Rendezett cink-oxid Rendezett cink-oxid nanorudaknanorudak

Készítette: Harmat Zita, Készítette: Harmat Zita, harmzita@gmail.comharmzita@gmail.com

Kodály Zoltán Magyar Kórusiskola – Kodály Zoltán Magyar Kórusiskola – BudapestBudapest

Mentorok: Erdélyi Róbert és dr. Volk JánosMentorok: Erdélyi Róbert és dr. Volk János

Cink-oxid nanorudak Cink-oxid nanorudak alkalmazásaialkalmazásai

(c)

UV nanolézer

Nanogenerátor

Nanolencse

Cink-oxid legfontosabb tulajdonságai:

-Piezoelektromosság

-Félvezető

-Biokompatibilitás

TechnológiaTechnológia

Elektronsugaras litográfia

Tisztítás

Nedveskémiai növesztés

PMMA eltávolítása

PMMA

aceton, etanol, víz, oxigén plazma

Ellenálló lakkréteg (PMMA) felvitele

Litográfia: 46 pA 1,8-2,6 ms/pont

Előhívás

(CH2)6N4 (Hexametilén-tetramin)

Zn(NO3)2*6H2O (cink-nitrát-hexahidrát)

0.2 liter desztillált vízben, 85 °C

A maradék lakk leoldása acetonban

EredményekEredmények

Az AFM működése

Előhívás után

Marker előhívás után

Rezisztréteg vastagsága: 370 nm

EredményekEredmények

Előhívás után – optikai mikroszkóppal Előhívás után – AFM-

mel

Növesztés után – SEM-mel

Átmérő eloszlásfüggvény

Növesztés után - SEM

Átmérő eloszlás

KöszönetnyilvánításKöszönetnyilvánítás

Ezúton szeretnék köszönetet mondani Ezúton szeretnék köszönetet mondani Mentoraimnak, Erdélyi Róbertnek és dr. Mentoraimnak, Erdélyi Róbertnek és dr. Volk Jánosnak, a szakmai irányításért, dr. Volk Jánosnak, a szakmai irányításért, dr. Lukács Istvánnak az elektronsugaras Lukács Istvánnak az elektronsugaras litográfiában nyújtott segítségéért és dr. litográfiában nyújtott segítségéért és dr. Tóth Attilának a SEM képek Tóth Attilának a SEM képek elkészítéséért.elkészítéséért.

Köszönet jár még magának az Köszönet jár még magának az Intézetnek is a lehetőségért, hogy itt Intézetnek is a lehetőségért, hogy itt lehettem.lehettem.