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SU-8020電界放出型走査電子顕微鏡
使用方法
精密分析室
2014/11/20
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目次
2
終了
3 準備・始動 4 試料の準備 挿入
7 二次電子像の観察
6 電子線の発生
11 反射電子像の観察 10 STEM像の観察
11 画像の調整 12 非点収差補正 13 画像の保存
14 試料交換の方法 15 観察の終了
18 MENU階層1
16 装置の停止
17 フラッシングとメニューボタン変更
21 停電時および装置完全停止
22 停電復帰後および装置立ち上げ時
19 MENU階層2
23 試料室に空気を導入時の操作
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準備・始動
3 目次に戻る
1. DISPLAY SWをONにして 装置を立ち上げる
2. SU-8000をクリック
3. パスワードは無く リターンを押す
4. HV表示部をクリックしてHV設定 メニューを表示させる
5. フラッシングをするよう表示されたら、フラッシング 強度が2であることを確認して実行する
PC-SEMが起動
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試料の準備 挿入
4
1 試料を準備し必要に応じて金をコーティングする など導電化処理をする
2 試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう 調整して、ローレットがきってあるネジで固定する
目次に戻る
3 オペレーションパネル/ステージで試料サイズを 2inchesで試料の横幅を設定する 試料高さはStandardを選択
4 加速電圧がOFFであることを確認する 原点の左側の緑ランプを確認して、ステージ位置を確認する Zは8mmも確認
Standard
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5 目次に戻る
5 AIRを押し試料交換室が大気になるとブザー が鳴る
6 試料交換室を手前に引き、試料交換室 を押さえながら交換棒を押し出す UNLOCK にした交換棒の先端に試料ホル ダーをセットし、交換棒をLOCK にして試料ホルダーを セットする
7 交換室を押さえながら交換棒を引き、カチッと音がするまで引く
8 交換室を押し、EVACボタンを押して真空が 上がるとブザーが鳴る
9 OPENボタンを押して試料交換室のガラス 窓から覗き、ゆっくり交換棒を押してXc ランプがつくまで押し込んで試料をセット する
10 交換棒をUNLOCKにし、 交換棒がカチッと音が するまで引く
11 CLOSEボタンを押すと ブザー音が鳴る
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6 目次に戻る
電子線の発生
1.ステージで試料サイズ・高さを入力する
2.基本/電子光学系条件 プローブ電流 Norm EDSで感度が弱いときは Highにする WD 8.0mm 検出器 SE
3.加速電圧をON 通常は15kV
試料は時計方向に90°回転して観察される
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7 目次に戻る
二次電子像の観察
オート画像調整
スキャンスピード
スキャンの開始・停止 オートフォーカス
アパーチャーアライメント ダイレクトセーブ
クイックセーブ用ファイルに通し番号を付けてセーブ
キャプチャーボタン 右のアルファベットがスピード
フォーカス
Fine Coarse
明るさ
コントラスト
倍率
イメージシフト
非点補正・軸調整
低倍 高倍切り替え
オートブライトコントロール
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8 目次に戻る
反射電子像の観察
1.ハンドルを左回りにまわして検出器を挿入 するこの際Zは必ず7mm以上にする
2.ステージタブのBSEがオレンジになっていることを確認する
3.ステージタブの信号選択でPDBSEを選択する
4.詳細設定から検出器の設定をする
5.素子の組み合わせで3つの 構成が選べる
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9
7.終わったらハンドルを右回りにまわして 検出器をもどしておく
8.Zを8にして、 信号選択をSED2次電子にもどす
6.信号処理調整する
目次に戻る
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STEM像(明視野、暗視野)の観察
10 目次に戻る
1.試料をホルダーにセットして 通常の方法で試料室にセット する
2.加速電圧は20~30kVで使用する 信号選択はTEにする
明視野用 暗視野用
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画像の調整
11 目次に戻る
1.フォーカスを変化して像が動くときは アライメント(ビーム、アパーチャ)調整 を押してX、Yを調整して像の動きを止める
スティグマ 明るさ コントラスト
倍率 フォーカス
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非点収差補正
12
非点収差がない場合 フォーカスで均一にぼやける
非点収差がある場合 フォーカスで不均一にぼやける
アンダーフォーカス 最良点 オーバーフォーカス
ぼけの方向が違ってくる
AUTO(STIGM)自動で非点補正をする
STIGMA/ALIGNMENT X Y
注:非点補正をするときはフォーカス をあわせながら調整する
目次に戻る
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信号による特質
13 目次に戻る
信号電子 性質 場面
SE 信号量が多く、検出効率も高い
最表面で発生し高分解能
エッジコントラストが強い
電位コントラストが得られる
チャージアップの影響を受けやすい
チャージアップしない試料の一般観察
試料最表面の超高分解能形態観察に有利
LA-BSE
信号量は少ない
組成情報と形状情報が混在
内部情報が得られる
エッジコントラストが弱い
チャージアップの影響が小さい
チャージアップする試料の一般観察
組成情報の強調
エッジコントラストの低減
適用可能分野が比較的広い
HA-BSE 信号量は少ない
組成情報多く、形状情報は少ない
内部情報が得られる
エッジコントラストが弱い
チャージアップの影響が小さい
組成コントラストの強調
内部情報の観察
材料によっては、信号の発生率が極めて小
さい
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画像の保存
14 目次に戻る
1.スキャンスピードSlowで画像を確認し、キャプチャボタンを押して画像を撮影
2.画像リスト内の必要な画像を 選択(黄色の枠内)し、 保存ボタンを押す
クイックセーブのときは ファイル/クイックセーブ から保存場所と名前を指定すると同じ名前で番号を 自動でつけて保存してくれる
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試料交換の方法
15 目次に戻る
1.加速電圧をOFF
2.試料位置を原点に戻す
3.OPENボタンを押しブザー音がなる
4.交換棒をUNLOCKにして試料室内に止まる までの挿入する
5.交換棒をLOCKにして鏡体内を覗きながら 交換棒をストッパーがかかるまで引く
6.CLOSEボタンを押しブザー が鳴ったらAIRボタンを押して、 ブザーが鳴るまで待つ
7.交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す 交換棒をUNLOCK(時計回り)にして試料を外す
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観察の終了
16 目次に戻る
1.加速電圧をOFF
2.試料位置を原点に戻す
3.OPENボタンを押しブザー音がなる
4.交換棒をUNLOCKにして試料室内に止まる までの挿入する
5.交換棒をLOCKにして鏡体内を覗きながら 交換棒をストッパーがかかるまで引く 6.CLOSEボタンを押しブザー
が鳴ったらAIRボタンを押して、 ブザーが鳴るまで待つ
7.交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す 交換棒をUNLOCK(時計回り)にして試料を外す
8.交換棒をストッパーがかかるまで引き、交換室を鏡体に取り付けてEVACを押す
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装置の停止
17 目次に戻る
3.コンソール右のDISPLAYスイッチをOFFにする チラーの電源と連動しているので、忘れない ように
1.交換室パネルのEVACが点灯していることを 確認する 2.PC-SEMとWindowsを終了する
OFF
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18 目次に戻る
フラッシングとメニューボタンの変更
フラッシングをするときは ここをクリック
をクリックすると ボタンが変更 できる
2を確認
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19 目次に戻る
Menu階層1
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20
Menu階層2
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21
長いほどチャージしやすい
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停電時および装置完全停止時の操作
22 目次に戻る
1.日常停止操作を行う 2.排気系操作パネルの EVAC POWERスイッチをOFFにする 3.対物レンズ可動絞り加熱ヒーターの冷却を待ちおよそ35分後に停止する 排気系操作パネルの表示部にPOFFが表示されれば停止完了です 4.排気系操作パネルのイオンポンプの電源 スイッチ(IP 1—3)をOFFにする ディスプレイ背面の電源ブレーカー部で、 IP,EVAC,DISPLAY,OUTER BAKE の各ブレーカーをOFFにした後、 MAINブレーカーをOFFにする 5.配電盤のブレーカーを OFFにする
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停電復帰後および装置立ち上げ時
23 目次に戻る
1.配電盤の電源ブレーカーを投入する。 冷却水を流し(本体背面の流量 メーターが1.0~1.5L/minであることを確認 2.ディスプレイ背面の電源ブレーカーの MAINブレーカーをONにする
停電で停止した場合、ブレーカーがOFFに なっていない場合はいったんすべての ブレーカーをOFFにしてから電源を投入して下さい
3.IP,EVAC,DISPLAYの各ブレーカーをONにする。(OUTER BAKEは通常はOFF) 4.排気系操作パネルのSTAGE POWER,EVAC POWER,イオンポンプ電源SW(IP 1---3) をONにするリセットSWのランプが点灯しないときはリセットSWを押す
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試料室に空気を導入時の操作
24 目次に戻る
1.電子銃高圧をOFFにする 2.対物レンズ可動絞りの加熱を OFFにして30分まつ 3.SC AIRスイッチを3秒間押す。スイッチのランプが点滅状態になり、 空気導入シーケンスがスタートする。 試料室の排気 4.排気系操作パネルのSC EVACを押す、スイッチが点滅を始め 試料室排気シーケンスがスタートする。30分程度で排気完了 するが、高圧印可まで1時間以上まつ。 5.SC EVCスイッチが点灯してから30分経過後、対物レンズ可動絞り 加熱スイッチをDEGASにして加熱を始める。 約1時間後AUTOにする