the role of point defects in ion beam induced crystallization of silicon investigated by molecular...

6
The role of point defects in ion beam induced crystallization of silicon investigated by molecular dynamics simulations B. Weber * , K. G artner Institut f ur Festk orperphysik, Friedrich-Schiller-Universit at, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena, Germany Abstract The experimental data and the phenomenological models of ion beam induced epitaxial crystallization IBIEC) do not yet give unambiguous information about the role of point defects in IBIEC. In this work the in¯uence of vacancies and interstitials present at the amorphous/crystalline a/c) interface is investigated by classical molecular dynamics MD) simulations using the Stillinger±Weber SW) potential. The results show that vacancies near the interface always migrate to the interface and cause crystallization while in the case of interstitials the situation is more complex. The results are discussed with respect to the experimental data and the assumptions made in the dierent phenomenological models. Ó 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PACS: 68.55.Ln; 61.80.Az; 68.35.Rh; 68.35.Ct Keywords: MD simulation; Crystallization; Point defects; a/c interface 1. Introduction Although ion beam induced epitaxial crystalli- zation IBIEC) and ion beam induced interfacial amorphization IBIIA) on planar amorphous/ crystalline a/c) interfaces have been investigated since 20 years by now, the nature of the micro- scopic processes, especially, the kind and the role of defects responsible for crystallization and amorphization are not yet fully understood. Most of the experimental results are reviewed in [1]. Special experiments are carried out to get infor- mation as to whether defects created directly at the a/c interface or on the amorphous side and/or on the crystalline side of the interface contribute to crystallization [2±5]. The results are somewhat controversial and no unambiguous answer can be given up to now. In order to understand the mi- croscopic processes responsible for IBIEC and IBIIA several phenomenological models have been developed and molecular dynamics MD) simula- tions have been performed. The dierent phenomenological models are based on the assumptions that IBIEC and IBIIA are controlled by the reaction of defects at the in- terface [5,6], by the diusion of defects to the in- terface [4,7±9], by diusion and reaction of defects [10] and by a combination of ballistic processes and action of defects at the interface [11]. With respect Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 175±177 2001) 119±124 www.elsevier.nl/locate/nimb * Corresponding author. Tel.: +49-3641-947316; fax: +49- 3641-947302. E-mail address: [email protected] B. Weber). 0168-583X/01/$ - see front matter Ó 2001 Elsevier Science B.V. All rights reserved. PII: S 0 1 6 8 - 5 8 3 X 0 0 ) 0 0 5 7 8 - 4

Upload: b-weber

Post on 16-Sep-2016

215 views

Category:

Documents


1 download

TRANSCRIPT

Page 1: The role of point defects in ion beam induced crystallization of silicon investigated by molecular dynamics simulations

��� ���� �� ��� ���� �� � ���� �� �� ����������� ���� � ��������� �� ���� ���� ���� � ��������

�� ����� �� �� �������

�������� ���� ��������� ����� ������ ��� ����������������� ������������� �� ��� ! "��� #�$���

��������

��� ���������� ���� �� ��� ���������� �� ������ �� � ���� �� �� ������� ����������� � � !"# ��

�� ��� ��� ��������� ������� ����� ��� ���� �� ��� ���� �� � !"� ��� $��% ��� &�� � �� �� � ��

�� ��������� ������ �� ��� ���������' �������� ��' # ����� � � ��������� �� ���� �� ���� ���� ���� �

�()# �������� ��� ��� *������+����� �*�# �������� ��� ������� ���$ ���� �� � �� ��� ��� ����� � ��$���

������ �� ��� ����� � �� ���� ����������� $��� ��� ��� �� ��������� ��� ������ � ���� ������� ���

������� ��� �� ����� $�� ����� � �� ��� ���������� ���� �� ��� ��������� ���� ��� �,���� ���������� ��

������� � -../ !������ * � � ��0� 1�� ����� ���������

�%&�' 23�44�56 2/�3.�1�6 23�74�8�6 23�74�"�

(�)*���' () �������6 "�����������6 9�� ���� ��6 �' ����� �

� ���� ������

1������� � ���� �� �� ������� �������:���� � � !"# �� � ���� �� �� ����� ������������ � � 1# � ����� ���������' �������� ��' # ����� �� ���� ��� ���������� � -. ����� �� �$� ��� ����� �� ��� � ��:� �� ��� ������ ���� ����� ��� %� �� ��� ������ ���� �� ��������� ��� ����������� ������������ ��� �� ��� ����� ���������� (����� ��� ���������� ������� ��� ����$�� ;/<�*�� �� ��������� ��� ����� ��� �� ��� ���:

���� �� �� $������ ���� �� ������ ��� ��� �� ����' ����� � �� � ��� ��������� ��� ��'�� ���� �������� ��� �� ��� ����� � ������� �� ����������� ;-+4<� ��� ������� ��� ����$��� ���������� �� � ��������� ��$�� � ����� �� �� �$� ����� �� �������� ��� �: ��� �� ��� ����� ��������� ��� � !" �� � 1 ������� ���������� �� ������ ���� ������������ �� ���� ���� ���� � �()# �����:��� ���� ��� ����������

��� �,���� ���������� �� ������ �������� � ��� ��������� ���� � !" �� � 1��� �������� �� ��� ��� �� �� ���� �� �� ��� :����� � ;4�2<� �� ��� �,��� �� ���� �� �� ��� :����� � ;=�>+?<� �� �,��� �� ��� �� �� ���� ��;/.< �� �� � ������ �� ������ ��� ����� ��� �� �� ���� �� �� ��� ����� � ;//<� ��� ����� �

@� ���� �������� �� (������ 9��� � 8����� � � />4+/>> �-../# //?+/-=

$$$����������'�� ���'��

�"��������� ������� ����A B=?:72=/:?=>7/26 ���A B=?:

72=/:?=>7.-�

+�$��� ������' ��$C����:D����� ��� �����#�

./23:437E'./'F : ��� ���� ������ � -../ !������ * � � ��0� 1�� ����� ���������

9 A * . / 2 3 : 4 3 7 E � . . # . . 4 > 3 : =

Page 2: The role of point defects in ion beam induced crystallization of silicon investigated by molecular dynamics simulations

�� ��� ���� �� ��� ���� �� ����� ������ �,�� ���:��������� ��� G� %�� ����� ;2< �� ��� �,��:�� �,��� ������ ;=�>+?< ��� ���� �� �� �������� � ������ � � ��� ������� �� ���:�������� �� ���� ���� ���� �� ��������:��� $��� + ������� �� ��� + ��� �� ��� ;//<������� ���� ��� ���� �� ��� ��� ����������������� ��� ���� H��� �,���� %�� �� ���� �� ���:������ �� �� ��������� ��� ��� ����� �������1 ���� �� ��� �,���� ������� ��� ���������:�� � ������� �� �� ����� �� ��� ������ ������� ���� ;2< �� %%� ;4< �� �� � �� ;>�3< ���:�� � �� ;=< �� ��������� ;/.< �� ��� ����� ��� ��� ���������� � ������� �� �� ����� ���� � �� ;/.< �� ���I�� ���� �� ;?<� ������ �������� �� ����������� �� ������������� ��%� �� � ��� ��� ��� ����� �� ����� ��� ;//< �� �������� ��� ������ �� G� %�� ;2<�� 9���� ;4<� ���� �� ����� �,��� �� ��� ��������� I� � ���� �� ��� ���������� ����� �����:����� ���� ��� ��� ��I�� ������� �������� � ��� �� ��� ������

1����� ��� ����� �� ��� �' ����� � ������� ��������� �� ���� �� () ��������� � ���� �� ���$ ���� ���� ��$ ����� �� ���������� ��� ��� ����� � ���� �����������;/-�/7< �� ���� ���������� �� ��� ����� � � � ���� ��� �,� � �� ������������ ������� �� ���$� � ��H���� � ��J ���� ��� �� �� ����� ���� ���� �� �������� ��� ���� ���� �� ��� �:*'�. . /#* ����� � � $�� ���� ;/=< ���� �$� :����� � �I������� �� ��� ��� ���� � ��� ��������� ���� �� �� ��� ����� � $� � ����� �������� �� ������� $�� I��: �� ����:���:����� ���� ��� ����� �� ����� ���� �� �� �������� � $� � ��� �� �� �� ��������� ;/=< ���� ��$ ����� �� ��� ;/7�/4< � � ��� ��� ��� �� ������������ ��� ��� %%:����� �� ������:����� ;4< ��� ����� � �� � ��� ���� � �� �������� � � �H������ $�� ��� ����� � �� � ����� %%� ;/ / .< ������ �� K/ / /L ����� ��� �������� �� � ��� ���� � ������� � ��� ��%%� �� ������������ � ��� �� �$ %%� ��������� � ;/ / .< ����� ������ ���� �� ���������� ��� $� � ����� ����������� ������� �$ ����� ;/=<�

��� �� �� ��� ����� � �� �������� ��� ������ �� � �� �� ��������� ������ �� ��� �:*'

�. . /#* ����� � $� � ��� �� �������� ��������� � ������� �� ���� ������� �� ��� :����� ��

� �� �����������

��� �������� $��� ��� ��� � �������() ���� ��� ���� �� �� ��� * ����� � ��:� ���� �� ��� *������+����� �*�# ������� ������� ;/2<� ��� ������� �� ��� �H����� ������ � ��������� ��� ��� ���� �� ���� �� ���0����� �������� $�� � ��� ���� �� / ��� ��� �:*'�. . /#* ������ ���� ��� � ��� �� 3 � 3 � /. �� ���� �4/-. �����# $�� ����� ������� ��:��� ��� � �� � ��� ��� �� � ���� ����� ��� �$� I��� ������ ����� ��� � ��� ��� �� �������� �� ����� �� ���� �� ��� ��������� �� ��� �������� () ���� ��� ������������ ����� � ��� ���� ����� ;/7<� ��� :��������� �� ��� &�� � �� ��� ��� ���� �� ���� ����������� �� ��� ����� � $��� ��� �� ������������ �� >.. � �� ����� � �� � ����� ���� �� $�� � ���� � �� ����� ���� ���� ������ ���� ��� ������� ����� � ���� ���� �������� � � �� �I�� �� � ���� ���� �����;/4<#� 0� � �� $��� ����� �� �� ��� ������������ �� �� ��� �������� ��� �� ��� ����� � �������� ������� �� ������ ��������� � ��� �������� ��� �� ��� ����� � $��� ����� ������� � ����� $�� ���� ���� �� � ������� ���� ��������� ����� ��� ������� $��� ������������ -�4 � �� %��� �� >.. � �� ���� �� � ������� ����� �� �������� ����� � ���������� ������� $�� ��� ����� �� ������������� ������ �� ����� ��� ������ $���������� � �� � �� �� ���������� ��� �����:���� �� ��� ����� �� �������� ����� $����� ����� �� ��� ��� ����� ��� �� �������� ��� ;/><� 1 ���� � ������� �� �� � ������:�� �� � � � �������� �������� �� ��� ����� ��� ���� �� ��� ������� �� �� ��� ��� :��� ���� ��� ���� ��� ��� ��� �� ��� ���� ����� ������� � ������ ��� 7�?7� 1����:����� � �������� ���� ���� ���� �� ����������� ������ �� ������ �����$�� � � ��������� � ��������� ���

/-. ,- �.�� (- #������ / 0���- �����- ��� �� - �� � ��- 1�- , ��23��� 45���6 ��73�5

Page 3: The role of point defects in ion beam induced crystallization of silicon investigated by molecular dynamics simulations

� �������

��� ���� ���������� �� � �� ����� ���� ��� �������� �� �� ��� ��������� ��� �� �������� � ������ �� ��� ����� � �� ���� ���:��������� "���� ����� �������� ��� ���$ M�� / $���� ��� ����� �� �������� ����� �

������ ��� ����� ��� �� � ��� ���� ��� ����:����� � ������ ����������� �� >.. � $���������� � �� � �� � ��� �� ��� ������ ����� ���� �� ��� ����� ������ �� &� ������ ��� ��������� ���� I� � ����� �� ��� ��������� @��� ���� ��� I���� ���$� ��� � ���� �� ������ � ���� 1 ���� �� ��� ���� I� ��� ������:����� ���� � 2�3 ���������� ����� ��� �� ���&�� � �� �� � �� ����� �� ��� ��� ���:�� � � ���$ �� ��� �������� ��� � �� � �����:��� ��� ������� �� �$� �������� ������ ������� � � ��� �� �� �� � �� �� ���/ �� � ���-#�� ��� �������� ��� �� ��� ����� � �� �� � 7 ��� ��� B �� � �������� �� �$� �������� ���� � �� ����/ �� ���-# ����� �� �� ������������ ��� �� ��� ����� � �� �� � 7 � ���� � = �� ����� ������ ��� ���� �� ����� ���� �� � �� �� ��� �������� ���� � � �� ������

�� ��� ���� �� ���� ��� ����� ����������� �� �� ��� ��� ����� �� ��������� �� ��� ����� ����� N�$����� ��� ������� ��:���� ����� ��� ������ �� ��� �� � �� �� ��� :����� �� !� ��� ��� �,� �� ��� &�� � �� ����� � �� � ������������ �H��� ��� ���� �����1� � �� ��� M�� /� � ������ ������ �$��� ���� �� ����� 2. ���������� ����� ��� �# $������� / � �� �����$���� � ������ $�� � ��$������ ����� �� ���� ��� ��� ������� ������������ ����# �� $�� ����� &� ���������� ��� ������ �� &� ������ ��� ������������ �� � � ����� =- ����� ���� ��� ������������ ����� ��# $� � ���� ���� / �� � � ����� ��� ����������� �� > ����� � � ��������M�� - ���$� � ������� �� ��� ����� ���� ������ ���� �� � ���� �� ��� ����� � �� � �������� ��� � �� �� �� �� � � �� ��� �������� ����� ��� ����� �� M��� -��# �� � # ���$ ��� �. / .#�� ��� �..�/# ��$�� ����� ������ �� � �� �� ����� ����� � ������ ����� � � �� � �� ���$��� � ��� �������� ��� �������� ����� ����� ������� ���� � ��� �������� ��� ��������������� ��� ���� $� � $�� �� ������� � ���%�� M��� -��# �� � # �� ��� ���� � �� $�� ��� %������� M��� -��# �� ��# ���$ ��� ���� �� �� ����� ����� � ����� ����� � ��� �� � � ������� ��� -�4 �� ��� ��� % ����� ���% ������� �� ��� �� � �� 1� � �� ��� � ����� ������� �,���� ;/ / /< ��� ��� ���� ������������ ����� �����#� "������ M�� -��#$�� M�� -��# ��� ����� ��� ����� �� ��� �������� ����� �� ��� �� � � ������ �� �������� �� ��� ����� � � ������ ������ ��� ������� �� M�� -� # $�� M�� -��# ���� ���:������ ���� ������� ����� ��� �� ���� �� ������������ ;/7�/=< � $�� ���$ ���� ����:��� �� � ���� �� �� ����������� ��� ������ ����� �� �$� ��� �� ����� � �I����:��� �� ��� ��� ���� � $� � ���$ ����� ��I��: �� ����:�������� ��� ��� �..�/# ��$� M�� -� # �$� �� � ���� ����� ��� �� �� � ���#��� ������ $� � ��� ���%�� �� ���� ����� ����� � � ������ ��� ����� I��:�������� �� ����� ��$�� ����� � ���� ���� �� ��� ��� ���� ��� ����� �� ����� �� ��� �����$� ��� ����������� �� �������� ��������� ������� ���� �� ��� ����� ���� � ���� ����� ��� ����:

M�� /� @����� �� �������� ����� � ������ ��� �����

��� �� ��� ������� ����� �� >.. � $����� ������� ��:

�� �� ������� ��#� $�� �� � �� ����� �� �� ��� ��������

��� �� ��� ����� � �B� �# �� $�� �� � �� ����� �� �� ���

��������� ��� �� ��� ����� � ��� �� �� �,���� �����

����� M�� ��� ������ �� ���� �� ��� �����

,- �.�� (- #������ / 0���- �����- ��� �� - �� � ��- 1�- , ��23��� 45���6 ��73�5 /-/

Page 4: The role of point defects in ion beam induced crystallization of silicon investigated by molecular dynamics simulations

������ ���� ��� �� ��� ����� � ���� ����� ����� ��� ���� � ���� ����� ;/=< � ����� M�� -��# $���� �$ ����� ��� ������������� ����� ��� ����� ����%�� �� ��� ��������# $� � ����� �� ����� ���� ����� �� ��� �$����� ��

��� ������� ��� �������� ����� ����� �� ����� �������� ��� �� ��� ����� � �,�� ���� ���������� �� ����� � �� � ��� ����� � ������� �� � ������ ������� �� ��� ���:������ �� ��� ������������ )��� ��� ��� ������� � ���� �� ��� ��������� ������ �� �������� � �� �� � �� ��� (����� ����� ��������� ���� ������������ ��$����� � �$� ��� ����# ������ ������ � �� ��$ ���� �� ��� ��� ����� �� /.�1# ���� ������ ���������� �� � ����� ��

�,� � $�� ��� ��� �������� ��� ����� ���� ����� ��������� ���� �//.�:���� ��������� $� ������� ������ ��� ��� ������� �� ������ � �������� ����� ��� ��� ����� �� 1��������� ��� ����� �� �������� ����� ����������� ��� ��� ����� �,���� ���� �� �����:���� �� ���/� � ���-� � ���7# ����� �� �� �� � 7 � ���� � = �� ����� ������ ��� ��� ��� M�� 7� M�� ������� ��� ������� ��� ������� ����� �������� �� M�� /� ��� ��� �� ����� �� � � ����� ��� ����� �� ���� � ����� ����� �� ��� :����� �� �� ��� ��������� � ��������� ���:���� ��� ���� � ���/ �� � ���-� I�� ��������������� �� ��� ����� � �� �� �������� ��:��� �� � �//.�:���� ��������� ��� ������ � � ����� �� � �� ����� 74 ����� ��#� ��%� ��

M�� -� �. / .# ��$� ��� �# �� �..�/# ��$� � � �# �� � �� �� �� ��� �:*'�. . /#* ����� � ������ ��� # �� -�4 � ����� ��� �# ����� �

� �� � � �� ��� �������� ��� �� ��� ����� �� ��� $��� � ��� �������� ��� �������� ����� �� ��� ���� ����� �������� ���

��������� ������ ��� ���� $� � � ������� �� ���� ��� �� � � � ���%�� ��# �� � # �� ��� ���� � �� $�� ��� �� % ��� %

������� ��� ��� % ���� ���% ��� ���� �� ��� �� � �� ��� ���� ���� ���% ��� �� ���� � ���� ����� �� ��� ����� � � # �� ����

���� ��#�

/-- ,- �.�� (- #������ / 0���- �����- ��� �� - �� � ��- 1�- , ��23��� 45���6 ��73�5

Page 5: The role of point defects in ion beam induced crystallization of silicon investigated by molecular dynamics simulations

� ��� ���� �� ���� �������� ����� /= �: �������� ������ ��� ���� ���� �� ��������������� ����� ����� /. ����� �� �� ��� ��������� ��� ��� �� � ���7� 7 ��������� �:����� �� ��� ����� � �� 7 ��������� ���� ���//.�:����� $� � ������� ������������ � ��:����� �,� �� 1� ��� ��� �� �� � �� ��� ����������� ��� ���� � � ���� �������� :���� �� $�� � ����� � ���� � ���� ���� �������� � �� ��� ����� �# �� ����� �� �������

� ����������

��� ������� ���$ ���� ��� �� � �� ����� ���� ���� ���� �� ��� ����� � ���� ��$���� �������� �� ������ ����� �� ���� ���������:��� ���� ���� ����� � � ���� ��� � ��$������� ����� �� M����������� � � ���$ ���� ��������� �� �� �� � � �� ��� ����� � ���:������� ����� ���� ����� � ������� ��������� ��� �� � $������ ��� �� � � ��� ��� ���:�� �� �� ��� �������� �� �� ��� ��������� ����� ��� ����� �� ��� ������ $�� ��� ����������������� �� 5��� �� ��� ;-<� *���� �� ��� ;7< ��N���� �� ��� ;=<� $� � ���$ ���� ��� ���� �� ��:

���� ���� ��� �$� ���� �� ��� ����� � ������������������ ��� ���� ������� �� ��� ���:�������� �� � � ������ �� ��� �������� ������ �� ��� ;/.< ���� �� � �� �� ��� �' ����� ���� ����� � ����������� ��� �� � ���� �������� �� ���������� ����� ��� �� � � � ��:I ���� ������ ��� ��� ���� �� ������� ��� �� � �� ��� ��������� ��������� ���G� %�� ����� ;2<� $���� �� ���� � � ������� �� ��������� .�.= ������ �� ���� �� � �� $����������� �������� ���� � ������� �������� ������ ��� ��������� �� �������� ������ ��� ���� ��� ��� �,��� �� �� � �� ��:$���� ��� ����� � �� ���� ������ �� �������� � ����� �� �� � ��������� ��� ��� �� ����� �� �� ������������ ������� ���������� ��� �������� ��� ��� ��� ����� � ��� ���������� �� ��� ����� � �� ���� ������������$��� �������� ��������� �$�� � ��:�� ��/. �1# ��� ������� �� ����������� 1����� ������ $�� ������ �� ��%��� �� ��� ;/3<$�� ��������� ��� ���������� �� �� � ����� ��� ������� �� �������� ���� ������� ����������� ����� ����������� ��� ������������ ����:��������� ��� �� ���� ��� ���:������� ��� ������ ���� ��������� ������� ������ ����������� �� ���������� ���� ������� $�� ��� �������� �� ���� �� ��� ;/.< ������� ��������� ��� ��������� ��� ��� ��� ���:��������� ��� ��� �� ���� ��� ��� �������:���� ����� �� �� � �� �� ��������� ������� �� �� ��� ���� �� ���� ���� ��� ��� ���:�������� ��� �� ������ �,� �� ;/7�/4< �� ������������ ;/=�/4<� � � ��� �� ��� ����� ����� ����� � �I������� �� ��� ��� ���� �$� � � ��� ���� ���� ����� ;/4�/?<�

����� ������� ���$ ���� �� � �� �� �����:���� ������ �� ��� �:*'�/ . .#* ����� � �� ������������ �� >.. � ���� ���� �������������� ��� ��� �� ��������� �������� ���� ����:������� ��� � !" �� � 1 ��� �� � ���� ��������� ��� �������� �� ��� � �����:��� N�$����� �� ���$ �� ������� ������;/-�/7�/4�-.<� ���� ��� � ������ ��� ����� ������� � ������� ������ ����������� ������������� ��� ���� �� ��� ������������ ��� ���� �� �� ��� ������ ��� ����� � �������� H����� �� �� ��� %�$� �� ���:

M�� 7� @����� �� �������� ����� � ������ ��� �����

��� �� ��� ������� ����� �� >.. � $����� ������� ��:

�� �� ������� ��# �� $�� ��������� ����� �� �� ��� ���:

����� ��� �� ��� ����� � �B� �� �# �� �,���� ����� �����

M�� ��� ������ �� ���� ��� ��� �����

,- �.�� (- #������ / 0���- �����- ��� �� - �� � ��- 1�- , ��23��� 45���6 ��73�5 /-7

Page 6: The role of point defects in ion beam induced crystallization of silicon investigated by molecular dynamics simulations

����� $�� ��� ��� ��������� �� ������ ������������� �� �������

�������� �������

�� � %�$����� ��� ������� �� ��� )���� ��M��� ��������� ����� ���� � �� =4?'4:/�7�

����������

;/< M� 9����� !� 8�� (����� * � 8��� 4 �/??.# 7/?�

;-< �� 5���� 9��� (���� (�0� 1����� 9���� 8��� � 72 �/?3>#

3.73�

;7< @�9� *����� ��1� �� ���� 0�9� 9����� *� � 8������

9���� *���� *��� 1 /=/ �/??=# 7.4�

;=< 0� N����� �� N�%��� 8� �������� �� *%������ 9���� 8��� �

4- �/??4# /4>>2�

;4< M� 9����� "� *������ !� 8�� 9���� 8��� � =/ �/??.#

4-74�

;2< ��1� G� %��� G� (����� 8��� 7 �/?33# /-/3�

;>< �� 5���� M� (���� (�0� 1����� (����� 8��� *� � *����

9�� � /.. �/?33# 7>4�

;3< 0� N����� 9���� *���� *��� 1 //= �/?3?# 4??�

;?< �� N�%��� 0� N����� 8� �������� �� *%������ (� *���� G�

1���� 9���� 3- �/??># 472.�

;/.< 1� � ����� *�O� �� ������ @� �� ���� �� (���� � /23

�-...# 7>4�

;//< P�5� ���� @� ���� @� (������� Q��� P���� @� ��

���� �� (���� � /.. �/??4# =?7�

;/-< (�G� "������� �� )�� �� �� 8���� ��N� ������ G� 1����

9���� >> �/??2# 7/-/�

;/7< �� ������ �� �������� )�(� *�� %� @� �� ���� �� (����

� /->'/-3 �/??># -7?�

;/=< �� ������ )�(� *�� %� �� �������� (����� * � !�� � >/

�-...# -/7�

;/4< �� ������ )�(� *�� %� �� �������� @� �� ���� �� (����

� /=3 �/???# 7>4�

;/2< M�N� *������� ��1� ������ 9���� 8��� � 7/ �/?34# 4-2-�

;/>< @� ������� (�G� 1��� !� ������� 9���� 8��� � 2/

�-...# 22?2�

;/3< *� ��%���� G� R�����%� R� ������ 9��� � � ->7+->=

�/???# =>2�

;/?< )�(� *�� %� �� ������ �� �������� 9���� 8��� � 2/ �-...#

3/4.�

;-.< �� �������� �� ������ @� �� ���� �� (���� � /3. �-../#

������

/-= ,- �.�� (- #������ / 0���- �����- ��� �� - �� � ��- 1�- , ��23��� 45���6 ��73�5