Vi hệ thốngVi hệ thống

1

GV: Nguy ễn Hoàng Nam(chương trình Kỹ sư CLC – Khóa 51)

18/08/2010

Vi hệ thống

Nội dung môn học

1. Khái ni ệm chung về vi hệ thống1. Cấu chúc chung hệ thống ño lường2. Khái ni ệm vi hệ thống –ño lường3. Phân loại

2. Cáccôngnghệ cơ bản của vi hệ thống

Nguyễn Hoàng Nam2

2. Cáccôngnghệ cơ bản của vi hệ thống1. Công nghệ vi ñiện tử2. LIGA3. Vi cơ ñiện tử - MEMS4. Quangñiện tử - Optoelectronic5. Màng sinh học, thẩm thấu

Vi hệ thống

Vi hệ thống

Nội dung môn học

3. Các vi hệ thống cụ thể1. Vi hệ thống biến ñổi năng lượng2. Vi hệ thống truyền tin3. Camera & máy ảnh số4. Vi cảm biến

Nguyễn Hoàng Nam3

4. Vi cảm biến5. Cảm biến y sinh – Biosensor6. Bộ chấp hành vi cơ7. Vi hệ thống khả lập – PSoC

Tài li ệu tham khảo1. Bài giảng vi hệ thống – Nguyễn Tr ọng Quế

2. Intelligent Sensor System – John Brignell

Vi hệ thống

Vi hệ thống

§ Cái nhìn bao quát về vi hệ thống

Chức năng

-Biến đổi.

-Xử lý tín hiệu.

-Xử lý số liệu

Nguyễn Hoàng Nam4Vi hệ thống

Kết cấu

Công nghệ

-Kết cấu điện cơ

-Kết cấu quang điện

-Kết cấu hoá điện

-Kết cấu sinh học điện

-Công nghệ vi điện tử.

-Công nghệ vi gia công.

-Công nghệ nano.

-Công nghệ gia công hoá lý

-Xử lý số liệu

-Điều khiển

-Truyền tin.

Vi hệ thống

Hệ thống cơ ñiện/ñiện tử vĩ mô Hệ thống vi cơ ñiện tử - MEMS

§ Ví dụ về vi hệ thống

Nguyễn Hoàng Nam5Vi hệ thống

Ô tô DENSO (TOYOTA) dài 4,8 mm (1/1000 kích thước thật), trang bị ñộngcơ mô-tơ kích thước 0,67 mm, quấn dây ñồng ñường kính 18 µm, hoạt ñộngtheo nguyên lý ñiện từ, có thể ñạt tốc ñộ 600 vòng/phút (∼ 5÷6 mm/s).

Vi hệ thốngthướ

c10

0µm

)§ Ví dụ về vi hệ thống (tiếp)

Nguyễn Hoàng Nam6Vi hệ thống

Kíc

hthướ

(0.1

µm

–10

0µm

Vi hệ thống

§ Ví dụ về vi hệ thống (tiếp)

Nguyễn Hoàng Nam7Vi hệ thống

Microswitch Micro-SAWSurface Acoustic Wave

Resonator

Vi hệ thống

Nguyễn Hoàng Nam8Vi hệ thống

Bio-MEMS Micro-components Vi gương (projector…)

Vi hệ thống

§ Ví dụ về vi hệ thống (tiếp)

Nguyễn Hoàng Nam9Vi hệ thống

Vi hệ thống

Nguyễn Hoàng Nam10Vi hệ thống