bundesanstalt für materialforschung und -prüfung (bam) · • edx/wdx-spektrometer und µrfa am...

1
25 Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM) Die BAM betreibt Materialforschung und Materialprüfung mit dem Ziel, die Sicherheit in Technik und Chemie weiterzuentwickeln. Die BAM-Abteilung 6 (Materialschutz und Oberflächentechnik) leistet durch Forschung und langjährige Erfahrung einen fun- dierten Beitrag zur Funktionssicherheit technischer Produkte und Anlagen, die komplexen mechanischen, chemischen, physikali- schen, thermischen und klimatischen Beanspruchungen unter- liegen. Optische Methoden und Verfahren werden in den Fachbe- reichen 6.4, 6.7 und 6.1 eingesetzt. Arbeitsgebiete Lasermaterialbearbeitung, Lasersicherheit, Laserreinigung (Fachbereich 6.4, Dr. Jörg Krüger, Tel.: -1822) Oberflächenmodifizierung und -messtechnik für optische Anwendungen (Fachbereich 6.7, Dr. Andreas Hertwig, Tel.: -3515) Oberflächen-, Dünnschicht- und Mikrobereichsanalyse mit Röntgenstrahlungsanregung und -detektion (Fachbereich 6.1, Dr. Vasile-Dan Hodoroaba, Tel.: -3144) Leistungsangebot Lasermaterialbearbeitung im Mikro- und Nanometerbereich, Laserbeständigkeitstest zur Lasersicherheit (DIN EN 207), Bestimmung laserinduzierter Zerstörschwellen (ISO 11254) PVD-CVD Beschichtungstechnik, Ellipsometrie (UV-MIR): Schichtdicke und optische Konstanten, IR-Spektroskopie, Röntgen- Verfahren: XRD, XRF und XRR, Topometrie (AFM, WLIM, FP) Qualitative und quantitative Mikrobereichsanalyse mit EDX am REM (ISO 22309) Forschungs- und Entwicklungsschwerpunkte Laserinduzierte Oberflächenfunktionalisierung Oberflächenmodifizierung und Oberflächenmesstechnik, che- mische Zusammensetzung und Struktur, röntgenographische Mikrostruktur, Defektmechanismen und Schadensanalyse Röntgenspektroskopien wie EDX, WDX und RFA: Von Methoden- entwicklung und Metrologie zu Anwendungen im Mikrobereich Spezielle Ausstattung Femto- und Nanosekundenlasertechnik Mehr-Sonden Techniken: Ellipsometrie, Licht-, Fluoreszenz-, Interferenz-, IR- und Rasterkraft-Mikroskope; XRD/XRR und XRF EDX/WDX-Spektrometer und µRFA am REM, XPS Aktuelle Spitzentechnologien 30-Femtosekunden Ti:Saphir-Laser Imaging-Ellipsometer, IR-Mikroskop, XRF-Spektrometer, AFM BAM improves safety in technology and chemistry through research and development, testing, analysis, approvals, advice and information. Based on research work and long-term expert knowledge BAM department 6 (Materials Protection and Surface Technology) contributes to the functional reliability of technical products, constructions and plants which are subject to complex mechanical, chemical, physical, thermal or climate exposure. Optical methods and processes are used in divisions 6.4, 6.7, and 6.1. Fields of Activity Laser materials processing, laser safety, laser cleaning (Division 6.4, Dr. Jörg Krüger, phone: -1822) Surface modification and measurement techniques for optical applications (Division 6.7, Dr. Andreas Hertwig, phone: -3515) Surface, thin film and micro analysis with X-ray excitation and X-ray detection (Division 6.1, Dr. Vasile-Dan Hodoroaba, phone: -3144) Range of Services Laser materials processing on the micrometer and nanometer scale, testing of stability to laser radiation (DIN EN 207), determination of laser-induced damage thresholds (ISO 11254) PVD-CVD coating technology, ellipsometry (UV- MIR): layer thickness and optical constants, IR-spectroscopy, X-ray techniques: XRD, XRF and XRR, topometry (AFM, WLIM, FP) Qualitative and quantitative micro-range analysis with EDX at a SEM (ISO 22309) Research & Development Activities Laser-induced surface functionalization Surface modification and surface measurement techniques, chemical composition and structure, X-ray microstructure, defect mechanisms and failure analysis X-ray spectroscopies such as EDX, WDX and µXRF: From method development and metrology to applications at the micro-scale Special Equipment Femto and nanosecond pulse lasers Multiple-probe techniques: ellipsometry, light-, fluorescence-, interference-, IR- and atomic force microscopy; XRD/XRR and XRF EDX/WDX spectrometers and µXRF at a SEM, XPS Current State-of-the-art Technologies 30-fs Ti:sapphire laser Imaging-ellipsometer, IR-microscope, XRF-spectrometer, AFM Geschäftsführer / Managing Director Dr. rer. nat. Uwe Beck (Fachbereich 6.7) Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung Unter den Eichen 44-46 12203 Berlin Tel.: +49 30 8104 1821 Fax: +49 30 8104 71821 E-Mail: [email protected] www.bam.de

Upload: others

Post on 20-Mar-2020

1 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

25

Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)

Die BAM betreibt Materialforschung und Materialprüfung mit dem Ziel, die Sicherheit in Technik und Chemie weiterzuentwickeln. Die BAM-Abteilung 6 (Materialschutz und Oberflächentechnik) leistet durch Forschung und langjährige Erfahrung einen fun-dierten Beitrag zur Funktionssicherheit technischer Produkte und Anlagen, die komplexen mechanischen, chemischen, physikali-schen, thermischen und klimatischen Beanspruchungen unter-liegen. Optische Methoden und Verfahren werden in den Fachbe-reichen 6.4, 6.7 und 6.1 eingesetzt.Arbeitsgebiete • Lasermaterialbearbeitung, Lasersicherheit, Laserreinigung

(Fachbereich 6.4, Dr. Jörg Krüger, Tel.: -1822)• Oberflächenmodifizierung und -messtechnik für optische

Anwendungen (Fachbereich 6.7, Dr. Andreas Hertwig, Tel.: -3515)• Oberflächen-, Dünnschicht- und Mikrobereichsanalyse mit

Röntgenstrahlungsanregung und -detektion (Fachbereich 6.1, Dr. Vasile-Dan Hodoroaba, Tel.: -3144)

Leistungsangebot • Lasermaterialbearbeitung im Mikro- und Nanometerbereich,

Laserbeständigkeitstest zur Lasersicherheit (DIN EN 207), Bestimmung laserinduzierter Zerstörschwellen (ISO 11254)

• PVD-CVD Beschichtungstechnik, Ellipsometrie (UV-MIR): Schichtdicke und optische Konstanten, IR-Spektroskopie, Röntgen-Verfahren: XRD, XRF und XRR, Topometrie (AFM, WLIM, FP)

• Qualitative und quantitative Mikrobereichsanalyse mit EDX am REM (ISO 22309)

Forschungs- und Entwicklungsschwerpunkte • Laserinduzierte Oberflächenfunktionalisierung• Oberflächenmodifizierung und Oberflächenmesstechnik, che-

mische Zusammensetzung und Struktur, röntgenographische Mikrostruktur, Defektmechanismen und Schadensanalyse

• Röntgenspektroskopien wie EDX, WDX und RFA: Von Methoden-entwicklung und Metrologie zu Anwendungen im Mikrobereich

Spezielle Ausstattung• Femto- und Nanosekundenlasertechnik• Mehr-Sonden Techniken: Ellipsometrie, Licht-, Fluoreszenz-,

Interferenz-, IR- und Rasterkraft-Mikroskope; XRD/XRR und XRF

• EDX/WDX-Spektrometer und µRFA am REM, XPS

Aktuelle Spitzentechnologien • 30-Femtosekunden Ti:Saphir-Laser• Imaging-Ellipsometer, IR-Mikroskop, XRF-Spektrometer, AFM

BAM improves safety in technology and chemistry through research and development, testing, analysis, approvals, advice and information. Based on research work and long-term expert knowledge BAM department 6 (Materials Protection and Surface Technology) contributes to the functional reliability of technical products, constructions and plants which are subject to complex mechanical, chemical, physical, thermal or climate exposure. Optical methods and processes are used in divisions 6.4, 6.7, and 6.1.Fields of Activity• Laser materials processing, laser safety, laser cleaning• (Division 6.4, Dr. Jörg Krüger, phone: -1822)• Surface modification and measurement techniques for optical

applications (Division 6.7, Dr. Andreas Hertwig, phone: -3515)• Surface, thin film and micro analysis with X-ray excitation and • X-ray detection

(Division 6.1, Dr. Vasile-Dan Hodoroaba, phone: -3144)Range of Services• Laser materials processing on the micrometer and nanometer

scale, testing of stability to laser radiation (DIN EN 207), determination of laser-induced damage thresholds (ISO 11254)

• PVD-CVD coating technology, ellipsometry (UV- MIR): layer thickness and optical constants, IR-spectroscopy, X-ray techniques: XRD, XRF and XRR, topometry (AFM, WLIM, FP)

• Qualitative and quantitative micro-range analysis with EDX at a SEM (ISO 22309)

Research & Development Activities• Laser-induced surface functionalization• Surface modification and surface measurement techniques, chemical

composition and structure, X-ray microstructure, defect mechanisms and failure analysis

• X-ray spectroscopies such as EDX, WDX and µXRF: From method development and metrology to applications at the micro-scale

Special Equipment• Femto and nanosecond pulse lasers• Multiple-probe techniques: ellipsometry, light-, fluorescence-,

interference-, IR- and atomic force microscopy; XRD/XRR and XRF

• EDX/WDX spectrometers and µXRF at a SEM, XPS

Current State-of-the-art Technologies• 30-fs Ti:sapphire laser• Imaging-ellipsometer, IR-microscope, XRF-spectrometer, AFM

Geschäftsführer / Managing DirectorDr. rer. nat. Uwe Beck (Fachbereich 6.7)

Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfungUnter den Eichen 44-4612203 Berlin

Tel.: +49 30 8104 1821Fax: +49 30 8104 71821

E-Mail: [email protected]