豊富なユニットをモジュール化、使用目的に合った …42...

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特長■各ユニットのモジュール化、豊富なユニットの組合せにより使用目的に合った最適なユニットの選定が可能です。

■ 真空破壊弁は電磁弁式とエアタイマ式から選択でき、しかも切換弁が組み込まれている為、短時間の真空破壊エアブローと破壊エアの微調整を可能にしました。 ※エアタイマ破壊電気信号により真空を発生させた後、電気信号が切れると自動的に一定の時間だけ真空回路に圧縮空気が送り込まれます。この時間中にパッドをワークから後退させます。破壊動作が終了すると真空回路は閉の状態となります。

■ 真空用圧力スイッチは、デジタル表示付真空用圧力スイッチと低コストで使い易い機械式の2種類を用意しております。

■ デジタル表示付真空用圧力スイッチは、2点スイッチ出力、1点スイッチ出力＋アナログ出力の2タイプを用意しましたので、用途に合わせた選択が可能です。

■ ノズル径は05（φ0.5mm）、07（φ0.7mm）、10（φ1.0mm）、12（φ1.2mm）の4タイプを標準化しました。

豊富なユニットをモジュール化、使用目的に合った選定が可能な総合タイプエジェクタユニット

VSK Series●ノズル径：φ0.5、φ0.7、φ1.0、φ1.2

項目 VSK使用流体空気使用圧力範囲 MPa 0.25～0.7使用温度範囲 ℃ 5～50給油不要

仕様

エジェクタ特性形番

ノズル径（mm）

供給圧力（MPa）

到達真空圧力（-kPa）

吸込流量（ℓ/min（ANR））

空気消費流量（ℓ/min（ANR））

VSK-□H05…0.5

0.5 917

11.50.35 73 9

VSK-□L05… 0.5 67 11 11.5

VSK-□H07…0.7

0.5 9313

230.35 73 17

VSK-□L07… 0.5 67 26 23VSK-□E07… 0.35 91 10.5 17

VSK-□H10…1.0

0.5 9327

460.35 73 34

VSK-□L10… 0.5 67 40 46VSK-□E10… 0.35 91 21 34

VSK-□H12…1.2

0.5 93 38 700.35 73 36 47

VSK-□L12… 0.5 67 50 70VSK-□E12… 0.35 91 27 47注：真空エジェクタ動作時には上記供給圧力を確保してください。（圧力降下を考慮してください。）

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM

エジェクタシステム

VSG

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


41

バルブ（真空発生用、破壊用）仕様

VSK Series仕様

項目電磁弁（真空発生用、破壊用）構成真空発生用バルブ真空破壊用バルブ定格電圧 DC24V AC100V DC24V AC100V

許容電圧変動範囲DC21.6～26.4V（DC24V±10%）

AC90～110V（AC100V±10%）

DC21.6～26.4V（DC24V±10%）

AC90～110V（AC100V±10%）

サージ保護回路サージアブソーバブリッジダイオードサージアブソーバブリッジダイオード消費電力 0.8W 1VA 0.8W 1VA操作方式パイロット式絶縁種別 B種相当手動操作プッシュ式ロック形動作表示コイル励磁動作時赤色LED点灯結線方式とリード線長さコネクタ式：500mm保証耐圧 1.05MPa動作区分 N.C. N.O. N.C. N.O. N.C.有効断面積 3.5mm2 3.5mm2 3.5mm2 3.5mm2 0.6mm2

リード線の色真空発生用バルブのみの場合真空発生用、破壊用バルブ組合せの場合DC24V AC100V DC24V AC100V

赤色（＋）黒色（－）

青色黒色（－：供給用電磁弁）白色（Common）赤色（＋：Common）青色（供給用電磁弁）白色（－：破壊用電磁弁）黒色（破壊用電磁弁）

デジタル表示付真空用圧力スイッチ仕様項目デジタル表示付真空用圧力スイッチ

仕様 2点スイッチ出力付（-NW）アナログ出力付（-NA） 2点スイッチ出力付（-PW）アナログ出力付（-PA）消費電流 40mA以下圧力検出方法拡散半導体圧力スイッチ使用圧力範囲 -100～0kPa設定圧力範囲 -99～0kPa耐圧 0.2MPa保存温度範囲 -20～70℃（大気圧、湿度60％RH以下）動作温度範囲 0～50℃（但し、凍結なきこと）動作湿度範囲 35～85％RH （結露なきこと）電源電圧 DC12～24V±10% リップル（P-P）10%以下保護構造 IEC規格 IP40相当圧力設定点数 2 1 2 1動作精度 ±3％F.S. max（at Ta＝25℃）応差固定（2％F.S.以下）可変（約0～15％F.S.）固定（2％F.S.以下）可変（約0～15％F.S.）スイッチ出力 NPNオープンコレクタ出力 30V 80mA以下残留電圧0.8V以下 PNPオープンコレクタ出力電源電圧80mA以下残留電圧0.8V以下

アナログ出力

出力電圧－ 1～5V － 1～5Vゼロ点電圧－ 1±0.1V － 1±0.1Vスパン電圧－ 4±0.1V － 4±0.1V出力電流－ 1mA以下（負荷抵抗5kΩ以上）－ 1mA以下（負荷抵抗5kΩ以上）LIN/HYS － ±0.5％F.S.以下－ ±0.5％F.S.以下

応答性約2m sec 以下表示 0～ -99kPa（2桁赤色LED表示）表示回数約4回/sec表示精度 ±3％F.S. ±2digit分解能 1digit

動作表示SW1：設定圧力以上にて赤色LED点灯SW2：設定圧力以上にて緑色LED点灯

設定圧力以上にて赤色LED点灯SW1：設定圧力以上にて赤色LED点灯SW2：設定圧力以上にて緑色LED点灯

設定圧力以上にて赤色LED点灯

機能1.MODE切換スイッチ（ME or S1 or S2）2.S1設定トリマ（2/3回転トリマ）3.S2設定トリマ（2/3回転トリマ）

1.MODE切換スイッチ（ME or SW）2.SW設定トリマ（2/3回転トリマ）3.HYS設定トリマ（設定値の約0～15％）

1.MODE切換スイッチ（ME or S1 or S2）2.S1設定トリマ（2/3回転トリマ）3.S2設定トリマ（2/3回転トリマ）

1.MODE切換スイッチ（ME or SW）2.SW設定トリマ（2/3回転トリマ）3.HYS設定トリマ（設定値の約0～15％）

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


42

機械式真空用圧力スイッチ仕様

VSK Series

項目機械式真空用圧力スイッチ圧力検出方法ダイヤフラム－マイクロスイッチ設定圧力範囲 -20～ -80kPa設定方法ナット回転により無段階スイッチ端子 Common、N.O.、N.C.精度 ±4kPa応差 16kPa以下使用マイクロスイッチ QJ形（AM8100）松下電器 or J－7 オムロン使用マイクロスイッチ定格 7A 250V AC

エアタイマ式真空破壊弁仕様項目エアタイマ式真空破壊用バルブ

構造タイマエアシリンダによる遅延式、ポペット形、2方弁破壊時間真空発生用バルブ閉直後約0.3～3秒破壊エア流量 0～40ℓ/min（ANR）（供給圧力：0.5MPa時）時間設定方法タイマエアシリンダのスピードコントローラによる制御

真空用フィルタ仕様項目真空用フィルタ

エレメント材質ポリビニールホルマール濾過度 10μフィルタ面積 1130mm2

交換フィルタエレメント形番 VSG-E

質量表ユニット組合せ記号

単体時の質量（g）マニホールド時の質量（g）VSK-A… VSK-B… VSKM…-S… VSKM…-T…

A 60 60 75.5 77.5B 60 60 75.5 77.5C 78.5 78.5 94 96D 78.5 78.5 94 96E 84.5 84.5 100 102F 84.5 84.5 100 102G 81 81 96.5 98.5H 81 81 96.5 98.5J 99.5 99.5 115 117K 99.5 99.5 115 117L 105.5 105.5 121 123M 105.5 105.5 121 123P 134 134 149.5 151.5Q 152.5 152.5 168 170R 158.5 158.5 174 176S 128.5 128.5 144 146T 147 147 162.5 164.5W 153 153 168.5 170.5

マニホールドタイプ質量（g）

サイドブロック

VSKM…－…S1… 72.5VSKM…－…S2… 84VSKM…－…S3… 72.5VSKM…－……… 61

中間ブロックVSKM－……－……（栓無し） 20.5VSKM－…P－……（栓有り） 22

ブロックプレート質量（g）VSKM…－MB 6

サイレンサ質量（g）単体大気開放 2

単体用カートリッジ質量（g）φ4ワンタッチ継手 3.5φ6ワンタッチ継手 3.5φ8ワンタッチ継手 10プラグカートリッジ 1.5

マニホールド用カートリッジ質量（g）φ6ワンタッチ継手 20.5φ8ワンタッチ継手 20φ10ワンタッチ継手 19φ12ワンタッチ継手 26φ8エルボワンタッチ継手 25φ10エルボワンタッチ継手 31.5φ12エルボワンタッチ継手 37.5Rc1/4カートリッジ 43.5Rc3/8カートリッジ 34.5Rc1/2カートリッジ 38プラグカートリッジ 6

真空保持機能（ユニット組合せ記号：B、D、F、H、K、M、S、T、W）項目真空保持機能

真空漏れ許容量 1.3kPa/10min以下注：長時間真空保持を行う場合は、上記仕様を十分に考慮の上ご使用ください。

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


43

電気回路（電磁弁）

VSK Series電気回路・回路図

回路図（ユニット組合せ）●ユニット組合せ：Bタイプ ●ユニット組合せ：Cタイプ ●ユニット組合せ：Dタイプ●ユニット組合せ：Aタイプ

●ユニット組合せ：Fタイプ ●ユニット組合せ：Gタイプ（ノーマルクローズ）（ノーマルオープン）

●ユニット組合せ：Eタイプ

●ユニット組合せ：Jタイプ（ノーマルクローズ）

●ユニット組合せ：Hタイプ（ノーマルクローズ）（ノーマルオープン）（ノーマルオープン）

●ユニット組合せ：Lタイプ（ノーマルクローズ）

●ユニット組合せ：Kタイプ（ノーマルクローズ）（ノーマルオープン）（ノーマルオープン）

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


DC24V

真空発生用バルブのみの場合真空発生用、破壊用バルブ組合せの場合

-0V（黒）

+24V（赤）

0V供給バルブ（黒）

+24VCommon（赤）

0V破壊バルブ（白）

（～）青

真空発生用バルブのみの場合真空発生用、破壊用バルブ組合せの場合

（～）Common（白）

（～）破壊バルブ（黒）

（～）供給バルブ（青）

AC100V

P

V

P

V

P

Vワーク切離時、破壊エアを外部より必要とします。

（機械式）ワーク切離時、破壊エアを外部より必要とします。

（機械式）

ワーク切離時、破壊エアを外部より必要とします。

P

V

（デジタル）

P

V （デジタル）

S

P

V

S

P

V

S

P

V

S

P

V



S

P

V

S

P

V

（機械式）（機械式）

S

P

V

（機械式）

S

P

V

（機械式）

S

P

V

（デジタル）ワーク切離時、破壊エアを外部より必要とします。


（デジタル）

S

P

V

P

V

（～）青

44

回路図（ユニット組合せ）

VSK Series

●ユニット組合せ：Mタイプ（ノーマルクローズ）（ノーマルオープン）

（ノーマルオープン）






●ユニット組合せ：Pタイプ（ノーマルクローズ）

●ユニット組合せ：Sタイプ（ノーマルクローズ）

●ユニット組合せ：Qタイプ（ノーマルクローズ）

●ユニット組合せ：Rタイプ（ノーマルクローズ）

●ユニット組合せ：Tタイプ（ノーマルクローズ）

●ユニット組合せ：Wタイプ（ノーマルクローズ）

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


S

P

V

（デジタル）


S

P

V

（デジタル）


S

P

V

S

P

V

S

P

V

S

P

V

RR

S

P

V

（機械式）

S

P

V

（機械式）

S

P

V

（デジタル）

S

P

V

（デジタル）

S

P

V

R

（機械式）

S

P

V

R

（機械式）

S

P

V

R

S

P

V

R（デジタル）（デジタル）

45

形番表示方法●単体タイプ形番

VSK Series形番表示方法

ヌ真空用圧力スイッチ仕様

リバルブタイプ

チ電磁弁電圧

ト排気ポート

ヘエア供給ポート

ホ真空ポート

ニユニット組合せ

ハノズル径

ロ真空特性

イポート位置

VSK A WH 4 8L6 3 B07 NW 記号内容ポート位置A 単体タイプ接続ポート2面B 単体タイプ接続ポート1面真空特性注1H 高真空・中流量タイプL 中真空・大流量タイプE 高真空・少流量タイプノズル径注1、注205 φ0.507 φ0.710 φ1.012 φ1.2ユニット組合せ注3、注4

ユニット組合せは別表1をご覧ください。真空ポート（V）注24 φ4ワンタッチ継手6 φ6ワンタッチ継手8 φ8ワンタッチ継手エア供給ポート（P）注24 φ4ワンタッチ継手6 φ6ワンタッチ継手8 φ8ワンタッチ継手排気ポート（EX）S サイレンサ付大気開放8 φ8ワンタッチ継手ストレート集中排気8L φ8ワンタッチ継手エルボ集中排気電磁弁電圧注31 AC100V3 DC24Vバルブタイプ注3A ノーマルオープンタイプB ノーマルクローズタイプ真空用圧力スイッチ仕様注4NW デジタル表示付NPN出力2点NA デジタル表示付NPN出力1点＋アナログ出力PW デジタル表示付PNP出力2点PA デジタル表示付PNP出力1点＋アナログ出力

イ

ロ

ハ

ニ

ホ

ヘ

ト

チ

リ

ヌ

ユニット組合せ

記号フィルタ真空発生用バルブ

逆止め弁（真空保持）

機械式真空用圧力スイッチ

デジタル表示付真空用圧力スイッチ

エアタイマ式真空破壊用バルブ

真空破壊用バルブ

A ●B ● ●C ● ●D ● ● ●E ● ●F ● ● ●G ● ●H ● ● ●J ● ● ●K ● ● ● ●L ● ● ●M ● ● ● ●P ● ● ●Q ● ● ● ●R ● ● ● ●S ● ● ● ※1 ●T ● ● ● ※1 ● ●W ● ● ● ※1 ● ●Z ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください。）＜マニホールドタイプに適用＞

※1：真空自己保持用バルブが内蔵します。

形番選定にあたっての注意事項注1：●ロEと●ハ05の組合せは選定できません。注2： ●ホまたは●ヘが4の場合は、●ハの10、12は

選定できません。注3： ●ニユニット組合せが「A、B、C、D、E、

F」の場合は、●チ電磁弁電圧と●リバルブユニットタイプは選定できません。

注4： ●ニユニット組合せが「E、F、L、M、R、W」の場合のみ、●ヌ真空用圧力スイッチ仕様を選定してください。

別表1（マニホールドタイプと共通）

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


46

VSK Series

形番表示方法●マニホールドタイプ形番

VSKM WH

形番選定にあたっての注意事項注1： ●イEと●ロ05の組合せは選定できません。注2：ミックス仕様の場合は「ミックスマニ

ホールド仕様書」を必ず記入ください。注3： ●ハユニット組合せが「A、B、C、D、

E、F」の場合は、●ト電磁弁電圧と●チバルブユニットタイプは選定できません。

注4： ●ハユニット組合せが「E、F、L、M、R、W」の場合のみ、●ヌ真空スイッチ仕様を選定してください。

注5： ●イZの時は●ロ00のみ選定できます。 ●ロ00の時は●イZのみ選定できます。

注6：マスキングブロックを搭載する場合は、●ニCXを選択して、搭載位置・数量はマニホールド仕様書にてご指示ください。

注7：ノズル径、ポートサイズの組み合わせにより同時作動ができる連数が異なります。詳細はお問い合せください。

注8：マニホールドタイプ形番では、●ハユニット組合せが、「A、B、C、D、E、F」の選択はできません。

注9： ●ニ"S4"、"T4"の場合は、 ●ロ"10"、"12"は選定できません。

ト

ヘ排気ポート

ホエア供給ポート

ニ真空ポート

ハユニット組合せ

ロノズル径

T4 S207

VSKM

VSKM

20●マニホールド用単体タイプ形番

3 B 10

3

NW

NW

ヌ真空用圧力スイッチ仕様10

B

リマニホールド連数

電磁弁電圧

チバルブタイプ

エア供給ポートポート形状ストレート継手エルボ継手

記号

R側のみ 16 18 10 12 48 40 42両側 26 28 20 22 58 50 52L側のみ 36 38 30 32 68 60 62

継手サイズ（mm） φ6 φ8 φ10 φ12 φ8 φ10 φ12

ホ

排気ポート大気開放形サイレンサ

集中排気形ポート形状ストレート継手エルボ継手管用テーパメネジ

記号

R側のみ S1 18 10 12 48 40 42 72 73 74両側 S2 28 20 22 58 50 52 82 83 84L側のみ S3 38 30 32 68 60 62 92 93 94

継手サイズ（mm）－ φ8 φ10 φ12 φ8 φ10 φ12 Rc1/4 Rc3/8 Rc1/2

ヘ

別表2

別表3

イ真空特性

WH 07 T4

T4 S220

種別マニホールド

マニホールド用単体

マニホールドのみ

記号内容真空特性注1、注2、注5H 高真空・中流量タイプ ● ●L 中真空・大流量タイプ ● ●E 高真空・少流量タイプ ● ●Z ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください。） ●

ノズル径注1、注2、注5、注905 φ0.5 ● ●07 φ0.7 ● ●10 φ1.0 ● ●12 φ1.2 ● ●00 ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください。） ●

ユニット組合せ注2、注3、注4、注8ユニット組合せは別表1（単体タイプ共通）をご覧ください。 ● ●

真空ポート（V）注2、注6、注9PP プラグポート位置側面 ● ●S4 φ4ワンタッチ継手ポート位置側面 ● ●S6 φ6ワンタッチ継手ポート位置側面 ● ●S8 φ8ワンタッチ継手ポート位置側面 ● ●T4 φ4ワンタッチ継手ポート位置上面 ● ●T6 φ6ワンタッチ継手ポート位置上面 ● ●T8 φ8ワンタッチ継手ポート位置上面 ● ●00 マニホールド用単体でポート位置側面の時 ●CX 継手ミックスの場合（内訳は、仕様書に記載してください。） ●

エア供給ポート（P）エア供給ポートは別表2をご覧ください。 ● ●

排気ポート（EX）排気ポートは別表3をご覧ください。 ● ●

電磁弁電圧注31 AC100V ● ●3 DC24V ● ●

バルブタイプ注2、注3A ノーマルオープンタイプ ● ●B ノーマルクローズタイプ ● ●Z ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください。） ●

マニホールド連数注72 2連

● ●～～

10 10連

真空用圧力スイッチ仕様注2、注4NW デジタル表示付NPN出力2点 ● ●NA デジタル表示付NPN出力1点＋アナログ出力 ● ●PW デジタル表示付PNP出力2点 ● ●PA デジタル表示付PNP出力1点＋アナログ出力 ● ●Z ミックス仕様の場合（内訳は、仕様書に記載してください。） ●

イ

ロ

ハ

ニ

ホ

ヘ

ト

チ

リ

ヌ

●マニホールドベースのみ形番

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


47

VSK Series形番表示方法

保守部品形番

●ノズルキット

ロノズル径

イ真空特性

VSK H 07 NK

記号内容真空特性注1H 高真空・中流量タイプL 中真空・大流量タイプE 高真空・少流量タイプ

ノズル径注105 φ0.507 φ0.710 φ1.012 φ1.2

イ

ロ

形番選定にあたっての注意事項注1：●イ●ロ・E05の組合せは選定できません。

●真空用フィルタエレメント

VSG-E

●単体用サイレンサエレメント

VSK-SE

●マニホールド用サイレンサキット

VSKM-SK

●マニホールド用マスキングブロック

VSKM-MB

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


48

真空特性、流量特性

供給圧力－到達真空圧力、吸込流量、空気消費流量

●VSK-□H05、VSK-□L05 ●VSK-□H07、VSK-□L07、VSK-□E07

●VSK-□H12、VSK-□L12、VSK-□E12●VSK-□H10、VSK-□L10、VSK-□E10

1.上記特性の供給圧力は真空発生時におけるものです。2. 上記特性の到達真空圧力がピーク値となる少し手前の供給圧力（H（高真空中流量）タイプ：0.4～0.45MPa、E（高真空少流量）タイプ：0.29～0.32MPa）にて異音（ブツブツ音）が出る事があります。この異音が出ている状態は、特性が不安定となっており騒音も大きくなります。又センサ等に影響を与えトラブルの原因となる事がありますので供給圧力の再設定を行ってください。

（例1.Hタイプの真空エジェクタにて元圧が0.5MPaで真空エジェクタ動作時、圧力降下により供給圧力が0.43MPaに落ち異音が出ている。→真空エジェクタ動作時、供給圧力を0.5MPaに再設定する。）

3. ノズル径断面積の3倍の有効断面積を目安とし、配管又は機器選定を行ってください。充分な供給エア流量を確保されていない場合、満足な真空特性は得られません。（ブツブツ音が設定圧力でも起こる。吸込流量不足、到達真空圧力の到達不足等。）

（例2. Hタイプ真空エジェクタにて真空エジェクタ動作時圧力が0.5MPaなのに異音が出ている。→供給エア流量不足。（配管抵抗等で真空エジェクタ手前で供給エア流量が絞られてしまい、特性を満足する供給エア流量が得られていない。→必要有効断面積を確保できる配管機器の選定を行う。））

（例3. ノズル径1.0mmの真空エジェクタの場合、断面積0.52×π＝0.785mm2×3＝2.35mm2よって2.3mm2以上の有効断面積を確保するように配管や機器選定を行う。）

VSK Series

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


Lタイプ到達真空度

Hタイプ到達真空度

消費流量

供給圧力（MPa）0.1 0.2 0.3 0.4 0.5

Hタイプ吸込流量

Lタイプ吸込流量

53

40

26

13

0

20

15

10

5

66

80

93

0.6 0

53

40

26

13

66

80

93

Hタイプ

Lタイプ

供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)

吸込流量（ℓ/min（ANR））0 5 10 15 20

53

40

26

13

66

80

93

供給圧力（MPa）0.1 0.2 0.3 0.4 0.50 0.6


Eタイプ到達真空度

消費流量

Eタイプ吸込流量




40

30

20

10

0

53

40

26

13

66

80

93

50

吸込流量（ℓ/min（ANR））0 10 20 30 40

Hタイプ

Lタイプ

Eタイプ

供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ) 0.35MPa (Eタイプ)



消費流量

供給圧力（MPa）0.1 0.2 0.3 0.4 0.5

Hタイプ吸込流量Lタイプ

吸込流量53

40

26

13

0

40

30

20

10

66

80

93

0.6 0

53

40

26

13

66

80

93

Hタイプ

Lタイプ


吸込流量（ℓ/min（ANR））0 20 30 40

53

40

26

13

66

80

93

供給圧力（MPa）0.1 0.2 0.3 0.4 0.50 0.6



消費流量





80

60

40

20

0

53

40

26

13

66

80

93

吸込流量（ℓ/min（ANR））0 10 20 30 40

Hタイプ

Lタイプ

Eタイプ


10



50

60

70

Eタイプ

50

到達真空度

（-kPa）

流量ℓ/min（ANR）

真空特性流量特性

（-kPa）

真空圧力


到達真空度

（-kPa）（-kPa）

真空圧力



到達真空度


真空圧力

到達真空度


真空圧力




100

配管方向1面タイプ VSK-B●VSK-B□□Q（エアタイマ式真空破壊用バルブ付、ノーマルクローズ）

内部構造図

配管方向2面タイプ VSK-A●VSK-A□□W（電磁弁式真空破壊用バルブ付、ノーマルクローズ）

VSK Series内部構造図

49

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


VSG

VSN

VSNM

VSY

VSH･VSUVSB･VSC

VSG

VSKVSK

MVSJ

VSJM

VSX

VSXM

VSQ

VSZM


フィルタ部

破壊エア調整ニードル

エジェクタ部

V デジタル表示付真空用圧力スイッチ

電磁弁式真空破壊用バルブ

真空発生用バルブ

マニュアルボタン

EX

P

フィルタ部

破壊エア調整ニードル

エジェクタ部

真空用圧力スイッチ（機械式）

エアタイマ式真空破壊用バルブ

真空発生用バルブ

マニュアルボタン

EX VP

破壊時間調整用ニードル

豊富なユニットをモジュール化、使用目的に合った …42...

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