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FISCHERSCOPE ® X-RAY SERIERöntgenfl uoreszenz für Schichtdickenmessung und Materialanalyse
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Inhalt
Röntgenfluoreszenzanalyse 4–5
WinFTM®–AnwenderfreundlichkeitstehtanersterStelle 6–7
Schnellerklärt:DieAnatomiedesX-RayGeräts 8–9
X-RAYXUL®/XULM® 10–11
X-RAYXAN® 12–13
X-RAYXAN®500 14–15
X-RAYXDL®/XDLM® 16–17
X-RAYXDAL® 18–19
X-RAYXDV®SDD 20–21
X-RAYXDV®-μ/XDV®-μLD 22–23
X-RAYXUV773 24–25
AllesGold?EchtheitsprüfungvonSchmuckundEdelmetallen 26–27
X-RAYGOLDSCOPESD® 28–29
MesstechnikfürElektronikundHalbleiter 30–31
X-RAYXULM®PCB/XDLM®PCB/XDV®-μPCB 32–33
X-RAYXDV®-μLEADFRAME 34–35
X-RAYXDV®-μWafer 36–37
QualitätssicherungimlaufendenProzess 38–39
FISCHERSCOPE®X-RAYInline 40–41
AufdasrichtigeMaßkommtesan 42–43
Standards,aufdieSiesichverlassenkönnen 44–45
EinGerätelebenlangIhrzuverlässigerPartner 46–47
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Damit Sie sich auf das konzentrieren können,
was wirklich zählt – Ihre Produkte!
ManchmalentscheidetdaskleinsteDetailüber
denErfolg.Geradedann,wennStrukturen
immerkleinerundAnsprücheimmerhöher
werden,isteinestrengeQualitätskontrolle
gefragt.
ObSchichtdickenmessungoderMaterial-
analyse–FischeristIhrPartnerfürpräzise
undabsolutzuverlässigeMesstechnik.Mit
unserenX-Ray-SystemenbietenwirIhnen
hocheffizienteLösungen,dieIhnenIhreArbeit
soleichtwiemöglichmachen.
Measuring Made Easy ®
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Röntgenfluoreszenzanalyse: Standard für zahlreiche Anforderungen
ImIndustriealltagundimLaborhatsichdieRöntgenfluoreszenzanalysefestetabliert.Sauber,berührungslos,zerstörungsfreiundschnell.SoerfasstdieseMethodealletechnischrelevantenElemente.SieberuhtaufdemPhänomen,dassdurchprimäreRöntgenstrahlungangeregteAtomeEnergieinFormvonelementspezifischerFluoreszenzstrahlungfreisetzen.DasSpektrumderemittiertenStrahlungerlaubtdannRückschlüsseaufdieBeschaffenheitderProbe.SolassensichsowohlMaterialzusammensetzungalsauchDickeeinerBeschichtunganalysieren.
AlsPremiumanbieterundTechnologieführerlegtdieHelmutFischerGmbHgroßenWertaufbe-sondershochwertigeBauteile.DeshalbentwickeltundproduziertdasUnternehmendiemeistenKomponentenfürdieFISCHERSCOPE®X-RAYGeräteselbst.DiesgiltauchfürGerätebestandteilewiediedigitalenPulsprozessorenoderdiePolykapillare.BeiLetzterenistFischereinervonzweiHerstellern,dieesweltweitgibt.UndselbstverständlichprogrammierenwirauchdieSoftwareWinFTM®inhouse.
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∙ UniverselleSoftwarefürSchichtdicken-messungsowieMaterial-undBadanalyse
∙ DefinierteMessroutinenfürStandardaufgaben
∙ ProgrammierungvonMessabläufen
∙ KomfortableKalibrierungsfunktionen
∙ IntegrierteBilderkennung
∙ AutomatisierteMessprozesse
∙ StandardfreieMessungbasierendaufFundamental-Parameter-Analyse
∙ StatistikfunktionenmitSPC
∙ DatenexportzuQualitätsmanagement-Systemen
∙ DokumentationvonDatenundMesseinstellun-genineinemindividuellenProtokoll
ObWareneingangsprüfung,QualitätskontrolleoderForschungslabor–dieAnforderungenanguteMess-technik-SoftwaresindsounterschiedlichwiedasEin-satzspektrumderFISCHERSCOPE®X-RAYGeräte.UmalldiesenAnsprüchengerechtzuwerden,bietetWinFTM®genaudieApplikationenundFunktionen,dieSiefüreineeffizienteAuswertungundprofessionelleDokumentationIhrerMessdatenbrauchen.
Kundenspezifische Messprogramme
FürRoutinemessaufgabenstehenfestprogrammierteMessabläufezuVerfügung,diesichmitnurwenigenKlicksstartenlassen.ZusätzlichkönnenAnregungspara-meterwieSpannungundFiltereinstellungenmanuellan-gepasstwerden,damitsichfürjedeApplikationoptimaleResultateerzielenlassen.MitWinFTM®istessogarmög-lich,innerhalbeinerMessungverschiedeneAnregungenzuverwenden.
AufWunschprogrammiertFischerfürIhrespezifischenAnwendungenMakros.SelbstkomplettePrüfpläne,z.B.fürdieFertigungskontrolle,lassensichsoineinesehreinfacheBedienprozedureinbinden.DamitistauchPersonalohnebesondereVorkenntnisseinderLage,komplexeMessungendurchzuführen.
Automatisierte Messabläufe
InvielenFällenlassensichMessungenautomatisieren.DiessteigertdieEffizienzundspartzugleichZeit.DankderintegriertenBilderkennungvonWinFTM®findendieGerätedievorgegebenenMesspositionenselbstständig.SiesindsoinderLage,fürmehrereStundenvölligaut-arkzuarbeiten.
Die Software WinFTM ® bildet das mathematische Herz aller FISCHERSCOPE ® X-RAY Geräte. Sie be-reitet die Informationen aus den gemessenen Röntgenspektren auf und setzt sie in Parameter für Schichtdicke und Materialanalyse um. Dabei bietet Fischer viele Extras.
Statistische Prozesslenkung
NebenStatistikfunktionen,dieüblicheKenngrößenwieMittelwertundStandardabweichungberechnen,bietetWinFTM®auchToolszurstatistischenProzesslenkung.SokönnendieMessergebnissealsSPC-Regelkarteange-zeigtundprotokolliertwerden.
WinFTM®verfügtübereinekompletteFehlerrechnung.Messunsicherheitenkönnendamitsehreinfachermit-teltwerden.ZurweiterenVerarbeitunglassensichdieDatenkomfortabelinübergeordneteQualitätsmanage-ment-Systemeexportieren.
WinFTM ® – Anwenderfreundlichkeit steht an erster Stelle
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Einfach präzise: Mit standard-freier Fundamental-Parame-ter-Analyse können Sie auch ohne aufwendige Gerätekalib-rierung messen.
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Schnell erklärt:Die Anatomie des X-Ray Geräts
RÖNTGENRÖHREerzeugtRöntgenstrahl
SHUTTERöffnen/schließen
PRIMÄRFILTERoptimiertAnregungsstrahlung
SPIEGELlenktBildaufdieKamera
KOLLIMATOR/BLENDEBlendedefiniertMessfleck
DETEKTOR
KAMERA
SCHICHTWERKSTOFFGRUNDWERKSTOFF
RÖNTGENRÖHREerzeugt Röntgenstrahl
SHUTTERÖffnen / Schließen
PRIMÄRFILTERfiltert StrahlungKAMERA
DETEKTOR
OPTIKSpiegel
KOLLIMATORBlende / beinflusst Messfleck
SCHICHTWERKSTOFFGRUNDWERKSTOFF
WinFTM®
µm
WinFTM®
WinFTM®
µm
WinFTM®
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Röntgenröhre: DieRöntgenröhreerzeugtdieprimäreRöntgenstrahlung.HöherwertigeBaureihenbesitzeneinehochauflösendeMikrofokusröhre.DamitausgestatteteGeräteerlaubenkleineMessflecke.
Primärfilter: JenachFilterlassensichdieAnregungs-bedingungenfürMessaufgabenmodifizieren.
Digitaler Pulsprozessor (DPP): DiesesHightech-Bau-teilisteineFischerEntwicklung,mitdersichsehrhohePuls-bzw.Zählratenverarbeitenlassen.EsverstärktdievomDetektoraufgezeichnetenEreignisse.ZusammenmitdemDetektoristderDPPfüreinesehrguteStabilitätundEnergieauflösungverantwortlich.Undzwarunab-hängigvonderAnzahlanImpulsenproSekunde.
Shutter: DerindenStrahlengangintegrierteVer-schlussisteineSicherheitsvorrichtung.Siever-hindertdenEintrittvonPrimärstrahlungindieMess-kammer.DasSystementsperrtnurfürdieZeitdauerderMessung.UndauchnurbeigeschlossenemGehäuse.EineGefährdungdesBedienersistsoaus-geschlossen.
Detektor: SeineQualitätentscheidetdarüber,fürwelcheMessaufgabensicheinGeräteignet.FischerbietetdreiTypenvonDetektorenan:
Proportionalzählrohr:DerDetektorfüreinfacheMess-aufgabenistprädestiniertfürdieMessungvondickerenSchichtenbeikleinenMessflecken.
Silizium-PIN Diode (PIN):DerMittelklasse-DetektorlässtsichsowohlfürdieMaterialanalysealsauchfürdieSchichtdickenmessungeinsetzen.
Silizium-Drift-Detektor (SDD):DieStärkendesmo-dernenHalbleiter-DetektorsliegeninderMessungsehrdünnerSchichtenundbeiderSpurenanalyseimppm-Bereich.Kamera/Spiegel: DerSpiegellenktdasBildaufdie
Kamera.SolässtsichdiePositionierungdesMessfleckskontrollieren.
Kollimator/Blende: DieBlendebegrenztdenQuerschnittdesPrimärstrahlsundsorgtsodafür,dasseinMessfleckvondefinierterGrößeangeregtwird.BeikleinenBlendenkommtdortnurwenigStrahlungan.PolykapillaroptikenbündelndiegesamteRöntgenstrahlungaufeinersehrkleinenFläche.SosindauchbeikleinemMessfleckkurzeMesszeitenmöglich.
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Die robusten Geräte der FISCHERSCOPE ® X-RAY XUL ® und XULM ® Serie sind für einfache Hand-habung ausgelegt. Trotz ihrer Kompaktheit bieten sie ausreichend Patz für Proben mit bis zu 17 cm Höhe. Eine Aussparung im Gehäuse (C-Schlitz) erlaubt Messungen an größer dimensionierten fl a-chen Proben, wie z. B. überstehenden Leiterplatten.
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FISCHERSCOPE ® X-RAY XUL ® / XULM ®
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Einsteigermodelle mit Fokus auf Zeitersparnis
Steckerkontakte(XULM®)
Merkmale
∙ MessungderBeschichtungsdickeundBestimmungdesMetallgehaltsingalvanischenBädern
∙ Biszu17cmProbenhöhemöglich
∙ Proportionalzählrohr-DetektorfürkurzeMesszeiten
∙ Standardröntgenröhre(XUL®Serie)bzw.Mikrofokus-röhre(XULM®Modelle)
∙ WahlmöglichkeitzwischeneinerKreis-undeiner
Schlitzblende(Ø0,3mm;0,3×0,05mm;XUL®)
∙ 3-fachwechselbarerPrimärfilter(XULM®)
∙ 4-fachwechselbareBlendealsStandard(XULM®)
∙ BauartzugelasseneVollschutzgerätegemäßaktuellerStrahlenschutz-Gesetzgebung
MessgerätederFISCHERSCOPE®X-RAYXUL®undXULM®SeriesinddiepassendeLösungfürdieschnelleSchicht-dickenbestimmunginderGalvanik.DortpassierenmöglichstvieleTeileinkurzerZeitdieQualitätskontrolle.DeshalbwerdenbeiderXUL®ReihegrößereProbenvonHandinderKammerpositioniert.ZurexaktenAus-richtungvonkleinenTeilenistoptionaleinmanuellerXY-Tischerhältlich.GroßeBedienelementeanderGerä-tefrontvereinfachendieHandhabungzusätzlich.
Korrosionsschutz:Zn/Fe Automotive:Cr/Ni/Cu/ABS
DieXUL®SerieerlaubtMessfleckeab0,7mmDurch-messer.DamiteignensichdierobustenGeräteperfektfürMessungenanMuttern,SchraubenundanderengalvanischveredeltenOberflächen.AuchderBereichKorrosionsschutzisteinhäufigesEinsatzgebiet.
Stecker,Kontakte,DrähteundLeiterplattensinddieDomänederFISCHERSCOPE®X-RAYXULM®Familie.DankMikrofokusröhreerlaubtsieMessfleckgrößenvon0,1mm.
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Wie die FISCHERSCOPE ® X-RAY XUL ® Reihe sind XAN ® Geräte für Proben mit einfachen Geometrien ausgelegt. Zugleich erweist sich diese Serie als sehr fl exibel. Denn Detektor, Blende und Filter lassen sich jeweils an Ihre Anforderungen anpassen. So lässt sich für zahlreiche Einsatzfälle das optimale Messsystem zusammenstellen.
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FISCHERSCOPE ® X-RAY XAN ®
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Das System für ein breites Einsatzspektrum
BeimRoHS-ScreeningsindebenfallshöhereAuflösun-genplusunterschiedlichePrimärfiltergefordert.Idealdafür:XAN®250mitfesterProbenauflageoderXAN®252mitmanuellbedienbaremXY-Tisch.
Merkmale
∙ UniverselleGerätefürMetall-undEdelmetallana-lyse,SchichtdickenmessunganeinfachgeformtenProbenundRoHS-Screening
∙ HalbleiterdetektorensorgenfürsehrguteNachweis-genauigkeitundeinehoheAuflösung
∙ 6-fachwechselbarePrimärfilter(XAN®250,252)
∙ 4-fachwechselbareBlenden(XAN®250,252)
∙ Biszu17cmProbenhöhemöglich(XAN®222,252)
∙ BauartzugelasseneVollschutzgerätegemäßaktuellerStrahlenschutz-Gesetzgebung(XAN®215,220,250)
DieFISCHERSCOPE®X-RAYXAN®FamiliedecktinihrenverschiedenenAusführungeneinbreitesEinsatzgebietab.DerFokusliegtaufderschnellenundpräzisenMaterialanalysevonEdelmetall-undGoldlegierungen.DanebenkommendieseGerätebeiderErmittlungvonSchwermetall-SpurenelementenundanderenGefahr-stoffenimSinnederRoHS-RichtliniezurAnwendung.UnterandereminderElektronikindustrie.
XAN®215stehtfüreinGerätmitkostengünstigemPIN-Detektor.Einsolcheseignetsichoptimal,umeinfa-cheGoldlegierungenzuanalysieren,diemitnurwenigenweiterenElementenwieSilberundKupferdurchsetztsind.FürkomplexereLegierungensindGerätemitSili-zium-Drift-Detektor(z.B.XAN®220)besserqualifiziert.DankweitaushöhererAuflösungermöglichensiedieUnterscheidungvonGoldundPlatin.DieserAspektistetwabeiderAnalysevonDentallegierungenundeinge-schmolzenenEdelmetalllegierungenentscheidend.
AusrichtungaufMessraum VideobildzeigtMessfleckgenauan
Edelmetallprüfung
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Das FISCHERSCOPE ® X-RAY XAN ® 500 ist so vielseitig wie kein anderes Röntgenfl uoreszenzsystem. Als Handgerät eignet es sich perfekt dazu, die Beschichtung von sperrigen Teilen wie Flugzeug-komponenten, Rohren oder Turbinenschaufeln direkt in der Produktion zu kontrollieren. XAN ® 500 ist jedoch nicht nur ein Messsystem für große Teile. Dank der optional erhältlichen Messbox verwandelt sich das Modell mit wenigen Handgriff en in ein Tischgerät.
Das FISCHERSCOPE ® X-RAY XAN ® 500 ist so vielseitig wie kein anderes Röntgenfl uoreszenzsystem. Als Handgerät eignet es sich perfekt dazu, die Beschichtung von sperrigen Teilen wie Flugzeug-komponenten, Rohren oder Turbinenschaufeln direkt in der Produktion zu kontrollieren. XAN ® 500 ist
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FISCHERSCOPE ® X-RAY XAN ® 500
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Der Spezialist für den Feldeinsatz
TrotzgeringerGrößestehtdasFISCHERSCOPE®X-RAYXAN®500denLaborgeräteninnichtsnach.DermoderneSilizium-Drift-DetektorgarantiertrichtigeMessergebnis-sebeiMesszeitenvonwenigenSekunden.Selbstkom-plexeMessaufgabenmitMehrfachschichtenlassensichzuverlässiglösen.DerClou:DaskompakteGeräterkenntparallelDickeundZusammensetzungderSchichtinnureinerMessung.
Merkmale
∙ UniversellesHandgerätfürpräziseSchicht-dickenmessungundMaterialanalyse–auchbeischwierigenStoffkombinationen
∙ Gewicht1,9kg
∙ 6–8StundenBetriebsdauermiteinerAkkuladung
∙ PortableMessboxverwandeltSystemineinTisch-gerät
∙ Messfleckdurchmesservon3mm
∙ Silizium-Drift-Detektor
∙ DatenauswertungviaBluetooth-Anbindungmitvoll-wertigerSoftwareWinFTM®
∙ MitFlüssigkeitsmesszelleauchfürBadanalysengeeignet
∙ SchutzartIP54fürdenEinsatzimAußenbereich
DankDreipunktauflagelässtsichdasXAN®500sicheraufsetzenundsodieSchichtdickewiederholgenaubestimmen.DasErgebniswirddirektaufdemDisplayangezeigt.ZurDatenauswertungistdasHandgerätmitderVollversionvonWinFTM®ausgestattet,dieauchalleanderenFischerX-Ray-Systemenutzen.Schichtdicken-messungundMaterialprüfungbasierenaufeinerFunda-mental-Parameter-Analyse.AnwenderkönnensoauchohnevorherigeKalibrierungmessen.
Messbox Messzelle
KorrossionschutzimFlugzeugbau
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Ob fest montiert, verstellbar oder voll automatisch – die FISCHERSCOPE ® X-RAY XDL ®/XDLM ® Reihe bietet immer den passenden Messtisch für Ihre Anforderungen. Feste Probenaufl age und manueller Messtisch vereinfachen die Handhabung großer Proben. Komplex dimensionierte Proben lassen sich auf dem elektrischen Messtisch präzise positionieren. Dieser lässt sich für schnelle Messungen pro-grammieren. So können Sie Schichtverläufe ermitteln oder mehrere Proben hintereinander – auch automatisch – messen.
Ob fest montiert, verstellbar oder voll automatisch – die FISCHERSCOPE ® X-RAY XDL ®/XDLM ® Reihe bietet immer den passenden Messtisch für Ihre Anforderungen. Feste Probenaufl age und manueller Messtisch vereinfachen die Handhabung großer Proben. Komplex dimensionierte Proben lassen sich
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FISCHERSCOPE ® X-RAY XDL ® / XDLM ®
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Ihr Einstieg in die automatisierte Messung
FISCHERSCOPE®X-RAYXDL®undXDLM®GerätesindengmitXUL®undXULM®Serieverwandt.Detektoren,Röntgenröhren,BlendenundFilterkombinationensindidentisch.JedochmessenXDL®undXDLM®vonobennachunten.Dasheißt:leichtumsetzbareautomatisierteMessungen.
DiefürdieKontrollegalvanisierterMassenteileunddieBadanalyseprädestinierteXDL®Seriereichtvonein-fachenTischgeräten(z.B.XDL®210und220mitfesterProbenauflage)biszuModellenmitprogrammierbaremXY-Tisch(XDL®240).Letzterelassensichfürdieautoma-tisierteSerienprüfungeinsetzen.
SosinddurchdievariableMessdistanzvon0–80mmMessungenanunebenenTeilenwieSteckerkontaktenmöglich(z.B.XDLM®237).
Merkmale
∙ UniverselleGeräte;geeignetfürMessungenangalvanischenMassenteilen
∙ Standardröntgenröhre(XDL®);Mikrofokusröhre(XDLM®)
∙ Festeroder3-fachwechselbarerPrimärfilter
∙ Festoder4-fachwechselbareBlende
∙ ProportionalzählrohrerlaubtkurzeMesszeitenundkleinenMessfleck
∙ VerschiedeneMesstischoptionen;BauformenmiterweiterterProbenauflage
∙ BauartzugelasseneVollschutzgerätegemäßaktuellerStrahlenschutz-Gesetzgebung
Korrosionsschutz:Zn/Fe Steckerkontakte:Au/Ni/CuSn6
DieXDLM®SerieunterscheidetsichvonihrerSchwester-baureiheXDL®durchihreMikrofokusröhresowieihrenMehrfachblenden-undPrimärfilterwechsler.SieistdiebesteWahl,umnacheinandervieleKleinteilezuinspizie-ren.AuchinderElektronikindustriehatsieihrenPlatz.
GalvanischeBeschichtung(XDL®,XDLM®)
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Je dünner die zu überwachenden Schichten sind, desto wichtiger wird auch die Wahl des Detektor-typs. Die FISCHERSCOPE ® X-RAY XDAL ® Serie bietet dazu mehrere Varianten. Der PIN-Detektor kann sowohl für die Materialanalyse als auch für die Schichtdickenmessung eingesetzt werden. Bei der präzisesten Analyse spielt der Silizium-Drift-Detektor seine Stärken aus. Er bietet die beste Energie-aufl ösung bei kürzeren Messzeiten.
Je dünner die zu überwachenden Schichten sind, desto wichtiger wird auch die Wahl des Detektor-typs. Die FISCHERSCOPE ® X-RAY XDAL ® Serie bietet dazu mehrere Varianten. Der PIN-Detektor kann sowohl für die Materialanalyse als auch für die Schichtdickenmessung eingesetzt werden. Bei der
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FISCHERSCOPE ® X-RAY XDAL ®
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DieFISCHERSCOPE®X-RAYXDAL®SerieistdankHalblei-terdetektoreneineguteWahl,umdieZusammensetzungvonLotenschnellundgenauzumessen.SolässtsichbereitsinderWareneingangskontrolleperScandasRisi-kovonunterschiedlichenLotchargeneliminieren.
DerprogrammierbareMesstischprädestiniertdieXDAL®BaureihedarüberhinausfürAnwendungenimBereichdünnerundsehrdünnerBeschichtungen<0,05μm.Solassensichz.B.FlächenimMapping-ModeaufeinfacheWeiseuntersuchen.AuchdiemassenweiseÜberprüfungunterschiedlicherBauteileinFertigungskontrolleundWareneingangkanndurchgeführtwerden.
Die besten Detektoren für dünne Schichten
Merkmale
∙ UniversellesGerätfürautomatisierteMessungenvondünnenundsehrdünnenSchichten<0,05μmundfürMaterialanalyseimppm-Bereich
∙ MikrofokusröhremitWolframanode
∙ 3-fachwechselbarerPrimärfilter
∙ 4-fachwechselbareBlenden
∙ OptionenfürverschiedeneHalbleiterdetektoren(PIN;SDD20mm²;SDD50mm²)
∙ BauartzugelasseneVollschutzgerätegemäßaktuellerStrahlenschutz-Gesetzgebung
DieVersionmit50mm²Silizium-Drift-DetektoreignetsichfürRoHS-Messungen.
HSS-Bohrer:TiN/Fe HighReliability:Pb(>3%)inElektronikkomponenten
Au/Pd/Ni/CuaufLeiterplatten
DieFISCHERSCOPE®X-RAYXDAL®SerieistdankHalblei-terdetektoreneineguteWahl,umdieZusammensetzungvonLotenschnellundgenauzumessen.SolässtsichbereitsinderWareneingangskontrolleperScandasRisi-kovonunterschiedlichenLotchargeneliminieren.
DerprogrammierbareMesstischprädestiniertdieXDAL®BaureihedarüberhinausfürAnwendungenimBereichdünnerundsehrdünnerBeschichtungen<0,05μm.Solassensichz.B.FlächenimMapping-ModeaufeinfacheWeiseuntersuchen.AuchdiemassenweiseÜberprüfungunterschiedlicherBauteileinFertigungskontrolleundWareneingangkanndurchgeführtwerden.
Die besten Detektoren für dünne Schichten
DieVersionmit50mm²Silizium-Drift-DetektoreignetsichfürRoHS-Messungen.
HSS-Bohrer:TiN/Fe
Au/Pd/Ni/CuaufLeiterplatten
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Die FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD Baureihe zählt zum Premiumsegment von Fischer. Sie ver-fügt standardmäßig über einen Silizium-Drift-Detektor mit hoher Energieaufl ösung. In Kombination mit großen Blenden lassen sich so herausragende Messleistungen realisieren. Dank der großen, gut zugänglichen Messkammer eignet sie sich für Messungen an fl achen Komponenten wie auch für größere Prüfteile mit komplexer Geometrie.
Die FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-SDD Baureihe zählt zum Premiumsegment von Fischer. Sie ver-fügt standardmäßig über einen Silizium-Drift-Detektor mit hoher Energieaufl ösung. In Kombination mit großen Blenden lassen sich so herausragende Messleistungen realisieren. Dank der großen, gut
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FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ® SDD
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FISCHERSCOPE®X-RAYXDV®SDDModellezählenzudenleistungsstärkstenX-Ray-Geräten.IhrSilizium-Drift-De-tektoristhochempfindlichfürFluoreszenzstrahlungleichterElemente.DieserlaubtsehrniedrigeNachweis-grenzenundMessapplikationenrundumNiP,RoHSundsehrdünneSchichten<0,05µm.DeshalbistdasuniverselleinsetzbareXDV®SDDGerätdieidealeLösungfürF&E,LaborundProzessqualifizierung.AuchinderFertigungskontrollehatesaufgrundseinereinfachenBedienungeinenfestenPlatz.
Der High-End-Allrounder
Merkmale
∙ UniversellesGerät,optimalfürdieBestimmungvonSchadstoffeninkleinstenKonzentrationennachRoHsundfürautomatisierteMessungenvonSchich-tenunter50nm
∙ MikrofokusröhremitWolframanode;Molybdänanodeoptional
∙ 6-fachwechselbarerPrimärfilter
∙ 4-fachwechselbareBlende
∙ 50mm²Silizium-Drift-Detektor
∙ ProgrammierbarerMesstischfürautomatisierteMessungenankleinenStrukturen
∙ BauartzugelassenesVollschutzgerätgemäßaktuellerStrahlenschutz-Gesetzgebung
BesondersguteignetsichdasXDV®SDDSystemfürdiepräziseSpurenanalyseundschnelleÜberwachungvonSchadstoff-Grenzwerten.BeispielsweiselassensichdamitbesonderskritischechemischeElementewiePb,HgundCdmitNachweisgrenzenvonwenigenppminKunststoffenermitteln.
NiP/Fe:P-KonzentrationundSchichtdicke
Passivierungsschichten:Cr/Zn/Fe
SchadstoffanalysebeiSpielzeug
FISCHERSCOPE®X-RAYXDV®SDDModellezählenzudenleistungsstärkstenX-Ray-Geräten.IhrSilizium-Drift-De-tektoristhochempfindlichfürFluoreszenzstrahlungleichterElemente.DieserlaubtsehrniedrigeNachweis-grenzenundMessapplikationenrundumNiP,RoHSundsehrdünneSchichten<0,05µm.DeshalbistdasuniverselleinsetzbareXDV®SDDGerätdieidealeLösungfürF&E,LaborundProzessqualifizierung.AuchinderFertigungskontrollehatesaufgrundseinereinfachenBedienungeinenfestenPlatz.
Der High-End-Allrounder
BesondersguteignetsichdasXDV®SDDSystemfürdiepräziseSpurenanalyseundschnelleÜberwachungvonSchadstoff-Grenzwerten.BeispielsweiselassensichdamitbesonderskritischechemischeElementewiePb,
NiP/Fe:P-KonzentrationundSchichtdicke
SchadstoffanalysebeiSpielzeug
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Werden kleine Strukturen (< 0,1 mm) mit herkömmlichen X-Ray Geräten gemessen, bedarf es langer Messzeiten. Fischer hat daher ein spezielles Messgerät entwickelt, das bei kleinen Messfl ecken kurze Messzeiten erlaubt – das FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-µ. Diese Eigenschaft resultiert aus einer Polykapillaroptik. Dabei handelt es sich um ein Bündel aus hohlen Glasfasern, das die primäre Röntgenstrahlung stark fokussiert. Die so erzielte Signalintensität ermöglicht wiederholgenaue Er-gebnisse bei kurzen Messzeiten.
Werden kleine Strukturen (< 0,1 mm) mit herkömmlichen X-Ray Geräten gemessen, bedarf es langer
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FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-μ / XDV ®-μ LD
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BeschichtungenaufLeiterplattenerfüllenzahlreicheFunktionen.JenachAnwendungsfalldienensiedemKorrosionsschutz,derAbriebbeständigkeitoderderSignalweiterleitung.UmdieengenToleranzgrenzenein-zuhalten,mussdieBeschichtungsqualitätkontinuierlichüberwachtwerden.
DieFISCHERSCOPE®X-RAYXDV®-µReihenutztgroßflä-chigeSilizium-Drift-DetektorenundPolykapillaroptiken.SiefindetdeshalbinsbesonderebeiderMessungansehrkleinenStrukturen,z.B.anBondflächen,SMD-BauteilenoderdünnenDrähten.
Kleinste Messfl äche – größte Präzision
Merkmale
∙ MessungaufkleinstenBauteilenundStrukturen,wieKontaktflächenaufLeiterplattenundSteckerkontak-ten,auchkomplexeMehrschichtsysteme
∙ MikrofokusröhremitWolframanode;Molybdänanodeoptional
∙ Flexibler4-fachwechselbarerPrimärfilter
∙ PolykapillaroptikenerlaubenbesonderskleineMess-flecke(10–60µmFWHM)beikurzenMesszeiten
∙ Silizium-Drift-Detektorenmit20oder50mm²wirk-samerFläche
∙ Video-Systemmit3-fachoptischemZoomzurpräzi-senPositionierungderProbe
∙ PräziserprogrammierbarerMesstischfürautomati-sierteMessungenankleinenStrukturen
Draht:Sn/Cu SMD-Bauteil:Bleifreiheit
Diegroße,gutzugänglicheMesskammermitseitlichenAussparungen(C-Schlitz)underweiterterProbeauflageerlaubtdiebequemeHandhabungvonbreitenProben.DasXDV®-LDModellbietetmehrPlatzfürkomplexge-formtePrüfteile.SoerlaubtderMessabstandvon12mmMessungenanbestücktenLeiterplatten.
Steckerkontakte(XDV®-µ LD)
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FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-μ / XDV ®-μ LD
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Luft absorbiert Röntgenfl uoreszenzstrahlung von Elementen mit niedriger Ordnungszahl besonders stark. Deshalb lassen sich diese unter normaler Atmosphäre schlecht detektieren. Fischer bietet mit dem FISCHERSCOPE ® X-RAY XUV 773 ein Gerät mit evakuierbarer Messkammer. So können Legierungen, die leichte Elemente enthalten, problemlos unter Vakuum analysiert werden. Für die Messung von Flüssigkeiten oder losen Pulverproben off eriert Fischer eine Helium-Option.
Luft absorbiert Röntgenfl uoreszenzstrahlung von Elementen mit niedriger Ordnungszahl besonders stark. Deshalb lassen sich diese unter normaler Atmosphäre schlecht detektieren. Fischer bietet
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FISCHERSCOPE ® X-RAY XUV 773
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Edelsteinanalyse
Bodenproben,Asche,Mineralien Edelstein:MatrixAl2O3,SiO2
HistorischeGegenständeundSchmuckstückezeugenvonunsererGeschichte.NebenihrerGestaltungistihreMaterialzusammensetzungcharakteristischfüreineEpocheoderRegion.Soerlaubenz.B.metallischeSpu-renelementewieMg,K,Ca,SrundRbRückschlüsseaufdasGebiet,ausdemetwaeinEdelsteinstammt.AndereElemente,wieAuundPb,liefernIndizienfürdessenEnt-stehungsbedingungen.
Das Schwergewicht für leichte Elemente
WiealleX-Ray-BaureihenistdasFISCHERSCOPE®X-RAYXUV773GerätmitderleistungsfähigenAuswer-tungs-SoftwareWinFTM®ausgestattet.EinebesondereFunktionerlaubtes,eineProbeunterverschiedenenAnregungsbedingungenineinemDurchgangzuana-lysieren.SokönnenleichteElementewieAluminiumoderSiliziumzusammenmitSchwermetallenineinerMessungnachgewiesenwerden.
Merkmale
∙ MaterialanalyseundSchichtdickenmessungfüreinbreitesElementspektrum;auchfürschwereElemen-te(NatriumbisUran)
∙ MessungeninUmgebungsluft,unterVakuumoderinHeliumatmosphäre
∙ MikrofokusröhremitRhodium-Anode;Molybdän-,Wolfram-oderanderesAnodenmaterialoptional
∙ 6-fachwechselbarerPrimärfilter
∙ 4-fachwechselbareBlende
∙ Silizium-Drift-Detektor
∙ BauartzugelassenesVollschutzgerätgemäß
DasFISCHERSCOPE®X-RAYXUVSystemistderSpezia-listfürMaterialanalysen.MitseinerHilfelassensichhis-torischeGegenständepräziseidentifizierenundOriginalevonFälschungenunterscheiden.AntikeArtefaktekönnenausvielen,sowohlleichtenalsauchschwerenElemen-tenbestehen.EsbedarfdahereinesMesssystems,daseinenbreitenElementbereichabdeckt.
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Alles Gold? Echtheitsprüfung von Schmuck und Edelmetallen
EdlerSchmuckdientderVerzierungundVerschönerung.ZugleichstelltereinedauerhafteWert-anlagedar.Wergenauwissenwill,wiehochderGoldanteilseinerPreziosenist,kommtumeineRöntgenfluoreszenzanalyseimLaboroderbeimHändlermitunserenspezielldafürentwickeltenGOLDSCOPE®Gerätennichtvorbei.DieseMethodeeignetsichauchfürdieEchtheitsüberprüfungvonMünzenundEdelmetallen.SolässtsichinvielenFällenbinnenSekundendieEdelmetallzu-sammensetzungermittelnundfeststellen,oballesGoldist,wasglänzt.
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Hard- und Software der robusten GOLDSCOPE SD ® Serie sind speziell auf die Anforderungen der Schmuck- und Goldbranche abgestimmt. Ihr Vorteil: ein unschlagbares Preis-Leistungs-Verhältnis. Denn Sie kaufen mit diesen Modellen nur das, was Sie wirklich zur Prüfung von Gold, Schmuck und Edelmetallen benötigen.
Hard- und Software der robusten GOLDSCOPE SD ® Serie sind speziell auf die Anforderungen der Schmuck- und Goldbranche abgestimmt. Ihr Vorteil: ein unschlagbares Preis-Leistungs-Verhältnis. Denn Sie kaufen mit diesen Modellen nur das, was Sie wirklich zur Prüfung von Gold, Schmuck und Edelmetallen benötigen.
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FISCHERSCOPE ® GOLDSCOPE SD ®
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Goldschmuck
Merkmale
∙ KompakteundrobusteTischgeräte,Hard-undSoft-wareabgestimmtaufMessaufgabenrundumGoldundEdelmetalle
∙ BesondersplatzsparendinderGOLDSCOPESD®510Ausführung
∙ UnterschiedlicheBlendenerhältlich;GOLDSCOPESD®550mitwechselbarenBlendenbiszu2mm
∙ Halbleiterdetektoren(PINundSilizium-Drift)sorgenfürsehrguteNachweisgenauigkeitundeinehoheAuflösung
∙ BauartzugelassenesVollschutzgerätgemäßaktuel-lerStrahlenschutz-Gesetzgebung(GOLDSCOPESD®515,520und550)
FischerbietetmitderGOLDSCOPESD®Familiemaßge-schneiderteLösungenfürdiezerstörungsfreiePrüfungvonGoldundEdelmetallen.
AlleGOLDSCOPESD®Modelleüberzeugenmitgewohn-terFischerPräzision.SiesindmitderSoftwareWinFTM®ausgestattet,inderdiewichtigstenMessaufgabenrundumdiePrüfungvonGoldundEdelmetallenhinterlegtsind.JenachAufgabefindenSieinderGOLDSCOPESD®FamiliedaspassendeGerät.
EinfachereGerätemitSilizium-PIN-DetektorensindfürdenEinsatzinLadengeschäftenundPfandhäusernbe-stimmt,umdieZusammensetzungvonSchmuckundZahngoldzuüberprüfen.DasGOLDSCOPESD®510Mo-dellerweistsichdabeibesondersplatzsparend:SolässtsichderLaptopeinfachaufdemGerätpositionieren.
FürPrüflaborsundSchmuckherstellerbietetdieSerieGerätemitSilizium-Drift-DetektorundwechselbarenBlenden.SowirddieGOLDSCOPESD®Familieauchhö-herenAnsprüchengerecht.
Analyse, Wertbestimmung und Echtheitsprüfung
Goldschmuck
FischerbietetmitderGOLDSCOPESD®Familiemaßge-schneiderteLösungenfürdiezerstörungsfreiePrüfungvonGoldundEdelmetallen.
AlleGOLDSCOPESD®Modelleüberzeugenmitgewohn-terFischerPräzision.SiesindmitderSoftwareWinFTM®ausgestattet,inderdiewichtigstenMessaufgabenrundumdiePrüfungvonGoldundEdelmetallenhinterlegtsind.JenachAufgabefindenSieinderGOLDSCOPESD®FamiliedaspassendeGerät.
EinfachereGerätemitSilizium-PIN-DetektorensindfürdenEinsatzinLadengeschäftenundPfandhäusernbe-stimmt,umdieZusammensetzungvonSchmuckundZahngoldzuüberprüfen.DasGOLDSCOPESD®510Mo-dellerweistsichdabeibesondersplatzsparend:SolässtsichderLaptopeinfachaufdemGerätpositionieren.
FürPrüflaborsundSchmuckherstellerbietetdieSerieGerätemitSilizium-Drift-DetektorundwechselbarenBlenden.SowirddieGOLDSCOPESD®Familieauchhö-herenAnsprüchengerecht.
Analyse, Wertbestimmung und Echtheitsprüfung
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![Page 30: FISCHERSCOPE ® X-RAY SERIE · 2020. 6. 16. · X-RAY XULM® PCB / XDLM® PCB / XDV®-μ PCB 32 – 33 X-RAY XDV®-μ LEAD FRAME 34 – 35 X-RAY XDV®-μ Wafer 36 – 37 Qualitätssicherung](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022071217/604a534010ceee58f5363c0f/html5/thumbnails/30.jpg)
![Page 31: FISCHERSCOPE ® X-RAY SERIE · 2020. 6. 16. · X-RAY XULM® PCB / XDLM® PCB / XDV®-μ PCB 32 – 33 X-RAY XDV®-μ LEAD FRAME 34 – 35 X-RAY XDV®-μ Wafer 36 – 37 Qualitätssicherung](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022071217/604a534010ceee58f5363c0f/html5/thumbnails/31.jpg)
Messtechnik für Elektronik und Halbleiter
Multilayer-LeiterplattensteuernKraftwerke,rettenLebeninmedizinischenGerätenundverbin-deninSatellitenMillionenMenschenaufderganzenWeltmiteinander.EineBranche,diebeson-dersaufzuverlässigeElektronikangewiesenist,istdieLuft-undRaumfahrttechnik.DennhochinderLuftkosteteinFehlerinderElektronikvieleMenschenleben.NichtzuletztausdiesemGrundbenötigteinehochwertigeLeiterplatte(PCB)eineHighEnd-Beschichtung.DiemeistenHerstellersetzendabeiaufENIGundENEPIGundbeschichtendiePCBsmit20bis250nmGoldundPalla-dium.FürdieFertigungskontrolleheißtdas:DiesisteinFallfürdiePCB-SerievonFischer.
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Mit den PCB-Baureihen bietet Fischer spezialisierte Lösungen für Leiterplatten. Je nach Anforderung stehen verschiedene Modelle zur Verfügung. Der Anwender hat die Wahl zwischen Messung von unten oder oben, manueller Positionierung, motorisierten XY-Tischen und größeren Aufl agefl ächen.
FISCHERSCOPE ® X-RAY XULM ®-PCB / XDLM ®-PCB / XDV ®-μ PCB
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![Page 33: FISCHERSCOPE ® X-RAY SERIE · 2020. 6. 16. · X-RAY XULM® PCB / XDLM® PCB / XDV®-μ PCB 32 – 33 X-RAY XDV®-μ LEAD FRAME 34 – 35 X-RAY XDV®-μ Wafer 36 – 37 Qualitätssicherung](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022071217/604a534010ceee58f5363c0f/html5/thumbnails/33.jpg)
Leiterplatten
GerätemitdemZusatzPCBsindSpezialistenfürLei-terplatten.FISCHERSCOPE®X-RAYXULM®-PCBundXDLM®-PCBSystemesindmitProportionalzählrohrfüreinfacheMessaufgabenausgestattet.SieeignensichgutfürdieschnelleMessungdickererSchichtenbeikleinemMessfleck.HauptunterschiedzwischenbeidenModell-reihen:XDLM®-PCBSystemequalifizierensichzusätzlichfürautomatisierteMessungeninderFertigungskontrolle(XDLM®-PCB210und220).
Die Profi-Serie für Leiterplatten
Merkmale XULM ®-PCB und XDLM ®-PCB
∙ SpezialgerätefürLeiterplatten
∙ 3-fachwechselbarerPrimärfilter(XDLM®-PCB220)
∙ Proportionalzählrohr-DetektorfürkurzeMesszeiten
∙ OptionfürdiverseMesstische,zumTeilautomatisiert
undmiterweiterterAuflage(biszu120×90cm)
Merkmale XDV ®-µ PCB
∙ AutomatisierteMessungenaufkleinstenStrukturen
∙ 4-fachwechselbarerPrimärfilter
∙ PolykapillaroptikenerlaubenbesonderskleineMess-flecke(10oder20µmFWHM)beikurzenMesszeiten
∙ Silizium-Drift-Detektorenmit20oder50mm²wirk-samerFläche
∙ ProgrammierbarerMesstischmitVakuumfunktion
JedünnerdiezuüberprüfendenSchichten(z.B.Gold-/Palladium<0,1µm),destowichtigerwirddieWahldesDetektortyps.DankSilizium-Drift-DetektorensindFISCHERSCOPE®X-RAYXDV®-µPCBGerätefürdieMes-sungkleinsterStrukturenaufLeiterplattenprädestiniert.DasGleichegiltbezüglichMehrfachschichten,funktiona-lenSchichtenundsehrdünnenBeschichtungen.DabeisindauchautomatisierteMessungenmöglich.
BestückteLeiterplatten Kleinstrukturen
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![Page 34: FISCHERSCOPE ® X-RAY SERIE · 2020. 6. 16. · X-RAY XULM® PCB / XDLM® PCB / XDV®-μ PCB 32 – 33 X-RAY XDV®-μ LEAD FRAME 34 – 35 X-RAY XDV®-μ Wafer 36 – 37 Qualitätssicherung](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022071217/604a534010ceee58f5363c0f/html5/thumbnails/34.jpg)
Leadframes zur Herstellung von Halbleiterspeichern enthalten mehrlagige Beschichtungen - etwa aus Gold, Palladium, Nickel und Kupfer. Deren Zusammensetzung und Dicke lassen sich mit Hilfe von Röntgenfl uoreszenz präzise bestimmen. Das speziell dafür entwickelte Tischgerät FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-µ LEAD FRAME ist mit Polykapillar-Röntgenoptik für Messungen auf kleinsten Struktu-ren ausgestattet. Es erlaubt zugleich automatische Messungen in der Qualitätskontrolle.
FISCHERSCOPE ® X-RAYXDV ®-μ LEAD FRAME
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Leadframe:Au/Pd/NiaufCuFe
Der Spezialist für Leadframes
Merkmale
∙ SpezialgerätzurMessungvondünnenSchichtenundmehrlagigenSchichtsystemenaufsehrkleinen,flachenStrukturenwiez.B.Leadframes
∙ Helium-SpülungerlaubtdieMessungvonsehrleich-tenElementenabNatrium
∙ Polykapillaroptik
∙ High-Power-RöhremitChromanode
∙ Automatischer,4-fachwechselbarerFilter
∙ HochauflösendeCCD-Farbkamera,FadenkreuzmitkalibriertemMaßstab,einstellbareLED-BeleuchtungundLaser-Pointer(Klasse1)zurexaktenProben-platzierung
∙ Silizium-Drift-Detektor
∙ Schneller,programmierbarerXY-TischmitZungen-funktionundelektrischangetriebenerZ-Achse
MitFISCHERSCOPE®X-RAYXDV®-µLEADFRAMEMo-dellenlassensichSchichtdickenimNanometerbereichaufsogenanntenLeadframesundanderenflachenmikroelektrischenBauteilenüberprüfen.Typischdafür:dieMessungvonGold,PalladiumundNickelaufeinemCuFe-Substrat.AuchdieBestimmungdesPhosporge-haltsinNiP-SchichtenisteineDomänedieserspeziellenGeräteserie.
DieeinfachzubedienendenGeräte,dieaufautomatisier-teMessungeninderFertigungskontrolleausgerichtetsind,besitzeneinenprogrammierbarenXY-TischsamtelektrischangetriebenerZ-Achse.EineAussparungimGehäuseerleichtertdasMessenvonflachenProben,dieausderMesskammerherausragen.BeimÖffnenderSchutzhaubefährtderProbentischautomatischnachvorneindieBestückposition.UmfürdiejeweiligeMes-sungidealeAusgangsbedingenzuschaffen,verfügtdasXDV®-µLEADFRAMEsowohlüberelektrischwechselba-rePrimärfilteralsauchübereineaufniedrigeEnergienausgelegtenPolykapillaroptik.
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Nicht nur die Messung, sondern auch das Handling ist bei Wafern eine Herausforderung. Das FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-µ WAFER besitzt einen programmierbaren Messtisch mit Vakuum-Wa-fer-Chuck. Der Wafer wird auf dem Tisch positioniert, danach läuft die Messung an den programmier-ten Punkten vollautomatisch ab. Dank Bilderkennung fi ndet das Gerät die vorgegebenen Messpositio-nen selbstständig.
FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-μ WAFER
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MetallisierungaufWafer
Merkmale
∙ SpezialgerätfürautomatisierteMessungenaufWa-fernmitDurchmessernvon6bis12Zoll
∙ MikrofokusröhremitMolybdänanodealsStandard,Wolframanodeoptional
∙ Automatischer,4-fachwechselbarerFilter
∙ OptimaleörtlicheAuflösung;Messfleckevon10oder20µmFWHWdankhalofreierPolykapillaroptiken
∙ Silizium-Drift-DetektorfürhöchstePräzisionbeidünnenSchichten
∙ Präziser,programmierbarerMesstischmitVaku-um-Wafer-ChuckfürautomatisierteMessungenankleinenStrukturen
WaferstellenhöchsteAnforderungenandieMesstech-nik.ZumeinensinddieOberflächensehrempfindlich.ZumanderensinddieStrukturensoklein,dassnurSpezialgerätesieanalysierenkönnen.
FISCHERSCOPE®X-RAYXDV®-µWAFERModellesindaufdieautomatisierteAnalysevonMikrostrukturenunddamitaufdieBedürfnissederHalbleiterindustriezu-geschnitten.ZudentypischenMessaufgabengehörenz.B.dieCharakterisierungvonBasismetallisierungen,MaterialanalysevonSolderBumpsundSchichtdicken-messungaufKontaktflächen.
DieAnalysevonsowinzigenStrukturenerfordertkleins-teMessflecke.DeshalbsindXDV®-µWAFERGerätemitPolykapillaroptikausgestattet.DiesebündeltdieRönt-genstrahlungaufeinenMessfleckvonnur10–20µmFWHM.DahererlaubteinXDV®-µWAFERSystemeinewesentlichgenauereCharakterisierungdereinzelnenMikrostrukturenalsherkömmlicheGeräte.
Spitzentechnologie für Wafer-Anwendungen
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ObinderAutomobilproduktion,derElektronikfertigungoderderGalvanik–überalldort,woAbläufesehrpräziseundschnellwiederholtwerdenmüssen,werdenRobotereingesetzt.DassteigertdieQualitätundsenktdieKosten.DenndieProzesselassensichunterkonstantenBe-dingungenstetigoptimieren.
DamitdieseVisionRealitätwerdenkann,mussdieQualitätskontrollemitderProduktionSchritthalten.EsisteineleistungsfähigeundvollständigintegrierteMesstechniknötig.DazubietetFischermaßgeschneiderteX-RAY-Lösungen:vomreinraumgerechtenMesssystemfürdieauto-matisierteChip-HerstellungbiszumnahtlosindieAnlageintegrierbarenModulfürdieSchicht-dickenmessung.
Qualitätssicherung im laufenden Prozess
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FISCHERSCOPE ® X-RAY Inline
FISCHERSCOPE ® X-RAY XDV ®-µ SEMI
DiefürQualitätskontrolleinderHalblei-terindustriekonzipierteFISCHERSCOPE®XDV®-µSEMIReihezeichnetsichdurchihrWafer-Handlingaus.DerManipulatorentnimmtdieWaferdenFOUP-oderSMIF-BoxenundpositioniertsiepräziseimgekapseltenMessraum.DieMessungerfolgtautomatisch.DankBilderkennungwerdendievorgegebenenMesspositionensicherangesteuert.
FISCHERSCOPE ® X-RAY 5000
DieGerätedieserSeriebildenmodulareEinheiten,diesichleichtinFertigungsan-lageneinbauenlassen.HauptdomänedesFISCHERSCOPE®X-Ray5000Systems:dieAnalysedünnerBeschichtungenaufgroßflächigenSubstraten,etwainderPhotovoltaik(CIGS,CIS,CdTe).Röntgen-quelle,DetektorundPrimärfilterlassensichkundenspezifischzusammenstellen.
Effi zienz, Flexibilität, Transparenz und ständig zu verbessernde Prozesse spielen in modernen Pro-duktionssystemen eine Schlüsselrolle. Für die Fertigungsmesstechnik heißt das: immer schneller, anpassungsfähiger, genauer und sicherer. Mit Komplettlösungen deckt Fischer das ganze Enginee-ring von der Anforderungsanalyse bis zur Installation und Systemintegration ab.
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FISCHERSCOPE ® X-RAY 4000
DieFISCHERSCOPE®X-RAY4000BaureiheistaufSchichtdickenmessungimlaufendenFertigungsprozesseinerBandgalvanikausgerichtet.DieultraschnelleMechanikzumVerfahrendesMesskopfeserlaubtMes-sungenanverschiedenenPunktendesMessguts.Rönt-genquelleundDetektorlassensichnachindividuellenAnforderungenauswählen.
Automatisierungslösungen by Fischer
ProzesskontrolleinderBandgalvanik
Merkmale unserer X-Ray-Automationslösungen
∙ EinfacheIntegrationinAnlagenumgebung
∙ ProblemloseIT-EinbindungüberFeldbussysteme
∙ JenachMessaufgabekundenspezifischeAnpassungen
∙ ZahlreicheZusatzoptionen
∙ LeichteSkalierbarkeit
∙ IndividuellabgestimmteServiceangebote
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Auf das richtige Maß kommt es an
EinmittelalterlicherMarkt.DieDienstmagdwurdeindieNachbarstadtgeschickt,um16EllenTuchzukaufen.DochderPreiserscheintihrungewöhnlichniedrig.IsteseinwahresSchnäpp-chenoderistdieElleindiesemOrtvielkürzeralszuHause?Wasist,wennderStoffnichtfürdasKleidderHausherrinreicht?Nurgut,dassdieZofesichgemerkthat,dassdieElleamRathausihrerHeimatstadtetwaslängeristalsihreigenerUnterarm.AuchhierhängteineElle.Undtat-sächlich:Dieseistvielkleiner.Alsodann:18EllenStofffürdasKleidderLady.
FrüherbesaßjedeStadtihreigenesEllenmaß.UndjederHerrscherkonnteeigeneMaßeinheitendefinieren.HeutesorgenEinrichtungenwiedasBureauInternationaldesPoidsetMesures(BIPM)oderdiePhysikalisch-TechnischeBundesanstalt(PTB)füreinheitlichemetrologische,jederzeitreproduzierbareStandards.WennMessgerätediehöchsteRichtigkeitliefernsollen,müssensiemitStandardskalibriertwerden,dieaufdasinternationaleEinheitensystemrückführbarsind.
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ObSchichtdickenmessungoderMaterialanalyse–mitweitüber700verschiedenenKalibrierstandardshatFischerfürjedeAnwendungdiepassendenNormaleimSortiment.MitvorgefertigtenSetsfürKorrosionsschutz,LeiterplattenundRoHSsindSiefürSpezialaufgabenebenfallsbestensgerüstet.
KalibrierstandardssindbeschichtetesGrundmaterialoderFolien.ZuroptimalenAnpassunganIhreMessauf-gabelassensichFolienmitGrundwerkstoffenkombinie-ren.UnsereExpertenberatenSiegernebeiderWahlderrichtigenKalibrierstrategie.
Akkreditiertes Prüflabor
FischerverfügtübermehrereakkreditierteKalibrier-labore.DieBesonderheit:AlseinzigesUnternehmeninDeutschlandzertifiziertFischerKalibrierstandardsfürdieMessgröße"Flächenmasse"nachDINENISO/IEC17025.
SolcheStandardswerdenfürdieKalibrierungvonRönt-genfluoreszenzgerätenfürSchichtdickenmessungenein-gesetzt.SieerfüllendiehöchstenQualitätsstandardsderstaatlichenmetrologischenInstitutewiePTB,NationalInstituteofStandardsandTechnology(NIST)oderNatio-nalInstituteofMetrology(NIM).
DurchinternationalanerkannteKalibrierscheineundAnalysezertifikategewinnenSieSicherheitundstärkendasVertrauenderKundeninIhreProdukte.
Einzigartiger Service:Ihr Produkt als individueller Kalibrierstandard
DankderFachkompetenzundlangjährigenErfahrungunseresKalibrierlaborskönnenwirunserenKundensomanchesExtraofferieren.DazuzählteineinzigartigerService:WirentwickelnindividuelleStandardsundzerti-fizierendiesefürSie.
SchickenSieIhrMusterein.UnserLaborprüftdieProbesorgfältigundzertifiziertsiealseinKalibrierstandardnachISO17025.BeiBedarfgreiftFischerzudemaufeinNetzwerkausPartnerlaborszurück,welcheVergleichs-undVerifizierungsmessungendurchführenkönnen.
SieerhalteneinzertifiziertesPrüfmittel,welchesgenauIhremProduktentspricht.DamitbestehenSiesouveränjedesAudit.
Nur ein sorgfältig kalibriertes Messgerät liefert richtige Ergebnisse. Aus diesem Grund setzt Fischer bei den Kalibrierstandards auf höchste Genauigkeit. In unserem hauseigenen Kalibrier-labor entstehen rückführbare Standards, die überall auf der Welt anerkannt werden.
Standards, auf die Sie sich verlassen können
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Für die maximale Verfügbarkeit Ihres X-Ray-Geräts
BeiFischerwerdenServiceundKundennähegroßge-schrieben.UnsereExpertenstehenIhnenweltweitüberdengesamtenProduktlebenszyklusmitRatundTatzurSeite.SokönnenSiesichergehen,dassSieschnelldieHilfebekommen,dieSiebenötigen.WeiterenSupporterfahrenSiedurchunsereApplikationslaboreinSindel-fingen,Düsseldorf,BerlinundHünenberg/Zug(Schweiz).DieseunterstützenSieetwabeiderAusarbeitungderoptimalenMessstrategieoderderDefinitiondespassen-denMessprogramms.
Unsere Empfehlung: regelmäßige Inspektionen
DamitIhrX-Ray-GerätaufDauerzuverlässigarbeitetundVerschleißteilerechtzeitiggetauschtwerden,empfehlenwirregelmäßigeInspektionen.Undzwarmöglichstjähr-lich.UnsereStandardpaketebeinhaltenautomatischInspektionennachISO9001undIATF16949.Darüberhi-nausofferierenwirkundenspezifischeService-Verträge.
AlleInspektionenführtunserspeziellgeschultesSer-vice-PersonalbeiIhnenvorOrtdurch.DamitreduzierenwirAusfallzeitenaufeinMinimum.ZurÜberbrückungvonlängerenWartungs-undKalibrierphasenstellenwirIhnengerneMietgerätezurVerfügung.
Ein Geräteleben lang Ihr zuverlässiger Partner
Wir sind in jeder Hinsicht für Sie da
∙ Telefon-HotlinemitOnline-Support
∙ RegionaleService-Stützpunkte-weltweit
∙ Vor-Ort-Servicein21Ländern
∙ IndividuelleProdukt-Trainings
∙ MaßgeschneiderteInspektionsverträge
∙ Kalibrier-Service
∙ IndividuelleTask-Programmierung
∙ BereitstellungvonMietgeräten
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Kundenservice
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BeiFischerendetdieKundenbeziehungnichtmitdemVerkaufdesGeräts–sie beginntdann.
Paul Comer, Technischer Direktor bei Graphic Plc., England
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Global Sales, Application and Service
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Unsere erfahrenen Mitarbeiter beraten Sie gerne vor Ort und in Ihrer Landessprache.Ihren persönlichen Ansprechpartner finden Sie unter: www.helmut-fischer.com
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