sistemi da vuoto - fe.infn.itciullo/lab_ls/lezione_5_sistemi_vuoto_e_misure... · sistemi da vuoto...
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Sistemi da vuotofi i/
Condizioni stazionarie P FS
q
V
superficie
perficieportata/su
F
q
S
qFP
Condizioni dinamiche
SVQ
SPSqF
dt
dVP
Condizioni dinamiche
qFKeP
tV
S
dtS
Per avere basse pressioni:t i li b- materiali a basso q
- Elevate velocità di pompaggioC di i i di i h d i i i i di
QqFKeP in
tV
S
Condizioni dinamiche ed iniezioni di gas
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
SSKeP
Sistemi realiQ
HVG
PchSch
qVchchch SPQ Qin
A T t t Q è l dA T costante Q è la grandezzache si conserva lungo il sistema{HVPumpchamberC SBV
P
BVG
C
PBV
BVHV PumpPumpC
BVBVchchch SPSPQ
vuotoalto di pompa HVP
S, Q, Pmax in, Pmaxout
vuoto)-pre di (back meglio o
vuotobassodi pompaBVP
S, P all’ingresso = P HV, Q, max in, maxout
ingresso e uscitaK= fattore di compressione
S, Pmax all ingresso Pmax HV out
Uscita atmK= fattore di compressione
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Le velocità di pompaggio devono tener conto delle C tra le varie parti , quindi della velocità di pompaggio efficace.
Automazione e controllo
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Connessioni per vuoto
KF (klamp Flange) LF (Long Flange) CF (Conflat Flange)
NWNW
Range di utilizzo fino 10-7 (mbar)O i di i t i li
UHVO-ring di vari materialiNitrili, Buna-N, Viton, KalrezDN 16 25 40 50 63 100 160
Guarnizioni in rame
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
DN 16, 25, 40, 50 --- 63, 100, 160 … DN 16, 40, 63, 100 …
Sistema per calibrazioni misuratori: misura di densità
Dimensionare sulla base dei dati tecnici
fornitim
CF 150
fdalle rispettive case
costruttrici.455 mm
280
mm
CF 100
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Qmax e Pcv per Idrogenomax cv g
Il volume di compressione, tt di tt t lpermette di mettere a punto la tecnica di misura.
Stimare la portata massima,Che si può iniettare e la misuraChe si può iniettare, e la misuraPCV
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Verifica della risposta del Baratron
• Prima verifica di iniezione e risposta dei misuratori, con soffietti da ¼” VCR.,
S tit i ill i i l ti• Sostituzione con capillari equivalenti (d=0.8 mm ed l =10 cm, più sezioni in tubicini d’acciaio d = 2 mm lunghezze 400 mm e 700 mm)mm e 700 mm)
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Verifica definitiva
Q iniettata nella cell: 1 10 -3 mbar l/s
Pompa Leybold 1600 l/sO Turbo magnetica 2000 l/s
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Controllo della risposta del baratron all’apertura e chiusura della cell.
Accumulazione
mm 10
d
dnt bb Fascio libero
d
1 l
mm 10d
Fascio Accumulato 2/ ;
12
0
Lllnxdxnl
t ccc
Flusso uscente=flusso entrante
15100
1
4 sec10445.1sec
10445.1
cmcm
MT
vKT
M
Flusso uscente=flusso entrante
atom/sec 100.3 16I
InC ctot d
SvI
tbb
b 2,64E+11
ctot
SvnnC LI
t 1 52E 14
cm 20L
Laboratorio di Rivelatori LS
bbbccelltot SvnnC 2C
tot
t c 1,52E+14
3.51sl
4.34
'-12
s
l
sl
AA
M
TC
Kergk
nkTbarP
/10 38.1
)(16-
cmin unit length Kergk /10 38.1
CPPCQ c kTCn c
2/ ; Lllnt cc
C' k TtL
Q c
2
)2/(3.51
Ls
14.348 3
-12
s
lT
Ls
AA
MktQ c
CL/2=3,96 l/s
ABS-inj 3,37 Ctot=11,9 l/s =>
cmin lungh.
)(
Laboratorio di Rivelatori LS
BRP-sampl.extension
0,764,81
tot
tc=1.1 1014 atom/cm2
Controllo formula
3514.34
'-12
lAATC
Correzione C ff tt di f
cmin unit length
3.51 '
sBlBlM
C
-1
3.51
A
Con effetto diaframma
813'3DT
C
Bl
cmin unit length l
81,3'D
M
TC
B boundary,
4.34
'2
Bl
A
M
TC
y,perimetro
cmin unit length
BlM
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Dimensionamento cell per PAX
Sezione quadrata l = 1 mmSezione quadrata l = 1 mm
Lunghezza L= 400 mmg
Campionamento d= 6 mm,L 32L = 32 mm
Estensione d= 10mm,,L = 328 mm
I i i ABS d 10Iniezione ABS d= 10 mm,L = 96 mm
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Dimensionamentoconductance Medium Cell per varie Lunghezze square correzione
d d l=L/2 A s(34,4/radq(pi.greco
))*A^2/sLC senza
corr 1+5.3A/sl A^2/sL/(1+5.3 A/sl) T M sqrt(T/M) C'(l/2) [L/S]
[cm] [cm] cm cmq cm
m_cell 20 cm 1 1,00 20,00 1,0000E+00 4,00 0,24 4,20 1,07 0,23 300 1 17,32050808 3,94
1 1,00 20,00 1,0000E+00 4,00 0,24 2,97 1,07 0,23 300 2 12,24744871 2,79
Considerazioni sulle conduttanze dell'injection e sampling cond corr T M sqrt(T/M) cond
R Length A S
ABS-inj M=1 0,5 9,29 7,8540E-01 3,14 0,41 7,10 1,143 0,36 300 1 17,32 6,22
ABS-inj M=2 0,5 9,29 7,8540E-01 3,14 0,41 5,02 1,143 0,36 300 2 12,25 4,40
BRP-sampl. M=1 0,3 2,60 2,8274E-01 1,88 0,32 5,48 1,306 0,24 300 1 17,32 4,20
BRP-sampl.M=2 0,3 2,60 2,8274E-01 1,88 0,32 3,88 1,306 0,24 300 2 12,25 2,97
extension M=1 0,5 32,80 7,8540E-01 3,14 0,12 2,01 1,040 0,11 300 1 17,32 1,93
extension M=2 0,5 32,80 7,8540E-01 3,14 0,12 1,42 1,040 0,11 300 2 12,25 1,37
C_ext+samp M=1 8,66 1,32
C_ext+samp M=2 7,17 0,94
0 060710,06071
Ctot= I tc atom/cm2 n0 =atom/cm3 P=n0 kT [mbar]C'+C'+CABS+Cbrp M=1 15,42 Q_BRP/QIN M1= 0,09 6,00E+16 7,78E+13 3,89E+12 1,61E-04C'+C'+CABS+Cbrp M=2 10,91 Q_BRP/QIN M2= 0,09 6,00E+16 5,501E+13 5,50E+12 2,28E-04
senza extension per misure Baratron 12,9
tconduttanza apertura
apertura cm profondita spessore 2 stati
M1 1 0,01 12,6 0,50 0,67 3,00E+16 2,75E+12 1,14E-04 0,707106781
M2 2 0,01 8,9 0,50 0,48
k = 1,38E-19 (conv in mbar)
2C
tot
LIt c 2/ ;2 Ll
L
t
l
tnlnt cc
ccc
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
tot Ll
Misure di intensità (portata) dei fascidP
absoutabstot PCQVdP
QQQ
Vdt
dP
:
;Q
tV
Cabs
abs
absoutabstot
eC
QPQCPV
dt
dP
Qdt
QQQ
1 Cdt
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Sistema di calibrazione di portate
calcal
PP
calcal PCPCQchcal
Qcal
Ccalcal
Devo misurare CMisura di P con baratron
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Devo misurare CCalMisura di Pcal con baratron
Misura di Ccal
calcal
V
CPPSPVdt
d :)(
costante
tV
C
cal
tV
S
calcalcal
cal
ePePtP
dt
)0()0()(
9
Data: aug17Cmeas Pbm
Pbm ExpDec1 fit of aug17Cmeas_Pbm
5
6
7
8 Data: aug17Cmeas_PbmModel: ExpDec1Equation: y = A1*exp(-x/t1) + y0Weighting: y Instrumental Chi^2/DoF = 0.09545R^2 = 1 y0 0.23024 ±0.01451A1 8.63199 ±0.01113t1 69 76054 0 24462P
bm (
mba
r)
2
3
4
5 t1 69.76054 ±0.24462P
• Misura di Ccal mediante
inoltre;
calcalcal VCVC
0 20 40 60 80 1002
time (min.)Evacuazione di Vcal attraverso Ccal
e V ?
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
. inoltre ;
cal
cal
cal
calcalcal VC
C e Vcal ?
Ma Ccal
/)()(9
Attribuiamo Ccal a Pcal
2
/)0()0( ePPP calcal
medio
6
7
8
mb
ar)
Si potrebbe fare un migliore stima.4
5Pca
l (m
0 20 40 60 80 1002
3
time (min.) calcal
V
CPPSPVdt
d :)(
costante
calcalcal bPaPfCdt
d
dt
VbPaP
dP 1
)(
bPadP
ln1
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
PabPaP
ln)(
Misura di Vcal
Ho un volume di riferimento noto grazie ad una i ( it ) d l li id h ò t (V )
da PV=costante
misura (ex situ) del liquido che può contenere (Vref ).
In situ con l’espansione del gas contenuto in Vref, d t i Vposso determinare Vcal.
calrefPrefrefPref VVPVPicalical
)(
espansionel' dopo
)1()( ffff icalical )( )1()(
Non abbiamo misuratori di pressione in Vref, pertanto si usa la misura di Pcal effettuata prima dell’espansione, quando i due volumi sono comunicanti,
i hi d l l l t i V f i ’ lt i
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
poi chiudo la valvola tra essi, evacuo Vcal e faccio un altra misura.
VG VG3
V1 Valvola per evacuareda alte pressioni > 10-1 mbar
Sistema di Calibrazione
Pompa V3
Vcv
Vl2G2 V6 V2 Valvola di prevuoto per la turbo
TurboV3
VcalV3 Valvola per evacuare
da basse pressioni < 10-1 mbar
Vp
Vl1V4
V
G1 V4 e 5 Valvole del volume di riferimentoVref
V5
di riferimento
Vl2 Valvola termoregolata da G e V bypassV1V2
V5 da G2e V6 bypass
Vl1 Valvola a perdita regolabile e
Pompa
Vl1 V vo pe d ego b e eVp pneumatica
V V V Volumi
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
A membrane Vcal , Vref , Vcv VolumiG1, G2 ,G3 misuratori di vuoto
ATTENZIONE:Ri t ll l h bl hi l’ ti h tt t d lRicontrollare lo schema a blocchi e l’etichettatura del
sistema di calibrazione sulla situazione attuale nel laboratorio(serve in caso di modifiche e per prendere confidenza)(serve in caso di modifiche e per prendere confidenza)
Misure di densità o pressione al centroMisure di densità o pressione al centro
Quesito: Calcolare l’intensità del fascio dalla misura di portata.
)(sec/ QfatomiI
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Misure
• Misura della risposta del Baratron (e penning) in funzione della portata p g) pcalibrata, con il volume di compressione.
• Utilizzo di capillari equivalente a iniezione• Utilizzo di capillari equivalente a iniezione e misura cell, verifica lettura ed iniezione.
• Utilizzo cell di Hermes, per verifica su cell chiusa.chiusa.
• Utilizzo celle PAX per verifica apertura e hichiusura.
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Altre possibili misure
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Misure di portata calibrate
I i t i i i i h ’ t • I misuratori a ionizzazione hanno un’accuratezza bassa 10-20 %, ma una migliore riproducibilità 1-5%.
IG Possiamo riportare la risposta di IG (Pcv),rispetto alla portata calibrata e quindi poi
Qabs
rispetto alla portata calibrata e quindi poidedurre la misura di Qabs con errori dell’ordine del %
Q
CV Volume di compressione
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
QcalCcv conduttanza del tubo del CV
Calibrazione di Pcv
qCAL
3
1,6x10-3
q Linear Fit of Qcalc0fins230_qCAL
Calibrated througput measured with a 1% error
0 fins for 23 august
Quando inietto gas dall’ABS e misuro
i
1,2x10-3
1,4x10-3
inear Regression for Qcalc0fins230_qCAL:Y = A + B * XWeight given by Qcalc0fins230_ErrQcal error bars.
Parameter Value Errorar
l/s)
per esempio:
b10211
inlet ABS4P
8,0x10-4
1,0x10-3
Parameter Value Error------------------------------------------------------------A -7,2146E-5 1,96151E-6B 8,28848 0,01727------------------------------------------------------------Q
calib
(m
ba mbar 10211 4 .Pcv
Ottengo per la portata
5 5 4 4 4 4 4 4
4,0x10-4
6,0x10-4R SD N P------------------------------------------------------------0,9999 6,72786 3 0,00892------------------------------------------------------------
lmbar101Q 36,0x10-5 8,0x10-5 1,0x10-4 1,2x10-4 1,4x10-4 1,6x10-4 1,8x10-4 2,0x10-4
Pcv
(mbar)
Calibrazione della lettura di pressione Pcv pressione mediante portate calibrate
slmbar 101Q ABS
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Sistema ABS 1PKR PBR287
Pirani PiraniPirani Pirani
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Misure di attenuazione e … altro?
Ccv
Chopper -Wheel
Atomic Beam Source
pp
Q d l M
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Volume di compressioneQuadrupole Mass
Analyser
Sistema diagnostica fasci atomici
Cryo PumpCryo Pump
10-7 mbarIon Pump
TV 350 l/s
TV550 l/sTi Pump
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Misure di attenuzione del fascio e … livello 0.
dxIdI 0
Legge di BeerLegge di Beer coefficiente di assorbimento
dxnIdI n densità numerica molecolare dxnIdI 0 sezione d’urto di collisione
hard sphere (r1 + r2 )2
lP
txP
dP
Icos)(
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
lkT
P
eII
0
dxkT
I0
Ricavata la relazione tra Q e I si misura•Intensità in CV al variare di PHV2
Att i tt il f d b di i•Attenzione a sottrarre il fondo: bandierina
lP HV2 l
kTeII
0
2)ln()ln( effHV LPII
20 )ln()ln(
chkTII
Dalla pendenza riusciamo a ricavare
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Misure con errori minimi
Mi di Att iMisure di Intensità
in un tubo di iniezione (Ccv)
Misure di Attenuazione
Calibrare la misurazione di P d l
Calibrare la misurazione di P (Pcv)
in tutti i rami dove passa il fascio
o Serve QCal che da PCal C Cal
C i i
o Serve una sonda precisa per confrontare in un intervallo di o Ccal s i ricava
dall’evacuazione dl V Cal
oSi misura poi l’intensità
intervallo di sovrapposizione le misure assolute.
oSi misura poi l intensità sottraendo il fondo con la bandierina
o Ovviamente si deve calibrare ogni misuratore
l tili t
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
sul gas utilizzato.
Problemi “reali”: stabilità al %.
P nel volume di compressione a Q= costante?
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Soluzione pragmatica
• Condizionamento
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
Misure di Ccal prima e dopo
• CondizionamentoTutti ▲▼ Con
condizionamento
Senza
no
PCCLab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
PCC Regime viscoso
procedure
• VERIFICARE LE PRECEDENTI MISURE
• Condizionare tutto il sistema esposto ad H2
per almeno 3 ore.p
• Verifare la stabilità di PCV (meno del 5% in 1 h)h)
• Misurare Ccal 3 punti almeno 1.5 h per ogni cal p p gmisura, o utilizzare fit migliore.
• Misurare P ad una data Q stabilità (3• Misurare Pcv ad una data Qcal, stabilità (3 punti almeno).
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
• Calibrare IMR 265 verso MKS 0.02 Torr
Possibilità misure con QMA
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
continua
Sicurezza in Laboratorio
• Prima di tutto buon senso e lucidità• Manuale di sicurezza disponibile in • Manuale di sicurezza disponibile in
laboratorio• Per SpinLab:Per SpinLab:
Bombole ad alta pressione, controllo in caso di utilizzo He.
R i i i li t ti i li lli i i Rumori : vicino agli appartati ci sono livelli superiori a 80 dB, utilizzare cuffie o tappi
Solventi:» Isopropilico: non tossico» Etilico non tossicco» Acetone tossico per inalazione (utilizzare sotto cappae/o piccoli quantitativi e» Acidi, sotto cappa e con indumenti e guanti.
Movimentazione carroponte, solo autorizzati non stare
Lab di rivelatori LS Sistemi da vuoto e misure (C.G.)
psotto