実習内容：

広島大学で実績のあるMOSFETと、マイクロ流路を組み合わせたバイオ

センサーの作製・測定の実習を行います。MOSFETバイオセンサーは、予

め作製しておきます。Auを蒸着したスライドグラス上にPDMSで作製した

流路を貼りつけ、MOSFETのゲートとAu電極を接続し、検体模擬水溶液

を流してpHセンシングの測定を行います。流路の設計、マスクレス露光装

置を用いたレジストパターニング、Siウェハのエッチング（流路の型にな

る）、 PDMS への流路転写、MOSFET の閾値電圧の変化から水溶液の

pHを測定します。この実習を通して、流路設計、リソグラフィー、バイオセ

ンシングの概要を学びます。

URL: http://www.RNBS.hiroshima-u.ac.jp

スライドグラス

MOSトランジスタチップ

Auワイヤ

シリンジ（注射器） Pt電極

チューブ

電解液流路

ゲート:G

導電性エポキシ（Si基板）

ドレイン:D ソース:S

Vg