Download - Prof. dr hab. inż. Jacek Szuber
„Innowacyjne technologie wielofunkcyjnych materiałów i struktur dla nanoelektroniki, fotoniki, spintroniki i technik sensorowych”dla nanoelektroniki, fotoniki, spintroniki i technik sensorowych”
InTechFun
Politechnika Śląska (PŚl-2)
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
ZESPÓŁ REALIZUJĄCY PROJEKT
NAZWA:Politechnika Śląska: PŚl-2 Instytut Fizyki – Zakład Technologii Elektronowejod IX 2009 – Instytut Elektroniki, Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki
KIEROWNIK ZESPOŁU: prof. dr hab. inż. Jacek SZUBER
WYKONAWCY:
Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki
WYKONAWCY: - dr inż. Piotr KOŚCIELNIAK (nanotechnologia i charakteryzacja materiałów tlenkowych)- dr inż. Monika KWOKA (nanotechnologia i charakteryzacja materiałów tlenkowych)- mgr inż. Paweł TOMKIEWICZ (doktorat - recenzje) - pasywacja, charakteryzacja struktur, aplikacje- mgr inż. Natalia WACZYŃSKA (doktorantka) - nanotechnologia i charakteryzacja materiałów tlenkowych- Judyta HYNEK (magistrantka) - nanotechnologia materiałów tlenkowych (SD)- Michał SITARZ (magistrant) - profilowanie jonowe materiałów i struktur (SD)
SPECJALIZACJA:- technologia i charakteryzacja powierzchni półprzewodników III-V (GaAs, InP)- technologia i charakteryzacja nanowarstw materiałów tlenkowych
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
ZESPÓŁ REALIZUJĄCY PROJEKT
DOŚWIADCZENIE W DZIEDZINIE PROJEKTU:
Projekty unijne:- V PRUE: Centre of Excellence in Physics and Technology of Semiconductor Interfaces and Sensors (CESIS)
G6MA-CT-2002-04042: Koordynator- VI PRUE: Network of Excellence: General Olfaction and Sensing Projects on a European Level (GOSPEL)
IST-507610: Partner
Projekty krajowe:
Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki
Projekty krajowe: MNiSW: ostatnie 4 lataSpecjalne Programy Badawcze (SPB): 3 (CESIS, GOSPEL) Granty własne: 4Granty promotorskie: 2
Współpraca z zagranicą: Ośrodki: Budapeszt, Chemnitz, Graz, Fukuoka, L’Aquila, Lyon, Sapporo, Tubingen (wspólne publikacje), Prace doktorskie: 4 Publikacje LF (ostatnie 4 lata): 22 (Surface Science, Applied Surface Science, Thin Solid Films, Vacuum)
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
ZESPÓŁ REALIZUJĄCY PROJEKT
DOŚWIADCZENIE W DZIEDZINIE PROJEKTU:Przykład badań własnych: Własności chemiczne i elektronowe powierzchni GaAs(100) oczyszczanej wiązką atomowego wodoru: XPS, PYS, SPS
Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
ZESPÓŁ REALIZUJĄCY PROJEKT
DOŚWIADCZENIE W DZIEDZINIE PROJEKTU:Przykład badań własnych:
Własności chemiczne i elektronowe nanowarstw SnO2 (metoda XPS):
Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
INFRASTRUKTURA
APARATURA TECHNOLOGICZNA I POMIAROWAWielozadaniowa instalacja technologiczno-badawcza UHV
� Komora ładowania
� Komora osadzania nanowarstw (RGVO) przezroczyste tlenki przewodzące: SnO2 , In2O3
� Komora przygotowania podło Ŝy: - działo jonowe sputter (CI-10 Riber)- działo jonowe sputter (CI-10 Riber)- działo atomowego wodoru (HCS-1) - spektrometr mas (Stanford RGA) – TDS
� Komora analityczna A - dyfraktometr LEED - spektrometr AES- spektrometr PYS (SPM-2)- spektrometr SPS (CPD Besocke)
� Komora analityczna B - spektrometr XPS (SPECS, PHOIBOS) - profilowanie jonowe (IQE 12/38) - montaż
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki
INFRASTRUKTURA
APARATURA TECHNOLOGICZNA I POMIAROWAWielozadaniowa instalacja technologiczno-badawcza UHV
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki
ZADANIA B+R
LISTA ZADAŃ WSPÓŁREALIZOWANYCH PRZEZ ZESPÓŁ
- Pakiet PZ0: Zarządzanie projektemZadanie: Z0.1: Zarządzanie
- Pakiet PZ1: Nowe materiałyZadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałów
- Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczne- Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczneZadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur
- Pakiet PZ5: Aplikacje Zadanie Z5.2: Sensor gazów na bazie SPV (WAT?)
- Pakiet PZ6: Promocja i upowszechnianie wynikówZadanie Z6.1: Promocja i upowszechnianie wyników
- Pakiet PZ7: Inwestycje aparaturoweZadanie Z7.2: Zakup i uruchomienie działa jonowego XPS
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki
ZADANIA B+R
POWIĄZANIE Z INNYMI ZADANIAMI/PAKIETAMI ZADANIOWYMI
- Pakiet PZ1: Nowe materiałyZadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałów Zadanie Z1.1: Przezroczyste tlenki półprzewodnikowe (ITE)
- Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczne Zadanie Z2.1: Technologia warstw PVD-MS (ITE) Zadanie Z2.7: Charakteryzacja strukturZadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur
- Pakiet PZ5: Aplikacje Zadanie Z5.2: Sensor gazów SPV (WAT?)
- Pakiet PZ7: Inwestycje aparaturoweZadanie Z7.2: Zakup i uruchomienie działa jonowego XPS Zadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałówZadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki
ZADANIA B+R
WSPÓŁPRACA Z INNYMI ZESPOŁAMI
- Pakiet PZ0: Zarządzanie projektemZadanie: Z0.1: Zarządzanie (W)
- Pakiet PZ1: Nowe materiałyZadanie Z1.3: Charakteryzacja materiałów (IFPAN, ITE, PŚl)
- Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczne- Pakiet PZ2: Nowe moduły technologiczneZadanie Z2.7: Charakteryzacja struktur (IFPAN, ITE, PW, PŚl)
- Pakiet PZ5: Aplikacje Zadanie Z5.2: Sensor gazów SPV (ITE, WAT)
- Pakiet PZ8: Promocja i upowszechnianie wynikówZadanie Z6.1: Promocja i upowszechnianie wyników (W)
- Pakiet PZ7: Inwestycje aparaturoweZadanie Z7.2: Zakup i uruchomienie działa jonowego XPS (IFPAN, ITE, PŚl)
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki
PROMOCJA PROJEKTU
INTERNET:Strona internetowa części PŚl-2 projektu na witrynie Instytutu Elektroniki Politechnice Śląskiej (IX, 2009)
PLAKAT INFORMACYJNY (w przygotowaniu)
ULOTKI INFORMACYJNE(w przygotowaniu)
KONFERENCJE: KONFERENCJE: - International Workshops on Semiconductor Surface Passivation: SSP2009, SSP2011, SSP2013
Proc.: Applied Surface Science (Elsevier, IF=1.5)
- International Workshops on Semiconductor Gas Sensors: SGS 2010, SGS2012 Proc.: Thin Solid Films (Elsevier, IF=1.8)
InTechFun - sponsor strategiczny ?
IMPREZY PROMOCYJNE W UCZELNI
II Spotkanie Realizatorów ProjektuWarszawa
14-15 maja 2009 r.
Instytut Elektroniki Wydział Automatyki, Elektroniki i Informatyki