

• 135802 Übung Wissens- und Informationsmanagement in derProduktion I

• 135803 Vorlesung Wissens- und Informationsmanagement in derProduktion II

• 135804 Übung Wissens- und Informationsmanagement in derProduktion II

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 63 Stunden

Selbststudium: 117 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13581 Wissens- und Informationsmanagement in der Produktion(PL), schriftliche Prüfung, 120 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Power-Point Präsentationen, Simulationen, Animationen und Filme

20. Angeboten von: Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb

Page 418: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 418 von 497

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre➞ Spezialisierungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

Page 419: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 419 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Weitere Spezialisierungsfächer➞ Fabrikbetrieb➞ Kernfächer Fabrikbetrieb

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement

Page 420: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 420 von 497

➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Produktionstechnik➞ Fabrikbetrieb➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Fabrikbetrieb

M.Sc. Mechatronik➞ Vertiefungsmodule➞ Fabrikmanagement

Page 421: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 421 von 497

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fabrikbetrieb➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 1➞ Fabrikbetrieb➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe II: Produktionstechnik I

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 422: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 422 von 497

Modul: 33810 Praktikum Mikrosystemtechnik

2. Modulkürzel: 073400201 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Joachim Sägebarth

9. Dozenten: • Rainer Mohr• Joachim Sägebarth

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden lernen theoretische Vorlesungsinhalte anzuwendenund in der Praxis umzusetzen. Im Praktikum am IFF lernen dieStudierenden in Spezialisierungsfachversuchen (SFV) innerhalb einesTeams eine vorgegebene Aufgabe zu analysieren, in Teilprojekteherunter zu brechen, zu realisieren und mit den Mitteln desProjektmanagements die Abläufe zu steuern.

13. Inhalt: Nähere Informationen zu den Praktischen Übungen: APMB erhalten Siezudem unterhttp://www.uni-stuttgart.de/mabau/msc/msc_mach/linksunddownloads.html

Praktikum am IFF:Durchführung eines Projektes zum Aufbau eines Versuchsstandes zurCharakterisierung eines Beschleunigungssensors.

Praktikum am IZFM:Praktische Beispiele für Herstellung, Aufbau und Testmikromechanischer Komponenten und Systeme, insbesondere in MID-Technologie.

14. Literatur: Präsentationen, Moderation, Praktikumsunterlagen

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 338101 Spezialisierungsfachversuch 1• 338102 Spezialisierungsfachversuch 2• 338103 Spezialisierungsfachversuch 3• 338104 Spezialisierungsfachversuch4• 338105 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 1• 338106 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 2• 338107 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 3• 338108 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 4

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 30 StundenSelbststudium: 60 StundenGesamt: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33811 Praktikum Mikrosystemtechnik (USL), schriftlich, eventuellmündlich, Gewichtung: 1.0

Page 423: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 423 von 497

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: IFF: Umdrucke, elektronische Medien (Powerpoint, Excel, Mindmapping,Eagle, Speq, …)

IZFM: Umdrucke, Demonstrationen und Bedienung von Geräten

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 424: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 424 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Spezialisierungsfächer A (ING)➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Spezialisierungsmodule➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

Page 425: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 425 von 497

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Spezialisierungsmodule➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Spezialisierungsmodule➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Spezialisierungsmodule➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik

Page 426: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 426 von 497

260 Technische Optik

Zugeordnete Module: 263 Ergänzungsfächer mit 3 LP261 Kernfächer mit 6 LP262 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP33460 Praktikum Technische Optik

Page 427: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 427 von 497

263 Ergänzungsfächer mit 3 LP

Zugeordnete Module: 31870 Bildverarbeitungssysteme in der industriellen Anwendung29980 Einführung in das Optik-Design32760 Festkörper- und Halbleiterlaser29960 Grundlagen der Farbmetrik und Digitale Fotografie29970 Optik dünner und nanostrukturierter Schichten33400 Optische Phänomene in Natur und Alltag

Page 428: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 428 von 497

Modul: 31870 Bildverarbeitungssysteme in der industriellen Anwendung

2. Modulkürzel: 073100008 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Tobias Haist

9. Dozenten: • Tobias Haist• Christian Kohler

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Keine

12. Lernziele: Die Studierenden sollen

• typische industrielle BV-Systeme spezifizieren,• auslegen und• beurteilen können,• die relevanten Grundlagen der optischen Abbildung kennen• Parameter zur Beurteilung und Beschreibung von Abbildungs- und

Beleuchtungsoptiken kennen,• gezielt Teilkomponenten aufgabengerecht auswählen können,• Grundlagen der linearen und nichtlinearen Filterung verstehen,• Standardverfahren der optischen 2D und 3D Erfassung kennen und in

Ihren aufgabenspezifischen Vor- und Nachteilen beurteilen können

13. Inhalt: • Abbildungen, Perskektive, Telezentrie, Hyperzentrie, AuflösungTiefenschärfe, Beugung

• Sensoren, Kamerainterfaces, Beurteilungsparamter, Rauschen• Lineare Systemtheorie, Fourier, Lineare Filter, Rangordnungsfilter,

morphologische Filter (Grundprinzip), Punktoperationen• Typische Bibliotheken• 2D Erfassungsgeometrien, 3D Messprinzipien• Spezifikation von Abbildungs- und Beleuchtungsoptiken• MTF, OTF• Abbildungsqualität/Bildfehler • Komponenten / Katalogarbeit• Grundlagen Photometrie/Radiometrie und Beleuchtungsquellen• Beleuchtungsgeometrien• Farbe, BRDF• 3D Bildverarbeitung• Einführung in Zemax

14. Literatur: Hornberg: Handbook of Machine Vision

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 318701 Vorlesung Bildverarbeitungssysteme in der industriellenAnwendung

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 31871 Bildverarbeitungssysteme in der industriellen Anwendung(BSL), mündliche Prüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

Page 429: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 429 von 497

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Powerpoint, Laptops

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 430: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 430 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 431: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 431 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer Technische Optik

Page 432: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 432 von 497

Modul: 29980 Einführung in das Optik-Design

2. Modulkürzel: 073100007 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Christoph Menke

9. Dozenten: • Christoph Menke• Alois Herkommer

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: empfohlen: Grundlagen der Technischen Optik

12. Lernziele: Die Studierenden- kennen die physikalischen Grundlagen der optischen Abbildung undsind mit den Konventionen und Bezeichnungen der geometrischen Optik vertraut- können die Bildgüte von optischen Systemen bewerten- kennen die Entstehung und die Auswirkung einzelner Abbildungsfehler- können geeignete Korrektionsmittel zu den einzelnen Abbildungsfehlerbenennen und anwenden- sind in der Lage mit Hilfe des Optik-Design Programms ZEMAX (aufbereitgestellten Rechnern) einfache Optiksysteme zu optimieren

13. Inhalt: - Grundlagen der geometrischen Optik- Geometrische und chromatische Aberrationen (Entstehung, Systematik,Auswirkung, Gegenmaßnahmen)- Bewertung der Abbildungsgüte optischer Systeme- Verschiedene Typen optischer Systeme (Fotoobjektive, Teleskope,Okulare, Mikroskope, Spiegelsysteme, Zoomsysteme)- Systementwicklung (Ansatzfindung, Optimierung, Tolerierung,Konstruktion)

14. Literatur: - Manuskript der Vorlesung- Gross: Handbook of optical systems Vol. 1-4- Kingslake: Lens Design Fundamentals- Smith: Modern Optical Engineering- Fischer/Tadic-Galeb: Optical System Design- Shannon: The Art and Science of Optical Design

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 299801 Vorlesung Einführung in das Optik-Design

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

Page 433: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 433 von 497

17. Prüfungsnummer/n und -name: 29981 Einführung in das Optik-Design (BSL), mündliche Prüfung, 20Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Powerpoint-Vortrag

für Studenten bereitgestellte Notebooks mit Zemax-Optik-DesignProgramm

20. Angeboten von: Institut für Technische Optik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 434: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 434 von 497

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module

Page 435: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 435 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 436: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 436 von 497

Modul: 32760 Festkörper- und Halbleiterlaser

2. Modulkürzel: 073000008 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Thomas Graf

9. Dozenten: • Andreas Voß• Uwe Brauch

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Grundlagen und Funktionsprinzipien von Festkörper- undHalbleiterlasern kennen und verstehen. Wissen wie sich die Material-und Aufbaueigenschaften auf die Leistungsparameter der erzeugtenLaserstrahlung auswirken. Aufbau und Realisierungsmethodenverschiedener Bauelemente und Laseranordnungen bewerten undverbessern können.

13. Inhalt: • Grundlagen der Halbleiterlaser (Kristallgitter, Bandstruktur,Quantenstrukturen, Fermi- Verteilung etc.), Absorptions-, Emissions-und Laserprozesse (Fermis goldene Regel, Ratengleichungen).

• Design und Eigenschaften eines Halbleiter- Scheibenlasers.• Aufbau und Eigenschaften verschiedener LEDs und Laserdioden

(Kantenemitter, VCSEL, Hochleistungs- Stacks, DBR-Laser etc.).• Methoden zur Realisierung der Bauelemente: von der Einkristallzucht,

über die Epitaxie (MBE, MOCVD) und die Strukturierung (Lithographie)bis hin zur Konfektionierung.

• Festkörperlaser: Energieniveaus der Seltenen Erden undÜbergangsmetalle, Einfluss der Wirtsmaterialien, daraus resultierendePump- und Laserwellenlängen, Durchstimmbarkeit, Pulsdauer:Hochleistungs- und Kurzpulsbetrieb

14. Literatur: Skript und Folien der Vorlesung

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 327601 Vorlesung Festkörper- und Halbleiterlaser

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32761 Festkörper- und Halbleiterlaser (BSL), mündliche Prüfung, 20Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik

Page 437: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 437 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement

Page 438: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 438 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik

Page 439: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 439 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Laser in der Materialbearbeitung➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

Page 440: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 440 von 497

Modul: 29960 Grundlagen der Farbmetrik und Digitale Fotografie

2. Modulkürzel: 073100006 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Karl Lenhardt

9. Dozenten: Karl Lenhardt

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden- kennen die physikalischen Grundlagen der optoelektronischenBildaufnahme und die Anforderungen an die Bildqualität- können grundsätzlich die Physiologie der menschlichenFarbwahrnehmung erklären- verstehen die Systematik verschiedener Farbsysteme- können Farbmesssysteme beurteilen- kennen verschieden Methoden der Farbdarstellung bei Farbdisplaysund Farbausdrucken

13. Inhalt: - Physiologie der Farbwahrnehmung- Dreidimensioneller Farbraum- Normvalenzsystem und Spektralfarbenzug- Heringsches Gegenfarbenmodell- Farbabstandsbewertung und Farbsysteme- Informationstheoretische Betrachtungen- HL-Bildwandler in der Stehbildfotografie- Farbmanagement in der digitalen Fotografie

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung;

Lang, H.: Farbmetrik und FarbfernsehenOldenburg Verlag 1978 ISBN 3-486-20661-3.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 299601 Vorlesung Grundlagen der Farbmetrik und DigitaleFotografie

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 29961 Grundlagen der Farbmetrik und Digitale Fotografie (BSL),mündliche Prüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

Page 441: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 441 von 497

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module

Page 442: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 442 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 443: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 443 von 497

➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer Technische Optik

Page 444: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 444 von 497

Modul: 29970 Optik dünner und nanostrukturierter Schichten

2. Modulkürzel: 073100004 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Karsten Frenner

9. Dozenten: Karsten Frenner

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden- verstehen die Grundlagen der Polarisationsoptik- beherrschen das Rechnen im Jones-/Müller-Formalismus- können das Verhalten von polarisationsoptischen Bauteilen und Messverfahren erklären- beschreiben die Grundlagen der Wechselwirkung von Licht mit Nanostrukturen- können Simulationsprogramme zur Darstellung der wellenoptischen Wechselwirkung nutzen

13. Inhalt: - Polarisation des Lichtes- Interferenz und Kohärenz- Licht an Grenzflächen- Wellenoptik am Computer- Dünne Schichten - Herstellung und Anwendung- Ellipsometrie dünner Schichten- Strukturierte Schichten - Herstellung und Anwendung- Mikroskopie und Ellipsometrie strukturierter Schichten- Kristalloptik und elektrooptische Komponenten

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung;Übungsblätter;

Hecht: Optik, 3.Aufl., 2001;

Goldstein: Polarized light, 3.Aufl., 2011.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 299701 Vorlesung Optik dünner und nanostrukturierter Schichten

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 29971 Optik dünner und nanostrukturierter Schichten (BSL),mündliche Prüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 445: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 445 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

Page 446: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 446 von 497

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer Technische Optik

Page 447: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 447 von 497

Modul: 33400 Optische Phänomene in Natur und Alltag

2. Modulkürzel: 073100005 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Tobias Haist

9. Dozenten: Tobias Haist

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden

• verstehen die optischen Grundgesetze• erlangen einen Einblick in die Problematik der Frage „Was ist Licht"

und lernen übliche Lichtmodelle und die Beschreibung von „Licht"kennen

• können die klassischen, mit unbewaffnetem Auge erfassbarenoptischen Phänomene erkennen und erklären

• verstehen die Grundzüge des menschlichen Sehvorgangs• kennen die Möglichkeiten der Lichtentstehung• erkennen die Bedeutung des Lichts im Rahmen des physikalischen

Weltbilds

13. Inhalt: • Wechselwirkungsmodelle von Licht mit Materie (insbesondere:Streuung, Brechung, Absorption, Reflexion, Beugung)

• Physiologie (Mensch und Tier) des Sehsystems• Optische Täuschungen• Atmosphärische Optik (Regenbogen, Halos, Luftspiegelungen,

Himmelsfärbungen, Glorien, Korona, Irisierung)• Schattenphänomene• Farbe (u.a. Farbmischung, Farbentstehung, Physiologie)• Optische Phänomene an Alltagsgegenständen (viele verschiedene)• Polarisation• Kurzüberblick: Photonen (Quanteneffekte, Quantenkryptographie,

Quantencomputer)• Kurzüberblick: Licht in der Relativitätstheorie (u.a. Lichtuhr,

Dopplereffekt, Gravitationslinsen, schwarze Löcher)

14. Literatur: www.optipina.de dort ausführliches eBook mit vielen weiterenLiteraturhinweisen

D. K. Lynch,W. Livingston, Color and Light in Nature, CambridgeUniversity Press 2001

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 334001 Vorlesung Optische Phänomene in Natur und Alltag

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33401 Optische Phänomene in Natur und Alltag (BSL), mündlichePrüfung, 20 Min., Gewichtung: 1.0

Page 448: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 448 von 497

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Powerpoint-Vorlesung mit zahlreichen Demonstrations- Versuchen

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

Page 449: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 449 von 497

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer mit 3 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Ergänzungsfächer Technische Optik

Page 450: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 450 von 497

261 Kernfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 14060 Grundlagen der Technischen Optik29950 Optische Informationsverarbeitung33710 Optische Messtechnik und Messverfahren

Page 451: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 451 von 497

Modul: 14060 Grundlagen der Technischen Optik

2. Modulkürzel: 073100001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: • Wolfgang Osten• Erich Steinbeißer

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen: HM 1 - HM 3 ,Experimentalphysik

12. Lernziele: Die Studierenden

• erkennen die Möglichkeiten und Grenzen der abbildenden Optik aufBasis des mathematischen Modells der Kollineation

• sind in der Lage, grundlegende optische Systeme zu klassifizieren undim Rahmen der Gaußschen Optik zu berechnen

• verstehen die Grundzüge der Herleitung der optischen Phänomene„Interferenz“ und „Beugung“ aus den Maxwell-Gleichungen

• können die Grenzen der optischen Auflösung definieren• können grundlegende optische Systeme (wie z.B. Mikroskop,

Messfernrohr und Interferometer) einsetzen und bewerten

13. Inhalt: • optische Grundgesetze der Reflexion, Refraktion und Dispersion;• Kollineare (Gaußsche) Optik;• optische Bauelemente und Instrumente;• Wellenoptik: Grundlagen der Beugung und Auflösung;• Abbildungsfehler;• Strahlung und Lichttechnik

Lust auf Praktikum?

Zur beispielhaften Anwendung und Vertiefung des Lehrstoffs bietenwir fakultativ ein kleines Praktikum an. Bei Interesse bitte an HerrnSteinbeißer wenden.

14. Literatur: Manuskript aus Powerpointfolien der Vorlesung; Übungsblätter;Formelsammlung;Sammlung von Klausuraufgaben mit ausführlichen Lösungen;

Literatur:

Page 452: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 452 von 497

• Gross: Handbook of Optical Systems Vol. 1, Fundamentals ofTechnical Optics, 2005

• Haferkorn: Optik, Wiley, 2002• Hecht: Optik, Oldenbourg, 2005• Kühlke: Optik, Harri Deutsch, 2004• Pedrotti: Optik für Ingenieure, Springer, 2007• Schröder: Technische Optik, Vogel, 2007

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 140601 Vorlesung Grundlagen der Technischen Optik• 140602 Übung Grundlagen der Technischen Optik• 140603 Praktikum Grundlagen der Technischen Optik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42h + Nacharbeitszeit: 138h = 180

17. Prüfungsnummer/n und -name: 14061 Grundlagen der Technischen Optik (PL), schriftliche Prüfung,120 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Powerpoint-Vorlesung mit zahlreichen Demonstrations-Versuchen,Übung: Notebook + Beamer,OH-Projektor, Tafel, kleine „Hands-on“ Versuche gehen durch die Reihen

20. Angeboten von: Institut für Technische Optik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Grundlagen der Natur- und Ingenieurwissenschaften

B.Sc. Technische Kybernetik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Grundlagen der Natur- und Ingenieurwissenschaften

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 453: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 453 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

Page 454: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 454 von 497

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 455: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 455 von 497

Modul: 29950 Optische Informationsverarbeitung

2. Modulkürzel: 073100003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: Wolfgang Osten

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden- erkennen die physikalischen Grundlagen der Propagation und Beugungvon Licht mittels (skalarer) Wellenoptik- verstehen die Herleitung der optischen Phänomene „Interferenz" und„Beugung" aus den Maxwell-Gleichungen- kennen die Grundlagen der Fourieroptischen Beschreibung optischerSysteme sowie die mathematischen Grundlagen der Fouriertransformation und wichtiger,sich daraus ergebender Resultate (z.B. Sampling Theorem).- verstehen kohärente und inkohärente Abbildungen und ihre moderneBeschreibung mittels der optischen Transferfunktion- kennen typische Aufbauten der optischen Informationsverarbeitung(insbesondere Filterung, Korrelation, Holografie) und sind in der Lage, diesemathematisch zu beschreiben.- kennen die Grundlagen der Kohärenz- verstehen den Zusammenhang zwischen digitaler und analog-optischerBildverarbeitung- kennen die grundsätzlich eingesetzten Bauelemente fürinformationsverarbeitende optische Systeme.

13. Inhalt: Fourier-Theorie der optischen Abbildung • Fouriertransformation• Eigenschaften linearer physikalischer Systeme• Grundlagen der Beugungstheorie• Kohärenz• Fouriertransformationseigenschaften einer Linse• Frequenzanalyse optischer Systeme

Holografie und Speckle

Spektrumanalyse und optische Filterung

Page 456: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 456 von 497

• Lichtquellen, Lichtmodulatoren, Detektoren, computergenerierteHologramme, Optische Prozessoren/Computer, Optische Mustererkennung, OptischeKorrelation

Digitale Bildverarbeitung • Grundbegriffe• Bildverbesserung• Bildrestauration, Bildsegmentierung,Bildanalyse• Anwendungen

14. Literatur: - Manuskript der Vorlesung- Lauterborn: Kohärente Optik- Goodman: Introduction to Fourier Optics

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 299501 Vorlesung Optische Informationsverarbeitung• 299502 Übung Optische Informationsverarbeitung

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 29951 Optische Informationsverarbeitung (PL), mündliche Prüfung,40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 457: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 457 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

Page 458: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 458 von 497

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

Page 459: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 459 von 497

Modul: 33710 Optische Messtechnik und Messverfahren

2. Modulkürzel: 073100002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: Wolfgang Osten

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden

• verstehen die Unterschiede zwischen wellenoptischer undgeometrisch-optischer Beschreibung,

• sind in der Lage die in Wellenfeldern enthaltene Information zubeschreiben,

• können Messungen kritisch mittels Fehleranalyse bewerten,• kennen die Rolle und Wirkungsweise der wichtigsten Komponenten

und sind in der Lage, optische Mess-Systeme aus einzelnenKomponenten zusammenzustellen und zu bewerten,

• sind in der Lage, Methoden zur Vermessung von optischen undtechnischen Oberflächen sowie deren Oberflächenveränderungenzielgerichtet einzusetzen.

13. Inhalt: Grundlagen der geometrischen Optik: - optische Komponenten- optische SystemeGrundlagen der Wellenoptik: - Wellentypen- Interferenz und Kohärenz- Beugung und Auflösungsvermögen

Page 460: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 460 von 497

HolografieSpeckleMessfehlerGrundprinzipien und Klassifikation optischerMesstechnikenKomponenten optischer Messsysteme: - Lichtquellen- Lichtmodulatoren- Auge und DetektorenMessmethoden auf Basis der geometrischen Optik: - Strukturierte Beleuchtung- Moiré- Messmikroskope und MessfernrohreMessmethoden auf Basis der Wellenoptik: - interferometrische Messtechniken- Interferenzmikroskopie- holografische Interferometrie- Speckle-Messtechniken- Laufzeittechniken

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung;

Pedrotti, F.; et al: Optik für Ingenieure. Springer Verlag,Berlin 2002;

Hecht, E.: Optik. Oldenbourg Verlag, München 2001.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 337101 Vorlesung Optische Messtechnik und Messverfahren• 337102 Übung Optische Messtechnik und Messverfahren

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33711 Optische Messtechnik und Messverfahren (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 461: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 461 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement

Page 462: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 462 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik

Page 463: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 463 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 464: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 464 von 497

262 Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Zugeordnete Module: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung und Anwendungmechatronischer Komponenten

32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme13540 Grundlagen der Mikrotechnik14060 Grundlagen der Technischen Optik29950 Optische Informationsverarbeitung33710 Optische Messtechnik und Messverfahren

Page 465: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 465 von 497

Modul: 32730 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten

2. Modulkürzel: 072510003 5. Moduldauer: 2 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Schinköthe

9. Dozenten: Wolfgang Schinköthe

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 2: Gerätekonstruktion/Gerätetechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: Abgeschlossene Grundlagenausbildung in einem Bachelor

12. Lernziele: Die Studierenden kennen die Grundlagen der Magnettechnik und-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktive Auslegung,Magnetisierung). Die Studierenden können elektromagnetische Antriebe(rotatorische und lineare Schrittmotoren) vereinfacht berechnen,gestalten und auslegen. Die Studierenden können elektrodynamischeAntriebe (rotatorische und lineare Gleichstromkleinstmotoren) vereinfachtberechnen, gestalten und auslegen. Die Studierenden kennenpiezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik.

13. Inhalt: Behandelt werden feinwerktechnische Antriebe unterschiedlicherWirkprinzipe mit den Schwerpunkten:

• Magnettechnik/-technologie (Werkstoffe, Verfahren, konstruktiveAuslegung, Magnetisierung)

• Elektromagnetische Antriebe (rotatorische und lineare Schrittmotoren;Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

• Elektrodynamische Antriebe (rotatorische und lineareGleichstromkleinstmotoren; Berechnung, Gestaltung, Anwendung)

Page 466: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 466 von 497

• Piezoelektrische, magnetostriktive und andere unkonventionelle Aktorik(neue Werkstoffe in mechatronischen Komponenten, Berechnung,Gestaltung, Anwendung)

• Beispiele zur Realisierung mechatronischer Lösungen in derGerätetechnik. Beispielhafte Vertiefung in zugehörigen Übungen undPraktika (Spezialisierungsfachpraktika und APMB).

14. Literatur: • Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil 1.Skript zur Vorlesung

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten - Teil2 Übung und Praktikumsversuch Piezosysteme/ Ultraschallantriebe.Skript zu Übung und Praktikum

• Schinköthe, W.: Aktorik in der Gerätetechnik - Konstruktion,Berechnung und Anwendung mechatronischer Komponenten -Teil 3 Übung und Praktikumsversuch Lineare Antriebssysteme/Lineardirektantriebe. Skript zu Übung und Praktikum

• Kallenbach, E.; Stölting, H.-D.: Handbuch Elektrische Kleinantriebe.Leipzig: Fachbuchverlag Leipzig im Carl Hanser Verlag 2011

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 327301 Vorlesung + Übung Aktorik in der Gerätetechnik;Konstruktion, Berechnung und Anwendung mechatronischerKomponenten

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32731 Aktorik in der Gerätetechnik; Konstruktion, Berechnung undAnwendung mechatronischer Komponenten (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Tafel, Overhead-Projektor, Beamer-Präsentation

20. Angeboten von: Konstruktion und Fertigung in der Feinwerktechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 467: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 467 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik

Page 468: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 468 von 497

➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 469: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 469 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- undProduktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 470: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 470 von 497

Modul: 32250 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme

2. Modulkürzel: 052110003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Joachim Burghartz

9. Dozenten: Joachim Burghartz

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 4: Spezifische Anwendungen

11. Empfohlene/Voraussetzungen: V/Ü Grundlagen der Mikroelektronikfertigung (Empfehlung)

12. Lernziele: Vermittlung weiterführender Kenntnisse der wichtigsten Technologienund Techniken in der Elektronikfertigung

13. Inhalt: Die Vorlesung bietet eine fundierte und praxisbezogene Einführung indie Herstellung von Mikrochips und die besonderen Aspekte beim Testmikroelektronischer Schaltungen sowie dem Verpacken der Chips in IC-Gehäuse.

• Grundlagen der Mikroelektronik• Lithografieverfahren• Wafer-Prozesse• CMOS-Gesamtprozesse• Packaging und Test• Qualität und Zuverlässigkeit

14. Literatur: - D. Neamon:Semiconductor Physics and Devices; Mc Graw-Hill, 2002- S. Wolf: Silicon Processing for the VLSI Era, Vol. 2; Lattice Press, 1990- S. Sze: Physics of Semiconductor Devices, 2nd Ed. Wiley Interscience,1981- P.E. Allen and D.R. Holberg: CMOS Analog Circuit Design, SaundersCollege Publishing.- L.E. Glasser and D.W. Dobberpuhl: The Design and Aanalysis of VLSICircuits, Addison Wesley.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: 322501 Vorlesung und Übung Design und Fertigung mikro- undnanoelektronischer Systeme ( Blockveranstaltung)

Page 471: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 471 von 497

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 32251 Design und Fertigung mikro- und nanoelektronischer Systeme(PL), schriftliche Prüfung, 120 Min., Gewichtung: 1.0, oder beigeringer Anzahl Studierender:mündlich, 40 min.

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: PowerPoint

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 472: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 472 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Pflichtmodule mit Wahl

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug-u.Motorent.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 473: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 473 von 497

➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik

Page 474: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 474 von 497

➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Fahrzeug- und Motorentechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau /

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Mechatronik➞ Vertiefungsmodule➞ Elektrotechnik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2

Page 475: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 475 von 497

➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

Page 476: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 476 von 497

Modul: 13540 Grundlagen der Mikrotechnik

2. Modulkürzel: 073400001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Heinz Kück

9. Dozenten: Heinz Kück

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 1: Mikrotechnik/Mikrosystemtechnik

11. Empfohlene/Voraussetzungen: keine

12. Lernziele: Die Studierenden erwerben Kenntnisse über die wichtigstenWerkstoffeigenschaften, sowie Grundlagen der Konstruktion undFertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen. DieStudierenden sind in der Lage, die Besonderheiten der Konstruktionund Fertigung von mikrotechnischen Bauteilen und Systemen in derProduktentwicklung und Produktion zu erkennen und sich eigenständig inLösungswege einzuarbeiten.

13. Inhalt: • Eigenschaften der wichtigsten Werkstoffe der MST• Silizium-Mikromechanik• Einführung in die Vakuumtechnik• Herstellung und Eigenschaften dünner Schichten• (PVD- und CVD-Technik, Thermische Oxidation)• Lithographie und Maskentechnik• Ätztechniken zur Strukturierung (Nasschemisches Ätzen, RIE, IE,

Plasmaätzen)• Reinraumtechnik• Elemente der Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme

(Bondverfahren, Chipgehäusetechniken)• LIGA-Technik• Mikrotechnische Bauteile aus Kunststoff (Mikrospritzguss, Heißprägen)

Page 477: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 477 von 497

• Mikrobearbeitung von Metallen (Funkenerosion, spanendeMikrobearbeitung)

• Messmethoden der Mikrotechnik• Prozessfolgen der Mikrotechnik

14. Literatur: Vorlesungsmanuskript und Literaturangaben darin

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 135401 Vorlesung Grundlagen der Mikrotechnik• 135402 Freiwillige Übung zur Vorlesung Grundlagen der

Mikrotechnik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 h

Selbststudiumszeit / Nacharbeitszeit: 138 h

Gesamt: 180 h

17. Prüfungsnummer/n und -name: 13541 Grundlagen der Mikrotechnik (PL), mündliche Prüfung, 40Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Beamerpräsentation, Overhead-Projektor-Anschrieb, Tafelanschrieb,Demonstrationsobjekte

20. Angeboten von: Institut für Zeitmesstechnik, Fein- und Mikrotechnik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

B.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Produktionstechnik

M.Sc. Techn. orient. Betriebswirtschaftslehre, PO 2011, 5. Semester➞ Spezialisierungsmodule➞ Ergänzungsmodule Bachelor➞ Produktionstechnik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 478: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 478 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Page 479: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 479 von 497

➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Vertiefungsmodule

Page 480: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 480 von 497

➞ Wahlmöglichkeit Gruppe IV: Produktionstechnik II

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 481: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 481 von 497

Modul: 14060 Grundlagen der Technischen Optik

2. Modulkürzel: 073100001 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, WiSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: • Wolfgang Osten• Erich Steinbeißer

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen: HM 1 - HM 3 ,Experimentalphysik

12. Lernziele: Die Studierenden

• erkennen die Möglichkeiten und Grenzen der abbildenden Optik aufBasis des mathematischen Modells der Kollineation

• sind in der Lage, grundlegende optische Systeme zu klassifizieren undim Rahmen der Gaußschen Optik zu berechnen

• verstehen die Grundzüge der Herleitung der optischen Phänomene„Interferenz“ und „Beugung“ aus den Maxwell-Gleichungen

• können die Grenzen der optischen Auflösung definieren• können grundlegende optische Systeme (wie z.B. Mikroskop,

Messfernrohr und Interferometer) einsetzen und bewerten

13. Inhalt: • optische Grundgesetze der Reflexion, Refraktion und Dispersion;• Kollineare (Gaußsche) Optik;• optische Bauelemente und Instrumente;• Wellenoptik: Grundlagen der Beugung und Auflösung;• Abbildungsfehler;• Strahlung und Lichttechnik

Lust auf Praktikum?

Zur beispielhaften Anwendung und Vertiefung des Lehrstoffs bietenwir fakultativ ein kleines Praktikum an. Bei Interesse bitte an HerrnSteinbeißer wenden.

14. Literatur: Manuskript aus Powerpointfolien der Vorlesung; Übungsblätter;Formelsammlung;Sammlung von Klausuraufgaben mit ausführlichen Lösungen;

Literatur:

Page 482: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 482 von 497

• Gross: Handbook of Optical Systems Vol. 1, Fundamentals ofTechnical Optics, 2005

• Haferkorn: Optik, Wiley, 2002• Hecht: Optik, Oldenbourg, 2005• Kühlke: Optik, Harri Deutsch, 2004• Pedrotti: Optik für Ingenieure, Springer, 2007• Schröder: Technische Optik, Vogel, 2007

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 140601 Vorlesung Grundlagen der Technischen Optik• 140602 Übung Grundlagen der Technischen Optik• 140603 Praktikum Grundlagen der Technischen Optik

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42h + Nacharbeitszeit: 138h = 180

17. Prüfungsnummer/n und -name: 14061 Grundlagen der Technischen Optik (PL), schriftliche Prüfung,120 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform: Powerpoint-Vorlesung mit zahlreichen Demonstrations-Versuchen,Übung: Notebook + Beamer,OH-Projektor, Tafel, kleine „Hands-on“ Versuche gehen durch die Reihen

20. Angeboten von: Institut für Technische Optik

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Pro.Konstr.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Grundlagen der Natur- und Ingenieurwissenschaften

B.Sc. Technische Kybernetik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Grundlagen der Natur- und Ingenieurwissenschaften

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module

Page 483: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 483 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/

Produktentwicklung und Konstruktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2008, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule 4 und 5 mit Wahlmöglichkeit

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Ergänzungsmodule➞ Kompetenzfeld II

B.Sc. Technologiemanagement, PO 2011, 5. Semester➞ Kernmodule➞ Pflichtmodule mit Wahlmöglichkeit

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Maschinenbau, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

B.Sc. Maschinenbau, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Vertiefungsmodule➞ Wahlmöglichkeit Gruppe 3: Produktion

B.Sc. Mechatronik, PO 2008, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

Page 484: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 484 von 497

B.Sc. Mechatronik, PO 2011, 6. Semester➞ Ergänzungsmodule

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Produktentwicklung und Konstruktionstechnik➞ Vertiefungsmodule➞ Pflichtmodul Gruppe 4

B.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Modulcontainer Wahlpflichtbereich (Mach-TP)

M.Sc. Technikpädagogik➞ Wahlpflichtfach B➞ Wahlpflichtfach Maschinenbau➞ Mach-TP

Page 485: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 485 von 497

Modul: 29950 Optische Informationsverarbeitung

2. Modulkürzel: 073100003 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: Wolfgang Osten

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden- erkennen die physikalischen Grundlagen der Propagation und Beugungvon Licht mittels (skalarer) Wellenoptik- verstehen die Herleitung der optischen Phänomene „Interferenz" und„Beugung" aus den Maxwell-Gleichungen- kennen die Grundlagen der Fourieroptischen Beschreibung optischerSysteme sowie die mathematischen Grundlagen der Fouriertransformation und wichtiger,sich daraus ergebender Resultate (z.B. Sampling Theorem).- verstehen kohärente und inkohärente Abbildungen und ihre moderneBeschreibung mittels der optischen Transferfunktion- kennen typische Aufbauten der optischen Informationsverarbeitung(insbesondere Filterung, Korrelation, Holografie) und sind in der Lage, diesemathematisch zu beschreiben.- kennen die Grundlagen der Kohärenz- verstehen den Zusammenhang zwischen digitaler und analog-optischerBildverarbeitung- kennen die grundsätzlich eingesetzten Bauelemente fürinformationsverarbeitende optische Systeme.

13. Inhalt: Fourier-Theorie der optischen Abbildung • Fouriertransformation• Eigenschaften linearer physikalischer Systeme• Grundlagen der Beugungstheorie• Kohärenz• Fouriertransformationseigenschaften einer Linse• Frequenzanalyse optischer Systeme

Holografie und Speckle

Spektrumanalyse und optische Filterung

Page 486: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 486 von 497

• Lichtquellen, Lichtmodulatoren, Detektoren, computergenerierteHologramme, Optische Prozessoren/Computer, Optische Mustererkennung, OptischeKorrelation

Digitale Bildverarbeitung • Grundbegriffe• Bildverbesserung• Bildrestauration, Bildsegmentierung,Bildanalyse• Anwendungen

14. Literatur: - Manuskript der Vorlesung- Lauterborn: Kohärente Optik- Goodman: Introduction to Fourier Optics

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 299501 Vorlesung Optische Informationsverarbeitung• 299502 Übung Optische Informationsverarbeitung

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 29951 Optische Informationsverarbeitung (PL), mündliche Prüfung,40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technische Kybernetik

B.Sc. Technische Kybernetik

Page 487: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 487 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technische Kybernetik➞ Spezialisierungsmodule➞ Spezialisierungsfach➞ Optische Systeme

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Techn.Kybernetik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

Page 488: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 488 von 497

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technischer Kybernetik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Verfahrenstechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

Page 489: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 489 von 497

Modul: 33710 Optische Messtechnik und Messverfahren

2. Modulkürzel: 073100002 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 6.0 LP 6. Turnus: jedes 2. Semester, SoSe

4. SWS: 4.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: Wolfgang Osten

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik➞ Kernfächer/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Vertiefungsmodule➞ Gruppe 3: Optische Technologien / Optische

Fertigungstechnologien

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden

• verstehen die Unterschiede zwischen wellenoptischer undgeometrisch-optischer Beschreibung,

• sind in der Lage die in Wellenfeldern enthaltene Information zubeschreiben,

• können Messungen kritisch mittels Fehleranalyse bewerten,• kennen die Rolle und Wirkungsweise der wichtigsten Komponenten

und sind in der Lage, optische Mess-Systeme aus einzelnenKomponenten zusammenzustellen und zu bewerten,

• sind in der Lage, Methoden zur Vermessung von optischen undtechnischen Oberflächen sowie deren Oberflächenveränderungenzielgerichtet einzusetzen.

13. Inhalt: Grundlagen der geometrischen Optik: - optische Komponenten- optische SystemeGrundlagen der Wellenoptik: - Wellentypen- Interferenz und Kohärenz- Beugung und Auflösungsvermögen

Page 490: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 490 von 497

HolografieSpeckleMessfehlerGrundprinzipien und Klassifikation optischerMesstechnikenKomponenten optischer Messsysteme: - Lichtquellen- Lichtmodulatoren- Auge und DetektorenMessmethoden auf Basis der geometrischen Optik: - Strukturierte Beleuchtung- Moiré- Messmikroskope und MessfernrohreMessmethoden auf Basis der Wellenoptik: - interferometrische Messtechniken- Interferenzmikroskopie- holografische Interferometrie- Speckle-Messtechniken- Laufzeittechniken

14. Literatur: Manuskript der Vorlesung;

Pedrotti, F.; et al: Optik für Ingenieure. Springer Verlag,Berlin 2002;

Hecht, E.: Optik. Oldenbourg Verlag, München 2001.

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 337101 Vorlesung Optische Messtechnik und Messverfahren• 337102 Übung Optische Messtechnik und Messverfahren

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 42 StundenSelbststudium: 138 StundenSumme: 180 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33711 Optische Messtechnik und Messverfahren (PL), mündlichePrüfung, 40 Min., Gewichtung: 1.0

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

Page 491: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 491 von 497

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Werk.Produkt

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement

Page 492: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 492 von 497

➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Technologiemanagement➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Elektronikfertigung➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

M.Sc. Maschinenbau➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer mit 6 LP

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik

Page 493: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 493 von 497

➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Werkstoff- und

Produktionstechnik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Elektrotechnik➞ Elektronikfertigung➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Elektronikfertigung

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Feinwerktechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Feinwerktechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Mikrosystemtechnik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Mikrosystemtechnik

M.Sc. Mechatronik➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik➞ Kernfächer / Ergänzungsfächer Technische Optik

M.Sc. Maschinenbau / Werkstoff- und Produktionstechnik➞ Gruppe 2➞ Mikrosystemtechnik➞ Kern-/Ergänzungsfächer mit 6 LP

Page 494: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 494 von 497

Modul: 33460 Praktikum Technische Optik

2. Modulkürzel: 073100009 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 3.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 2.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher: Wolfgang Osten

9. Dozenten: Wolfgang Osten

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

M.Sc. Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Spezialisierungsmodule➞ Technische Optik

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele: Die Studierenden

• sind in der Lage Kenntnisse aus den Vorlesungen desSpezialisierungsfachs vielfältig anzuwenden sowie inVersuchsaufbauten umzusetzen.

• besprechen die Versuchsergebnisse und stellen diese in einerPraktikumsausarbeitung nachvollziehbar dar

13. Inhalt: Nähere Informationen zu den Praktischen Übungen: APMB erhalten Siezudem unterhttp://www.uni-stuttgart.de/mabau/msc/msc_mach/linksunddownloads.html

Flächenhafte Interferometrie und Messtechnik

In diesem Praktikumsversuch lernen die Studierenden das Interferometerals Messmittel für die nanometergenaue Formprüfung kennen. Durchpraktische Experimente an Interferometern werden die Grundlagender Interferometrie vertieft sowie Anwendungsaspekte diskutiert.Die Experimente umfassen die Kohärenzlängenbestimmung vonLichtquellen, die hochpräzise Krümmungsradienbestimmung vonKugelspiegeln sowie die Formprüfung von optischen Komponenten.

Rechnerunterstütztes Design optischer Systeme:

In diesem Spezialisierungsfachversuch wird in einem Einführungsteilzunächst die Grundfunktionalität des Optik-Design Programms ZEMAXerläutert. Aufbauend auf der Eingabe von primären Linsendaten wieRadien, Abständen und Brechzahlen sowie den Strahlbegrenzungenwird die jeweils erzielte Abbildungsqualität aufgezeigt und diskutiert.Optimierungsstrategien werden erarbeitet. Als Abschluss des Praktikumswird z.B. die konkrete Auslegung eines Handy-Objektivs am Rechnerdurchgeführt.

14. Literatur: Praktikumsunterlagen

15. Lehrveranstaltungen und -formen: • 334601 Spezialisierungsfachversuch 1• 334602 Spezialisierungsfachversuch 2• 334603 Spezialisierungsfachversuch 3• 334604 Spezialisierungsfachversuch 4• 334605 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau

(APMB) 1

Page 495: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 495 von 497

• 334606 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau(APMB) 2

• 334607 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau(APMB) 3

• 334608 Praktische Übungen: Allgemeines Praktikum Maschinenbau(APMB) 4

16. Abschätzung Arbeitsaufwand: Präsenzzeit: 21 StundenSelbststudium: 69 StundenSumme: 90 Stunden

17. Prüfungsnummer/n und -name: 33461 Praktikum Technische Optik (USL), Sonstiges, Gewichtung:1.0, USL. Art und Umfang der USL werden jeweils zu Beginndes Praktikums bekannt gegeben.

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Verfahrenstechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technische Kybernetik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Fahrzeug- und Motorentechnik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

Page 496: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 496 von 497

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau Mikro.Ge.Te.

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Technologiemanagement➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Technologiemanagement➞ Spezialisierungsfächer A (ING)➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau/Mikrotechnik,

Gerätetechnik und technische Optik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Maschinenbau➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Maschinenbau➞ Spezialisierungsmodule➞ Gruppe Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Maschinenbau / Mikrotechnik,

Gerätetechnik und Technische Optik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Mechatronik

B.Sc. Mechatronik➞ Vorgezogene Master-Module➞ Vorgezogene Master-Module aus Technologiemanagement

M.Sc. Mechatronik➞ Spezialisierungsmodule➞ Themenfeld Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik➞ Technische Optik

Page 497: Prüfungsordnung: 2011 Mikrotechnik, Gerätetechnik und ... · Modulhandbuch Studiengang Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik Prüfungsordnung:

Modulhandbuch: Master of Science Maschinenbau / Mikrotechnik, Gerätetechnik und Technische Optik

Stand: 16. November 2011 Seite 497 von 497

Modul: 80480 Studienarbeit Maschinenbau

2. Modulkürzel: 077271095 5. Moduldauer: 1 Semester

3. Leistungspunkte: 12.0 LP 6. Turnus: jedes Semester

4. SWS: 0.0 7. Sprache: Deutsch

8. Modulverantwortlicher:

9. Dozenten:

10. Zuordnung zum Curriculum in diesemStudiengang:

11. Empfohlene/Voraussetzungen:

12. Lernziele:

13. Inhalt:

14. Literatur:

15. Lehrveranstaltungen und -formen:

16. Abschätzung Arbeitsaufwand:

17. Prüfungsnummer/n und -name:

18. Grundlage für ... :

19. Medienform:

20. Angeboten von:

21. Zuordnung zu weiteren Curricula: