kracík, p. - frt gmbh multisenzorová m pro automobilový...
TRANSCRIPT
Kracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová měřicí technika pro automobilový průmysl
Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 1
the art of metrology™
Multisenzorová měřicí technikapro automobilový průmysl
Fries Research & Technology GmbH (FRT) Bergisch Gladbach, Germany
www.frt-gmbh.com
FRT - Fries Research & Technology
Povrchováanalýza
Metrologickésystémy
Procesníkontrola
the art of metrology™
FRT, Fries Research & Technology GmbH, Friedrich-Ebert-Strasse, 51429 Bergisch Gladbach, GermanyPhone: +49 2204 842430, Fax: +49 2204 842431
Email: [email protected], Web: www.frt-gmbh.com
12 let FRT - 1995 / 2007
the art of metrology™
FRT globálně - prodej a servis
the art of metrology™
Topografie, profily
• drsnost, vlnitost• výška textury• radius křivky• úhel
FRT - typické měrné úlohy
Tloušt´ka vrstvy
• tenká vrstva• tlustá vrstva• multiplexní
vrstva• průběh tloušt´ky
Kontrola waferů
• TTV• průhyb• zvlnění
Obrazovévyhodnocení
• průměr• rozměr• textura
Automobily
FRT – hlavní průmyslové zaměření
Polovodičemikroelektronika
MEMS / Nano
Optika
Bartels Mikrotechnik
Created with novaPDF Printer (www.novaPDF.com). Please register to remove this message.
Kracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová měřicí technika pro automobilový průmysl
Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 2
FRT multi-senzorové systémy
the art of metrology™
FRT – metrologické přístroje
MicroProf® mobile
MicroProf® 350
MicroProf® 200
FRT - TTV total thickness variation ( průběh tloušt´ky)
the art of metrology™
MFE - metrologie pro front end
the art of metrology™
FRT – most mezi metrem a nanometrem
12 inch wafer
mikrostruktura
FRT - aplikace v elektronice - solder bumps
koplanarita
topografie
profil
the art of metrology™
drsnost
průhyb
Created with novaPDF Printer (www.novaPDF.com). Please register to remove this message.
Kracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová měřicí technika pro automobilový průmysl
Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 3
FRT – měření ve válcích
FRT MicroProf® Cylinder
profily drsnost nosná křivka úhly honování
FRT – měření válců
topografie 1mm x 1mm
topografie5 mm x 5 mm
FRT – měření válců vlastnosti
the art of metrology™
• mobilita• bezkontaktní měření• rozlišení; vertikálně do 10 nm• rozlišení; laterálně do 2 µm• automatizované měření• samokalibrace• měrné úlohy:
• axiální profily (0°, 90°, 180°, 270°)• radiální profily• textury honování• měření opotřebování
• automatické vyhodnocování
the art of metrology™
FRT – měření válců
profily 0°, 90°, 180°, 270°
drsnost
the art of metrology™
FRT – měření válců
rozprostření úhlů při honovánínosná křivka (Abott)objem oleje ve struktuřeměření opotřebování
FRT – klikové,vačkové hřídele, a měření ložisek
Created with novaPDF Printer (www.novaPDF.com). Please register to remove this message.
Kracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová měřicí technika pro automobilový průmysl
Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 4
FRT - aplikace u automobilových ložisek
the art of metrology™
• Metrologická měření os, tyčí, ložisek (vnitřní a vnější povrch), těsnění, klikových a vačkových hřídelí, válcových povrchů v blocích atd.
• Měření drsnosti, textury, průhybu, objemů,nosné křivky atd.
FRT - aplikace u automobilových motorů
pumpy, bloky, motor
vačkováhřídel
vačkováhřídel
FRT - aplikace u automobilových motorů
těsnění
litina
FRT - aplikace u automobilových motorůRa: 1.257 µmRq: 1.527 µmRz(ISO): 9.082 µmRz(DIN): 8.371 µmRmax: 10.098 µmRp: 4.587 µmRv: 5.519 µmRt: 10.106 µmRsk: 0.403Rku: 2.647RPc: 94.392/cmRk: 3.792 µmRpk: 1.775 µmRvk: 0.944 µmMr1: 17.311 %Mr2: 95.928 %V0: 0.019 µm3/µm2
Profily a drsnost hřídelí, těsnění, bloků ...
FRT - aplikace v elektronice – tlustý film/ keramika
the art of metrology™
FRT - řešení v MEMS
the art of metrology™
Výška strukturyšířkadrsnostkontura
Created with novaPDF Printer (www.novaPDF.com). Please register to remove this message.
Kracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová měřicí technika pro automobilový průmysl
Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 5
the art of metrology™
FRT - mikrostruktury FRT – měření transparentních vrstev
the art of metrology™
SU-08 na waferuSU-08 na waferu
FRT - aplikace u automobilového interiéru
the art of metrology™
FRT - aplikace u automobilového interiéru
topografie 8 mm x 8 mm topografie 0,2 mm x 0,2 mm
Výška strukturyVýška struktury
FRT - aplikace u automobilového interiéru
sebekontrola dělníka
FRT - aplikace u automobilového interiéru
the art of metrology™
TTV - globální variace tloušt´ky, vestavěný airbag
Created with novaPDF Printer (www.novaPDF.com). Please register to remove this message.
Kracík, P. - FRT GmbH Multisenzorová měřicí technika pro automobilový průmysl
Q & GPS; 01-03/2007 MTKJ Plzeň 03/2007 6
FRT - aplikace u automobilového interiéru
the art of metrology™
automatizace
FRT - aplikace u automobilové optiky a osvětlení
optikamikrooptikaasféry
FRT MicroProf® mobile
mobilní měřící přístroj
FRT - aplikace u automobilů - zákazníci· Audi AG· BMW AG· Robert Bosch GmbH· Benecke-Kaliko AG· DAIMLERCHRYSLER· Deuta Werke GmbH· Emitec GmbH· Eschmann-Stahl GmbH & Co. KG Texturing Group· Ford Werke AG· Hella KG Hueck & Co.· Intier Automotive Eybl Interiors GmbH· Osram Opto Semiconductors GmbH & Co. OHG· Peguform Werke GmbH· Rehau AG & Co.· Siemens VDO Automotive AG· Valeo Auto-Electric GmbH & Co. KG· Voestalpine Stahl GmbH· Volkswagen AG· Witte-Velbert GmbH & Co. KG
FRT zákazníci
the art of metrology™
Created with novaPDF Printer (www.novaPDF.com). Please register to remove this message.