高真空蒸着装置 eb1900シリーズ - 超高真空技術の …...高真空蒸着装置...
TRANSCRIPT
高真空蒸着装置 EB1900シリーズ
■概 要EB1900シリーズは、ターボ分子ポンプ排気系を標準装備した高真空排気システムに、 E 型電子銃や抵抗加熱蒸発源を搭載可能なR&Dに最適な蒸着装置です。
Vacuum Evaporation System EB1900 Series
多彩な蒸着・実験用にカスタマイズ可能
■特 長
基板交換、蒸着試料交換が容易。
ターボ分子ポンプがクリーンな真空を提供。 ドライポンプ(粗引き)との組み合わせで排気系のドライ化が可能。(オプション)
●ターボ分子ポンプ排気系
各種電子銃、抵抗加熱などの蒸発源、膜厚モニタや蒸着制御器の組み合わせで幅広い仕様に対応。
●豊富なオプション
実績ある弊社標準品を使用。
●高信頼性
● 前面扉式を採用
排気系 TMP+RP 仕様
1095
1495 1340
500
700
620
500 1100 4 -φ161160
450
1100
165
922-9203 2kW電源
蒸着装置本体
■基本仕様
■オプション
■外形寸法図
蒸着源 : 抵抗加熱 2式シャッタ : 蒸発源シャッタ 基板加熱 : ハロゲンランプヒータ その他 : 基板ホルダ 水晶式膜厚計センサ
●チャンバ内部 写真は蒸着装置の一例で、構成は以下の通りです。
項目
到達圧力
排気ポンプ
真空排気操作
蒸着源
チャンバサイズ(mm)
架台
用力 電気
水
ガス
排気ポート
内容
7×10-5 Pa 以下
350L / s ターボ分子ポンプ
200L / m ロータリーポンプ
手動 (自動はオプション)
2kW単発 + 922-9203 2kW電子銃電源
400W × 400D ×780H (93L)
1100W × 700D ×1800H
φ3 200V 30A(M5圧着端子)、A種接地
2L / min (チャンバ冷却用) (Rc3 / 8継手)
N2:0.05MPa (ベント用)
Air:0.3MPa (水追い出し用) (Rc1 / 4継手)
NW25フランジ (RP排気口)
項目
排気系
蒸着源
蒸着制御
内部機構
内容
クライオポンプ、スクロールドライポンプ
3kW単発、2kW3連、抵抗加熱(Max3対)
電子銃スイープコントローラ、膜厚計
基板加熱機構(ランプ)、ソースシャッタ、基板シャッタ
正面図 上面図 (単位mm)
2014年7月作成 無断転載禁止
165-30.1407-2001OK
URL : http://www.canon-anelva.co.jp/
※輸出・移転・処分に関する注意事項 本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に 基づく判定が必要となりますので弊社営業部門に 必ずお問合せください。また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。 ※本カタログに掲載されている内容は性能向上等のため予告なく変更することがあります。
東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1 ・半導体デバイス製造装置/パネルデバイス製造装置 TEL 044-980-5147 FAX 044-986-4236
・ストレージデバイス製造装置 TEL 044-980-5155 FAX 044-986-4236・電子部品製造装置/研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5147 FAX 044-986-4236・真空コンポーネント TEL 044-980-3503 FAX 044-986-4237
西日本エリア 〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33 ・各種装置関係 TEL 06-6821-9701 FAX 06-6821-9702
・真空コンポーネント TEL 06-6821-9703 FAX 06-6821-9704
九州エリア 〒862-0924 熊本県熊本市中央区帯山3-3-10 キヤノンMJ熊本ビル TEL 096-385-3111 FAX 096-385-3061