ulvac, inc. korean vol · 2019. 3. 6. · pa (n･m-2) torr (mmhg) bar kg･cm-2 psi (lb･in-2)...

General Vacuum Products Catalogue

Components Division

ULVAC, Inc.

Vol.04Korean

Pa (N･m-2) Torr (mmHg) Bar kg･cm-2 Psi (lb･in-2) atm 물기둥(15℃) m

1 7.500 62x10-3 10-5 1.019 72x10-5 1.450 38x10-4 9.869 23x10-6 1.020 63x10-4

133.322 1 1.333 22x10-3 1.359 51x10-3 1.933 68x10-2 1.315 79x10-3 1.360 73x10-2

105 750.062 1 1.019 72 14.503 8 0.986 923 10.206 3

9.806 65x104 735.559 0.980 665 1 14.223 4 0.967 841 10.009 0

6.894 75x103 51.714 9 6.894 75x10-2 7.030 69x10-2 1 6.804 59x10-2 0.703 702

1.013 25x105 760 1.013 25 1.033 23 14.696 0 1 10.341 6

9.797 82x103 73.489 7 9.797 82x10-2 9.991 0x10-2 1.421 06 9.669 70x10-2 1

1 lb･in-2 = 144 lb･ft-2 , 1 short ton･ft-2 = 0.945 08 atm, psi: pound per square inch

■ 압력의 단위 환산

Pa･m3･s-1 Torr･L･s-1 atm･cm3･s-1 mbar・m3･s-1 molecule・s-1 sccm

1 7.500 62 9.869 23 10 2.651 65x1020 5.921 540x102

0.133 322 1 1.315 79 1.333 22 3.535 23x1019 78.947 4

0.101 325 0.76 1 1.013 25 2.686 78x1019 60

0.1 0.750 062 0.986 923 1 2.651 65x1021 59.215 40

3.771 24x10-21 2.828 67x10-20 3.721 92x10-20 3.771 24x10-20 １ 2.233 15x10-18

1.688 75x10-3 1.266 67x10-2 1.666 67x10-2 1.688 75x10-2 4.477 97x1017 1

molecule is ideal gas (value of 0℃) , sccm: standard cubic centimeter per minute

■ 유량의 단위 환산

■ 배기 속도 및 컨덕턴스의 환산

■ 진공 배기 계산(점성류 영역)

m3･s-1 L･s-1 L･min-1 cm3･s-1 m3･hr-1 ft3･s-1

1 103 6x104 106 3600 35.31

10-3 1 60 103 3.6 3.531x10-2

1.667x10-5 1.667x10-2 1 16.67 0.06 5.885x10-4

10-6 10-3 0.06 1 3.6x10-3 3.531x10-5

2.778x10-4 0.277 8 16.67 2.778x102 1 9.808x10-3

2.832x10-2 28.32 1.699x103 2.832x104 1.019 52x102 1

(1) 가스를 QL 도입하면서 압력을 일정하게 유지하는 경우 진공 용기 내부 압력Pc는이하의 수순으로, A의 식으로 구합니다.

(2) 용적V의 진공 용기를 압력P1에서 P2까지 진공 배기하는 경우 시간은, 이하의수순으로 B의 식으로 구합니다. 그리고, 정확도를 높이고자 할 경우 압력 범위를일정 구간으로 구분하여 구간별 계산하여 합산합니다.

배기 시간 Δt 을 구함

Δt=2.3×V/S1× Log10(P1/P2)진공 용기의 압력Pc 을 구함

Pc=(QL+QV)/S1+P0

Ａ B

배관의 컨덕턴스 C을 구함

C=1349 × d4/L × PAV

유효 배기 속도S1을 구함

S1=1/(1/S0+1/C)

오일 로터리 진공 펌프, 드라이 진공 펌프, MBP 등을 사용하는 점성류 영역에서의 진공배기를 하는 경우에 배기 계산 방법을 소개합니다. (실제는 용기, 배관의 형상, 내용물, Leak량, 방출Gas 등에 의한 계산과는 차이가 있으므로 사전에 양해 부탁 드립니다. )

V: 진공 용기 용적V(m3)L: 배관의 길이(m)d: 배관의 직경(m)QL: 도입 가스량(Pa・m

3/sec)QV: 진공 용기 내부의 방출가스량(Pa・m

3/sec)

S0：진공 펌프의 배기 속도(m3/sec)

S1：유효 배기 속도(m3/sec)

PAV: 배관내 평균 압력(Pa)P0: 진공 펌프 개별의 도달 압력(Pa)P1(Pa)>P2(Pa)라 함.

Pc：진공 용기 압력(Pa)C：배관의 컨덕턴스(m/sec)Δt：배기 시간(sec)

Contents

P.6진공 펌프

P.32진공 밸브

P.35진공게이지

P.40프로세스 가스 모니터

(잔류 가스 )

P.42Leak Detector

P.44전원 (RF/DC)

P.50EB 전원/ EB Source

P.54성막 제어

P.57박막 측정

P.58진공 반송 로보트

P.62진공 기기 구성 부품

P.66분자간 상호작용 해석

P.67미량 정밀도 교반기

Contents

■ 진공 펌프 6● 드라이 진공 펌프 8● 드라이 진공 펌프 절전 부속기기 12

● 오일 로터리 진공 펌프 14

● 오일 로터리 진공 펌프 주변기기 18● 오일 로터리 진공 펌프 오일 21

● MBP 22● 터보 분자 펌프 24

● 오일 확산 펌프 28● Sputter Ion 펌프 30

● 티탄 Getter 펌프 31

● Sorption 펌프 31

■ 진공 밸브 31

■ 진공게이지 35● 교정 서비스 JCSS 35● Transducer형 진공게이지 36

● 범용형 진공게이지 39

■ 프로세스 가스 모니터 40

■ Leak Detector 42

■ 전원(DC/RF) 44● DC 전원 44

● 소용량DC 전원 45

● DC 전원 Accessory 46

● DC Pulse전원 47

● RF 전원 48

■ EB 전원/EB건 50● EB 전원 51

● EB건 52

■ 성막 제어 54● 수정 발진식 성막 컨트롤러/ 센서/ 수정판 54

● 광자식 프로세스 모니터 56

● 장치 진단 시스템 56

■ 진공 반송 로보트 57

■ 박막 측정 58● 분광 Ellipsometer 58

■ 진공 기기 구성 부품 62● 진공 배관 부품 62

● 초고진공 배관 부품 64

■ 분자간 상호작용 해석 66

■ 미량 정밀도 교반기 67

4

장치におけるコンポーネント의 代表적인 사용예

스퍼터링 장치

진공 열처리로

진공 부품의 사용 예

진공 밸브(진자 밸브)

터보 분자 펌프

드라이 진공 펌프/절전화 부속기기


진공 밸브(진자 밸브)

프로세스 가스 모니터

진공게이지(Multi Ion Gauge)

진공 반송 로보트

진공 밸브(진공 앵글 밸브)

이상 방전 방지DC 전원

매칭 박스RF 전원컨트롤 판넬



진공 밸브(앵글 밸브)

Oil Mist Trap

오일 로터리 진공 펌프

오일 확산 펌프

광자식 프로세스 모니터

프로세스 가스

5

증착 장치

Leak Test 장치

Oil Mist Trap


MBP

Leak Detector

진공게이지(Pirani 진공게이지)

He 가스


수정 발진식 성막 컨트롤러/센서


EB건



Oil Mist Trap

오일 로터리 진공 펌프EB 전원

EB건 컨트롤러


MBPRoot형

드라이 진공 펌프나 오일 로터리 진공펌프의 배기 속도가 저하하는 압력대에서배기 속도를 증 폭시키는 것이 가능.

진공 펌프 ▶Selection Guide

Selection Guide

6


수 만rpm의 고속 회전하는 터빈날개에의해 고진공～ 초고진공을 만듬. 연결 배기가능한 것이 특징.

드라이 진공 펌프다단 Root형

깨끗한 배기가 가능하며 오일과 활성가스가 반응하지 않기 때문에 CVD, Etching 프로세스에 유효.

Sputter Ion 펌프

스퍼터링된 활성 티탄에 의해 Getter작용을 이용한 초고진공 펌프. 회전 부분이없는 것이 특징.

티탄 Getter 펌프

티탄을 직접, 가열 증발시켜 활성화 된티탄에 의해 기체 분자를 흡착 배기시킴.

오일 로터리 진공 펌프Rotor형

압축효율에 우수하여 저진동. 공업용에가장 애용되고 있는 진공 펌프.

오일 로터리 진공 펌프피스톤형

견고하고 비교적 이물에 강함. 적절한 정기유지보수에 의해 장기 사용이 가능.


오일의 증기 분사를 이용하여 기체를 배기. 오일 로터리 진공 펌프와의 조합으로고진공을 만듬

전자가스 분자이온티탄원자

N S

+- -

티탄

티탄

회전방향

회전방향

배기구(저진공측)

1st로터

1st스테이터

2nd로터

2nd스테이터

Pa 1E-10 1E-9 1E-8 1E-7 1E-6 1E-5 1E-4 1E-3 1E-2 1E-1 1E+0 1E+1 1E+2 1E+3 1E+4 1E+5

mbar 1E-12 1E-11 1E-10 1E-9 1E-8 1E-7 1E-6 1E-5 1E-4 1E-3 1E-2 1E-1 1E+0 1E+1 1E+2 1E+3

Torr 7.5E-13 7.5E-12 7.5E-11 7.5E-10 7.5E-9 7.5E-8 7.5E-7 7.5E-6 7.5E-5 7.5E-4 7.5E-3 7.5E-2 7.5E-1 7.5E+0 7.5E+1 7.5E+2

PVD series

PKS series

VS series

LR/HR/UR series

CR series

GR series

VD series

LS series

PMB series Ver.D

PRC series

PMB-C series

UTM-FW/FH series

UTM300B

Product

Dry Vacuum Pump

Oil Rotary Vacuum Pump

Mechanical Booster Pump

Turbo Molecular Pump

PST series

UTM-MI series

PGT series

Oil Diffusion Ejector Pump

Sputter Ion Pump

Titanium Getter Pump

Oil Diffusion Pump

UTM series

ULK series

PFL series

PBL series

드라이 진공 펌프Screw 형

로터와 실린더로 나누어진 사이로 들어간기체는 로터의 회전에 의해서 이송된다.

Cylinder

Rotor

Inlet

Outlet

먼지를 포함한 배기의 예와 주의 사항

펌프 대책: 오일 로터리 진공 펌프→ 오일교환, 유종 변경의 검토오일 필터 추가

드라이 진공 펌프→ 흡기구로의 퍼지가스, 가스 밸러스트■ 흡기측 대책: Dust Trap■ 배기측 대책: 먼지에 의한 폐쇄로 가압 파열위험의 방지

가연성 가스 배기의 예와 주의 사항

■ 펌프 대책: 오일 로터리 진공 펌프→He Tight 사양, 방폭 모터,정전기벨트, Oil Mist Trap→He Tight 사양

드라이 진공 펌프→GR 시리즈■ 흡기측 대책: 도전성 배관, N2 퍼지에 의한 희석■ 배기측 대책: 도전성 배관, N2 퍼지에 의한 희석

수증기 배기의 예와 주의 사항

■ 펌프 대책: 오일 로터리 진공 펌프→ 가스 밸러스트 밸브,오일교환, 유수 분리기

드라이 진공 펌프→ 가스 발라스트 사용■ 흡기측 대책: 고온 증기의 경우는 수냉 Trap■ 배기측 대책: 펌프에 물이 침투하지 못하도록 배관 형상

진공 펌프 ▶Selection Guide

Selection Guide(어플리케이션 예 )

7

승화성 가스 배기의 예와 주의 사항

펌프 대책: 고온형 드라이 진공 펌프UR 시리즈＋ 가스 밸러스트 가스(N2)도입

■ 흡기측 대책: 희석 가스 도입(N2 퍼지), 배관 가열■ 배기측 대책: 배관 가열

He Tight 사양은・・・

오일 로터리 진공 펌프의 사양의 한가지로서, He Leak Test을한 후 1×10-6(Pa ・m3/s)이하에 있는 것을 기준으로 한펌프입니다.

승화성 가스는・・・

승화성 가스는 기체 상태에서 냉각이나 압축에 의해 액체의상태를 거치지 않고 고체화합니다 . 전자 디바이스이나디스플레이 제조의 CVD나 Dry Etching 프로세스에서 발생하는승화성 가스에는 딱딱한 물질이 되는 것이 많아 펌프 운전을어렵게 만드는 것이 있습니다.

＜주의 사항＞・수분 응축・오일 열화

진공 펌프는 깨끗한 공기 등의 기체 배기 이외에 이하와 같은 어플리케이션에서도 사용되고 있습니다.

＜주의 사항＞・ 이물 투입・ 배관 폐쇄

＜주의 사항＞・ 반응 생성물(고체)의 석출

＜주의 사항＞・산소 혼입(Leak)・불꽃, 인화물・폭발한계

Va

cuum

Pu

mp

Va

cuum

Va

lve

Va

cuum

Ga

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Pro

cess G

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Va

cuum

Tra

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Accessorie

sM

ole

cula

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na

lyzer

Pre

cis

e M

icro

pla

te P

ad

dle

Mix

er

Product Model Water vapor Flammable gas Dust Sublimation gas

LR series ✔✔ ✔ ✔✔ ✔

HR / UR series ✔✔ ✔ ✔✔ ✔✔✔

LS series ✔✔✔ ✔ ✔

CR series ✔✔ ✔

GR series ✔✔ ✔ ✔✔ ✔

VD series ✔✔ ✔ ✔✔ ✔

VS series ✔✔ ✔ ✔✔ ✔

PVD series ✔✔ ✔

PKS series ✔✔ ✔ ✔✔✔ ✔

Dry Vacuum Pump

Oil Rotary Vacuum Pump

드라이 진공 펌프


✔✔✔: 강력추천. ✔✔: 추천. ✔: 조건에 따라 사용가능

상품명 형식 수증기 가연성가스 Dust 승화성가스

IE3모터에 대해서의 주의사항

Top-Runner 제도에 의해 、IE3모터로 교체중입니다만、기존 모터(IE1)에 비해 기동 전류가 높아지는 경우가 있습니다.특히 대형(5.5KW이상)의 폄프에 관해서는、기동 전류치가기존 표준 효율 모터와 비교해서 높아지고 있습니다.이에 따른 일차 측 전원 설비（브레이커나 과부화 방지 장치）의 재검토가 필요한 경우가 있으므로 구입 시에는 전원 용량을확인해 주세요.

가스 밸러스트는・・・

수증기 등의 응축성 가스를 흡인하는 경우의 대책으로서 , 가스밸러스트가 있습니다. 응축성 가스를 흡인하면 펌프내의 압축공정에서 압축/응축되 액체상태로 오일에 혼입합니다. 드라이진공 펌프의 경우는 내부에 남습니다. 이것을 방지하기 위해,가스 밸러스트 밸브을 열어 압축실에 적량의 공기나 질소를도입하면 응축성 가스는 액화되지 않고 기체상태로 배기가능합니다. 이것을 가스 밸러스트 효과라고 부릅니다.

Roots형 LR series

8

진공 용기의 고속 배기에 최적입니다.

LR/HR1200LR/HR300 LR180

LR90LR60

LR60,LR90,LR180,LR421 배기 속도

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

1 10 100 1000 10000 100000

Pum

pin

g s

peed [

m3/h

r]

LR60 (50Hz) LR60 (60Hz)

LR90 (50Hz) LR90 (60Hz)

LR180 (50Hz) LR180 (60Hz)

LR421

10

100

1000

10000

100000

0 50 100 150 200

Pre

ssu

re [P

a]

Time [sec]

LR60(50Hz) LR60(60Hz)

LR90(50Hz) LR90(60Hz)

LR180(50Hz) LR180(60Hz)

LR421(50/60Hz)

Pressure [Pa]

진공 펌프 ▶드라이 진공 펌프

■200L 진공 용기 배기 시간

• 고속 배기 성능：높은 압력 영역의 배기 속도가 커서 진공 용기의 고속 배기에 적합합니다.

• 고내식성： 주요 부품에는 경도가 높고 내식성에 우수한 특수표면처리를 채용. 내식성 가스 배기 시의 부식을 저감합니다.

*본치는 계산값입니다.. 방출Gas 등에 의해 실제와 다소 차이가있을 수 있습니다.

운전 방식 2 3

N2 유량 [SLM] 5 5～50

*)표준 이외의 운전 방식을 희망의 경우는 주문 시에 지정해 주십시오. *)표준 설정 LR:2 HR,UR:3*)UR421-T,UR1800,UR3601-TT의 N2 유량은 5～200SLM입니다.

Model LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601LR3601-T (TT)

LR3601-R

LR3601-TR (TTR)

최대배기 속도

[m3/h]50Hz 62 112 183

440359 653 1,012 1,701

3,20060Hz 80 126 237 365 701 1,051 1,784

[L/min]50Hz 1,030 1,860 3,100

7,3335,980 10,900 16,900 28,350

53,33360Hz 1,333 2,100 3,950 6,080 11,700 17,500 29,700

[CFM]50Hz 36 66 108

259211 384 596 1001

1,88360Hz 47 74 139 215 413 618 1048

도달압력 [Pa]

[Pa] 5.0 6.7 x 10-1

[Torr] 3.7 x 10-2 5 x 10-3

[mbar] 5.0 x 10-2 6.7 x 10-3

흡기구 (옵션) VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

배기구 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP 표면처리 with

MBP 표면처리 n/a n/a n/a n/a n/a with noneT: noneTT: with

noneTR: noneTTR: with

전원[VAC](Hz) 3상 200 (50/60) , 220 (60) 180 to 240,

380 to 440 (50/60) 200 (50/60), 220 (60) 180 to 240, 380 to 440 (50/60)

전류치(최대치)[A] 7.0 11.8 20.6 48.5 9.6 19 24.2 39.8 58.4 58.4 82 82

냉각수 유량 [L/min] ＞5.0 ＞4.0 ＞5.0 ＞4.0

N2 퍼지[SLM]축 Seal 5

가스밸러스트

0 to 45 none (*1) 0 to 45 0 to 45 none (*1) 0 to 45 none (*1) 0 to 45

질량 [kg] 180 245 335 415 251 371 403 553 660 720 660 720

외형 치수 [mm]

W 378 428 528 668 378 470 528 668

D 900 967 1,042 1,106 910 987 1,213 1,111

H 530 579 645 742 831 951 1,037 1,274

적합 규격 CE(옵션 대응)

*)견적 의뢰시・ 주문 시에는 사용 전압을 알려 주십시오. *)LR3601-R/TR/TTR는 높은 압력대의 배기 속도 성능을 향상시킨 모델입니다.

*)LR300,LR600,LR1200,LR1800의 MBP는 표면처리의 유무가 선택 가능합니다.

*1)용도에 따라 가스유량 조절이 가능 한 사양도 견적 가능합니다.

9

0.001

0.01

0.1

1

10

100

1000

10000

100000

-200 -100 0 100 200 300 400

Pre

ssure

(P

a)

Temperature (℃)

*: Gas partial pressure

and cylinder temperature

of each stage

*: Exhaust

temperature


Root형 HR/UR series Al의 우수한 열전도를 이용하여 배기실 전체를 고온에 균열화하고 있습니다. 반도체・ 전자 디바이스와디스플레이 제조의 CVD, Etching과 같이 승화성 가스가 발생하는 프로세스에 적합합니다.

Al의 우수한 열전도를 이용하여배기실을 고온에 균열화

승화성 가스가 다량으로 발생하는 프로세스에는 UR형으로 대응

■ 액정저온 Poly Silicon CVD 제조라인 다층막 프로세스의 실적

HR형 UR형부생성물에 의해 3개월 후 회전불능 12개월 후 부생성물은 극히 적어

지속적인 운전이 가능한 상태

• 고온에 균열화：CVD, Etching 등에서 발생하는 반응성 가스(승화성 가스)를 기체상태에서 배기하는 것이 가능. 고체화를 억제하는 것이 가능합니다.

• 고내식성： 주요 부품에는 내식성에 우수한 특수표면처리를 채용. 내식성 가스 배기 시의 내식을 저감합니다.

・ 각각의 증기압 곡선의 좌측이 고체(액체), 우측이 기체의 상태를나타냅니다. 희석 가스(가스 밸러스트 가스)을 흘려 펌프의 분압을바꾸는 것에 의해, 프로세스 가스가 기체 상태로 펌프를 통과합니다.

*)HR 시리즈에서 프로세스 가스를 배기한 경우의 한 예입니다.

Model HR60 HR90 UR421-T HR300 HR600 UR600 HR1200 UR1200 UR1800 UR3601-TT

최대배기 속도

[m3/h]50Hz 62 112

410 359 653

653 1,012

1,012 1,701 2,700 60Hz 80 126 365 701 1,051

[L/min]50Hz 1,030 1,860

6,833 5,980 10,900

10,883 16,900

16,867 28,350 45,000 60Hz 1,333 2,100 6,080 11,700 17,500

[CFM]50Hz 36 66

242211 384

384596

596 1,001 1,58960Hz 47 74 215 413 618

도달압력 [Pa]

[Pa] 5.0 10 6.7 x 10-1 1.2 6.7 x 10-1 1.2 6.7 x 10-1

[Torr] 3.7 x 10-2 0.08 5.0 x 10-3 0.01 5.0 x 10-3 0.01 5.0 x 10-3

[mbar] 5.0 x 10-2 0.1 6.7 x 10-3 0.01 6.7 x 10-3 0.01 6.7 x 10-3

흡기구 (옵션) VG50(KF40)

VG80(KF50)

VG100VG80(KF80)

VG100(KF100)

VG150

배기구 KF40 VG50 KF40 KF50

DRP 표면처리 with

MBP 표면처리 with

전원[VAC](Hz) 3상 200 (50/60) , 220 (60) 200 (50/60) , 220 (60) 180 to 240 (50/60) 380 to 440 (50/60)

전류치(최대치)[A] 7.3 11.8 52.5 8.1 13.8 17.3 18.9 22.4 34.9 68.3

냉각수 유량 [L/min] ＞5.0 > 4.0

N2 퍼지[SLM]축 Seal 5

가스밸러스트

0 to 45 0 to 195 0 to 45 0 to 195

통신 방식 3

질량 [kg] 180 245 415 251 371 403 545 720

외형 치수 [mm]

W 378 428 668 378 470 528 668

D 900 967 1,106 910 987 (UR:1054) 1,213 1,159

H 530 579 742 831 951 1,037 1,274

적합 규격 CE(옵션 대응)

*)견적 의뢰시・ 주문시에는 사용 전압을 알려 주십시오. *HR는 고온 균열화 사양이 되어 배기 배관 히터가 표준 장비입니다. 더욱 고온 용도가 필요한 경우는 UR 시리즈로 대응 합니다.

*)HR300,HR600,HR1200,UR600,UR1200,UR1800,UR3601-TT는 200Pa이상의 압력에서의 연결 운전은 회피해 주세요. 펌프 온도가 비정상으로 인터락이 동작하는 경우가 있습니다.

*1)HR 시리즈는 축 Seal 가스 5SLM만의 값입니다. UR 시리즈는 가스유량 5SLM을 투입한 경우의 값입니다.

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Mix

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10


스크류형 LS series

형식（C：C사양）（L：L사양）

LS120A LS300A LS600A LS1200A

C L C L C L C L

최대 배기 속도

m3/h 120 380 600 1000

L/min 2000 6333 10000 16666

CFM 71 223 353 588

도달 압력

Pa 0.6 0.1

Torr 0.005 0.0008

mbar 0.006 0.001

전원 전압 200V급：3상、50/60Hz、AC200-240V 또는 400V급：3상、50/60Hz、AC380-480V

소비 전력 대략치 ※1 kW 0.6 2.0 1.0 2.5 1.3 2.6 1.3 2.7

냉각 수량 L/min >2.0 >4.0

퍼지가스량 ※2 SLM ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50 ‐ 0～50

최대 수증기 처리량 ※3 kg/h ‐ 1.5 ‐ 1.5 ‐ 1.5 ‐ 1.5

소음치 dB(A) 61 61 62 64

흡기구 KF50(수평)／VG50(수직) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100

배기구 KF40

외형 치수 W×D×H mm 311×639×307 311×639×537 311×639×563 311×639×563

질량 kg 142 220 242 266

적합 규격 CE、cTUVus

표준 부속품 취급설명서(CD-R)、전원용 커넥터、방수케이블 클램프、신호용 커넥터、전원 커넥터 가드

본체 옵션 전원 전압：200V급 또는 400V급、Seal부 재질 Perfluoroelastomer (L타입만)

외부 옵션 MBP흡기구 변환플랜지、케이스 배기 포트、내진 고정공구、LR호환 장치(배기구 , 신호)、퍼지 가스 밸브

※1：도달압력시 ※2：C사양 퍼지가스를 사용할 수 없습니다.

※3：퍼지 가스 사용시의 최대 수증기 처리량입니다. ※4：C사양은 Leak Less대응이 불가합니다.

1

10

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0 20 40 60

압력

［P

a］

시간 ［sec］

본 데이터는 계산치입니다.방출 가스등의 영향으로 실제와 다른 경우가 있습니다.

0

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140

0.1 10 1000 100000

배기속도

[m3

/h］

압력 ［Pa］

LS120A

一般的な低消費電力型DRP

이 성능차이가배기시간에 영향

고속배기와 저소비 전력을 실현한 드라이펌프입니다.4기종을 라인업하여、장치의 크기와 사용조건에 맞춰 최적화된 배기용량의 펌프를 선택할 수있습니다.

LS120A

배기시간을

약 20%단축

【배기조건】 챔버 용적：100L、배관：2인치、1m배기 목표：대기압～10Pa까지

・고속배기대기압 근처에서의 배기속도가 빠르기 때문에 배기시간의 단축가능

・저소비전력ECO-SHOCK기술에 의해、저소비 전력을 실현（C사양）도달압력시의 소비전력은 0.6kW이하(LS120A-C)

・저소음전용 사일런스를 표준 탑재도달 압력시의 소음치는 61dB(A)이하

・런닝코스트절감기존에 필요한 축Seal 가스가 불필요※L사양은 퍼지가스를 사용할 수 있다

C사양：클린한프로세스（LS***A-C）

특징：ECO-SHOCK가 내장된 저소비 전력형 타입용도：Air 배기와 N2배기 등 클린 배기용

스퍼터링/증착/흡착/로드락실/TMP보조 등

L사양：라이트프로세스（LS***A-L）

특징：표면처리,퍼지기능을 가진 라이트 프로세스 타입용도：수증기와 휘발성 약물 배기등의 라이트 프로세스용

진공건조/동결건조/Etching/일반산업용도 등

・용도에 맞추어 선택 두가지 타입

・배기속도의비교 ・배기시간의 비교

GR90A

CR60B

모델 GR60A GR90A GR180A

최대배기속도

[m3/h] 50Hz/60Hz 62 / 80 112 / 126 183 / 237

[L/min] 50Hz/60Hz 1,030 / 1,333 1860 / 2100 3100 / 3950

[[CFM] 50Hz/60Hz 36.4 / 47.1 65.7 / 74.2 109.5 / 139.5

도달 압력 (*1)

[Pa] 5.0

[Torr] 3.7 x 10-2

[mbar] 5.0 x 10-2

흡기구 (옵션) VG50 (ISO63F ) VG80 (ISO80F)

배기구 KF40

전원 (*2)

200V급 모터 AC200V/50Hz, AC200 to 220V/60Hz Multi 전압 모터AC200 to 240V/50Hz,60Hz

AC380 to 415V/50Hz,AC380 to 460V/60Hz

400V급 모터AC220 to 240V, AC380 to 415V/50HzAC208 to 240V, AC380 to 460V/60Hz

모터 정격 [kW] 2.2 3.7 7.5

냉각수 유량 [L/min] > 5.0

질소 가스 [SLM]축 Seal 5 (*3)

가스 밸러스트 Optional

질량 [kg] 128 188 268

최대 수증기 처리량 (*4) < 500 g/h < 1,000 g/h < 3,000 g/h

외형 치수 W×D×H [mm] 320 x 1000 x 442 380 x 1100 x 495 470 x 1300 x 582*1)도달압력은 Seal가스가 5SLM시입니다. *2)견적의뢰시・ 주문시에는 사용 전원/전압을 알려 주십시오. *3)질소 가스(축 Seal 가스)의

유량은 5SLM 고정입니다. *4)가스 밸러스트 사용시의 최대 수증기 처리량이며 수증기 배기시는 반드시 가스 밸러스트 기구를 사용해 주세요.

드라이 진공 펌프용 Silencer RS series

Silencer KIT명 접합 펌프부속품

Clamp Outer Ring 접결 배관 Stay

RS-01 kit A CR60B, LR60 / 90 / 300 1 1 n/a n/a

RS-01 kit B LR600 / 1200 2 2 1 1

RS-01 kit C CR300B 2 2 1 1

RS-01 kit D CR16B / 30B 1 1 1 n/a

RS-02 kit A LR180 (LR60 / 90 / 300) 2 2 1 1

RS-02 kit B LR1800 (LR600 / 1200) 2 2 1 1

RS-03 kit A LR421 (-T) 1 1 1 1

RS-03 kit B LR3601 (-T/TT/R/TR/TTR) 3 3 1 1

EFS-11-NW25/2/2516 (*1) CR16B / 30B 1 1 n/a n/a

EFS-19-NW40/1 (*1) (*2) CR60B / 300B 1 1 n/a n/a

*1) 유해가스와 사용할 수 없습니다. *2) 후방 배관과 접결되지 않는 개방형입니다. RS-01 RS-02 RS-03


Root형 드라이 진공 펌프 LR series 공냉 Root형 CR series• 공냉식 Root형의 드라이 진공 펌프입니다. 배기실내에는 오일를 사용하지 않고, 로터와 실린터도

비접촉으로 운전되기 때문에 장기간 안정된 운전이 가능합니다.

공냉식의 드라이 진공 펌프입니다. 배기 속도16~300m3/hr에서 4기종이 준비되어 있습니다.

실적과 신뢰의 LR 시리즈를 기본으로, 일반산업용도에 설계한 심플한 구조의 펌프입니다. • Multi 전압 대응 모터를 채용.

• 범용 인덕션 모터 대응. 방 폭 모터 등의 특수 모터의 취부도 가능합니다. (별도 견적)

범용 모터부착 Root형 GR series

모델 CR16B CR30B CR60B CR300B

최대배기속도

[m3/h] 16 30 55 300

[L/min] 280 500 920 5,000

[CFM] 9.8 17.6 32.4 176

도달 압력 (*1)

[Pa] 3 0.5

[Torr] 2 x 10-2 4 x 10-3

[mbar] 3 x 10-2 5 x 10-3

흡기구 KF25 KF40 KF50

배기구 KF25 KF40

전원 [Ｖ] (*2) 단상 100 , 단상 200 , 3상 200 단상 200 3상 200 3상 200

모터 정격 [kW] 0.72 1.5 3

냉각 방식 공냉

가스 밸러스트 기구 Optional Support

최대 수증기 처리량(*3) < 300 g/h < 500 g/h

질량 [kg] 35 48 100

외형 치수 W×D×H [mm] 180 x 520 x 350 210 x 550 x 430 280 x 594 x 595

적합규격 CE , cTUVus

*1)도달 압력은 가스 밸러스트 가스가 0SLM시의 값입니다.*2)견적 의뢰시・주문 시에 전원, 전압을 알려 주십시오*3)가스 밸러스트 사용시의 최대 수증기 처리량입니다. 수증기 배기시는 반드시 가스 밸러스트 기구를 사용해 주세요.

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ES4A

How to connect the ECO-SHOCK

Power Saving Attachment for Dry Vacuum Pump ECO-SHOCK

Inlet port

Outlet port

Dry Vacuum Pump Eco-SHOCK main unit

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LR3601-R LR3601-R + ES4A

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LR3601-R LR3601-R + ES4A

연간 28,908kWhr절감

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(kW

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Inlet pressure (Pa)

LR180 LR180+ES10

LR90 LR90+ES10

LR60 LR60+ES10

Valve unit

진공 펌프 ▶드라이 진공 펌프 절전화부속기기ECO-SHOCK는 드라이 진공 펌프에 부착하여 소비 전력을 절감하는 부속기기입니다.

・ 드라이 진공 펌프에 부착하여 소비 전력을 절감하는 것이 가능합니다.

배기구를 진공으로 해서 운전 가능한 드라이 진공 펌프라면 부착 가능합니다.

・큰 진공 용기의 빈번한 반복배기나 대기압 근방의 배기 속도가 큰 펌프에는 ES4A을 선택해 주십시오.

* 가연성, 지연성, 유독 가스등의 배기나 고형물이나 액체를 흡인하는 용도에는 사용할 수 없기에 주의해 주십시오.

특허 등록

드라이 펌프절전화 부속기기 ECO-SHOCK

■ECO-SHOCK ES10의 전력 절감 효과

■300L 챔버의 반복배기, 60초 Tact에서의 소비 전력 절감 효과

드라이 진공 펌프 LR3601-R＋ECO-SHOCK ES4A

형식 ES10 ES4A

전원

사양 단상 AC100～220V(±5%)50/60Hz 단상 AC200～220V(±5%)50/60Hz

최대피상 전력 [VA] 250 600

소비 전력 [W] 65 400

외형치수W×D×H

본체 Unit [mm] 175x330x240 250x515x373

밸브 Unit [mm] Φ66x110(KF40) 불포함(옵션)

접결포트 3/8인치 튜브 컨넥터 16mm 튜브 컨넥터

* ES4A에는 밸브 Unit는 불포함. 별도 판매입니다. 접결하는 펌프에 맞춰 선정 해 주세요.

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Accessorie

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Mix

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• Multi 전압 모터를 채용：200～240V/380～460V까지의 폭 넓은 전압을 1대의 모터에서 대응합니다.

• 강제급유 방식을 채용：대기압 부근에서도 배기 속도가 안정. 대기⇔ 진공의 반복연결 운전 등에 최적입니다

소 배기량 2단 Rotor형 VD series

진공 펌프 ▶오일 로터리 진공 펌프

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고효율(IE3)모터 채용하여 폭 넓은 용도에서 사용되는 2단 Rotor형의 오일 로터리 진공 펌프입니다.

• 고효율(IE3)Multi 전압 모터를 채용：200～240V/380～460V까지의 폭 넓은 전압을 1대의 모터에서 대응합니다.

• 강제급유 방식을 채용： 대기압 부근에서도 배기 속도가 안정. 대기⇔ 진공의 반복연결 운전 등에 최적입니다.

• 특수 용도용 옵션 사양： 표준 사양외 A 사양, B 사양, H 사양을 준비하고 있습니다.

VD90C

모델 VD30C VD40C VD60C VD90C

설계 배기속도[m3/h] (LPM / CFM)

50Hz 30 (500 / 17.7) 40 (670 / 23.5) 60 (1,000 / 35.3) 90 (1,500 / 53)

60Hz 36 (600 / 21.3) 48 (800 / 28.3) 72 (1,200 / 42.4) 108 (1,800 / 63.6)

도달 압력 [Pa] (Torr / mbar)

가스 밸러스트 포트Closed

0.67(5 x 10-3／6.7 x 10-3)

모터

출력 [kW](Poles) 1.5 (4) 1.5 (4) 2.2 (4) 3.7 (4)

전압 [V]50Hz 200 to 240 / 380 to 415 (Multi-전압 모터)

60Hz 200 to 240 / 380 to 460 (Multi-전압 모터)

표준 사용오일 ULV오일 R-7

소요 유량 [L] 1.0 to 2.5 2.5 to 4.0


흡기구 VG40 (KF40) VG50 (KF50 or ISO63F)

배기구 VG40 (KF40)

질량 [kg] 58 60 90 113

외형 치수 W×D×H [mm] 210 x 660 x 324 210 x 680 x 324 280 x 761 x 371 280 x 831 x 371

적합규격 CE, cTUVus

종류 적용 기종 주요 씰 재료 오일l 단독 급유 He Leak Test

표준 사양 VD30C, VD40C, VD60C, VD90C 불소 고무 n/a n/a

A 사양 VD30C-A, VD40C-A 니트릴 고무 n/a n/a

B 사양 VD30C-B, VD40C-B 실리콘 고무 ✔ n/a

H 사양 VD30C-H, VD40C-H, VD60C-H, VD90C-H 불소 고무 ✔ ✔

구조

１단 펌프 ２단 펌프

Rotor형 피스톤형

Direct형 벨트구동

공냉 수냉

강제급유 차압급유

오일 역류방지기구오일 역류방지밸브

옵션

A 사양：니트릴 고무

B 사양：실리콘 고무

H 사양：He Tight

Original

IE3 Motor

소 배기량에서 2단 Rotor형의 오일 로터리 진공 펌프입니다.

VD201

형식 VD151 VD201

설계 배기 속도[m3/h](L/min)50Hz 14.4 (240 / 8.5) 20.2 (336 / 11.9)

60Hz 17.3 (288 / 10.2) 24.2 (403 / 14.2)

도달압력[Pa]가스 밸러스트 포트Closed

0.67 (5x10-3／6.7x10-3)

모터

출력 [kW](Poles) 0.55 (4) 0.7 (4)




소요 유량 [L] 0.7 to 1.1


흡기구 KF25

배기구 G1

질량 [kg] 29 34.5

외형 치수 W×D×H [mm] 170 x 513 x 240 170 x 536 x 265


구조




공냉 수냉



2단 Rotor형 VD series Ver.C


1단 Rotor형 VS series

대용량 1단 Rotor형 VS650A/VS750A

1단 Rotor형의 도달 압력이 낮은 오일 로터리 진공 펌프입니다.

15

VS2401

형식 VS1501 VS2401

설계 배기 속도[m3/h](L/min)50Hz 150 (2,500 / 88.2) 240 (4,000 / 141.2)

60Hz 180 (3,000 / 105.9) 288 (4,800 / 169.4)

도달 압력 [Pa]가스 밸러스트 포트Closed

5.3(3.9x10-2／5.3x10-2)

모터

출력 [kW](Poles) 5.5 (4) 7.5 (4)




소요 유량 [L] 8.0 to 10.5

냉각 방식 수냉

흡기구 VG80 (ISO80F)

배기구 VG50 (KF50 or ISO63F)

질량 [kg] 232 271

외형 치수 W×D×H [mm] 333 x 941 x 460 333 x 1061 x 460

VS650A-A

형식 VS650A-A VS650A-W VS750A-A VS750A-W

설계배기 속도[m3/h](L/min)50Hz 650 (10,833 / 383) 750 (12,500 / 441)

60Hz 750 (12,500 / 441) n/a


8 (6x10-2／8x10-2)

모터

출력 [kW] (Poles) 22 (4)


60Hz 200 to 240 / 380 to 460 (Multi-전압 모터) n/a


소요 유량 [L] 23 to 27 25 to 30 23 to 27 25 to 30

냉각 방식 공냉 수냉 공냉 수냉

흡기구 DN 100 ISO-K

배기구 DN 100 ISO-K

질량 [kg] 806 800 802 796

외형 치수 W×D×H [mm] 1,490 x 905 x 705 1,490 x 841 x 705 1,490 x 905 x 705 1,490 x 841 x 705


PMB2400D＋VS650A-W

대 배기량・ 저진동 1단 Rotor형의 오일 로터리 진공 펌프입니다.

주된용도

• 증착 장치, 스퍼터링장치

• 진공 열처리로

• Leak Test 장치

• 대형 챔버 배기

구조




공냉 수냉



옵션

H 사양：He Tight

R 사양： 냉각수계통 방청 사양

주된용도

• 증착 장치, 스퍼터링 장치

• 진공 흡착, 반송, 성형

• 진공 함침, 주조

• 진공 건조, 동결 건조

• Leak Test 장치

• 고효율（IE3）멀티전압모터를 채용：200～240V/380～460V의 전압을 1대의 모터로 대응합니다.

• 저진동 구조： 피스톤형과 비교하여 저진동 구조. 건물 상층계 설치에 최적입니다.

• 강제급유 방식을 채용： 대기압 부근에서도 배기 속도가 안정. 대기⇔ 진공의 반복연결 운전 등에 최적입니다.

구조




공냉 수냉



• 공냉과 수냉의 선택이 가능：환경에 따라 선택 가능. 오일 온도를 낮추기 위해 오일 Cooler 채용하고 있습니다.

• Oil Mist 필터 내장：카트리지식의 Oil Mist 필터를 오일 탱크내에 내장하고 있습니다.

• 유지보수성의 고려：오일 탱크내의 청소와 Oil Mist 필터의 교환이 용이합니다.

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2단 Rotor형 PVD series

피스톤형 PKS series

16

PVD-180

형식 PVD-180 PVD-360

설계배기속도[m3/h](L/min)50Hz 9 (155 / 5.3) 19 (310 / 11.2)

60Hz 11 (186 / 6.5) 22 (372 / 13)

도달 압력 [Pa]가스 발라스트 포트Closed

0.67 (5x10-3／6.7x10-3)

모터

출력 [kW] (Poles) 0.4 (4) 0.75 (4)

전압 [V]50Hz 200

60Hz 200 to 220


소요 유량 [L] 0.3 0.5


흡기구 Φ 28 x Φ 19 Φ 34 x Φ 27

배기구 G3/4 G1

질량(모터없음) [kg] 33.5 43

외형 치수 W×D×H [mm] 265 x 470 x 321 303 x 488 x 321

오랜기간 신뢰와 실적을 받은 견고한 장수명의 오일 로터리 진공 펌프입니다.

PKS-070B

형식 PKS-016 PKS-030 PKS-070B

설계 배기 속도 [m3/h](L/min) 96 (1,600 / 56.5) 180 (3,000 / 105.9) 420 (7,000 / 247.2)


2.7 (2x10-2／2.7x10-2)

모터

출력 [kW] (Poles) 2.2 (4) 3.7 (4) 11 (6)




소요 유량 [L] 6.5 8 20

냉각 방식 공냉 수냉

흡기구 VG50 (ASA1.5) VG80 (ASA2) VG100 (ASA3)

배기구 VF50 (ASA1.5) VF80 (ASA2) VF100 (ASA3)

질량(모터없음)[kg] 225 380 900

외형 치수 W×D×H [mm] 587 x 884 x 572 721 x 675 x 973 971 x 983 x 1190

장년의 신뢰와 실적이 있는 소배기량의 2단 Rotor형 오일 로터리 진공 펌프입니다. 구조




공냉 수냉



옵션

B 사양：오일 역류방지기구

H 사양：He Tight 사양

주된용도

• 진공 건조, 동결 건조

• 기액 주입

• 진공 흡착, 반송, 성형


• 진공 성형

• 저속 회전에 조용한 펌프입니다.

• 벨트커버는 안전을 고려하여 밀폐식을 표준 채용하고 있습니다.

구조




공냉 수냉



옵션

L 사양：Large Clearance 사양

H 사양：He Tight 사양

주된용도

• 진공 열처리로, 소결로, 침탄로

• 용제 배기



• 견고하여 장수명：미끄러짐이 적은 저속 회전 펌프입니다.

• 내마모성이 우수한 재료를 사용하고 있습니다.

• 고효율（IE3）멀티전압모터를 채용：200～240V/380～460V의 전압을 1대 모터로 대응합니다.

※오일 순환용 전자밸브의 전압은 지정해 주세요.

• PKS-070B은、대형 오일 레벨 게이지 채용、대용량 오일러 채용、벨트커버에 벨트 점검창을 추가하고 있습니다.

•

Notes

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Oil Mist Trap TM / TMX series

진공 펌프 ▶오일 로터리 진공 펌프 주변기기

Oil Mist Trap 오일 회수 원리

• 대기압과 도달압력까지의 반복적인 작동 시에 배기 소음은 크게 감소됩니다.

• 카트리지 타입의 필터를 채용하여 필터교환이 용이합니다.

Oil Mist Trap에 의해 오일은 펌프로 회수됩니다.

TM401

형식 부착 플랜지(펌프 조립측/배기측) 질량[kg] 재질 치수[mm] 적용 펌프 비고

TMX-1 Special (아답터 포함 ) / G1 x 1/2 (스크류 커버 포함) 1.1

본체：연강(SPCC)

필터：유리면

Φ 106 x 193 VD151, VD201, PVD-180, PVD-360

TM201 VF40 / G1 x 1/2 (스크류 커버 포함) 8.5 Φ 165.2 x 280 VD30C / VD301, VD40C / VD401 Low load type

TM401 VF40 / G1 x 1/2 (스크류 커버 포함) 10 Φ 165.2 x 350VD30C / VD301, VD40C / VD401 High load type

VD60C / VD601, VD90C / VD901 Low load type

TM-2VF40 (아답터 포함) / G2 (스크류 커버 포함)

9.3Φ 285 x 520 VD60C / VD601, VD90C / VD901 High load type

VG50 / G2 (스크류 커버 포함) Φ 285 x 450 PKS-016

TM-2FVF40 (아답터 포함) / VG50

9.8Φ 285 x 525 VD60C / VD601, VD90C / VD901 High load type

VG50 / VG50 Φ 285 x 455 PKS-016

TM-3VF50 / G3 (스크류 커버 포함)

17Φ 362 x 635 VS1501


TM-3FVF50 / VG80

18Φ 362 x 600 VS1501

VG80 / VG80 Φ 362 x 700 PKS-030

TM-4VF50 / G4 (스크류 커버 포함)

35Φ 442 x 945 VS2401


TM-4FVF50 / VG100

36Φ 442 x 900 VS2401

VG100 / VG100 Φ 442 x 1120 PKS-070

TM-4SVF50 / VG100

64Φ 450 x 1487 VS2401 High load type

VG100 / VG100 Φ 450 x 1387 PKS-070 High load type

*1 F： 플랜지 타입*2 단기간에 대기⇔ 진공의 반복배기를 하는 경우와 10,000Pa (100mbar / 75 Torr)이상의 압력에서 장시간 운전하는 경우는 고부하용을 선정해 주십시오.

내용 복귀 방법 도달 압력의 영향 추천 사용 압력대

오일회수원리A

역류방지 밸브을 설치하여펌프 케이스내로 오일 회수

Semi-auto Low

오일회수원리B

니들 밸브을 설치하여 가스밸러스트 포트로 부터 오일회수

Manual Some

오일회수원리C

니들 밸브을 설치하여흡기측에서 오일 회수

Manual High

오일회수원리D

플로우트식 오일 회수장치에모인 오일을 흡기측에서 회수

Auto Low

[Pa][Torr / mbar]

110-2

1010-1

102

1103

10104

102

Oil Mist trap

Check valve

Oil Mist

Pump

Oil Mist trap

Needle valve

Oil Mist

Pump

Oil Mist trap

Needle valve

Oil Mist

Pump

Oil Mist trap

Floating-type

오일 return

Oil Mist

Pump

Atmospheric

pressure

연속적인 작동 압력 범위

반복적인 작동 압력 범위

오일 로터리 진공 펌프로부터 배출되는 유분을 제거하는 Trap입니다.

오일회수원리 A 오일회수원리 B 오일회수원리 C 오일회수원리 D

※TMX-1에는 부착 불가. TMX-1는 오일회수원리A와 같이 역류방지 밸브가 내부에 부착되어 있습니다.

18

먼지 필터 DS series


Fore Line Trap UFT series

UFT-25M

Unit：mm

형식 적용 기종 A B C (흡기구) D (배기구)DS-20 VD151, PVD-180

90 90VG20 VF20

DS-25 VD201, PVD-360 VG25 VF25

DS-40 VD30C / VD301, VD40C / VD401

140195

VG40 VF40

DS-50 VD60C / VD601, VD90C / VD901 VG50 VF50

DS-2 PKS-016 290 VG50 VF50

DS-3 PKS-030 200 530 VG80 VF80

DS-4 PKS-070 220 583 VG100 VF100

UFT-65M

오일 rotary vacuum pump

Suction side

Fore Line Trap UFT series

먼지, 유리입자 등이 포함된 배기 용도에 최적입니다.

• SUS제 케이스에 필라멘트를 내장한 분체 제거용 Trap입니다.

• 10μm이상의 분체를 포함한 기체의 배기(건조 상태)에 최적입니다.

• 분자 여과기의 흡착 작용에 의해, 오일 로터리 진공 펌프에서 챔버로 오일 증기 역류를 방지

• 히터가 부속되어 있어서, 반복사용이 가능

형식 UFT-25M UFT-65M

사용 압력 범위 대기압～10-2Pa (10-5Torr / 10-4mbar) 의 저진공 상태

재질

본체：오스텐나이크계 SUS강

흡착제 ：인공 제올라이트(zeolite)

배기측 씰：불소 고무 오링

흡기구 UFC070-RH UFC114-FH

배기구 VG25 VG65

카트리지 히터 단상 AC100V 75W 단상 AC100V 120W

히터작동시 온도 [℃] 250 ～ 350

흡착제 형식 분자 여과기 13X

흡착제 질량 [kg] 0.15 0.37

치수 [mm] φ76.3 × 195 φ114.3 × 190

질량 [kg] 2.2 4.6

분체 흡착 트랩 TRO series다량의 분체가 발생하는 프로세스에 사용해 주세요.

• 회전 드럼과 기름을 사용한 특수 트랩 방식으로、프로세스에서 발생한 분체를 효율적으로 흡착하기

전 단계의 트랩입니다.

• 필터식 분체 트랩 같이 분체의 흡착에 의한 컨덕턴스의 감소는 없습니다.

• 유회전 진공펌프에서의 기름 역류를 막는 효과가 있습니다.

• 보수는 기름 교환만 하면되고 대형을 제외한 창으로 분체를 흡착한 기름상태의 확인이 가능합니다.

형식 TRO-50 TRO-80 TRO-100

유량 [L] 2.5 8.0 19.0

권장유 ULVOIL R-4

흡기구 VG50상당 VG80상당 VG100상당

배기구 VG50상당 VG80상당 VG100상당

적용 펌프의 용량[L/min]

≦ 1600 ≦ 4000 ≦ 7000

적용 펌프의 예 VD시리즈、PKS-016 VS시리즈、PKS-030 PKS-070

질량 [kg] 30 75 130

사용전동기 [W] 25 60 90

재질 본체：스테인레스、가스켓：불소 고무

• 옵션 오일：ULVOIL Super R-7500 ULVOIL D-11

• AC200V 3상 50/60Hz

IN

RPTRO

OUT

IN

OUT

RP

DS

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수냉식 전단 Trap WT series

형식 적용 기종

WT-25 VD151, VD201, PVD-180, PVD-360

WT-50 VD30C / VD301, VD40C / VD401, VD60C / VD601, VD90C / VD901, PKS-016

WT-80 VS1501, VS2401, PKS-030

WT-100 PKS-070

Unit：mm

형식 A B C D E F G(흡기구) H(배기구) I

WT-25 93 100 100 160 550 Φ60.5 VG25 VG25 Φ 120

WT-50 150 150 100 175 550 Φ114 VG50 VG50 Φ185

WT-80 150 150 140 250 705 Φ 165 VG80 VG80 Φ 235

WT-100 200 200 180 290 815 Φ216 VG100 VG100 Φ 300

20

오일 rotaryvacuum pump

Cooling

water

inlet

Drain plug

Cooling

water

outlet

Suction

side

솔벤트나 고온의 가스와 같은 고압의 가스 배기에 최적입니다.

• 냉각수를 이용하여, 통과하는 고온 가스를 냉각시킬 목적의 Trap입니다.

오일식 트랩 OT series분체를 포함한 높은 흡입 압력에서 연속배기중에 사용해 주세요.

• 배관을 통해서 분체를 기름에 흡착시키는 트랩입니다.

• 본체 재질은 스테인레스로 부식에 강합니다.

• 증기 압력이 낮은 진공펌프 오일（ULVOIL R-4）을 사용합니다.

콜드 트랩 CT series증기압이 높은 분체등의 배기시에 사용합니다.

• 액체 질소를 이용하여 수분을 흡착시키는 전단 트랩입니다.

• 본체 재질은 스테인레스로 부식에 강합니다.

• 높은 흡입 압력에서 사용하면 질소의 소모가 심해집니다.

• Bypass 배관으로 배기된 후 압력이 낮아지면 접속해 주세요.

형식 적용기종

OT-50 VD30C,VD40C,VD60C,VD90C,PKS-016

OT-80 VS1501,VS2401,PKS-030

OT-100 PKS-070,VS650A

単位：mm

형식 A B C D E F G H I

OT-50 150 83 300 490 180 Φ140 VF50 VG50 G1

OT-80 160 106 366 556 180 Φ165 VF80 VG80 G1

OT-100 185 121 401 591 185 Φ216 VF100 VG100 G1

단위：mm

형식 A B C D E

CT-25 100 96 276 VF25 VG25

CT-40 110 88 288 VF40 VG40

CT-50 125 99 314 VF50 VG50

CT-80 140 114 364 VF80 VG80

CT-100 155 131 396 VF100 VG100

IN

RP

OUT

OT

IN

RP

OUT

CT

진공 펌프 오일 ULV오일 series

진공 펌프 ▶진공 펌프 오일

진공 펌프 오일 BARRIERTA J FLUID series

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ULV오일 series는 진공 펌프의 성능 향상, 수명 연장을 위해 개발된 진공 펌프 오일입니다.

형식 R-4 R-7 R-80 SuperR-7000

종류 석유계 광물유 탄화수소계 합성유

도달 압력 [Pa] (Torr/mbar) ＜4 x 10-1 (2.9 x 10-3／4 x 10-3) ＜7 (5.2 x 10-2／7 x 10-2) ＜7 x 10-1 (5.2 x 10-３／7 x 10-3)

특징

외관 담황색 투명

동점도 [mm2/s]40℃ 47 69 57 68

100℃ 7 9 8 10

점도 지수 112 102 110 110

수분 [%] ＜0.01

산가 [mgKOH/g] ＜0.05 ＜1.9 ＜0.1

밀도 [g/cm3] 0.86 0.88 0.91

인화점 [℃] 248 260 230 220

유동점 [℃] -12.5 -37.5 -20

용도 저온 기동용 범용 고온 고부하용 활성 가스 배기용

사용되는 진공 펌프오일 로터리 진공 펌프

MBP -

형식 D-11 D-31 B-6

종류 탄화 수소계 실리콘계 탄화 수소계

도달 압력 [Pa] (Torr/mbar) 7 x 10-5 (5.2 x 10-7 / 7 x 10-7) 3 x 10-8 (2.2 x 10-9 / 3 x 10-9) 2.7 x 10-2 (2 x 10-4 / 2.7 x 10-4)

특징

외관 담황색 투명 무색 투명

동점도 [mm2/s]25℃ - 170 -

40℃ 32 - 22

증기압[Pa](Torr / mbar)

20℃ 7.3 x 10-5(5.4 x 10-7 / 7.3 x 10-7) 2.1 x 10-8(1.6 x 10-10 / 2.1 x 10-10) 1.2 x 10-5(8.9 x 10-7 / 1.2 x 10-7)

40℃ 1.7x10-3(1.3 x 10-5 / 1.7 x 10-5) 2.1 x 10-6(1.6 x 10-8 / 2.1 x 10-8) 1.4 x 10-4(5 x 10-6 / 1.4 x 10-6)

100℃ 1.5 x 10-1(1.1 x 10-3 / 1.5 x 10-3) 1.1 x 10-3(5.2 x 10-7 / 7 x 10-7) 3.3 x 10-1(2.4 x 10-3 / 3.3 x 10-3)

인화점 [℃] 220 210 200이상

용도 범용 내열 안정성 배수 펌프용

사용되는 진공 펌프오일 확산 펌프 -

- 오일 확산배수 펌프

불연성으로 저증기압의 불소 오일입니다.

내열성, 내산화성에 우수한 성능을 보이고 있습니다.

형식 J25F J60F J100F J100F E

종류 불소 오일

특징

외관 무색 투명

동점도[mm2/s]

40℃ 25 60 95

100℃ 5 9 13

점도 지수 85 130

증기압 [Pa](Torr / mbar)

20℃ 2 x 10-3(1.5 x 10-5 / 2 x 10-5) 1 x 10-4(7.5 x 10-6 / 1 x 10-6) 6 x 10-6(4.5 x 10-8 / 6 x 10-8) 9 x 10-5(6.7 x 10-7 / 9 x 10-7)

사용 온도 범위 [℃] -55～140 -50～160 -40～180

용도 저증기압・불연성・내열성・내산화성・내알카리성

사용되는 진공 펌프

오일 로터리 진공 펌프 -

MBP MBP

- 드라이 진공 펌프

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진공 펌프 ▶MBP

범용 모터 사양 PMB series Ver.D

Canned 모터 사양 PRC series

폭 넓은 용도에서 활약하는 범용 모터 사양의 MBP입니다.

• 약1,000~1Pa에서 최대 배기 속도를 가지며, 배기 시간 단축에 유효한 펌프입니다.

(7.5Torr / 10mbar) to 1Pa (7.5 x 10-3Torr / 0.01mbar).

• 오일 로터리 진공 펌프나 드라이 진공 펌프의 도달 압력을 더욱 낮추고 싶을 때 유효한 펌프입니다.

• 대기압 구동이 가능： 옵션의 인버터 탑재에 의해 대기압 구동이 가능합니다.

• 공냉과 수냉의 선택이 가능： 옵션의 인버터는 수냉 설정・ 공냉 설정이 선택 가능합니다.

• 표면처리 대응： 옵션으로 표면처리(Almite)가 가능합니다.

PMB1200D

크린룸에서 최적인 Canned 모터 사양의 MBP입니다.

• 약1,000~1Pa에서 최대 배기 속도를 가진 배기 시간의 단축에 유효한 펌프입니다.

(7.5Torr / 10mbar) to 1Pa (7.5 x 10-3Torr / 0.01mbar).

• 오일 로터리 진공 펌프나 드라이 진공 펌프의 도달 압력을 더욱 낮추고 싶을 시에유효한 펌프입니다.

• Canned 모터 채용： 외부에 오일 누유가 없어, 크린룸에 최적입니다.

• 표면처리(Almite)채용： 표준에서 내식성에 우수한 표면처리를 채용하고 있습니다.

• 대기압 구동이 가능： 옵션의 인버터 탑재에 의해 대기압 구동이 가능합니다.

형식 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D

최대 배기 속도[m3/h](LPM / CFM)

50Hz 95 (1,580 / 56) 280 (4,670 / 165) 500 (8,330 / 294) 1,000 (16,667 / 590) 2,000 (33,330 / 1,176)

60Hz 115 (1,920 / 68) 330 (5,500 / 194) 600 (10,000 / 353) 1,200 (20,000 / 706) 2,400 (40,000 / 1,411)

도달 압력 [Pa] ] (Torr / mbar) 0.4 (3 x 10-3 / 4 x 10-3) 0.67(5 x 10-3 / 6.7 x 10-3)

모터

출력 [kW](Poles) 0.4(2) 0.75(2) 2.2(2) 3.7(2) 7.5(2)

전압 [V]50Hz 200※1 200 to 240 / 380 to 415 (Multi-전압 모터)

60Hz 200 to 220※1 200 to 240 / 380 to 460 (Multi-전압 모터)

사용오일 ULV오일 R-4 ULV오일 R-4(수냉 사양)／R-7(공냉 사양)

소요 유량 [L] 0.35 0.7 1.5 1.9 4(2.2※2)

냉각 방식 공냉 수냉/공냉(옵션： 인버터 설정에 의해 선택)

흡기구 VG50상당 VG80상당 VG100상당 VG200상당

배기구 VF50상당 VF80상당 VF200상당

질량 [kg] 26 51 82 115 260

외형 치수 W×D×H [mm] 267×576×180 321×685×260 362×784×320 417×970×340 520×1260×460

표준보조 펌프 VD40C VD60C VD90C VS2401 PKS-070

적합규격 CE , cTUVus CE

※1：400V급은 옵션（50Hz：220～240／380～415 60Hz：208～240／380～460）※2수평 배기 사양 의 값

PRC-012A

형식 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A

최대 배기 속도[m3/h](L/min)50Hz 280 (4,670 / 165) 500 (8,330 / 294) 1,000 (16,667 / 590) 1,500 (25,000 / 882)

60Hz 330 (5,500 / 194) 600 (10,000 / 353) 1,200 (20,000 / 706) 1,600 (30,000 / 941)

도달 압력 [Pa] (Torr / mbar) 0.4 (3 x 10-3/4 x 10-3) 0.67 (5 x 10-3/6.7 x 10-3)

모터

출력 [kW](Poles) 0.75(2) 2.2(2) 3.7(2) 5.5(2)

전압 [V]50Hz 200, 380, 400, 415, 440

60Hz 200 to 220, 480

사용오일 ULV오일 R-4

소요 유량 [L] 0.7 1.5 1.9


흡기구 VG80 (ISO80F or 100F) VG100 (ISO100F) VG150 (ISO160F)

배기구 VF80 (ISO80F or 100F) VF100 (ISO100F)

질량 [kg] 51 86 118 150

외형 치수 W×D×H [mm] 296 x 575 x 260 356 x 619 x 320 406 x 759 x 340 406 x 989 x 340

표준보조 펌프 VD60C / VD601 VD90C / VD901 VS2401 VS2401

22

진공 펌프 ▶MBP

23

대 배기량 범용 모터 사양 PMB-C series

MBP용 프레임 Unit YMV series

저속 회전에서 진공로 등의 대형 챔버 배기에 최적인 MBP입니다.

• 벨트 구동을 채용하여 저속 회전에서 안정적입니다.

MBP과 오일 로터리 진공 펌프를 조합한 프레임 Unit입니다.

• 분리식 프레임： 오일 로터리 진공 펌프만을 꺼내는 것이 가능합니다.

형식 PMB-040C PMB-060C

최대 배기 속도 [m3/h] (LPM / CFM) 3,800 (63,300 / 2,235) 6,200 (103,300 / 3,646)

도달 압력 [Pa] (Torr / mbar) 0.67 (5 x 10-3 / 6.7 x 10-3)

모터

출력 [kW](Poles) 15(4) 18.5(4)

전압 [V]50Hz 200

60Hz 200 to 220

사용오일 ULV오일 R-7

소요 유량 [L] 8


흡기구(optional) VG250 (ISO250F) VG300 (ISO320F)

배기구(optional) VF150 (ISO160F) VF250 (ISO250F)

질량(모터없음)[kg] 970 1,100

외형 치수 (모터없음) W×D×H [mm] 772 x 1182 x 680 772 x 1452 x 680

표준보조 펌프 PKS-070 PKS-070 x2

YMV 표준 구성 프레임・접결 배관・ 밸로즈 배관・ 캐스터・ Adjuster

옵션대기압 구동(인버터： 프레임 부착 타입), Oil Mist Trap, 제어반, 단자대 박스, 흡기구 플랜지(게이지 포트＋ Leak 포트부착), 지연 진공 전자변, 냉각수 Flow 스위치

형식추천 펌프

MBP 오일 로터리 진공 펌프

YMV-01A PMB100D VD30C

YMV-03A PMB300D VD40C

YMV-06A PMB600DVD60C

VD90C

YMV-12A

PMB600DVS1501

VS2401

PMB1200DVS1501

VS2401

※ 각종 펌프는 별도 판매입니다.

PMB-040C

프레임 UnitYMV 시리즈

MBP


Control box

Terminal box

Suction flange

Oil Mist trap

Cooling water

flow switch

Inverter

Vacuum delay

solenoid valve

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진공 펌프 ▶터보 분자 펌프

24

디지털 자기 베어링형 UTM-FH/FW series

세라믹 볼 베어링형 UTM 300B series

FH: 고배압・고압축형의 배기 성능을 가진 터보 분자 펌프입니다.

세라믹 볼 베어링을 채용한 복합 로터의 터보 분자 펌프입니다. 컨트롤러와 펌프의 일체화에 의해 저Space을 실현.우수한 고배압 특성에 의해 보조 펌프의 소형화도 가능하게 되었습니다.

• 조립 방향이 자유로워 장치 설계의 자유도가 넓어집니다.

UTM300B

UTM-1400FW

형식UTM-

350FWUTM-

480FWUTM-

800FWUTM-

1001FWUTM-

1400FWUTM-

2300FWUTM-

3301FW

펌프본체

흡기구 VG100 ICF152 VG150 ICF203 VG150 ICF203 VG200 ICF253 VG250 VG200 ICF253 VG300 VG250 ICF305 VG350

배기구 KF25 KF40

배기 속도(N2)[L/sec] 350 330 480 480 810 740 1,000 1,000 1,490 1,360 1,300 2,730 2,230 2,110 3,300

도달 압력(N2)[Pa] (*1)[Pa] / [Torr] / [mbar]

10-7 / 10-9 / 10-9 10-8 / 10-10 / 10-10 10-7 / 10-9 / 10-9

최대 압축비(H2) 3 x 103 4 x 103 6 x 103 9 x 103 8 x 103

최대 흡기구 압력(N2) (*2) 수냉 / 공냉

[Pa] 76 / 16 38 / 1.2 13 / - 7 / - 8 / -

[Torr] 5.7 x 10-1 / 1.2 x 10-1 2.8 x 10-1 / 9.0 x 10-3 9.7 x 10-2 / - 5.2 x 10-2 / - 6.0 x 10-2 / -

[mbar] 7.6 x 10-1 / 1.6 x 10-1 3.8 x 10-1 / 1.2 x 10-2 1.3 x 10-1 / - 7.0 x 10-2 / - 8.0 x 10-2 / -

최대 유량(Ar)[SCCM] 수냉:460 공냉:210 수냉:700 공냉:170 수냉:1000 수냉:1360 수냉:1360

로터 표면처리 Ni도금

냉각 방식 (*3) 수냉/공냉 수냉

질량 [kg] 약17 약28 약36 약60 약90

보조 펌프 배기 속도 [L/min] 290 800 800 1500

전원(D3형)

전원 용량 0.6 0.9 1.2 1.3 2.0

입력 전압/주파수 AC 200～240V、단상、50/60Hz

질량 [kg] 약10

적합규격 CE

*1)최대 유량 시 *2)견적 의뢰시・주문 시에 냉각 방식을 선택해 주십시오.

형식UTM-350FH

UTM-480FH

UTM-800FH

UTM-1001FH

UTM-3303FH

펌프본체

흡기구 플랜지 VG100 ICF152 VG150 ICF203 VG150 ICF203 VG200 ICF253 VG350

배기구 플랜지 KF25 KF40

배기 속도(N2)[L/sec] 350 330 480 480 810 740 1,000 1,000 3,300

도달 압력(N2) (*1) [Pa] / [Torr] / [mbar]

10-8 / 10-10 /10-10

최대 압축비(H2) 1 x 104 3 x 104 9 x 104

최대 흡기구 압력(N2) (*2) 수냉 / 공냉

[Pa] 43 / 8 18 / 0.7 9 / none

[Torr] 3.2 x 10-1 / 6.0 x 10-2 1.3 x 10-1 / 5.2 x 10-36.7 x 10-2 /

none

[mbar] 4.3 x 10-1 / 8.0 x 10-2 1.8 x 10-1 / 7.0 x 10-39.0 x 10-2 /

none

연결운전최대유량(Ar)[SCCM] 수냉:370 공냉:160 수냉:480 공냉:110 수냉:1100

로터 표면처리 Ni도금 무 처리

냉각 방식 (*3) 수냉/공냉 수냉

질량 [kg] 약17 약28 약86

보조 펌프 배기 속도 [L/min] 290 800 1500

전원(D3형)

전원 용량 [kVA] 0.6 0.9 1.6

입력 전압/주파수 AC 200～240V 、단상、 50/60Hz

질량 [kg] 약10

적합규격 CE

*1)최대 유량시 *2)견적 의뢰시・주문 시에 냉각 방식을 지정해 주십시오.

형식 UTM300B

펌프

흡기구 (*1) VG100,ICF152,ISO100-K

배기구 KF16

냉각 방식 자연 공냉 강제 공냉

배기 속도(N2)[L/sec] 280

도달 압력 [Pa] / [Torr] / [mbar](*2)(2단식보조 펌프 사용시)

열처리 후 (*3) 10-8 / 10-10 / 10-10

열처리 전 10-6 / 10-8 / 10-8

최대 압축비(N2) ＞1 x 109

최대 흡기구 압력(N2)(*4)[Pa] / [Torr] / [mbar] 6x10-2 / 5 x 10-4 / 6 x 10-4 0.7 / 5 x 10-3 / 7 x 10-3

최대 배기구 압력(N2)(*4)(*5)[Pa] 100 / 0.75 / 1.0 1000 / 7.5 / 10

표면처리 없음

추천보조 펌프 (10SCCM 흡인시) 120L/min이상

질량 [kg] VG,ISO /ICF 약6 /약9 약6.3 /약9.3

전원 소요 전력, 입력 전압/주파수 DC24V, 180W

적합규격 CE , NRTL

*1)주문 시에 VG100,ICF152,ISO100-K부터 선택 해 주세요. *2)수치는 범위에 의해 기재 되었습니다. 3) 열처리는 ICF 플랜지의 강제 공냉 사용시만실시 가능합니다. *4)최대 흡기구 압력과 최대 배기구 압력은 동시에 만족할 수 없습니다. *5)흡기구부터의 배기 가스 유량5 sccm 의 경우의 연결 운전가능한 배기구의 최대 압력입니다.

FW: 광역・대유량의 배기 성능을 가진 터보 분자 펌프입니다.

UTM1600A


콘트롤러 일체형 UTM-MI series

25

Magnetic Bearing을 채용한 콘트롤러 일체형 터보분자 펌프 입니다.펌프본체와 콘트롤러의 일체화에의해 배선이 줄고、 저 Space를 실현했습니다.

• 배기속도1000L/s～3000L/s 클라스를 라인업.• 펌프본체와 콘트롤러가 일체

펌프본체와 콘트롤러 사이의 배선작업이 불필요합니다.• 부착방향의 자유도

부착방향의 제한이 없기때문에、장치설치의 자유도가 높아졌습니다.• 펌프 회전수를 25～100%의 범위로 가능

회전수의 조정이 가능하여、챔버의 압력조정이 가능합니다.• 라이트 프로세스용의 광역대 유량설계• 높은 내구성과 안전성

대기도입 시험、터치다운 시험등、각종 안전 확인 시험을 완료하였습니다.

콘트롤러

로터 Wing （구동Wing）

모터

Radial Magnetic Bearing

흡기구

배기구

Stator Wing（고정Wing）

Axial Magnetic Bearing

형식 UTM1200A UTM1600A UTM2300A UTM3400A

흡기구 VG150,ISO160FVG200/VG250

ISO200F/ISO250FVG250,ISO250F

VG300/VG350ISO320F

배기구 KF40

도달압력(*1) [Pa/ torr/ mbar] 10-7 / 10-9 / 10-9

배기속도 N2 [L/s] 1030 1400 2100 3200

(*2)(*3) Ar [L/s] 980 1330 2000 3100

H2 [L/s] 660 750 1380 2100

압축비

N2 2×108 1×108 이상 1×109 이상

He 7×103 5×103 1×105

H2 8×102 9×102 6×103

최대 흡기구압력(*4) [Pa/ torr/ mbar] 26 / 0.2 / 0.3 4.5 / 0.03 / 0.05 7 / 0.05 / 0.07

최대 배기구압력(*4) [Pa/ torr/ mbar] 266 / 2 / 2.7 200 / 1.5 / 2 270 / 2 / 2.7

회전수 [rpm] 37200 33700 27600

회전수 가변 기능 펌프 규정 회전수의 25%～100%사이에서 운전 회전수의 변경이 가능 (설정은 0.1%단위)

기동 시간 8분 이내 9분 이내 16분 이내

취부 방향 전방향 부착 가능

표면 처리(*5) 없음

외부 제어Contact

D-sub 25 핀 D-sub 37 핀

Contact input and output signal Contact input and output signal

Serial Serial connecter,RS232C/RS485 D-sub9 핀,RS232C/RS485

Controller

구성 펌프본체와 일체화(하부에 내장)

전원 단상 AC200～240V ±10% （50/60Hz ±2Hz）

최대 소요 동력 0.75kVA 1.2kVA


냉각수(*6)유량 [L/min] 3～4

수압 [MPaG] 0.2～0.4

소음 [dB(A)] 57 60

질량 [kg] 43 41 56 94

권장 보조 펌프(*7) 600L/min 이상 1500L/min 이상

적합 규격 CE、TUVus

표준 부속품 흡기구용 O-ring(Only VG), 배기구용 Dust cap, 리모트 제어용 커넥트, 취급설명서(CD-ROM)

선택 사양AC Cable AC Conector / AC Cable（5m/10m/15m/20m）

펌프 고정용 특수 볼트 M10（RoHS 비대응 / RoHS 대응）/ M12（RoHS 비대응 / RoHS 대응）

*1：주문서에 기재. *2：Protective net가 없는 경우의 값입니다. *3：UTM2300A와 UTM3400A는 계산치 *4：최대 배기구 압력의 조건은 동시에 만족시킬수없습나다. *5：반응성가스 부식성가스를 사용공정에는 사용하지 말아 주세요. 그외의 가스는 문의해 주세요. *6：결로가 발생하지 않을것 *7：30SCCM흡입시*8：볼트 강도나 고정 방법 등은 각 조건에 있습니다. 자세한 내용은 사양서를 참고 부탁 드립니다.

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피벗 베어링형 UTM series

터보 분자 펌프 배기 Unit YTP series

• 보조 펌프를 선택 가능：보조 펌프는 로터리 펌프를 탑재한 표준형 외에 드라이진공 펌프를 탑재한 드라이 사양이 있습니다.

• 우수한 정전 대책：Fore 밸브에 전자변을 표준 장착하여 정전시의 역류・고장을방지합니다.

• 저진공 배기 상황을 확인 가능：Pirani 진공게이지를 표준 장착하여 저 진공중의압력 확인이 가능

형식 YTP-50M/SA(- 드라이) YTP-150M/SA(- 드라이) YTP-300M/SA(- 드라이) YTP-500M/SA

TMP 흡기구 ICF114 VG65 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF203 VG150

배기구 표준형:Rc3/4, 드라이 사양：KF16 표준형:Rc1, 드라이 사양：KF16 표준형:Rc1

TMP 도달 압력(*)[Pa] / [Torr] / [mbar]

10-7 / 10-9 / 10-9 10-8 / 10-10 / 10-10

TMP 배기 속도 [L/sec] N2 50 190 300 550

보조펌프 배기속도(50Hz시)[L/min]

오일 로터리 보조 펌프: 50드라이 보조 펌프: 90

오일 로터리 보조 펌프: 135 드라이 보조 펌프: 250



Fore 밸브 로터리 펌프 자동 배기 기구부착 솔레노이드 밸브

입력 전압 단상 AC100V,50/60Hz

소비 전원 [kVA]오일 로터리 보조 펌프: 1.3

드라이 보조 펌프: 1.0오일 로터리 보조 펌프: 1.8

드라이 보조 펌프: 1.72.1

질량(드라이 사양)[kg]오일 로터리 보조 펌프: 약 55

드라이 보조 펌프: 약 57오일 로터리 보조 펌프: 약 72

드라이 보조 펌프: 약 71오일 로터리 보조 펌프: 약 86

드라이 보조 펌프: 약 85약 99

*)터보 분자 펌프 개별 배기 후의 값

YTP-50M YTP-150SA- DRY

YTP 시리즈는 터보 분자 펌프 UTM 시리즈를 사용한 대기압부터 고진공까지 배기 가능한 배기 Unit 입니다. START/STOP 스위치에서 자동으로 배기 가능한 SA타입과 수동조작의 M타입이 있습니다.

피벗 베어링과 자기 베어링을 채용한 Flying Wing의 터보 분자 펌프입니다.

• 장수명： 상부에 자기 베어링, 하부에 피벗 베어링을채용하여 베어링의 장수명화를 실현.

• 고압축비：Flying Wing의 로터에 의해 H2과 He등의 배기 성능을 향상.

UTM-150

형식 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500

펌프 흡기구 VG65 ICF114 VG100 ICF152 VG100 ICF152 VG100 ICF152

배기구 KF16 KF25 KF25 KF40

배기 속도 [L/sec] 50 190 300 550

도달 압력(2단식보조 펌프 사용시)[Pa] / [Torr] / [mbar]

10-7Pa / 10-9 / 10-9 10-8 / 10-10 / 10-10

최대 압축비 (N2) ＞1×108

최대흡기구압력 (N2) [Pa]/[Torr]/[mbar] 0.13 / 9.7 x 10-4 / 1.3 x 10-3

냉각 방식 수냉/공냉

추천보조 펌프 (10SCCM 흡인) 50 100 200 300

질량 [kg] VG,ISO /ICF 약3 약6 약10 약16

부착 방법 수직 한정

전원

전원 용량 [kVA] 0.34 0.59 0.56 0.89

입력 전압, 주파수 AC 100～120/200～240V、단상、 50/60Hz

질량 [kg] 약2.2 약3.9 약4.5

Spherical bearing tip

Spiral groove

Lubricant

Pivot bearing Hemispherical bearing plate

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Notes

진공 펌프 ▶오일 확산 펌프

4～14inch ULK series

22～52inch PFL series

4B～14B까지의 4기종을 Lineup.

2종류의 오일과 히터의 선정에 의해 희망의 배기속도, 도달압력을 얻을 수 있습니다.

ULK-14A

22B～52B까지의 4기종을 Lineup. 진공로 등의 대형 진공 장치에 채용되어져 있습니다.

PFL-22

형식 ULK-04A ULK-06A ULK-10A ULK-14A배기 속도 [L/sec] 550 500 1,200 1,100 3,400 3,000 5,400 4,900

도달 압력 [Pa] (Torr / mbar)＜2.6 x 10-5

(1.9 x 10-7 / 2.6 x 10-7)

＜2.6 x 10-6

(1.9 x 10-8 / 2.6 x 10-８)

＜2.6 x 10-5

(1.9 x 10-7 / 2.6x10-7)

＜2.6 x 10-6

(1.9x10-8 / 2.6x10-８)

＜2.6 x 10-5

(1.9x10-7 / 2.6x10-7)

＜2.6 x 10-6

(1.9x10-8 / 2.6x10-８)

＜2.6 x 10-5

(1.9x10-7 / 2.6x10-7)

＜2.6 x 10-6

(1.9x10-8 / 2.6x10-８)

임계 배압 [Pa] (Torr / mbar)40

(0.3 / 0.4)60

(0.4 / 0.6)40

(0.3 / 0.4)60

(0.4 / 0.6)35

(0.26 / 0.35)40

(0.3 / 0.4)30

(0.22 / 0.3)30

(0.22 / 0.3)

작동 오일 ULV오일 D-11 ULV오일 D-31 ULV오일 D-11 ULV오일 D-31 ULV오일 D-11 ULV오일 D-31 ULV오일 D-11 ULV오일 D-31

유량 [L] 0.15 0.35 0.8 1.5

냉각 수량 [L/min] 1 1 1 1.5 2.5 3 2.5 3.5

전압 사양 단상, AC200V

소요 전력 [kW] 0.55 0.73 0.9 1.2 2 2.4 2.25 2.4

추천보조 펌프 VD201 VD40C / VD401 VD90C / VD901 VS2401

외형 치수 A×B×H [mm] 175 x 150 x 341 250 x 180 x 449 340 x 240 x 650 340 x 240 x 670

흡기구 VG100 VG150 VG250 VG350

배기구 VG25 VG40 VG80 VG80

질량 [kg] 7.5 13.5 47 56

오일 레벨게이지 None None Viewport Viewport

온도조절기 옵션 가능 가능 가능 가능

온도조절기 설정 온도 [℃] 250 250 180 180

형식 PFL-22 PFL-22TM PFL-36 PFL-52

배기 속도 [L/sec] 10,000 10,000 34,000 70,000

도달 압력 [Pa] (Torr / mbar) 3.0 x 10-4 (2.2 x 10-6 / 3.0 x 10-6 )

임계 배압 [Pa] (Torr / mbar) 16 ( 1.2 x 10-1 / 1.6 x 10-1) 6.7 (5 x 10-2 / 6.7 x 10-2) 16 (1.2 x 10-1 / 1.6 x 10-1)

작동 오일 ULV오일 D-11

유량 [L] 5 5 13 27

냉각 수량 [L/min] 12 15 38 50

전압 사양 3상, AC200V

소요 전력 [kW] 8 10 Start up: 22, Normal: 11 Start up: 45, Normal: 30

추천보조 펌프 PMB-040C + PKS-070 PMB-060C + PKS-070 x 2

외형 치수 A×B×H [mm] 480 x 630 x 1,330 480 x 630 x 1,330 725 x 1,022 x 1,732 1,000 x 2,000 x 2,845

흡기구 VG550 VG550 VG900 VG type equivalent 52 inch

배기구 VG150 VG200 VG250 VG350

질량 [kg] 290 290 650 1,400

오일 레벨게이지 Viewport Viewport Viewport Viewport

온도조절기 옵션 가능 가능 가능 가능

온도조절기 설정 온도 [℃] 180 180 110 110

28

• 기계적인 슬라이딩부가 없는 견고한 고진공 펌프입니다.

• 소요 전력, 유량이 적은 높은 효율의 경제적인 펌프입니다.

주된 용도

• 증착 장치

• 고진공 실험 장치

주된용도

• 진공 열처리로, 소결로, 침탄로


• 기계적인 슬라이딩부가 없는 견고한 고진공 펌프입니다.

• 2종류의 오일과 히터 선정에 의해, 희망의 배기 속도, 도달 압력을 얻을 수 있습니다.

• 보조 펌프로의 오일 역류 방지 기구를 갖추고 있습니다.

진공 펌프 ▶오일 확산 펌프

오일 확산배수 펌프 PBL series

수냉 Buffle BW series

오일 로터리 진공 펌프나 MBP의 배기 속도가 저하되는

10-1 Pa (10-3 mbar and Torr) 대에서 최대 배기 속도를 보입니다.

오일 확산 펌프로 부터 흡기측에 오일 증기 역류를 억제합니다.

형식 PBL-02 PBL-04 PBL-06 PBL-10 PBL-14 PBL-20

배기 속도 [L/sec] 80 200 500 1,800 4,000 7,000

도달 압력 [Pa] (Torr / mbar) 2.7 x 10-2 ( 2 x 10-4 / 2.7 x 10-4 )

임계배압 [Pa] (Torr / mbar) 40 ( 3 x 10-1 / 4 x 10-1)

작동오일 ULV오일 B-6

유량 [L] 0.1 0.6 7.5 18 36 90

냉각수량 [L/min] 1.5 5 8 12 18 25

전압 사양 단상, AC200V 3상, AC200V

소요 전력 [kW] 0.44 1.84

2kW x 2 pcs8

4kW x 2 pcs11

5.5kW x 2 pcs18

6kW x 3 pcs

추천보조 펌프 VD30C / VD301 PKS-016 PKS-030 PKS-070PMB1200D+ PKS-030

PMB-040C + PKS-070

외형 치수 A×B×H [mm] 100 x 70 x 463 150 x 112 x 524 200 x 152 x 973 300 x 346 x 1,321 340 x 548 x 1,687 510 x 444 x 2,320

흡기구 VG50 VG100 VG150 VG250 VG350 VG500

배기구 3/4B 호스 포트 VG40 VG50 VG80 VG100 VG200

질량 [kg] 6 17 86 198 313 495

오일 레벨게이지 None None 레벨 게이지 레벨 게이지 레벨 게이지 레벨 게이지

온도조절기 옵션 None None None None None None

온도조절기 설정 온도 [℃] - - - - 160 160

형식 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52

컨덕턴스 [L/sec] 100 940 2,200 3,130 5,000 13,000 14,000 54,000 75,000

외경 치수 [mm]

D Φ 120 Φ 149 Φ 199 Φ 350 Φ 450 Φ 625 Φ 680 Φ 1,065 Φ 1,480

T 16 28 28 44 50 152 101 113 165

t 16 25 25 22 22 24 26 28 35

냉각수 취합 (사이즈) Rc 1/8 Rc 1/4 Rc 1/4 Rc 1/4 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 1/2

냉각수량 [L/min] 1.5 0.7 1 2 2 3 3 5 5

중량 [kg] 1 1.3 1.7 7.6 11 22 28 66 200

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BW-04B＋Adapter

PBL-02 PBL-02 PBL-04 PBL-06PBL-10PBL-14

PBL-20

• 진공 용기 내부를 오일 확산 펌프의 증기오염으로부터 보호합니다.

• 배기저항이 극히 적게 되도록 설계하고 있습니다.

• BW-04B과 BW-06B는 어댑터를 세트함으로써, 유증기의 역류량을 한층 억제하는 것이 가능합니다.

• 기계적인 슬라이딩부가 적은 견고한 고진공 펌프입니다.

• 오일 로터리 진공 펌프나 MBP와 오일 확산 펌프의 중간 압력대에서 배기 속도가 필요한 시점에 만족하고 있습니다.

• PBL-02~PBL-04는 본체에 SUS동을 사용하고 있고, 내식성에 우수한 성능을 보이고 있습니다.

• PBL-06이상의 대형 펌프는 파이프 히터를 직접 작동 오일 중에 넣고 있기 때문에, 특히 열효율이 우수합니다.

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Mix

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Actor 펌프 PST series

PST series용 컨트롤러 GST-07L-B

진공 펌프 ▶Sputter Ion 펌프

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극・ 초고진공 영역에서의 배기특성을 강화： 신형 소자와 자기장의 최적화를 꾀한 것으로, 극・초고진공 영역의 배기 속도를 향상시키고 있습니다.

PST-030 PST-050 PST-110PST-100 PST-200 PST-400

형식PST-030CU

PST-030AU

PST-050CU

PST-050AU

PST-100CX

PST-100AX

PST-110AU

PST-200CXⅡ

PST-200AXⅡ

PST-400CXⅡ

PST-400AXⅡ

주된 대상 가스 활성 가스 비활성 가스 활성 가스 비활성 가스 활성 가스 비활성 가스 비활성 가스 활성 가스 비활성 가스 활성 가스 비활성 가스

배기 속도(재생배기속도)[m3/sec]

N2 (*2) 0.03 (0.02) 0.045 (0.03) 0.10 (0.08) 0.11 (0.06) (0.20) (0.36)

Ar (*2) (0.013) (0.016) (0.05) - (0.02) (0.105) (0.04) (0.19)

도달 압력10-9 Pa range

(10-11 Torr and mbar)10-9 Pa range

(10-11 Torr and mbar)10-9 Pa range

(10-11 Torr and mbar)

10-9 Pa range(10-11 Torr and

mbar)

10 -10 Pa range(10-12 Torr and mbar)

10 -10 Pa range(10-12 Torr and mbar)

동작 압력 (*1) 추천 값< 8x10-3 Pa

(

티탄 Getter 펌프 GGT-3/PGT series

진공 펌프 ▶티탄 Getter펌프/Sorption펌프

Sorption 펌프 PSM-10B

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티탄 Getter 펌프 GGT-3, PGT 시리즈는 티탄의 Getter 작용을 이용하여 초고진공을 생성하는 것이가능한 진공 펌프입니다. • 도달 압력을 향상： 티탄 Getter 펌프는 티탄의 Getter 작용을 이용하여 배기하여 초고진공을

생성하는 것이 가능한 진공 펌프입니다. 이온 펌프와 병용함으로써 극고진공을 얻을 수 있습니다.

형식 GGT-3

출력 AC0～6V가변, 최대60A

제어 방법 타이머에 의한 ON/OFF 제어

타이머 설정 시간 범위 0.05초～300 시간(ON/OFF 공)

출력 표시 출력 전류 표시

출력 표시눈금 아날로그 표시／60A Full Scale

인터락 입력 1점

입력 전압・ 주파수 단상AC200～220V 50/60Hz변환

입력 전류 최대3.5A

질량 12kg

형식 PGT-3F PGT-6F

최대 배기 속도(*1) 24m3/(s・m2)／64m3/(s・m2)

사용 압력 범위 10-1～10-9Pa정도의 초고진공 영역

배기 가능 가스 H2, H2, O2, H2O, CO, CO2

배기 불가능 가스 He, Ne, Ar, CH4, C2H6, 그 외의 유기 가스

Leak량 1.3x10-11 Pa・m3/s (9.8x10-14 Torr・m3/s, 1.3x10-13 mbar・m3/s) or less

열처리 온도 250℃

소요 전력 270W

필라멘트 재질 티탄 합금

필라멘트 수명 정격 연결 운전 (*2)： 약 75 시간, 연결 통전 약 25 시간

필라멘트 가닥 수 3대 6대

접결 플랜지 UFC070-FH UFC114-FH

질량 1.0kg 2.5kg

*1)초고진공 압력 영역, 20℃, 질소의 계산치 *2)270Ｗ에서 30초 통전, 60초 휴지

■ 티탄 Getter 펌프 PGT series 사양

■PGT용 컨트롤러 사양

PGT-3FGGT-3

ulvac, inc. korean vol · 2019. 3. 6. · pa (n･m-2) torr (mmhg) bar kg･cm-2 psi (lb･in-2)...

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