Sensors

P.508

P.522

P.536

P.550

507

●

● ●

●

●

● ●

●

q (ISO)

w

e

r

t

y

…

ZSE30A（F）/ISE30A

ISE70

ISE75（H）

PSE53□

PFM7

PFMV5PFM5 PF2A5PF2D5

PF3W7

PF3W5

PF2A7

PSE200 PSE300 PSE200 PSE300PSE54□ PSE55□

ISA2PS1□00

ZSE40A（F）/ISE40A ZSE80（F）/ISE80（H）

PSE56□

ZSE10（F）/ISE10

508

…0.32MPa

0.325MPa 0.3MPa

509

0

0

-100kPa

-100kPa

100kPa

0

SUS

SUS , .

, .

.

2 , , .( .)

.

510

0-100kPa 15MPa1MPa

(2.0MPa)

100kPa

0 5kPa2kPa

PSE54＋PSE200

.

.

PS1100

.

.

ZSE80F

.

PSE54�

ZSE80F

.

ISA2

511

ISE35

. , ,

.

ISE70/75(H)

PSE560＋PSE300

· ,

.

ZSE80F

Lock

.

ISE80

.

PSE550 PSE550

,

.

PSE550

, .

PSE532＋PSE300

(PSE532-) . .

512

M8, M12 .

M8 M12

0.6m/2m/3m

513

PT(R /Rc ), NPT , NPTF

, PF (G ), TSJ , URJ , M

1/8inch 1/4inch .

3mm 5mm

, mm inch

ø , ø . ,

（ ）

（ ）N2 , O2

(NBR ) .・　( )

・Si ,

SUS

. FKM .

HNBR FKM ,

20-10-

・( ：ISO Class 5)

・ 2・

514

3 57%※ !10 86％ !

※ ：7Step. 7Step×10

：3Step. 3Step×10New

1 2 10

● ● ● ● ●

33 1010

　　　 .

(4ch )

NG1

!

NG1 NG2OK

NG NG

515

(MEMS )

：：

：　　　　 50%+ 50%

： （ ）　　　　 　　　　

( )

( )

　　　　　　　　f = k × v f： v： , k： ( , )

（ ）・

(Rh)(Ru) (Rd)

(Ra)Ru Rd

Ra

JIS B8392.1-1. 1.2～1.6.2 , ISO8573.1-1. 1.2～1.6.2

L/min 0℃, 101.3kPa

20℃, 101.3kPa

RaRu Rh Rd

FlowFlow

(b)

RaRu Rh Rd

(a)

L/min0℃, 101.3kPa 20℃,

101.3kPa

516

MULTI COUNTER:CEU5 A COM COM COMB DC12V GND F.G. R.S. HOLD BANK1 BANK2

COM S.STOPOUT1OUT2OUT3OUT4OUT5AC100~240V

COUNT PRESET FUNC.

SD SGRD RS-232C

UP

LEFT RIGHT

DOWN

SEL. SETMODE

M/C

M/C

M/C

■

2 （Ar）, (CO2)

・・・

・

・ ・

・

N2

（N2 ）

517

¡

PF3W

PF2D

518

.

.

.

.

.

.

.

( 999999ℓ)

ON

OFF

ON

OFF

,

.( )

.( )

519

M8/M12 PF2□7□ , PF2A5□/PF2W5□

M12 PF3W7□ M8

PFM , PFMV , PF2□2□ , PF2D

PF2□3□

(PF2□5□) , PLC

PF2□3□ PF2D5□ ,

(AMP, , , , 3M )

PFM7S

PFMV3

PF2200

DIN

PFM7

PFM7 PFMV3PFMV5 PFM7 PF2A7H

520

( )

( )

PF2A7□H PF2A5 PF2D5 PF3W7 PF3W5PFM7 PFM5PFMV5 PF2A7

：：

・( ：ISO Class 5)

・ 2・

（ ）N2 , O2

・　( )

・

・ FKM・

（ ）

・Si・ MEMS

PFM

12

S

IN

PFM7 PFM5

PT (R /Rc ), NPT , PF (G ), MPF2D5 LQ24-2)

mminch

PF2A5

PF3W

1 2S

IN

PFM7PF2D5

PF3W

521

●ON-OFFON-OFF 1 NPN

OFF

. PLCPLC high

2 NPN ON

PLClow high low PLC

ON-OFF

ON-OFF NPN PNP

를

●

A／D

ON-OFF

1 NPN OFF

2 NPN ON

5

1

20

4

0

PLC high DC12～24 [V]

MAX80[mA]MAX30[V]

PLC low DC12～24 [V]

MAX80[mA]MAX30[V]

─[Ｖ][mA]

1～5[V]A/D

4～20[mA]

A/D

)×

10 [m]

I

(= I× r)

GND GNDGND

r

I

GND

r

GND

4～20[mA]

1～5[V]

GND

522

NPN PNP

1 NPN NPN NPN

NPN

3 ON ON

2

1NPN ON

PLC VaCOM

4 PNP PNP PNP

PNP

6 ONON

PNP ONPLC GNDCOM

NPN

4 PNP

5 PNP OFF

6 PNP ON

PLC low DC12 24 [V]

MAX80[mA]

DC12 24 [V]

MAX80[mA] PNP

PLC high

DC12 24 [V]

MAX80[mA]

PNP

1 NPN

2 NPN OFF

3 NPN ON

DC12 24 [V]

MAX80[mA]MAX30[V]

PLC high

DC12 24 [V]

MAX80[mA]MAX30[V]

PLC low DC12 24 [V]

MAX80[mA]MAX30[V]

NPN

523

(=ON OFF

ON(ON - ON

2 OUT1 P1 P2OUT2 Ｐ3 Ｐ4

n1・n2・n3・n4

3digitL

P1 P2 7digit 6digit

)2 OUT2 P3 P4

.

)

P1(n1)

P2(n2)

0 0

=

ON

OFF

ON

OFF

HH

L

P2(n2)

P1(n1)

0 0

ON

OFF

ON

OFF

L=H= 3digit

524

25[℃] 0～50[℃], 0～60[℃]

25[℃] ON-OFF

)100[kPa] 50[kPa] ON

±1.0[％F.S.]F.S.=100-0=100[kPa]　±1.0 ％F.S.=100×0.01=±1[kPa]

49～51[kPa]ON )： 1[％F.S.]

51[kPa] ON50～52[kPa] ON

49～51[kPa] 50[kPa]

50[kPa]

.

50[kPa]±1.0[％F.S.]

ONON

.

±3.0[％F.S.], 25[℃]

1～5[V]F.S.=5-1=4[V]±3.0％F.S.=4×0.03=±0.12[V]

0～50[℃]±120[mV]

±3.0[％F.S.], 25[℃]

？100[kPa]

F.S.=100-0=100[kPa]±3.0％F.S.=100×0.03=±3[kPa]

0～50[℃]±3[kPa]

ON

515049

ON

OFF

[kP

a]

[kP

a] 51

49

5.125

4.88

1.121

0.88

10310097

30

-3 [kPa] 100

[V]

[kP

a]

0

525

3

2 43 2

2( )

( )

( ) 5[mA] 40[mA]

40[mA] OFF 1[mA]

1[mA] PLC

DC

12～

24 [V

]

5～40[mA]　 OUT(＋)

　　 OUT(−)

OUT(＋)

　　OUT(−)

NPN

PNP

DC

12～

24 [V

]

5～40[mA]

PLC

"PS1000,PS1100 "

NPN

PNP

(),

( ) SUS304 SUS316L, ( ) SUS630 SUS316L

SUS304 SUS630

526

( )

ON-OFFON (P1 ) (P3)

OFF(EC)

ON ON (P1 ) (P3)

) (EC) 3

A=B=P1=A−(A-B)/4P2=B (A-B)/4

P3

ON

OFF

ON

OFF

A

P2

OU

T1

ON

(EC)EC=0

EC=1 EC=2 EC=3

P1

P2

B

P1

.

527

−0.3[kPa] −0.3[kPa]

ON500[kPa]

1[kPa] ON499[kPa]

510[kPa] 490[kPa]

,

( ) ( )

OFFONn1n2

ON

OFF

n1n2

ON

OFF

P1

P2

ON

OFF

P1

P2

ON

OFF

P1

P2

P1

P2

n1n2

n1n2

Hi

Lo

Hi

Lo

) PSE200 ：10［ms］　 　　 ： 5 ［ms］

) PSE200 ：10［ms］　　 　　： 5 ［ms］

528

5[ms] (PSE200 10[ms] ) GND

) P1=40kPa,P2=20kPa

,

Key Lock

Key

.30

. ( OFF)

.( ( ON )

0( 4m)

[kP

a]

100

Hi

Lo

50

0

ON

OFF

50kPa

90kPa,70kPa

10[ms]

.

)PSE200 A 10[ms] B 15[ms]

B10[ms]

B10[ms]

A5[ms]

529

2

IP

1 ● 1 　

0123456

50 [mm]

12 [mm]

2.5 [mm]

1.0 [mm]

● 2 　

0

1

2

3

4

5

6

7

8

.

15 .

60 .

.

.

　 ─

　

　

)IP651 6, 2 5

UL/CSAUL/CSA ( ・ )

UL ・CSA

DC24V

UL/CSA ( UL

CECE EC

( ), EMC ( )

DC24V (AC50～1000Ｖ DC75V～1500V )

3 EMC CE( )

・ EC

1×10-3

1

1×103

1×102

1×10-6

1×10-3

1　　　1×10-1

1×10-5

1×10-2

1×10

1　　　

1.0197×10-5

1.0197×10-2

1.0197×10

1.0197　　　　　　1

1.0332

1×10-4

1.3595×10-3

9.8692 ×10-6

9.8692 ×10-3

9.8692 　　

9.8692 ×10-1

9.6784 ×10-1

　　　1

9.6784 ×10-5

1.3158×10-3

1.0197×10-1

1.0197 ×102

1.0197 ×105

1.0197 ×104

1 ×104

1.0332 ×104

　　　1

1.3595 ×10

7.5006×10-3

7.5006

7.5006 ×103

7.5006 ×102

7.3556 ×102

7.6000 ×102

7.3556×10-2

　　　 1

kPa MPa bar kgf/cm2 atm mmH2O mmAq mmHg Torr

1.4503×10-4

1.4503×10-1

1.4503×102

1.4503 ×10

1.4217×10

1.4706×10

1.4220×10-3

1.9330×10-2

psi

)350[mmHg] [kPa] ？1 [mmHg] = 1.3332×10-1[kPa]

1.3332×10-1×350 = 46.662[kPa]

1

1×103

1×106

1×105

Pa(N/m2)

9.8067×10-1

1.0133　　

9.8067×10-5

1.3332×10-3

9.8067×10-2

1.0133×10-1

9.8067×10-6

1.3332×10-4

9.8067×10

1.0133×102

9.8067×10-3

1.3332×10-1

9.8067×104

1.0133×105

9.8067

1.3332×102

)80[kPa] [kgf/cm2] ？1 [kPa] = 1.0197×10-2[kgf/cm2]

1.0197×10-2×80 = 0.81576[kgf/cm2]530

………………………………………………………………………………………………………

…………………………………………… …………………………………………………

…………………………………………………………… ………………………………………………

……………………………………………………………………………………………………

………………………………………………………………………………………………………

……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………

……………………………………………………

………………………………………………………………………………………………………

……………………………………………

P.532

…………………………………………………(digit)…………………………………………

…………………………………………………………………………………………………………

…………………………………………………………………………………………

…………………………………………………………………………………………………………

………………………………………………………………………………………………

…………………………………………………………………………………………………………

……………………………………………………………………………………………………………………

…………………………………………………

P.533

P.534

……………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………

………………………………………………………………………………………………………………

…………………………………………………

P.534

…………………………………………………………………………………………………………

…………………………………………………………………………………………………………

P.534

……………………………………………………(Full Scale)……………………………………………

(Full Span)…………………………………………………P.535

………………………………………………………………………………………………

…………………………………………………………………………………………………

…………………………………………………

P.535

A~Z

2 …………………………………………………digit( )…………………………………………………DIN ………………………………………………………F.S.( , )…………………………………………Key Lock …………………………………………………LED ……………………………………………………NPN …………………………………………………ON-OFF …………………………………………………PNP …………………………………………………SUS ………………………………………………………TSJ ………………………………………………………URJ ………………………………………………………

P.535

P.532

………………………………………………………………………………………………………

………………………………………………………………………………………………………………

…………………………………………………………………………………………………………………………………………………………………

P.533

………………………………………………………………………………………………………………………………………………………

…………………………………………………… …………………………………………………… …………………………………………………… ……………………………………………………

…………………………………………………… ……………………………………………………

…………………………………………… (PLC)……………………………………………

P.533

P.532

……………………………………………………Lock …………………………………………………

…………………………………………………………P.532

……………………………………………………P.532

531

.

.

(0) .

.

P.527 .

.

, .

.

2 ON 2 ( ( ) - ( ) ) .

.

. .

.( .)

.

.

ON-OFF OFF 0

P.530 .

ON-OFF ON (LED : ) .

CPU , ON-OFF

.

Lock

10 4V′ V″V′/V×100=10

0

( ) ON-OFF

V

V'

V"

4

532

. ,

P.522 . ON-OFF .

.

(PLC) .

.

. 1~5[V] 1

(digit) ,

. 1kPa 0, 1, 2, 3,…99, 100 1kPa .

.

.

P.528 .

P.527 .

5V

1V

01

P.525 .

P.524 .

P.530

. , ,

( ) .

ON-OFF ON

.

.

.

.

. , ,

.

P.524 .

.

, . .

, . 1kPa 1, 2, 3,… 1.5 2.5 .

533

ON-OFF ,

.( 2, 3 )

P.525 .

P.524 .

() ON-OFF

ON-OFF .

.

. .

ON OFF . . .

.

( ) .

.

ON COM . . 0

.

C

E

B

2　NPN

E

C

B

3　PNP

.

(0) .

. .

.

. .

, 0 .

.

ON-OFF ON, OFF .

.

. .

P.882 b n .

534

( ) .

.

(Full Scale)F.S.

(Full Span)F.S.

P.524 .

( ) .

.

.

P.524 .

A~Z

2 P.526 .

digit( ) . 1 digit=1kPa

, 1,2,3,…,99,100 1kPa .

DIN DIN . DIN 35

[mm] .

F.S.( , ) .

, 1~5[V] F.S.=5-1=4[V] . ( : 1%F.S.=4×0.01=0.04[V]

Key Lock . Key lock

.

LED .

NPN P.523 .

ON-OFF P.522 .

.

PNP P.523 .

SUS .

TSJ Tube Swage Joint . Swagelok

Swagelok® .※Swagelok® Swegelok Company .

URJ Union Ring Joint swagelok

VCR® ※VCR® Swagelok Company

535

0-100kPa 15MPa1MPa

(2.0MPa)

100kPa

0-100kPa 15MPa1MPa100kPa

0 5kPa2kPa

Key Lock

"

( )

SUS

( )

( )

536

・Z/ISE30A ・Z/ISE40A ・Z/ISE10 ・ISE70 ・Z/ISE3

・Z/ISE80 ・ISE75 ( )

・Z/ISE1 ・Z/ISE2 ・PS1000/1100/1200

・PSE530 ・PSE540 ・PSE550 ( )

・PSE560

[1ch ]・PSE300

[4ch ]・PSE200

・

・

・ /

・

・

・LED ON/OFF

537

ISE75ISE75H

ZSE80(F)ISE80(H)

ISE70

±2 F.S. (0 50℃)

±3 F.S.(0 50℃)

±0.5 F.S.

1 NPN PNP2 NPN PNP

PNP

ZSE40A(F)ISE40A

−110 110kPa10 −111kPa

−0.105 1.1MPa−0.105 2.2MPa

ZSE30A(F)ISE30A

−105 105kPa10 −105kPa

−0.105 1.05MPa

IP65 IP40 IP67

NPN PNP

NPN PNP

2(0.1 )

1(0.1 )

2(1 )

2(0.1 )

±0.2%F.S.±1digit

NPN PNP

IP65

±0.2 F.S.±1digit

0.4 10MPa0.5 15MPa−0.1 1MPa

R URJ, TSJ

DIN

IP40

DC12 24V±10 ( ±10

ZSE10(F)ISE10

(25℃ )

( )

538

ZSP1 PS1000PS1100PS1200

ZSE2ISE2

0 100kPa0 1MPa0 −101kPa

±1 F.S. ±1 F.S.

1 10%3 F.S.

ZSE1ISE1

±3 F.S.0 60℃

NPN PNP2

NPN PNP

3 F.S.

−0.1 0.45MPa−0.1 0.4MPa−100 0kPa

−20 −101kPa

±3 F.S.0 60℃

4 F.S. 10 F.S.

0.5kPa

NPNNPN PNP

IP40 IP40

ZSE3ISE3

1(1 )

0 98kPa0 0.98MPa0 −101kPa

NPN

ISA2

ZX

ZX

ZM ZX/ZR

−0.1 1MPa

IP40

2(1 )

ISE35

ARM10/11

3digits※) ※digit

±0.01mm (0 60℃)

( )

±0.01mm ( )

LED

IP66

0.01mm

30 200kPa(

0.01~0.25mm)50 200kPa

( 0.03~0.50mm)

539

0 50 0 50

±1 ±0.2 ±0.3

DC12 24V

5 2

1 2

IP40

1 5V1 5V

4 20mA1 5V

4 20mA

Key Lock

CE CE CE,UL/CSACE,UL/CSA

M

—10 60

IP65 IP40

±0.2 ±0.1

MR,NPT R,NPT,Rc

URJ,TSJ※

IP65 IP40

PSE530 PSE540 PSE550 PSE560 PSE200 PSE300

※URJ, TSJ .540

PSE53 PSE54 PSE55 PSE56

PSE531

PSE533

PSE532

—

PSE530

—

PSE541

PSE543

—

—

PSE540

—

—

—

—

—

—

PSE550

PSE561

PSE563

—

PSE564

PSE560

—

−100kPa

−101 kPa 0

0

0

0

500kPa

1MPa

0 2kPa

−100 kPa 100kPa

100kPa

0 100kPa 500kPa 1MPa

PSE200 PSE300

0.1kPa

0.1kPa

0.1kPa

—

0.001MPa

—

0.1kPa

0.2kPa

0.1kPa

1kPa

0.001MPa

0.01kPa

PSE531

PSE533

PSE532

—

PSE530

—

PSE541

PSE543

—

—

PSE540

—

—

—

—

—

—

PSE550

PSE561

PSE563

—

PSE564

PSE560

—

PSE5 Series

•

NPN 5

PNP 5

NPN 2 1-5V NPN 2 4-20mA NPN 2

PNP 2 1-5V PNP 2 4-20mA PNP 2

PSE200/300 Series

541

0 3-0.5-1 0.5 1-3

0～0.50～10～3

-0.5～0.5

-3～3-1～1

L/min

0 164 100 2504030

0.5～42～165～40

10～10030～250

L/min

0 10025 50101

0.2～100.5～25

1～502～100

L/min

120003000 600060030 150

150～3000

300～6000

600～12000

L/min

L/min 0 40204

0.4～41.8～20

4～40

L/min 0 40 100 200205

0.5～202.5～100

5～200

L/min 0 1000200 500102 5

2～2005～500

10～1000

( )

(MEMS )

50% + 50%

, CO2

JIS B8392.1-1. 1.2 1.6.2, ISO8573.1-1. 1.2 1.6.2

( 3mPa s(3cP) )

0 999500100 2005010

1～105～50

10～10020～200

L/min

50～500

542

P.546 P.547

・PFM5 ・PFMV5 ・PF2A5

・PF3W5 ・LFEJ(K)

P.547

・PF2D5 ・PF3W5

P.546 P.547

[1ch ]・PFM3 ・PFMV3 ・PF2A3

[4ch ]・PF2A2

[1ch ]・PF3W3 ・LFE0

[1ch ]・PF2D3

[4ch ]・PF2D2

P.547

P.544 P.545

・

・

・ /

・

・PFM7 ・PF2A7 ・PF2A7H ・PFMB

・PF3W7 ・LFEA(B/C/D)

・PF3W7

（ ）・

・

・

)PF2A7 PF2A7□□H

543

・

PFM7 PF2A7

, N2, Ar, CO2

DIN

IP40

2 LED

NPN PNP

±1 F.S.±3 F.S.

25℃±2 F.S. 15 35℃±5 F.S. 0 50℃

DC24V±10

0.2 10L/min0.5 25L/min1 50L/min2 100L/min

DC12 24V ±10

PFMB

, N2

DIN

IP40IP65

2 LED 2 LCD

NPN PNP

±1 F.S.

±2 F.S. 15 35℃±5 F.S. 0 50℃

2 200L/min5 500L/min

10 1000L/min

, N2

1 LED

NPN PNP

3digits※

※digit

±1 F.S. PF2A70, PF2A7H±2 F.S. PF2A71

±3 F.S. 15 35℃±5 F.S. 0 50℃

±2 F.S. PF2A7H 0 50℃

1 10L/min5 50L/min

10 100L/min20 200L/min50 500L/min

150 3000L/min300 6000L/min600 12000L/min

PFMB

544

±0.5 F.S.

±0.5 F.S.

0.5 20L/min2.5 100L/min5 200L/min

±5 F.S. 0 50℃

PF3W LFE

, , ( ,

±2 F.S.

0.5 4L/min2 16L/min5 40L/min

10 100L/min50 250L/min

10 100L/min

NPN PNP

3

DC24V±10

3 23 2

IP65

545

PFM5 PFM3 PFMV5 PFMV3 PF2A5 PF2A3 PF2A2

, N2,Ar, CO2

1

4ch

DIN

IP65IP40

2 2 1 1

NPN PNPNPN PNP

NPN PNP

3digits※

※digit

±0.1 F.S.

±0.5 F.S.

±1 F.S.

±5 F.S.

±0.1 F.S.

±0.5 F.S.

±1 F.S.PF2A3

±2 F.S.PF2A2

±1 F.S. ±3 F.S.

±1 F.S.

±5 F.S.

(25℃ )±0.5 F.S.0 50℃

±2 F.S.15 35℃±5 F.S.0 50℃

±0.5 F.S.0 50℃

±2 F.S.15 35℃±3 F.S.0 50℃

±1 F.S.15 35℃±2 F.S.0 50℃

±2 F.S.0 50℃

±2 F.S.15 35℃±5 F.S.0 50℃

DC24V±10 DC24V±10 DC12 24V±10

0.2 10L/min0.5 25L/min1 50L/min2 100L/min

0 0.5L/min0 1L/min0 3L/min

−0.5 0.5L/min−1 1L/min−3 3L/min

1 10L/min5 50L/min

10 100L/min20 200L/min50 500L/min

1 1 4

, N2 , N2

IP40 IP40 IP65

IP40

546

,

1

0.5 4L/min2 16L/min5 40L/min

10 100L/min50 250L/min

10 100L/min30 250L/min

PF2D5 PF2D3 PF2D2PF3W5 PF3W3

,SuperPFA

,,

1

4ch

IP65

1

NPN PNP

3digits※

※digit

±0.5 F.S.±3 F.S.±1 F.S.

±1 F.S.15 35℃±2 F.S.0 50℃

4

1

±2 F.S.0 50℃

±5 F.S.0 50℃

DC12 24V±10

0.4 4L/min1.8 20L/min4 40L/min

IP40IP65

IP40

DC12 24V±10

NPN PNP

±5 F.S.0 50℃

±0.5 F.S.0 50℃

±5 F.S.0 50℃

±2 F.S. ±0.5 F.S. ±2 F.S.

3

IP65 IP65IP65

IP40

3

3 2

IP65IP65

IP40

LFE1LFE2LFE3

LFE0

,

1

3

NPN PNP

±0.5 F.S.±1.5 F.S.

±0.5 F.S.±5 F.S.

DC24V±10

0.5 20L/min2.5 100L/min5 200L/min

LFE3

3 2

547

IS3000IS10

DC ~100VAC ~100V

0.1~0.4MPa( 0.1~0.6MPa)

0.1~0.7MPa

0.05MPa

±0.05MPa ±0.05MPa

0.08MPa

1a

DC24 ~125VAC100~250V

1ab

F.R.L.

0.02~0.3MPa

±3 F.S.

0.01~0.2MPa

0.05~0.7MPa 0.1~1.0MPa

ISG11 ISG21

DC24~220VAC100~550V

0.02~0.35MPa(

0.02~0.45MPa(

0.03~0.4MPa(

0.03~0.6MPa(

1a1b

2ab IS2761

ISG13 ISG23ISG12 ISG22

ISG2 IP44

548

IFW5 IF3ZSM1

−10~−100kPa −27~−80kPa

DC4.5~28V(ZSM1-115)

AC/DC100V (ZSM1-121)

15kPa (ZSM1-115)

20kPa (ZSM1-121)

NPN (ZSM1-115)

1a(ZSM1-121)

ZM

±3 F.S. ±10 F.S.

7~53kPa

0.1~0.6MPa 1MPa

1.2MPa 1.75MPa

1~10L/min10~20L/min20~50L/min

14~60L/min20~1500L/min36~2600L/min

1L/min 1.5L/min 3L/min

1ab1a 1b

1ab

100mΩ (DC500 mega)

ISG19 ISG29

549