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表面粗さ・輪郭形状測定機

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表面粗さ・輪郭形状測定機シリーズ一覧　〉〉〉

LCDガラス基板うねり測定機・PDP形状測定機粗さ・形状測定機用横送り装置

サーフコム1400D-LCD●測定範囲は様々なユーザーニーズに対応

●広い範囲のうねり等の測定が可能

サーフコム1400D-PDP●PDPの専用測定機

●X軸の駆動部が電動で移動

粗さ・形状測定機用横送り装置●重量物、長尺物の測定に最適

●測定台には、はんれい岩を採用

サーフコム 2800E●パソコン対応による優れた操作性

●先進統合ソフトTIMSを搭載

サーフコム 480A●広視野で鮮明なカラー液晶タッチパネル採用、スムーズな操作性を実現

●オペレータにやさしいガイダンス機能、カスタマイズ機能等を搭載した現場向け測定機

ハンディサーフ E-35A●ISO、JIS、ASME、CNOMOなど各国規格を標準装備し、7カ国語に対応。世界中どこにでも通用するワールドワイド対応機

●AI機能でイージーオペレーティングを実現

サーフコム 130A

●スムーズな操作性の液晶タッチパネル搭載

●初心者に操作手順を表示するガイダンス機能を装備

サーフコム 1400D●優れたGUIでイージーオペレーティングを実現

●解析結果の編集が自在

表面粗さ形状表面粗さ・輪郭形状

サーフコム 3000A●表面粗さと輪郭形状

を同時に測定

●分解能0.005μm 測定範囲12mmを実現

サーフコム 1800D●先進統合ソフトTIMSを搭載

●パソコン対応による優れた操作性

サーフコム 1500DX●リニアモータ駆動部を採用

●高速・低振動粗さ測定を実現


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CEマーキングとは、EC統合により欧州域内で、EU指令で規定されている安全性などの要求事項にすべて適合した製品に貼付が義務付けられたマークです。

サーフコムシリーズは、JIS B 0601：2001（ISO4287：1997）規格に対応しています。

三次元表面粗さ形状

サーフコム 3000A-3DF●高性能三次元表面粗さ・

輪郭形状統合測定機

コンターレコード 1600D●先進統合ソフトTIMSを搭載

●複数形状の兼ね合わせ解析機能

コンターレコード 600D●円弧歪補正機能を装備

●上向き／下向き測定可能

●重ね書き評価可能

サーフコム 2800E-3DF1800D-3DF

●三次元表面粗さ・輪郭形状

複合測定機

サーフコム 1400D-3DF●高機能三次元表面粗さ測定機

輪郭形状

プロファイルスキャナー

ナノプロファイルスキャナー

非接触二次元輪郭形状測定機

プロファイルスキャナーPS100

非接触三次元輪郭形状測定機

プロファイルスキャナー PS200●非接触で輪郭形状を測定

●高速・広範囲測定を実現

コンターレコード 2600E●高精度に寸法及び形状を解析

●ティーチング・プレイバック機能内蔵

コンターレコード 1700DX●リニアモータ駆動部を採用

●オペレータにやさしい優れた機能

ナノプロファイルスキャナーNPS2100A●ナノメートルオーダの微細形状を評価

●独自の自己検知型カンチレバーを採用

●除振装置を標準装備

●高速測定を実現


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表面粗さ・輪郭形状測定機　〉〉〉

No.1の高性能高精度、分解能0.005μm、ダイナミックレンジと分解能比

2,400,000 ：1、そして高度な自動化対応。

サーフコム3000Aはこれまでにない高性能を誇る、表面粗さ輪郭形状

統合測定機です。

1回の測定で粗さと輪郭を解析フレキシブルで拡張性に富んだ

東京精密統合測定システム「TIMS 」を搭載。

ワントレースで表面粗さと輪郭形状を解析でき

極めて効率的です。

測定が簡単AI 機能、トレース表示機能、リピート機能、計算範囲自動拡大機能等

さまざまな測定アシスト機能を装備。

初心者でも簡単に操作できます。

粗さと輪郭の高精度統合測定を実現

サーフコム3000A-STD

サーフコム 3000A-DX

※プリンタはオプションです。

東京精密の要素技術の一つである光ファイバによるレーザ干渉測長システムを応用し、分解能0.005μmの高安定倍光路型レーザ干渉センサを開発搭載しました。ダイナミックレンジと分解能比は2,400,000：1もあり、広い範囲の輪郭形状とその形状に隠れている微細な表面形状をワントレースで評価できる画期的なものです。

高安定倍光路型レーザ干渉センサ（特許）

横方向200mm、縦方向12mmの広い測定範囲。45°傾斜可能な電動傾斜装置を装備。ティーチング・プレイバック機能により測定から印刷までの自動化対応が可能です。

広範囲・自動測定

形状の解析範囲を指定するだけで直線・円等の要素を自動判別できます。「測定をより簡単に」という東京精密の提案です。

AI 機能


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仕様

SURFCOM 3000A型式

測定範囲

精度

真直度精度

センシング方式

処理機能

速度

駆動部

センサ部

諸元

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）

Z軸指示精度（縦方向）

測定分解能

X軸指示精度（横方向）

サンプリング間隔

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）

パラメータ/演算処理

評価曲線

表面特性グラフ

傾斜補正/基準設定

コラム上下速度（Z軸）

測定速度（X軸）

傾斜装置

測定子

測定力

触針半径

触針材質

電源

消費電力

設置寸法

質量

12mm/50mm アーム、24mm/100mm アーム

200mm

±（0.3＋2H/100）μm （H：測定高さmm）

5nm/50mm アーム、10nm/100mm アーム

±（0.5＋L/200）μm （L：測定長さmm）

0.05 ～20 μm

（0.05＋1.5L/1000）μm

高安定倍光路型レーザ干渉計

光回折スケール

3.10mm/s

0.02～1mm/s（移動速度：0.02 ～20mm/s）

±45°電動/手動

交換式

0.7mN/16mN以下

2 μmR60°円錐/50mmアーム /500μmR/100mmアーム

ダイヤモンド / ルビー

単相AC100V±10%、50/60Hz

450VA

2100（W）×900（D）×1650（H）mm

350 kg

表面粗さ評価

JIS-2001 、 JIS-1994 、 JIS-1982 、

ISO-1997 、 ISO-1984 、DIN-1990 、

ASME-1995 、 CNOMO に準拠

Ra 、 Rq 、 Ry 、 Rp 、 Rv 、 Rc 、 Rz 、 Rmax 、 Rt 、

Rz.J 、 R3z 、 Sm 、S 、 RΔa 、 RΔq 、 Rλa 、

Rλq 、 TILT A 、 Ir 、 Pc 、 Rsk 、Rku 、 Rk 、

Rpk 、 Rvk 、 Mr1 、 Mr2 、 VO 、 K 、 tp 、 Rmr 、

Rmr2 、Rδc 、 AVH 、 Hmax 、 Hmin 、 AREA

NCRX 、 R 、 Rx 、 AR 、 NR 、 CPM 、 SR 、 SAR

断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、ろ波中心線うねり曲線、

転がり円うねり曲線、転がり円中心線うねり曲線、DIN4776 特殊曲線

粗さモチーフ曲線、うねりモチーフ曲線、包絡うねり曲線

負荷曲線、パワーグラフ、振幅分布曲線

直線補正、R面補正、前半補正、後半補正、両端補正、

スプライン曲線補正（直線、R面、両端補正は任意範囲にて可能）

輪郭形状評価

点、直線、円、部分円、楕円、最大点・最小点、距離、座標差、

極座標差、直交/極座標差表示、交差要素（点－直線、直線－直線、

円－直線、円－円、直線－楕円）、対称要素（点－点、点－円、

点－楕円、直線－直線、円－円、円－楕円、楕円－楕円）、面積計算、

オーバーピン計算、寸法線表示機能、計算結果設計値照合、

ミラー反転、形状合成機能、マクロ機能、自動要素判定、計算点の

リピート機能、ワークトレース機能、ピークアンドバレー機能、

自動操作ログ・プレイバック機能、形状設計値照合、ベストフィット、

設計値作成、IGES/DXF 変換

ー

ー

原点設定、X軸設定、平行移動、回転移動

測定解析印刷測定長さを設定するだけ

マニュアルトレースを行なった後カーソルで測定範囲を指示するトレース入力方式は、微細形状で正確に位置決めしたいときに有効です。「測定をより簡単に」というお客様への東京精密からの回答の一つです。また、従来通り測定開始点から測定距離を設定し測定する方法もあります。

寸法線表示測定結果図の中に径・角度・ピッチ等の実測値を寸法線記入ができます。また、真円度・真直度等の幾何偏差や表面粗さも同時に表示することができます。計算結果設計値照合機能公差照合によりOK/NG の判断が一目瞭然です。オペレータが合否判定する必要はありません。外部出力機能測定結果をCSV ファイルとして出力できます。このCSVファイルをそのまま市販の表計算ソフトに読み込み可能です。

形状評価ベストフィット機能　　　　比較する設計値と測定値の基準設定の違いによる誤差を最小にするため、設計値と測定値の誤差が最小になるような座標系を求め、形状データの各ポイント毎の誤差照合を行ないます。

印刷表面粗さ、輪郭形状それぞれで解析した結果を一枚の検査成績書として出力します。

トレース表示

ベストフィット前

測定結果

ベストフィット後


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サーフコム3000A-3DF-DX

並列処理で作業効率を大幅向上●測定中でも解析・プリントアウト作業を同時に実行できるため、待ち時

間がなく効率よく作業を進めることができます。経済性に大変優れてい

ます。

三次元形状を詳細に解析●ワークステーションの採用により、1回の走査あたり最大32,000点

（X）、走査ライン数最大2,000ライン（Y）というデータを高速処理し

ます。この豊富なサンプリングデータによって微細な表面形状が正確に

評価できます。

豊富な三次元解析ソフトを装備●二次元粗さでは評価が難しい鋼板・塗装・フィルム・ガラスなどの不規

則面を、三次元立体形状・等高線・山高さ分布などで評価したり、機械

部品の腐蝕・摩耗を負荷曲線・面積・体積などで評価することができま

す。また、回転部品をパワースペクトルで評価して振動・騒音を解析す

ることもできます。

多彩な三次元解析機能を内蔵

リバースエンジニアリングへの展開●点列データ群より面生成を行ない、CADコンピュータへデータを

渡し、自由曲面解析ができます。（オプションプログラムが必要）

時代はよりビジュアルに

鮫の肌（傾斜角濃淡表示）


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機械加工面（等高線表示）

フイルム表面（三次元表示）

塗装面（三次元表示）

打痕・傷（三次元表示）

段差形状（三次元表示）

プリント基板表面（三次元表示）

仕様

SURFCOM 3000A-3DF型式

測定面積

テーブル送りピッチ（Y）

テーブル送り回数（Y）

真直度精度

測定面積

最大積載質量

記録方式

解析項目

解析補助機能

諸元

Y軸（前後方向）

X軸（横方向）

パラメータ

評価曲線

三次元解析表示

並列処理機能

印刷

拡大表示

その他の解析機能

電源

消費電力

設置寸法

質量

200（X）×100（Y）mm

0.001 ～100mm

2 ～2000 回

（0.05＋3.0L/1000）μm

（0.05＋1.5L/1000）μm

100×200mm

10kg

カラープリンタ/レーザプリンタ選択

中心面平均値、二乗平均線、最大高さ、10 点平均値、中心面山高さ/谷深さ、ピークカウント、表面粗さ率（面積率）、かたより、とがり

粗さ曲線、断面曲線、うねり曲線（ろ波/ろ波中心線/転がり円/転がり円中心線）

三次元形状表示｛俯瞰図（陰線処理/網かけ/高さ色分け/視点方向指定）｝、等高線表示、等高線塗りつぶし表示、

切断面形状表示、山分布表示、山高さ分布表示、負荷曲線表示、振幅分布表示、パワースペクトル＊

測定、解析、プリントの同時平行実行が可能

カラー印刷可能（256色対応）

表示形状の拡大表示が可能、指定範囲内でのパラメータ再計算が可能

傾斜補正機能、傾斜角計算（傾き曲線）機能＊、極性反転機能、シェーディング（256諧調）表示＊

単相AC100V ±10%、50/60Hz

450VA

2100（W）×900（D）×1650（H）mm

370 kg

＊はオプション。


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統合測定システム［TIMS］（粗さ/輪郭）●粗さ・輪郭の切り替えをアイコンのワンタッチ操作で実現、測定データをまと

めて印刷ができます。

AI機能（粗さ）（特許）●測定条件を測定機が自動設定し測定を実行します。

自動操作ログ・プレイバック機能（粗さ/輪郭）●駆動部・コラムの動作を含めた測定・解析の手順を自動記憶し、CNC測定の実

行ができます。

寸法線表示機能（輪郭）●パラメータ・幾何偏差の実測値を図形上に寸法線記入ができます。

形状の合成機能を内臓。●触針の持つ角度によって生じる解析範囲の制限を解決します。（輪郭）

高度な機能と優れた操作性を実現

サーフコム2800E-3DF※プリンタはオプションです。

サーフコム2800E-12※プリンタはオプションです。


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仕様

SURFCOM 2800E型式

測定範囲

精度

真直度精度


処理機能

記録

フィルタの種類

カットオフ値

速度

検出器

諸元

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）


測定分解能


測定分解能

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）

パラメータ/計算処理

評価曲線


傾斜補正

縦倍率

横倍率



測定子

測定力

触針半径

触針材質

電源

消費電力

設置寸法

質量

3mm/s

0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s

AC100V±10％　単相50/60Hz

380VA

1850（W）×800（D）×750（H）mm

150kg

表面粗さ評価

800μm

100mm（ー22システムで200mm）

ー

ー

ー

ー

（0.05+1.5L/1000）μm L=測定長さ（mm）

差動トランス

モアレ縞スケール

JIS、ISO、DIN、ASME、CNOMO規格に準拠

Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt,

Rz.J, R3z, Sm, S, RΔa, RΔq, Rλa, Rλq,

TILT A, Ir, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2,

VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, Rδc,Hmax,

Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, CPM, SR, SAR


転がり円うねり曲線、転がり円中心線うねり曲線、DIN4776特殊曲線


表面特性グラフ　負荷曲線、パワーグラフ、振幅分布曲線、

傾斜補正　直線補正、R面補正、前半補正、後半補正、両端補正、


0.1、1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、5K、

10K、20K、50K、100K、200K＊、500K＊倍　任意、自動

1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍　任意、自動

標準型フィルタ（2RC）、位相補償型フィルタ（2RC）、

位相補償型フィルタ（ガウシアン）

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25mm（7段階）任意

交換式

0.7mN

2μmR

ダイヤモンド

輪郭形状評価

50mm


±（0.8+4H/100）μm　H:測定高さ（mm）

0.025μm

±（1+2L/100）μm　L:測定長さ（mm）

0.1μm

1μm/100mm

レーザ光回析スケール



極座標差、直交/極座標表示、交差要素（点－直線、直線－直線、

円－直線、円－円、直線－楕円）、対称要素（点－点、点－円、点－楕円、

直線－直線、円－円、円－楕円、楕円－楕円）、座標コントロール

（原点設定、X軸設定、平行移動、回転移動）面積計算、

オーバーピン計算、寸法線表示機能、計算結果設計値照合、

ミラー反転、形状合成機能、マクロ機能、自動要素判定、計算点のリピート機能、

ワークトレース機能、ピークアンドバレー機能、自動操作ログ・プレイバック

機能、形状設計値照合、ベストフィット、設計値作成、IGES/DXF変換

ー

ー

ー

0.01～10,000,000倍（任意、自動可）

0.01～10,000,000倍（任意、自動可）

ー

ー

　

交換式

30mN以下

25μmR

超硬合金

形状合成機能

寸法線表示機能粗さ解析機能

断面測定解析

通常の測定では、検出器の触針角度により測定角度に制限がありましたが、二つの形状データを合成することにより東京精密は問題を解決しました。


178



最新技術リニアモータを採用高速・低振動・高精度測定を実現

リニアモータを採用した次世代駆動部を開発（特許出願中）●世界最高レベルの測定スピードと低振動の実現により安定した高倍率

測定ができます。

リニアモータでは、非接触駆動・シンプル構造（送りネジ・ギアボッ

クスレス）なため、振動の発生がなく長期安定動作が行なえます。

生産性を大幅向上させる高速測定●粗さ測定　最大3mm／s、うねり測定　最大20mm／s、移動速度

60mm／sと従来にない驚異的なスピードを実現しました。

ティーチング・プレイバック機能により測定からデータ貼り付けによ

る検査成績書まで一連の作業を自動で行なえ、測定効率が5～10倍

上がります（当社比）。

省スペースを実現●イメージを一新するニューデザインを採用、フットスペースを約

25％削減しました（当社比）。

恒温室等に設置の際、経費削減に効果があります。

新開発、高性能小型検出器を搭載（粗さ）●高倍率・広範囲測定に対応したコンパクトデザインの新開発検出器を

搭載しました。

外径14mmで測定範囲1000μm、測定倍率50万倍を可能にしました。

ワンランク上の精度を実現…あきらめていたワークが測れます（輪郭）●金型等精密部品にも充分使える測定精度2．5μm（測定レンジ5mm）

を実現しました。

測定精度を大幅ににアップしましたので従来上位機種で測定していた

ワークも測定が可能となり、用途が大幅に拡がりました。

汎用部品の輪郭度を簡単に評価（輪郭）●投影機や工具顕微鏡で評価していた部品の輪郭度を短時間に正確なデ

ータを得ることができます。また、測定結果はそのまま検査成績書に

なります。

東京精密が提案する優れた機能（粗さ／輪郭）自動要素判定機能（AI機能）点・直線・円等の要素をオペレータが指定することなく自動判定します。

寸法表示機能パラメータ・幾何偏差等の実測値を測定図上に表示できます。

オートクラウニング機能ワークの最大値あるいは最小値を自動的に検出します。

計算点のリピート機能繰り返し形状を持つワークは1パターンの解析だけで全体の解析を実行

できます。

ワークトレース機能手動で一度ワークをなぞることにより、数値設定なしに測定範囲を決め

ることができます。

微細形状測定に最適な機能です。

インポート・エクスポート機能画像データを測定結果に貼り付けたり、測定波形データを市販プログラ

ムに貼り付けることができます。


179

仕様

SURFCOM 1900DX型式

測定範囲

精度

真直度精度


処理機能

記録


カットオフ値

速度

検出器

測定送り方向

測定姿勢

諸元

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）


測定分解能


測定分解能

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）


評価曲線


傾斜補正

縦倍率

横倍率



測定子

測定力

触針半径

触針材質

電源

消費電力

設置寸法

質量

3～10mm/s

0.03～20mm/s

AC100V±10％　単相50/60Hz

400VA

1250（W）×850（D）×1500（H）mm

約125kg

輪郭形状評価

50mm

100mm

±（2.5+l2Hl/100）μm/5mmレンジ、20mmレンジ、±（3.5+l4Hl/100）μm/50mmレンジ　H：測定高さ（mm）

0.1μm/5mmレンジ、0.4μm/20mmレンジ、1μm/50mmレンジ


0.04μm

1μm/100mm

差動トランス





点－楕円、直線－直線、円－円、円－楕円、楕円－楕円）、

座標コントロール（原点設定、X軸設定、平行移動、回転移動）

面積計算、オーバーピン計算、寸法線表示機能、

計算結果設計値照合、ミラー反転、形状合成機能、マクロ機能、

自動要素判定、計算点のリピート機能、ワークトレース機能、

ピークアンドバレー機能、自動操作ログ・プレイバック機能

ー

ー

ー

0.01～10,000,000倍（任意、自動可）

0.01～10,000,000倍（任意、自動可）

ー

ー

交換式

30mN以下

25μmR

超硬合金

引・押、両方向

上・下、両方向

表面粗さ評価

1000μm

100mm

ー

ー

ー

ー

（0.05+1.0L/1000）μm L=測定長さ（mm）

差動インダクタンス


JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO、DIN、ASME、

CNOMO規格に準拠

Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S,

RΔa, RΔq, Rλa, Rλq,TIL TA, Ir, Pc, Rsk, Rku, Rk,

Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2,

Rδc,AVH,Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR,

CPM, SR, SAR




負荷曲線、パワーグラフ、振幅分布曲線、



50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、

100K、200K、500K 倍　任意、自動

0.1、1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍　任意、自動



0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25mm（7段階）任意

交換式

0.7mN

2μmR

ダイヤモンド

ー

ー

粗さ解析機能輪郭解析機能


180



統合測定システム［TIMS］（粗さ/輪郭）●粗さ・輪郭の切り替えをアイコンのワンタッチ操作で実現、測定データをまとめて印刷ができます。

AI機能（粗さ）（特許）●測定条件を測定機が自動設定し測定を実行します。

自動操作ログ・プレイバック機能（粗さ/輪郭）●駆動部・コラムの動作を含めた測定・解析の手順を自動記憶し、CNC測定の実行ができます。

自動要素判定機能［AI機能］（輪郭）●点・直線・円の要素を指定することなく自動判定します。

寸法線表示機能（輪郭）●パラメータ・幾何偏差の実測値を図形上に寸法線記入ができます。

形状の合成機能●触針の持つ角度によって生じる解析範囲の制限を解決します。

統合測定システムにより粗さ/輪郭解析が一体化

サーフコム1800D-12※プリンタはオプションです。

サーフコム1800D-3DF※プリンタはオプションです。


181

仕様

SURFCOM 1800D型式

測定範囲

精度

真直度精度


処理機能

記録


カットオフ値

速度

検出器

測定送り方向

測定姿勢

諸元

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）


測定分解能


測定分解能

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）


評価曲線


傾斜補正

縦倍率

横倍率



測定子

測定力

触針半径

触針材質

電源

消費電力

設置寸法

質量

3mm/s

0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s（8速）

AC100V±10％　単相50/60Hz

380VA

1850（W）×800（D）×750（H）mm

150kg

輪郭形状評価

50mm


±0.25％フルスケール（ただし、5mmレンジは±4μm以下）

0.1μm/±2.5mm、0.4μm/±10mm、1μm/±25mm


0.1μm

1μm/100mm

差動トランス





点－楕円、直線－直線、円－円、円－楕円、楕円－楕円）、

座標コントロール（原点設定、X軸設定、平行移動、回転移動）

面積計算、オーバーピン計算、寸法線表示機能、

計算結果設計値照合、ミラー反転、形状合成機能、マクロ機能、

自動要素判定、計算点のリピート機能、ワークトレース機能、


ー

ー

ー

0.1～10,000,000倍（任意、自動可）

0.1～10,000,000倍（任意、自動可）

ー

ー

交換式

30mN以下

25μmR

超硬合金



表面粗さ評価

800μm


ー

ー

ー

ー

（0.05+1.5L/1000）μm L=測定長さ（mm）

差動トランス


JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO、DIN、ASME、

CNOMO規格に準拠

Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S,

RΔa, RΔq, Rλa, Rλq,TIL TA, Ir, Pc, Rsk, Rku, Rk,

Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2,

Rδc,AVH,Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR,

CPM, SR, SAR




負荷曲線、パワーグラフ、振幅分布曲線、



50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、

100K、200K＊、500K＊倍　任意、自動

1、2、5、10、50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍　任意、自動



0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25mm（7段階）任意

交換式

0.7mN

2μmR

ダイヤモンド

ー

ー

＊は高倍率ピックアップ使用時

粗さ解析機能

印刷データ

ピークアンドバレー機能


182



時代はクイックレスポンス！高速・低振動、粗さ測定を実現“リニアモータ駆動部”採用

サーフコム1500DX-3DFサーフコム1500DX

●粗さ計に初めてリニアモータを採用（特許出願中）世界最高レベルの測定スピードと低振動の実現により安定した高倍率測定ができます。

リニアモータでは、非接触駆動・シンプル構造（送りネジ・ギヤボックスレス）なため、

振動の発生がなく長期安定動作が行なえます。

●生産性を大幅向上させる高速測定粗さ測定　最大3ｍｍ／ｓ、うねり測定　最大20ｍｍ／ｓ、移動速度60ｍｍ／ｓと

非常に速いため測定効率が5～10倍上がります。（当社比）

●新開発、高性能小型検出器を搭載高倍率・広範囲測定に対応したコンパクトデザインの新開発検出器を搭載しました。

外径14ｍｍで測定範囲1000μｍ、測定倍率50万倍を可能にしました。

●省スペースを実現イメージを一新するニューデザインを採用、フットスペースを約25％削減しました。

（当社比）


ガラスの平坦度測定測定範囲 20mm×20mm

1000ライン（Y方向）従来機 165分S1500DX-3DF 22分


183

誰もが容易に測定できるAI機能（特許）●事前に測定条件を設定しなくても測定機が自動選択します（粗さ測

定）。また、測定機の操作を習得するためのレッスンモードも用意い

たしました。「誰でもが容易に測定できる測定機を」が東京精密のコ

ンセプトです。

測定効率を向上させる全自動測定に対応●ティーチング機能により、複数箇所の測定からデータ貼り付けによる

検査成績書作成まで、一連の作業を全自動で行なえます。

●移動速度60mm／sを実現、全面動測定時の測定効率が大幅に向上し

ます。

要望に応え形状評価機能を大幅に強化●膜厚測定（段差／面積）、磨耗量算出（重ね合わせ形状間の面積）、液

晶用ガラス基板（特殊うねり）の規格に対応するなど、顧客の要望を

真摯に受け止め反映させています。

次世代を予感、フレキシブルな測定システムTIMS

●測定システムの壁をやぶり、アイコン一つでプログラム間を自由にリ

ンクし解析できる統合測定システムTIMSは東京精密からの新しい提

案です。

世界どこでも使えるワールドワイドマシン●最新の世界の規格ISO、JIS、DIN、ASME、CNOMO等に対応して

います。また、欧州の安全基準であるCEマーキングもクリア済み。

海外の言語については日、英、独、仏、伊、スペイン語に対応してい

ます。（海外持ち出しの際は事前にご相談ください）

測定は一度だけ、再解析は自由自在●測定基準（直線／前半／後半／R面／両端）を変えての解析、任意の

評価範囲を設定しての解析、切り欠き等の異常データを除去しての解

析等、一度の測定により再解析は自由自在です。

ムダがなく他を一歩リードする拡張性●二次元粗さから三次元粗さへ、あるいは粗さ（二次元／三次元）から

輪郭との複合機へと、ユニットを追加するだけで容易にアップグレー

ドができます。

柔軟性に富む入出力機能●インポート、エクスポート機能により画像データを測定結果に貼り付

けたり、測定波形データを市販プログラムに貼り付ける事ができます。

移動

測定

仕様

SURFCOM 1500DX型式

測定範囲/分解能

真直度精度

解析項目

倍率


測定速度

移動速度

検出器

優れた機能

X軸（横方向）

Z軸（縦方向）

規格対応

パラメータ

評価曲線

特性グラフ

傾斜補正方法

縦倍率（Z軸）

横倍率（X軸）

測定AI

波形の重ね合わせ

自動運転

100mm/0.04μmあるいは32,000ポイント（データ取込数300,000ポイント）

1000μm/0.02μm～6.4μm/0.0001μm

（0.05+1.0L/1,000）μm L=測定長さ（mm）

JIS-2001 、JIS-1994 、 JIS-1982 、 ISO-1997 、 ISO-1984 、 DIN-1990 、 ASME-1995 、 CNOMO 規格に準拠

Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, R Δa, R Δq, R λa, R λq

TILT A, Ir, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, R δc

AVH, Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, CPM, SR, SAR

断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、ろ波中心線うねり曲線、転がり円うねり曲線、転がり円中心線うねり曲線

DIN4776 特殊曲線、粗さモチーフ曲線、うねりモチーフ曲線、包絡うねり曲線

負荷曲線、振幅分布曲線、パワーグラフ

直線補正、 R面補正、前半補正、後半補正、両端補正、スプライン補正（直線、 R面、両端補正は任意範囲において可能）

50 、 100 、 200 、 500 、 1K 、 2K 、 5K 、 10K 、 20K 、 50K 、 100K 、 200K、500K倍、任意、自動

0.1 、 1 、 2 、 5 、 10 、 20 、 50 、 100 、 200 、 500 、 1K 、 2 K 、 5K 、 10K 、 20K 倍、任意、自動

標準型フィルタ（2RC）、位相補償型フィルタ（2RC）、位相補償型フィルタ（ガウシアン）

（粗さ）0.03～3mm／s 　（うねり）0.03～20mm／s

（Z軸）～10mm／s　（X軸）～60mm／s

先端半径2μm 、材質ダイヤモンド、測定力0.7mN

初心者にも分かりやすい測定AI機能を搭載

最大10データまでの形状曲線の重ね合わせが可能（摩耗評価に最適）

簡易自動およびティーチングによる全自動運転が可能

三次元粗さ仕様はS1400D-3DFを参照ください

●二次元粗さ仕様

電源

設置寸法

質量

AC100V±10％、50/60Hz、300VA

1250（W）×850（D）×1500（H）mm

約125kg

●諸元


184



サーフコム1400D-12※プリンタはオプションです。

誰もが容易に測定できるAI機能（特許）●事前に測定条件を設定しなくても測定機が自動選択します（粗さ測

定）。また、測定機の操作を習得するためのレッスンモードも用意い

たしました。「誰でもが容易に測定できる測定機を」が東京精密のコ

ンセプトです。

測定効率を向上させる全自動測定に対応●ティーチング機能により、複数箇所の測定からデータ貼り付けによる

検査成績書作成まで、一連の作業を全自動で行なえます。

要望に応え形状評価機能を大幅に強化●膜厚測定（段差／面積）、磨耗量算出（重ね合わせ形状間の面積）、液

晶用がラス基板（特殊うねり）の規格に対応するなど、顧客の要望を

真摯に受け止め反映させています。

測定から検査成績書作成まで全自動化。優れた操作性を追求

次世代を予感、フレキシブルな測定システムTIMS●測定システムの壁をやぶり、アイコン一つでプログラム間を自由にリ

ンクし解析できる統合測定システムTIMSは東京精密からの新しい提

案です。

世界どこでも使えるワールドワイドマシン●最新の世界の規格ISO、JIS、DIN、ASME、CNOMO等に対応して

います。また、欧州の安全基準であるCEマーキングもクリア済み。

海外の言語については日、英、独、仏、伊、スペイン語に対応してい

ます。（海外持ち出しの際は事前にご相談ください）

測定は一度だけ、再解析は自由自在●測定基準（直線／前半／後半／R面／両端）を変えての解析、任意の

評価範囲を設定しての解析、切り欠き等の異常データを除去しての解

析等、一度の測定により再解析は自由自在です。

ムダがなく他を一歩リードする拡張性●二次元粗さから三次元粗さへ、あるいは粗さ（二次元／三次元）から

輪郭との複合機へと、ユニットを追加するだけで容易にアップグレー

ドができます。

移動

測定


185

［測定画面］

［解析画面］

測定●アイコンとプルダウンメニューの併用によ

り簡単操作を実現。アイコンは使い勝手に

合わせ編集ができます。

●リアルタイム表示ができます。

●測定機のコントロールは、手動/ジョイステ

ィック/マウス操作のいずれでも可能です。

印刷●測定結果は、ユーザニーズに合わせたレイアウ

ト作成により検査成績書として印刷できます。

※三次元粗さ解析・輪郭形状解析はオプション機能です。

解析●測定基準・評価範囲を任意に設定し解析でき

ます。

●各国の規格の評価を、再計算だけでできます。

●重ね合わせ機能

加工前と加工後の違いを、画面上でデータを

重ね合わせ、両データ間の面積として算出で

きます。データは画面上に10個まで保存で

き、任意のデータ間で重ね合わせ評価ができ

ます。

仕様

SURFCOM 1400D型式

測定範囲/分解能

真直度精度

解析項目

倍率


測定速度

検出器

優れた機能

X軸（横方向）

Z軸（縦方向）

規格対応

パラメータ

評価曲線

特性グラフ

傾斜補正方法

縦倍率（Z軸）

横倍率（X軸）

測定AI

波形の重ね合わせ

自動運転

100mm/0.1μmあるいは32,000ポイント（最大データ数）

800μm/0.02μm～25μm/0.0004μm（6.4μm/0.0001μm*）

（0.05+1.5L/1,000）μm L=測定長さ（mm）

JIS-2001 、JIS-1994 、 JIS-1982 、 ISO-1997 、 ISO-1984 、 DIN-1990 、 ASME-1995 、 CNOMO 規格に準拠

Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, R Δa, R Δq, R λa, R λq

TILT A, Ir, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, R δc


断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、ろ波中心線うねり曲線、転がり円うねり曲線、転がり円中心線うねり曲線

DIN4776 特殊曲線、粗さモチーフ曲線、うねりモチーフ曲線、包絡うねり曲線


直線補正、 R面補正、前半補正、後半補正、両端補正、スプライン補正（直線、 R面、両端補正は任意範囲において可能）

50 、 100 、 200 、 500 、 1K 、 2K 、 5K 、 10K 、 20K 、 50K 、 100K 、 200K*、500K*倍、任意、自動

0.1 、 1 、 2 、 5 、 10 、 20 、 50 、 100 、 200 、 500 、 1K 、 2 K 、 5K 、 10K 、 20K 倍、任意、自動


0.03 、 0.06 、 0.15 、 0.3 、 0.6 、 1.5 、 3 、 6mm/s

先端半径2μm 、材質ダイヤモンド、測定力0.7mN

初心者にも分かりやすい測定AI機能を搭載

最大10データまでの形状曲線の重ね合わせが可能（摩耗評価に最適）

簡易自動およびティーチングによる全自動運転が可能

*は高倍率ピックアップ使用時

●二次元粗さ仕様

電源

設置寸法

質量

AC100V±10％、50/60Hz、300VA

1700（W）×500（D）×750（H）mm

約125kg（2D）、約135kg（3D）

●諸元


186



並列処理で作業効率を大幅向上● 測定中でも解析・プリントアウト作業を同時に実行できるため、待ち

時間がなく効率よく作業を進めることができます。経済性に大変優れ

ています。

三次元形状を詳細に解析● 1回の走査あたり最大32,000 点（X）、走査ライン数最大2,000ラ

イン（Y）というデータを高速処理します。この豊富なサンプリング

データによって微細な表面形状が正確に評価できます。

微細な面性状を多彩に解析

仕様

SURFCOM 1400D-3DF型式

定ピッチ駆動部

解析項目

優れた機能

測定範囲（Y軸）

送りピッチ

送り回数

真直度精度

最大積載質量

三次元粗さパラメータ

表示解析機能

三次元傾斜補正

並列処理

総合測定システム

拡張性（オプションプログラム群）

50mm

0.001 ～10mm

2 ～2,000 回

（0.05+3.0L/1,000 ）μm L=測定長さ（mm ）

5kg

SRa, SRq, SRmax, SRz, SRp, SRv, SPc, SSI, SRsk, SRsku, SMr1, SRMr2

SRpk, SRvk, SRk, SVO, SK

三次元表示、等高線表示、等高線塗りつぶし表示、等高線濃淡表示、切断面表示、山分布表示

俯瞰図（隠線処理/網掛け処理/視点方向指定）、負荷曲線表示、振幅分布曲線表示、山高さ分布表示

平面補正（全データ、表示範囲、ポイント指定、指定範囲（矩形、円形、多角形））

球面補正**、円筒面補正**、放物面補正**

測定、解析、印刷の同時解析が可能、スループットの向上を実現

二次元/三次元解析を自由にリンク、統合した成績書が作成可能

シェーディング**、山高さ平均値**、平均傾斜角計算**、パワースペクトル**（多断面）、切断面面積分布**、傾斜角濃淡**

**はオプション機能　　※三次元粗さに於ける精度保証倍率は10K までです

●三次元粗さ仕様

電源

設置寸法

質量

AC100V±10％、50/60Hz、300VA

1700（W）×500（D）×750（H）mm

約125kg（2D）、約135kg（3D）

●諸元

サーフコム 1400D-3DF-12

豊富な三次元粗さ解析ソフトを装備● 二次元粗さでは評価が難しい鋼板・塗装・フィルム・ガラスなどの不

規則面を、三次元立体形状・等高線・山高さ分布などで評価したり、

機械部品の腐蝕・摩耗を負荷曲線・面積・体積などで評価することが

できます。また、回転部品をパワースペクトルで評価して、振動・騒

音を解析することもできます。


187

■標準機能

三次元表示等高線表示等高線塗りつぶし表示

切断面表示

シェーディング表示多断面パワースペクトル

グレー表示

傾斜角濃淡表示

平均傾斜角計算山高さ平均値

負荷曲線

俯瞰図

■オプション

山高さ分布振幅分布曲線

切断面面積分布


188

測定範囲：□650mmタイプ

LCDガラス基板うねり測定機

PDP形状測定機

●測定範囲は300×250、□500、□650、□900、

□1300mmのサイズラインナップを揃え、ユーザニーズに的確

に対応します。

●広い範囲のうねり・粗さ・反り・段差形状の測定が可能です。

●データ処理部にはサーフコム1400Dのコンピュータを使用して

います。

●PDP前面基板の蒸着膜の厚さ測定、背面基板のリブ高さ測定に

最適な専用測定機です。

●X軸の駆動部そのものを電動で移動（X方向900mm、Y方向

1300mm）、移動範囲内での測定が可能です。

●データ処理部にはサーフコム1400Dのコンピュータを使用して

います。データ処理部

【測定範囲】

X軸駆動距離 300mmタイプ

X・Y軸駆動距離 □500mmタイプ □650mmタイプ

X・Y軸駆動距離 □900mmタイプ □1300mmタイプ

仕様

SURFCOM 1400D-LCD型式

測定縦倍率

測定横倍率

測定力

真直度精度

L：測定長さ（mm）

パラメータ

50～500K倍*、任意、自動

1～20K倍


1～20K倍、任意、自動

4mN以下

測定範囲300、500、650タイプ

　（0.05＋1.5L/1000）μm

測定範囲900タイプ

　（0.1＋1.5L/1000）μm

測定範囲1300タイプ

　（0.2＋1.5L/1000）μm

粗さ36種、うねり24種


仕様

SURFCOM 1400D-PDP型式

X-Y移動範囲

X-Y移動速度

測定高さ

駆動部傾斜角度

粗さ測定範囲

真直度精度

記録縦倍数

記録横倍率

測定力

積載質量

電　　源

外形寸法 (W×D×H)

質　　量

X=900mm（電動）、Y=1300mm（電動）

最大100mm/sec

50mm　Z軸ストローク（手動）

±5（゚手動）

100mm　X軸方向

（0.05＋1.5L/1000）μm 　 L：測定長さ（mm）


1～20K倍、任意、自動

0.7mN

20kg以下

AC100V±10%、50/60Hz

2040×1420×1350mm　CPUは除く

約1800kg





189

写真はサーフコム1400Dとの接続例（X軸電動送り仕様）※除振台はオプションです。

●ウェーハ形状測定

CCDカメラを用いて正確な位置合わせをする

ことができます。

サーフコム1400DとCCDカメラの組み合わせ例

●ハードディスクの測定

サーフコム480A用に専用ソフトを用意して

あります。

サーフコム480Aを用いたハードディスクの測定光触針ピックアップ

E-DT-SL-12B

●非接触測定

光触針ピックアップを組み合わせると、プラ

スチック、フィルム、紙などの軟質材料の測

定も可能になります。

コラム横送り装置

仕様

粗さ・形状測定機用横送り装置型式

移動範囲

許容積載質量

接続対応機種

X方向ストローク：780mm

Y方向ストローク：50mm

Z方向ストローク：250、450、650mmより選択

100kg

サーフコム480A、1400D、1800D、2800E

コンターレコード1600D、2600E

●シリンダブロックのような重量物、あるいはクランクシャフトのような長尺物などの測定を効率よく行なえます。

●自動車や工作機械の部品測定に最適です。

●X軸送りは、電動と手動タイプを使用用途に応じて選択できます。

●測定台に経年変化の少ない、はんれい岩を採用しています。

粗さ・形状測定機用横送り装置

アプリケーション


190



オペレータの視点から操作性を追及した現場向け表面粗さ測定機の新しい形、スムーズな操作性が実力です。

国際化対応の仕様解析パラメータは、JIS （2001/1994/1982 ）、ISO 、DIN 、

ASME 、CNOMO の各国規格に基づいたパラメータ選択ができ、使用

言語は日本語、英語、独語、仏語、伊語、スペイン語の切換が可能、供

給電源AC100 ～240Vまで柔軟に対応。また、安全規格では欧州規格

のCEマーキングをクリアした測定機です。

TFT カラー液晶タッチパネル採用広視野で鮮明なカラー液晶タッチパネルと分かりやすいアイコンタッチ

入力で、簡単かつスムーズな操作が可能です。また、タッチパネルは標

準装備のタッチペンまたは指で入力が行なえ、現場環境での使用が可能

です。

必要なアイコンのみを表示可能カスタマイズ機能により、使用頻度の高いアイコン

のみを選択して自由なアイコン配置でオペレータ専

用メニューを作り、効率的な測定作業が行なえます。

図面数値入力で測定できるAI 機能（特許）加工図面上に記載されたパラメータや許容値の条件

のみを入力することで、最適なカットオフ値・測定

レンジ等の測定条件を自動で選択し、測定を行なう

ことができるAI 機能を内蔵しました。

測定手順を表示するガイダンス機能初めて測定機を使う人のために、スムーズな操作を

行なうための測定手順を表示します。

データ整理に便利なメモ機能タッチペンで、メモ画面に書いた簡単な絵や文字を

そのまま記録紙に記入、印字ができます。

ニーズに応える豊富な解析機能Ra 、Rz 、Ry 、Sm 、S 、tp など全部で34種の粗さ、32種

のうねり解析パラメータを内蔵。

電気部品の段差、膜厚及び面積等の解析ができます。

傾斜補正機能直線・前半・後半・両端・R 面・スプライン曲線（特許）の6種

類の自動傾斜補正機能を内蔵。

評価範囲の任意設定（特許）画面上の波形データを2本のカーソルで挟み込み、任意の評価範

囲を設定、各パラメータを演算することができます。

PC カードスロットを装備測定条件及び測定結果の管理、また測定データはバイナリー形

式とテキスト形式で出力ができます。パソコンのPCカードスロ

ットから容易に読み込みが可能です。

サーフコム 480A-12

使用言語は

日本語/英語/独語/

仏語/伊語/スペイン

語

に対応！

JIS2001 対応！


191

■データシート例

■基本メニュー

表示例基本メニューはカスタマイズ機能により、アイコンを自由に選択・配列

表示できます。

■カスタマイズ表示例

■解析結果

仕様

SURFCOM 480A型式

測定範囲

真直度精度

解析項目

倍率


測定速度

検出器

優れた機能

標準付属品

諸元

X軸（横方向）

Z軸（縦方向）

規格対応

パラメータ

評価曲線

特性グラフ

傾斜補正方法

縦倍率（Z軸）

横倍率（X軸）

AI機能

段差解析機能

PCカード

電源

設置寸法

質量

100mm

800μm （測定レンジ/分解能：800μm/10nm 、80μm/1nm 、8μm/0.1nm ）

（0.05+1.5L/1000 ）μm L=測定長さ（mm ）

JIS-2001 、JIS-1994 、JIS-1982 、ISO-1997 、ISO-1984 、DIN-1990 、ASME-1995 、CNOMO 規格に準拠

Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, R Δa, R Δq, R λa, R λq,

TILT A, Ir, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, R δc,


断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、ろ波中心線うねり曲線、転がり円うねり曲線、

転がり円中心線うねり曲線、DIN4776 特殊曲線、粗さモチーフ曲線、うねりモチーフ曲線、包絡うねり曲線


直線補正、R 面補正、前半補正、後半補正、両端補正、

スプライン補正（直線、R 面、両端補正は任意範囲において可能）

50 、100 、200 、500 、1K 、2K 、5K 、10K 、20K 、50K 、100K 、200K* 、500K*倍、自動

1 、2 、5 、10 、20 、50 、100 、200 、500 、1K 、2K 、自動

標準型フィルタ（2RC ）、位相補償型フィルタ（2RC ）、位相補償型フィルタ（ガウシアン）

0.03 、0.06 、0.15 、0.30 、0.60 、1.5 、3 、6mm/s （8 速）

先端半径：2μm 、材質：ダイヤモンド、測定力：0.7mN

初心者にもわかりやすい測定AI 機能を搭載

半導体部品の膜厚及び面積測定に最適

テキストファイル出力でパソコンへデータを渡せます。

標準片（E-MC-S24B ）、記録紙（E-CH-S21A ）、タッチペン（E-MA-S54A ）、取扱説明書

AC100 ～240V ±10%、50/60Hz 、90VA

1000 （W ）×800 （D ）×750 （H ）mm

105kg

＊は高倍率ピックアップ使用時

負荷曲線

振幅分布曲線

パワーグラフ


192



オペレータの視点から操作性を追及した現場向け表面粗さ測定機小型本格派

必要なアイコンのみを表示可能カスタマイズ機能により、使用頻度の高いアイコン

のみを選択して自由なアイコン配置でオペレータ専

用メニューを作り、効率的な測定作業が行なえます。

図面数値入力で測定できるAI 機能（特許）加工図面上に記載されたパラメータや許容値の条件

のみを入力することで、最適なカットオフ値・測定

レンジ等の測定条件を自動で選択し、測定を行なう

ことができるAI 機能を内蔵しました。

測定手順を表示するガイダンス機能初めて測定機を使う人のために、スムーズな操作を

行なうための測定手順を表示します。

データ整理に便利なメモ機能タッチペンで、メモ画面に書いた簡単な絵や文字を

そのまま記録紙に記入、印字ができます。

ニーズに応える豊富な解析機能Ra 、Rz 、Ry 、Sm 、S 、tp など全部で34種の粗さ、32種

のうねり解析パラメータを内蔵。

電気部品の段差、膜厚及び面積等の解析ができます。

傾斜補正機能直線・前半・後半・両端・R 面・スプライン曲線（特許）の6種

類の自動傾斜補正機能を内蔵。

評価範囲の任意設定（特許）画面上の波形データを2本のカーソルで挟み込み、任意の評価範

囲を設定、各パラメータを演算することができます。

PC カードスロットを装備測定条件及び測定結果の管理、また測定データはバイナリー形

式とテキスト形式で出力ができます。パソコンのPCカードスロ

ットから容易に読み込みが可能です。

モノクロ液晶

TFTカラー液晶

マニュアルがいらない簡単操作選べる“アンプ”液晶タッチパネル● 広視野のTFTカラーと廉価なモノクロ液晶を準備。

持ち運びに便利なコンパクトサイズ● 現場環境での使用が可能です。

解析パラメータは海外規格に対応● JIS、ISO、DIN、ASME、CNOMO規格を自在に選択。

CEマーキングに対応した安全設計

使用言語は

日本語/英語/独語/

仏語/伊語/スペイン

語

に対応！

クラス最高の真直

度精度

0.3μm/50mm！！


193

■便利な管理者/オペレータモード選択機能

管理者にはすべての機能を

■データ解析は自由自在

オペレータには最小限必要となる機能を

カスタマイズ表示全機能表示

RS-232C

PCカードノートPC

仕様

SURFCOM 130A型式

測定範囲

真直度精度

解析項目

倍率


測定速度

検出器

優れた機能

標準付属品

諸元

X軸（横方向）

Z軸（縦方向）

規格対応

パラメータ

評価曲線

特性グラフ

傾斜補正方法

縦倍率（Z軸）

横倍率（X軸）

AI機能

段差解析機能

PCカード

電源

設置寸法

質量

50mm

800μm （測定レンジ/分解能：800μm/10nm 、80μm/1nm 、8μm/0.1nm）

0.3μm/50mm


Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, R Δa, R Δq, R λa, R λq,

TILT A, Ir, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, R δc,


断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、ろ波中心線うねり曲線、転がり円うねり曲線、

転がり円中心線うねり曲線、DIN4776 特殊曲線、粗さモチーフ曲線、うねりモチーフ曲線、包絡うねり曲線



スプライン補正（直線、R面、両端補正は任意範囲において可能）

50 、100 、200 、500 、1K 、2K 、5K 、10K 、20K 、50K 、100K 自動

1 、2 、5 、10 、20 、50 、100 、200 、500 、1K 、2K 、5K 自動


0.3 、0.6 、1.5 、3mm/s （4速）

先端半径：2μm 、材質：ダイヤモンド、測定力：0.7mN

初心者にもわかりやすい測定AI 機能を搭載

半導体部品の膜厚及び面積測定に最適

テキストファイル出力でパソコンへデータを渡せます。

標準片（E-MC-S24B）、記録紙（E-CH-S21A）、タッチペン（E-MA-S54A）、取扱説明書

AC100～240V ±10%、50/60Hz 、30VA

700（W）×300（D）×150（H）mm

8kg

＊PCカード（E-MU-S50A）及びPC接続ケーブル（E-SC-S288A）はオプションです。

デスクトップPC

■データシート例


194



機能を凝縮 ― 使いやすい小型本格派

イージーオペレーティングを実現 ― AI 機能● 測定面に応じて測定レンジ・評価長さ・カットオフ値・記録倍率（プリ

ンタ使用時）を最適な条件に自動設定して測定します。（特許出願中）

世界中どこにでも通用する ― E-35A● ISO, JIS （2001/1994/1982）, ASME, CNOMO など各国規

格を標準装備。日本語、英語、独語、仏語、伊語、スペイン語、ポル

トガル語の7カ国語に対応。また、欧州安全規格であるCEマーキング

にも対応しています。

パソコンへデータをダイレクト送信● シリアルポート（RS-232C）を標準装備。パソコンへ測定条件、パ

ラメータ値、形状曲線データを直接送信することができます。

現場対応をより充実 ― データ保存／充電式バッテリー● 内蔵メモリに10個のデータ保存ができ、その測定データはいつでも自

由に呼び出し出力することができます。また、ハンディサーフおよび

プリンタは充電式電池を内蔵しており、電源のない現場での計測に最

適です。

あらゆる姿勢で測定可能● 小型軽量なハンディサーフは、水平面はもとより傾斜面、垂直面、天

井面などあらゆる姿勢での測定が可能です。表示部と駆動部を一体化

した測定あるいは分離した測定と、目的に応じて使い分けることもで

きます。

差し替え可能な変位形ピックアップ● 変位形ピックアップで表面粗さを正確・忠実に測定できます。

さらに、ピックアップは差し換え方式になっていますので、細穴、深

溝など専用のピックアップ（特別付属品）を用いれば、多様な測定に

簡単に対応できます。


195

ワールドワイド対応

仕様

HANDYSURF E-35A型式

測定範囲

分解能

解析項目

フィルタ

評価長さ

駆動速度

ピックアップ

諸元

標準附属品

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）

Z軸（縦方向）

対応規格

パラメータ

評価曲線

カットオフ方式

カットオフ値

固定モード

任意モード


触針

測定力

スキッド

電源

消費電力

質量

外観寸法

JIS-2001

モチーフ

±160μm

12.5mm

0.01μm/±20μm～0.08μm/±160μm


Pt, Ra, Rq, Rz, Rzmax, Rp, Rt, R3z, RSm, Pc, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, Rmr

R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte

断面曲線、粗さ曲線、ISO13565 特殊粗さ曲線、粗さモチーフ曲線、うねりモチーフ曲線、包絡うねり曲線

ガウシアンフィルタ、2RC フィルタ

λc ：0.08, 0.25, 0.8, 2.5mm 、λs ：2.5, 8μm

カットオフ値×5

0.4 ～12.5mm （0.1mm 単位）

0.6mm/S （戻り1mm/S）

差動インダクタンス（変位形）

ダイヤモンド、90 °円錐、5μmR

4mN 以下

サファイア、32mmR （トレース方向）

内蔵充電式電池（ACアダプタにより充電）

約1VA

約600g

210（W）×70（D）×60（H）mm

標準片（E-MC-S24B）、後側調整具（E-WJ-S64A）、延長ケーブル（E-SC-S255A）、

ハンディケース（E-MA-S35A）、AC アダプタ、取扱説明書

名称

型式

印字方式

記録曲線

記録倍率

諸元

付属品

縦方向（V）

縦方向（H）

質量

外観寸法

小型プリンタII E-RC-S25A

感熱ラインドット方式

断面曲線、粗さ曲線、負荷曲線、粗さモチーフ曲線、うねりモチーフ曲線、包絡うねり曲線

×100, ×200, ×500, ×1K, ×2K, ×5K, ×10K, AUTO

×1, ×2, ×5, ×10, ×20, ×50, ×100, ×200, AUTO

約390g

140（W）×100（D）×40（H）mm

記録紙：E-CH-S25A 、接続用ケーブル：E-SC-S245A

●プリンタ（オプション）

※ExcelはMicrosoft社の商標です。

検査成績書作成表計算ソフトEXCELにデータを

読み込んで検査成績書を作成す


TIMS Light（オプション）東京精密統合測定システムTIMS

Light で高度な解析も自由にで

きます。

パソコン接続対応＊ノートパソコン接続用ケーブル（E-SC-S248A）はオプション

マクロプログラム付き

7カ国語対応、各国規格対応、バッテリ対応、パソコン接続対応

全機能選択時出力例

小型プリンタII


196



ナノプロファイルスキャナー NPS2100Aは先端径が数十ナノメートルのプローブでワーク表面をスキャニングす

ることで表面の凹凸をナノメートルレベルの分解能で三次元的に表示する表面粗さ形

状測定機です。

自己検知型カンチレバーと除振機構を標準装備した測定部は、机上操作が可能な小型

かつ簡単操作を実現しました。

ナノメートルオーダの微細形状を評価●サブナノメートルから10マイクロメートルまでの微細形状を

自在に解析します。

独自の自己検知型カンチレバーを採用●カンチレバー自身にたわみ量を検知するセンサが組み込まれ取

り付け・操作が簡単です。レーザ光学系を使用していないので

光軸の調整の必要もなくどこにでも持ち運び測定が可能です。

除振装置を標準装備●コイルバネとゲルダンパーを一体化した除振装置を装備するこ

とにより測定場所を問いません。

高速測定を実現● 12秒～1800秒／フレームと高効率測定が可能です。また、

測定中にスキャニング形状のモニタリングが可能です。

プローブ

カンチレバー

試料

NPS2100A　センサの原理プローブと試料表面間に働く相互作用力（原子間力（斥力））を検出し、微小領域の表面形状を測定します

プローブ

←物理的相互作用原子間力

試料表面


197

半導体デバイスパターンの形状評価、成膜粒子の粗さ評価

記録メディアディスク表面の評価、ケミカルテクスチャ・ビットの形状評価、磁気テープ・磁気ヘッドの表面評価

液晶・ディスプレイ液晶パネル表面の評価、タッチパネルギャップ測定、ＩＴＯ膜粒子の評価

水晶デバイス水晶振動子・電極の表面粗さ評価、ＳＡＷフィルタ面の膜厚・段差測定

セラミックス・ガラス表面・切断面の形状評価、コーティング面の膜厚・段差測定レンズ・光ファイバの形状評価

電子デバイス表面形状の評価、粗さ・段差測定、メッキ表面の評価、不良解析

高分子材料ポリミイド膜表面処理評価、塗工紙の表面評価、塗膜・コーティングの膜厚・段差測定

機械加工研削・研磨工程の評価、摩耗面の評価

仕様

N P S 2 1 0 0 A型式

測定範囲

分解能

ワーク載台

スキャン速度

測定モード

評価機能

標準付属品

X軸・Y軸

Z軸

Z軸

移動量

ワーク形状

最大800×800μm

最大±10μm

0.3nm

X・Y・Z　各10mm

最大φ60mm、厚さ8.5mm

12秒～1800秒/フレーム

コンタクトモード、ダンピングモード

三次元表示、等高線表示、等高線塗りつぶし表示、

等高線濃淡表示、切断面表示、山分布表示

俯瞰図（隠線処理/網掛け処理/視点方向指定）、

負荷曲線表示、振幅分布曲線表示、山高さ分布表示

自己検知型カンチレバー（コンタクトモード用：

10本/箱、ダンピングモード用：10本/箱）

カンチレバー用ピンセット、標準サンプル、

光学顕微鏡セット、取扱説明書

NPS2100Aのアプリケーション

■統合プログラムTIMSによる解析

TFT □800μm

TFT □20μm

輪郭解析

三次元表示

切断面表示

シェーディング表示

粗さ解析

コーティング膜の粗さ解析液晶基板の輪郭形状解析


198



自動要素判定機能（AI機能）● 点・直線・円の要素を指定することなく自動判定します。

寸法表示機能● パラメータ・幾何偏差の実測値を図形上に表示できます。

形状の合成機能● 触針の持つ角度によって生じる解析範囲の制限を合成機能により解

決します。

ピークアンドバレー機能● 触針のトレースによりワーク最大点の検出ができ、アライメントが

容易になります。

計算点のリピート機能● 繰り返し形状を持つワークは1パターンの解析だけで全体の解析を実

行できます。

高精度輪郭測定を実現、Z方向1μm以下で測定します。（変位5mmの場合）

コンターレコード 2600E-12※プリンタはオプションです。

高精度輪郭形状評価に最適● 非球面レンズ、光ファイバコネクタ・ボールネジ等、高精度な形状

を求められる部品の評価に最適です。

輪郭度評価が充実● 測定データ（ポイントデータ）と設計値の偏差照合機能、設計値作

成機能、ベストフィット機能、さらにCADとの通信のための

IGES/DXF変換機能を標準装備しています。


199

仕様

CONTOURECORD 2600E型式

測定範囲

精度

真直度精度


記録

速度

最小測定ピッチ

最大測定点数

触針半径

測定力

測定送り方向

測定姿勢

計算処理機能

諸元

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）

Z軸指示精度

測定分解能

X軸指示精度

測定分解能

Z軸

X軸

縦倍率

横倍率



電源

消費電力

設置寸法

質量

50mm

100mm（－22システムで200mm）

±（0.8＋4H/100）μm　H：測定高さ（mm）

0.025μm

±（1＋2L/100）μm　L：測定高さ（mm）

0.1μm

1μm/100mm

レーザ光回析スケール


0.01～10,000,000倍（任意、自動可）

0.01～10,000,000倍（任意、自動可）

3mm/s

0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s

0.1μm

100,000点（最大10形状）

0.025mmR

30mN以下



点、直線、円、部分円、楕円、最大点・最小点、距離、座標差、極座標差、直交/極座標表示、

交差要素（点－直線、直線－直線、円－直線、円－円、直線－楕円）、

対称要素（点－点、点－円、点－楕円、直線－直線、円－円、円－楕円、楕円－楕円）、

座標コントロール（原点設定、X軸設定、平行移動、回転移動）面積計算、オーバーピン計算、寸法線表示機能、

計算結果設計値照合、ミラー反転、形状合成機能、マクロ機能、自動要素判定、計算点のリピート機能、ワークトレース機能、

ピークアンドバレー機能、自動操作ログ・プレイバック機能、形状設計値照合、ベストフィット、設計値作成、IGES/DXF変換

単相AC100V±10％　50/60Hz

380VA

1400（W）×800（D）×750（H）mm

150kg

※消費電力にはプリンタ分が含まれておりません。

寸法線表示機能輪郭形状の設計値照合

輪郭形状の寸法解析計算結果の設計値照合


200



ワンランク上の精度を実現● 金型等精密部品にも充分使える高い測定精度を実現しました。測定

精度を大幅にアップしましたので従来上位機種で測定していたワー

クも測定が可能となり、用途が大幅に拡がりました。

粗さ計に初めてリニアモータを採用（特許出願中）● 世界最高レベルの測定スピードと低振動の実現により安定した高倍

率測定ができます。

リニアモータでは、非接触駆動・シンプル構造（送りネジ・ギヤボ

ックスレス）なため、振動の発生がなく長期安定動作が行なえます。

高効率測定を実現● ティーチング・プレイバック機能により測定からデータ貼り付けに

よる検査成績書まで一連の作業を自動で行なえます。

測定速度　最大20mm/s、移動速度　最大60mm/sと非常に速い

ため測定効率が大幅に上がります。

省スペースを実現● イメージを一新するニューデザインを採用、フットスペースを約

25％削減しました。（当社比）


汎用部品の輪郭度を簡単に評価投影機や工具顕微鏡で評価していた部品の輪郭度を短時間に正確なデー

タを得ることができます。また、測定結果はそのまま検査成績書になり

ます。

東京精密が提案する優れた機能自動要素判定機能（AI機能）

点・直線・円等の要素をオペレータが指定することなく自動判定

します。

寸法表示機能

パラメータ・幾何偏差等の実測値を測定図上に表示できます。

オートクラウニング機能

ワークの最大値あるいは最小値を自動的に検出します。

計算点のリピート機能

繰り返し形状を持つワークは１パターンの解析だけで全体の解析を実行

できます。

ワークトレース機能

手動で一度ワークをなぞることにより、数値設定なしに測定範囲を決め


微細形状測定に最適な機能です。

インポート・エクスポート機能

画像データを測定結果に貼り付けたり、測定波形データを市販プログラ

ムに貼り付けることができます。

最新技術リニアモータを採用　精度も大幅アップした輪郭形状測定機のスタンダード


201

仕様

CONTOURECORD 1700DX型式

測定範囲

精度

真直度精度


記録

速度


最大測定点数

触針半径

測定力

測定送り方向

測定姿勢

計算処理機能

諸元

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）

Z軸指示精度

測定分解能

X軸指示精度

測定分解能

Z軸

X軸

縦倍率

横倍率



電源

消費電力

設置寸法

質量

50mm

100mm

±（2.5+ 2H /100）μm/5mmレンジ、20mmレンジ、±（3.5+ 4H /100）μm/50mmレンジ　H:測定高さ（mm）

0.1μm/5mmレンジ、0.4μm/20mmレンジ、1μm/50mmレンジ

±（1＋2L/100）μm　L：測定長さ（mm）

0.04μm

1μm/100mm

差動トランス


0.01～10,000,000倍（任意、自動可）

0.01～10,000,000倍（任意、自動可）

10mm/s

0.03～20mm/s

1μm

100,000点（最大10形状）

0.025mmR

30mN以下









単相AC100V±10％　50/60Hz

400VA

1250（W）×850（D）×1500（H）mm

125kg

印刷ウィンドウ

形状解析結果画像条件

･Word、Excel、etc…

エクスポート

貼付け

アプリケーション

インポート

画像ファイル (bmp、ico、jpg、gif)


202



自動要素判定機能（AI機能）● 点・直線・円の要素を指定することなく自動判定します。

寸法表示機能● パラメータ・幾何偏差の実測値を図形上に表示できます。

形状の合成機能● 触針の持つ角度によって生じる解析範囲の制限を合成機能により解決

します。

ピークアンドバレー機能● 触針のトレースによりワーク最大点の検出ができ、アライメントが容

易になります。

計算点のリピート機能● 繰り返し形状を持つワークは1パターンの解析だけで全体の解析を実

行できます。

ワークトレース機能● 一度ワークをなぞることにより、測定範囲を決めることができます。

微細形状測定に有効です。

簡単操作を更に進化

汎用部品の輪郭度を簡単に評価● 投影機や工具顕微鏡で評価していた部品の輪郭度を短時間に正確なデ

ータを得ることができます。又、測定結果はそのまま検査成績書にな

ります。

高効率測定を実現● ティーチング・プレイバック機能により測定からデータ貼り付けによ

る検査成績書作成まで、一連の作業を自動で行なえます。

コンターレコード 1600D-12※プリンタはオプションです。


203

仕様

CONTOURECORD 1600D型式

測定範囲

精度

真直度精度


記録

速度


最大測定点数

触針半径

測定力

測定送り方向

測定姿勢

計算処理機能

諸元

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）

Z軸指示精度

測定分解能

X軸指示精度

測定分解能

Z軸

X軸

縦倍率

横倍率



電源

消費電力

設置寸法

質量

50mm


±0.25％/フルスケール（ただし、5mmレンジは±4μm以下）

0.1μm/2.5±2.5mm、0.4μm/±10mm、1μm/±25mm

±（1＋2L/100）μm　L：測定長さ（mm）

0.1μm

1μm/100mm

差動トランス


0.01～10,000,000倍（任意、自動可）

0.01～10,000,000倍（任意、自動可）

3mm/s

0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s

1μm

100,000点（最大10形状）

0.025mmR

30mN以下









単相AC100V±10％　50/60Hz

380VA

1850（W）×800（D）×750（H）mm

150kg

印刷データシート

寸法線表示機能

オーバーラップ表示


204



従来困難だったところも測定可能● 従来、ワークを切断しなければ測れなかった内部断面や、投影機・

工具顕微鏡では測定困難な形状を測定できます。

高い操作性● X 軸、Y 軸移動は、ジョイスティックによる電動送りも、手動送りも

可能ですから、能率的な作業ができます。

最適な測定倍率・測定速度が選択可能● 測定目的に応じて、1 ～2000倍の縦倍率が選べます（ただし、

500 ～2000倍はオプションの高倍率検出噐が必要です）。

長穴測定、大型ワーク測定が可能● 標準アームより長い特殊アームを用いることにより、長穴の測定が行

なえます。

円弧歪補正機能で正確な測定● レバー式検出器に特有の、円弧運動によって発生する円弧歪みを自動

補正しています。長い特殊アームあるいはアーム反転等の特別な使用

方法でも歪補正機能が働き、正確な記録が得られます。

誰にも簡単に! 様々な用途に!光学式では測定困難な内部断面なども簡単に測定誰もが簡単に扱え、信頼性も高く、様々な測定が可能です。

アーム逃がしツマミ

アーム反転ツマミ

簡単な操作で形状測定比較的起伏の大きな輪郭形状、例えばねじ山の形状、穴のテーパ、型の形状、

ゲージその他の輪郭形状などを、簡単な操作で迅速に拡大記録できます。

高精度縦(Z)および横(X)の両方向に独自の位置検出機構を備え、X-Y レコーダに拡大

記録を行う、高精度で信頼性の高い測定機です。


205

仕様

CONTOURECORD 600D型式

測定範囲

精度

真直度精度


記録

速度


触針

測定力

測定送り方向

測定姿勢

触針追従角度

諸元

標準附属品

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）

Z軸指示精度

X軸指示精度

Z軸

X軸

縦倍率（Z軸）

横倍率（X軸）



先端半径

材質

登り

下り

電源

消費電力

設置寸法

質量

50mm


0.25％/フルスケール

±（1＋2L/100）μm

1μm/100mm

差動トランス


1、 2、 5、 10、 20、 50、 100、 200、 500*、 1000*、 2000*倍

1、 2、 5、 10、 20、 50、 100、 200、 500*、 1000*、 2000*倍

3mm/s

0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s

1μm

25μmR

超硬合金

30mN以下

押し測定/引き測定　切換可能

上向き測定/下向き測定　切換可能

最大77°（滑らかな面）

最大87°（滑らかな面）

単相AC100V±10％　50/60Hz指定

300VA

1200（W）×450（D）×717（H）mm**

120kg**

触針（DT45502）、記録紙（A3リーフ）、セラミックペン（赤）HC503P-RD、

工具消耗品一式、取扱説明書、検査証明書

＊印は高倍率検出器使用　　＊＊諸元（設置寸法、質量）は－12システムの場合

低測定力用調整機能（オプション）2mNの低測定力測定ができますので、変形しやすいワークも測定可能です。

低測定力用調整ウェイト（0102406 ）

最小測定力：2mN

測定力調整範囲：2mN～10mN

調整量：1mN／目

数々の安全設計触針先端破損防止のため電動リトラクト機構、オーバースケールあるい

は触針の引っかかりを検出し、検出器を保護する過負荷自動停止機能等

を装備しています。

■データシート例プラスチックギア測定

プラスチックボトルの形状測定

プルトップの測定

懐中電灯ミラー部の測定


206



非接触かつ高速で輪郭形状解析を実現

PS200によるデジタイジング

非接触で輪郭形状を測定● 複屈折材による干渉縞方式により輪郭形状を測定する画期的な商品です。

広範囲測定が可能● 対物レンズの交換により0mm～35mmまでの測定ができます。またワークディスタンスが

9mm～70mmと広く操作性に優れています。

広角測定が可能● 散乱光を利用しているため測定角度85°を実現しました。

高速測定を実現● 最高測定速度50mm/secと従来より10倍以上の高効率測定を実現しました。

軟材質ワーク測定に最適● 変形しやすいゴム材料（黒色測定可能）、小さな測定力でも弾性変形するリーフスプリング、柔ら

かく接触方式では測定できないシール材等々従来評価が困難であったワークも評価が可能です。

幅広いアプリケーション技術PS200をデジタイザとして使い、CAD・自由曲面プログラム等とネットワーク接続することによ

りリバースエンジニアリングに活用ができます

CCD

複屈折材

ビームスプリッタ

偏光板

結象レンズ

半導体レーザ

対物レンズ

被測定物

DIMENSIONプログラムによる点群データ生成（オプション） HOLOSプログラムより点群データとCADデータの比較照合を行います（オプション）

測定原理

※プリンタはオプションです。



207

仕様

PS 200型式

測定範囲

対物レンズ

真直度精度

サンプルデータ数

測定速度

送りピッチ

解析項目

諸元

Z軸（縦方向）


X軸（横方向）

分解能

ワークディスタンス


X軸（横方向）

最大測定点数（X軸）

ライン数（Y軸）

X軸（横方向）


処理内容

電源

消費電力

設置寸法

質量

0～35mm（対物レンズ交換より選択）

200mm

200mm

0.15μm～4μm（対物レンズ交換より選択）

9mm～70mm（対物レンズ交換より選択）

2μm/200mm

2μm/200mm

7000点

2000ライン

最大50mm/s

0.001mm～10mm



対称要素（点－点、点－円、点－楕円、直線－直線、円－円、円－楕円、楕円－楕円）

オーバーピン計算、寸法線表示機能、計算結果設計値照合、ミラー反転、形状合成機能、

面積計算、マクロ機能、自動要素判定（AI）、計算点のリピート機能、ワークトレース機能、


三次元表示、等高線表示、等高線塗りつぶし表示、等高線濃淡表示、切断面表示、山分布表示、

俯瞰図（隠線処理/網掛け処理/視点方向指定）、負荷曲線表示、振幅分布曲線表示、山高さ分布表示

単相AC100V ±10%50/60Hz

350VA

1300（W）×800（D）×800（H）mm

280kg

※消費電力にはプリンタ分が含まれておりません。

基本計算

付加機能

3D表示

機能

タイプ I形式項目

測定範囲

分解能（1σ）

精度（2σ）


スポット径

0.6mm

0.15μm

2μm/0.3mm

4μm/0.6mm

12mm

5×11μm

タイプ II

1.8mm

0.4μm

3μm/0.9mm

6μm/1.8mm

15mm

12×22μm

タイプ III

8mm

1μm

6μm/4mm

12μm/8mm

42mm

15×45μm

タイプ IV

18mm

2μm

10μm/9mm

20μm/18mm

65mm

25×65μm

タイプV

35mm

4μm

15μm/17.5mm

30μm/35mm

90mm

35×75μm

●レンズ

ブレーキパッド磨耗評価例

シリコンウェハスライシング面精度評価例


208



急峻な形状を非接触で効率良く測定

高速測定を実現● 高速測定に優れた測定機で、従来の接触式に比較し約10倍以上を実

現しました。（当社比）

わずかなランニングコスト● 経済的でラインサイドの測定機としてすぐれています。非接触のため

測定子等消耗品が有りませんので、ランニングコストを安く押さえる

ことができます。

高効率測定を実現● スループットがよく操作が簡単です。測定から解析・印刷までをティ

ーチングする事により自動測定が可能です。

広範囲測定が可能● 広範囲の測定が可能です。レンズ交換により最大35ｍｍまでの形状

を非接触で測定します。

急峻な形状の非接触測定が可能● 急峻な形状も容易に測定します。光学測定では通常20～30°の角度

測定が限界ですが、80°以上の急峻な角度測定も可能です。


CCD

複屈折材

ビームスプリッタ

偏光板

結象レンズ

半導体レーザ

対物レンズ

被測定物

測定原理■ 特　長


209

仕様

PS 100型式

測定範囲

対物レンズ

真直度精度

サンプルデータ数

測定速度

解析項目

諸元

Z軸（縦方向）

X軸（横方向）

分解能


X軸

最大測定点数（X軸）

X軸

処理内容

電源

消費電力 *

設置寸法

質量

0～35mm（対物レンズ交換より選択）

200mm

0.15μm～4μm（対物レンズ交換より選択）

9mm～70mm（対物レンズ交換より選択）

2μm/200mm

7000点

最大50mm/s

点、直線、円、部分円、楕円、最大点・最小点、距離、座標差、極座標差、直交/極座標表示

交差要素（点－直線、直線－直線、円－直線、円－円、直線－楕円）

対称要素（点－点、点－円、点－楕円、直線－直線、円－円、円－楕円、楕円－楕円）

オーバーピン計算、寸法線表示機能、計算結果設計値照合、ミラー反転、形状合成機能、

面積計算、マクロ機能、自動要素判定（AI）、計算点のリピート機能、ワークトレース機能、


単相AC100V ±10%、50/60Hz

430VA

1200（W ）×800 （D ）×950 （H ）mm

170kg

* 消費電力にはプリンタ分が含まれておりません。

基本計算

付加機能

タイプ I形式

測定範囲

分解能（1σ）

精度（2σ）


スポット径

0.6mm

0.15μm

2μm/0.3mm

4μm/0.6mm

12mm

5×11μm

タイプ II

1.8mm

0.4μm

3μm/0.9mm

6μm/1.8mm

15mm

12×22μm

タイプ III

8mm

1μm

6μm/4mm

12μm/8mm

42mm

15×45μm

タイプ IV

18mm

2μm

10μm/9mm

20μm/18mm

65mm

25×65μm

タイプV

35mm

4μm

15μm/17.5mm

30μm/35mm

90mm

35×75μm

●レンズ

ペットボトルの口元形状

スピーカーのコーン形状紙コップのストック形状

ウェーハ切断用ブレード形状紙のエンボス形状

セラミックチップの平坦度


210


サーフコム・コンターレコードシステム構成　〉〉〉

測定台コラム

オプション

モニタプリンタ

ドライバユニットコンピュータ組み合わせ

ピックアップ移動駆動部

ワーク移動駆動部

測定台ベース

※オプションプリンタは、A3／A4あるいはレーザプリンタ／カラープリンタの中から選択できます。

（駆動部と測定台は、測定目的によって選定してください。）サーフコム　　　 -□□

駆動部測定台

ナンバー

駆動部測定台

- □1コラムベース寸法測定高さ許容積載質量

手動 600×320mm 250mm 50kg


電動 600×320mm 450mm 50kg


電動 600×320mm 250mm 50kg


電動 1000×450mm 450mm 100kg

- 1□ ピックアップ移動 E-RM-S72B

最大移動距離　　100mm

- 2□ E-RM-S74A


- 3□ （低速駆動部）E-RM-S141A


- 4□ ワーク移動 E-RM-S75A


- 5□ E-RM-S76A


- 6□ E-RM-S77A


※サーフコム480Aの場合、駆動部型式が異なります。　E-RM-S72B→E-RM-S71A 　E-RM-S74A→E-RM-S73A 　E-RM-S141A→E-RM-S78A ※コンターレコードシリーズでは-4□、-5□、-6□の組み合わせができません。

サーフコム・コンターレコードシリーズ　システム構成


211

測定要領型式外観図組合せ測定子スキッド形状摘要

汎用測定 010 2701 010 2501 32mmRサファイア･先端スキッド DT43801 ･標準ピックアップ組込

スキッドレス測定 010 2702※ 全測定子 ------ ･保護用･フロントトラベル調整用

一般平面 010 2703※ 010 2501 ･両またぎスキッド横トレース測定 DT43801 ･横トレース時スキッド半径4.5mm

極細穴測定 010 2704 010 2511 8mmR工具鋼･両またぎスキッド DT43811 ･触針との位置調整が必要

細穴測定 010 2705 010 2512 8mmR工具鋼･先端スキッド DT43812

薄溝歯面測定 010 2706 010 2512 8mmR工具鋼･両またぎスキッド DT43812

曲面測定 010 2707 010 2515 32mmRサファイア･揺動式スキッド DT43815

深溝測定 010 2708 010 2515 32mmRサファイア･両またぎスキッド DT43815

狭深溝測定 010 2709※ 010 2515 32mmRサファイア･先端スキッド DT43815

R溝測定 010 2710※ 010 2515 0.8mmRルビー･片またぎスキッド　･使用倍率5000倍以上 DT43815 ･触針との位置調整必要　･記録のみ

細丸棒測定 010 2711 010 2501 32mmRサファイア･両またぎスキッド　･スキッド位置調整必要 DT43801 ･ φ2～4, φ4～8, φ8～16用3種スキッド付き

長穴測定 010 2722※ 010 2522 32mmRサファイア･先端スキッド DT43822

穴深溝測定 010 2723 010 2525 32mmRサファイア･先端スキッド DT43825 ･触針との位置調整必要

超深溝測定 010 2724 010 2526 32mmRサファイア･両またぎスキッド DT43826 ･触針との位置調整必要

Oリング溝 010 2726 010 2525 0.8mmRルビー･両またぎスキッド　･使用倍率5000倍以上底面測定 DT43825 ･触針との位置調整必要

※印は測定子・ノーズピースセットDT43800および010 2640の構成品目。

ノーズピース対象機種 ■S130A ■S1400D, S1400D-3DF ■S480A ■S1800D, S1800D-3DF ■S2800E, S2800E-3DF

27.5

ø9.35.5

11.5 10.5 67.5

ø27.1

7.2

25

39.3

9

4.5

ø20.8

17.5

ø55.5

5

1.70.85

1320

13

136

20

9

1320

3 5.5

1323

6

25

14

68

ø7.56

68

135.53

30

6.59

66

135

オプション　〉〉〉表面粗さ・輪郭形状測定機


212


オプション　〉〉〉

差し替え粗さ形状測定子対象機種 ■S130A ■S1400D, S1400D-3DF ■S480A ■S1800D, S1800D-3DF ■S2800E, S2800E-3DF

測定要領型式外観図仕様摘要

DT43801 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･全姿勢　･横トレース可能 0.7mN ･標準仕様

DT43802 2μmR, 60° オノ形ダイヤ, ･下向き測定 0.7mN

DT43811 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･全姿勢 0.7mN

DT43812※ 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･全姿勢 0.7mN

DT43813 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･全姿勢 0.7mN

DT43814※ 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･全姿勢 0.7mN

DT43815※ 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･下向き測定 0.8mN

　　　　　

DT43821 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･下向き測定　･感度1/2 3mN ･ ×10,000以下

DT43822※ 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･下向き測定　･感度1/2 3mN ･ ×20,000以下



DT43825 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･下向き測定　･感度1/2 3.4mN ･ ×20,000以下　･波形歪み大

DT43826 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･下向き測定　･感度1/2 4mN ･ ×10,000以下　･波形歪み大


DT43800 2μmR

※印は測定子・ノーズピースセットDT43800の構成品目。　測定力はE-DT-S03A/E-DT-SE19Aに取り付けた時。

ノーズピース : 010 2702, 010 2703, 010 2709, 010 2710, 010 2722 測定子 : DT43812, DT43814, DT43815, DT43822

汎用測定用

細線・刃先

極細穴・ギアフランク

細穴・薄溝

穴底・円錐面

コーナー・歯面

深溝・R溝

細長穴

低倍率・長穴

低倍率・コーナー

深溝コーナー

穴深溝・ Oリング溝底面

超深溝

高倍率輪郭形状

測定子セット

57.5

ø2.74 ø1.2

73.5

7

5.7

33.54 ø2.7ø1.2

1.15.7

3

33.5

4 ø2.7ø2

1.15.7

3

1

33.57

ø2.7

5.7

0.9（3.5）

（0.5）

33.515

ø2.7

5.7

1.7（4.8）

（0.7）

ø1.2

33.515

ø2.7

5.7

6.1

（4.8）

15°

ø1

33.515

ø2.7

5.7

8

ø1.2

33.5

ø2.7

15ø1.2

3

（1.1） 5.7

73.540.7

ø2.7

5.7

1.7（4.8）

（0.7）

ø1.2

ø0.8

73.5

3

ø2.7ø1.225.7

80.3

73.515

ø2.7

5.7

8

ø1.2

73.5ø3

35

5.7

73.5

ø2.7

1.1

15 ø1.2

3

5.7

ø332

73.5 5.7

32

･横トレース可能




･波形歪み大


213


010 2501 5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･全姿勢 4mN ･横トレース可能

010 2502 5μmR, 90° ナイフエッジ形ダイヤ, 5mN



010 2512※ 5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･全姿勢 4mN ･横トレース可能


010 2514※ 5μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･全姿勢 4mN ･横トレース可能

010 2515※ 5μmR, 90° 円錐ダイヤ, 5mN

5μmR, 010 2518 90°円錐ダイヤ, ･ ×20,000以下 4mN

010 2521 5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･感度1/2 5mN ･ ×10,000以下

010 2522※ 5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･感度1/2 5mN ･ ×20,000以下

010 2524 5μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･感度1/2 5mN ･ ×20,000以下

010 2527 5μmR, 60° 円錐ダイヤ, 8mN

010 2640 5μmR

※印は測定子・ノーズピースセット010 2640の構成品目。　測定力はE-DT-S01A/E-DT-SE18Aに取り付けた時。

ノーズピース : 010 2702, 010 2703, 010 2709, 010 2710, 010 2722 測定子 : 010 2512, 010 2514, 010 2515, 010 2522

汎用測定用

細線・刃先

中細穴

極細穴・ギアフランク

細穴・薄溝

穴底・円錐面

コーナー・歯面

深溝・R溝

歯車歯形・ねじフランク

細長穴

低倍率・長穴

低倍率・コーナー

深溝コーナー

測定子セット

22

7 ø2.7ø1.2

0.8

22

7 ø2.7

ø1

22

ø1.2

0.7

2.6

7

ø0.6

0.9

0.6

15

ø1.2

1.7

0.7

65°

ø15

15

ø1.2

30°

8

22ø2.7

15ø1.2

ø0.6

3

0.9

22

6

0.5以上

0.2～0.3

90°

0.3

（0.5）

40°

41

ø1.2

0.7

1.7

62

5ø2.7ø1.2

0.8

62

8

30°

ø1.2

30°

62

ø332


･感度1/2 ･ ×10,000以下･波形歪大


214




10μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･全姿勢 010 2508 0.7mN ･横トレース可能･左記仕様はE-DT-S02Aに装着時

010 2525 10μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･下向き測定　･感度1/2

8mN ･ ×25,000以下　･波形歪み大


8mN ･ ×10,000以下　･波形歪み大

010 2541 10μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･ ×20,000以下　･波形歪み大

8mN ･専用コネクトロッド使用

1μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･全姿勢 010 2506 0.7mN ･横トレース可能･左記仕様はE-DT-S04Aに装着時


8mN ･ ×10,000以下

測定力はE-DT-S01A/E-DT-SE18Aに取り付けた時。

軟物質

穴深溝・ Oリング溝底面

超深溝

穴底面

高倍率測定用

高倍率輪郭形状

33.5

4

ø1.2

3

（1.1） 5.70.45

62

ø2.7

0.8

15 ø1.2

50

ø2.7

5

0.8

ø1.2

ø33262

33.5

4ø0.8

2.7

（1.1） 5.7

ø1.2

60°

57

ø2.74

0.7

ø1.2

差し替えうねり形状測定子対象機種 ■S130A ■S1400D, S1400D-3DF ■S480A ■S1800D, S1800D-3DF ■S2800E, S2800E-3DF


010 2504 250μmR, 60° 円錐サファイア, ･全姿勢 5mN

010 2505※※ 800μmR, ルビー, ･全姿勢 4mN

010 2510 250μmR, 工具鋼, ･全姿勢 4mN ･ ×5,000以下

010 2520 800μmR, ルビー, ･下向き測定　･感度1/2 5mN ･ ×10,000以下

010 2523 250μmR, サファイア, ･下向き測定　･感度1/2 5mN ･ ×25,000以下

※※印以外は受注生産品目です。　　測定力はE-DT-S01A/E-DT-SE18Aに取り付けた時。

段差

うねり

極細穴形状

細長穴うねり

大段差

22

7 ø2

22

7.5ø1.6

6ø0.5

ø0.23

41

ø1.6

ø1.2

62

7

1

ø2.7



215

各種ピックアップ対象機種 ■S480A ■S1400D, S1400D-3DF ■S1800D, S1800D-3DF ■S2800E, S2800E-3DF


E-DT-S01A 5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･全姿勢　･横トレース可能

4mN ･専用測定子 0102501付き


0.7mN ･専用測定子 0102508付き

2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･全姿勢　･横トレース可能 E-DT-S03A 0.7mN ･標準仕様･専用測定子 DT43081付き


0.7mN ･専用測定子 0102506付き

5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･全姿勢　･横トレース可能 E-DT-S05A 4mN ･フロントトラベル 110～120μm ･他仕様はE-DT-S01Aと同じ

･フロントトラベル 200μm

5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･スキッドレス測定専用

E-DT-S06A 4mN

･最高倍率 ×10,000 ･専用コネクトロッド必要（010 2746）･専用測定子 0102542付き

5μmR, 90° 円錐ダイヤ,

･フロントトラベル 200μm E-DT-S07A

4mN ･測定子交換不可能

･最高倍率 ×10,000　･感度1/2

5μmR, 90° 円錐ダイヤ,

･フロントトラベル 200μm E-DT-S08A

4mN ･測定子交換不可能

･最高倍率 ×10,000　･感度1/5

･最高倍率 ×500,000 E-DT-SH01A ･測定力 0.2mN ･触針 016 2854付き

016 2854 1μmR, 90° 円錐ダイヤ

010 2567 1μmR, 60° 円錐ダイヤ

010 2210 10μmR, 60° 円錐ダイヤ

010 2211 5μmR, 60° 円錐ダイヤ

010 2212 0.5μmR, 60° 円錐ダイヤ

010 2213 90° 幅2.5μmナイフエッジ, ダイヤ

5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･測定倍率 ×5,000以下 DT42001 10mN ･横トレース可能･専用測定子 0102501付き

E-DH-S60A ･クランクシャフトのピンあるいは

ジャーナル等の横トレース測定に使用

測定範囲300μm, ･カラー共焦点方式 E-DT-SL12B スポット径2μm, ･光源：ハロゲンライトバルブワークディスタンス4.5mm 　　寿命1000H

汎用測定用

軟物質測定用

低測定力測定用

高倍率測定用

不連続面測定用

穴内溝側面測定用

極超深溝測定用

超長穴測定用

高倍率測定用

E-DT-SH01A用触針

薄型ピックアップ

薄型ピックアップ用ピックアップホルダ

非接触測定用

27.5

5.5ø9.3

ø21.7

67.5

27.5

5.5ø9.3

ø21.7

67.5

27.5

5.5ø9.3

ø21.7

67.5

27.5

5.5ø9.3

ø21.7

67.5

27.5

5.5ø9.3

ø21.7

67.5

293.2

21

ø21.7

1.7

0.7

67.59

ø21.7

596

52

147.5

5.5ø9.3

ø21.7

67.5

10535

40

28

4ø1.2 7

3

ø1

22

19

66205 86

2.3

（17

1.4）

（18

4.9）

（124.3）

（87）

117.5

14.5 ø15

11.5


216


名称型式外観図仕様摘要

DM48505 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･ストローク 12mm 0.7mN ･標準付属品　･粗さ・輪郭両用

DM48507 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･ストローク 12mm 0.7mN ･粗さ・輪郭両用

DM48508 500μmR, ルビーボール, ･ストローク 24mm 0.7mN ･標準付属品　･輪郭専用

DM48509 500μmR, ルビーボール, ･ストローク 30mm 3.2mN ･輪郭専用

DM48510 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･ストローク 12mm 0.7mN ･粗さ・輪郭両用 2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･ストローク 12mm DM48511 0.7mN ･オフセット量 13.5mm ･粗さ・輪郭両用

2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･ストローク 12mm DM48513 0.7mN ･触針高さ 2mm ･粗さ・微細輪郭両用

2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･ストローク 12mm DM48514 0.7mN ･触針高さ 1mm ･粗さ・微細輪郭両用

2μmR, 60° 円錐ダイヤ, ･ストローク 12mm DM48515 0.7mN ･触針高さ 25mm ･粗さ・輪郭両用

DM48588 5μmR, 30° 円錐ダイヤ, ･ストローク 12mm 0.7mN ･粗さ・輪郭両用

S3000A用差し替え測定子対象機種 ■S3000A, S3000A-3DF

汎用測定子

汎用高剛性測定子

輪郭用高剛性測定子

輪郭用高剛性測定子

上下測定用測定子

ライトアングル用測定子

小穴用測定子

極小穴用測定子

深溝用測定子

汎用測定子


E-CV-S29A ･ DX専用架台用

E-CV-S30A ･ STD用（E-VS-R16A）

S3000A用付属品

防風カバー

防風カバー

57.6

13 ø2.7ø1.2

1.1

10

46

（3）

58.5

15

ø5

2

10

46

ø1.2

108.5

21

ø5

2

16

96

ø2

133.5

ø5

2

20

121

ø2

58.5

ø5

2

846

ø1.2

ø108

58.5

ø5

2

946

ø1.213.5 14

57.6

ø2.7

2

46

ø1.2

151

57.6

ø2.7

1

46

ø0.6

70.5

58.5

ø5

2

25

46

ø1.4

57.6

13 ø2.7ø1.2

1.1

10

46

（3）

890

1675

820

740

52534.5

10001700

970

890

770

560760



217

測定要領型式外観図 d L1 L2 摘要

DT45501 3 60 52

DT45502 3 34 26

DT45503 2 21 13

DT45504 3 60 52

DT45505※ 3 34 26 ･標準付属品

DT45506 2 21 13

DT45507 3 60 52

DT45508※ 3 34 26

DT45509 2 21 13

DT45081 --- 12 9

DT45082 --- 7 5

DT45083 --- 3.5 1.5

DT45084※ --- 12 9

DT45085 --- 7 5

DT45086※ --- 3.5 1.5

DT45087 --- 12 9

DT45088 --- 7 5 ･オフセット 25mm

DT45089 --- 3.5 1.5

DT45090 --- 12 9

DT45091 --- 7 5 ･オフセット 25mm

DT45092 --- 3.5 1.5

DT45522 3 60 52

DT45523 3 34 26 ･ φ0.7ルビーボール

DT45524 2 21 13

DT45525 3 60 52

DT45526 3 34 26 ･ φ1ルビーボール

DT45527 2 21 13

汎用測定

汎用測定

稜線測定

小穴測定

小穴ねじれ測定

一般オフセット測定

ねじれ面オフセット測定

高精度測定

高精度測定

※印は触針・アームセット010 2999の構成品目。

触針材質 : 超硬合金

L2

ød

L1

R0.025

24 円゚錐

12°

L2

ød

L1

R0.025

L1

12°円錐 R0.025L2

2565

17

L2

ød

L124°

R0.025

L117

12°

L2

5

65

24°円錐 R0.025

L117

L2

5

65

L1

24°円錐 R0.025L2

2565

17

L2

ød

L1

L2

ød

L1

輪郭用触針対象機種 ■E60A ■C600D ■C1600D　　■C1700 ■S1800D, S1800D-3DF　　■S1900, S1900-3DF

（C1600D、S1800D）（C1700、S1900）


218


輪郭用アーム対象機種 ■E60A ■C600D ■C1600D ■S1800D, S1800D-3DF

測定要領型式外観図組合せ触針摘要

DT45502 010 2800 DT45505 DT45508

DT45503 010 2801 DT45506 DT45509 DT45081 010 2802※ 　　 DT45092 DT45501 ･最高倍率 ×50 010 2804 DT45504 ･ピックアップホルダ継手 010 2744必要 DT45507 ･補助ウェイト付き DT45502 ･最高倍率 ×100 010 2805 DT45505 ･オフセット 50mm DT45508 ･補助ウェイト付き DT45502 ･最高倍率 ×50 010 2806 DT45505 ･オフセット 100mm DT45508 ･補助ウェイト付き

DT45503 ･最高倍率 ×100 010 2807 DT45506 ･オフセット 50mm DT45509 DT45501 ･最高倍率 ×10　･レバー可動範囲 100mm 010 2808 DT45504 ･感度1/2　･円弧補正量1/2　･補助ウェイト付き DT45507 ･ピックアップホルダ継手 010 2744必要 DT45503 ･最高倍率 ×25　･レバー可動範囲 100mm 010 2810 DT45506 ･感度1/2　･円弧補正量1/2　 DT45509 ･補助ウェイト付き

010 2999

汎用測定

内面測定

小穴測定

深溝測定

オフセット測定

長物測定

長穴測定

アーム触針セット

※印は触針・アームセット010 2999の構成品目。

〜

触　針 : DT45505, DT45508, DT45084, DT45086 アーム : 010 2802, 010 2805

ø8 10

178.5

26

ø8 10

178.5

13

ø8 10

115

17

ø8 10

178.5

52

26

ø8

50178.5

26ø8

100178.5

13

ø8

50178.5

ø8 10

528.5

52

ø8 10529

13



219

輪郭用触針対象機種 ■C2600E　　■S2800E, S2800E-3DF

測定要領型式外観図 d L1 L2 摘要

DT45501 3 60 52

DT45502 3 34 26

DT45503 2 21 13

DT45504 3 60 52

DT45505※ 3 34 26 ･標準付属品

DT45506 2 21 13

DT45507 3 60 52

DT45508※ 3 34 26

DT45509 2 21 13

DT45510 --- 12 9 ･測定力 10mN以下

DT45511 --- 8 5 ･たわみ 10mN時 : 約1.5μm

DT45512 --- 4.5 1.5

DT45513※ --- 12 9 ･測定力 10mN以下

DT45514 --- 8 5 ･たわみ 10mN時 : 約1.5μm

DT45515※ --- 4.5 1.5

DT45516 --- 12 9 ･測定力 10mN以下

DT45517 --- 8 5 ･たわみ 10mN時 : 約3μm

DT45518 --- 4.5 1.5

DT45519 --- 12 9 ･測定力 10mN以下

DT45520 --- 8 5 ･たわみ 10mN時 : 約3μm

DT45521 --- 4.5 1.5

DT45580 3 21 13 ･ φ0.5ルビーボール

DT45583 ･ φ0.5ルビーボール　

･アーム一体型

DT45522 3 60 52

DT45523 3 34 26 ･ φ0.7ルビーボール

DT45524 2 21 13

DT45525 3 60 52

DT45526 3 34 26 ･ φ1ルビーボール

DT45527 2 21 13

汎用測定

汎用測定

稜線測定

小穴測定

小穴ねじれ測定

一般オフセット測定

ねじれ面オフセット測定

高精度測定

高精度測定

高精度測定

高精度測定

L2

ød

L1

R0.025

12°

L2

ød

L1

24°円錐 R0.025

L2

ød

L124°

R0.025

L117

12°

L2

5

65

24°円錐 R0.025

L117

L2

5

65

L1

12°円錐　R0.025L2

2565

17

L1

24°円錐 R0.025L2

2565

17

13

ø321

ø0.5 ルビーボール

R0.0255.5

12.571

ø8

76.5

27.516.5

10

8.5

L2

ød

L1

L2

ød

L1

触針材質 : 超硬合金


220


輪郭用アーム対象機種 ■C2600E ■S2800E, S2800E-3DF

測定要領型式外観図組合せ触針摘要

DT45502 標準組合せ（補助ウェイト付き） DT45528 DT45505 たわみ 10mN時 : 約1.2μm DT45508 30mN時 : 約3.7μm DT45503 （補助ウェイト付き） DT45529 DT45506 たわみ 10mN時 : 約1.2μm DT45509 30mN時 : 約3.7μm

DT45510 小穴測定用触針組合せ用アーム DT45530※ 　　（補助ウェイト付き） DT45521 DT45501 測定力 10mN以下（補助ウェイト付き） DT45531 DT45504 たわみ 10mN時 : 約1.2μm DT45507 30mN時 : 約3.7μm DT45502 測定力 10mN以下（補助ウェイト付き） DT45532※ DT45505 たわみ 10mN時 : 約2.6μm DT45508 30mN時 : 約7.8μm DT45503 測定力 10mN以下（補助ウェイト付き） DT45533 DT45506 たわみ 10mN時 : 約2.6μm DT45509 30mN時 : 約7.8μm 触　針 : DT45505, DT45508, DT45513, DT45500 DT45515 アーム : DT45530, DT45532

汎用測定

内面測定

小穴測定

深溝測定

オフセット測定

アーム触針セット

※印は触針・アームセットDT45500の構成品目。

〜

ø8 10

178.5

26

ø8 10

178.5

13

ø8 10

115

17

ø8

10

178.5

52

26

ø8

50

178.5

13

ø8

50178.5



221

調整装置対象機種 ■S480A ■S1400D, S1400D-3DF ■S3000A ■S1800D, S1800D-3DF ■S2800E, S2800E-3DF ■C600D ■C1600D　　 ■C2600E

直交軸調整（mm）スイベル調整チルチング調整テーブル許容積載質量名称型式外観図

X Y Z 微動粗動微動粗動サイズ（mm）（自重）（kg）摘要

E-AT-S01C 50 50 8° 360° φ150 15 最小読取値10μm （6） E-AT-S02A ±1.5° 80×110 15 （3）

E-AT-S03A※2 ±2.5 ±2° 80×58 3 E-RM-S75A用（0.9） E-AT-S04A ±8 ±3° 80×125 15 （8）

E-AT-S05A※2 ±3 ±1° 120×58 3 E-RM-S76A用（1.4）

E-AT-S36A※2 ±3 ±1° 200×120 5 E-RM-S77A用（4.5）

E-AT-S08A 400 150×150 20 （25）

E-AT-S10A 55 55 28 75×40 1 真直精度 0.03mm （3.4） E-AT-S11B

50 125×150 20 真直精度 3μm （4.9）最小読取値 10μm E-AT-S12A ±5° 360° φ90 3 最小読取値 5′ （0.58） E-AT-S13B

10 60×60 10 真直精度 3μm　

（0.7）最小読取値 0.5μm E-AT-S64B ±20° 60×120 10 最小読取値 5′ （1）

E-WJ-S03A 360° ±90° φ110 3 XY両方向自在（2.5） E-CS-S31A※1 H : 100 360° --- テーブルとコラム間（6）に挿入 E-CS-S32A※1

H : 200 テーブルとコラム間に挿入 E-CS-S33A※1 L : 70 コラムと駆動部間に挿入 E-CA-S24A※2 ±15° --- 輪郭用 E-CA-S32A※2 ±5° --- 粗さ用（5）

調整台

レベリング調整台

調整台

調整台

調整台

調整台

X方向移動載物調整台

三次元微調装置

一軸精密微動調整台

スイベル回転微動台

一軸超精密微動調整台

傾斜載物台

ユニバーサルスタンド

コラム回転スぺーサ

コラムスぺーサ

駆動部スぺーサ

駆動部傾斜装置

駆動部傾斜装置

※1印はS3000Aシリーズには使用できません。 ※2印はS1500、S1900、C1700、S3000Aシリーズには使用できません。

（　　）粗動： 10μm 微動： 0.5μm


222


保持装置対象機種 ■S480A ■S1400D, S1400D-3DF ■S3000A ■S1800D, S1800D-3DF ■S2800E, S2800E-3DF ■C600D ■C1600D　　 ■C2600E

V受保持チャッキングバイス保持汎用クランプ平面保持許容積載質量名称型式外観図

（mm）保持（mm）（mm）保持（mm）（mm）（kg）（自重）摘要

内側 : 59 5 E-WJ-S01B 外側 : 38～（0.8） 105

E-WJ-S02A φ1～150 ワーククランパ付属

（1.5） E-WJ-S04A

φ12～150 T溝クランプ専用2ヶ組（3）

E-WJ-S05A φ4～10

（0.4）

E-WJ-S06A 150×150 角板（1）

E-WJ-S11A 80×130 吸着力 0.2kg

角板（1.3）紙、アルミ、フィルムに最適

E-WJ-R01C 外径 : φ2～75

内径 : φ56～91 （1） JC-3

高さ 40～60 ---

E-WJ-S252A 300×300

角板（5.3）（受注対応）

E-WJ-S234A 500×500

角板（15）（受注対応）

両開きバイス

V台セット

V台ホルダセット

小型V台

載物台

静電吸着板

スクロールチャック

クランプセット

セラミック載物板

セラミック載物板

調整・保持装置組立例

V台セット E-WJ-S02A

X方向移動載物調整台 E-AT-S08A

調整台 E-AT-S04A

スクロールチャック E-WJ-R01C

レベリング調整台 E-AT-S02A

ユニバーサルスタンド E-WJ-S03A

調整台 E-AT-S04A


調整台 E-AT-S05A

駆動部 E-RM-S76A

調整台 E-AT-S01C


X方向移動載物調整台 E-AT-S08A

両開きバイス E-WJ-S01B

ユニバーサルスタンド E-WJ-S03A

調整台 E-AT-S01C

V型ホルダセット E-WJ-S04A



223

周辺装置対象機種 ■S480A ■S1400D, S1400D-3DF ■S2800E, S2800E-3DF ■S1800D, S1800D-3DF ■C2600E ■C1600D


駆動距離 : 100mm ･質量 : 約9kg

E-RM-S72B 駆動速度 : 0.03～6.0mm/s, 8速･ S480A : E-RM-S71B 真直度精度 : （0.05＋1.5L/1000）μm 仕様は左記と同じ駆動距離 : 200mm ･質量 : 約15kg E-RM-S74A 駆動速度 : 0.03～6.0mm/s, 8速･ S480A : E-RM-S73A 真直度精度 : （0.05＋1.5L/1000）μm 仕様は左記と同じ駆動距離 : 100mm ･質量 : 約9kg E-RM-S141A 駆動速度 : 0.003～6.0mm/s, 11速･ S480A : E-RM-S78A 真直度精度 : （0.05＋1.5L/1000）μm 仕様は左記と同じ駆動距離 : 50mm ･質量 : 約15kg E-RM-S75A 駆動速度 : 0.03～6.0mm/s, 8速･積載質量 : 5kg 真直度精度 : （0.05＋1.5L/1000）μm ･レベリング範囲 : ±1.5° 駆動距離 : 150mm ･質量 : 約20kg E-RM-S76A 駆動速度 : 0.03～6.0mm/s, 8速･積載質量 : 5kg 真直度精度 : （0.05＋1.5L/1000）μm ･レベリング範囲 : ±1°

駆動距離 : 300mm ･質量 : 約32kg

E-RM-S77A 駆動速度 : 0.03～6.0mm/s, 8速･積載質量 : 10kg 真直度精度 : （0.05＋1.5L/1000）μm ･レベリング範囲 : ±0.8°

E-RM-S85A 測定外径 : φ12～20mm, 長さ30mm ･質量 : 約7kg

　　　　 : φ20～150mm, 長さ30mm ･積載質量 : 5kg 周速度 : 0.3, 0.6, 1.5mm/s 測定半径 : 0.25～40mm

E-RM-S84A 駆動速度 : ±0.25μm（任意の180°）周速度 : 0.3mm/s（無段変速） E-ST-S131A 　　　　　移動範囲 : X ; 680mm ･大物・重量部品測定用　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Y ; 200mm ･質量 : 約370kg 　　　　　　　　　　　　　（受注対応） E-AT-S72A ･レベリング範囲 : ±2° ･積載質量 : 5kg E-CA-S25A ･ワーク移動型駆動部使用時･質量 : 約1.5kg

ピックアップ移動型駆動部

ワーク移動型駆動部

円周粗さ駆動部

R面粗さ駆動部

コラム横送り装置

オートチルチングテーブル

ピックアップホルダ台

200

135

15 125

200

135

15 125

435

155

15 125

325

145

125

6080

200

151

153

707

200

151

153

115

255

130255

221160

102

98

8301000

1302

164

6010

0

160

Z軸方向ストローク 650

126.2

18012431293

940（113）

50

Y軸方向ストローク 200

108200

60


224



測定倍率 : 10,000倍まで･大型測定台と併用 010 2736 最小内径 : φ25mmまで･超長穴測定用（スキッド測定）最大深さ : 650mm ･質量 : 約1.2kg 継手長さ : 30mm ･輪郭形状アーム010 2804, 010 2744 　010 808と組合せ･質量 : 約0.25kg 010 2745 測定深さ : 駆動部下131mmまで･質量 : 約0.47kg 測定深さ : 検出器ホルダ下142mm ･穴底面用測定子を使用しての 010 2746 　ピックアップ垂直測定･質量 : 約0.2kg ･寸法 : 510W×430D×640Hmm ･質量 : 22kg ･ E-VS-S28A, E-VS-S38A用 E-VS-S13A

E-VS-S57A/ 除振方式 : ダイヤフラム空気バネ･寸法 : 600

W×500

D×55

Hmm

(E-VS-S38A) 固有振動数 : 1.5～3Hz ･空気源 : 350～700kPa

積載質量 : 120kg ･質量 : 26kg E-VS-S58A/

除振方式 : ダイヤフラム空気バネ

(E-VS-S28A) 固有振動数 : 1.5～3Hz ･空気源 : ポンプ封入

積載質量 : 120kg ･質量 : 26kg 除振方式 : ダイヤフラム空気バネ･寸法 : 1000W×750D×143Hmm E-VS-S45A 固有振動数 : 4Hz ･空気源 : ポンプ封入積載質量 : 300kg ･質量 : 80kg 除振方式 : ダイヤフラム空気バネ･寸法 : 980W×780D×700Hmm E-VS-R16A 固有振動数 : V ; 2Hz, H ; 2.2Hz ･空気源 : 350～700kPa 積載質量 : 250kg ･質量 : 170kg 除振方式 : ダイヤフラム空気バネ･寸法 : 1100W×850D×700Hmm E-VS-S21A 固有振動数 : V ; 1.6Hz, H ; 2Hz ･空気源 : 350～700kPa 積載質量 : 550kg ･質量 : 340kg

超長穴測定用コネクトロッドピックアップホルダ用継手ピックアップホルダ用継手ピックアップ直角継手兼コネクトロッド

卓上型除振台架台

卓上型除振台卓上型大型除振台除振台

（　）寸法はE-VS-S21A

510

430

643

510

600440

500

370

4051

1000

750

750125 125

570

9090

143

700

560760

980 780（1074）（824）

（850）（600）

（700）

･寸法 : 600W×500

D×55

Hmm



225


E-MA-S81A 倍率 : ×20 ･スタンド方式

焦点距離 : 60mm

DM59014 倍率 : ×20 ･ワーク移動型駆動部に対応

焦点距離 : 60mm

E-MA-S84A ･スタンド方式

撮像素子 : インターライン構成（1）白黒カメラ　（2）白黒モニタ　 DM59102 方式CCD （3）電源アダプタ　（4）顕微鏡アダプタ有効画素数 : 768×494画素（5）接続ケーブル　（6）取扱説明書

撮像素子 : インターライン構成（1）カラーカメラ　（2）カラーモニタ　 DM59103 方式CCD （3）電源アダプタ　（4）顕微鏡アダプタ有効画素数 : 768×494画素（5）接続ケーブル　（6）取扱説明書

･大型測定台用除振台E-VS-S21Aと組合せ E-CV-S25A ･寸法 : 1070W×750D×1050Hmm ･質量 : 20kg　　　　　　　　（受注対応）

･輪郭形状測定用卓上型除振台/架台と組合せ E-CV-S03A ･寸法 : 1000W×629D×810Hmm ･質量 : 13kg

･粗さ測定用　卓上型除振台/架台と組合せ E-CV-S02A ･寸法 : 750W×614D×810Hmm ･質量 : 8kg

E-DK-S10A ･寸法 : 40W×1070

D×700

Hmm

E-DK-S24A ･寸法 : 800W×800D×1070～1370Hmm ･質量 : 42kg

E-DK-S25A ･寸法 : 1200W×800D×1070～1370Hmm

システムラック

脇机

高倍率防風カバー

高倍率防風カバー

防風カバー

確認ユニット測定位置

確認ユニット測定位置

W

D

670

H

420

700

1070400

H

透明アクリル板

DW透明ビニールシート

ライトガイド

CCDカメラ（オプション）

顕微鏡

（オプション）

顕微鏡（別売）

ライトガイド

CCDカメラ（オプション）

（オプション）

微動ツマミ

スタンド部

顕微鏡

焦点距離

60

X25倍

115 70

フレキシブルアーム

微動ツマミライトガイド

固定ツマミフレキシブルアーム

1050

904

1070 750

83 83 72312 15

照明装置

白黒カメラモニタシステム

カラーカメラモニタシステム


226



DT58526 ･ピックアップ移動式駆動部用

（受注対応）

E-MC-S24B 校正面 : 約3.1μmRa ･倍率校正および触針チェック用

実測値表記

E-MC-50B 狭範囲精度 : 0～10μm ±0.1μm ･倍率校正用

広範囲精度 : 0～400μm ±1.0μm

E-MC-S34A ･触針下向き測定用

･ C1600D, C2600E用

E-MC-S48A ･触針下向き測定用

･ S3000A標準付属品

E-MC-S51A ･触針上向き測定用

･ C2600E, S3000A用

E-MG-S02A ･ピン径 7.9mm

･寸法 : 144W×38D×49Hmm

･ピッチ 15mm

E-MG-S24A 先端半径 : 0.1μm以下

材　　質 : ナイフエッジダイヤ入　力 : 90V～240V ･入力電圧をご指定ください。 E-TF-R25A 出　力 : 100V ･寸法 : 300W×350D×350Hmm 容　量 : 2.1KVA ･質量 : 45kg 入　力 : 100V ･寸法 : 150W×415D×250Hmm E-TF-S14A 出　力 : 100V ±2% ･質量 : 22kg 容　量 : 1KVA

テープ張り治具

標準片倍率校正器マスターボール校正ユニットマスターボール校正ユニットマスターボール校正ユニット

ピッチゲージ

触針チェックマスター電源トランスボックス小型無停電電源装置

ø99

95

ø35

ø100

18080

50

60

89

129 35

125.5129

79

10

149

52

130120

1016

72

38

90°

ø64

28.2

1（稜線長）

N.P

280

300

16

250

150

8560

46

ブロックゲージマスターボール ø12.7mm(1/2)

Y方向調整用テーブル 25

71＋（ブロックゲージ）



227


E-DT-SM10A 5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･一般測定用

4mN ･標準付属品

E-DT-SM11A 5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･細穴用

4mN ･最小内径φ5mm

E-DT-SM12A 5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･極細穴用

4mN ･最小内径φ3mm

E-DT-SM13A 5μmR, 90° 円錐ダイヤ, ･深溝用

4mN ･最大深さ7mm

E-MC-S24B 校正面 : 約3.1μmRa ･倍率校正および触針チェック用

実測値表記･標準付属品 E-WJ-S64A ･標準付属品 E-WJ-S80A E-WJ-S85A

E-WJ-S88A

DT57506 DT57507 E-WJ-S86A E-ST-MAC

010 2050

E-CS-S26A ･ φ6用

E-SC-S248A 9pin Windowsパソコン･通信用サンプルプログラム付き

に対応

ピックアップ

ピックアップ

ピックアップ

ピックアップ

標準片

調整具（後側用）

調整具（前側用）

ノーズピース（円筒用）

ノーズピース（平面用）

長穴用延長アダプタ

横方向測定用アダプタ

穴測定用アダプタ

マグネットスタンド

ポストマウントホルダ

ポストマウント

RS-232Cケーブル

E35A付属品

2.9 1.5

68.656 12.6

12.3

ø9.

5

4 1.5

4.5

68.341.214.5 12.6

ø9.

5

2.7 1.5

2.7

68.341.214.5 12.6

ø9.

5

2.8 1.5

68.656 12.6

7.2

ø9.

5

ø10

ポストマウントホルダ 0102050

ポストマウント E-CS-S26A

M4

マグネットスタンド E-ST-MAC


228



E-ST-S130A ･質量 : 約18kg

E-DT-SE18A 5μmR90° 円錐ダイヤ,

4mN

E-DT-SE19A 2μmR60° 円錐ダイヤ, ･標準付属

0.7mN

E-MA-S54A

E-MA-S56A ･寸法 : 80W×85D×45Hmm

･質量 : 約400g　･充電時間 : 4時間

E-MA-S61A ･寸法 : 203W×58D×67Hmm

･質量 : 約1.2kg

E-MA-S58A ･寸法 : 800×600×400mm

･キャスター付き

E-MA-S62A 測定可能外径 : φ60mm以上･スキッド式測定専用

･ロールの外径に駆動部を載せて測定

E-MA-S63A 測定可能外径 : φ60mm以上･スキッド式測定専用

･駆動部スぺーサ付き

E-MA-S64A ･増幅指示部防塵対策用

E-DH-S107A ･スキッド式測定専用 E-DH-S17A ･スキッド式測定専用

E-CA-S62A ･ 50mm駆動部を

手動コラム（E-CL-S26A）に取付け E-SC-S288A 9pin Windowsパソコンに対応･ケーブル接続時

小型測定台

ピックアップ

ピックアップ

タッチペン

充電器

バッテリー

キャリングケース

ロール用足

ロール用足

防塵カバー

全姿勢

ピックアップホルダ

横トレース

ピックアップホルダ

駆動部

アタッチメント

RS-232Cケーブル

S130A付属品

410

398

200

413

15

27.5

（5.5） 9.1

ø21.7

4.5

32 53

85

27.5

（5.5） 9.1

ø21.7

4.5

32 53

85

52

ø16ø60 20 20

220

100



229

名称型式装置型式対応システム摘要

PCカード E-MU-S50A 130A, 480A ･ 15MB

セラミックペン（赤） HC-503-RD 600D ･ 5本/箱

記録紙

E-CH-S21A

130A, 480A ･ 10巻/箱　･幅58mm×25m

E-RC-S24A E35A高速プリンタ

記録紙 E-CH-S25A E-RC-S23A, E-RC-S25A E35A小型プリンタ, E35A小型プリンタⅡ ･ 10巻/箱　･幅58mm×7m

E-RC-S01A/B 100B, 300B, 400B, 500B, 700B, 720B ･ 10巻/箱　･幅50mm×40m

記録紙

E-CH-50A

550A, 900A/B, 920A, 730A, 470A, 740A

E-RA-S01A 200B

E-RA-S03A 200C

記録紙

E-CH-S05B

570A, 590A, 750A, 790A ･ 10巻/箱　･幅60mm×40m

E-RC-S09A 440A, 470A, 740A, 900B, 920B

印字紙

E-CH-S02A

110A, 350A, 550A, 470A ･ 20巻/箱

730A, 740A, 920

記録紙 JIS No.121 E-RC-XY16 600B/C/D ･ 100枚/冊　･ A3リーフ

記録紙 SP-319 E-RC-XY17 600B/C/D ･ 10巻/箱

インクカートリッジ

IC1BK04

EM-900C/930C

･クロ

IC3CL04 ･カラー（3色一体型）

インクリボン

E-IR-S01A

100A, 350A, 550A, 470A

730A, 740A, 920A

消耗品


230


表面性状　規格解説　〉〉〉

表面性状（表面粗さ・うねり）定義と触針式表面粗さ測定

触針と位相補償フィルタによる輪郭曲線 JIS B0601 ：

,01/ ISO 4287 ：

,97 及びJIS B0651：

,01/ ISO 3274 ：

,96

λsと触針先端 rtipの選定 λc（mm） λs（μm） λc/λs rtip（μm）

0.08 2.5 30 2

0.25 2.5 100 2

0.8 2.5 300 2（Rz＞3μm時 5も可）

2.5 8 300 5または2

8 25 300 10, 5または2

粗さ評価手順 JIS B0633 ：

,01/ ISO 4288 ：

,96

上限値・16%ルール（基準）

粗さが最大に見える部分を測定し、規格値を超える基準長数が測定基準長総数の16%以下、例えば次のとき合格。 ■ 1個目測定値が、規格値の70%を超えない ■ 最初の3個の測定値が規格値を超えない ■ 最初の6個の測定値の内、2以上が規格値を超えない ■ 最初の12個の測定値の内、3以上が規格値を超えない又はμ＋σ値が規格値以下のとき合格。 σ：標準偏差

下限値・16%ルール（Lで表示）

粗さが最小に見える部分を測定し、 ■ 規格値を下回る基準長個数が測定基準長総数の16%以下又はμ－σ値が規格値以上のとき合格。

対象面全域で求めた測定値のすべてが規格値以下のとき合格。

最大値・maxルール（maxの添字が付いている場合）

筋目に直角方向に測定

触針式変位型ピックアップ

実表面

実表面に垂直な断面

測定断面曲線

λs 輪郭曲線フィルタ

触針歪・ノイズ

断面曲線 P

断面パラメータ

λc 輪郭曲線フィルタ

位相補償フィルタカットオフ値の振幅50% 位相ずれ無く歪み小

粗さ曲線 R

振幅伝達率

粗さパラメータ

形状偏差曲線（粗さ曲線のための平均線：旧ろ波うねり曲線）

λf 輪郭曲線フィルタ

ろ波うねり曲線 W （旧ろ波中心線うねり曲線）

うねりパラメータ

X軸 Z軸

θ

rtip

触針先端形状 θ＝60

｡（又は90

｡）円錐

rtip＝2μm（又は5, 10μm）

100%

50%

0

粗さ曲線うねり曲線

カットオフ値（波長）λc

λs λc λf 波長λ

1 表面を観察し、加工方法を周期性波形か、非周期性波形か目視判断 2 許容値が図示されているとき、右表から測定条件を決定 3 許容値が図示されていないとき 3 -1 推定される測定値に対応する測定条件を右表から選択し測定 3 -2 その結果の測定値に対応する測定条件に変えて再測定 3 -3 測定結果が測定条件を満たさないときは、 3 -2を繰り返す 3 -4 測定結果が測定条件を満たすとき、これで最終測定値とする但し非周期性曲線では更に短い基準長さで測定し、条件満足時それに変更 4 測定値から次のルールで図示許容値に合格するか判定


231

粗さ R パラメータ測定条件 JIS B0633 ：

,01/ ISO 4288 ：

,96

断面 P パラメータ測定条件 JIS B0633 ：

,01/ ISO 4288 ：

,96

触針先端半径 λs λc 基準長数n 基準長rp 評価長rn

2μm 2.5μm 形体（平面、直線）の長さ

形体の長さ 5μm 8μm 無し 1

10μm 25μm

うねり W パラメータ測定条件 ISO 1302 ：

,02

λc λf 基準長rw基準長数 m 評価長rn

粗さ用λc nλc（n ：図示要） m ：図示要 λf mλf

表面性状の図示方法 ISO 1302 ：

,02

粗さ曲線の基準長さ・評価長さ JIS B0601 ：

,01/ ISO 4287 ：

,97 断面曲線 P

平均線

山

山頂

谷

谷底

粗さ曲線 R平均線

粗さ曲線要素

Xs

基準長さ rr＝カットオフ値 λc

評価長さ rn＝n×rr（n ：標準5）

トレース長さ Lt＝Lp＋Ln＋Lp

後予備長さ rp（λc/2）

前予備長さ rp（λc/2）

rr rr rr rr

U “2RC” 0.008–2.5/Rz3max 12.3

加工無加工有

除去加工有無

加工方法・表面処理表面性状測定条件・パラメータ

削り代（mm）二番目の表面性状測定条件・パラメータ

パラメータ

曲線種類

許容限界値（μm）

e d

c

a

b 3 ＝ L“2RC”0.008 － 0.8/Ra75 0.2

研削

U 0.008 － 2.5/Rz3max 12.3

図示例

通過帯域 λs － λc（mm）標準値は下表

評価長 rn中基準長数n （標準 5 ）

上限値 U又は下限値 L

フィルタ位相補償又は 2RC

合否判定 16% 又は max

筋目の方向＝,⊥, X, M, C, R, P

備考：標準条件（赤）は図示しない。

追加指示項目（青）は必要なとき図示。

パラメータ数が増えたら下に改行して図示。

非周期的波形（ランダム波形）周期的波形及び

RSmの評価

測定条件設定

Ra, Rq, Rsk, Rku, RΔqの評価

Rz, Rv, Rp, Rc, Rtの評価基準長さ

rr（mm）＝カットオフ λc（mm）

評価長さ rn（mm）＝

rr × 5Raの範囲（μm） Rzの範囲（μm） RSmの範囲（mm）

超え以下超え以下超え以下

0.006 0.02 0.025 0.1 0.013 0.04 0.08 0.4

0.02 0.1 0.1 0.5 0.04 0.13 0.25 1.25

0.1 2 0.5 10 0.13 0.4 0.8 4

2 10 10 50 0.4 1.3 2.5 12.5

10 80 50 200 1.3 4 8 40


232



高さ方向の振幅平均パラメータ

RaPaWa

算術平均粗さ断面曲線の算術平均高さ算術平均うねり

基準長さにおけるZ（x）の絶対値の平均

RqPqWq

二乗平均平方根粗さ（旧RMS）断面曲線の二乗平均平方根高さ二乗平均平方根うねり

基準長さにおけるZ（x）の二乗平均平方根

Ra75 中心線平均粗さ（旧Ra, AA, CLA）

カットオフ値λc75の2RCフィルタによる粗さ曲線（75%）の評価長さにおけるZ（x）の絶対値の平均

JISのみの付属規格で、旧JIS B0601：,82のRaと

同一

Rq, Pq, Wq = Z2 (x) dx1rr

Ra, Pa, Wa = Z (x) dxrr

0

1rr

Ra75= Z (x) dxrn

0

1rn

RpPpWp

粗さ曲線の最大山高さ断面曲線の最大山高さうねり曲線の最大山高さ

基準長さにおける輪郭曲線の山高さZpの最大値

Rp, Pp, Wp = max (Z(x))

RcPcWc

粗さ曲線要素の平均高さ断面曲線要素の平均高さうねり曲線要素の平均高さ

基準長での輪郭曲線要素の高さZtの平均

高さ方向の山・谷のパラメータ

RvPvWv

粗さ曲線の最大谷深さ断面曲線の最大谷深さうねり曲線の最大谷深さ

基準長さにおける輪郭曲線の谷深さZvの最大値

Rv, Pv, Wv = min (Z(x))

RzPzWz

最大高さ粗さ（JIS ,94でRy）

断面曲線の最大高さ最大高さうねり

基準長さにおける輪郭曲線の山高さZpの最大値と谷深さZvの最大値との和

Rz = Rp + Rv

旧JISのRz（十点平均粗さ）とは定義が異なる

RtPt

Wt

粗さ曲線の最大断面高さ断面曲線の最大断面高さ（JIS

,70/

,82でRmax）

うねり曲線の最大断面高さ

評価長さにおける輪郭曲線の山高さZpの最大値と谷深さZvの最大値との和

Rt, Pt, Wt = max (Zpi) + max (Zvi)

Rz jis 十点平均粗さ（JIS ,94でRz）

粗さ曲線で最高の山頂から高い順に5番目までの山高さの平均と、最深の谷底から深い順に5 番目までの谷深さの平均の和

JISのみの付属規格でJIS,94準拠

,82までの旧JISのRzとは定義が異なる

輪郭曲線要素＝一つの山＋隣の谷

または、一つの谷＋隣の山

m

i = 1

1m

Rc, Pc, Wc = Σ Zti

Rz JIS= (Zpj + Zvj)Σ5

j = 1

15

表面性状（粗さ・うねり）基本パラメータと解析曲線

rr

0

基準長さrr

Zp1 Zp2 Zpi

Rp

基準長さrrZv1 Zv2 Zvi

Rv

基準長さrr

Rv

Rp

Rz

評価長さrn

Zv2

Zp2

RtPtWt

rr Zv4

Zp5

基準長さrr

Zt2Zt1 ZtmZt3

Zti

基準長さrr

Zp2ndZp5thZp4thZp3rd

Zp1st

RzJIS

Zv5th Zv3rd Zv4th Zv2nd Zv1st

基準長さrr

Ra

基準長さrr

Rq2

評価長さrn

Ra75


233

横方向のパラメータ

RSm

PSmWSm

粗さ曲線要素の平均長さ（JIS

,94でSm）

断面曲線要素の平均長さうねり曲線要素の平均長さ

基準長さにおける輪郭曲線要素の長さXsの平均

m

i = 1

1mRSm, PSm, WSm = � Xsi

複合パラメータ

RΔqPΔqWΔq

粗さ曲線の二乗平均平方根傾斜断面曲線の二乗平均平方根傾斜うねり曲線の二乗平均平方根傾斜

基準長さにおける局部傾斜dz/dxの二乗平均平方根

= Z (x) dx2rr

0

1rr

R�qP�q

W�q

ddx

高さ方向の特徴平均パラメータ

RskPskWsk

粗さ曲線のスキューネス（ゆがみSk）断面曲線のスキューネスうねり曲線のスキューネス

基準長さにおけるZ（x）の三乗平均を二乗平均平方根の三乗で割ったもの

RkuPkuWku

粗さ曲線のクルトシス（とがりku）断面曲線のクルトシスうねり曲線のクルトシス

基準長さにおけるZ（x）の四乗平均を二乗平均平方根の四乗で割ったもの

Rsk = Z (x) dx3rr

0

1Rq3

1rr

負荷曲線・確率密度関数のパラメータ

粗さ曲線の負荷曲線（BAC）断面曲線の負荷曲線うねり曲線の負荷曲線

切断レベルcの関数として表された輪郭曲線要素の負荷長さ率の曲線

Rmr(c)Pmr(c)Wmr(c)

粗さ曲線の負荷長さ率（旧tp）断面曲線の負荷長さ率うねり曲線の負荷長さ率

切断レベルc（%/μm）における輪郭曲線要素の負荷長さMr（c）の評価長さに対する比

RmrPmrWmr

粗さ曲線の相対負荷長さ率断面曲線の相対負荷長さ率うねり曲線の相対負荷長さ率

基準切断レベルCoと輪郭曲線の切断レベル差 Rδcによって決まる負荷長さ率

ここに

Rmr = Rmr (c 1)C1 = C0 -- R�c, C0 = C (Rmr0)

RδcPδcWδc

粗さ曲線の切断レベル差（プラトー率）断面曲線の切断レベル差うねり曲線の切断レベル差

二つの負荷長さ率に一致する高さ方向の切断レベルcの差

R�c =C(Rmr1) --C(Rmr2) : Rmr1<Rmr2

粗さ曲線の確率密度関数（ADF）断面曲線の確率密度関数うねり曲線の確率密度関数

評価長さにわたって得られる高さZ（x）の確率

Rmr (c) = � Mr(c)i (%)m

i = 1

100rn

Rku = Z (x) dx4rr

0

1Rq4

1rr

基準長さrr

Xs1 Xs2 Xs3 Xsi Xsm

評価長さrn輪郭曲線

Mr(c) 1 Mr(c) i

c

確率密度 0% 100% 0Rmr (c)

100%

0%

Rt

負荷曲線確率密度関数

評価長さrn

Mr(c) 1 Mr(c) i

cRtPtWt

基準長さrr

dZ (x) / dx

0

C (Rmr1)

C (Rmr2)

100% 又は Rt (μm)

0% Rmr1 Rmr2 100%

Rδc

0

C0

C1

100% 又は Rt (μm)

0% Rmr0 Rmr 100%

Rδc

確率密度

Rku > 3

Rku < 3

確率密度

Rsk > 0

Rsk < 0


234



表面性状（粗さ・うねり）応用パラメータと解析曲線

フィルタ処理 JIS B0671-1 ： ,02/ ISO 13565-1： ,96

JIS B0671-2 ： ,02/ ISO 13565-2：

,96

断面曲線に位相補償フィルタで平均線1を算出

平均線の下の部分を除去した曲線2を算出

曲線2に位相補償フィルタで平均線3を算出

断面曲線から平均線3を差し引いて上面平滑化粗さ曲線4を算出

正規確率紙上の負荷曲線による高さ特性　 JIS B0671-3/ ISO 13565-3

上記平滑化粗さ曲線R（又は断面曲線P）から、評価長さについて負荷曲線を描く負荷曲線を正規確率紙上に描き、上側プラトー領域と下側谷領域に分ける

Rpq（Ppq）Rvq（Pvq）Rmq（Pmq）

パラメータ：プラトー領域にあてはめられた回帰直線の傾斜パラメータ：谷領域にあてはめられた回帰直線の傾斜パラメータ：プラトー領域回帰直線と、谷領域回帰直線の交点の負荷長さ率

線形負荷曲線による高さ特性　

RkRpkRvkMr1Mr2

コア部のレベル差：コア部の上側レベルと下側レベルの差突出山部高さ：コア部の上にある突出山部の平均高さ突出谷部深さ：コア部の下にある突出谷部の平均深さコア部の負荷長さ率：突出山部とコア部の分離線と負荷曲線の交点の負荷長さ率コア部の負荷長さ率：突出谷部とコア部の分離線と負荷曲線の交点の負荷長さ率

測定条件 JIS B0671-1/ ISO 13565-1カットオフ値 λc 評価長さrn

0.8 mm 4 mm2.5 mm 12.5 mm

プラトー構造表面の潤滑性評価パラメータ

･ 40%長等価値線を引き、コア部と突出部を分割･突出部の等価三角形によりRpk, Rvkを算出

Rmax・DINRz・DIN

最大高さ粗さ最大高さ粗さ

評価長さrn（標準n = 5）中の基準長さrr 毎の最大高さZiを求めたとき、その最大値が Rmax・DIN、その平均値がRz・DIN

企業規格パラメータ

ドイツ旧規格 DIN4768/1：,90

R3z 三位点粗さ

評価長さrn（標準n = 5）中の基準長さrr毎の三番目に高い山頂と三番目に低い谷底間の高さ3ziを求め、その平均値がR3z

PcPPIHSC

ピークカウント　ASME B46.1：,95 ピークスパーインチ　SAEJ911 ハイスポットカウント

負基準レベル－Hを超えてから正基準レベル＋ Hを超えたとき1山とする方法で計数する評価長さ中の山数 PPIでは、1inch（25.4mm）当たりの山数 HSCでは、負基準レベルを零とする

Rz･DIN = Σ　Zin

i = 1

1n

R3z = Σ 3zin

i = 1

1n

JIS B0671：’02/ ISO 13565：’98

評価長さrn = 5 ×rr

Z1Z2 Z3 Z4

Z5 = Rmax•DIN

rr

評価長さrn = 5 ×rr

3z1 3z23z3 3z4

3zn

rr

評価長さrn

H

-H

リセット

1カウント 2カウント

mカウント

リセット平均線リセット

平均線1

断面曲線

曲線2

平均線1

曲線2

平均線3

平滑化粗さ曲線4

評価長さX

40%長最低傾斜直線

Rpk

Rk

Rvk

Rt (μm)

0

0% Mr1 Mr2 100%

突出山部断面積 A1

等価三角形断面積 A1

等価直線

突出谷部断面積 A2

等価三角形断面積 A2

平滑化粗さ曲線4突出山部

コア部

突出谷部

評価長さrn

Rpk

Rk

Rvk

Rt (µm)

0

0% Mr1 Mr2 100%

等価直線

平滑化粗さ曲線4

谷領域評価長さrn

プラトー領域

2 µm

1 µm

0 µm

-1 µm

-2 µm

RpqRmq

Rvq

UPL LPL UVL LVL

0.1% 1 10 30 50% 70 90 99.9%99

-3s -2s s 0 -s 2s 3s正規確率紙スケール表示負荷長さ率 Mr（%）


235

うねりモチーフ：包絡うねり曲線からうねりモチーフ上限長さによって　導かれるモチーフ

B うねりモチーフ上限長さ：うねりモチーフ長さの上限値 AW うねりモチーフの平均長さ：評価長さでのうねりモチーフ長さAWiの算術平均値

（n ：うねりモチーフの数）

W うねりモチーフの平均深さ：評価長さでのうねりモチーフ深さHWjの算術平均値

Wx うねりモチーフの最大深さ：評価長さでのHWjの最大値 Wte 包絡うねり曲線の全深さ：包絡うねり曲線の最高点から最低点までの縦方向距離

粗さモチーフ：粗さモチーフ上限長さによって導かれるモチーフ：うねりモチーフと分けるための粗さモチーフ長さの上限値 A 粗さモチーフ上限長さ

包絡うねり曲線：粗さモチーフ山頂点を直線で連ねた曲線：評価長さでの粗さモチーフ長さARiの算術平均値 AR 粗さモチーフの平均長さ

（n：粗さモチーフの数）

R 粗さモチーフの平均深さ：評価長さでの粗さモチーフ深さHjの算術平均値

Rx 粗さモチーフの最大深さ：評価長さでのHjの最大値

モチーフパラメータ

AR = Σ ARin

i = 1

1n

R = Σ Hj m = 2nm

j = 1

1m

AW = Σ AWin

i = 1

1n

W = Σ HWj m = 2nm

j = 1

1m

モチーフ　 Motif局部山2個に挟まれた曲線部分

モチーフ深さ左山頂から谷底までの深さHj

及び、谷底から右山頂までの高さH j + 1

モチーフ長さ 1モチーフの横方向長さ ARi（粗さモチーフ） AWi（うねりモチーフ）

図示方法 ISO 1302：,02

粗さモチーフ

うねりモチーフ

（標準値は指示不要）

測定条件

標準値：rn=16mm, A=0.5mm, B=2.5mmA（mm） B（mm） rn（mm） λs（μm）

0.02 0.1 0.64 2.50.1 0.5 3.2 2.50.5 2.5 16 82.5 12.5 80 25

：標準値

測定条件転がり円半径 rt ip：0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8,25mm

rw 基準長さ：0.25, 0.8, 2.5, 8, 25, 80mm

傾斜補正転がり円うねり断面曲線

λf フィルタでうねりより長い成分を除去 λf 低域カットオフ値：0.8, 2.5, 8, 25mm

標準値：8 mm

Z（x）転がり円うねり曲線

WEA 転がり円算術平均うねり

評価長さrnの転がり円うねり曲線Z（x）におけるすべてのZ（x）の絶対値の平均

WEM 転がり円最大高さうねり

基準長さrwの転がり円うねり曲線を平均線に平行な二直線で挟んだ縦幅

転がり円うねりパラメータ JIS B0610：’01

JISだけのパラメータ

JISだけのパラメータ

WEA= Z (x) dxrn

0

1rn

JIS B0631：’00/ ISO 12085：’96

λs A rn R パラメータ記号許容値

A B rn W パラメータ記号許容値

rn粗さモチーフ

断面曲線

ARi

Hj Hj + 1

包絡うねり曲線

ARi (AWi)

Hj

局部山頂

Hj + 1

局部山頂

rnうねりモチーフ AWi

包絡うねり曲線

HWj HWj + 1

Wx

転がり円うねり測定曲線

rw

rtip

転がり円うねり曲線 Z (x)

基準長さrw

WEM

転がり円うねり曲線 Z (x)

評価長さrn

WEA


236



表面粗さJIS規格の変遷と測定のヒント

JIS B0601：,52 JIS B0601：

,70

規格番号

比較仕様

JIS B0601：,01

ISO 4287：,97/ISO 1302：

,02

JIS B0601：,94

JIS B0031：,94

JIS B0601：,82

JIS B0031：,82

フィルタ無・アナログ信号フィルタ無・アナログ信号フィルタ無・アナログ信号フィルタ無・デジタル信号 λsフィルタ・デジタル信号

評価する範囲 1基準長さ 1基準長さ 1基準長さ ---- 形体の長さ

最大高さ Hmax（S表示） Rmax（S表示） Rmax ---- Pt

十点平均粗さ ---- Rz（Z表示） Rz ---- ----

---- 2RC・短波長カットオフ λc 2RC・短波長カットオフ λc 位相補償・短波長 λc 位相補償・帯域 λs ---λc

評価する範囲 ---- 1測定長さ≧3λc 1測定長さ≧3λc 基準長さλc毎、rnで平均基準長さλc毎、個々に

最大高さ ---- ---- ---- 最大高さ Ry 最大高さ Rz

十点平均粗さ ---- ---- ---- Rz RzJIS

中心線平均粗さ ---- Ra（a表示） Ra Ra75 Ra75

算術平均粗さ ---- ---- ---- 算術平均粗さ Ra 算術平均粗さ Ra

山谷平均間隔 ---- ---- ---- 凹凸の平均間隔 Sm 粗さ曲線要素の平均長さ RSm

局部山頂間隔 ---- ---- ---- 局部山頂平均間隔 S ----

負荷長さ率 ---- ---- ---- 負荷長さ率 tp（基準長さ毎）負荷長さ率 Rmr（評価長さ全体で）

他の高さパラメータ ---- ---- ---- ---- Rp, Rv, Rt, Rc, Rq

高さ特徴パラメータ ---- ---- ---- ---- Rsk, Rku

複合パラメータ他 ---- ---- ---- ---- RΔq, Rδδc, Rmr

0.25mm 0.3, 1, 3, 5, 10mmから選択 0.8μm以下 0.8μm以下 0.1～0.5μm 0.1～0.5μm

0.8mm 0.3, 1, 3, 5, 10mmから選択 0.8～6.3μm 0.8～6.3μm 0.5～10μm 0.5～10μm

2.5mm 0.3, 1, 3, 5, 10mmから選択 6.3～25μm 6.3～25μm 10～50μm 10～50μm

三角記号表面記号又は三角記号

0.25mm ---- ---- ---- 0.02～0.1μm 0.02～0.1μm

0.8mm λc 0.8mmのみ 12.5μmRa以下 0.1～2μm 0.1～2μm

2.5mm ---- ---- 12.5～100μmRa 2～10μm 2～10μm

---- 表面記号又は三角記号

平均数点の測定値の平均値で数点の測定値の平均値で数点の測定値の平均値で全基準長さ毎の平均値で ----

比較判定比較判定比較判定比較判定

16% ---- ---- ---- ----

16%ルール

範囲外数が16%以下

最大 ---- ---- ---- ---- maxルール

全ての測定値が範囲内

断面曲線

粗さ曲線

高さパラメータ Rz, Rmax, Ry で基準長さ設定

図示法

平均パラメータ Raの大きさで λc 設定

図示法

合否判定法

0.8S以下 1.5S～6S 12S～25S 35S以上

1.6S_____0.25 上限値

0.8S_____0.25 下限値 Rmax＝1.6

Rmax＝0.8

Ry 1.6～0.8

λc 0.25

U 0.008－2.5/Rz 1.5

L －0.25/Rz 0.7

0.2a以下 0.4a～1.6a 3.2a～6.3a 12.5a～25a

3.2 1.6 1.6～3.2 U “2RC”－0.8/Ra75 3.1

L “2RC”－0.8/Ra75 1.5

----


237

測定のヒント

カットオフによる波形歪み

粗さ曲線はカットオフ値λcが小さいと波形歪が大きく振幅減少。

断面曲線P

粗さ曲線 R

位相補償　λc 0.8mm

位相補償　λc 0.25mm

2RC λc 0.25mm 位相ずれによる波形歪み大

パラメータ換算は可能か

Ra/Rz（Rmax, Ry）＝0.25 は、三角波形のみに通用する。実際の波形では比率の幅が大きく換算困難。

矩形波　0.5

正弦波　0.32

三角波　0.25

旋削、フライス削り　0.16～0.26

研削、サンドプラスト　0.10～0.17

ホーニング、ラップ　0.05～0.12

パルス波　0.095（デューティ比5%）

触針先端の入り込み深さと見かけの倍率

粗さ曲線は、横幅に対して縦幅が拡大。谷底が深くて狭く見えるが、実際はかなり入り込む。

三角波の谷底に入り込めない深さ誤差　ε＝rtip（1/cos θ－1）切削加工面ではθ＜15｡程度であり、ε＜0.07μm また、H/L＝1/10～1/100

見かけの断面曲線（縦横倍率の違いで錯覚）

実際の断面曲線と触針

rtip＝2μm

ε θ H

×2000

×20

×2000

×2000 L

rtip＝2μm

tsk total catalogue 07 - kw-ent.co.krkw-ent.co.kr/board/download/cata07-rough_countr.pdf ·...

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