真空晨会报告
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真空晨会报告. 2009-06-17. 主要工作. ~3.5h He-GDC , 3:10-6:30 气动探针安装及检漏,未发现有漏. 目前真空系统状态. 内真空: 2 台主分子泵 +3CP ; 外真空: 2 台分子泵; 低杂波: 1 套分子泵机组; 目前烘烤: 感应烘烤: 0 内衬烘烤: 20 A 管道烘烤: 100 V. 装置各处真空度演变. 内真空 质谱. - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
ASIPP
真空晨会报告
2009-06-17
ASIPP主要工作
~3.5h He-GDC , 3:10-6:30 气动探针安装及检漏,未发现有漏
ASIPP目前真空系统状态
内真空: 2 台主分子泵 +3CP ;外真空: 2 台分子泵;低杂波: 1 套分子泵机组;
目前烘烤:– 感应烘烤: 0– 内衬烘烤: 20 A– 管道烘烤: 100 V
ASIPP装置各处真空度演变
内真空 1# 2.9E-5
外真空 4.9E-4
ASIPP内真空 质谱
AMU2 1. 50E-064 8. 00E-0718 1. 08E-0528 2. 18E-0632 1. 60E-0844 3. 36E-0740 1. 60E-0856 2. 40E-07
10-9
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
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1# Inner 2 4 18 28 32 44 Ar oil