vi he thong ngay03 - nh nam

Vi hệ thốngVi hệ thống

1

GV: Nguy ễn Hoàng Nam(chương trình Kỹ sư CLC – Khóa 51)

18/08/2010

Vi hệ thống

Phân loại theo công nghệ sản xuất

§3 Phân loại và ứng dụng

Vi khối Vi bề mặt Vi khắc

Nguyễn Hoàng Nam2Vi hệ thống

Vi hệ thống

�1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS

�1.3.2 Vi quang hệ thống - MOEMS

Phân loại theo lĩnh vực


�1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS

�1.3.4 Vi hệ thống lưu dẫn– Microfluidic

�1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS

Vi hệ thống

�Vi ngắt (micro-switch)

1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS


Vi hệ thống

1.3.1 Vi cơ hệ thống - MEMS

�Vi ñộng cơ (micro-motor)


Vi hệ thống

1.3.2 Vi quang hệ thống (MOEMS)


Vi hệ thống

1.3.3 Vi hệ thống vô tuyến – RF MEMS


Vi hệ thống


�Vi cuộn cảm (micro-inductor)


Vi hệ thống


�Vi tụ (micro-capacitor)

Kiểu bềmặt treo


Kiểu càirăng lược

Vi hệ thống


�Vi cộng hưởng (micro-resonator)

ạng

than

hñơ

n

ạngñĩa


Dạ

ng ñơ

Dạ

ngth

anh

ñôi

Dạ

ngDạ

ngLC

Vi hệ thống


�Vi lọc (micro-filter)

Bộ lọc ñơn Bộ lọc ñôi


Vi hệ thống

1.3.4 Vi hệ thống lưu dẫn– Microfluidic


Vi hệ thống

1.3.5 Vi hệ thống y sinh - BioMEMS


Vi hệ thống



Vi hệ thống

Phân loại theo phạm vi ứng dụng

ngàn

hng

hiệ

pxe


Tron

gng

ành

công

nghiệ

hơi

Vi hệ thống



Vi hệ thống

Tổng quát


vi he thong ngay03 - nh nam

Documents