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, HSPICE-Link, iN-Tandem, i-Virtual Stepper, Jupiter, Jupiter-DP, JupiterXT, JupiterXT-ASIC, Liberty, Libra-Passport, Library Compiler, Magellan, Mars, Mars-Xtalk, Milkyway, ModelSource, Module Compiler, Planet, Planet-PL, Polaris, Power Compiler, Raphael, Raphael-NES, Saturn, Scirocco, Scirocco-i, Star-RCXT, Star-SimXT, Taurus, TSUPREM-4, VCS Express, VCSi, VHDL Compiler, VirSim, and VMC are trademarks of Synopsys, Inc.
Service Marks ( SM
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Analyzing Devices and Effects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xli Submicron Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xlii Medici Grid. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xlii Physical Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xlii Additional Features . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xlii Advanced Application Modules. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xliii Backward Compatibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xliii
Guide Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xliii Advanced Application Modules . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xlvi Typeface Conventions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xlvii Related Publications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xlvii
Reference Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xlvii Problems and Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . xlvii
Using Medici 1-1
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1 Program Execution and Output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1
Execution Command . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-1 Execution on IBM SP2 Systems with More than One Processor. . 1-2
Syntax Errors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-2 Execution Errors and Warnings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3 Program Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3
Printed Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-3 Graphical Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4 Viewing Graphical Output in Taurus-Visual . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-4
File Specifications. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5
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Output File Identifiers—<base> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-5 Command Input File Identifier—<head> and <root> . . . . . . . . . . . . 1-5 Initially Assigned Names . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-6 Environment Variables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-7 Library Directory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
Input Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8 Command Input File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8
Statement Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-8 2D Process Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9 1D Process Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9
Output Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9 Standard Output File—<base>.out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-9 Informational Output File—<base>.inf . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10 Diagnostic Output File—<base>.dia . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10 Graphical Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10 Formatted Plot Output Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-10 Binary Plot Output Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11 Mesh Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11 Profile Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11 Boundary Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-11 Solution Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12 TIF Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12
TIF File Compression. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-12 Saved Solution Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13 Log Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13 Execution Time Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-13
Miscellaneous Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14 Path File—mdpath . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14 Plot Device Definition File—mdpdev . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-14 Authorization File—mdauth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15 Formatted Key File—mdfky0 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15 Unformatted Key File—mduky0 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-15 Error Message File—mderr0 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16 Circuit Analysis Formatted Key File—mdfky1 . . . . . . . . . . . . . . . 1-16 Coefficient File—mdcof1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-16 Taurus Compatibility Coefficient File—mdcof1_taurus_compat . . 1-17 Temporary Scratch Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1-18
 
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Medici Description 2-1
Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1 Physical Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
Basic Equations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2 Poisson’s Equation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2 Continuity Equations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2 Boltzmann Transport Theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-2
SRH, Auger, and Direct Recombination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3 Surface Recombination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4 Concentration-Dependent Lifetimes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-4 Lattice Temperature-Dependent Lifetimes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5 Recombination Including Tunneling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-5 Schottky Barrier Tunneling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-7
Tunneling Path . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8 Tunneling Barrier Discretization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8 Generation Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
Boltzmann Statistics. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10 Bandgap and Effective Density of States. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11 Bandgap Narrowing due to Heavy Doping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11 Stress-Induced Bandgap Change . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
STRESS2 Bandgap Change Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13 STRESS Bandgap Change Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16
Fermi-Dirac Statistics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-16 Incomplete Ionization of Impurities. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-18
Doping and Temperature Dependent Impurity Activation Energies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-18 High Doping Transition to Complete Ionization . . . . . . . . . . . . . 2-19
Low Temperature Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-19 Quantum Mechanical Effects in MOSFET Inversion Layers . . . . . 2-20 Modified Local Density Approximation Quantum Model . . . . . . . 2-22
QBOX. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-24 Mobility Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-24
 
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Lombardi Surface Mobility Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-36 Generalized Mobility Curve Mobility Model. . . . . . . . . . . . . . . . 2-37 Shirahata Mobility Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-39 Transverse Field- Dependent Mobility Model . . . . . . . . . . . . . . . 2-39
High-k Mobility Degradation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-43 Mobility Stress Factors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-45
Tensor Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-45 Piezoresistance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-46 Doping Factor. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-47 Intel Stress-Induced Hole Mobility Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-47 Limits on Mobility Enhancement Factors . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-51 Valley Occupancy Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-51
High Field Effects . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-52 Parallel Field Mobility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-53 Hewlett-Packard Mobility Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-56 Lucent Mobility Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-56 Inversion and Accumulation Layer Mobility Model . . . . . . . . . . 2-60
Electric Field Calculations for Mobility Models . . . . . . . . . . . . . . . 2-64 Effective Electric Fields at Interfaces. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-65 Electric Field Components. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-65 Transverse Field Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-67
Mobility Model Choices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-68 Comparison of Mobility Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-69
GSURFN Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-69 Transverse Field Mobility Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-69  EJ.MOBIL Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-70 Comparison of CPU Time . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-70  EJ.MOBIL and Subsurface Current Flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-71
Electron-Hole Scattering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-72 Boundary Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-73
Ohmic Contacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-73 Schottky Contacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-74
Imposing Finite Surface Recombination Velocities. . . . . . . . . . . 2-74 Barrier Lowering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-75
Contacts to Insulators. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-76 Neumann Boundaries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-76 Interface Charge and Traps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-77 Lumped Resistance, Capacitance, and Inductance Elements . . . . . 2-78
Lumped Element Boundary Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-78 Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-79
Current Boundary Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-79 Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-80
Distributed Contact Resistance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-80 Majority Carrier Contact . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-82
Numerical Methods. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-82 Relevant Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-82
Selecting Equations to Solve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-83
 
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Nonlinear System Solutions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-84 Common Concepts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-84 Initial Guesses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-86 Quasi-Fermi Level Adjustments. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-87
Coupled Solutions (Newton’s Method) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-87 Jacobian Matrix in Newton . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-88 Accelerating the Newton Iteration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-88 When to Choose Full Newton . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-89 Newton Damping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-89
Decoupled Solutions (Gummel’s Method) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-89 When to Use Gummel . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-90 Accelerating Gummel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-90 Using ICCG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-90 ICCG Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-90 Poisson Damping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-90
Continuation Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-91 Continuation Steps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-91 Parameter C.DVMAX . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-92
Linear Matrix Solution. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-93 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-93 Jacobian Matrix . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-93 Direct Method. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-95 Incomplete Cholesky Decomposition. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-95  ILUCGS Solver . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-97 GMRES Solver. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-99
Grid in Medici  . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-100
Grid Allocation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-100 Coordinate Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-100
Cartesian Coordinates. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-101 Cylindrical Coordinates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-101
Maximum Number of Nodes and Memory Use. . . . . . . . . . . . . . . 2-101  Memory Requirements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-102
Grid Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-102 Grid Refining Restrictions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-102 Initial Grid Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-102
Rectangular Mesh Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-102 Mesh Statements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-103
 
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Mesh Smoothing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-110 Node Smoothing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-110 Element Smoothing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-110 Undesirable Effects of Obtuse Elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-112
Transient Device Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-112 BDF1 Formula . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-112 BDF2 Formula . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-113
Time Steps Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-114 Dynamic Error Tolerance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-114 Time Step Restrictions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-114 Dynamic Error Tolerance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-114 Time Step Restrictions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-114 User Specifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-115 Impulse Response . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-115
AC Small-Signal Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-115 Basic Concepts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-115 Sinusoidal Steady-State Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-116 Successive Over-Relaxation Method (SOR) . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-118 High Frequency Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-118 AC Analysis Beyond the Basic Equations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-119
Impact Ionization Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-119 Post-Processing Method. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-119
Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-120 Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-120
Self-Consistent Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-120 Electron-Hole Generation Rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-121 Driving Field for Impact Ionization. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-122 Node-Based Impact Ionization. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-123 Nonlocal Impact Ionization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-123 Examining Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-125
Gate Current Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-125 Lucky-Electron Gate Current Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-126
Probability Factors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-126 Gate Current Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-128
Angle-Dependent Gate Current Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-128 Insulator Probability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-129 Electron Scattering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-130 Surface Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-130
 
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Electron Probability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-132 Conversion to Local Electric Field Model . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-132
Direct Tunneling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-132 Parameter Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-134 Relationship to Fowler-Nordheim Tunneling . . . . . . . . . . . . . . . . 2-135 Direct Tunneling Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-135
Direct Tunneling Method 1: Analytical Evaluation . . . . . . . . . . 2-136 Direct Tunneling Method 2: Numerical Integration of WKB Tunneling Coefficient . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-137 Direct Tunneling Method 3: Numerical Integration of Gundlach Tunneling Coefficient . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-138 Direct Tunneling Method 4: Numerical Integration of AiryTMT Tunneling Coefficient . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-139
AC Small-Signal Analysis of Direct Tunneling . . . . . . . . . . . . . . 2-140 Ionization Integrals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-140
Calculations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-141 Specification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-141 Electric Field Lines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-142
Band-to-Band Tunneling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-142 Tunneling Factor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-144
Energy Balance Equations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-145 Implemented Differential Equations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-145
Compound Semiconductor EB Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-147 Boundary Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-148 Physical Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-148
Carrier Temperature-Based Mobility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-149 Energy Relaxation Times . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-150 Impact Ionization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-151 Thermally Enhanced Diffusion Current . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-152 Energy Balance Post-Processing Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-152
Plotting Simulation Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-153 Decoupled Solution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-153 Coupled Solution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-154
Regional Specification of Semiconductor Parameters . . . . . . . . . . . . 2-155 Programmable Device Advanced Application Module . . . . . . . . . . . 2-155
Charge Boundary Condition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-156 Fowler-Nordheim Tunneling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-156
Tunneling Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-157 Hot Carrier Injection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-157 Specifying Structure (Electrodes and Charges) . . . . . . . . . . . . . . . 2-158 Graphical Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-158
Circuit Analysis Advanced Application Module . . . . . . . . . . . . . . . . 2-159 Numerical Method Used in the CA-AAM. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-159
 
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Lattice Temperature Advanced Application Module . . . . . . . . . . . . . 2-161 Heat Equation Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-162
Heat Flow Equation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-162 Overriding Default Modules. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-162 Electric Field Terms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-163
Poisson’s Equation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-164 Current Density Equations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-164 Numeric Methods. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-165
Parameters and Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-165 Decoupled Block Iterative Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-165 Optimizing Convergence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-166
Thermal Electrodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-166 Thermal Lumped Elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-166 Physical Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-167
Heterojunction Device Advanced Application Module . . . . . . . . . . . 2-167 Material Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-168
Band Diagram. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-169 Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-169
Device Equations for Heterojunctions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-169 Models for Compound Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-170
Permittivity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-170 Density of States. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-171 Bandgap-Related Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-171 Simple Bandgap and Electron Affinity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-171 Lattice Temperature-Dependent Bandgap . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-172 Strained SiGe Bandgap. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-172 Unstrained SiGe Bandgap . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-172 Three-Valley and Two-Band Band-Related Models . . . . . . . . . 2-173
Mobility Models for Compound Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-177 Low-Field Mobility Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-177 High-Field Mobility Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-179
Virtual Nodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-180 Poisson Equation and Band Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-181 Heterojunction Currents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-181 Thermionic Emission Current Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-182 Tunneling Current Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-183
Trapped Charge Advanced Application Module . . . . . . . . . . . . . . . . 2-183 Analysis with Trapped Charge. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-184
Recombination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-184 Modeling. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-184
Photogeneration Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-190 Absorption Models. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-191
Wavelength Dependent Empirical Tables . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-192
 
MD 2007.12 xi
Anisotropic Material Advanced Application Module . . . . . . . . . . . . 2-195 Permittivity Tensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-196
Additional Capabilities. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-196 Thermal Diffusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-197 Advanced Band Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-198
Notes on Usage. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-198 Symbol Definitions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-199 References. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-211
Input Statement Descriptions 3-1
Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1 Input Limits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2 Syntax. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
Appending . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2 Statements with Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2 Statements without Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3 Logical . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
True or False Value . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3 Character and Numerical Value . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
Numerical. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3 Array . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Format. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4 Character . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Value. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4 Length. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
Numerical Expressions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5 Components and Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
 
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Component Precedence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8 Examples of Numerical Expressions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
Character Expressions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9 Syntax. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9 Length . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9 Character Expression Examples. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
Statement Description Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10 Parameter Definition Table . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10 Parameter Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10 Syntax of Parameter Lists . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11
Value Types < > . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-11 Defining Groups { }, [ ], ( ), | . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12 Optional Groups [ ]. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12 List of Groups {}, | . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12 Group Hierarchy ( ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-12
Device Structure Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-13 Rectangular Mesh Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14
Mesh Statements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-14 MESH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-15
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22 Generating an Initial Mesh. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
Cartesian and Cylindrical Coordinates. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22 Statement Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-22
Mesh Smoothing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-23 Periodic Boundary Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24 Automatic Boundary Conforming Mesh Generation. . . . . . . . . . . . 3-24
Algorithm . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-24 New Automatic Boundary Conforming Mesh Generator . . . . . . . . 3-25
Spacing Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25 Gridding Region Boundaries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-25 Gridding Region Interiors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26 Automatic Refinement Near Corners . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-26 Junctions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27 Electrodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27 ABC Meshing Tips. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-27
 
MD 2007.12 xiii
Quadtree Mesh Generation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29 Algorithm . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-29 Boundary Fidelity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30 Immediate Regridding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30 Preserving Thin Regions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-30 Quadtree Files. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31
Previously Generated Meshes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31 Restrictions and Limitations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-31 TSUPREM-4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
Other Programs and TIF. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32 Smoothing Region Shape. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-32
X.MESH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-34
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35 Node Placement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35
NODE, LOCATION, and RATIO . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35 LOCATION and SPACING. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-35 WIDTH, N.SPACES, H1, H2, H3, and RATIO. . . . . . . . . . . . . . 3-36
Y.MESH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-37 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38 Node Placement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38
NODE, LOCATION, and RATIO . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38 LOCATION and SPACING. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-38 DEPTH, N.SPACES, H1, H2, H3, and RATIO. . . . . . . . . . . . . . 3-39
ABC.MESH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-40 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-44 Spacing Boxes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-44 Gridding Region Boundaries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-44
Alignment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-46 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-47 Gridding Region Interiors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-48 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-49
Automatic MOSFET Meshing. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-50 ELIMINATE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-52
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-53 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-53
Restrictions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-53 SPREAD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-54
Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-55 BOUNDARY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-57
Input and Boundaries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-59 Statement Ordering. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-59
 
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Restrictions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-59 File I/O . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-59 Termination, Overlap, and Intersect Examples . . . . . . . . . . . . . . . . 3-60
Termination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-60 Overlap . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-60 Intersect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-61
Compatibility . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-61 Synopsys TCAD. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-61 Process Simulator Data Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-62
Transformation and Truncating . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-62 Boundary Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-62
Kinks. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-62 Boundary Matching (Intersections) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-64 Aspect-Ratio-Based Subdivision . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-64
Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-64 Unsuccessful Termination, Subdivision Error . . . . . . . . . . . . . . . 3-64 Unassigned Elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-65 Overwriting Region . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-65 Gridlines Removed. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-66
Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-66 TSUPREM-4 LOCOS Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-66
TSUPREM4 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-69 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-70 Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-70
REGION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-72 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-75
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76 Material Types . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76 Boundaries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76
Bounding Box. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76 Polygon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76 Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-76 Point Within an Existing Region . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-77
Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-77 ELECTRODE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-78
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-80 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-80
Boundaries . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-80 Bounding Box. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-80 Polygon. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-81 Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-81 Region Name . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-81 Point Within a Region Specification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-81
Electrode Nodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-82 Adding Electrodes to Existing Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-82
RENAME . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-83 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-83
MD 2007.12 xv
PROFILE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-84 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-90
Specifying Individual Impurity Profiles. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-90 Specifying Profiles for Other Quantities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-91
Analytic Profiles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-91 Vertical Variation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-91 Lateral Direction Variation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-92 Junction Depth . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-92 Impurity Dose. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-93 Polygonal Profiles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-93 Polygonal Profiles from Taurus Layout Mask Files. . . . . . . . . . . . 3-93 Profile Rotation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-93
1D Profiles from Data Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94 Vertical Range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94 Lateral Range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94 Rotational Profile Extension. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94 Choosing Profiles to Input . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-94
2D Profiles From Data Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-95 Vertical and Lateral Ranges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-95 Choosing Profiles to Input . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-96
REGRID . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-97 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-101
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-101 Grid Refinement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-101
Refinement Levels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-101 Using the FACTOR Option . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-102 Other Notes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-102
 Quadtree Mesh Refinement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-102 Mesh Spacing and Refinement Criteria . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-103 Controlling Mesh Quality. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-104 Multiple Regrids. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-104 Disabling Quadtree Refinement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-104 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-104
STITCH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-105 STITCH Statement Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-106
Solution Specification. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-109 MODELS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-110
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-117 Impact Ionization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-118
Driving Field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-118 Carrier Temperature . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-118
Fowler-Nordheim Tunneling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-118 Direct Tunneling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-118
 
xvi MD 2007.12
PHOTOGEN. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-121 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-127
Photogeneration Equation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-128 Time-Dependent Term . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-128 Pulse Light Type Source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-129 Radial Dependence. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-129 Length Dependence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-129 Spatially Dependent Terms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-130
Shockley-Read-Hall Lifetime Modifier . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-131 Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-131
Single-Event Upset (SEU) #1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-131 Single-Event Upset (SEU) #2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-132 Gaussian X-Ray Pulse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-132 Uniform X-Ray Pulse . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-133 Visible Light Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-134
Ray Tracing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-134 Ray Tracing Method Options . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-134 Incident Ray Quantities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-134 TM and TE Wave . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-135 Boundary Conditions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-135 Ray Termination. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-136 Spectral Intensity File. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-137 Transmission Through a Stack of Material Layers . . . . . . . . . . 3-137 Example Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-138 Black-Body Radiation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-138
TRAPS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-139 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-141
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-141 Trap Model. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-141
Trap States . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-142 Saved Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-142
Trap Statement Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-142 Single Electron Trap. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-142 Time Dependent Traps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-142 TFT Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-143
Interface Traps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-145 Identifying Interface Nodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-145 Specifying Interface States . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-145 Trap Placement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-146 Heterojunction Limitations. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-146
QBOX . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-147 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-147
MD 2007.12 xvii
SYMBOLIC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-149 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-151
METHOD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-152 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-159
Default . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-161 XRI.NORM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-161 Error Tolerances . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-161 Energy Balance Solution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-162 Lattice Temperature Solution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-162 ILUCGS, Bi-CGSTAB, and GMRES . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-162 Gummel’s Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-163 Newton’s Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-163 DAMP.CON . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-164 SOI Convergence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-164
Continuation Methods . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-165 Transient Simulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-165 Accurate Low-Level Current Calculations . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-166
LIMIT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-167 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-167
SOLVE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-169 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-179
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-179 Initial Guesses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-180 Bias Selection. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-180 Multiple Solutions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-180 Synchronization in Saving Solutions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-180 Circuit Analysis Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-181 Continuation Method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-182
User-Input. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-182 Trace Back Problems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-182
Transient Simulations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-183 Ramped Voltage or Current . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-183 Sinusoidal Waveform . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-183
Post-Processing Impact Ionization. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-183 Gate Current . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-184
Fowler-Nordheim Tunneling Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-184 Direct Tunneling Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-184 AC Small-Signal Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-184 S-Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-185 AC Analysis with Circuit Simulation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-185
 
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Optical Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-186 Monochrome Light DC Response . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-186 Multi-Spectral Light DC Response . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-186 Light Modulation Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-187
Input/Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-189 EXTRACT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-190
Extraction with Expressions and Names . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-195 Extraction of Maximum Electric Field. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-195 Calculation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-195 Defining Mobility and Lifetime Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-195 Binary Search . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-196 Defining Doping Profiles Using EXTRACT Expressions . . . . . 3-196
Optimization. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-199 Optimization Guidelines . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-200
Parameter Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-200 Initial Guess and Limits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-200 Examining the Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-200 Terminating the Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-201
Simple Extraction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-201 Extract Fast Fourier Transform from Transient Data . . . . . . . . . . 3-202 Extraction of MOS Device Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-203 Predefined Quantities in Expressions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-204
Gradients of Predefined Quantities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-208 PRINT. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-209
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-211 PLOT.1D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-212
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-223 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-224
Line Plots . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-224 Minimum or Maximum Quantity and Location . . . . . . . . . . . . . 3-224 Internal Plots of AC Quantities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-225
Plots of Log File Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-225 Axis Quantities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-225 Circuit Analysis AAM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-226
Other Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-226 PLOT.2D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-227
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-230 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-230
Disabling Clear . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-230 Physical Device Boundaries. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-231 Junctions, Depletion Regions, and Grid. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-231 Schematic Representations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-231 Device Structure. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-231 Required Solutions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-232
PLOT.3D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-233
MD 2007.12 xix
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-240 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-241
Viewport, Plot Axes, and Rotation Angles . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-241 Viewport . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-241 Plot Axes and Rotation Angle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-241
3D.SURFACE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-242 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-243
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-243 Limitations and Plotting Combinations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-243 Quantity Ranges. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-243
CONTOUR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-244 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-249
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-249 Minimum, Maximum, and Interval Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-249 Examples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-250
VECTOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-251 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-253
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-253 Vector Scaling . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-253 Vector Size . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-254 AC Vectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-254
FILL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-255 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-256
E.LINE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-258 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-262
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-262 Identifying Output and Input . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-262 First Potential Gradient Path . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-263 Previously Defined Solutions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-263 Line Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-263
LABEL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-264 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-266
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-266 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-266 Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-266
Sizing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-266 Location . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-266 Line and Arrowhead . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-267 Starting Coordinates . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-268
LOG . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-269 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-272
 
xx MD 2007.12
Input Variables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-273 Output Variables. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-274 S-Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-274 Y-Parameters and H-Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-275 Electrode Names. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-275 IC-CAP Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-275 Data File Names . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-276
LOAD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-277 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-277
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-278 Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-278
Single Solution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-278 Two Solutions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-278 Analyzing Differences . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-278 Storing a Solution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-278
Solution File Data . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-279 Setup Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-279
SAVE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-280 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-281
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-282 File Formats . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-282 Saving AC Quantities in TIF Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-282 Saving a Quadtree Mesh. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-282
Coefficients and Material Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-285 MATERIAL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-286
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-304 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-304 Applicable Regions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-304 Parameters from Solution Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-304
Optical Device AAM Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-304 Changing Table Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-304 Coefficient Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-305  Physical Absorption Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-306
Default Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-306 Other Semiconductor Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-314 Some Remarks on BGN2 Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-315
MOBILITY. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-316 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-335
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-335 Impurity Dependent Mobility Tables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-335 Mobility Parameters from Solution Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-335
Default Mobility Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-336 Note Regarding Piezoresistance Coefficients . . . . . . . . . . . . . . 3-345
IMPURITY . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-346 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-348
CONTACT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-349 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-352
MD 2007.12 xxi
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-352 Work Function Potentials. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-352 Cautions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-353
Contacts to P-type Regions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-353 Insulator Contacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-353 N+ Poly Gate MOS Simulations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-353
Special Boundary Conditions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-353 Schottky Contacts . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-354 Mixing Boundary Conditions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-354
INTERFACE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-355 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-356
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-356 Interface Selection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-356 Insulator Charge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-356 Saving Interface Parameters in Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-357
ANISOTROPIC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-358 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-364
Anisotropic Properties of Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-366 Carrier Thermal Diffusivities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-367 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-367
General Anisotropic Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-367 Impact Ionization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-367
Thermal Conductivity. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-368 Advanced Band Structure Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-369
Circuit Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-371 Circuit Mode Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-372 Syntax and Use . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-372
Control Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-373 Order of Execution. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-373 Circuit Elements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-373 Punctuation and Case . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-373 Circuit Nodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-373 Current Nodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-374 Medici Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-374 Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-374
Numerical Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-374 Unit Identifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-375 Logical Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-375 Character Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-375 Regional Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-375
CALL Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-376 Active Circuit Elements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-376
Model Types. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-376 Model Parameters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-377
 
xxii MD 2007.12
START . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-379 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-379 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-379
C<name>. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-380 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-380 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-380
D<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-381 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-381
E<name>. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-382 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-382
F<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-383 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-383
G<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-384 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-384
H<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-385 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-385
I<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-386 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-387 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-388
K<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-389 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-389
L<name>. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-390 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-390
Inductance Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-390 M<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-392
Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-392 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-392
P<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-393 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-393 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-393
Q<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-394 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-394
R<name>. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-395 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-395
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-395 V<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-396
Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-398 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-398
W<name> . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-399 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-399
.MODEL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-400 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-407
SPICE Capacitance Models . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-408
MD 2007.12 xxiii
.IC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-410 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-410
.OPTIONS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-411 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-412 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-412
.LOAD . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-413 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-413 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-413
FINISH . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-414 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-414 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-414
Documentation and Control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-415 Control Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-416
Obtaining Help. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-416 Interactive and Batch Input Modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-416 Statement Line Numbers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-417
Processing Order . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-417  Example. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-417
Currently Available Input Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-417 Output of Statement Information . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-418 Output to Terminal. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-418 Controlling Program Execution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-418
CALL Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-418 Conditional Statements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-419 LOOP Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-419 ASSIGN Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-419 RETURN Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-419 STOP Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-419 IGNORE Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-419
Optimization. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-420 Optimization Process . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-420
Sensitivity Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-420 Sensitivity Analysis Process. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-421
TITLE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-422 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-422
COMMENT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-423 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-423
OPTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-424 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-425
TIF File Compression and Decompression . . . . . . . . . . . . . . . . 3-425 Maximum Nodes Available . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-426 Alternative Method for Terminal Current Calculations . . . . . . . 3-426
HELP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-427 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-427
xxiv MD 2007.12
CALL . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-428 Reading a CALL File . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-428 Range Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-429
Default Values . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-429 Statement Modification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-429
Nesting CALL Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-430 Generating Template Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-431
Construction Methods . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-431 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-431 Using Template Files . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-431 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-432
INTERACTIVE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-433 Starting Interactive Mode. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-433 Terminating Interactive Mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-433 Entering Long Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-434 Entering Statements in Loops . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-434
BATCH. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-435 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-435
I.PRINT. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-436 Range Parameters. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-436 CALL Statements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-436 Output. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-437
I.SAVE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-438 Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-438 Saving Input Statements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-438 Saving a Range of Statements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-439 Repeated I.SAVE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-439 Statement Modification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-439
IF . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-441 Specifying Block Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-441
Matching and Nesting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-441 Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-441 Example . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-442
See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-442 ELSE. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-443
Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-443 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-443
IF.END . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-444 See Also . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-444
LOOP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-445 Statement Looping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-445
Loop Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-446 Matching and Nesting. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-446 Loop Counters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .