fizyczne podstawy mikrotechnologii
DESCRIPTION
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]). FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII. Dr inż. Krzysztof Waczyński Zakład Mikroelektroniki i Biotechnologii Instytut Elektroniki - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
![Page 1: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/1.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński
Zakład Mikroelektroniki i Biotechnologii
Instytut Elektroniki
Politechnika Śląska, Gliwice
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
![Page 2: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/2.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRÓŻNIA
Własności gazów rozrzedzonych, metody wytwarzania próżni, metody pomiaru
próżni, wykorzystanie próżni w technologiach mikroelektronicznych
![Page 3: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/3.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
STRUMIENIE CZĄSTEK OBOJĘTNYCH
Źródła par, charakterystyki emisyjne źródeł par, zastosowanie strumieni cząstek molekularnych
w technologii elektronowej (wytwarzanie struktur cienkowarstwowych, wytwarzanie
struktur epitaksjalnych)
![Page 4: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/4.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
FALE ELEKTROMAGNETYCZNEWidmo fal elektromagnetycznych – metody wytwarzania
fal elektromagnetycznych o określonej długości fali, podstawowe własności fal elektromagnetycznych
(dyfrakcja, interferencja), oddziaływanie fali
elektromagnetycznej z ciałem stałym, wykorzystanie fali elektromagnetycznej w technologiach
mikroelektronicznych
![Page 5: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/5.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
WIĄZKA ELEKTRONOWA
Wytwarzanie i charakterystyka wiązki elektronowej, (emisja elektronów, termokatody, kinetyka elektronów, układy sterowania wiązką elektronową), oddziaływanie wiązki elektronowej na ciało stałe, zastosowanie wiązki elektronowej w technologiach mikroelektronicznych,
(systemy elektronolitografii, urządzenia z wiązką elektronową jako źródłem ciepła)
![Page 6: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/6.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
WIĄZKA JONOWAWytwarzanie i charakterystyka wiązki jonowej (źródła
jonów, układy sterowania wiązką jonową), oddziaływanie wiązki jonowej z ciałem stałym (wpływ
wiązki jonów na strukturalne własności rezystów, oddziaływanie wiązki jonowej z amorficznym ciałem
stałym oraz z monokryształem, trawienie powierzchni), zastosowanie wiązki jonowej w technologiach
mikroelektronicznych (jonolitografia, domieszkowanie półprzewodników)
![Page 7: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/7.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PLAZMA
Sposoby wytwarzania plazmy, oddziaływanie składników plazmy z ciałem stałym, proces osadzania
powłok. Przenoszenie masy i energii do podłoża, charakterystyki emisyjne źródeł, mechanizmy
trawienia plazmowego, zastosowanie plazmy w mikrotechnologii (osadzanie warstw metodą
rozpylania katodowego, suche trawienie)
![Page 8: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/8.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ZJAWISKA NA POWIERZCHNI CIAŁA
STAŁEGOAbsorpcja, adsorpcja i desorpcja gazu, kondensacja, fizyczne podstawy utleniania powierzchni materiałów
półprzewodnikowych, fizyczne podstawy epitaksji
![Page 9: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/9.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
DYFUZJA W CIAŁACH STAŁYCH
Opis dyfuzji, matematyczny opis dyfuzji, atomowe mechanizmy dyfuzji w monokryształach, zjawisko
dyfuzji w technologii elektronowej (przenikanie gazu przez ciała stałe), domieszkowanie dyfuzyjne
półprzewodników
![Page 10: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/10.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRÓŻNIA
![Page 11: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/11.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRÓŻNIA
Dosłowne znaczenie:
„Przestrzeń całkowicie pozbawiona materii”
Znaczenie techniczne:
„Stan gazu, którego koncentracja lub ciśnienie są niższe od ciśnienia lub koncentracji powietrza atmosferycznego tuż przy powierzchni Ziemi”
![Page 12: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/12.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRÓŻNIA
POWIETRZE ATMOSFERYCZNE
KOMORA PRÓŻNIOWA
PRÓŻNIA – OBSZAR OBNIŻONEGO
CIŚNIENIA
![Page 13: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/13.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRÓŻNIA
POWIETRZE ATMOSFERYCZNE
KOMORA PRÓŻNIOWA
PRÓŻNIA – OBSZAR OBNIŻONEGO
CIŚNIENIAPompy próżniowe
![Page 14: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/14.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PROCESY PROWADZONE
W PRÓŻNI
![Page 15: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/15.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI
Pompy próżniowe
Otrzymywanie bardzo czystych materiałów,
szczególnie takich, które łatwo reagują chemicznie
z gazami zawartymi w atmosferze. Są to techniki wytopów
próżniowych, czyszczenia strefowego
![Page 16: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/16.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI
Pompy próżniowe
Usuwanie gazów i składników lotnych rozpuszczonych w
objętości lub zaadsorbowanych na
powierzchni. Destylacja molekularna, impregnacja
![Page 17: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/17.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI
Pompy próżniowe
Wytwarzanie warstw cienkich o określonej
konfiguracji i małej ilości zanieczyszczeń.
Przygotowywanie „czystych”powierzchni.
Naparowywanie, napylanie w technice warstw cienkich,
czyszczenie jonowe
![Page 18: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/18.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI
Pompy próżniowe
Wytwarzanie płyt CD, pokrywanie warstwami
przeciwodbiciowymi (warstwami
antyrefleksyjnymi) szyb
![Page 19: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/19.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI
Pompy próżniowe
Pomiary spektroskopowe powierzchniowych
własności półprzewodników
![Page 20: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/20.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI
Pompy próżniowe
Procesy technologiczne w technologii wytwarzania
struktur półprzewodnikowych. Implantacja jonów, elektronolitografia,
jonolitografia
![Page 21: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/21.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRÓŻNIA
OPIS FIZYCZNY
![Page 22: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/22.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRÓŻNIA
Próżnia może być scharakteryzowana przy wykorzystaniu jednostek opisujących ciśnienie
Ciśnienie wysokie
Ciśnienie niskie
próżnia niska
próżnia wysoka
![Page 23: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/23.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
![Page 24: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/24.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA - SI
1N
1m2
Jednostka ciśnienia 1 pascal (SI)
21
11
m
NPa
![Page 25: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/25.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
Tor (Tr) mm słupa rtęci Hg 1Tr
Ciśnienie wywierane przez
słup rtęci o wysokości 1mm
1mmrtęć (Hg)
![Page 26: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/26.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
micron μ 1mTr
Ciśnienie wywierane przez
słup rtęci o wysokości 1·10 m
1·10 m
-6
-6
![Page 27: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/27.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
Milimetry słupa wody 1mmWS
Ciśnienie wywierane przez
słup wody o wysokości 1mm
1 mm woda (H O)
2
![Page 28: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/28.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
Atmosfera fizyczna (atm) 1 atm
Ciśnienie wywierane przez
słup rtęci o wysokości 760mm
760mm
![Page 29: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/29.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
1kG
1cm2
Atmosfera techniczna (at) 1 at
21
11
cm
kGat
![Page 30: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/30.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
1dyna
1cm2
Mikrobar (baria) 1 μbar
21
11
cm
dynabar
![Page 31: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/31.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
10 dyn
1cm2
milibar 1 mbar
barmbar 3101
3
![Page 32: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/32.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
10 dyn
1cm2
1bar
barbar 6101
6
![Page 33: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/33.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
Pa bar Torr atm at mmWS
Pa 1 1·10 7.5·10 9.87·10 1.02·10 0.102
bar 1·10 1 750 0.987 1.02 1.02·10
Torr 1.33·10 1 1.32·10 1.36·10 13.6
atm 1.01·10 1013 760 1 1.03 1.03·10
at 9.81·10 0.981 735.6 0.968 1 1·10
mmWS 9.81 9.81·10 7.36·10 9.68·10 1·10 1
-5
5
-3 -6 -5
4
21.33·10
-3 -3 -3
5
4
-2 -2 -5 -4
4
4
![Page 34: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/34.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
hPaatm
Paatm
Paatm
10001
10101
10123
5
![Page 35: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/35.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
hPa1070960 PROGNOZA POGODY
![Page 36: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/36.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
Atmosfera fizyczna
1atm
Atmosfera techniczna
1at
atatm 03.11
![Page 37: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/37.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
Atmosfera fizyczna 1 atm
Ciśnienie wywierane przez
słup rtęci o
wysokości 0.76m lub słup wody o wysokości 10.3m
2m
4m6m8m
10mHg H2O
![Page 38: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/38.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
atbar 02.11
![Page 39: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/39.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
JEDNOSTKI CIŚNIENIA
2
2
/11
/11
ftlbfpsf
inchlbfpsi
Spotykane sporadycznie – w ang. literaturze
![Page 40: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/40.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PODZIAŁ ZAKRESU
PODCIŚNIEŃ PRÓŻNI
![Page 41: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/41.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PODZIAŁ ZAKRESU PODCIŚNIEŃ PRÓŻNI
NAZWA PRÓŻNI
JED.CIŚ. [mbar]
JED.CIŚ. [Pa]
JED.CIŚ. [Tr]
niska 1013÷1 10 000÷100 760÷1
średnia 1÷10 100÷10 1÷10
wysoka 10 ÷10 10 ÷10 10 ÷10
ultrawysoka <10 <10 <10
-3
-3
-3
-3 -8
-8
-7
-7
-1
-1 -6
-6
![Page 42: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/42.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
POWIETRZE ATMOSFERYCZNE
![Page 43: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/43.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
SKŁAD ATMOSFERY
![Page 44: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/44.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
SKŁAD ATMOSFERY
GAZY % wagowe % objętościowe
N2 75.51 78.1
O2 23.01 20.93
Ar 1.29 0.93
CO2 0.04 0.03
Ne 1.2·10 1.8·10
He 7·10 7·10
CH4 2·10 2·10
-3 -3
-5 -5
-4 -4
Wilgotność względna 50% przy temperaturze 20°C
![Page 45: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/45.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
CISNIENIE CZĄSTKOWE - PARCJALNE
N2
792m
bar
212m
bar
O2 Ar
9.47
mb
ar
0.31
mb
ar
CO2
1.9·
10
mb
ar
Ne
-2
![Page 46: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/46.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
100km
200km
300km
400km
500km
600kmPowietrze atmosferyczne
Wysoka próżnia
Ultrawysoka próżnia
Od
legł
ość
od p
owie
rzch
ni Z
iem
i
![Page 47: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/47.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WŁASNOŚCI GAZÓW
ROZRZEDZONYCH
![Page 48: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/48.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PODSTAWOWE ZAŁOŻENIA
KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW
WŁASNOŚCI GAZÓW ROZRZEDZONYCH
![Page 49: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/49.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PODSTAWOWE ZAŁOŻENIA KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW
1. Materia złożona jest z małych cząstek, zwanych molekułami. Dla określonej substancji chemicznej cząsteczki są identyczne pod względem masy, kształtu, objętości
![Page 50: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/50.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PODSTAWOWE ZAŁOŻENIA KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW
2. Cząsteczki gazu są w nieustannym ruchu. Ich energia kinetyczna uzależniona jest od temperatury gazu
3. Temperatura gazu określa wyłącznie energię kinetyczną ruchu postępowego cząsteczek
![Page 51: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/51.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PODSTAWOWE ZAŁOŻENIA KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW
4. Objętość własna wszystkich cząsteczek jest do pominięcia w porównaniu z objętością zbiornika
5. Cząsteczki nie wywierają wzajemnie na siebie żadnych sił
6. Zderzenia między cząsteczkami i ściankami zbiornika są zderzeniami elastycznymi
![Page 52: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/52.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
![Page 53: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/53.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Zbiornik wypełniony gazem o koncentracji „n”
![Page 54: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/54.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Cząsteczka gazu może poruszać się w dowolnym kierunku
vxvy
vz v
v – wypadkowa prędkość
vx – składowa w osi „x”vy – składowa w osi „y”vz – składowa w osi „z”
![Page 55: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/55.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Część cząsteczek uderzy w wybrany fragment powierzchni „ΔS” zbiornika
ΔS
x
![Page 56: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/56.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Ilość cząstek „N” w elemencie objętości
SlV
VnN
n – koncentracja V - objętość
l
ΔS
x
![Page 57: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/57.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Ilość cząstek „N” w elemencie objętości
StvV
SlV
x
vx – składowa prędkości t - czas
l
ΔS
vxt
vxvx
vx
vx
x
![Page 58: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/58.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Ilość cząstek „N” w elemencie objętości
Svnt
N
StvnN
x
x
![Page 59: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/59.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Przy założeniu równouprawnienia wszystkich kierunków ruchu, połowa z tych
cząsteczek posiada dodatnie składowe prędkości w kierunku osi „x” i w czasie „t”
uderza w wybrany fragment powierzchni ścianki zbiornika „ΔS”
SvntN x /
![Page 60: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/60.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Zderzenie elastyczne
- zmiana kierunku (znaku) pędu,
- bezwzględna wartość pędu nie ulega zmianie
x
y
Fx
+m0vx
-m0vx
m0vx
m0vx
![Page 61: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/61.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Siła wywierana przez jedną cząstkę
xx
xx
vvmtF
t
vvmF
amF
00
00
00
![Page 62: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/62.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Siła wywierana przez jedną cząstkę
t
vmF
vmtF
vvmtF
x
x
xx
00
00
00
2
2
![Page 63: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/63.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Całkowita siła wywierana przez połowę cząstek gazu zawartych w elemencie objętości
t
vmNF x
x02
2
1
![Page 64: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/64.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Całkowita siła wywierana przez połowę cząstek gazu zawartych w elemencie objętości
SvnmF
SnvtN
xx
x
2
0
/
![Page 65: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/65.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Ponieważ:
2222zyx vvvv
![Page 66: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/66.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Przy równouprawnieniu wszystkich kierunków ruchu:
222zyx vvv
![Page 67: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/67.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Otrzymano:
22 3/1 vvx
![Page 68: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/68.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Siła wywierana na ściankę:
SnvmFx 203/1
![Page 69: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/69.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Ciśnienie wywierana na ściankę:
S
Snvmp
SFp x
2
03/1
/
![Page 70: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/70.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU
Ciśnienie wywierana na ściankę:
203/1 vnmp
![Page 71: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/71.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRAWO DALTONA
![Page 72: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/72.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRAWO DALTONA
Jeżeli zbiornik wypełniony jest mieszaniną gazów, wówczas każdy z tych gazów będzie wywierał odpowiednią siłę
SvmnF
SvmnF
SvmnF
iiixi
x
x
20
220222
210111
3/1
3/1
3/1
![Page 73: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/73.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRAWO DALTONA
Całkowita siła będzie sumą sił wywieranych przez poszczególne składniki
n
ixix FF
1
![Page 74: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/74.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRAWO DALTONA
Całkowite ciśnienie gazu jest równe sumie ciśnień cząstkowych wywieranych przez
poszczególne składniki
i
ipp
![Page 75: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/75.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
![Page 76: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/76.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
Energia kinetyczna cząsteczki gazu
2
20
1
vmEK
![Page 77: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/77.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
Przy założeniu, że „v” jest, identyczną dla wszystkich cząsteczek, prędkością średnią
kwadratową (obliczoną dla wszystkich cząsteczek)
222
21 .../1 NK vvvNvv
![Page 78: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/78.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
Całkowita energia kinetyczna gazu będzie sumą energii poszczególnych cząsteczek
202/1 vmE
EE
ii
K
iKiK
![Page 79: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/79.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
„m” – całkowita masa gazu
ioi
iiK
mm
vmE 202/1
![Page 80: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/80.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
Energia kinetyczna gazu
2
2mvEK
![Page 81: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/81.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
Energia kinetyczna gazu - obliczenia
0/ nmVm ρ – gęstość gazu
n – koncentracja gazu
![Page 82: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/82.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
203/1 vnmp
23/1 vp
![Page 83: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/83.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
23/1 vp 2
3
1v
V
mp
![Page 84: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/84.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
23 mvpV
2
2
1mvEK
![Page 85: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/85.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
pVEK 2
3
Całkowita energia kinetyczna gazu:
![Page 86: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/86.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
QEK 2/3
Ilość gazu QpV
![Page 87: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/87.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
ENERGIA GAZU
Energia kinetyczna gazu – a więc i jego temperatura zależy wyłącznie od ilości gazu
„Q” a nie od rodzaju gazu.
Przy ustalonej objętości zbiornika i ustalonym ciśnieniu gazu energie kinetyczne i temperatury wszystkich gazów są jednakowe
![Page 88: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/88.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRAWO AVOGADRO
![Page 89: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/89.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRAWO AVOGADRO
Gaz A Gaz B
V1, p1, T1 V1, p1, T1
212121 ,, TTppVV
![Page 90: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/90.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRAWO AVOGADRO
2121 )2)1 TTpp
21
2202
2101
22022
21011
2/12/1
3/13/1
nn
vmvm
vmnvmn
![Page 91: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/91.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
PRAWO AVOGADRO
21 nn Przy tym samym ciśnieniu i w tej samej temperaturze koncentracja
cząsteczek gazu jest dla wszystkich gazów jednakowa
Prawo Avogadra
![Page 92: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/92.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ
![Page 93: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/93.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ
GRAMOCZĄSTECZKA
Ilość gramów gazu równa jego liczbie molowej
![Page 94: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/94.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ
Rozpatrzmy:
- dwa, różne gazy pozostające w tej samej temperaturze (T1=T2) i pod tym samym ciśnieniem (p1=p2)
- masa każdego z gazów jest równa jego masie molowej (M1, M2)
![Page 95: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/95.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ
T1=T2 (oznacza to równość energii gazu)
222
211 2/12/1 vMvM
p1=p2 (równość ciśnień)
22
2
221
1
1
3
1
3
1v
V
Mv
V
M
![Page 96: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/96.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ
21
22
2
221
1
1
222
211
3
1
3
12
1
2
1
VV
vV
Mv
V
M
vMvM
![Page 97: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/97.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ
Objętość zajmowana przez gramocząsteczkę gazu w
ustalonych warunkach ciśnienia i temperatury jest wielkością stałą
dla wszystkich gazów
21 VV
![Page 98: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/98.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ
Objętość molowa gazu wyznaczona doświadczalnie przy ciśnieniu 1atm
i w temperaturze 0°C wynosi:
lV
cmV
415,22
22415
0
30
![Page 99: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/99.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
LICZBA AVOGADRO
![Page 100: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/100.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
LICZBA AVOGADRO
![Page 101: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/101.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
LICZBA AVOGADRO
Z poprzednio wyprowadzonych zależności wynika, że:
1. Przy tym samym ciśnieniu i w tej samej temperaturze koncentracja cząsteczek jest dla wszystkich gazów jednakowa
2. Objętość zajmowana przez gramocząsteczkę gazu, w ustalonych warunkach ciśnienia i temperatury jest wielkością stałą dla wszystkich gazów
21 nn
21 VV
![Page 102: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/102.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
LICZBA AVOGADRO
Ilość cząsteczek zawartych w jednym molu gazu jest wielkością stałą dla wszystkich
gazów niezależnie od ciśnienia i temperatury. Wielkość ta znana jest jako:
LICZBA AVOGADRO
![Page 103: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/103.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
LICZBA AVOGADRO
LICZBA AVOGADRO - NA
Wyznaczona doświadczalnie
23100228,6 AN
![Page 104: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/104.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
LICZBA AVOGADRO
Znając masę molową substancji chemicznej oraz liczbę Avogadro można wyznaczyć pojedynczej
masę cząsteczki
AN
Mm 0
![Page 105: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/105.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
LICZBA AVOGADRO
M - masa molowa substancji – liczba gramów substancji (gazu) równa jego liczbie masowej
Powłoki elektronoweOTlen15,9994
8 26
KLMNOPQ
Liczba atomowa
Symbol pierwiastka
Nazwa pierwiastka
Masa atomowa
![Page 106: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/106.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
RÓWNANIE STANU GAZU
![Page 107: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/107.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])r
RÓWNANIE STANU GAZU
Prawo Boyla-Mariotta
Prawo Gay - Lusaca
constTdlaconstVp
constpprzyTV
![Page 108: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/108.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
RÓWNANIE STANU GAZU
Uwzględniając oba powyższe prawa – uzyskano:
TVp Zależność jednakowa dla wszystkich gazów
![Page 109: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/109.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
RÓWNANIE STANU GAZU
Równanie Clapeyrona
TRVp R – stała uniwersalna
(Równanie Stanu Gazu Doskonałego)
![Page 110: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/110.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
RÓWNANIE STANU GAZU
T
pVR
Wartość liczbowa stałej uniwersalnej R dla 1 mola gazu
![Page 111: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/111.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
RÓWNANIE STANU GAZU
0
00
T
VpRM
Wartość liczbowa stałej uniwersalnej R dla 1 mola gazu
Objętość molowa gazu wyznaczona
doświadczalnie przy ciśnieniu p0=1atm i w temperaturze T0 = 0°C
wynosi V0=22,4l
![Page 112: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/112.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
RÓWNANIE STANU GAZU
K
lTr
T
VpRM 16.273
415,22760
0
00
Wartość liczbowa stałej uniwersalnej R dla 1 mola gazu
Kmol
lTrRM
36,62
![Page 113: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/113.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
RÓWNANIE STANU GAZU
Wartość liczbowa stałej uniwersalnej R dla 1 mola gazu
Kmol
JRM
312,8
K
mPaRM 16,273
10415,2210013,1 335
![Page 114: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/114.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
RÓWNANIE STANU GAZU
(dla dowolnej ilości gazu)
TRM
mVp M
m/M – ilość moli rozpatrywanego gazu
Równanie Stanu Gazu Doskonałego
![Page 115: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/115.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
RÓWNANIE STANU GAZU
Obliczenie ilości moli gazu
m=64g O2
masa molowa cząsteczki tlenu O2
M=2·16g=32g
232
64
g
g
M
mnM
![Page 116: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/116.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZWIĄZEK MIĘDZY ENERGIĄ
KINETYCZNĄ CZĄSTECZKI A
TEMPERATURĄ GAZU
![Page 117: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/117.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU
Energia kinetyczna dla 1 mola gazu
TRpV MpVEK 2
3
TRE MK 2
3
![Page 118: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/118.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU
M
mTRMv M
02
2
3
2
1
TRM
mvm M
020 2
3
2
1
![Page 119: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/119.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU
TRM
mvm M
020 2
3
2
1
Energia kinetyczna pojedynczej cząsteczki
1KE ANMm /1/0
Odwrotność liczby Avogadro
![Page 120: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/120.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU
kTTN
RE
A
MK 2
3
2
31
Stała BoltzmannakNR AM /
![Page 121: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/121.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU
kTEK 2
31
Stała Boltzmanna
KeVk
KlTrk
KJk
/10616,8
/1036,10
/10381,1
5
23
23
![Page 122: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/122.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY
GĘSTOŚCIĄ GAZU A CIŚNIENIEM
![Page 123: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/123.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY GĘSTOŚCIĄ GAZU A CIŚNIENIEM
Równanie stanu gazu:
pT
M
RV
m
TRmMpV
TRMmpV
M
M
M
1
/
![Page 124: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/124.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY GĘSTOŚCIĄ GAZU A CIŚNIENIEM
Gęstość gazu jest proporcjonalna do ciśnienia gazu
pT
M
RV
m
M
1
pT
M
RM
1
![Page 125: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/125.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY
KONCENTRACJĄ GAZU A
CIŚNIENIEM
![Page 126: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/126.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM
nmVm 0/ Gęstość gazu:
m0 – masa cząsteczki gazun – koncentracja gazu
![Page 127: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/127.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM
0/ mn Koncentracja gazu:
pT
M
RM
1
![Page 128: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/128.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM
Koncentracja gazu:
T
p
m
M
Rn
M 0
1
Liczba Avogadro AN
![Page 129: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/129.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM
Koncentracja gazu:
T
p
R
Nn
M
A
Odwrotność stałej Boltzmanna k/1
![Page 130: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/130.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM
Koncentracja gazu:
T
p
kn
1
Koncentracja gazu jest wprost proporcjonalna do ciśnienia a odwrotnie proporcjonalna do temperatury gazu
![Page 131: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/131.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 132: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/132.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 133: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/133.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 134: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/134.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 135: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/135.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 136: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/136.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 137: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/137.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 138: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/138.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 139: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/139.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 140: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/140.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 141: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/141.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 142: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/142.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 143: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/143.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 144: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/144.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
![Page 145: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/145.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
1. Cząsteczka gazu poruszając się w chmurze innych cząsteczek co pewien czas ulega zderzeniom
2. W wyniku każdego zderzenia zmienia się kierunek ruchu
3. Tor cząsteczki składa się z odcinków linii prostej. Długości tych odcinków nie są jednakowe
![Page 146: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/146.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
4. Dla dostatecznie długiego czasu „t” wyznaczyć można średnią drogę cząsteczki miedzy kolejnymi zderzeniami „L”[m]
5. Dla dostatecznie długiego czasu „t” wyznaczyć można średnią ilość zderzeń „z” [1/s]
![Page 147: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/147.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
DEFINICJAŚrednica cząsteczki jest to
najmniejsza odległość na jaką mogą zbliżyć się dwie cząsteczki
jednakowego gazud
+ +
![Page 148: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/148.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
DROGA PRZEBYTA PRZEZ CZĄSTECZKĘ
![Page 149: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/149.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ŚREDNIA DROGA SWOBODNA
va – średnia prędkośćz – średnia ilość zderzeńL – średnia droga swobodna
czas t
droga l
![Page 150: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/150.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ŚREDNIA DROGA SWOBODNA
Cząsteczka poruszająca się ze średnią prędkością „va” przebywa w czasie „t” drogę:
stsmvml a /
![Page 151: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/151.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ŚREDNIA DROGA SWOBODNA
Cząsteczka w czasie t przebywa drogę równą średniej drodze swobodnej razy liczba zderzeń:
.. zdlmLml
![Page 152: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/152.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ŚREDNIA DROGA SWOBODNA
Cząsteczka w czasie pokonywania odległości „l” w czasie „t” doznaje:
stszzdl /1..
![Page 153: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/153.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ŚREDNIA DROGA SWOBODNA
ssmm
tzLl
/1
![Page 154: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/154.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ŚREDNIA DROGA SWOBODNA
zLv
tzLl
tvl
a
a
![Page 155: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/155.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
Z cząsteczką gazu „2” zderzą się tylko te cząstki gazu „1”, których środki mas przechodzą przez
powierzchnię koła o promieniu „r12”v1
r12
v1·t
v1
v1
v1
v1
v1
+
![Page 156: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/156.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
Z cząsteczką gazu „2” zderzą się tylko te cząstki gazu „1”, których środki mas przechodzą przez
powierzchnię koła o promieniu „r12”
r12++
2
212
1212
212112
4/1
2/1
ddrS
ddrrr
S12
![Page 157: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/157.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
Liczba cząsteczek „N1” gazu znajdujących się w rozważanej objętości
S12
v1t
n1 –koncentracja cząstek gazu
tvSnN 11211 1
2
![Page 158: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/158.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
Ilość zderzeń cząstek gazu „1” z nieruchomą cząstką „2” w jednostce czasu – „z12”
S12
v1t112112
112 /
vSnz
tNz
1
2
![Page 159: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/159.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
Średnia droga swobodna cząsteczki „L12”
S12
v1t12112
11112
/1
/
SnL
zvL
1
2
![Page 160: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/160.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
W przypadku gazu jednorodnego
S12
v1t 212
21
dSS
ddd
![Page 161: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/161.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI
W przypadku gazu jednorodnego: wzajemna liczba zderzeń cząstek „z11” i średnia droga pomiędzy
zderzeniami „L11”
S12
v1t211
211
1
dnL
vdnz
![Page 162: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/162.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA
PRZEPŁYWU
![Page 163: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/163.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
ZBIORNIK (o objętości V)
PRZEWÓD (o przewodności G)
POMPA PRÓŻNIOWA
![Page 164: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/164.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
Podczas pompowania ciśnienie w zbiorniku maleje
a odpompowywany gaz przepływa do pompy
(natężenie przepływu gazu I) przez przewód łączący o
przewodności G
ZBIORNIK
POMPA
![Page 165: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/165.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
ZBIORNIK
PR
ZE
WÓ
D
POMPA
A A
B B
wydajność pompowania
wydajność pompowania
ciśnienie
ciśnienie
szybkość pompowania
efektywna szybkość pompowania
CA
CB
p2
p1
SE
S
![Page 166: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/166.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA
DEFINICJA
![Page 167: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/167.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
dt
pVd
dt
dQC
Q – ilość gazup – ciśnienie gazu
V – ciśnienie gazut – czas
![Page 168: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/168.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
dt
pVd
dt
dQC
Q – ilość gazup – ciśnienie gazu
V – ciśnienie gazut – czas
![Page 169: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/169.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
TRM
mpV M
m – masa gazuM – masa molowa
![Page 170: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/170.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
TR
M
m
dt
dC M
m – masa gazuM – masa molowa
![Page 171: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/171.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
TR
M
m
dt
dC M
m – masa gazuM – masa molowa
![Page 172: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/172.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
Nmm 0
m – masa gazum0 – masa pojedynczej cząsteczki N – liczba cząsteczek gazu
![Page 173: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/173.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
TR
M
Nm
dt
dC M
0
m0 – masa pojedynczej cząsteczki gazuM – masa molowaN – liczba cząsteczek gazu
![Page 174: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/174.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
TR
M
Nm
dt
dC M
0
0/ mMN A Liczba Avogadro
![Page 175: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/175.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
TN
N
R
dt
dC
A
M
![Page 176: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/176.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
TN
N
R
dt
dC
A
M
AM NRk /Stała Boltzmanna
![Page 177: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/177.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
dt
dNkTC
TNkdt
dC
![Page 178: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/178.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA
dt
dNkTC
C – wydajność pompowania dN/dt – zmiana ilości cząsteczek gazu w czasie
![Page 179: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/179.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
SZYBKOŚĆ POMPOWANIA
DEFINICJA
![Page 180: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/180.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA
ZBIORNIK
PR
ZE
WÓ
D
POMPA
A A
B B
wydajność pompowania
wydajność pompowania
ciśnienie
ciśnienie
szybkość pompowania
efektywna szybkość pompowania
CA
CB
p2
p1
SE
S
![Page 181: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/181.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA
Wydajność pompowania w płaszczyźnie A-A
dt
dVp
dt
dQCA 2
W dowolnej chwili czasu „t” ciśnienie gazu w zbiorniku wynosi „p2”
![Page 182: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/182.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA
Zmiana objętości pompowanego gazu
dt
dVpCA 2
![Page 183: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/183.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA
Szybkość pompowania „S” - definicja
dt
dVS
![Page 184: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/184.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA
Efektywna szybkość pompowania „SE” – szybkość opróżniania zbiornika w
płaszczyźnie A-A
dt
dVSE
![Page 185: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/185.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA
Szybkość pompowania pompy „S” – szybkość opróżniania zbiornika przez
przewód w płaszczyźnie B-B
dt
dVS
![Page 186: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/186.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA
EA SpC 2Wydajność pompowania w płaszczyźnie A-A
Wydajność pompowania w płaszczyźnie B - B
SpCB 1
![Page 187: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/187.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
NATĘŻENIE PRZEPŁYWU
DEFINICJA
![Page 188: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/188.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
ZBIORNIK
POMPA
G
p2
p1
12 ppGI I - natężenie przepływu
I
G - przewodność przewodu
![Page 189: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/189.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
![Page 190: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/190.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
12
12
ppG
I
ppGI
![Page 191: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/191.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
S
CpSpC
S
CpSpC
BB
E
AEA
11
22
![Page 192: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/192.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
S
C
S
C
G
I B
E
A
12/ ppGI
![Page 193: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/193.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
BA CIC
Wzdłuż drogi przepływu nie występują procesy wydzielania czy też pochłaniania
gazu:
![Page 194: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/194.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
SSG E
111
![Page 195: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/195.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
EFEKTYWNA SZYBKOŚĆ
POMPOWANIA
![Page 196: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/196.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
EFEKTYWNA SZYBKOŚĆ POMPOWANIA
GS
SGSE
SSG E /1/1/1
![Page 197: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/197.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
EFEKTYWNA SZYBKOŚĆ POMPOWANIA
GS
SGSE
GSGS E
![Page 198: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/198.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
EFEKTYWNA SZYBKOŚĆ POMPOWANIA
GS
SGSE
SSSG E
![Page 199: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/199.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU
ZBIORNIK
POMPA
G
SE
S
Efektywna szybkość pompowania zbiornika
„SE” będzie zawsze mniejsza lub co najwyżej równa przewodności „G” kanału łączącego zbiornik
z pompą
![Page 200: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/200.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEWODNOŚĆ OPORNOŚĆ PRZEWODU
![Page 201: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/201.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRZEWODNOŚĆ (OPORNOŚĆ) PRZEWODU
GW /1
Oporność przewodu równa jest odwrotności przewodności
![Page 202: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/202.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYPADKOWA PRZEWODNOŚĆ
(OPORNOŚĆ) PRZEWODU
![Page 203: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/203.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYPADKOWA PRZEWODNOŚĆ (OPORNOŚĆ) PRZEWODU
G1(W1) G2(W2) G3(W3) G4(W4)
4321
4321
11111
GGGGG
WWWWW
![Page 204: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/204.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
WYPADKOWA PRZEWODNOŚĆ (OPORNOŚĆ) PRZEWODU
G1(W1)G2(W2)G3(W3)G4(W4)
4321
4321
11111
WWWWW
GGGGG
![Page 205: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/205.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
ZACHOWANIE SIĘ CZĄSTEK GAZU W
RÓŻNYCH ZAKRESACH PODCIŚNIEŃ
![Page 206: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/206.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PODZIAŁ ZAKRESU PODCIŚNIEŃ PRÓŻNI
NAZWA PRÓŻNI
JED.CIŚ. [mbar]
JED.CIŚ. [Pa]
JED.CIŚ. [Tr]
niska 1013÷1 10 000÷100 760÷1
średnia 1÷10 100÷10 1÷10
wysoka 10 ÷10 10 ÷10 10 ÷10
ultrawysoka <10 <10 <10
-3
-3
-3
-3 -8
-8
-7
-7
-1
-1 -6
-6
![Page 207: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/207.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
KONCENTRACJA CZĄSTECZEK
ŚREDNIA DROGA SWOBODNA
![Page 208: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/208.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
KONCENTRACJA CZĄSTECZEK, ŚREDNIA DROGA SWOBODNA
mbarp 11013PRÓŻNIA NISKA
cm
cmn2
31619
10
1010
![Page 209: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/209.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
KONCENTRACJA CZĄSTECZEK
mbarp 3101 PRÓŻNIA ŚREDNIA
cm
cmn
1010
10102
31316
![Page 210: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/210.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
KONCENTRACJA CZĄSTECZEK
mbarp 73 1010 PRÓŻNIA WYSOKA
cm
cmn5
3913
1010
1010
![Page 211: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/211.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
KONCENTRACJA CZĄSTECZEK
mbarp 710PRÓŻNIA U-WYSOKA
cm
cmn5
39
10
10
![Page 212: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/212.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
POWIERZCHNIOWA SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ
OBJĘTOŚCIOWA SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ
![Page 213: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/213.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ
mbarp 11013PRÓŻNIA NISKA
132329
122023
1010
1010
scmZ
scmZ
V
a
![Page 214: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/214.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ
mbarp 3101 PRÓŻNIA ŚREDNIA
131723
121720
1010
1010
scmZ
scmZ
V
a
![Page 215: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/215.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ
mbarp 73 1010 PRÓŻNIA WYSOKA
13917
121317
1010
1010
scmZ
scmZ
V
a
![Page 216: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/216.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ
mbarp 710PRÓŻNIA U-WYSOKA
139
1213
10
10
scmZ
scmZ
V
a
![Page 217: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/217.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
CZAS TWORZENIA SIĘ MONOMOLEKULARNEJ
WARSTWY
![Page 218: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/218.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ
mbarp 11013PRÓŻNIA NISKA
s510
![Page 219: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/219.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ
mbarp 3101 PRÓŻNIA ŚREDNIA
s25 1010
![Page 220: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/220.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ
mbarp 73 1010 PRÓŻNIA WYSOKA
s10010 2
![Page 221: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader036.vdocuments.net/reader036/viewer/2022062500/56814fe1550346895dbda90f/html5/thumbnails/221.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ
mbarp 710PRÓŻNIA U-WYSOKA
s100