sims backside depth profiling of ultra shallow implants
TRANSCRIPT
���� ������ �� � ������� �� �� �� ������� ����� �
���� ����� ������ ����!� �� ����� "� ���� #��� $��
����������� �� ����� ������� ��������� ��������� ���� ���� ����� ���� �������� ���� !� ���������"�������� �������#��� $��#���#���� ���%� ! &������� '��#������ ���( �� ������ �� �������� )*+,! � ��������
��������
�� �������% �� ���� ���� ���� �% �� � �������� � ���� ������ � &��� �� �� � ��� �� ��'��� �% ��� ���� ���� ��
������ �� ������� ()� *��� ��� �������� + ,- .,/ .,001/ 2013� ��� ����'�� ���� �4�� ��� �� �� �� �� �� � ������ �� ��
�� ����� ��� �� ������� � �� ����� ��� ($���� ��� ���� �� �� + 56 .,007/ 2283� +% ���� �����9��9����� �� .�:�/
������� �� ��4� �4����� � ������ �� � ������� ����'�� ��� � �%�� �� �� ������� ����� �� ��� ����� � ������ �� ��
�:� ����� �� �� ����� ����� 4 % � ������� � ���� ����� � ���� � �� ��9� ��� ��������� ���� ���� � � ��� ������ ��
���� �������� ��� ��� ���� � ��� �� �� + , ��* ����� � ��� � �� �% ��������� ���� �� ������ �� � �������
���� �:� ���� �� ��� ��� 6�; �� 7�; ��* :2� �����% ��� ���� ��� � ���'�� ������ � � #����� ���9-�� � � ��
� ��� �<%��� =���� �� ������ �� � ��� ��� ����� 4����� �� ������ ���� ������� �� �� �� �� ������� ���� ����� �
���� �:� ���� �� �� � �4���� ��
� 2772 >���4�� ������ +�*� ��� ��� � �����4��
�� ����- �������% �� ���� ���� ���� �%? @� �� ������� ����� �? +����� ����? ������ �� � ��? :<%��� =����
� ���� ������
�� �������� ���� �4��� ����� � ������� ��
������ �� ��� &��� �� �� � � �� ����� ���� �� �
������� ���������� ��� 2777 $� ���� "����� ���
�������� ��� ��� �� �� ��� ��������� ��%
�� ��9�<� �������� ��� .#�:�/ � � � 7�,8
�� 7�70 �� �� � ���� �� � &��� �� �� � �� 58 ��8; �� � ��'���� ������ 4��%� �� ���� � ����4�
�� �� ������� &��� ��� � � ��� ���� ���� ����� ��
����� � �� � ������% ����� �� � � ��� ��� �
��� �����%� �������% �� ���� ���� ���� �% .����/�
� � � ������ � �� �� ���� 4 %� � � ���% ���
����'�� ��� �������� �� � ������� �� ����� �
���� A�� �� �� ������� &��� ���� � ������� ��� ��
�� �� ����� � ���� ��� � �� �� ���9�'������
����� ����� 4��� ��� � �� %�� �� �� �������� ��
�� 4� �<� ���� '��� ��� �� ����� � B���4���
��� ���� ����� �� �% ��� �� �������� � ����'���
���� �� ���� � ������� �����% �����%� ���'�� ��
������ ������ ����� � � �� � ��� ������� ��9
��� �� .�<%��� =����� � ������/� � ���� ����� �
���� ������ ��� �� ����4� (,C83�
���� ������ ������� ���� �4�� ��� �� ��
�� �� �� � ������ �� �� �� ����� ��� �� ���9
���� � �� ����� ��� (5�;3� A�� ������� ��� ����
�'������ � ������ ������ �� ���� ������ �
���� ������� �� ��� �� � �� �� �� �� ����
������� ����� �% �� ������� ������ ����� ��� ��
�4��� B���4��� �� ���� �� �� � �� �� ����
������ ������� � ������ ������� ��� �������
��4� � �� ���� ��� ���� �� ������� �% � ���
� ���� �� ������� ���� � �������� D������� ����
�� ������� ��������� �� =� ���� �� �� �� �����
����� ������� ������ 278C275 .2778/ 88;C881
! #���������� �� ���� ����E �-;9-1695-98-2?��<E �-;9-6696-9,2-�./���� �������- ��%��� �F��������� .������ ��/�
7,-095882G72GH C ��� ���� �� �� � 2772 >���4�� ������ +�*� ��� ��� � �����4��
D��E � 7 , - 0 9 5 8 8 2 . 7 2 / 7 7 - 6 , 9 2
������� ����� ������ ������� ����� �� ����
����� 4�� � ��4� �4����� � ������ �������
����'�� ���� �����9��9����� �� .�:�/ ���� �� ���
��� ����� � ������ �� ���� �� �:� ��%�� �� ��
���� �<� .+:I/ ��%�� �� �� ����� ����� 4 % ��
�� ������� � ���� ����� � ���� � �� ��9� ���
��������� ���� ���� � � ��� ������ �� ���� �����9
��� ��� �� ��� ������� �� ���� ������ �� �
������� �� �� �� ��� �����% ����� � ���� �:�
���� �� ���
� ����������
� ��������� ����� � A�� ,� ��� �4����� ����
�:� ����� � ������ � ���� ���� ���� �� � ��������
���� � =� �� ���� � ��� ���� ����%��� � ���9
��� �� �� ��������� ����� �� ���� ���� ��
������� � ���� ��� �����%� ��� �� ����� ���9
����� ��� �:� ����� ��� � �� �����., 7 7/ .�:�/
��%�� �� ���� ,62; �J �� � ����� �<� .+:I/
��%�� �� ���� ,127 �J .��� A�� 2/� A�� �� �:� �����
��� � �� � �%� �� ��������� �� �� � ������
�� ���� �� �:� �� +:I ��%�� � �; �J � ��� � ��9���� ���� ����� � 4��% �� ��� � �� ������� �� ��
������ ��������
��� �:� ������ ���� ��� ���9�������� � �
2� ,7,; � ���G��2 �� � � 87 ��* ������� �% +����� � � , ��* � � � ��� �� ;� ,7,5 � ���G��2���� ������ ���� ��� ����4� � � ������� ������� ��
�K� � ,� , ��2� ����� ������� ���� ��� ������ � ,777 �J �� ��������� ����� ���� � �% "A
��� ���� � ���� ������ ��� �� ���� ���� ���
� � ���% ����� ����� �� �� ���� �K�� ��� ����9
�� ��%�� �� �:� ��� ��� ����������% ����� ���
� ,77 �� ���� �����9����� ������ ��� ����������� ��� � � � � ���� �%�9������� �%��<�
.���B� 2;L/ ���� �� � 17 �# ��� ���� 8 � .� �� �� ��87 ��G�/ � ����4� �� ������� ������ �������%��� ��� � ���� �� � �� ���B �� � � ���� ����
����� �� ���� �� ����� ��� �� �� �:2 (-3� ��� �
����� �4��9� ��� ����� � ������� ��� �<� ���
��� ����4� �% � �� � �%��=���� �� .MBA� ;L/
���� ��� ���4�� �� �� �:� ��%�� �<���� ��� ����%���
��� ������� ��������% ��� ������� ���� �
M� �� ��� ����� � $�������� ��� ��� M8777
����� � ��� ����� ��������% .�A�/� ������ ���
� � ���� �K�� �� ;� ; ��2��� ���� M�� � ���������� �������� ���� � #��>#� ��� -� � � :2
�
���� ������� �� 7�; ��*� ;-� ������ �� 6�; ��*� 57�2� ������� ��� :2� ������� ��� ��� �4�� ������ �� 2;7� 2;7 ��2 �� �� �� ��� ������ �� ������ �� 7�; ��* :2
� �����% ����� �<%��� =����(63 �� ������ �� � �� ����'�� (13 ���� � ��� �
�������� ��� �� �� �� ���������� ��� �������� ��9
�� �<%��� =���� ��� �<� � ,�7� ,7�- ���� �� �� ������ �� � �� �� � ��� �� � 27 ��4G���
A�� ,� .�/ �:� ����� � � ��������� ����� ����� ���� ����
��� � � ���% ����� �����? .�/ �� �� ����4�� �� ����� ��
�<� ��%�� � �:� ����� �% ����� �� � �����
A�� 2� �>� ���� �� �:� ����� ������ �� +:I ��%���
88- �%�% 0� �� ��% 1 2������ �#���� ������� �!*3�!, 4�!!*5 **63**+
� ������� �� ���������
���B � ��� �<� �� ��� 4��% ��� ���� ����
� ���� ������ ��� �� � � ��� � ���� ����� 4 % �
�:2 (03� � ���4�� ���� � 4��% ���� � �� =�
������� �� �� ����� ����4�� ���� �� �:� �����
����9� ��� �4�� � ��� 9����9�'���� ."��/ �����9
���� �� 7�8 ��� ��� +:I � ��� ����4� �%
MBA.;L/ ���� ��� ��� ��������� �� �� ����� ��
����� .�� �� ������� �� �� �:� ��%��/ ������� �
���� 7�8 ���
�� �� � �%� �� ������� �� ���4�� ���� ����
���� �� � ������ �� �� ������ � � �,77 ����������� ����� ������� A�� 8 ����� � ���������
�� ���� � ���4�� ���� ���� �� � ������ � � ����9
����� ����� ����� �� � ������ �� � ������
���� 6�; ��* :2� � 57�2�� ��� � ������ �� ����
�� ����� ��%� �� ����� �� ��������� �����
����� ��%�� ��� ������% �� �� �� ���� �� �� 4�
�<� ���������� � ��� �������% �� %��� ���
� �����% ������� �% �� �������� �� �� 4� �<�
�� ���� �� ��������� ����� ��%�� �� �� �����
���� �� �� ��� ������ �� � ������ ��� ����� �
�� ���� ������ �% ���� �� �� 4� �<� �������9
��� �� �� �� �� �� �� �� ������� �� �� �������
M�� � ��� ���� ���� � ��� ������ �� �� � � ���
������ �� �� ������ �� ������ ���� ������%
����� �� �� �� ����4���� � �� � ������ ��
���� ������� � ���� �� �����
�� �� � ������� �� ���� � ��� ��� � ��
���� ���� ���� �� � ���� � �� �� ����� ����
��� ��� ���� @���� ��� ��%� �� ������� ���� ��� ��
� ���� ������ �� �% �� �� 4� �<� �� ���� ��
������ ������� �� �� ������ ��%��� ��� ������9
�� �� �������% �� %�� ���������� �� �����9��
����� ������ �� � �� �� �� �� ���� ��� ��� ��
���4�� ���� ����� ������ ��� �� �� �� ���� ���9
�� ��� �� ����4� �% ��������� �� ������ � ��
��������� ����� ����� (,3� ��� �� �� ���4�� ���%
� ��� ���� ������ �� ������� �� ���� ����� ��
���������� � + �� � ��� ���� %��� � �������
+����� ���� �� � ������� ��4���� �� ���� ���9
�� � ��� ��� �� ������ ��� ���
��� ������ ����� �� �� ������� ����� � ���9
����� �� �� � ������ �� ��� �� ����4� �% �������
�� �����% �� ���� �����% � ���9��* (,73� +%
������� �� �����% ���� �����%� �� � ������ ��
�<�� ����� ��� �� ������ B���4��� ��� ����
����� �� ��� �����% ��� ���� ������ �� �4��9
����� �� ��� �� �� �� ��������� � �� ������
� ���� ���� � ��� ������ �� �� � ������ ��
(,,�,23� B����� ��������� ���������� ����'���
���� �� ������ �� � �� �� �<%��� =���� ���
�������% �����%� ���� ��� ���9��* �� � �����9
��� A�� 5 ����� �� ���� �� �� ������ ����
�� � ������� �� ��� ���� 7�; ��* :2� � ;-� ����
�� ��� �� �� ������ �� � �� �� �<%��� =�����
� 7�; ��*� �� ������ ���� �4�� � �������� ������
�� ������� � �� ���� �� ����� ��� ��� �� ��
�� ����� ���� ����� �����% ���� �����% ����9
��� �% ����4�� �� �� � ������ ��� �� ������
������� � � �� ���� ������� ��� �� ���� ��
A�� 8� ��� 6�; ��* :2� ���� �� ���� .������/ ���� �� �
������ �� ,,+� ����� � � , ��* ;� ,7,5 � ���G��2� ��� K����� � ����� � �� �� �� � �� �� ������ �������� ��� ��� �� �� ���
"�� ��������� ��� N7�8 ���
A�� 5� A��� �� �� ������ �� � ������� ���� 7�; ��* :2� �
;-� ���� �� ��� �� �� ������ �� � �� �� �<%��� =����� ������ �� �� ��� "�� ��������� ��� N7�5 ���
�%�% 0� �� ��% 1 2������ �#���� ������� �!*3�!, 4�!!*5 **63**+ 886
�������� � �� � �� ���� �� ����� ��� ��
������ ���� �� � ������ � 7�; ��* :2� � ;-��
�<%��� =���� �� ������ �� � �� �4� ����� ��
���� ����4���� � �� � ������ ���
� �����������
� ���� ������ � �� ������� ������ ���� �� �
������� ��� �� �� ��� �% ���� �:� ����� ����
� ���� ����'���� ��� ����� � ������ �� ���� ��
�:� ��%�� �� �� +:I ��%�� ����� � � � ���� � �
������� �� �� ����4�� �� +:I ��%��� ���� ����
������� ��� ��� ������ �� ���� �������� � ��4�
����� �� � �� ��� �� ��� �����% .7�; ��*/ ���� �
����4� ��� �� � ������ �� ��� �� �� ��� �����%
����� �� ��� ����4���� � ������� ���� ���9
���� � ���4�� ���� ���� �� ���� �� � ��������
+% � ���� ���9��* ������ ���� �� � �������
� � �<%��� =���� � �� ��� �������� �� ������ �
���� ������ � ���� ������ �� �� �� ������� ����� �
��� �� ����4��
����������
(,3 )�O��� 4�� +������ >�)�B� #����� � �� ������� M�)�
O��4�� �&�� �� �� ���� �� +�������4��� >� $����� )� *���
��� �������� + ,- .,/ .,001/ 201�
(23 *���A� #��� O�"� ���� � ��)� >����� #� � ������ )� *���
��� �������� + ,6 .;/ .,000/ 285;�
(83 >� $���� ��� �� #������� "� � �� � *� D�4 ���� A� D����� O�
������� �� ����� � )� *��� ��� �������� + ,1 .,/ .2777/ ;,0�
(53 �� ������ M�+� D����� $���� ��� ���� �� �� + 56 .,007/
228�
(;3 )�"� �������� "��� ������� "��� ��<� )�)� A������� M�M�
�� �� ���� B�� �� �� ��%���9����� )� *��� ��� �������� � ;
.5/ .,016/ ,;78�
(-3 :� ���� �� "� ����� B� A�������� �� �������� ��
���%���� ����� �� �� � � 85 .,002/ ;,�
(63 #��� $�� ������ ��� #�B��� B���� �� ���� )� *��� ���
�������� + ,0 .277,/ 120�
(13 M�>� �%���� ����� �� ���� ����� 21 .,000/ 50�
(03 )����� ������ ��� #��� #� � #����� ����� �� �� � � -8
.,006/ 258�
(,73 � *����4��� � A�"� ������� )� *��� ��� �������� � ;
.,016/ 8,8�
(,,3 �� ������ ��A� #�������� )� *��� ��� �������� + ,-
.,001/ 262�
(,23 P�I� )���� D�A��� �������� ����� D�%�� �� � 68 .,001/ 8,;�
881 �%�% 0� �� ��% 1 2������ �#���� ������� �!*3�!, 4�!!*5 **63**+