ii semestar (2+2+1) nastavnik: prof. dr dragan pantić...

Download II semestar (2+2+1) Nastavnik: Prof. dr Dragan Pantić ...mikroelektronika.elfak.ni.ac.rs/files/Lec_08_Poluprovodnici.pdf · 3 6/12/2012 Osnovne osobine poluprovodnika Osnovne osobine

If you can't read please download the document

Upload: trinhhuong

Post on 06-Feb-2018

227 views

Category:

Documents


3 download

TRANSCRIPT

  • II semestar (2+2+1)

    Nastavnik: Prof. dr Dragan Panti, kabinet [email protected]

    Predavanje VIII

  • 6/12/2012

    Elektronske komponente -

    Pasivne komponente 2

  • 3 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Osnovne osobine poluprovodnika

    Elementarni poluprovodnici i poluprovodnika jedinjenja

    Slobodni elektroni i upljine u poluprovodnicima

    Energetske zone

    Primesni poluprovodnici

    Koncentracije nosilaca naelektrisanja pri termodinamikoj ravnotei

    Transport nosilaca naelektrisanja

    Rekombinacija u poluprovodnicima

    Osnovne osobine Ge, Si, GaAs i SiO2

  • 4 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Osnovne osobine poluprovodnika

    Elementarni poluprovodnici i poluprovodnika jedinjenja

    Slobodni elektroni i upljine u poluprovodnicima

    Energetske zone

    Primesni poluprovodnici

    Koncentracije nosilaca naelektrisanja pri termodinamikoj ravnotei

    Transport nosilaca naelektrisanja

    Rekombinacija u poluprovodnicima

    Osnovne osobine Ge, Si, GaAs i SiO2

  • 6/12/2012

    Elektronske komponente -

    Pasivne komponente 5

  • 6/12/2012

    Elektronske komponente -

    Pasivne komponente 6

  • 7 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Elementarni poluprovodnici u

    periodnom sistemu elemenata

  • 8 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Kristalna struktura elementarnih poluprovodnika

    dijamantska (C, Si, Ge)

  • Kristalna struktura dijamanta

    6/12/2012

    Elektronske komponente -

    Pasivne komponente 9

  • Kristalna struktura silicijuma

    6/12/2012

    Elektronske komponente -

    Pasivne komponente 10

  • 11 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    ematski prikaz Si atoma u ravni

    (atomski broj silicijuma je 14)

  • 12 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Osnovne osobine poluprovodnika

    Elementarni poluprovodnici i poluprovodnika jedinjenja

    Slobodni elektroni i upljine u poluprovodnicima

    Energetske zone

    Primesni poluprovodnici

    Koncentracije nosilaca naelektrisanja pri termodinamikoj ravnotei

    Transport nosilaca naelektrisanja

    Rekombinacija u poluprovodnicima

    Osnovne osobine Ge, Si, GaAs i SiO2

  • 13 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

  • 14 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    U savrenom Si 4 elektrona iz poslednje orbite su povezana sa elektronima susednih atoma (kovalentna veza)

    Si se ponaa kao izolator nema slobodnih nosilaca naelektrisanja

    Na sobnoj temperaturi, usled termikih vibracija kristalne reetke neki elektroni poveavaju svoju energiju, raskidaju kovalentnu vezu i postaju slobodni elektroni

    Atom Si koji izgubi jedan elektron postaje elektrino pozitivan

  • 15 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Generacija/Rekombinacija

  • 16 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

  • 17 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Sopstvena

    koncentracija nosilaca

    naelektrisanja ni

    Slobodni elektroni n0 i

    upljine p0

    Uticaj temperature na

    generisanje nosilaca i

    rekombinaciju

    Na svakoj temperaturi se

    uspostavlja ravnotea

    Kod istog Si uvek vai

    da je n0 = p0 = ni

    ni = 1.13 1010 cm-3 na

    T=300K

  • 18 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Osnovne osobine poluprovodnika

    Elementarni poluprovodnici i poluprovodnika jedinjenja

    Slobodni elektroni i upljine u poluprovodnicima

    Energetske zone

    Primesni poluprovodnici

    Koncentracije nosilaca naelektrisanja pri termodinamikoj ravnotei

    Transport nosilaca naelektrisanja

    Rekombinacija u poluprovodnicima

    Osnovne osobine Ge, Si, GaAs i SiO2

  • 19 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

  • 20 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Energetske zone du jednog pravca u

    istom (sopstvenom) Si na T = 0K

  • 21 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

  • 22 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    irina zabranjene zone Provodna i valentna zona

    su razdvojene nizom

    energetskih nivoa koje

    elektron ne moe zauzeti

    zabranjena zona

    Predstavlja najmanju

    energiju koju je potrebno

    dovesti elektronu u

    valentnoj zoni da bi on

    preao u provodnu zonu

    irina zabranjene zone

    se smanjuje sa

    poveanjem temperature

  • 23 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

  • 6/12/2012

    Elektronske komponente -

    Pasivne komponente 24

    Energetskie zone dijamanta u funkciji konstante kristalne reetke

  • 25 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Osnovne osobine poluprovodnika

    Elementarni poluprovodnici i poluprovodnika jedinjenja

    Slobodni elektroni i upljine u poluprovodnicima

    Energetske zone

    Primesni poluprovodnici

    Koncentracije nosilaca naelektrisanja pri termodinamikoj ravnotei

    Transport nosilaca naelektrisanja

    Rekombinacija u poluprovodnicima

    Osnovne osobine Ge, Si, GaAs i SiO2

  • 26 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Primesni poluprovodnici

    Elektrina svojstva poluprovodnika u najveoj meri zavise od prisustva nekih stranih elemenata, primesa.

    Primese su uvek prisutne u poluprovodniku

    Od posebnog znaaja su primese koje mi u poluprovodnik unosimo kontrolisano

    Koncentracije primesa su u opsegu od 1014cm-3

    do 1022cm-3

    Primese su najee trovalentni ili petovalentni atomi.

  • 27 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Poluprovodnici n-tipa

    Dodajemo petovalentne atome

    P, As, Sb

    Ove primese daju elektrone pa se zato nazivaju donorske primese ili donori

    ND koncentracija donora

    Koncentracija upljina je daleko manja

    n0 je priblino jednako ND Elektroni su veinski a upljine

    manjinski nosioci naelektrisanja u n-tipu poluprovodnika

    ED donorki nivo u blizini dna provodne zone

  • 28 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

  • 29 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Poluprovodnici p-tipa Dodajemo trovalentne atome

    B, Al, Ga, In

    Ove primese primaju elektrone kako bi dopunili kovalentnu vezu pa se zato nazivaju akceptorske primeseili akceptori

    NA koncentracija akceptora

    Koncentracija upljina je daleko manja

    p0 je priblino jednako NA upljine su veinski a elektroni

    manjinski nosioci naelektrisanja u p-tipu poluprovodnika

    EA akceptorski nivo u blizini vrha valentne zone

  • 30 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

  • 31 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Osnovne osobine poluprovodnika

    Elementarni poluprovodnici i poluprovodnika jedinjenja

    Slobodni elektroni i upljine u poluprovodnicima

    Energetske zone

    Primesni poluprovodnici

    Koncentracije nosilaca naelektrisanja pri termodinamikoj ravnotei

    Transport nosilaca naelektrisanja

    Rekombinacija u poluprovodnicima

    Osnovne osobine Ge, Si, GaAs i SiO2

  • Koncentracije nosilaca naelektrisanja pri

    termodinamikoj ravnotei

    Sopstveni i slabo dopiran poluprovodnik

    Koncentracija elektrona

    Koncentracija upljina

    Sopstveni poluprovodnik

    Primesni poluprovodnik

  • Sopstveni poluprovodnik

    poluprovodnik bez primesa (ist

    poluprovodnik)

    Slabo dopirani poluprovodnik

    nedegenerisani poluprovodnik,

    koncentracija primesa je < 1017cm-3

    Jako dopirani poluprovodnik

    degenerisani poluprovodnik kod koga je

    koncentracija primesa > 1017cm-3

  • Sopstveni i slabo dopiran

    poluprovodnik

    U jednoj zoni ima onoliko energetskih nivoa koliko ima nosilaca naelektrisanja

    Paulijev princip jedan energetski nivo jedan elektron

    Koncentracija nosilaca je proporcionalna verovatnoi da energetski nivo E u provodnoj zoni bude zauzet na temperaturi T

    Raspodela elektrona i upljina po energetskim nivoima podlee Fermi-Dirakovoj funkciji raspodele

  • Fermi-Dirakova funkcija

    f(E) verovatnoa da je energetski nivo E zauzet

    k Bolcmanova konstanta (k = 1.38 10-23J/K ili k = 8.62 10-5 eV/K)

    EF energija Fermijevog nivoa

    kT = 0.026 eV (T = 300K)

    Ukupan broj stanja

    Broj zauzetih stanja

  • Fermi-Dirakova funkcija

    raspodele za T=0K

    Diskretna energetska stanja za T=0K

  • Fermi-Dirakova funkcija

    raspodele za T>0K

    Diskretna energetska

    stanja za T>0K

  • Koncentracija elektrona

    Kada je (E-EF) >> kT

    fMB(E)

  • EC dno provodne zone

    NC efektivni broj stanja sveden na dno provodne

    zone

    NC je konstanta i za T = 300K iznosi 2.8 1019cm-3

    Na nekoj drugoj temperaturi se odreuje uz

    pomo izraza:

    kT

    EENn FCc exp0

    2/3

    19

    300108,2

    TN c

  • Primer 1. Izraunati koliko je udaljen Fermijev nivo u odnosu na dno provodne

    zone u silicijumu na temperaturama T0=300K i T1=400K, ako je koncentracija

    donorskih primesa ND=1016cm-3.

    S obzirom da su ve na sobnoj temperaturi T0 sve primese jonizovane, to znai

    n0(T0) n0(T1) ND = 1016 cm-3

    kT

    EENn FCc exp0

    D

    c

    FCN

    T

    T

    T

    TkT

    n

    NkTEE

    2/3

    0

    19

    0

    0

    0

    108,2

    lnln

    16

    19

    010

    108,2ln026,0)(TEE FC 0.206 eV

    16

    2/3

    19

    110

    300

    400108,2

    ln300

    400026,0)(TEE FC

    0.29 eV

    T0 = 300K

    T1 = 400K

  • Koncentracija upljina

    Broj upljina u valentnoj zoni je jednak broju umanjenja valentnih elektrona

    Verovatnoa da se na nekom nivou nalazi upljina je jednaka verovatnoi da na tom nivou nema elektrona

    fh(E,T) = 1 f(E,T)

  • EV vrh valentne zone

    NV efektivni broj stanja sveden na vrh valentne

    zone

    NV je konstanta i za T = 300K iznosi 1.08 1019cm-3

    Na nekoj drugoj temperaturi se odreuje uz

    pomo izraza:

    kT

    EENp VFv exp0

    2/3

    19

    3001008,1

    TN c

  • Primer 2. Izraunati koliko je udaljen Fermijev nivo u odnosu na vrh valentne

    zone u silicijumu na temperaturama T0=300K i T1=400K, ako je koncentracija

    donorskih primesa NA=1016cm-3.

    S obzirom da su ve na sobnoj temperaturi T0 sve primese jonizovane, to znai

    p0(T0) p0(T1) NA = 1016 cm-3

    0.182 eV

    0.257 eV

    T0 = 300K

    T1 = 400K

    kT

    EENp VFv exp0

    A

    v

    VFN

    T

    T

    T

    TkT

    p

    NkTEE

    2/3

    0

    19

    0

    0

    0

    1008,1

    lnln

    16

    19

    010

    1008,1ln026,0)(TEE VF

    16

    2/3

    19

    110

    300

    4001008,1

    ln300

    400026,0)(TEE VF

  • Sopstveni poluprovodnik

    Broj slobodnih elektrona n0 je jednak broju

    slobodnih upljina p0

    n0 = p0 = ni = pi

    kT

    EEN

    kT

    EENn VFiv

    FiC

    ci expexp

  • Korienjem prethodnih izraza moe se

    odrediti poloaj Fermijevog nivoa u

    sopstvenom poluprovodniku:

    8,2

    08,1ln

    22ln

    22

    kTEE

    N

    NkTEEEE vC

    c

    vVC

    iFi

    22

    g

    V

    g

    CiFi

    EE

    EEEE

    Fermijev nivo se nalazi priblino na sredini zabranjene zone!!

  • 22

    g

    V

    g

    CiFi

    EE

    EEEE

  • kT

    EENn FCc exp0

    kT

    EENp VFv exp0

    kT

    ENn

    g

    ci2

    exp

    kT

    ENp

    g

    vi2

    exp

    2 expg

    i i i c v

    En p n N N

    kT

    kT

    EENN

    kT

    EENN

    kT

    ENNn Vivc

    iC

    vc

    g

    vci expexp2

    exp

    Zavisnost sopstvene koncentracije nosilaca od temperature

  • exp2

    g

    i c v

    En N N

    kT

    Sopstvena koncentracija

    nosilaca raste sa

    poveanjem temperature!!

    ira zabranjena zona

    Manja sopstvena

    Koncentracija nosilaca

    T

  • Primer 3. Ako je na temperaturama od T0=300K i T1=400K irina zabranjene

    zone Eg(300K) = 1.1eV i Eg(400K) = 1.09eV, respektivno, izraunati koncentracije

    sopstvenih nosilaca naelektrisanja na tim temperaturama.

  • 51 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Osnovne osobine poluprovodnika

    Elementarni poluprovodnici i poluprovodnika jedinjenja

    Slobodni elektroni i upljine u poluprovodnicima

    Energetske zone

    Primesni poluprovodnici

    Koncentracije nosilaca naelektrisanja pri termodinamikoj ravnotei

    Transport nosilaca naelektrisanja

    Rekombinacija u poluprovodnicima

    Osnovne osobine Ge, Si, GaAs i SiO2

  • Transport nosilaca naelektrisanja(obradiemo direktno na p-n spoju!)

    Drift nosilaca naelektrisanja

    Specifina otpornost i provodnost

    homogenih poluprovodnika; driftovska

    struja

    Difuzija u poluprovodnicima; difuziona

    struja

    Ukupna struja; Ajntajnova relacija

  • 53 6/12/2012

    Osnovne osobine

    poluprovodnika

    Osnovne osobine poluprovodnika

    Elementarni poluprovodnici i poluprovodnika jedinjenja

    Slobodni elektroni i upljine u poluprovodnicima

    Energetske zone

    Primesni poluprovodnici

    Koncentracije nosilaca naelektrisanja pri termodinamikoj ravnotei

    Transport nosilaca naelektrisanja

    Rekombinacija u poluprovodnicima

    Osnovne osobine Ge, Si, GaAs i SiO2

  • Rekombinacija u poluprovodnicima

    Rekombinacija elektrona i upljina je proces u kojem

    dolazi do anihilacije oba nosioca, tj. elektron zauzima u

    jednom, ili iz vie koraka upranjeno mesto.

    Usled razlike u energiji koju elektron ima pre i posle

    procesa, ovaj proces je praen emisijom energije i u

    zavisnosti od toga kakva je ta emisija procesi

    rekombinacije se mogu podeliti na radijativne, kod kojih

    dolazi do emisije fotona, i neradijativne kod kojih se

    oslobodjena energija u vidu kinetike energije predaje

    drugom elektronu.

  • 6/12/2012

    Elektronske komponente -

    Pasivne komponente 55

    SRH

  • 6/12/2012

    Elektronske komponente -

    Pasivne komponente 56

  • Zato silicijum? Prvi materijal koji je korien u poluprovodnikoj industriji

    je bio germanijum (Ge).

    Si inenice Ime je dobio od latinske rei silex ili silicis to znai kvarc (flint)

    Si je 2nd najzastupljeniji element (25.7% ukupne teine) (1st je kiseonik)

    Zato Si?

    irina zabranene zone i radna temperatura

    Si (1.12 ev), Ge (0.66 eV)

    Si do ~ 150 C a Ge do ~ 100 C.

    Lake formiranje pasivizacionog sloja

    GeO2 teko se formira, rastvorljiv u vodi i disocira na 800 C.

    SiO2 lako se formira i hemijski je stabilan

    Cena

    Si ima dosta i jeftiniji je (~ 10 puta jeftiniji od Ge)

  • Osnovni termini koje razumemo?

    Atom

    Proton

    Elektron

    upljina

    Valentnost

    Jonizacija

    Slobodni elektroni

    Silicijum

    Kristalna struktura

    Izolatori

    Provodnici

    Poluprovodnici

    Dopiranje

    Drift

    Difuzija

    Rekombinacija

  • Pitanja na koja znam da odgovorim?

    Opii atom. ta je elektron, ta valentni elektron, a ta slobodni elektron?

    Kako se formira jon?

    Koja je osnovna razlika izmeu izolatora i provodnika?

    Po emu se poluprovodnici razlikuju od izolatora i provodnika?

    Koliko valentnih elektrona ima bakar?

    Navedi bar tri najbolja provodnika.

    Koliko valentnih elektrona imaju poluprovodnici?

    Koji se poluprovodnik najee koristi i zato?

  • nastavak!

    Kako se formiraju kovalentne veze?

    ta znai termin sopstveni poluprovodnik?

    ta je monokristalni silicijum?

    Koliko valentnih elektrona imaju Si i Ge?

    Da li se slobodni elektroni nalaze u valentnoj ili provodnoj zoni?

    Koji su elektroni odgovorni za pojavu struje u materijalu?

    ta su upljine?

    Definii dopiranje

    Koja je razlika izmeu petovalentnit i trovalentnih atoma i kako se oni drugaije nazivaju?

  • nastavak!

    Kako se formira n-tip poluprovodnika?

    Kako se formira p-tip poluprovodnika?

    ta su veinski nosioci naelektrisanja u n-tipu poluprovodnika?

    ta su veinski nosioci naelektrisanja u p-tipu poluprovodnika?

    Kojim procesom se formiraju veinski nosioci naelektrisanja?

    Kojim procesom se vormiraju manjinski nosioci naelektrisanja?

    Koja je razlika izmeu inrinsic i extrinsic poluprovodnika?