Volume 04, Nomor 01, Jqnuqri 2016, ISSN 23O3-Ot6X

IURNAL

Teed

danAplika$iFfefka

.L7 *dt/ dr-

Gambar 5.hal26

Webs ile: htt p z f f iar no I "f mi po.unilo.oc.id/index"php / it at /Emoil: itofunilo@gmoil.com

JURNAL Teori dan Aplikasi Fisika

ISSI{ 2303-016X, Volume 04, Nomor 01, Januari 2016

PENANGGUNG JAWABDekan Fakultas Matematika dan llmu Pengetahuan Alam (FMIFA)

Universitas Lampung

PI}TPINAN EDITORWarsito

DEWAN EDITORArif Surtono

Suprihatin

Amir Supriyanto

Sri Wah1,u Suciyati

EDITOR PELAKSANAGurum Ahmad Pauzi

Leni Rumiyanti

MITRA BEBESTARIDwi Asmi (LINILA)

Suharno (UNILA)

Sukir Maryanto (UB)

AdiRahwanto (LINSIAH)

Yanti Yulianti (LJNILA)

R Wahyu Widanarto (UNSOED)

Posman Manurung (l-lNlLA)Erwin (UR)

Simon Sembiring GTNILA)Akhmad Aminudin Bama (LINSRI)

M. Sarkowi(I-INILA)

ALAMAT REDAKSIJurusan Fisika, Universitas Lampung

Jl. Sumantri Brojonegoro No.1 Bandar Lampung

T elp. 0721-70 1 609 Ext, 1 79 F ax. 07 2l-7 04625

Email : jtatunila@gmail.ac. id

http://jurnal,fmipa.unila.ac.id/index.phpl jtafl

Jurnal ini diterbitkan oleh Jurusan Fisika Fakultas lvlatematika dan Ilmu

Pengetahuan Alam Universitas Lampung bekerja sama dengan Himpunan Fisika

Indonesia Cabang Lampung, sebagai sarana Unruk mempublikasikan hasil

penelitian, artikel review dari peneliti-peneliti di bidang fisika teori dan

aplikasinya. Jurnal ini terbit dua kali setahun (Januari dan Juli), volume pertama

terbit pada tahun 2013 dengan nama Jurnal Teori dan Aplikasi Fisika (JTAF)

dengan ISSN 2303-016X"

G€u

UE

IIS

€Inu

Zb. LE

9E-6e

9-luBrtrBIuH

(pue11na puea ry pemeg pg)

8Z - I(,

repurlrs sereJ lepol lrunlroq-um1r?Jn re>IB g uege g ue4eun88uery ue8uep

(to4coay,otol4 papo) loct1uctadng) srlrqredng rrv roDIBeU ur"seq

(o1lsru16 ry'oluedudns rrruv' rzne 4peuqv turung'lJefl Inq.teC)

Sundurel selrsrelrun l.lse,/v\ IV plfs€nt r{epuql ue8uunS:sns€){ IpqS USSI IZII6 dlld3.J Io{olord rse>luntuo) ue>1erm88uehl {plJ

0Z - gl rllnry epole6 ue8uep BJenS ueleqruered elod r$leloq 1u1y ue8uecuerod

(o1rsre16 T lzrredpeurgy runmg 'ueqpeuroqg e>IIUeS p!\e@

(Cf a) rell o4uo J cl3o1 eyquunue.6or4 uo1eun33us11e,{uueyo4uo8ue4 eues ueII efe1, Ipng ruelo) 4v uerlrue>ley

Vl - L ue;n1n8ue4 {nrun n {n}ueg >l}ldg Sunqe I veweJverued uep srsrTeuy

(o>pepug ry qeuraeg u1)

fiAC) uorlezruore( e,rrlrcede3 uelsrs urelsp IJBNvelnf,e-I rseu{eseq sesoJd uped epo4lelg IeS mr{ruls que8ue4 srs[?uv

(3ur1u1g uetupg ry Eunmue6 uerusod'rlellpeg pls)

leIlu€d uem{ndupuqrel rrUInS Surdoplq 8ue,{ eluelll qrue8ue4

(o1rsre16 T Izrredpsurqv rurung ?JIO Blrml eqtugs)

gggg eBe61V relo4uo{oDlll tr srseqrog rerurTorsuetod rosues uopun88uel1ros8uol qercI qeqedue4 re8eqes qeuul

ue8uuruey 1e13ql ueqeqruod r$lelepuod lel17 rsesrleeg uep urese(

slfoNlud t{Y(I tn(Inf

ISI UYI{Y(I

SI0Z unqul lr?nuuf '19 .roruolg,76 eurnlon,X9I0-t0gZ NSSI8{Islf, IsqHdY uBp lroal lYNUnf

The Effect of Pre-annealing Temperature on Structural Characteristics ofZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method

(Mursal & Evi Yufita)Optimalisasi Variasi Komposisi Batu Kapur Lhoknga Aceh Besar sebagai

Bahan Baku Material Dental Gipsum

(Ztlfahna, Nazaria, & khamni)

Rancang Bangun Instrumentasi Uji Kualitas Beton Berdasarkan SpektrumAkustik Menggunakan Transformasi Fourier

(Mujiono, Arif Surtono & Amir Supriyanto)

Sistem Instrumentasi Akuisisi Data EKG 12 Lead Berbasis Komputer

(Agustiawan, Arif Surtono & Gurum Ahmad Pauzi)

Analisis Distribusi Medan Magnet Pada Daerah Sekitar Gardu Induk (GI)PT PLN (Persero) P3B Sumatra Teluk Betung Selatan-Bandar Lampung

Menggunakan Surfer

(Riza Septiani, Gurum Ahmad Pauzi,Warsitor & Wahyu Handriyanto)

Sistem Pengukuran Suhu Tanah Menggunakan Sensor DS18B20 dan

Perhitungan Resistivitas Tanah Menggunakan Metode GeolistrikResistivitas Konfigurasi Wenner

(Dwi Vaolina Sari, Arif Surtono & Warsito)

Implementasi Rangkaian Penghitung Kerapatan Fluks Neutron Terkoreksi

N16 RSG-GAS Berbasis LABVIEW

(Puji Siamatun, Arif Surtono & Edison)

Preparasi dan Karakterisasi Keramik Silika (SiO2) Sekam Padi dengan

Suhu Kasinasi 800oC - 1000"C

Riezka Rosalia, Dwi Asmi dan Ediman Ginting

Analisis Pengaruh Tekanan Pada Serat Optik Terhadap Sistem TransmisiData Berbasi sMikrokontroler ATMe g a32 D engan Akuisisi Data

Menggunakan Matlab

(Rita Budiati, Gurum Ahmad Patzi & Warsito)

43-48

49-56

57-66

67 -76

77 -82

83-90

91 - 100

t97 - t06

t07 - rt4

*

Surloauun -atd' pg 1 og ap op ut, gu7,s1d17 utlgf 4tun4 vryS1

'gu7 srdrl uesrdul uee4nu-red gerEodol uep oDlrru rq{rulsrqrue8uedueru Suqueuue-erd ;nleredurel .(I09,I

- ep) 697,9 : c tgZ,t : q, ZSi,t: e rsD{releruered ueSuep 1euo8-es1aq rnl{ru}s HIIIueur uoFlnqum}rp Baetl gu7 sIdI1ues1de1 ?./$,qBque)plnfunueur uurllleued ISeH 'I{cv uep (n[x w>pun88ueru ue8uep Burseur-Burszur 1fn1pgu7 sldp uesrdel uee>prured gerSodol ugp o.Dlru m]>lnrs 'ue[ y eurules f,0009 mlnr"d-"1epud Suqeeuue sesord ue{ru{elrp e,(qn[ueye5 '_Joogl, uep 'J0002 ,c00sl miereduel rserrglue8uep tuef I etuelos ue{rDpllp Suqeeuuu-erd sisorg 'rauuids uoldunSSueru ue3uep 14ep0z eurslss relndp uErpruue{ 'ueseleued e.rec ueSuep ue{ruplry le4sgns su}? Ip rosmcordrsrsodep sesord '(cac) 1o4r13 eueyuelp upp Iouele lrueled uz8uep )yuzue\Trmieru ue8uepu")[ruplrp rosmlsrd uetrenqrued 'vtr z x ru3 z uBJDIrueq lurederd Bffi{ l?4sqns se13 rprslsodepp gu7 stdrl uesrdel 'ltre}ry qe1a1 (Suqeoc urds) pD-tos opoloru ue8uep rsrsodeprpSuef' gu7 sdrl uesrdq rnDln4s depeqrsl Burleeuue-erd emleredruel qnre8ue4 qgrfsqy

3 ur 1o auuo -a td' p oq taut p D - I o s, gu7, tu1 g[ u14g : spr o,udey

'smleredurel Suqeeuue-e;d uo puedep,(18uo4s eremstrrg OUZ go fSoloqd.lorrr oceJms pue emlrrulsororru leql prmoJ o/& .(

I09, I : e/J) 602, S: c tSZ't : q ZgZ't: € Jo lu"tsuoc ecqlel ql.r \ amlcru1s yeuo8exeq e^eq surlg OaZ

..raqt

pe,'\{oqs }InsoJ eqr "(len4cedser luoluemmelu nsv puB qgy Sursn po}se} are/!\ sruu oql

go,Goloqdrour ec€JJns prrB emlcrulsoJcrl^J 'rl I JoJ J0009le poleerrue eJo./rr srulg ouz ,uoqJ

'rl I JoJ Jo09Z pu? 'J0002 'J009I3o emleredrusl snou€A le euop se,t. ssecord Suqeeuue-er4's 0z roJ rmds puu ols4sqns uo dorp ueql s?^r. Josm3erd '(cga) 10cop ouel[orp pu" Iouoq]etJ! JWZ pa^lossry ,(q peredord se^\ JosmseJd eq; 'e1e.r1sqns ruc z x vtx 7 sesselS leruderduo pelrsodep orea surlg ouz 'pep84se,rur ueoq p"q enbluqcol Bu4eoc urds 1e8-yos ,(qpslrsodep strrlg uql 1az Jo sc4suelcemqc uo emlersdruel Euqeeuue Jo lceJJe Dqypot sqy

GtOZreqoDIO 9 1) rsr,rerrp .(requreldsg 77) ewuolrq

W:lruu-gI I I€Z qny Dpuog 'DpnX qo1{g so41s"ta^!un 'V1IW.{ ,ultst.,t uDSn.mI"

lDuaruw rul?s!,il MnLtotDroqDT

"lUnI I^g T IssrnIN

poqletrtl

Iac{os 1(q pellsoda( sluuc uFtrI ouzJo srllsrrelrBrurlJIBrnlJnrls uo ernlBreduel SuguauuB-erd Jo IJaJJI eql

I

9L0Z unqoJ unnuo['yg.oN ,r0 .loAD4tsll 1so411dy uDp rroal TVNA1I

Mursal & Evi Yufita : The Effect of Pre-annealing Temperature on StructuralCharacteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method

PENDAHULUA}{

Sintesa dan karakterisasi seng oksida(ZnO) dengan berbagai teknik telahmenarik perhatian para peneliti dikarenakanprospek aplikasi dan pengembangan

material ini sangat luas [1]. ZnO memilikicelah pita langsung yang lebar (3,37 eV)dan energi ikat yang besar (60 meV).Dengan kerakteristik tersebut, ZnOmenjadi salah satu meterial yang sangat

menjanjikan untuk diaplikasikan pada

berbagai komponen optoelektronika, sepertisensor optik dan pemancar cahaya 121.Disamping itu, ZnO juga dapat

diaplikasikan pada devais surface acousticwave (SAW), sensor g&s, dan devais

piezoelektrik l3-7 dalam kj. chenl. ZnOdapat dideposisi dengan berbagai teknik,baik teknik vacum, maupun non vakum.

Diantara teknik-teknik tersebut,metode sol gel menjadi salah satu pilihancerdas dikarenakan metode ini relatifsederhana dan murah. Akan tetapi kualitaskristalisasi ZnO yang dipreparasi dengan

metode sol gel tidak begitu baik biladibandingkan dengan metode vakum. Salah

satu parameter penting dalam proses sol gel

adalah perlakuan panas (qtre-annealing danannealilng). Berbagai penelitian tentangpengaruh temperatur annealing terhadapkarakteristik ZnO telah dilakukan. Daripenelitian-penelitian tersebut dapat

disimpulkan bahwa temperatur annealingdapat mempengaruhi strukturmikro, sifatoptik, dan sifat listrik lapisan tipis ZnO.

Akan tetapi penelitian tentang pengaruhtemperatur pre-annealing terhadap

karakteristik ZnO belum banyak dilakukan.Oleh karena itu, pada tulisan ini kamisajikan hasil kajian kami tentang bagaimanapengaruh temperatur pre-annealingterhadap skuktur ZnO, mengingattemperatur pre-annealing juga merupakanparameter penting dalam proses sol gel.

METODE PENELITIAII

Lapisan tipis ZnO dideposisikan di atas

substrat kaca preparat berukuran 2 cm x 2

cm dengan teknik spin coating. Sebelumdilakukan proses deposisi, substrat

dibersihkan terlebih dahulu menggunakanmethanol dan akuades untuk mencegah

terjadinya kontaminasr zat orgatik maupun

anorganik.

Pembuatan prekursor dilakukandengan melarutkan 6 gram ZnAc Yangsebelumnya telah digerus, dengan pelarutetanol 60 ml dan dietilene glikol (DEG) 15

ml. Lanttan precursor diaduk dan

dipanaskan menggunakan hot Platemagnetic strirer selama 1 jam hinggaterbentuk suspensi ZnO. Selanjutnya,larutan prekursor disaring menggunakanpenyaringan vakum. Proses deposisiprecursor di atas substrat dilakukan secara

statis, yaitu dengan meneteskan precursor

di atas substrat terlebih dahulu, kemudiandispin (diputar) selama 20 detik dengan

menggunakan spinner, hingga terbentuk

lapisan tipis.

Proses pre-annealing dilakukandengan cara memanaskan sampel (lapisan

tipis) selama 1 jam, dan didinginkankembali hingga mencapai temperature

ruang. Temperatur pre-annealilgdivariasikan dari 1500C sampai 2500C

dengan laju kenaikan temperature 50C per

menit. Kemudian dilakukan proses

annealing pada temperatur 6000C selama Ijam, lalu temperatur diturunkan perlahan

hingga mencapai temperatur ruang.

Prosedur penelitian lebih rinci dapat dilihatpada Gambar 1.

44

Mursal & Evi Yufita : The Effect of Pre-annealing Temperature on StructuralCharacteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method

PENDAHULUA}{

Sintesa dan karakterisasi seng oksida(ZnO) dengan berbagai teknik telahmenarik perhatian para peneliti dikarenakanprospek aplikasi dan pengembangan

material ini sangat luas [1]. ZnO memilikicelah pita langsung yang lebar (3,37 eV)dan energi ikat yang besar (60 meV).Dengan kerakteristik tersebut, ZnOmenjadi salah satu meterial yang sangat

menjanjikan untuk diaplikasikan pada

berbagai komponen optoelektronika, sepertisensor optik dan pemancar cahaya 121.Disamping itu, ZnO juga dapat

diaplikasikan pada devais surface acousticwave (SAW), sensor g&s, dan devais

piezoelektrik l3-7 dalam kj. chenl. ZnOdapat dideposisi dengan berbagai teknik,baik teknik vacum, maupun non vakum.

Diantara teknik-teknik tersebut,metode sol gel menjadi salah satu pilihancerdas dikarenakan metode ini relatifsederhana dan murah. Akan tetapi kualitaskristalisasi ZnO yang dipreparasi dengan

metode sol gel tidak begitu baik biladibandingkan dengan metode vakum. Salah

satu parameter penting dalam proses sol gel

adalah perlakuan panas (qtre-annealing danannealilng). Berbagai penelitian tentangpengaruh temperatur annealing terhadapkarakteristik ZnO telah dilakukan. Daripenelitian-penelitian tersebut dapat

disimpulkan bahwa temperatur annealingdapat mempengaruhi strukturmikro, sifatoptik, dan sifat listrik lapisan tipis ZnO.

Akan tetapi penelitian tentang pengaruhtemperatur pre-annealing terhadap

karakteristik ZnO belum banyak dilakukan.Oleh karena itu, pada tulisan ini kamisajikan hasil kajian kami tentang bagaimanapengaruh temperatur pre-annealingterhadap skuktur ZnO, mengingattemperatur pre-annealing juga merupakanparameter penting dalam proses sol gel.

METODE PENELITIAII

Lapisan tipis ZnO dideposisikan di atas

substrat kaca preparat berukuran 2 cm x 2

cm dengan teknik spin coating. Sebelumdilakukan proses deposisi, substrat

dibersihkan terlebih dahulu menggunakanmethanol dan akuades untuk mencegah

terjadinya kontaminasr zat orgatik maupun

anorganik.

Pembuatan prekursor dilakukandengan melarutkan 6 gram ZnAc Yangsebelumnya telah digerus, dengan pelarutetanol 60 ml dan dietilene glikol (DEG) 15

ml. Lanttan precursor diaduk dan

dipanaskan menggunakan hot Platemagnetic strirer selama 1 jam hinggaterbentuk suspensi ZnO. Selanjutnya,larutan prekursor disaring menggunakanpenyaringan vakum. Proses deposisiprecursor di atas substrat dilakukan secara

statis, yaitu dengan meneteskan precursor

di atas substrat terlebih dahulu, kemudiandispin (diputar) selama 20 detik dengan

menggunakan spinner, hingga terbentuk

lapisan tipis.

Proses pre-annealing dilakukandengan cara memanaskan sampel (lapisan

tipis) selama 1 jam, dan didinginkankembali hingga mencapai temperature

ruang. Temperatur pre-annealilgdivariasikan dari 1500C sampai 2500C

dengan laju kenaikan temperature 50C per

menit. Kemudian dilakukan proses

annealing pada temperatur 6000C selama Ijam, lalu temperatur diturunkan perlahan

hingga mencapai temperatur ruang.

Prosedur penelitian lebih rinci dapat dilihatpada Gambar 1.

44

Mursal & Evi Yufita : The Effect of Pre-annealing Temperature on StructuralCharacteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method

Morfologi permukaan lapisan tipisZnO memiliki topografi yang beragam dantingkat kekasaran yang berbeda. Padalapisan dengan temperatur pre-annealing150oC, permukaan yang dihasilkan tidakmerata dan tampak adanya granular yangberukuran relatif besar. Pada lapisan dengantemperatur pre-annealing 200"C terlihattopografi permukaan yang lebih rata denganukuran granular yang relatif lebih kecildibandingkan lapisan dengan temperaturpre-annealing 150'C. Sedangkan padalapisan dengan temperatur pre-annealing250"C memperlihatkan topografi palingrata dibandingkan dengan dua lapisansebelumnya.

Nilai karakteristik topografi lapisan tipisZnO dengan temperature pre-annealing yangbervariasi ditunjukkan pada Tabel 1.

Tabel 1. Nilai karakteristik topografipermukaan lapisan tipis ZnOdengan temperatur p r e- annealingyang berbeda.

Temperat Puncak Lembah Kekasaran

No ut prl Maksimum Minimum rermuKaanannealine . . Rata-rata

,.a, " (nm) (nm)

(nrn)

150 1500 -750 150

200 67000 -411

Kekasaran permukaan lapisan tipisZnO mengalami penunrnan denganmeningkatnnya waktu penahanan. Hal inidisebabkan pemberian temperatur yafrglebih tinggi dapat membuat atom-atomtersusun teratur sehingga akanmenghasilkan struktur permukaan yanglebih baik.

Analisa Struktur Mikro Lapisan TipisZnO

eE 5& 4S 5S 60 ?E

zS {derq*t}Gambar 3. Pola difraksi sinar-X (XRD) lapisan

tipis ZnO yang dideposisi denganteknik Sol Gel - spin coatingdengan waktu pre-annealingyang bervariasi.

Analisa struktur mikro dilakukanberdasarkan hasil pengujian menggunakandifraktometer sinar-x (XRD). Gambar 3memperlihatkan pola XRD lapisan tipisZnO dengan temperatur pre-annealing 150.200, dan25OoC.

Berdasarkan pola difraksi XRD,diketahui bahwa lapisan tipis ZnO telahmengalami kristalisasi dengan baik,ditandai dengan munculnya tujuh puncakdifraksi, masing-masing pada sudut 20:31.75", 34,41", 36.23", 47.51", 56.56,62.86", dan 67.94". Dari ketiga sampellapisan tipis ZnO tersebut terlihat tigapuncak difraksi tertingi, yang berada padasudut 20: 31.72", 34,39, dan 36.21' denganindeks bidang (hkl) masing-masing (101),(200) dan (101).

Hasil pencocokan menggunakansoftware JCPDF.Win menunjukkan bahwastruktur kristal lapisan tipis ZnO adalahheksagonal dan parameter kisinya a: 3,253b :3,253 c: 5,209 (a/c : 1.601). Indeksbidang (hkl) dan nilai full width at halfmaximum (FWHM) dari kristal ZnO untukmasing-masing puncak difraksi ditunjukkanpadaTabel2.

f

C0tr

47

38-19250

11:

46

LV

'uru8€ : )o092 rJep'wldlv : J,002'Iuu0sI : J"09I Eutsew-Sutselu use>lnuued

uEJese)Ie>l Isllu ueSuop eleJeru uDrcues

OuZ srdq uesrdel uBB{nuued rEolo;rour

?,/rrqBq qeloJedlp Surpauuo-atd nqns

r88url uDlulres 'htrCv llsuq u>lresepreg

0rI I9'0 : IATHA\C I?lIu uep

Z'9t :02 lnpns ue8ueP (tOt) nq EuePlq

eped rEEuruol sellsuelul qeloredlp J.092Eurleeuue-erd rnteroduel 8ue,( uep 01,I09'0: I IH,/y\d reltu ueEueP wP ol'fE: eZ lnpnsueEuep (ZOO) Uq 8uep1q eped qeloredrp

rEEuruel sullsuelut C"002 Surpauun-atd tnle:r,duet Eue.( ue>puepes '06998'0: I\tHzlA,.:I Iellu uep

"z'9t : gz lnpnsueEuep (tOt) nq Eueplq eped qeloredrp

r8Eurgel sullsuelul J"gSI Sutytauuo

-atd tnlenduel ue8uep OUZ srdll uesldel

eped rs4e4rp >lzctmd nll qeles '(I0g'I: ep) 60Z'5 : c ESZ'E : q, ZSZ'E: e IsDI

releurerud ue8uep uoel ueEuep runses Suef

leuo8esleq Jnpln.r+s D{ITIrueu'uerylnqurqrpfvef, OaZ sldtl uusldul e^rqeq

geloredrp OUX uulf-nEued ueryesepreg:]DIIJog

reEuqes uelndunsol qeloredtp ISBSFoDIeTe>I

[seq uz8uep '3.009 Sutloauuo-1sod

mteredtuel uep 3.0S2 ueP 'C,002 '3.0SI

IJ?p Su1oauuo-a,td mleredtuel IseIJeA

ueEuep uep uldr 00gt uerelnd ueledece>1

ueEuep 8u4eoc qdg - IeC IoS ePoleur

ueEuep OuZ sldp uesldel ue>lqnqrunllp

Ilserpeq qelet Iq ue4tleued eqed

NVTNdIAIISfl)I

'ICe{ UDIBIUoS u?)Ie

uesrdey nlens eped qeloredrp 8ue,( llnqueJDIn e>leru ue>lueqrp 3ue,( rqeredtuelrEEu4 uDl€rues ?,&qeq uelnltmuaur 1uI IeH').0g2 Sur1oauuo-atd tt\endutel ueEuep

ledures eped qsloredrp pce>pq 4mq u€rruln

ue(I 'J"6SI Sutloauuo-atd mleredurelueEuep ledrues eped qoloredtp eler-eqJ?soqJel Jllnq ueJDIn 'rereeqg ueeluesred

ue>leun88ueur ue8unllqre4 '(tOt)

u€p '(200) '(OOt) gq Eueplq ue8uep ledueseEr1e1 rrep ue8uqrqred uopusepJeg

1"002 ueP J.002'J.ggI nllef, IsBueAJeq ?'se(3ut1o auuo - a,td mleredurel ue?ueP

6u7 srdp uestdel r4nq uerDII] '7 JBqurB5t

6rzi:l:) 6ulleauue-a;C irltiEd*al

BEI Ei: DOi S'1 OE1

tra

fFa

'? JBqureD

ue4lnfururp Frodes OUZ Ielsp{uerruln qeloredrp ue8unltqred ueq

rpng uBrn}In

epedrrlnq

'ISIe4;}P >lecund

-lectmd lrep I lHl$d Isllu WVpe d uep

'fl1etg I$lurJIp tnpns qelep€ s0 '(Y tg'I)x-JBuIs Suequrole8 Euelued q?lep€ l Buerulp

e gsocf,

T6'0 t

'JoJJeqcS ueeuresred ue>leunEEueur

ue8uep SunlHIp OnZ rllnq uerruIg'(ruX uerruln8ued Inlsleru qelo;edrp

3ue,( rsp4p elod ePed lecund Euseur

-Sursetu >lnltm WH,U.{ lellu uolJesepreq

uP;>lnluellp ouz rllnq uerll}ln

9S9'0269',0ZZL'OEZ9'O

I I9'O879'09IL'O

869',0€69'0999'00ts'0s8s'0I09'0tL9'0

zgb'0I Ir'06Zn'09ZV'09SE'06VE 0

OLE'O

T,IIt0rOIIz0lIOI7,00

00I

6'L9g'zg

9'95g'Lv

Z,9E

l'vEL'lt

L

9sntZ

I3o0sI

Jo092

Jo002

IAIHT\.{

(1u[urep)

HrI 0z lnpns oN

OuZ I€lsIDl (p1q) Sueptq slepul'Z leqsl

(rcI) Sueptt ....1

ilccl BUEPr€ --ffi-.

iOCIj iBEPtE 'e

gT0Z urupJ uonuo['Yg'oN 'r0 'loAD4lsg rso4ydy uDP lroal TVNA1I

Mursal & Evi Yufita : The Effect of Pre-annealing Temperature on StructuralCharacteristics of ZnO Thin Films Deposited by Sol-Gel Method

UCAPAN TERIMA KASIH

Penulis mengucapkan terima kasih kepadaMariam, S.Si atas banfuan dalam preparasisampel sol gel dan Dr. Zulkamain Jalil(FMIPA Unsyiah) atas diskusi hasilpengujian difraksi sinar-X.

DAFTAR PUSTAKA

Adi Muhamad, k dkk. 2007. Efek MagnetoOptis Pada Lapisan Tipis (ZnO).Jurusan fisika, fmipa: UniversitasDiponegoro

Adyana Igusti A. P dkk. 2009. PengaruhKetebalan Lapisan PenyanggaGanterhadap Struktur Kristal DanSifat Optik Film Tipis GanDitumbuhkan Dengan Metode PulsedLaser Deposition Departemen Fisika,FMIPA-Universitas Udayana:Kampus Bukit Jimbaran, Buleleng,Denpasar, Bali

Annisa Aprilia dkk. 2010. PreparasiLapisan Tipis ZnO TransparanMenggunakan Metode Sol-GelBeserta Karakterisasi Sifat Optilmya.Fisika FMIPA: Institut TeknologiBandung

Akmal, R. 2011. Pengaruh TemperaturAnnealing Terhadap KarakteristikLapisan Tipis ZnO:Al. Skripsi.Jurusan Fisika Fakultas MIPAUniversitas Syiah Kuala, Darussalam-Banda Aceh.

Arthur Beiser. 1999. Konsep FisikaModeren Edisi Ke Empat. Erlangga.

Huriawati, Farida. 2009. Sintesis film TipisBST didadah Niobium dan TantalumSerta Aplikasinya Sebagai SensorCahaya. Tesis. Biofisika,Pascasarjana, IPB, Bogor

Sinaga P. 2009. Pengaruh TemperaturAnnealing Terhadap Struktur Mikro,Sifat Ltstrik dan Sifat Optik dari FilmTipis Ol*ida Konduhif TransparanZnO:al Yang dibuat Dengan TeknikScreen Printing. FPMIPA:Universitas Pendidikan Indinesia

Rosa Erlyta, S. 2007. Sintesis danKaralcterisasi Nanopartikel ZnO.Pendidikan Teknik Elektro: Bandung

Vivitalia. 201,1. Pengaruh Konsentrasi

Doping Al Terhadap KarakteristikLapisan Tipis ZnO:Al Skripsi.

Jurusan Fisika Fakultas MIPAUniversitas Syiah Kuala, Darussalam-

Banda Aceh.

Suprapto, dkk.2006. Karburasi Baja St 40Dengan Telmik Sputtering. BATAN:Yogyakarta

Azhan, S. 2010. Sintesis Lapisan ZnODengan Metode Sol-gel SpincoatingDan Karalcterisasi Sifat OptilcrtyaFisika MIPA: Surabaya

Srinafasan, G and Kumar, J.2006. Opticaland Structural Characterisation ofZinc Oxide Thin Films Prepared bySol-gel Process. Anna University:India

48