pirelli labs optical innovation l a b s m. romagnoli integrated optics: basic building block lower...
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PIRELLI LABS OPTICAL INNOVATION
L A B SM. Romagnoli
Integrated Optics: basic building blockIntegrated Optics: basic building block
Lower Clad OxideLower Clad Oxide
wgwg wgwg
Silicon SubstrateSilicon Substrate
Upper clad conformal oxideUpper clad conformal oxide
RI= nRI= ncorecore22-n-ncladclad
22/2 n/2 ncorecore22
MaterialMaterial RIRI WaveguiWaveguide Sizede Size
CurvatuCurvaturere
SiOSiO22 (Ge) (Ge) 0.7%0.7% 4.5X4.5 4.5X4.5 µmµm22
7 mm7 mm
SiOSiO22 (Ge) (Ge) 2.5%2.5% 2.5X2.5 2.5X2.5 µmµm22
1.2 mm1.2 mm
SiONSiON 7%7% 2.2X2.2 2.2X2.2 µmµm22
300 µm300 µm
SiSi33NN44 35%35% submicrosubmicronn
7 µm7 µm
SOISOI 41%41% Deep-Deep-submicrosubmicronn
2.5 µm2.5 µm150 mm150 mm
PIRELLI LABS OPTICAL INNOVATION
L A B SM. Romagnoli
Piattaforma Tecnologica Pirelli
• Clean Room di classe 10
• Capacità di fabbricazioni sub micron: litografia E-beam ed ottica
• Deposizioni di: SiO2, SiN, etc
• Banchi di allineamento automatico e di fiber pigtail
• Tecnologie di packaging avanzato: laser welding etc.
• Piattaforme disponibili: SOI, Glass,...
PIRELLI LABS OPTICAL INNOVATION
L A B SM. Romagnoli
Funzionalità per la fotonica integrata
• laser sintonizzabile
• circuiti ottici integrati (PLC) a basso (SiO2, SiON) ed alto salto d’indice (SOI, SiN)
• filtri fissi e sintonizzabili
• filtri per compensazione di dispersione
• switch (termo-ottico)
• microriscaldatori per controllo termico PLC e sintonizzazione filtri/switch etc.
• integrazione ibrida di laser e fotodiodi pigtail & packaging di chip