UFC フランジ（ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空対応のベーカブルフランジ）を使用した超高真空対応の各種導入機です。CMS シリーズは電流・電圧、TDU シリーズは回転運動、TSU シリーズは直線運動を大気側から超高真空容器内に漏れなく導入する端子です。TVU シリーズは、大気側から超高真空容器内を広視野で観察するための覗窓です。

各種超高真空装置 各種研究開発装置 各種成膜装置 その他真空装置全般

超高真空対応　メタライズ処理によりガスの透過が無く、清浄で放出ガスが少ない構造のため超高真空に最適。 ベーカブル仕様

ベーキング可能な封着構造によりリークタイト。【CMSシリーズ】

幅広い圧力範囲に対応 10-2Paから超高真空領域まで使用可能。

豊富なラインナップ 微小電流用のBNC コネクタ式、大電流（400A）用、高電圧（12kV）用など各種ラインナップ。＊ 高い圧力での使用は放電などによりショートする危険がありますのでご注意ください。

【TDU/TSUシリーズ】 固定が容易

任意の位置でハンドル部の固定が可能。 低ガス放出構造

軸シールは、ステンレス鋼製溶接ベローズを使用し、真空中のベアリングは無潤滑で清浄（TDUシリーズ）。（TSUシリーズはベアリングを大気側に配置）

高い操作性 ハンドルと回転軸の回転比は１：１で、回転（正転・逆転）角度を読み取り可能（TDUシリーズ）。

ハンドル１回転あたり1mmのストロークのため、微調整が可能（TSUシリーズ）。

【TVUシリーズ】 ゼロレングス・薄型

フランジから窓部がゼロレングス構造の薄型窓のため、広い有効可視径を実現。

特 長

用 途

超高真空導入機【CMS シリーズ /TDU シリーズ /TSU シリーズ】ゼロレングス覗窓【TVU シリーズ】

真空

バル

ブ

真空バルブ

共通仕様表 溶接タイプ

仕　様　表

電 流 導 入 端 子 　 C M S シ リ ー ズ

超高真空導入機【CMS シリーズ /TDU シリーズ /TSU シリーズ】ゼロレングス覗窓【TVU シリーズ】

電極棒・碍子・座板・パイプ付にフランジを溶接したものが、CMS□□□□－□PFになります。寸法はCMS □□□□－□PFの寸法図を参照ください。

注意: 電極接続部には、大気側、真空側共にナットとワッシャーが付属します。ただし、CMS2D09-8P、8PF、2PFMの大気側には付属しません。

＊2 端子1本あたりの仕様となります。＊3 10-2Pa以下でご使用ください。10-2Pa以上の減圧下では放電を起こし、規定の耐電圧が得られな

い場合があります。＊4 電極棒・碍子・座板・パイプ付質量／電極棒・碍子・座板付質量／電極棒・碍子付質量の順番で記載し

ています。＊5 CMS2D09-8P、8PF、2PFMの大気側の電極接続は、クリップなどを使用してください。M5ネジは

使用できません。

＊1 鉄、ニッケル、コバルトを主成分とした合金です。

使用圧力領域　 10-2 Pa～超高真空領域

許容ベークアウト温度 300˚C以下

温度変化率 25˚C/min以下

許容リーク量 1.3×10-11Pa・m3/s以下

材　質 電極棒 タフピッチ銅

碍　子 セラミック

支持金具 コバール金属　＊1座板・パイプ・フランジ オーステナイト系ステンレス鋼

型　式 電極本数

最大電流＊2

耐電圧＊2, 3

電極取合形状 接　続フランジ

質　量真空側 大気側

CMS2D09-1P 1本 20A DC3kV M2 M5 なし 100/50/20g ＊4

CMS2D09-1PF 1本 20A DC3kV M2 M5UFC070 350g

UVF-40 700g

CMS2D09-1PFM 1本 20A DC3kV M2 M5 UFC034 60g

CMS2D09-2PFM 2本 20A DC3kV M2 M5 ＊5 UFC034 60g

CMS2D09-4P 4本 20A DC3kV M2 M5 なし 170/80g ＊4

CMS2D09-4PF 4本 20A DC3kV M2 M5UFC070 400g

UVF-40 750g

CMS2D09-8P 8本 20A DC3kV M2 φ2 ＊5 なし 130/110g ＊4

CMS2D09-8PF 8本 20A DC3kV M2 φ2 ＊5UFC070 400g

UVF-40 750g

CMS5D20-1P 1本 70A DC5kV M5 M5 なし 140/90/70g ＊4

CMS5D20-1PF 1本 70A DC5kV M5 M5UFC070 400g

UVF-40 750g

CMS5D20-1PFM 1本 70A DC5kV M5 M5 UFC034 100g

CMS5D20-3P 3本 70A DC5kV M5 M5 なし 250/200g ＊4

CMS5D20-3PF 3本 70A DC5kV M5 M5UFC070 500g

UVF-40 850g

CMS10D20-1P 1本 180A DC5kV M10 M10 なし 340/300/280g＊4

CMS10D20-1PF 1本 180A DC5kV M10 M10UFC070 600g

UVF-40 1100g

CMS16D20-1P 1本 400A DC5kV M16 M16 なし 900/800/800g ＊4

CMS16D20-1PF 1本 400A DC5kV M16 M16UFC070 1000g

UVF-40 1500g

CMS5D80-1P 1本 70A DC12kV M5 M5 なし 150/100/80g ＊4

CMS5D80-1PF 1本 70A DC12kV M5 M5UFC070 400g

UVF-40 750g

CMS5D80-1PFM 1本 70A DC12kV M5 M5 UFC034 100g

CMS10D80-1P 1本 180A DC12kV M10 M10 なし 650/600/550g ＊4

CMS10D80-1PF 1本 180A DC12kV M10 M10UFC070 900g

UVF-40 1200g

CMS2DBNC-1PFM 1本 7A DC1kV φ2.2 BNC UFC034 60g

CMS1DTMC-2PFM 2本 2A DC600V 2ーφ1穴 UFC034 50g

CMS□□－□Pは接続フランジのない溶接タイプで、下記3タイプを用意しています。

電極棒

碍子

電極棒

碍子

座板

電極棒

碍子

座板

パイプ

電極棒・碍子付

電極棒・碍子・座板付

電極棒・碍子・座板・パイプ付

20078 122

255 32 55 30

25

φ69.3

φ38.1×t1.5

φ18×t0.5

( φ90)

φ33.8

14245.8

25

96.266.2 30

25

CMS5D80-1PFM

φ41

φ69.3

305115

5 32 3530

M10M10

118190

φ26.1×t0.8

φ38.1×t1.5

（φ105）

φ33.8

φ2 .2

φ9 .6

4012.8 27.2

BNCコネクタ

CMS2DBNC-1PFM

φ33.8

3 .5

6

25.8 2-OD1.5×ID1.0

CMS1DTMC-2PFM ＊6

150135

φ71×t1

20（切欠）

材質：ステンレス

UFC070フランジ用電極カバー（オプション） ＊7

M2

25

87165

5 3278

41

M5

φ69.3

（φ105）

φ38.1×t1.5

φ7×

t0.5

CMS2D09-1PF

2552

9442

φ33.8

CMS2D09-1PFM

2548

9042

φ33.8 8

.4

CMS2D09-2PFM

M2

P.C.D2

0

25

875

165

3278

41

φ69.3

（φ105）

φ38.1×t1.5 M5

CMS2D09-4PF

（φ105）

φ69.3

P.C.D2

2

φ38.1×t1.5

17382 83

5 32 4625

M2

M2M2

M10

8

CMS2D09-8PFφ38.1×t1.5

φ13.7×t0.5

φ69.3

（φ105）

20089

25

5 32 44 3025

111

M5 M5

CMS5D20-1PF

φ33.8

13746 91

2561 30

25

M5

M5

M5

M5

CMS5D20-1PFM

φ38.1×t1.5

P.C.D1

9

φ69.3

（φ105）

20090

5 32 43 302525

M5 M5

110

CMS5D20-3PF

φ69.3

（φ105）

M10

M5

M5 M5

21788

305 32 35

3056129

φ38.1×t1.5

φ26.1×t0.8

CMS10D20-1PF

（φ38.1×t1.5）

（φ33.6×t0.8）

φ69.3

（φ105）

M16

278107 171

505 32 8 70 55

50

M16

CMS16D20-1PF CMS5D80-1PF

CMS10D80-1PF

仕　様 外形寸法図

外形寸法図

超 高 真 空 回 転 導 入 端 子 　 T D U シ リ ー ズ

注意: 寸法はUFCフランジ付のものです。（ ）寸法はUVF フランジ付の寸法です。＊6 CMS1DTMC-2PFM は熱電対導入用の端子で、φ1mm の穴2個に熱電対を通し、ろう付で封止して使用します。＊7 CMS16D20-1PF，CMS10D80-1PFには使用できません。

＊8 手動操作時の値＊9 加熱中は回転させないでください。加熱後も室温にもどるまで回転させないで

ください。回転不良の原因になります。＊10 使用環境や使用方法等のさまざまな不定量要素により、ベローズ寿命より先に

ベアリングが回転不良を起こす場合があります。TDU-8F はベアリング交換が可能です。交換作業は弊社営業所またはお取り引きの特約店にご用命ください。

型　式 TDU-04FM TDU-08F

内外回転比 1：1最小目盛単位 45° 10°駆動軸径 φ5mm φ8mm最大トルク　＊8 0.5N・m 2N・m接続フランジ UFC034 UFC070質　量 0.4kg 1.1kg許容リーク量 1.3×10-11Pa・m3/s以下ベークアウト温度　＊9 150˚C以下 250˚C以下ベローズ寿命　＊10 1万回

169

75 94

φ5 φ

35

30 φ33.8

4 .3

20489115

30

75

φ54

φ32

φ69.3

φ8 7

TDU-04FM

TDU-08F

単位：mm

単位：mm

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

国内販売： アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL03-5218-6011（代） ■西日本営業統括部 TEL06-6397-2281（代）海外販売： 株式会社アルバック　規格品事業部 ■海外営業部 TEL+81-467-89-2261

2523N/2012065000UYO

超高真空導入機【CMS シリーズ /TDU シリーズ /TSU シリーズ】ゼロレングス覗窓【TVU シリーズ】

超高真空直線導入端子　TSU シリーズ

超高真空ゼロレングス覗窓　TVU シリーズ

仕　様

寸法表

仕　様

オプション

外形寸法図

外形寸法図

透過率

型　式 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F

直線移動距離 15mm 40mm移動距離（回転毎） 1mm最小目盛単位 0.05mm 1mm駆動軸径 M6 φ8mm最大スラスト荷重 30kg 20kg接続フランジ UFC034 UFC070質　量 0.7kg 1.2kg 1.4kg許容リーク量 1.3×10-11Pa・m3/s以下許容加熱温度 150˚C以下 250˚C以下ベローズ寿命 1万回

型　式 φA φB T P.C.D N（個） φD 質量（kg）

TVU16FV 34.1 15.7 8.0 27.0 6 4.4 0.05

TVU38FV 69.9 38.0 13.0 58.7 6 6.9 0.3

TVU64FV 113.5 63.6 17.5 92.2 8 8.5 1.0

TVU100FV 151.5 89.3 20.0 130.3 16 8.5 1.5

TVU150FV 202.5 137.0 22.0 181.0 20 8.5 2.5

許容リーク量 1.3×10-11Pa・m3/s以下許容加熱温度 420˚C以下（温度変化率20˚C/min.以下）材質 ガラス窓 硼珪酸ガラス（コバール封着用ガラス）

支持円筒 コバール金属フランジ オーステナイト系ステンレス鋼

（ストローク）

（ストローク）

φ38

φ33.8

20

15M6

410562

167 15

T

N-φD

φBP.C.D.φA

00.1 1

波長

透過率

10

20

40

60

80

100％

μm

（ストローク）

φ69.3

φ28

φ8

φ38

15209103

50

T

N-φD

φBP.C.D.φA

（ストローク）272 40153

φ69.3

φ28

φ8

50

φ38

TSU-15FM

TVU16FV/38FV/64FV

TSU-15F

TVU100FV/150FV

TSU-40F

単位：mm

単位：mm

接続フランジは、ナイフエッジ型メタルシール方式の真空装置用ベーカブルフランジです。国際規格として定められた I SO/3669-1986規格に準じており、この規格に従う他のフランジとの接続が可能です。

TVU38FV、64FV、100FV、150FV のステンレス製保護カバー

右のグラフは、TVUシリーズに使用しているガラスの透過率と波長の関係を示した一般的なデータです。（透過率を保証するものではありません）